KR101395033B1 - Granite plate of assembling structure and xy stage using the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 조립식 구조의 석정반 및 이를 이용한 XY 스테이지에 관한 것으로, 보다 상세하게는 분리형 또는 조립 구조의 석정반(Granite Plate)을 이용하여 대형화 추세의 디스플레이 패널에 대응할 수 있고 제작성이 용이하고 원가절감을 가져올 수 있는 XY 스테이지에 관한 것이다.
본 발명에 따른 XY 스테이지에 적용되는 조립식 구조의 석정반은, 수평면과 수직면을 갖는 단면이 'L'자 형상이며, 서로 소정 거리로 이격되며, 상기 수직면 상단으로는 X축 방향으로 직선이동이 가능하도록 하는 가이드 레일이 형성되는 한 쌍의 가이드 석정반과; 상기 한 쌍의 가이드 석정반의 수평면에 양단이 놓여져 상기 한 쌍의 가이드 석정반과 직각 방향으로 조립되며, 양단의 수직면 각각은 상기 한 쌍의 가이드 석정반의 수직면과 맞닿도록 배치되고, 서로 수평하게 이격 배열되며 검사 대상물이 놓여지는 제1 및 제2 스테이지 석정반;으로 이루어지는 것을 특징으로 한다. More particularly, the present invention relates to an XY stage using a granite plate of a detachable structure or a granular structure of a granular structure, Quot; XY stage "
The stone stone tablet of the prefabricated structure applied to the XY stage according to the present invention has an L shape in cross section having a horizontal plane and a vertical plane and is spaced apart from each other by a predetermined distance and is linearly movable in the X axis direction A pair of guide stones having a guide rail formed therein; Wherein both ends of the guide stone are placed on a horizontal plane of the pair of guide stone quartz plates and assembled in a direction perpendicular to the pair of guide stone quartz halves and each of the vertical sides at both ends is disposed to be in contact with a vertical plane of the pair of guide stone quartz plates, And a first and a second stage stone reclaiming unit on which an object to be inspected is placed.

Description

조립식 구조의 석정반 및 이를 이용한 ＸＹ 스테이지{GRANITE PLATE OF ASSEMBLING STRUCTURE AND XY STAGE USING THE SAME} BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to an XY stage,

본 발명은 조립식 구조의 석정반 및 이를 이용한 XY 스테이지에 관한 것으로, 보다 상세하게는 분리형 또는 조립 구조의 석정반(Granite Plate)을 이용하여 대형화 추세의 디스플레이 패널에 대응할 수 있고 제작성이 용이하고 원가절감을 가져올 수 있는 XY 스테이지에 관한 것이다.
More particularly, the present invention relates to an XY stage using a granite plate of a detachable structure or a granular structure of a granular structure, Quot; XY stage "

일반적으로, 인라인 검사장비(In-Line FPD Automatic Optical Inspection)인 XY 스테이지는 스테이지면 상에 TFT LCD 패널이나 PDP, 컬러필터 등의 디스플레이 패널인 검사 대상물을 올려놓은 후, 이 검사 대상물에 대해 X축, Y축 방향으로 광학렌즈와 CCD 카메라 등의 검사수단을 이동시켜 검사 대상물의 이미지를 캡쳐한 후, 비젼 이미지 프로세싱 알고리즘을 적용하여 사용자가 찾아내고자 하는 각종 결함을 검출해 내는 장비이다.In general, an X-Y stage, which is an in-line FPD automatic optical inspection apparatus, places an inspection object such as a TFT LCD panel, a PDP, or a color filter on a stage surface, , An inspection device such as an optical lens and a CCD camera is moved in the Y-axis direction to capture an image of the object to be inspected, and a vision image processing algorithm is applied to detect various defects that the user desires to find.

검사수단은 리니어 모터 가동자와 고정자의 자기적 상호 작용에 의해 X축, Y축 방향으로 이동되며, 스테이지면에 대해 X축 방향으로 직선 이동하는 X축 이동체에 양단이 Y축 방향으로 직교하도록 가로질러 설치된 크로스 빔에 대해 Y축 방향으로 직선 이동 가능하도록 설치된다.The inspection means is moved in the X and Y axis directions by the magnetic interaction between the linear motor mover and the stator, and the X axis moving body linearly moves in the X axis direction with respect to the stage surface. Axis direction with respect to the cross beams installed in the Y-axis direction.

스테이지는 석정반(Granite Plate)이라 불리는 화강암 재질의 정반을 사용하게 된다.The stage uses a granite plate called Granite Plate.

일반적으로 석정반은 정밀 스테이지를 구현하고 평행도 확보와 구조적 변형이 없도록 일체형의 정반을 가공하여 제작하게 되는 데 이는 원석을 가공하여 제작하게 된다.Generally, the stone quartz is manufactured by machining a single stage of a plate to realize a precise stage and to ensure parallelism and structural deformation.

하지만, 검사 대상물이 비교적 작은 경우에는 일체형의 석정반을 제작하여 XY 스테이지를 제작하는 데 큰 문제가 없지만, 디스플레이 패널의 대형화 추세에 따라 XY 스테이지도 대형화됨에 따라 석정반의 크기도 대형화되고 이를 원석으로 제작하여 만든 장비는 원가 경쟁력, 대형의 원석 가공 및 이를 운반하는 데 있어서의 운송비용 등 전체적으로 문제가 발생하게 된다.However, when the objects to be inspected are relatively small, there is no great problem in manufacturing the integrated XY stage by manufacturing the integrated XY stage, but as the size of the XY stage is increased as the display panel becomes larger, the size of the window is enlarged, The equipment made by this system will have problems in terms of cost competitiveness, large-sized stone processing and transportation cost in transportation of the equipment.

이러한 문제들을 해결하기 위해 일체형 구조의 석정반을 대신하여 조립식 또는 분리형의 석정반이 개발되어 사용되고 있다.In order to solve these problems, prefabricated or detached stone columns have been developed and used instead of integrated stone columns.

하지만, 종래의 조립 구조의 석정반은 X축 방향의 직선이동이 가능하도록 하는 양쪽 가이드가 강성을 가져야 하기 때문에 단면 계수를 높이기 위해 그 높이가 높아져야 하는 문제가 있고, 또한 석정반이 중국에서 제조되어 수입되는 현 상황에서 국내로 입고하여 세팅할 경우 양쪽 가이드가 비틀림 현상이 발생하는 문제가 생기며, 제작성이 난해하다.
However, since the stone stones of the conventional assembled structure are required to have rigidity in both guides for allowing linear movement in the X-axis direction, there is a problem that the height of stones must be increased in order to increase the section modulus. In the current situation of importing, when both the guides are settled in Korea, there is a problem that the guide is twisted and it is difficult to write.

상술한 종래의 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 과제는, 원가절감을 가져올 수 있는 조립식 구조의 석정반 및 이를 이용한 XY 스테이지를 제공하고자 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems occurring in the prior art, and it is an object of the present invention to provide a pre-fabricated stone stove which can reduce cost and an XY stage using the same.

또한, 제작성이 용이하고 구조적 변형이 없는 조립식 구조의 석정반 및 이를 이용한 XY 스테이지를 제공하고자 한다.Also, it is intended to provide a preformed stone column and an XY stage using the preformed stone structure which is easy to make and has no structural deformation.

또한, 석정반 양측 X축 방향 직선이동 가이드의 평행도가 확보될 수 있는 조립식 구조의 석정반 및 이를 이용한 XY 스테이지를 제공하고자 한다.The present invention also provides an XY stage having a prefabricated structure capable of securing a parallelism of the linear movement guides in the X and Y directions on both sides of the stone quadrangle, and an XY stage using the same.

또한, 대형화 추세의 디스플레이 패널에 따른 고객의 요구사양(사이즈)에 능동적으로 대처할 수 있는 조립식 구조의 석정반 및 이를 이용한 XY 스테이지를 제공하고자 한다.
Also, it is intended to provide a prefabricated stoneware panel that can actively cope with a customer's requirement (size) according to a display panel of a large-sized trend, and an XY stage using the same.

상술한 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 XY 스테이지에 적용되는 조립식 구조의 석정반은, 수평면과 수직면을 갖는 단면이 'L'자 형상이며, 서로 소정 거리로 이격되며, 상기 수직면 상단으로는 X축 방향으로 직선이동이 가능하도록 하는 가이드 레일이 형성되는 한 쌍의 가이드 석정반과; 상기 한 쌍의 가이드 석정반의 수평면에 양단이 놓여져 상기 한 쌍의 가이드 석정반과 직각 방향으로 조립되며, 양단의 수직면 각각은 상기 한 쌍의 가이드 석정반의 수직면과 맞닿도록 배치되고, 서로 수평하게 이격 배열되며 검사 대상물이 놓여지는 제1 및 제2 스테이지 석정반;으로 이루어지는 것을 특징으로 한다. In order to solve the above-mentioned problems, the stone quartz panel of the prefabricated structure applied to the XY stage according to the present invention has an L-shaped cross section having a horizontal plane and a vertical plane, being spaced apart from each other by a predetermined distance, A pair of guide stones for forming a guide rail for allowing linear movement in the axial direction; Wherein both ends of the guide stone are placed on a horizontal plane of the pair of guide stone quartz plates and assembled in a direction perpendicular to the pair of guide stone quartz halves and each of the vertical sides at both ends is disposed to be in contact with a vertical plane of the pair of guide stone quartz plates, And a first and a second stage stone reclaiming unit on which an object to be inspected is placed.

여기서, 상기 한 쌍의 가이드 석정반의 수평면과 수직면이 만나는 부분은 소정의 반경으로 라운딩되고, 상기 제1 및 제2 스테이지 석정반의 하단부 양단은 소정 크기의 모따기로 가공되며, 상기 라운딩 부분에 대응되는 위치에 상기 모따기 부분이 위치되도록 구현되는 것이 바람직하다.In this case, a portion of the pair of guide stone crystals where the horizontal plane and the vertical plane meet is rounded by a predetermined radius, both ends of the lower end of the first and second stone stone pots are machined to have a predetermined size, So that the chamfered portion is located at a predetermined position.

여기서, 상기 한 쌍의 가이드 석정반과 상기 제1 및 제2 스테이지 석정반은 화강암을 가공하여 형성될 수 있다.Here, the pair of guide stone mills and the first and second stage stone mills may be formed by processing granite.

여기서, 상기 한 쌍의 가이드 석정반 하부로는 하부의 강성을 보강하기 위해 하부 보강용 석정반이 더 조립될 수 있다.Here, the lower stone reinforcement stone may be further assembled to reinforce the lower stiffness of the pair of guide stone stone bottoms.

또한, 본 발명에 따른 조립식 구조의 석정반을 이용한 XY 스테이지는, 수평면과 수직면을 갖는 단면이 'L'자 형상이며, 서로 소정 거리로 이격되며, 상기 수직면 상단으로는 X축 방향으로 직선이동이 가능하도록 하는 가이드 레일이 형성되는 한 쌍의 가이드 석정반과; 상기 한 쌍의 가이드 석정반의 수평면에 양단이 놓여져 상기 한 쌍의 가이드 석정반과 직각 방향으로 조립되며, 양단의 수직면 각각은 상기 한 쌍의 가이드 석정반의 수직면과 맞닿도록 배치되고, 서로 수평하게 이격 배열되며 검사 대상물이 놓여지는 제1 및 제2 스테이지 석정반과; 상기 한 쌍의 가이드 석정반의 양측에 상기 제1 및 제2 스테이지 석정반과 평행하게 X축 방향으로 이동 가능하게 결합된 한 쌍의 X축 이송체와; 상기 한 쌍의 X축 이송체의 상면에 양단이 상기 Y축 이송체의 이송방향과 직교하도록 결합되는 크로스 빔과; 상기 크로스 빔에 상기 X축 이송체의 이송 방향과 직교하는 방향의 Y축 방향으로 이송되도록 결합되며, 검사수단이 조립되는 Y축 이송체;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.In addition, the XY stage using the preformed stone stone according to the present invention has an L-shaped cross section having a horizontal plane and a vertical plane, being spaced apart from each other by a predetermined distance, and a linear movement in the X- A guide rail for guiding the guide rail; Wherein both ends of the guide stone are placed on a horizontal plane of the pair of guide stone quartz plates and assembled in a direction perpendicular to the pair of guide stone quartz halves and each of the vertical sides at both ends is disposed to be in contact with a vertical plane of the pair of guide stone quartz plates, A first and second stage stone bed part in which an object to be inspected is placed; A pair of X-axis conveying bodies which are coupled to both sides of the pair of guide stone removing units so as to be movable in the X-axis direction in parallel with the first and second stage stone polishing slabs; A cross beam coupled to an upper surface of the pair of X-axis transfer bodies so that both ends thereof are orthogonal to a transfer direction of the Y-axis transfer body; And a Y-axis conveying body coupled to the cross beam to be conveyed in the Y-axis direction perpendicular to the conveying direction of the X-axis conveying body and to which inspection means is assembled.

여기서, 상기 한 쌍의 가이드 석정반의 양단 하단부에는 진동방지를 위해 위치되는 아이솔레이터(Isolator)와; 상기 아이솔레이터(Isolator)를 서포터하기 위한 제진 마운트와; 상기 제진 마운트간의 연결과 작업장 바닥면에 위치되어 장비의 기초가 되는 베이스 프레임;을 더 포함하여 이루어질 수 있다.An isolator disposed at both ends of the pair of guide stone removal bases for preventing vibration; A vibration damping mount for supporting the isolator; And a base frame, which is located on the floor of the worksite and serves as a foundation of the equipment, between the vibration isolation mounts.

여기서, 상기 조립식 구조의 석정반을 이용한 XY 스테이지는 XY 겐트리(Gantry) 스테이지, XY 테이블(Table) 스테이지, XY 브릿지(Bridge) 스테이지 또는 XY 스택(Stack) 타입 스테이지 중 어느 하나일 수 있다.
Here, the XY stage using the precious stone stone of the prefabricated structure may be any one of an XY gantry stage, an XY table stage, an XY bridge stage, and an XY stack type stage.

상술한 본 발명의 구성에 따르면, 원가절감이 가능하고, 제작성이 용이하며 구조적 변형이 없고, X축 방향 직선이동 가이드의 평행도가 확보되어 장비의 품질을 높이며, 고객의 요구사양(사이즈)에 능동적으로 대처할 수 있는 조립식 구조의 석정반 및 이를 이용한 XY 스테이지를 제공할 수 있게 된다.
According to the structure of the present invention described above, it is possible to reduce the cost, to make it easy to produce, to have no structural deformation, to secure the parallelism of the X-axis direction linear movement guide to enhance the quality of the equipment, It is possible to provide a pre-assembled stoneware panel and an XY stage using the same.

도 1은 본 발명에 따른 조립식 구조의 석정반 및 이를 이용한 XY 스테이지의 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 조립식 구조의 석정반의 구조도이다.
도 3은 본 발명에 따른 XY 스테이지의 베이스 프레임 구조도이다.
도 4는 본 발명에 따른 조립식 구조의 석정반의 응력 분석도이다.
도 5는 본 발명에 따른 조립식 구조의 석정반의 변위량 분석도이다.
도 6은 본 발명에 따른 조립식 구조의 석정반의 아이솔레이터(Isolator) 시뮬레이션 분석도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 조립식 구조 석정반의 구조도이다.FIG. 1 is a perspective view of a lithotripter of the prefabricated structure according to the present invention and an XY stage using the same.
FIG. 2 is a structural view of a stone column of a prefabricated structure according to the present invention. FIG.
3 is a structural view of the base frame of the XY stage according to the present invention.
Fig. 4 is a stress analysis chart of the stone column of the prefabricated structure according to the present invention. Fig.
Fig. 5 is an analysis chart of the displacement amount of the stone column of the prefabricated structure according to the present invention.
FIG. 6 is an isometric analysis diagram of the stone column of the prefabricated structure according to the present invention. FIG.
7 is a structural view of a prefabricated stone remover according to another embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 조립식 구조의 석정반 및 이를 이용한 XY 스테이지의 구성 및 작용효과를 설명한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 조립식 구조의 석정반 및 이를 이용한 XY 겐트리 스테이지의 사시도이다.1 is a perspective view of a stone quartz of a prefabricated structure according to the present invention and an XY gantry stage using the same.

본 발명의 바람직한 실시예에서는 조립식 구조의 석정반이 적용된 XY 스테이지로서 XY 겐트리 스테이지를 한정하여 설명하지만, 이에 국한되지 않고 XY 겐트리(Gantry) 스테이지, XY 테이블(Table) 스테이지, XY 브릿지(Bridge) 스테이지 또는 XY 스택(Stack) 타입 스테이지 모두에 본 발명의 조립식 구조의 석정반을 적용시킬 수 있음은 물론이다.In the preferred embodiment of the present invention, the XY stage is defined as an XY stage to which a preformed stone column is applied. However, the present invention is not limited to the XY stage and the XY gantry stage, the XY table stage, ) Stage or an XY stack (Stack) type stage, it is of course possible to apply the preformed stone of the present invention.

도 1에 도시된 바와 같이, 작업장의 바닥면에는 제진 마운트(101)가 4 모서리 부분에 배치되고, 제진 마운트(101)는 베이스 프레임(102)에 의해 서로 연결된다. 제진 마운트(101)의 상부로는 한 쌍의 가이드 석정반(103a, 103b)이 형성되고, 한 쌍의 가이드 석정반(103a, 103b)과는 직각 배치되어 조립되는 제1 및 제2 스테이지 석정반(103c, 103d)이 형성된다. 한 쌍의 가이드 석정반(103a, 103b)과 제1 및 제2 스테이지 석정반(103c, 103d)는 석정반(103, Granite Plate)을 이루게 된다.As shown in Fig. 1, a vibration isolating mount 101 is disposed at four corner portions on the floor surface of the work site, and the vibration isolating mounts 101 are connected to each other by a base frame 102. Fig. The first and second stage stone pillars 103a and 103b are formed at the upper part of the vibration isolation mount 101 and are assembled at right angles to the pair of guide stone removal columns 103a and 103b, (103c, 103d) are formed. The pair of guide stone removing units 103a and 103b and the first and second stage stone removing units 103c and 103d form a granite plate 103.

한 쌍의 가이드 석정반(103a, 103b)의 상단측에는 제1 및 제2 스테이지 석정반(103c, 103d)과 평행하게 제1 방향(X축 방향)으로 이동 가능하게 한 쌍의 X축 이동체(104)가 결합된다.A pair of X-axis moving bodies 104 (104a, 103b) are provided on the upper end sides of the pair of guide stone removing units 103a, 103b so as to be movable in the first direction (X-axis direction) in parallel with the first and second stage stone stone tabletting units 103c, ) Are combined.

제1 및 제2 스테이지 석정반(103c, 103d)과 X축 이동체(104)는 통상적인 이송수단을 매개로 결합되며, X축 이동체(104)에 설치된 가동자(미도시)와 제1 및 제2 스테이지 석정반(103c, 103d)의 양측에 설치된 고정자(미도시) 간의 자기적 작용에 의해 가동자를 정밀하게 이송시킬 수 있도록 구성된 리니어 모터가 설치되어, 제1 및 제2 스테이지 석정반(103c, 103d)에 대해 X축 이동체(104)를 정밀하게 이동시킬 수 있도록 구성될 수 있다.The first and second stage stone stone crystals 103c and 103d and the X axis moving body 104 are coupled to each other through a common conveying means and are movable between a mover (not shown) provided on the X axis moving body 104, Stage motors 103a and 103b and a stator (not shown) provided on both sides of the two-stage stone-polishing bases 103c and 103d. The first and second stage stone discs 103c and 103d, Axis moving body 104 can be precisely moved with respect to the X-axis moving body 103d.

한편, 한 쌍의 X축 이동체(104)의 상면에 크로스 빔(106)의 양단이 X축 이동체(104)의 이송방향과 직교하도록 결합되고, 크로스 빔(106)은 외부에 적어도 2개의 평탄면이 각지게 길이 방향으로 형성되고 내부에 길이 방향으로 중공부가 형성된 파이프 형상의 경금속 재질의 몸체와, 몸체의 전체 길이에 걸쳐 중공부의 내면에 부착된 복합소재층으로 이루어질 수 있다.On the other hand, both ends of the cross beam 106 are coupled to the upper surface of the pair of X axis moving bodies 104 so as to be orthogonal to the conveying direction of the X axis moving body 104. The cross beam 106 has at least two flat faces Shaped body made of a light metal material having a longitudinal shape and formed with a hollow portion in the longitudinal direction and a composite material layer attached to the inner surface of the hollow portion over the entire length of the body.

크로스 빔(106)의 평탄면에 대해 X축 이동체(104)의 이송 방향과 직교하는 Y축 방향으로 이송하도록 크로스 빔(106)에는 검사수단을 설치하기 위한 Y축 이동체(105)가 설치된다.The cross beam 106 is provided with a Y axis moving body 105 for inspecting the cross beam 106 so as to be transferred in the Y axis direction orthogonal to the X axis moving body 104 conveying direction with respect to the flat face of the cross beam 106.

크로스 빔(106)과 Y축 이동체(105)는 Y축 이동체(105)에 설치된 가동자와, 크로스 빔(106)의 평탄면에 설치된 고정자 간의 자기적 작용에 의해 가동자를 정밀하게 이송시킬 수 있도록 구성된 리니어 모터가 설치되어, 크로스 빔(106)에 대해 Y축 이동체(106)를 정밀하게 이동시킬 수 있게 되는 것이다.The cross beam 106 and the Y axis moving body 105 are moved so that the mover can be precisely transferred by the magnetic action between the mover provided on the Y axis moving body 105 and the stator provided on the flat surface of the cross beam 106 The linear motor configured as described above is installed, and the Y-axis moving body 106 can be precisely moved with respect to the cross beam 106.

X축 이동체(104)와 Y축 이동체(105) 각각은 케이블체인(또는 케이블베이어(108))에 의해 연결되며, Y축 이동체(105)의 컨베이어 벨트(108) 외곽으로는 CC 박스(107, Cotton Conveyor Belt BOX)가 설치될 수 있다.The X axis moving body 104 and the Y axis moving body 105 are connected by a cable chain (or cable bearer 108), and the CC box 107, Cotton Conveyor Belt Box) can be installed.

한 쌍의 가이드 석정반(103a, 103b)은 X축 이동체(104)의 X축 방향의 이동을 이한 가이드 역할, 제1 및 제2 스테이지 석정반(103c, 103d)의 지지대 역할 및 아이솔레이터(Isolator)(도 3의 301)을 매개로 한 베이스 프레임(102)과의 연결을 동시에 수행하게 된다.The pair of guide stone removing units 103a and 103b serve as guides for moving the X axis moving body 104 in the X axis direction and serve as supports for the first and second stage stone stone plates 103c and 103d, (301 in FIG. 3) to be connected to the base frame 102 at the same time.

제1 및 제2 스테이지 석정반(103c, 103d)은 PDP 패널, LCD 패널과 같은 디스플레이 패널 등의 처리물이 안착되어 검사수단에 의해 검사가 이루어질 수 있도록 하는 공간을 제공하게 된다.The first and second stage pre-set stone crystals 103c and 103d are provided with a space for placing a processed material such as a PDP panel, a display panel such as an LCD panel and the like so that they can be inspected by the inspection means.

도 2는 본 발명에 따른 조립식 구조의 석정반의 구조도이다.FIG. 2 is a structural view of a stone column of a prefabricated structure according to the present invention. FIG.

도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 조립식 구조의 석정반(103)은 4개의 석정반 조립체 즉, 한 쌍의 가이드 석정반(103a, 103b)과 제1 및 제2 스테이지 석정반(103c, 103d)의 조립으로 이루어진다.2, the stone stone table 103 of the prefabricated structure according to the present invention comprises four stone stone half assemblies, that is, a pair of guide stone stone crystals 103a and 103b and first and second stage stone stone crystals 103c And 103d.

한 쌍의 가이드 석정반(103a, 103b)과 제1 및 제2 스테이지 석정반(103c, 103d)은 화강암 재질의 원석을 정반으로 가공된다.The pair of guide stone pre-polishers 103a and 103b and the first and second stone pre-stone pre-polish cores 103c and 103d are processed to have a granite-like ores.

한 쌍의 가이드 석정반(103a, 103b)은 양측에 설치되어 아래로는 아이솔레이터(Isolator)(도 3의 301)에 4개소가 고정되며, 상단부는 가이드레일이 설치되며, 가이드레일 상에는 X축 방향의 직선 이동을 위해 각각 한 쌍의 X축 이동체(104)가 배치된다.Three guide rails 103a and 103b are installed on both sides and four places are fixed to an isolator 301 (shown in FIG. 3). The upper end of the guide stone is provided with a guide rail, A pair of X-axis moving bodies 104 are arranged for linear movement of the X-axis moving body 104. [

한 쌍의 가이드 석정반(103a, 103b) 각각은 단면이 대략 'L'자 형태로 되어 내측의 평면상(수평면(205))으로 제1 및 제2 스테이지 석정반(103c, 103d)이 놓여져 조립된다. Each of the pair of guide stone removable columns 103a and 103b has a substantially L-shaped cross section and the first and second stage stone stone crystals 103c and 103d are placed on the inner flat surface (horizontal surface 205) do.

제1 및 제2 스테이지 석정반(103c, 103d)은 디스플레이용 패널이 검사를 위해 놓여지는 부분으로서 양단측에는 한 쌍의 가이드 석정반(103a, 103b)과 볼트 조립되도록 볼트홀(202)이 형성된다.The first and second stage stone stone crystals 103c and 103d are formed as bolt holes 202 so as to be bolted together with a pair of guide stone preforms 103a and 103b at both ends of the display panel for inspection .

한 쌍의 가이드 석정반(103a, 103b)의 내측 수직면과 수평면이 만나는 부분은 소정의 반지름을 갖도록 라운딩(203)되고, 제1 및 제2 스테이지 석정반(103c, 103d) 하단의 양측단은 라운딩(203) 부분과 맞닿도록 소정 크기로 모따기(201)가 이루어진다.The portion where the inner vertical surface of the pair of guide stone removal pots 103a and 103b meet with the horizontal surface is rounded 203 to have a predetermined radius and both side edges of the lower edge of the first and second stage stone stone crystals 103c and 103d are rounded A chamfer 201 is formed in a predetermined size so as to abut the portion of the base 203.

제1 및 제2 스테이지 석정반(103c, 103d) 각각의 양단 수직면(206)은 한 쌍의 가이드 석정반(103a, 103b)의 수직면(204)과 맞닿도록 조립된다.The both-end vertical faces 206 of each of the first and second stage stone stone pots 103c and 103d are assembled so as to abut the vertical faces 204 of the pair of guide stone pre-polishers 103a and 103b.

한 쌍의 가이드 석정반(103a, 103b)과 제1 및 제2 스테이지 석정반(103c, 103d)의 4개조로 조립되는 석정반(103)은 제작성이 용이하며 기존의 원석을 일체로 가공할 때 보다 원가절감의 효과가 매우 크고, 견고한 볼팅 구조에 의해 제작후 운반시 틀어지는 현상이 없어 현장 재조립의 번거로움이 전혀 없게 된다.The stone stone table 103 assembled by four pairs of the guide stone stone columns 103a and 103b and the first and second stone stone stone stone columns 103c and 103d is easy to prepare and can be processed as a single unit The effect of cost reduction is much greater than in the past, and due to the solid bolting structure, there is no phenomenon of being deformed during manufacture and transportation, and there is no inconvenience of field reassembly.

한 쌍의 가이드 석정반(103a, 103b) 각각의 단면 형태를 'L'자 형태로 제작하는 것은 다음과 같은 문제를 해결하게 된다.The cross-sectional shape of each of the pair of guide stone removal plates 103a and 103b is formed in an 'L' shape to solve the following problems.

기존의 일체의 원석으로 석정반을 제작할 경우 그 단면의 형태가 '

Figure 112012016115551-pat00001
' 형상이므로 스테이지면(글라스 척)의 높이가 높지 않아도 되나 즉 양측의 가이드 부분과 스테이지 부분이 일체로 형성되므로 가이드 부분의 높이를 낮추어 스테이지면의 높이를 조절할 수 있다.If you make a stone quartz with any existing stone,
Figure 112012016115551-pat00001
', The height of the stage surface (glass chuck) may not be high. In other words, since the guide portions on both sides and the stage portion are integrally formed, the height of the stage portion can be adjusted by lowering the height of the guide portion.

이러한 점을 고려하여 조립식의 경우 'L'자형상으로 가이드 석정반을 제작하여 수평면(205) 위에 스테이지 석정반(103c, 103d)을 올려 놓아 조립하게 함으로써 스테이지 석정반(103c, 103d)의 높이를 높이지 않아도 되는 장점을 갖게 되어 기존의 하나의 원석으로 제작하는 경우와 다름없게 된다.Considering this point, in the case of the prefabricated type, a guide stone pot is formed in an L shape and the stage stone pots 103c and 103d are placed on the horizontal surface 205 to assemble the stage pots so that the height of the stage stone pots 103c and 103d It does not need to be raised, and it is no different from the case of making it with one original stone.

또한, 종래의 석정반은 일체의 '

Figure 112012016115551-pat00002
' 형상으로 제작되는데, 이때 석정반의 하부로 베이스 프레임이 놓여지게 되고 4개소의 모서리에는 진동방지를 위한 아이솔레이터(Isolator)가 배치된다. 여기서, 석정반의 스테이지면의 높이를 작업 높이로 조절하기 위해서는 석정반 자체의 높이를 조절할 수 없고 그 하부의 제진용 베이스 프레임과 아이솔레이터(Isolator)의 높이를 크게하여 제작하는 수 밖에 없게 된다.In addition, the conventional stoneware column has an integral '
Figure 112012016115551-pat00002
'. At this time, the base frame is placed at the bottom of the stone quarry, and an isolator for vibration prevention is disposed at four corners. Here, in order to adjust the height of the stage surface of the stone quartz to the working height, it is impossible to adjust the height of the stone quartz quartz, and the height of the vibration-proof base frame and the isolator is made large.

하지만, 본 발명의 석정반(103) 구조에서는 한 쌍의 가이드 석정반(103a, 103b)이 'L'자 구조를 가짐에 따라 내측의 수평면(205)에는 스테이지 석정반(103c, 103d)을 배치시키고, 수평면(205)의 두께 정도만큼 하부로 길어짐으로 인해 베이스 프레임(102)과 석정반(103)을 연결시키는 아이솔레이터(Isolator)(301)의 높이를 그 만큼 작게 조절하는 것이 가능하게 된다. 결국에는 제진 베이스 프레임의 구조가 낮아지게 되어 종래의 XY 스테이지에 비해 안정성이 우수해지며 원감절감의 효과도 가져오게 된다.However, in the stone stone column 103 of the present invention, the stage stone stone crystals 103c and 103d are disposed on the inner horizontal surface 205 as the pair of guide stone stone crystals 103a and 103b have the L character configuration It becomes possible to adjust the height of the isolator 301 connecting the base frame 102 and the stone basin 103 to be as small as possible by making the height of the bottom surface 205 as long as the thickness of the horizontal surface 205. As a result, the structure of the vibration-damping base frame is lowered, so that the stability of the vibration-damping base frame is better than that of the conventional XY stage, and the effect of reducing the original feeling is also obtained.

도 3은 본 발명에 따른 XY 스테이지의 베이스 프레임 구조도이다.3 is a structural view of the base frame of the XY stage according to the present invention.

도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 XY 스테이지의 베이스 프레임(102)은 격자 형태로 이루어져 작업장의 바닥면에 놓여지고 4개소의 모서리 부분에는 진동 방지를 위한 아이솔레이터(Isolator)(301)가 설치된다. 4개의 아이솔레이터(Isolator)(301) 위로는 한 쌍의 가이드 석정반(103a, 103b)의 양단 부분이 각각 위치되어 조립된다.As shown in FIG. 3, the base frame 102 of the XY stage according to the present invention is formed in a lattice shape and placed on the bottom surface of the workplace, and an isolator 301 for preventing vibration is provided at four corners Respectively. Above the four isolators (301), both end portions of a pair of guide stone removing plates (103a, 103b) are positioned and assembled.

이하 도 4 내지 도 6를 통해 본 발명의 조립식 석정반(103)의 기계적 응력 및 변위 정도를 3차원 시뮬레이션을 통해 측정된 결과를 설명한다.4 to 6, the results of measurement of the mechanical stress and displacement of the prefabricated stone remover 103 of the present invention through three-dimensional simulation will be described.

도 4는 본 발명에 따른 조립식 구조의 석정반의 응력 분석도이다.Fig. 4 is a stress analysis chart of the stone column of the prefabricated structure according to the present invention. Fig.

겐트리 무게 1,000kg으로 하여 Payload를 설정한 상태에서 아이솔레이터(Isolator)-4포인트 서포터 조건에서의 기반 하중에 대한 응력 변화량을 검토한 결과를 살펴본다.The results of the examination of the stress variation with respect to the base load under the condition of the isolator-4-point supporter with the payload set to 1,000 kg of the gantry weight will be described.

전체적으로 응력 변화량에 있어서 안정적이며 특히 아이솔레이터(Isolator)가 놓여지는 4포인트 부분(401, 402, 403, 404)에서 응력의 변화가 보이나 이는 응력 1MPa 하에서 파괴 위험성은 전혀 없는 것으로 해석할 수 있다. Stress changes are observed in the four-point portions 401, 402, 403 and 404 where the isolator is placed. However, there is no risk of fracture at a stress of 1 MPa at all.

도 5는 본 발명에 따른 조립식 구조의 석정반의 변위량 분석도이다.Fig. 5 is an analysis chart of the displacement amount of the stone column of the prefabricated structure according to the present invention.

힘에 대한 변위량 검토에 있어서 중요한 부분은 가이드 석정반(103a, 103b)의 LM 가이드가 취부되는 LM Guide 취부면과 제1 및 제2 스테이지 석정반(103c, 103d)의 글라스 척 부착면이 된다.An important part in the examination of the amount of displacement with respect to the force is the LM guide mounting surface on which the LM guides of the guide stone preforms 103a and 103b are mounted and the glass chuck mounting surfaces of the first and second stage stone pre-polishers 103c and 103d.

LM Guide 취부면과 글라스 척 부착면의 변위량은 4~14㎛이며, 이는 시험규격 ±10㎛ SPEC. 범위 내에 있으므로 중요 가공면 기준으로 힘에 대한 변위량에 있어서도 문제가 되지 않음을 보여준다.The amount of displacement of the LM Guide mounting surface and the glass chuck mounting surface is 4 ~ 14㎛, which is ± 10㎛ SPEC spec. , It shows that there is no problem in the displacement amount with respect to the force on the basis of the important processing surface.

도 6은 본 발명에 따른 조립식 구조의 석정반의 아이솔레이터(Isolator) 시뮬레이션 분석도이다.FIG. 6 is an isometric analysis diagram of the stone column of the prefabricated structure according to the present invention. FIG.

도 6은 이솔레이션(301)과 맞닿는 부분의 이솔레이션 시뮬레이션 결과이다. 도면에 나타난 바와 같이, SIMULATION POINT에서 X,Y,Z축 방향으로의 흔들림이 (A), (B), (C) 그래프에 표시된다.6 is a simulation result of a portion contacting the isolation 301. As shown in the figure, the shakes in the X, Y and Z axes in the SIMULATION POINT are shown in the graphs (A), (B) and (C).

(A)는 X축 방향, (B)는 Y축 방향, (C)는 Z축 방향의 흔들림 그래프이며, 이때의 조건은 V=1,600mm/sec, a=0.5G, Mass=700kg으로 하여 실험한 결과이다.(A) is a shake graph in the X-axis direction, (B) is the Y-axis direction, and (C) is the Z-axis direction and the conditions are V = 1,600 mm / sec, a = 0.5 G, This is a result.

위 그래프의 결과를 살펴보면, X,Y,Z 방향으로 약간의 흔들림은 존재하지만, 종래의 일체의 원석일때와 비슷한 흔들림을 갖는 다는 것이 확인되었고, 실제 구동시에 Settling Time을 만족시킬 수 있음을 확인하였다.The results of the above graph show that there is some shaking in the X, Y, and Z directions, but it has been confirmed that it has a similar shake as in the case of all the conventional gemstones, and it is confirmed that the settling time can be satisfied in actual operation .

도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 조립식 구조 석정반의 구조도이다.7 is a structural view of a prefabricated stone remover according to another embodiment of the present invention.

도 7에 도시된 조립식 구조의 석정반(303)은 5개의 석정반 조립체 즉, 한 쌍의 가이드 석정반(303a, 303b)과 제1 및 제2 스테이지 석정반(303c, 303d) 그리고 하부 보강용 석정반(407)의 조립으로 이루어진다.The stone stone table 303 of the prefabricated structure shown in FIG. 7 includes five stone stone half assemblies, that is, a pair of guide stone stone crystals 303a and 303b, first and second stage stone stone crystals 303c and 303d, And assembling the stone stone table 407.

도 7의 조립식 구조의 석정반(303)은 도 2에 도시된 조립식 구조의 석정반(103)과 동일한 조립 구조에 하부 보강용 석정반(407)을 추가하여 하부의 강성을 보강하기 위해 아이솔레이터와 가이드 석정반(303a, 303b) 사이에 놓이게 된다.The stone stone table 303 of the prefabricated structure of Fig. 7 is a structure in which the stone stone table 407 for bottom reinforcement is added to the same assembling structure as the stone stone table 103 of the prefabricated structure shown in Fig. 2, And are sandwiched between the guide stone preforms 303a and 303b.

도 7에서는 양단에 한 쌍의 하부 보강용 석정반(407)을 위치시킨 구조를 예시로 나타내었지만 이와 달리 아이솔레이터가 위치한 부분인 4군데에 하부 보강용 석정반을 위치시켜 하부의 강성을 보강하는 것도 가능하다.7 shows a structure in which a pair of the lower stones for reinforcement 407 are positioned at both ends. Alternatively, the lower stones can be reinforced by positioning the lower reinforcement stone in four places where the isolator is located It is possible.

따라서, 상술한 바와 같이 본 발명의 조립식 석정반은 기존의 하나의 원석으로 이루어진 석정반에 비해서 기계적 응력이나 변위량 그리고 이솔레이션 등의 결과가 거의 대등하여, 4개의 석정반을 조립하여 XY 스테이지를 제작할 수 있어 제조성 및 조립성 면에서 우수하며, 원가절감의 효과를 가져올 수 있고, 대형화 추세에 있는 디스플레이 패널에 능동적으로 대응하는 것이 가능하다.Therefore, as described above, the prefabricated stone column of the present invention has almost the same results as mechanical stiffness, displacement and isolation compared to the preformed stone column of one existing stone, and assembles the four stone columns to fabricate the XY stage It is possible to obtain a cost reduction effect and actively cope with a display panel which is in the trend of becoming larger.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였지만, 상술한 본 발명의 기술적 구성은 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자가 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 하고, 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
While the present invention has been described with reference to exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, As will be understood by those skilled in the art. Therefore, it should be understood that the above-described embodiments are to be considered in all respects as illustrative and not restrictive, the scope of the invention being indicated by the appended claims rather than the foregoing description, It is intended that all changes and modifications derived from the equivalent concept be included within the scope of the present invention.

101 : 제진 마운트 102 : 베이스 프레임
103, 303 반 103a, 103b, 303a, 303b : 가이드 석정반
103c, 103d, 303c, 303d : 스테이지 석정반
104 : X축 이동체 105 : Y축 이동체
106 : 크로스 빔 107 : CC 박스
108 : 케이블체인 201, 401 : 모따기
202, 402 : 볼트홀 203, 403 : 라운딩
204, 206, 404, 406 : 수직면 205, 405 : 수평면
301 : 아이솔레이터(Isolator) 407 : 하부 보강용 석정반101: vibration-free mount 102: base frame
103, 303 Semi-parts 103a, 103b, 303a, 303b:
103c, 103d, 303c, and 303d:
104: X-axis moving body 105: Y-axis moving body
106: crossbeam 107: CC box
108: Cable chain 201, 401: Chamfer
202, 402: Bolt holes 203, 403: Rounding
204, 206, 404, 406: Vertical plane 205, 405: Horizontal plane
301: Isolator 407: Stone column for lower reinforcement

Claims (7)

수평면과 수직면을 갖는 단면이 'L'자 형상이며, 서로 소정 거리로 이격되며, 상기 수직면 상단으로는 X축 방향으로 직선이동이 가능하도록 하는 가이드 레일이 형성되는 한 쌍의 가이드 석정반과;
상기 한 쌍의 가이드 석정반의 수평면에 양단이 놓여져 상기 한 쌍의 가이드 석정반과 직각 방향으로 조립되며, 양단의 수직면 각각은 상기 한 쌍의 가이드 석정반의 수직면과 맞닿도록 배치되고, 서로 수평하게 이격 배열되며 검사 대상물이 놓여지는 제1 및 제2 스테이지 석정반;으로 이루어지는, XY 스테이지에 적용되는 조립식 구조의 석정반.A pair of guide stones having a cross section having a horizontal plane and a vertical plane in an 'L' shape and spaced apart from each other by a predetermined distance, and a guide rail for linearly moving in the X-axis direction at an upper end of the vertical plane;
Wherein both ends of the guide stone are placed on a horizontal plane of the pair of guide stone quartz plates and assembled in a direction perpendicular to the pair of guide stone quartz halves and each of the vertical sides at both ends is disposed to be in contact with a vertical plane of the pair of guide stone quartz plates, And a first and a second stage stone reclaiming unit on which an object to be inspected is placed. 제1항에 있어서,
상기 한 쌍의 가이드 석정반의 수평면과 수직면이 만나는 부분은 소정의 반경으로 라운딩되고,
상기 제1 및 제2 스테이지 석정반의 하단부 양단은 소정 크기의 모따기로 가공되며,
상기 라운딩 부분에 대응되는 위치에 상기 모따기 부분이 위치되는, XY 스테이지에 적용되는 조립식 구조의 석정반.The method according to claim 1,
A portion where the horizontal surface of the pair of guide stone stone assemblies meet the vertical surface is rounded to a predetermined radius,
Both ends of the lower ends of the first and second stone stone pots are machined to have a predetermined size,
And the chamfered portion is located at a position corresponding to the rounded portion. 제1항에 있어서,
상기 한 쌍의 가이드 석정반과 상기 제1 및 제2 스테이지 석정반은 화강암을 가공하여 형성되는, XY 스테이지에 적용되는 조립식 구조의 석정반.The method according to claim 1,
Wherein the pair of guide stone pots and the first and second stage stone pots are formed by processing granite. 제1항에 있어서,
상기 한 쌍의 가이드 석정반 하부로는 하부의 강성을 보강하기 위해 하부 보강용 석정반이 더 조립되는, XY 스테이지에 적용되는 조립식 구조의 석정반.The method according to claim 1,
And a lower reinforcing stone block is further assembled to reinforce the lower rigidity of the pair of guide stone blocks. 수평면과 수직면을 갖는 단면이 'L'자 형상이며, 서로 소정 거리로 이격되며, 상기 수직면 상단으로는 X축 방향으로 직선이동이 가능하도록 하는 가이드 레일이 형성되는 한 쌍의 가이드 석정반과;
상기 한 쌍의 가이드 석정반의 수평면에 양단이 놓여져 상기 한 쌍의 가이드 석정반과 직각 방향으로 조립되며, 양단의 수직면 각각은 상기 한 쌍의 가이드 석정반의 수직면과 맞닿도록 배치되고, 서로 수평하게 이격 배열되며 검사 대상물이 놓여지는 제1 및 제2 스테이지 석정반과;
상기 한 쌍의 가이드 석정반의 양측에 상기 제1 및 제2 스테이지 석정반과 평행하게 X축 방향으로 이동 가능하게 결합된 한 쌍의 X축 이송체와;
상기 한 쌍의 X축 이송체의 상면에 양단이 Y축 이송체의 이송방향과 직교하도록 결합되는 크로스 빔과;
상기 크로스 빔에 상기 X축 이송체의 이송 방향과 직교하는 방향의 Y축 방향으로 이송되도록 결합되며, 검사수단이 조립되는 Y축 이송체;를 포함하여 이루어지는, 조립식 구조의 석정반을 이용한 XY 스테이지. A pair of guide stones having a cross section having a horizontal plane and a vertical plane in an 'L' shape and spaced apart from each other by a predetermined distance, and a guide rail for linearly moving in the X-axis direction at an upper end of the vertical plane;
Wherein both ends of the guide stone are placed on a horizontal plane of the pair of guide stone quartz plates and assembled in a direction perpendicular to the pair of guide stone quartz halves and each of the vertical sides at both ends is disposed to be in contact with a vertical plane of the pair of guide stone quartz plates, A first and second stage stone bed part in which an object to be inspected is placed;
A pair of X-axis conveying bodies which are coupled to both sides of the pair of guide stone removing units so as to be movable in the X-axis direction in parallel with the first and second stage stone polishing slabs;
A cross beam coupled to the upper surface of the pair of X-axis conveying bodies so that both ends thereof are orthogonal to the conveying direction of the Y-axis conveying body;
And a Y-axis conveying body coupled to the cross beam so as to be conveyed in a Y-axis direction orthogonal to the conveying direction of the X-axis conveying body, and inspecting means being assembled to the XY stage using the pre- . 제5항에 있어서,
상기 한 쌍의 가이드 석정반의 양단 하단부에는 진동방지를 위해 위치되는 아이솔레이터(Isolator)와;
상기 아이솔레이터(Isolator)를 서포터하기 위한 제진 마운트와;
상기 제진 마운트간의 연결과 작업장 바닥면에 위치되어 장비의 기초가 되는 베이스 프레임;을 더 포함하여 이루어지는, 조립식 구조의 석정반을 이용한 XY 스테이지.6. The method of claim 5,
An isolator disposed at both ends of the pair of guide stone removal bases for preventing vibration;
A vibration damping mount for supporting the isolator;
And a base frame positioned on the floor of the worksite and serving as a base of the equipment, the XY stage using the preformed stone column. 제5항에 있어서,
상기 조립식 구조의 석정반을 이용한 XY 스테이지는 XY 겐트리(Gantry) 스테이지, XY 테이블(Table) 스테이지, XY 브릿지(Bridge) 스테이지 또는 XY 스택(Stack) 타입 스테이지 중 어느 하나인, 조립식 구조의 석정반을 이용한 XY 스테이지.

























6. The method of claim 5,
The XY stage using the preformed stone stone block may be any one of an XY gantry stage, an XY table stage, an XY bridge stage, and an XY stack type stage, XY stage using.

























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