KR101396223B1

KR101396223B1 - Mask supplying system

Info

Publication number: KR101396223B1
Application number: KR1020120090113A
Authority: KR
Inventors: 김동원; 정준모
Original assignee: 주식회사 에스에프에이
Priority date: 2012-08-17
Filing date: 2012-08-17
Publication date: 2014-05-19
Also published as: KR20140023146A

Abstract

마스크 공급시스템이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 공급시스템은, 직선 레일과 곡선 레일을 구비하며, 클린룸(clean room) 내에 마련되는 증착기 포트의 상부 영역에서 레일 행거(rail hanger)에 의해 지지되는 주행 레일; 주행 레일에 주행 가능하게 결합되는 주행 유닛과, 증착기 포트 내로 마스크(mask)를 공급하기 위해 마스크를 핸들링하는 마스크 핸들링 유닛을 구비하는 마스크 공급용 셔틀; 및 직선 레일과 곡선 레일이 분기되는 분기 구간에 배치되어 마스크 공급용 셔틀의 주행 유닛을 가이드하는 유닛 가이드 모듈을 포함한다.A mask supply system is disclosed. A mask supply system according to an embodiment of the present invention includes a running rail having a straight rail and a curved rail and supported by a rail hanger in an upper area of the evaporator port provided in a clean room; A traveling supply unit that is coupled to the traveling rail so as to be able to run, and a mask handling unit that handles the mask to supply a mask into the deposition port; And a unit guide module which is disposed in a branch section where the linear rail and the curved rail are branched, and guides the driving unit of the mask supply shuttle.

Description

{Mask supplying system}

본 발명은, 마스크 공급시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 직선 레일과 곡선 레일을 비롯하여 주행 레일이 분기되는 분기 구간을 이탈 없이 원활하게 주행할 수 있음은 물론 종전처럼 이재기 등의 주변 장치들 없이도 자체적으로 마스크를 그립핑하여 핸들링할 수 있어 마스크 공급 효율을 종래보다 월등히 향상시킬 수 있는 마스크 공급시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a mask supply system, and more particularly, to a mask supply system capable of smoothly running without departing from a branch section where a running rail including a straight rail and a curved rail are branched, The present invention relates to a mask supply system that can handle a mask by gripping itself, thereby significantly improving mask supply efficiency.

평판표시소자 중의 하나인 유기전계발광표시장치(OLED, Organic Light Emitting Display)는 유기물의 자체 발광에 의해 컬러 화상을 구현하는 초경박형 표시장치로서, 그 구조가 간단하면서 광효율이 높다는 점에서 차세대의 유망 디스플레이 장치로서 주목받고 있다.An organic light emitting display (OLED), which is one of the flat panel display devices, is a cemented carbide thin film display device which realizes a color image by self-emission of an organic substance and has a simple structure and high optical efficiency. Has attracted attention as a display device.

이러한 유기전계발광표시장치(OLED)는 애노드와 캐소드 그리고, 애노드와 캐소드 사이에 개재된 유기막들을 포함하고 있다. 여기서 유기막들은 최소한 발광층을 포함하며, 발광층 이외에도 정공 주입층, 정공 수송층, 전자 수송층, 전자 주입층을 더 포함할 수 있다.The organic light emitting display OLED includes an anode, a cathode, and organic layers interposed between the anode and the cathode. Here, the organic layers include at least a light emitting layer and may further include a hole injecting layer, a hole transporting layer, an electron transporting layer, and an electron injecting layer in addition to the light emitting layer.

유기전계발광표시장치는 유기막 특히, 발광층을 이루는 물질에 따라서 고분자 유기발광소자와 저분자 유기발광소자로 나뉠 수 있다.The organic electroluminescent display device can be divided into a polymer organic electroluminescent device and a low molecular weight organic electroluminescent device depending on an organic film, particularly a material forming the light emitting layer.

풀 칼라(full color)를 구현하기 위해서는 발광층을 패터닝해야 하는데, 이 경우, FMM(Fine Metal Mask, 이하 마스크라 함)을 이용한 직접 패터닝 방식과, LITI(Laser Induced Thermal Imaging) 공법을 적용한 방식, 컬러 필터(color filter)를 이용하는 방식 등이 적용될 수 있다.In order to realize a full color, a light emitting layer must be patterned. In this case, a direct patterning method using FMM (Fine Metal Mask, hereinafter referred to as a mask), a method using LITI (Laser Induced Thermal Imaging) A method using a color filter may be applied.

마스크 방식을 적용하여 대형 OLED를 제작할 때에는 증착기 포트 내에 기판과 패터닝(patterning)된 마스크를 수평으로 배치시킨 후에 증착하는 이른 바 수평식 상향 증착 공법이 적용될 수 있다.When a large OLED is manufactured by applying a mask method, a so-called horizontal type upward deposition method in which a substrate and a patterned mask are horizontally disposed in a deposition port and then is deposited can be applied.

수평식 상향 증착 공법은 증착기 포트 등의 바닥면에 대해 수평으로 배치된 기판과 마스크를 상호 얼라인시킨 후 합착시키고 수평 상태에서 대형 기판에 유기물을 증착시키는 방법이다.The horizontal type upward deposition method is a method of aligning a substrate horizontally arranged on a bottom surface of a deposition port or the like and a mask, and then depositing the organic material on the large substrate in a horizontal state.

하지만, 현재 OLED가 대형화됨에 따라 마스크가 점점 대형화 및 고중량화되고 있으며, 이 경우 중력 방향으로 마스크의 처짐이 발생하여 기판에 대해 마스크를 밀착시키는 것이 어렵게 됨에 따라 결국에는 양산에서 요구되는 정밀도를 확보하기 어려운 문제점이 있다.However, as the size of the OLED increases, the size and weight of the mask are becoming larger and larger. In this case, since the mask is deflected in the direction of gravity, it is difficult to closely adhere the mask to the substrate. There is a difficult problem.

따라서 근자에 들어서는 기판과 마스크를 수직 방향으로 세운 후에 합착시키고, 이어 유기물을 증착하려는 기술이 연구되고 있다.Therefore, techniques for depositing a substrate and a mask in a vertical direction and then depositing the substrate and a mask for depositing the organic material are being studied.

한편, 전술한 수평식과 수직식을 떠나 어떠한 형태일지라도 증착기 포트 내로 마스크를 공급하는 일이 선행되어야 하며, 그래야만 마스크를 통한 해당 공정, 예컨대 기판에 대한 증착 공정 등이 진행될 수 있다.On the other hand, it is necessary to supply the mask into the deposition port regardless of the horizontal and vertical form described above, so that the corresponding process through the mask, for example, the deposition process for the substrate, can proceed.

그런데, 현재까지는 별도의 로봇에 의해 클린룸(clean room) 내의 바닥을 따라 이송되는 마스크가 증착기 포트의 측면으로 공급되는 시스템이 구축되어 있는 경우가 대부분이기 때문에, 클린룸 내의 공간 활용에 있어 경제적이지 못하고 증착기 포트 주변의 레이아웃(layout)이 복잡해질 수 있으며, 이에 따라 자동화 구축이 어려워지는 문제점이 야기되고 있다.However, since a system in which a mask, which is transported along the bottom in a clean room by a separate robot, is supplied to the side of the evaporator port is mostly constructed, it is economical to utilize the space in the clean room The layout of the periphery of the evaporator port may become complicated, thereby making the automation construction difficult.

실제, 클린룸을 살펴보면 증착기 포트의 상부 영역은 별다르게 활용되지 않는 넓은 빈 공간이라는 점을 감안할 때, 이러한 클린룸 내의 상부 공간을 활용하여 마스크 공급시스템을 구축한다면 종래에서 야기되어 왔던 다양한 문제점들을 해소할 수 있을 것이라 예상된다.Actually, considering the clean room, considering that the upper area of the evaporator port is a wide empty space that is not used differently, if the mask supply system is constructed by utilizing the upper space in the clean room, various problems that have been caused in the past can be solved It is expected to be able to do.

하지만, 현재까지 알려지고 있는 클린룸 내의 상부 공간을 활용한 마스크 공급시스템의 경우, 그 대부분이 직선 레일 상을 운행하거나 비교적 단순한 궤도 내에서만 왕복 운동을 하는 극히 단순한 구조가 대부분일 뿐만 아니라 마스크를 그립핑(gripping)하고자 할 때에도 외부의 이재기 도움을 받아야 하는 등 비효율적인 구조로 인하여 마스크의 공급 효율이 저하될 수밖에 없으므로 이에 대한 효율적인 구조 개선이 요구된다.However, in the case of the mask supply system utilizing the upper space in the clean room which is known so far, most of the extremely simple structure in which most of them operate on a straight rail or reciprocating only in a relatively simple orbit is not only the most, The efficiency of supplying the mask is inevitably lowered due to the ineffective structure such as the need to receive the help of an external transferor even when gripping, and therefore an efficient structure improvement is required.

대한민국특허청 출원번호 제10-2005-0011334호Korea Patent Office Application No. 10-2005-0011334

따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 클린룸 내에서 증착기 포트의 상부 영역에 존재하는 넓은 공간을 활용하여 마스크를 공급함으로써 클린룸 내의 공간의 경제적으로 활용할 수 있고 증착기 포트 주변의 레이아웃(layout)을 단순화시킬 수 있으며, 무엇보다도 직선 레일과 곡선 레일을 비롯하여 주행 레일이 분기되는 분기 구간을 이탈 없이 원활하게 주행할 수 있음은 물론 종전처럼 이재기 등의 주변 장치들 없이도 자체적으로 마스크를 그립핑하여 핸들링할 수 있어 마스크 공급 효율을 종래보다 월등히 향상시킬 수 있는 마스크 공급시스템을 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to provide an apparatus and a method for manufacturing a vacuum cleaner, which can economically utilize a space in a clean room by supplying a mask utilizing a large space existing in an upper area of an evaporator port in a clean room, It is possible to smoothly travel without departing from the branching section where the running rail is branched as well as the straight rail and the curved rail among other things. In addition, it is possible to grip the mask by itself without using peripheral devices such as a transfer device And to provide a mask supply system capable of significantly improving the mask supply efficiency as compared with the prior art.

본 발명의 일 측면에 따르면, 직선 레일과 곡선 레일을 구비하며, 클린룸(clean room) 내에 마련되는 증착기 포트의 상부 영역에서 레일 행거(rail hanger)에 의해 지지되는 주행 레일; 상기 주행 레일에 주행 가능하게 결합되는 주행 유닛과, 상기 증착기 포트 내로 마스크(mask)를 공급하기 위해 상기 마스크를 핸들링하는 마스크 핸들링 유닛을 구비하는 마스크 공급용 셔틀; 및 상기 직선 레일과 상기 곡선 레일이 분기되는 분기 구간에 배치되어 마스크 공급용 셔틀의 주행 유닛을 가이드하는 유닛 가이드 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 공급시스템이 제공될 수 있다.According to one aspect of the present invention there is provided a traveling rail comprising a running rail having a straight rail and a curved rail and supported by a rail hanger in an upper region of the evaporator port provided in a clean room; A traveling unit which is coupled to the traveling rail so as to be able to travel, and a mask handling unit which handles the mask to supply a mask into the deposition port; And a unit guide module disposed in a branching section where the linear rail and the curved rail are branched to guide the driving unit of the mask supply shuttle.

상기 유닛 가이드 모듈은, 상기 분기 구간의 일측에 배치되어 상기 주행 유닛의 주행 동작을 안내하면서 상기 주행 유닛의 경로 이탈을 저지시키는 분기용 곡선 가이드를 포함할 수 있다.The unit guide module may include a curved guide for branching which is disposed at one side of the branching section to guide the driving operation of the driving unit and block the departure of the path of the driving unit.

상기 유닛 가이드 모듈은, 상기 분기 구간을 기준으로 상기 분기용 곡선 가이드의 반대편 위치에 배치되어 상기 분기용 곡선 가이드와 함께 상기 주행 유닛의 주행 동작을 안내하면서 상기 주행 유닛의 경로 이탈을 저지시키는 분기용 직선 가이드를 더 포함할 수 있다.Wherein the unit guide module is disposed at a position opposite to the branching curved guide on the basis of the branching section and guides the traveling operation of the traveling unit together with the curving guide for branching, And may further include a straight guide.

상기 분기용 곡선 가이드와 상기 분기용 직선 가이드는 상기 주행 레일의 상단부에 덮개 형태로 배치될 수 있다.The branching curved guide and the branching linear guide may be disposed on the upper end of the running rail in the form of a lid.

상기 마스크 공급용 셔틀은, 상기 주행 유닛과 연결되어 상기 주행 유닛을 지지하는 베이스 플레이트; 및 상기 베이스 플레이트에 결합되며, 내부에 상기 마스크 핸들링 유닛이 결합되는 캐비닛을 더 포함할 수 있다.Wherein the mask supply shuttle comprises: a base plate connected to the driving unit to support the driving unit; And a cabinet coupled to the base plate and coupled to the mask handling unit.

상기 마스크 핸들링 유닛은, 상기 캐비닛 내의 상부 영역에 결합되며, 상하 방향을 따라 배치되는 호이스트 벨트(hoist belt)를 구비하는 호이스트 모듈(hoist module); 및 상기 호이스트 벨트에 연결되며, 상기 마스크를 그립핑하는 마스크 그립핑 모듈을 포함할 수 있다.The mask handling unit includes: a hoist module coupled to an upper region within the cabinet and having a hoist belt disposed along a vertical direction; And a mask gripping module connected to the hoist belt and gripping the mask.

상기 호이스트 모듈은, 상기 캐비닛에 결합되는 모듈 바디; 상기 모듈 바디에 마련되며, 상기 호이스트 벨트를 권취 또는 권취 해제시키는 권취 드럼; 및 상기 권취 드럼을 구동시키는 드럼 구동부를 포함할 수 있다.The hoist module comprising: a module body coupled to the cabinet; A winding drum provided on the module body for winding or unwinding the hoist belt; And a drum driving unit for driving the winding drum.

상기 마스크 그립핑 모듈은, 상호간 접근 또는 이격되면서 집게 방식으로 상기 마스크를 그립핑하며, 상기 마스크의 가로 방향을 따라 이격 배치되는 다수의 집게형 그립퍼; 및 상기 다수의 집게형 그립퍼를 연결하는 그립퍼 연결부를 포함할 수 있다.The mask gripping module comprising: a plurality of gripper-type grippers spaced apart in the transverse direction of the mask, gripping the mask in a clamping manner with mutual approach or spacing; And a gripper connection for connecting the plurality of grip-type grippers.

상기 주행 유닛은, 유닛 프레임; 상기 유닛 프레임의 양측에 회전 가능하게 배치되어 상기 주행 레일을 따라 주행되는 한 쌍의 주행 휠; 상기 유닛 프레임에 마련되어 상기 주행 휠의 구동을 위한 동력을 제공하는 휠 모터; 및 상기 유닛 프레임의 일측에 마련되며, 비접촉식 방식으로 전원을 인가받아 상기 휠 모터로 전원을 공급하는 비접촉식 전원 공급부를 포함할 수 있다.The driving unit includes: a unit frame; A pair of traveling wheels rotatably disposed on both sides of the unit frame and traveling along the traveling rail; A wheel motor provided in the unit frame to provide power for driving the traveling wheel; And a non-contact type power supply unit provided at one side of the unit frame and powered by the wheel motor in a non-contact manner.

상기 한 쌍의 주행 휠은 내측 휠과 외측 휠을 포함할 수 있으며, 상기 주행 유닛은, 상기 내측 휠과 상기 외측 휠 간의 회전속도를 상대적으로 조절하는 차동기어부; 및 상기 차동기어부의 동작을 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다.The pair of traveling wheels may include an inner wheel and an outer wheel, and the traveling unit may include: a differential locker for relatively adjusting a rotating speed between the inner wheel and the outer wheel; And a control unit for controlling the operation of the differential synchronization unit.

상기 제어부는, 상기 마스크 공급용 셔틀이 상기 주행 레일의 곡선 레일을 주행할 때, 상기 내측 휠의 속도보다 상기 외측 휠의 속도가 더 빠르도록 상기 차동기어부의 동작을 제어할 수 있다.The control unit may control the operation of the differential locker so that the speed of the outer wheel is faster than the speed of the inner wheel when the mask supply shuttle runs on the curved rail of the running rail.

상기 주행 유닛은, 상기 유닛 프레임의 중앙 영역에 결합되어 상기 주행 유닛을 조향시키는 조향 휠을 더 포함할 수 있다.The driving unit may further include a steering wheel coupled to a central region of the unit frame to steer the driving unit.

상기 주행 유닛은, 상기 주행 휠에 이웃하게 배치되어 상기 주행 레일 상에서 가이드되는 다수의 가이드 휠을 더 포함할 수 있다.The traveling unit may further include a plurality of guide wheels disposed adjacent to the traveling wheels and guided on the traveling rails.

상기 주행 유닛은 상기 주행 레일의 길이 방향을 따라 상호 이격되게 한 쌍으로 마련될 수 있으며, 한 쌍의 상기 주행 유닛은 동일하면서 대칭되는 구조를 가질 수 있다.The traveling units may be provided in a pair so as to be spaced apart from each other along the longitudinal direction of the traveling rail, and the pair of traveling units may have the same but symmetrical structure.

상기 증착기 포트는 상기 마스크를 통해 유기전계발광표시장치(OLED, Organic Light Emitting Display)의 증착 공정을 진행하는 증착기 포트일 수 있으며, 상기 증착기 포트의 상부 영역에는 상기 마스크 공급용 셔틀로부터 공급되는 상기 마스크가 로딩되는 마스크 로딩부가 마련될 수 있다.The deposition port may be a deposition port through which the OLED (Organic Light Emitting Display) is deposited through the mask. In an upper region of the deposition port, the mask, which is supplied from the mask supply shuttle, A mask loading section may be provided.

본 발명에 따르면, 클린룸 내에서 증착기 포트의 상부 영역에 존재하는 넓은 공간을 활용하여 마스크를 공급함으로써 클린룸 내의 공간의 경제적으로 활용할 수 있고 증착기 포트 주변의 레이아웃(layout)을 단순화시킬 수 있으며, 무엇보다도 직선 레일과 곡선 레일을 비롯하여 주행 레일이 분기되는 분기 구간을 이탈 없이 원활하게 주행할 수 있음은 물론 종전처럼 이재기 등의 주변 장치들 없이도 자체적으로 마스크를 그립핑하여 핸들링할 수 있어 마스크 공급 효율을 종래보다 월등히 향상시킬 수 있다.According to the present invention, it is possible to economize the space in the clean room and to simplify the layout around the evaporator port by supplying the mask by utilizing the large space existing in the upper area of the evaporator port in the clean room, In particular, it is possible to smoothly run the branch section where the running rail is branched, including the straight rail and the curved rail, as well as to grip the mask itself without peripheral devices such as a transfer device, Can be significantly improved.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 공급시스템의 평면 구조도이다.
도 2는 도 1을 측면에서 바라본 상태의 도면이다.
도 3은 도 1의 요부 확대도이다.
도 4는 도 3의 사시도이다.
도 5는 마스크가 마스크 공급용 셔틀의 하부에 배치된 상태의 사시도이다.
도 6은 도 5의 배면 사시도이다.
도 7은 마스크 핸들링 유닛의 사시도이다.
도 8은 주행 유닛의 배치 사시도이다.
도 9는 도 8의 요부 확대도이다.
도 10은 마스크 공급용 셔틀이 주행되는 과정을 도시한 평면 구조도이다.
도 11은 도 10의 사시도이다.
도 12는 도 11에서 캐비닛을 제거한 상태의 사시도이다.
도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 공급시스템의 제어블록도이다.1 is a plan structural view of a mask supply system according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a view of the state in which Fig. 1 is viewed from the side.
3 is an enlarged view of the main part of Fig.
4 is a perspective view of FIG.
5 is a perspective view showing a state in which the mask is disposed below the shuttle for supplying the mask.
Fig. 6 is a rear perspective view of Fig. 5. Fig.
7 is a perspective view of the mask handling unit.
8 is a perspective view showing the arrangement of the driving unit.
9 is an enlarged view of the main part of Fig.
10 is a plan view showing a process of moving the shuttle for supplying a mask.
11 is a perspective view of Fig.
12 is a perspective view of the cabinet removed in Fig.
13 is a control block diagram of a mask supply system according to an embodiment of the present invention.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, operational advantages of the present invention, and objects achieved by the practice of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings and the accompanying drawings which illustrate preferred embodiments of the present invention.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Like reference symbols in the drawings denote like elements.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 공급시스템의 평면 구조도, 도 2는 도 1을 측면에서 바라본 상태의 도면, 도 3은 도 1의 요부 확대도, 도 4는 도 3의 사시도, 도 5는 마스크가 마스크 공급용 셔틀의 하부에 배치된 상태의 사시도, 도 6은 도 5의 배면 사시도, 도 7은 마스크 핸들링 유닛의 사시도, 도 8은 주행 유닛의 배치 사시도, 도 9는 도 8의 요부 확대도, 도 10은 마스크 공급용 셔틀이 주행되는 과정을 도시한 평면 구조도, 도 11은 도 10의 사시도, 도 12는 도 11에서 캐비닛을 제거한 상태의 사시도, 그리고 도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 공급시스템의 제어블록도이다.FIG. 1 is a plan view of a mask supply system according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a side view of FIG. 1, FIG. 3 is an enlarged view of FIG. 1, Fig. 5 is a perspective view showing a state in which the mask is disposed below the shuttle for supplying the mask, Fig. 6 is a rear perspective view of Fig. 5, Fig. 7 is a perspective view of the mask handling unit, 11 is a perspective view of FIG. 10, FIG. 12 is a perspective view of a state in which the cabinet is removed in FIG. 11, and FIG. 13 is a perspective view of the present invention FIG. 4 is a control block diagram of a mask supply system according to one embodiment of FIG.

이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 마스크 공급시스템은 클린룸(clean room) 내에 마련되는 증착기 포트(1, port, 도 1 참조)의 상부 영역에 배치되는 주행 레일(110)과, 주행 유닛(130)과 마스크 핸들링 유닛(150)을 구비하며, 주행 레일(110)에 주행 가능하게 결합되어 증착기 포트(1) 내로 마스크(5, Mask)를 공급하는 마스크 공급용 셔틀(120)과, 주행 레일(110)에 마련되는 유닛 가이드 모듈(118)을 포함한다.As shown in these drawings, the mask supply system of the present embodiment includes a running rail 110 disposed in an upper area of a deposition port 1 (see FIG. 1) provided in a clean room, A mask supply shuttle 120 that is provided with a mask 130 and a mask handling unit 150 so as to be able to run on the running rail 110 to supply a mask 5 into the deposition port 1, And a unit guide module 118 provided on the rail 110.

본 실시예에서 증착기 포트(1)는 예컨대, 마스크(5)를 통해 유기전계발광표시장치(OLED, Organic Light Emitting Display)의 증착 공정을 진행하는 증착기 포트(1)로 적용되고 있다.In the present embodiment, the deposition port 1 is applied as a deposition port 1 for carrying out a deposition process of an organic light emitting display (OLED) through a mask 5, for example.

하지만, 본 발명의 권리범위가 이에 제한되지 않으며, 증착기 포트(1)는 OLED 외의 평판표시소자, 즉 LCD 및 PDP의 증착 공정을 위한 증착기 포트일 수도 있다.However, the scope of the present invention is not limited thereto, and the deposition port 1 may be a deposition port for a deposition process of a flat panel display device other than an OLED, i.e., an LCD and a PDP.

뿐만 아니라 증착기 포트(1)는 증착기 포트(1) 외에도 마스크(5)가 사용될 수 있는 다양한 종류의 공정 증착기 포트 또는 진공 증착기 포트일 수도 있을 것이다.In addition, the deposition port 1 may be a variety of process deposition ports or vacuum deposition port, in addition to the deposition port 1, in which the mask 5 may be used.

도 2를 참조하면, 증착기 포트(1)의 상부 영역에는 마스크 공급용 셔틀(120)로부터 공급되는 마스크(5)가 로딩되는 마스크 로딩부(2)가 마련된다.Referring to FIG. 2, a mask loading section 2 is provided in an upper region of the evaporator port 1, in which a mask 5 supplied from a mask supply shuttle 120 is loaded.

마스크 로딩부(2)에는 다수의 마스크 적재 슬롯(3)이 형성된다. 따라서 마스크 공급용 셔틀(120)은 증착기 포트(1)의 상부 영역에서 마스크(5)를 이동시켜가면서 해당하는 마스크 로딩부(2)의 마스크 적재 슬롯(3)에 마스크(5)를 적재시킬 수 있고, 반대로 마스크(5)를 취출시킬 수 있다.A plurality of mask loading slots (3) are formed in the mask loading section (2). The mask supply shuttle 120 can move the mask 5 in the upper region of the evaporator port 1 to load the mask 5 into the mask loading slot 3 of the corresponding mask loading section 2. [ On the contrary, the mask 5 can be taken out.

마스크 적재 슬롯(3)의 내부에는 마스크(5)의 하단부를 안정적으로 지지하는 마스크 지지부(4)가 마련된다. 마스크 지지부(4)는 마스크(5)의 하단부가 끼워지는 홈 형태의 구조를 가질 수 있다.Inside the mask mounting slot 3, a mask supporting portion 4 for stably supporting the lower end portion of the mask 5 is provided. The mask supporting portion 4 may have a groove-like structure in which the lower end of the mask 5 is fitted.

한편, 주행 레일(110)은 클린 룸 내에서 증착기 포트(1)의 상부 영역에 배치되는 궤도 레일이다.On the other hand, the running rail 110 is a track rail disposed in the upper region of the evaporator port 1 in the clean room.

종전과 달리 증착기 포트(1)의 상부 영역에 주행 레일(110)을 깔고, 주행 레일(110)을 이용하여 마스크 공급용 셔틀(120)을 이동시켜 가면서 마스크(5)를 공급하는 경우, 클린룸 내의 공간을 경제적으로 활용할 수 있다. 따라서 종래와 달리 증착기 포트(1) 주변의 레이아웃(layout)을 단순화시킬 수 있으며, 이에 따라 자동화 구축이 용이해질 수 있다.When the mask 5 is supplied while the traveling rail 110 is laid on the upper region of the evaporator port 1 and the shuttle 120 for mask supply is moved using the traveling rail 110, It is possible to economically utilize the space inside. Therefore, unlike the conventional art, the layout around the evaporator port 1 can be simplified, and automation construction can be facilitated.

제조사의 실제 생산라인에 따라 클린 룸 내의 증착기 포트(1) 개수, 또는 증착기 포트(1) 위치는 달라질 수 있다. 따라서 주행 레일(110)은 도 1과 같은 형태를 비롯하여 해당 클린 룸의 상황에 맞게 적절하게 설계될 수 있다.Depending on the actual production line of the manufacturer, the number of evaporator ports (1) in the clean room, or the position of the evaporator port (1) may vary. Therefore, the running rail 110 can be appropriately designed according to the situation of the clean room including the shape shown in FIG.

어떠한 형태로 주행 레일(110)이 설치되더라도 주행 레일(110)에는 직선 레일(110a)과 곡선 레일(110b)이 존재할 수 있는데, 본 실시예의 마스크 공급용 셔틀(120)은 아래의 구조적인 특징에 의해 직선 레일(110a)을 비롯하여 곡선 레일(110b)까지도 원활하게 주행할 수 있고 또한 도 10 및 도 11처럼 주행 레일(110)이 분기되는 분기 구간 영역까지도 경로 이탈 없이 원활하게 주행하면서 마스크(5)를 운반 또는 공급할 수 있다.Even if the running rail 110 is installed in any form, the running rail 110 may have a linear rail 110a and a curved rail 110b. The mask supplying shuttle 120 of this embodiment has the following structural features The curved rail 110b as well as the straight rail 110a can smoothly run. Even in the branch section region where the running rail 110 is branched as shown in Figs. 10 and 11, Can be transported or supplied.

주행 레일(110)은 레일 행거(115a,115b)에 의해 지지될 수 있다. 주행 레일(110)은 하부가 막힌 구조를 가지지만 증착기 포트(1)가 위치된 영역의 주행 레일(110)에는 도 6처럼 개구(O, Open)가 형성된다. 개구(O)를 통해 마스크 공급용 셔틀(120) 내의 마스크(5)가 증착기 포트(1)로 공급될 수 있다. 도 1에서는 개구(O)를 X자로 표시하고 있다.The running rail 110 can be supported by the rail hanger 115a, 115b. The running rail 110 has a closed structure at the bottom, but an opening O is formed in the running rail 110 in the region where the evaporator port 1 is located, as shown in FIG. The mask 5 in the shuttle 120 for supplying the mask through the opening O can be supplied to the evaporator port 1. In Fig. 1, the opening O is denoted by X characters.

마스크 공급용 셔틀(120)에 대한 구조 설명에 앞서, 도 10 내지 도 12를 참조하여 유닛 가이드 모듈(118)에 대해 먼저 설명한다.Prior to the description of the structure for the mask supply shuttle 120, the unit guide module 118 will be described first with reference to Figs. 10 to 12. Fig.

유닛 가이드 모듈(118)은 주행 레일(110)이 분기되는 분기 구간에 배치되어 마스크 공급용 셔틀(120)의 주행 유닛(130)을 가이드하는 역할을 한다.The unit guide module 118 is disposed in a branch section where the running rail 110 is branched and serves to guide the driving unit 130 of the mask supply shuttle 120.

보다 잘 나타나 있는 도 12를 주로 참조하면, 본 실시예에서 유닛 가이드 모듈(118)은 분기용 곡선 가이드(118a)와 분기용 직선 가이드(118b)를 포함한다.Referring more particularly to FIG. 12, the unit guide module 118 includes a branching curve guide 118a and a branching linear guide 118b in this embodiment.

분기용 곡선 가이드(118a)는 주행 레일(110)이 분기되는 분기 구간의 일측에 배치되어 마스크 공급용 셔틀(120)의 주행 유닛(130)의 주행 동작을 안내하면서 주행 유닛(130)의 경로 이탈을 저지시키는 역할을 한다.The curved guide 118a for branching is disposed on one side of the branching section where the running rail 110 is branched so as to guide the traveling operation of the traveling unit 130 of the mask supply shuttle 120, .

그리고 분기용 직선 가이드(118b)는 분기 구간을 기준으로 분기용 곡선 가이드(118a)의 반대편 위치에 배치되어 분기용 곡선 가이드(118a)와 함께 주행 유닛(130)의 주행 동작을 안내하면서 주행 유닛(130)의 경로 이탈을 저지시키는 역할을 한다.The straight guide 118b for branching is disposed on the opposite side of the branching curve guide 118a with respect to the branching section and guides the traveling operation of the traveling unit 130 together with the branching curve guide 118a, 130 of the vehicle.

도 12에 도시된 것처럼 분기용 곡선 가이드(118a)와 분기용 직선 가이드(118b)는 주행 레일(110)의 상단부에 덮개 형태로 배치될 수 있는데, 이와 같은 구조의 유닛 가이드 모듈(118)에 의해 분기 구간을 주행하는 마스크 공급용 셔틀(120)의 주행 유닛(130)은 경로 이탈 없이 원활하게 주행할 수 있다.12, the branching curved guide 118a and the branching linear guide 118b can be arranged in a lid shape at the upper end of the running rail 110. By the unit guide module 118 having such a structure, The travel unit 130 of the mask supply shuttle 120 traveling in the branch section can smoothly run without departing from the route.

한편, 마스크 공급용 셔틀(120)은 주행 레일(110)에 주행 가능하게 결합되는 주행 유닛(130)과, 증착기 포트(1) 내로 마스크(5)를 공급하기 위해 마스크(5)를 핸들링하는 마스크 핸들링 유닛(150)을 포함한다.On the other hand, the mask supply shuttle 120 includes a traveling unit 130 that is coupled to the running rail 110 to be able to run, and a mask (not shown) for handling the mask 5 to supply the mask 5 into the evaporator port 1 And a handling unit 150.

주행 유닛(130)은 베이스 플레이트(121)에 의해 지지된다. 베이스 플레이트(121)에는 캐비닛(122)이 결합된다. 캐비닛(122)의 내부에 마스크 핸들링 유닛(150)이 배치된다. 도 5처럼 캐비닛(122)은 그 일측이 개방될 수 있다.The driving unit 130 is supported by the base plate 121. The cabinet 122 is coupled to the base plate 121. A mask handling unit 150 is disposed inside the cabinet 122. As shown in Fig. 5, one side of the cabinet 122 can be opened.

주행 유닛(130)은 도 8에 도시된 바와 같이, 주행 레일(110)의 길이 방향을 따라 상호 이격되게 한 쌍으로 마련된다. 이때, 한 쌍의 주행 유닛(110)은 동일하면서 대칭되는 구조를 갖는다.As shown in FIG. 8, the traveling units 130 are provided in a pair so as to be spaced apart from each other along the longitudinal direction of the traveling rail 110. At this time, the pair of the traveling units 110 have the same but symmetrical structure.

이러한 주행 유닛(130)은 도 9에 도시된 바와 같이, 유닛 프레임(131), 유닛 프레임(131)의 양측에 회전 가능하게 배치되어 주행 레일(110)을 따라 주행되는 한 쌍의 주행 휠(132), 유닛 프레임(131)에 마련되어 주행 휠(132)의 구동을 위한 동력을 제공하는 휠 모터(133), 유닛 프레임(131)의 일측에 마련되며, 비접촉식 방식으로 전원을 인가받아 휠 모터(133)로 전원을 공급하는 비접촉식 전원 공급부(134)를 포함한다.9, the traveling unit 130 includes a unit frame 131, a pair of traveling wheels 132 that are rotatably disposed on both sides of the unit frame 131 and travel along the traveling rail 110, A wheel motor 133 provided on the unit frame 131 for providing power for driving the traveling wheel 132 and a wheel motor 133 provided on one side of the unit frame 131 and powered by a non- And a non-contact power supply unit 134 for supplying power to the non-contact power supply unit 134.

유닛 프레임(131)은 외관 골조를 형성하는 부분으로서 주행 유닛(130)을 구성하는 대다수의 부품들이 장착되는 장소를 이룬다.The unit frame 131 constitutes a place where a large number of components constituting the traveling unit 130 are mounted as a part forming the outer frame.

주행 휠(132)은 유닛 프레임(131)의 양측에 하나씩 배치되어 주행 레일(110)을 따라 주행된다. 주행 휠(132)은 수직 휠로 적용될 수 있다.One of the traveling wheels 132 is disposed on both sides of the unit frame 131 and travels along the traveling rail 110. The traveling wheel 132 may be applied as a vertical wheel.

이러한 주행 휠(132)은 내측 휠(132a)과 외측 휠(132b)을 포함할 수 있다. 본 실시예에서 내측 휠(132a)과 외측 휠(132b)은 도시 않은 차동기어부에 의해 그 회전속도가 상대적으로 조절될 수 있다.The traveling wheel 132 may include an inner wheel 132a and an outer wheel 132b. In this embodiment, the rotation speed of the inner wheel 132a and the outer wheel 132b can be relatively adjusted by a differential synchronizer (not shown).

참고로, 차동기어부는 태양기어와 다수의 유성기어의 조합으로 된 기어장치로서, 태양기어와 유성기어 간의 기어비로 인해 내측 휠(132a)과 외측 휠(132b)의 회전속도가 달라질 수 있도록 한다. 이러한 차동기어부(193)는 마스크 공급용 셔틀(120)이 주행 레일(110)의 곡선 레일(110b)을 따라 주행할 때 제어부에 의해 제어될 수 있다.For reference, the differential gear portion is a gear device composed of a combination of a sun gear and a plurality of planetary gears, so that the rotational speeds of the inner wheel 132a and the outer wheel 132b can be changed due to the gear ratio between the sun gear and the planetary gear. This differential synchronizer 193 can be controlled by the control unit when the mask supply shuttle 120 travels along the curved rail 110b of the running rail 110. [

즉 제어부는 마스크 공급용 셔틀(120)이 주행 레일(110)의 곡선 레일(110b)을 따라 주행할 때, 내측 휠(132a)의 속도보다 외측 휠(132b)의 속도가 더 빠르도록 차동기어부의 동작을 제어할 수 있다.That is, when the mask supply shuttle 120 travels along the curved rail 110b of the travel rail 110, the control unit controls the speed of the outer wheel 132b so that the speed of the outer wheel 132b is faster than the speed of the inner wheel 132a. Can be controlled.

이와 같은 구성으로 인해, 마스크 공급용 셔틀(120)이 주행 레일(110)의 곡선 레일(110b)을 따라 주행할 때, 마스크 공급용 셔틀(120)의 한쪽 휠을 주행 레일(110)에서 들어 올려야 하거나, 혹은 주행 레일(110)의 곡선 레일(110b)에 이중 레일(미도시)을 깔고 마스크 공급용 셔틀(120)의 구동축에 4개의 휠을 적용하여 각각 직선 레일 구동용 휠과 곡선 레일 구동용 휠로 구분하여 사용해야 하는 등 종래의 다양한 문제점을 해소할 수 있게 된다.With this configuration, when the mask supply shuttle 120 travels along the curved rail 110b of the travel rail 110, one wheel of the mask supply shuttle 120 is lifted from the travel rail 110 Alternatively, a dual rail (not shown) may be laid on the curved rail 110b of the driving rail 110 and four wheels may be applied to the driving shaft of the mask supply shuttle 120 to drive the linear rail driving wheel and the curved rail driving So that it is possible to solve various problems in the related art.

휠 모터(133) 유닛 프레임(131)에 마련되어 주행 휠(132)의 구동을 위한 동력을 제공한다. 이때의 동력은 비접촉식 방식으로 전원을 인가받아 휠 모터(133)로 전달된다.The wheel motor 133 is provided on the unit frame 131 to provide power for driving the traveling wheel 132. At this time, the power is transmitted to the wheel motor 133 in a non-contact manner.

비접촉식 전원 공급부(134)는 비접촉식 방식으로 전원을 인가받아 휠 모터(133)로 전원을 공급하는 역할을 한다.The non-contact power supply unit 134 receives power from a non-contact type power supply unit and supplies power to the wheel motor 133.

비접촉식 전원 공급부(134)에 대해 도 9 및 도 13을 참조하여 설명한다. 비접촉식 전원 공급부(134)는, 주행 레일(110)을 따라 길게 마련되는 유도 레일(134a)과, 유도 레일(134a)과 접촉되지 않은 상태에서 유도 레일(134a)에 인접하게 배치되도록 주행 유닛(150)에 마련되고 전자유도법칙에 의해 비접촉 상태에서 일정한 전류를 인가받아 휠 모터(133)로 전원을 공급하는 픽업 유닛(134b)을 구비한다.The non-contact power supply 134 will be described with reference to Figs. 9 and 13. Fig. The non-contact type power supply unit 134 includes an induction rail 134a provided along the traveling rail 110 and a driving unit 150a disposed adjacent to the induction rail 134a without being in contact with the induction rail 134a. And a pick-up unit 134b which is provided in the vehicle and receives a constant current in a non-contact state by an electromagnetic induction law and supplies power to the wheel motor 133. [

이에, 유도 레일(134a)에 고주파 교류전원이 인가되면 전자유도법칙에 의해 유도 레일(134a)에 인접된 픽업 유닛(134b)으로 기전력이 생성될 수 있으며, 이러한 기전력은 휠 모터(133)의 동작을 위한 동력원으로 사용될 수 있다.When the high frequency AC power is applied to the induction rail 134a, an electromotive force can be generated by the pickup unit 134b adjacent to the induction rail 134a by the electromagnetic induction law. The electromotive force is generated by the operation of the wheel motor 133 Can be used as a power source.

실시예이기는 하지만 비접촉식 전원 공급부(134)는 도 13에 도시된 바와 같이, 픽업 유닛(134b)으로부터의 전압(기전력)을 인가받는 레귤레이터(134c, REGULATOR)와, 레귤레이터(134c)와 연결되며 휠 모터(133)로 전압을 분배하는 분배회로(134e)를 구비한 파워 서플라이(134d, POWER SUPPLY)를 더 구비할 수 있다.13, the non-contact type power supply unit 134 includes a regulator 134c (REGULATOR) receiving a voltage (electromotive force) from the pickup unit 134b, a regulator 134b connected to the regulator 134c, And a power supply 134d (POWER SUPPLY) having a distribution circuit 134e for distributing the voltage to the power supply 133.

이러한 구조에 의해 예컨대, 유도 레일(134a)과 인접된 픽업 유닛(134b)으로부터의 전압(기전력)을 인가받는 레귤레이터(134c)가 DC 300V의 전압을 파워 서플라이(134d)로 인가하면, 파워 서플라이(134d)의 분배회로(134e)는 이 전압을 예컨대, DC 12V, DC 24V, DC 48V 등으로 분배하여 휠 모터(133)로 제공할 수 있다.With this structure, when the regulator 134c receiving the voltage (electromotive force) from the pickup unit 134b adjacent to the induction rail 134a applies a DC 300V voltage to the power supply 134d, the power supply The distributing circuit 134e of the distributing circuit 134d distributes the voltage to, for example, DC 12V, DC 24V, DC 48V or the like and supplies it to the wheel motor 133.

본 실시예처럼 만약, 파워 서플라이(134d)에 분배회로(134e)를 일체로 마련하고, 레귤레이터(134c)로부터의 전압을 파워 서플라이(134d)가 인가받도록 도 13과 같이 구현하는 경우, 구현이 간단할 뿐만 아니라 유지보수가 용이하고, 제어가 상대적으로 쉬워지며, 특히 비접촉 방식에 의한 전원을 안정적으로 또한 안전하게 공급할 수 있는 이점이 있다.As in the present embodiment, if the distribution circuit 134e is integrally provided in the power supply 134d and the voltage from the regulator 134c is implemented as shown in Fig. 13 so as to be supplied with the power supply 134d, In addition, there is an advantage in that the maintenance is easy, the control becomes relatively easy, and in particular, the power supply by the non-contact method can be stably and safely supplied.

본 실시예의 주행 유닛(130)에는 도 9에 도시된 바와 같이, 유닛 프레임(131)의 중앙 영역에 결합되어 유닛 프레임(131)을 조향시키는 조향 휠(135)과, 주행 휠(132)에 이웃하게 배치되어 주행 레일(110) 상에서 가이드되는 다수의 가이드 휠(136)이 더 마련된다. 가이드 휠(136)은 주행 휠(132)과 다르게 수평 휠일 수 있다.9, the driving unit 130 of the present embodiment includes a steering wheel 135 coupled to a central area of the unit frame 131 to steer the unit frame 131, And a plurality of guide wheels 136 guided on the running rail 110 are further provided. The guide wheel 136 may be a horizontal wheel different from the traveling wheel 132. [

한편, 마스크 핸들링 유닛(150)은 증착기 포트(1) 내로 마스크(5)를 공급하기 위해 마스크(5)를 핸들링하는 장치로서, 마스크 공급용 셔틀(120)에 마련된다.On the other hand, the mask handling unit 150 is an apparatus for handling the mask 5 to supply the mask 5 into the evaporator port 1, and is provided in the mask supply shuttle 120.

본 실시예처럼 마스크 핸들링 유닛(150)이 마스크 공급용 셔틀(120)에 마련되는 경우, 마스크(1)를 그립핑(gripping)하여 공급하고자 할 때 종전처럼 외부의 이재기 도움을 받아야 하는 등 마스크(1)의 공급 효율이 저하되는 문제를 효과적으로 해결할 수 있다.When the mask handling unit 150 is provided in the mask supply shuttle 120 as in the present embodiment, when the mask 1 is to be gripped and supplied, 1 can be effectively solved.

이러한 역할을 담당하는 마스크 핸들링 유닛(150)은, 도 5 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 캐비닛(122) 내의 상부 영역에 결합되며, 상하 방향을 따라 배치되는 호이스트 벨트(161, hoist belt)를 구비하는 호이스트 모듈(160, hoist module)과, 호이스트 벨트(161)에 연결되며, 마스크(5)를 그립핑하는 마스크 그립핑 모듈(170)을 포함한다.5 to 7, the mask handling unit 150, which is responsible for this role, is coupled to the upper region of the cabinet 122 and includes a hoist belt 161 disposed along the vertical direction And a mask gripping module 170 connected to the hoist belt 161 and gripping the mask 5. The mask gripping module 170 is provided with a hoist module 160,

호이스트 모듈(160)은 캐비닛(122)에 결합되는 모듈 바디(162)와, 모듈 바디(162)에 마련되며, 호이스트 벨트(161)를 권취 또는 권취 해제시키는 권취 드럼(163)과, 권취 드럼(163)을 구동시키는 드럼 구동부(164)를 포함한다. 이에, 드럼 구동부(164)가 동작되어 권취 드럼(163) 상의 호이스트 벨트(161)를 풀면 도 6처럼 마스크 그립핑 모듈(170)에 그립핑된 마스크(5)가 캐비닛(122)의 하부 영역으로 이동될 수 있다.The hoist module 160 includes a module body 162 coupled to the cabinet 122 and a take-up drum 163 provided on the module body 162 for winding or uncoiling the hoist belt 161, And a drum driving part 164 for driving the drum driving part 163. When the drum driving part 164 is operated to release the hoist belt 161 on the winding drum 163, the mask 5 gripped by the mask gripping module 170 as shown in FIG. 6 is moved to the lower area of the cabinet 122 Can be moved.

마스크 그립핑 모듈(170)은 상호간 접근 또는 이격되면서 집게 방식으로 마스크(5)를 그립핑하며, 마스크(5)의 가로 방향을 따라 이격 배치되는 다수의 집게형 그립퍼(171)와, 다수의 집게형 그립퍼(171)를 연결하는 그립퍼 연결부(172)를 포함한다. 집게형 그립퍼(171)에는 그립핑 바아(173)가 마련되며, 그립핑 바아(173)는 마스크(5)의 코너 영역에 형성되는 통공(5a)으로 삽입됨으로써 마스크(5)를 그립핑한다.The mask gripping module 170 includes a plurality of gripper-type grippers 171 that grip the mask 5 in a clamping manner while being spaced apart from each other or spaced apart from each other along the transverse direction of the mask 5, And a gripper connection portion 172 for connecting the gripper 171. A gripping bar 173 is provided on the gripper type gripper 171 and the gripping bar 173 grips the mask 5 by being inserted into a through hole 5a formed in the corner area of the mask 5.

이러한 구성에 의해, 마스크 공급용 셔틀(120)에 마련되는 마스크 핸들링 유닛(150)의 마스크 그립핑 모듈(170)이 마스크(5)를 그립핑한 상태에서 마스크 공급용 셔틀(120)이 주행 유닛(130)을 통해 주행 레일(110)을 따라 이동된 후, 해당 증착기 포트(1)의 상부에 도달되어 호이스트 모듈(160)과 마스크 그립핑 모듈(170)의 동작으로 도 2처럼 마스크 로딩부(2)의 마스크 적재 슬롯(3)으로 마스크(5)를 공급할 수 있다.With this configuration, when the mask gripping module 170 of the mask handling unit 150 provided in the mask supply shuttle 120 grips the mask 5 and the mask supply shuttle 120 is operated by the driving unit The mask lifting unit 130 is moved along the traveling rail 110 and reaches the upper portion of the evaporator port 1 so that the mask loading unit 170 is moved by the operation of the hoist module 160 and the mask gripping module 170 2 can be supplied with the mask 5 into the mask loading slot 3.

이와 같은 구조와 동작을 갖는 본 실시예의 마스크 공급시스템에 의하면, 클린룸 내에서 증착기 포트(1)의 상부 영역에 존재하는 넓은 공간을 활용하여 마스크(5)를 공급함으로써 클린룸 내의 공간의 경제적으로 활용할 수 있고 증착기 포트(1) 주변의 레이아웃(layout)을 단순화시킬 수 있으며, 무엇보다도 직선 레일(110a)과 곡선 레일(110b)을 비롯하여 주행 레일(110)이 분기되는 분기 구간을 이탈 없이 원활하게 주행할 수 있음은 물론 종전처럼 이재기 등의 주변 장치들 없이도 자체적으로 마스크(5)를 그립핑하여 핸들링할 수 있어 마스크 공급 효율을 종래보다 월등히 향상시킬 수 있게 된다.According to the mask supply system of this embodiment having such a structure and operation, by supplying the mask 5 utilizing the large space existing in the upper region of the evaporator port 1 in the clean room, the space in the clean room can be economically It is possible to simplify the layout of the vicinity of the evaporator port 1 and to smoothly move the branching section in which the running rail 110 is branched including the straight rail 110a and the curved rail 110b The mask 5 can be gripped and handled by itself without peripheral devices such as a transfer device as in the past, so that the mask supply efficiency can be significantly improved as compared with the prior art.

이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. Accordingly, such modifications or variations are intended to fall within the scope of the appended claims.

1 : 증착기 포트 5 : 마스크
110 : 주행 레일 110a : 직선 레일
110b : 곡선 레일 115a,115b : 레일 행거
118 : 유닛 가이드 모듈 118a : 분기용 곡선 가이드
118b : 분기용 직선 가이드 120 : 마스크 공급용 셔틀
121 : 베이스 플레이트 122 : 캐비닛
130 : 주행 유닛 131 : 유닛 프레임
132 : 주행 휠 133 : 휠 모터
134 : 비접촉식 전원 공급부 135 : 조향 휠
136 : 가이드 휠 150 : 마스크 핸들링 유닛
160 : 호이스트 모듈 161 : 호이스트 벨트
162 : 모듈 바디 163 : 권취 드럼
164 : 드럼 구동부 170 : 마스크 그립핑 모듈
171 : 집게형 그립퍼 172 : 그립퍼 연결부
173 : 그립핑 바아1: evaporator port 5: mask
110: running rail 110a: straight rail
110b: Curved rails 115a, 115b: Rail hanger
118: Unit guide module 118a: Curved guide for branching
118b: straight guide for branch 120: shuttle for mask supply
121: base plate 122: cabinet
130: driving unit 131: unit frame
132: traveling wheel 133: wheel motor
134: non-contact power supply 135: steering wheel
136: Guide wheel 150: Mask handling unit
160: hoist module 161: hoist belt
162: module body 163: winding drum
164: drum driving unit 170: mask gripping module
171: forceps gripper 172: gripper connection
173: gripping bar

Claims

A running rail having straight rails and curved rails and supported by a rail hanger in an upper region of the evaporator port provided in a clean room;
A traveling unit which is coupled to the traveling rail so as to be able to travel, and a mask handling unit which handles the mask to supply a mask into the deposition port; And
And a unit guide module disposed in a branch section where the linear rail and the curved rail are branched, for guiding a traveling unit of the mask supply shuttle,
The unit guide module includes:
A branching curve guide disposed at one side of the branching section for guiding a traveling operation of the traveling unit to stop the departure of the traveling path of the traveling unit; And
And a branching linear guide disposed at a position opposite to the branching curved guide on the basis of the branching section for guiding the traveling operation of the traveling unit together with the curving guide for branching to block the departure of the traveling path of the traveling unit Characterized in that the mask supply system

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The method according to claim 1,
Wherein the branching curved guide and the branching linear guide are disposed in the form of a lid on the upper end of the running rail.

The method according to claim 1,
In the mask supply shuttle,
A base plate connected to the driving unit to support the driving unit; And
Further comprising a cabinet coupled to the base plate and coupled to the mask handling unit therein.

6. The method of claim 5,
Wherein the mask handling unit comprises:
A hoist module coupled to an upper region within the cabinet and having a hoist belt disposed along a vertical direction; And
And a mask gripping module coupled to the hoist belt for gripping the mask.

The method according to claim 6,
The hoist module comprises:
A module body coupled to the cabinet;
A winding drum provided on the module body for winding or unwinding the hoist belt; And
And a drum driving unit for driving the winding drum.

The method according to claim 6,
Wherein the mask gripping module comprises:
A plurality of gripper-type grippers gripping the mask in a clamping manner with mutual approach or spacing, and spaced apart along the lateral direction of the mask; And
And a gripper connection for connecting the plurality of gripper-type grippers.

The method according to claim 1,
The driving unit includes:
Unit frame;
A pair of traveling wheels rotatably disposed on both sides of the unit frame and traveling along the traveling rail;
A wheel motor provided in the unit frame to provide power for driving the traveling wheel; And
And a non-contact type power supply unit which is provided at one side of the unit frame and supplies power to the wheel motor in a non-contact manner.

10. The method of claim 9,
Wherein the pair of traveling wheels includes an inner wheel and an outer wheel,
The driving unit includes:
A differential locker for relatively adjusting a rotation speed between the inner wheel and the outer wheel; And
Further comprising a control unit for controlling the operation of the differential synchronizing unit.

11. The method of claim 10,
Wherein the control unit controls the operation of the differential locker so that the speed of the outer wheel is faster than the speed of the inner wheel when the shuttle for mask supply runs on the curved rail of the running rail. Supply system.

10. The method of claim 9,
The driving unit includes:
And a steering wheel coupled to a central area of the unit frame to steer the driving unit.

10. The method of claim 9,
The driving unit includes:
Further comprising: a plurality of guide wheels disposed adjacent to the traveling wheels and guided on the traveling rails.

The method according to claim 1,
The traveling unit is provided in a pair so as to be spaced apart from each other along the longitudinal direction of the traveling rail,
Wherein the pair of the traveling units have the same but symmetrical structure.

The method according to claim 1,
The deposition port is a deposition port for depositing an organic light emitting display (OLED) through the mask,
And a mask loading part is provided in an upper area of the deposition port to load the mask supplied from the mask supply shuttle.