KR101384285B1 - 표시 장치 및 그 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

기계식의 셔터가 배치된 셀을 채우는 오일을 주입할 때에 셔터에 가해지는 데미지를 줄이는 것을 목적으로 한다. 표시 장치는, 절취선(46)을 갖고서 공간을 둘러싸는 시일재(44)와, 시일재(44)의 절취선(46)을 막아서 밀봉 공간을 형성하는 엔드 시일(50)과, 밀봉 공간에 채워진 오일(52)과, 한 쌍의 광 투과성 기판(10, 12) 사이의 간격을 유지하는 스페이서(54)와, 셔터(14)와, 셔터(14)를 기계적으로 구동하기 위한, 오일(52) 내에 배치된 구동부(38)와, 한 쌍의 광 투과성 기판(10, 12)의 대향면의 적어도 한쪽 위에 형성된 벽부(60)를 갖는다. 벽부(60)는, 시일재(44)의 절취선(46)과 표시 영역(48)과의 최단 경로를 차단하는 위치에 배치된 부분을 갖고, 스페이서(54), 셔터(14) 및 구동부(38)를 구성하는 재료로 형성되어 있다.

Description

표시 장치 및 그 제조 방법{DISPLAY DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME}
본 발명은, 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
MEMS 디스플레이(Micro Electro Mechanical System Display)는, 액정 디스플레이를 대신할 것으로 기대되고 있는 디스플레이다(특허 문헌 1 참조). 이 디스플레이는, 편광을 이용한 액정 셔터 방식과는 달리, 기계 셔터 방식에 의해 광의 투과창을 개폐함으로써 화상을 표시한다. 셔터는 박막으로 이루어지고, 1화소를 구성하는 셔터의 종횡 사이즈는 수 100㎛ 오더이고 두께가 수 ㎛ 오더이다. 1셔터의 개폐에 의해, 1화소의 온 오프 동작이 가능하게 된다. 셔터는, 정전 인력에 의해 동작하도록 되어 있다.
일본 특허 출원 공개 제2008-197668호 공보
셔터는 한 쌍의 광 투과성 기판의 사이에 시일로 둘러싸여진 스페이스에 배치되고, 이 스페이스는 오일로 채워져 있다. 오일은, 셔터의 구동을 위한 스프링의 달라붙기를 방지하여, 광 투과성 기판과의 광굴절률의 차를 작게 하고 있다.
오일은, 시일의 절취선으로 이루어지는 주입구로부터 주입되고, 주입구는 오일의 주입 후에 수지로 밀봉된다. 셔터의 개폐 동작을 고속화하기 위해서, 저점도의 오일이 요망되지만, 그렇게 하면 오일이 주입구를 통과할 때의 스피드가 빨라져 셔터에 데미지를 가하게 된다고 하는 문제가 있었다.
본 발명은, 기계식의 셔터가 배치된 셀을 채우는 오일을 주입할 때에 셔터에 가해지는 데미지를 줄이는 것을 목적으로 한다.
(1) 본 발명에 따른 표시 장치는, 간격을 두고 배치된 한 쌍의 광 투과성 기판과, 상기 한 쌍의 광 투과성 기판의 대향면끼리 밀착하고, 절취선을 갖고서 공간을 둘러싸는 시일재와, 상기 시일재의 상기 절취선을 막아, 상기 공간을 밀봉해서 밀봉 공간을 형성하는 엔드 시일과, 상기 밀봉 공간에 채워진 오일과, 상기 오일 내에 배치되고, 상기 한 쌍의 광 투과성 기판 간의 상기 간격을 유지하는 스페이서와, 한쪽의 상기 광 투과성 기판에 형성된, 개구부를 갖는 차광막과, 상기 오일 내에 배치된 셔터와, 상기 개구부로의 광의 통과 및 차단을 제어하도록, 상기 셔터를 기계적으로 구동하기 위한, 상기 오일 내에 배치된 구동부와, 상기 한 쌍의 광 투과성 기판의 상기 대향면의 적어도 한쪽 상에 형성된 벽부를 갖고, 상기 스페이서, 상기 셔터 및 상기 구동부는, 상기 개구부를 통과하는 광의 유무 및 강약에 의해 화상을 표시하는 표시 영역에 배치되고, 상기 벽부는, 상기 시일재의 상기 절취선과 상기 표시 영역과의 최단 경로를 차단하는 위치에 배치된 부분을 갖고, 상기 스페이서, 상기 셔터 및 상기 구동부를 구성하는 재료로 형성되어 있는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면, 시일재의 절취선으로부터 오일을 주입할 때에, 오일의 흐름을 벽부에서 약하게 할 수 있어, 셔터에 가해지는 데미지를 줄일 수 있다. 또한, 벽부는, 스페이서, 셔터 및 구동부를 구성하는 재료로 형성되므로, 이들을 동시에 형성함으로써 공정수의 증가를 피할 수 있다.
(2) (1)에 기재된 표시 장치에 있어서, 상기 벽부는, 상기 한 쌍의 광 투과성 기판의 상기 대향면끼리 밀착하고 있는 것을 특징으로 할 수도 있다.
(3) (2)에 기재된 표시 장치에 있어서, 상기 벽부는, 상기 표시 영역을 둘러싸도록 배치되고, 상기 최단 경로를 차단하는 상기 위치를 제외하고 슬릿이 형성되어 있는 것을 특징으로 할 수도 있다.
(4) (2)에 기재된 표시 장치에 있어서, 상기 벽부는, 상기 절취선과 상기 표시 영역과의 사이에서, 상기 최단 경로를 차단하는 상기 위치를 통하여 직선 형상으로 연장하도록 형성되어 있는 것을 특징으로 할 수도 있다.
(5) (4)에 기재된 표시 장치에 있어서, 상기 벽부는, 복수의 평행한 직선을 따라 연장하고, 각각의 상기 직선을 따라 연장하는 부분이 슬릿을 갖도록 형성되어 있는 것을 특징으로 할 수도 있다.
(6) 본 발명에 따른 표시 장치의 제조 방법은, 간격을 두고 배치된 한 쌍의 광 투과성 기판과, 상기 한 쌍의 광 투과성 기판의 대향면끼리 밀착하고, 절취선을 갖고서 공간을 둘러싸는 시일재와, 상기 오일 내에 배치되고, 상기 한 쌍의 광 투과성 기판 간의 상기 간격을 유지하는 스페이서와, 한쪽의 상기 광 투과성 기판에 형성된, 개구부를 갖는 차광막과, 상기 공간 내에 배치된 셔터와, 상기 개구부로의 광의 통과 및 차단을 제어하도록, 상기 셔터를 기계적으로 구동하기 위한, 상기 공간 내에 배치된 구동부와, 상기 한 쌍의 광 투과성 기판의 상기 대향면의 적어도 한쪽 위에 형성된 벽부를 갖고, 상기 스페이서, 상기 셔터 및 상기 구동부는, 상기 개구부를 통과하는 광의 유무 및 강약에 의해 화상을 표시하는 표시 영역에 배치되고, 상기 벽부는, 상기 시일재의 상기 절취선과 상기 표시 영역과의 최단 경로를 차단하는 위치에 배치된 부분을 갖도록, 공(空)셀을 조립하는 공정과, 상기 시일재의 상기 절취선으로부터 상기 공 셀에 오일을 주입하는 공정을 포함하고, 상기 공 셀을 조립하는 공정에서, 상기 스페이서, 상기 셔터, 상기 구동부 및 상기 벽부를, 박막의 성막 및 에칭을 포함하는 복수회의 프로세스로 동시에 형성하고, 상기 오일을 주입하는 공정에서, 상기 공간의 내부를 외부보다도 저기압으로 하여, 상기 시일재의 상기 절취선으로부터 상기 오일을 주입하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면, 시일재의 절취선으로부터 오일을 주입할 때에, 오일의 흐름을 벽부에서 약하게 할 수 있어, 셔터에 가해지는 데미지를 줄일 수 있다. 또한, 벽부를, 스페이서, 셔터 및 구동부를 동시에 형성하므로, 공정수의 증가를 피할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 형태에 따른 표시 장치의 측면도.
도 2는 도 1에 나타내는 표시 장치의 평면도.
도 3은 셔터 및 그 구동부의 사시도.
도 4는 도 2에 나타내는 표시 장치의 IV-IV선 단면의 확대도.
도 5는 공 셀의 내부의 일부를 나타내는 평면도.
도 6은 도 5에 나타내는 구조의 VI-VI선 단면도.
도 7은 제2 벽부, 제2 스페이서부 및 제2 앵커부를 형성하는 공정을 설명하기 위한 도면.
도 8은 제2 벽부, 제2 스페이서부 및 제2 앵커부를 형성하는 공정을 설명하기 위한 도면.
도 9는 제2 벽부, 제2 스페이서부 및 제2 앵커부를 형성하는 공정을 설명하기 위한 도면.
도 10은 제2 벽부, 제2 스페이서부 및 제2 앵커부를 형성하는 공정을 설명하기 위한 도면.
도 11은 공 셀에 오일을 주입하는 공정을 설명하는 도면.
도 12는 공 셀에 오일을 주입하는 공정을 설명하는 도면.
도 13은 공 셀에 오일을 주입하는 공정을 설명하는 도면.
도 14는 공 셀에 오일을 주입하는 공정을 설명하는 도면.
도 15는 본 발명의 실시 형태에 따른 표시 장치의 변형 예를 나타내는 도면.
도 16은 본 발명의 실시 형태에 따른 표시 장치의 다른 변형 예를 나타내는 도면.
이하, 본 발명의 실시 형태에 대해서, 도면을 참조하여 설명한다.
도 1은, 본 발명의 실시 형태에 따른 표시 장치의 측면도이다. 표시 장치는, 한 쌍의 광 투과성 기판(10, 12)(예를 들면 글래스 기판)을 갖는다. 한 쌍의 광 투과성 기판(10, 12)은, 간격(도 4 참조)을 두고 대향하도록 배치되어 있다. 도 2는, 도 1에 나타내는 표시 장치의 평면도이다. 도 2에서는, 상측의 광 투과성 기판(12)을 가상선으로 표시하여 내부 구조를 나타내고 있다. 도 2에 나타낸 바와 같이, 하측의 광 투과성 기판(10)에는, 복수(다수)의 셔터(14)가 설치되어 있다.
도 3은, 셔터(14) 및 그 구동부의 사시도이다. 셔터(14)는, 반도체 또는 금속 등의 무기 재료로 이루어지고, 개구부(16)를 갖는 플레이트이다. 개구부(16)를 광이 통과하고, 개구부(16) 이외의 부분에서 광을 차단한다. 개구부(16)는 한 방향으로 긴 형상으로 되어 있다. 또한, 광은, 도 1에 나타낸 바와 같이, 광 투과성 기판(10)에 겹쳐진 백라이트(18)로부터 공급된다.
셔터(14)는, 제1 스프링(20)에 지지되어 광 투과성 기판(10)으로부터 뜨게 되어 있다. 복수(도 2에서는 4개)의 제1 스프링(20)에 의해 셔터(14)가 지지되어 있다. 제1 스프링(20)은, 제1 앵커부(22)로 광 투과성 기판(10)에 고정되어 있다. 상세하게는, 제1 앵커부(22)는, 광 투과성 기판(10)에 형성된 제1 배선(24) 상에 설치되고, 양자는 전기적으로 접속되어 있다.
제1 스프링(20)은, 탄성 변형 가능한 재료로 이루어지고, 셔터(14)의 판면에 평행한 방향으로 변형할 수 있도록 배치되어 있다. 상세하게는, 제1 스프링(20)은, 셔터(14)로부터 이격되는 방향(개구부(16)의 길이 방향으로 교차(예를 들면 직교)하는 방향)으로 연장되는 제1부(26)와, 개구부(16)의 길이 방향을 따른 방향이며 개구부(16)의 길이 방향의 중앙으로부터 외측 방향을 향해서 연장하는 제2부(28)와, 또한 셔터(14)로부터 이격되는 방향(개구부(16)의 길이 방향으로 교차(예를 들면 직교)하는 방향)으로 연장하는 제3부(30)를 갖는다. 그리고, 셔터(14)는, 도 3에 화살표로 나타낸 바와 같이, 개구부(16)의 길이 방향으로 교차(예를 들면 직교)하는 방향으로 이동할 수 있도록 제1 스프링(20)에 지지되어 있다.
광 투과성 기판(10)에는, 제2 앵커부(32)에 지지된 제2 스프링(34)이 설치되어 있다. 제2 앵커부(32)는, 광 투과성 기판(10)에 형성된 제2 배선(36) 상에 설치되고, 양자는 전기적으로 접속되어 있다. 제2 스프링(34)은, 제1 스프링(20)의 제2부(28)보다도 셔터(14)로부터 이격된 측에서, 이 제2부(28)에 대향하도록 되어 있다. 제2 앵커부(32)에 전압을 인가하고, 제1 스프링(20)의 제2부(28)와의 전위차에 의해 발생하는 정전 인력에 의해, 제2부(28)가 제2 앵커부(32)에 끌어 당겨질 수 있게 되어 있다. 제2부(28)가 끌어 당겨지면, 제2부(28)와 일체적인 제1부(26)를 개재하여, 셔터(14)도 끌어당길 수 있다. 즉, 제1 스프링(20) 및 제2 스프링(34)은, 셔터(14)를 기계적으로 구동하기 위한 구동부(38)를 구성하기 위한 것이다. 구동부(38)도, 반도체 또는 금속 등의 무기 재료로 구성되어 있다.
도 4는, 도 2에 나타내는 표시 장치의 IV-IV선 단면의 확대도이다. 상측의 광 투과성 기판(12)에는 차광막(40)이 형성되어 있다. 차광막(40)에는, 개구부(42)가 형성되어 있다. 셔터(14)의 상술한 개구부(16)와 차광막(40)의 개구부(42)는, 대향하는 위치에 배치되어 있고, 양자가 연통하면 광이 통과하고, 셔터(14)의 이동에 의해 차광막(40)의 개구부(42)가 차폐되면 광이 차단된다. 다시 말해서, 차광막(40)의 개구부(42)로의 광의 통과 및 차단을 제어하도록, 셔터(14)는 기계적으로 구동된다. 대응하는 1개의 개구부(16) 및 1개의 개구부(42)에 의해1화소가 구성되고, 다수의 화소에 의해 화상이 표시되도록 되어 있다. 이를 위해서, 복수(다수)의 셔터(14)가 설치되어 있다. 셔터(14) 및 구동부(38)는, 개구부(16, 42)를 통과하는 광의 유무 및 강약에 의해 화상을 표시하는 표시 영역(도 2 참조)에 배치되어 있다.
도 4에 나타낸 바와 같이, 한 쌍의 광 투과성 기판(10, 12)은, 시일재(44)에 의해 간격을 두고 고정되어 있다. 시일재(44)는 한 쌍의 광 투과성 기판(10, 12)의 대향면끼리 밀착하고 있다. 또한, 시일재(44)는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 절취선(46)을 갖고서 공간을 둘러싸도록 형성되어 있다. 상세하게는, 시일재(44)는, 사각형의 표시 영역(48)을 둘러싸는 사각형 윤곽을 따라 연장하는 부분을 갖는다. 또한, 사각형의 표시 영역(48)에 대응해서 한 쌍의 광 투과성 기판(10, 12)도 사각형으로 되어 있다. 그리고, 엔드 시일(50)이, 시일재(44)의 절취선(46)을 막고, 시일재(44)가 둘러싸는 공간을 밀봉해서 밀봉 공간을 형성하고 있다.
도 4에 나타낸 바와 같이, 밀봉 공간에는 오일(52)(예를 들면 실리콘 오일)이 채워져 있다. 셔터(14) 및 구동부(38)는, 오일(52) 내에 배치되어 있다. 오일(52)에 의해 셔터(14) 및 구동부(38)의 동작에 의한 진동을 억제할 수 있어, 제1 스프링(20)과 제2 스프링(34)의 달라붙기도 방지할 수 있다. 광 투과성 기판(10, 12)이 글래스로 이루어지는 경우, 글래스와 굴절률이 근사한 오일(52)을 사용하면, 오일(52)을 채움으로써, 한 쌍의 광 투과성 기판(10, 12)과의 계면에서의 광의 반사를 줄일 수 있다.
표시 장치는, 한 쌍의 광 투과성 기판(10, 12) 사이의 간격을 유지하는 스페이서(54)를 갖는다. 스페이서(54)도, 오일(52) 내에 배치되고, 도 2에 나타내는 표시 영역(48)에 배치되어 있다. 도 4에 나타내는 스페이서(54)는, 상측의 광 투과성 기판(12)에 설치된 제1 스페이서부(56)와, 하측의 광 투과성 기판(10)에 설치된 제2 스페이서부(58)가 접합되어 구성되어 있다. 제1 스페이서부(56)는 수지로 이루어진다. 제2 스페이서부(58)는, 2층의 수지부(58a, 58b)와, 그 표면을 덮는 반도체막이나 금속막으로 이루어지는 무기부(58c)를 갖는다.
표시 장치는, 한 쌍의 광 투과성 기판(10, 12)의 대향면의 적어도 한쪽 위에 형성된 벽부(60)를 갖는다. 도 4에 나타내는 예에서는, 벽부(60)는, 한 쌍의 광 투과성 기판(10, 12)의 대향면끼리 밀착하고 있다. 상세하게는, 벽부(60)는, 상측의 광 투과성 기판(12)에 설치된 제1 벽부(62)와, 하측의 광 투과성 기판(10)에 설치된 제2 벽부(64)가 접합되어 구성되어 있다. 벽부(60)는, 스페이서(54), 셔터(14) 및 구동부(38)를 구성하는 재료로 형성되어 있다. 도 4에 나타내는 예에서는, 제1 벽부(62)는 수지로 이루어진다. 제2 벽부(64)는, 2층의 수지부(64a, 64b)와, 그 표면을 덮는 반도체막이나 금속막으로 이루어지는 무기부(64c)를 갖는다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 벽부(60)는, 표시 영역(48)을 둘러싸도록 배치되어 있다. 상세하게는, 벽부(60)는, 사각형의 표시 영역(48)을 둘러싸는 사각형의 윤곽 상에 배치되어 있다. 벽부(60)는, 시일재(44)의 절취선(46)과 표시 영역(48)과의 최단 경로를 차단하는 위치에 배치된 부분을 갖고 있다. 즉, 시일재(44)의 절취선(46)과 표시 영역(48)과의 직선경로를 차단하도록 벽부(60)의 적어도 일부가 있다. 다시 말해서, 시일재(44)의 절취선(46)과 표시 영역(48)과의 사이에 벽부(60)의 적어도 일부가 있다. 벽부(60)는, 최단 경로를 차단하는 위치를 제외하고 슬릿(66)이 형성되어 있다.
도 2의 예에서는, 사각형의 표시 영역(48)을 둘러싸는 사각형 윤곽에 있어서, 시일재(44)의 절취선(46)에 대향하는 직선 상에는 슬릿은 형성되지 않는다. 벽부(60)는, 그 직선 상에 연장하는 부분(60a)으로부터, 간격을 두고, 직교 방향(시일재(44)의 절취선(46)으로부터 이격되는 방향)으로 연장하는 부분(60b)을 갖고 있고, 양자 간에 슬릿(66)이 형성되어 있다. 또한, 시일재(44)의 절취선(46)으로부터 이격되는 방향으로 연장하는 부분(60b) 자체에도 슬릿(66)이 형성되어 있다. 또한, 시일재(44)의 절취선(46)으로부터 이격되는 방향으로 연장하는 부분(60b)과, 표시 영역(48)을 사이에 두고 시일재(44)의 절취선(46)과는 반대측에 형성된 부분(60c)과의 사이(즉 각부)에도 슬릿(66)이 형성되어 있다. 또한, 표시 영역(48)을 사이에 두고 시일재(44)의 절취선(46)과는 반대측에 형성된 부분(60c) 자체에도 슬릿(66)이 형성되어 있다. 이렇게, 벽부(60)에는 복수의 슬릿(66)이 형성되어 있다. 슬릿(66)을 통하여, 벽부(60)로 둘러싸여진 영역의 내외를 오일(52)이 유동 가능하게 되어 있다.
표시 장치는, 공 셀에 오일(52)을 충전한 구조를 갖고 있다. 도 5는, 공 셀의 내부의 일부를 나타내는 평면도이다. 도 6은, 도 5에 나타내는 구조의 VI-VI선 단면도이다. 공 셀은, 전술한 바와 같이, 도 1에서 하측에 배치된 광 투과성 기판(10) 상에 설치된 제2 벽부(64), 제2 스페이서부(58) 및 제2 앵커부(32)를 포함한다. 제2 앵커부(32)는, 제2 벽부(64) 및 제2 스페이서부(58)의 표층과 동일한 무기 재료(반도체 또는 금속)로 이루어진다. 제2 앵커부(32)는, 입체적으로 상승해서 광 투과성 기판(10)으로부터 뜬 부분을 갖는다. 제2 앵커부(32)의 아래에는 제2 배선(36)이 있고, 양자의 전기적인 접속이 도모되고 있다. 또한, 제2 스페이서부(58)도 제2 배선(36) 상에 배치되어 있다.
도 7 내지 도 10은, 제2 벽부(64), 제2 스페이서부(58) 및 제2 앵커부(32)를 형성하는 공정을 설명하기 위한 도면이다.
도 7에 나타낸 바와 같이, 도 1에서 하측에 배치된 광 투과성 기판(10) 상에, 제1 수지층(68)을 형성한다. 예를 들면, 포토레지스트 등의 감광성 수지를 리소그래피에 의해 패터닝하고, 자외선 등으로 경화시켜서 제1 수지층(68)을 형성한다. 제1 수지층(68)은, 제2 벽부(64)의 하층의 수지부(64a) 및 제2 스페이서부(58)의 하층의 수지부(58a)를 구성하는 부분과, 제2 앵커부(32)의 하측 부분을 따른 부분을 포함한다. 제1 수지층(68)은, 제2 배선(36)에 놓여지도록 형성되지만, 제2 앵커부(32)의 제2 배선(36)과의 전기적 접속부를 피하여, 즉 제2 배선(36)의 일부를 노출시키도록 형성한다.
도 8에 나타낸 바와 같이, 제1 수지층(68) 상에 제2 수지층(70)을 형성한다. 제2 수지층(70)도, 포토레지스트 등의 감광성 수지를 리소그래피에 의해 패터닝하여 형성한다. 제2 수지층(70)은, 제2 벽부(64)의 상층의 수지부(64b) 및 제2 스페이서부(58)의 상층의 수지부(58b)를 구성하는 부분과, 제2 앵커부(32)의 상측 부분을 따른 부분을 포함한다. 제2 수지층(70)도, 제2 앵커부(32)의 제2 배선(36)과의 전기적 접속부를 피하여, 즉 제2 배선(36)의 일부를 노출시키도록 형성한다.
도 9에 나타낸 바와 같이, 광 투과성 기판(10) 및 그 위에 형성된 부재(제2 배선(36), 제1 수지층(68) 및 제2 수지층(70)) 상에, CVD(Chemical Vapor Deposition)나 스퍼터링 등에 의해 무기층(72)(예를 들면 a-SiN/Al막)을 형성하고, 이것을, 도 10에 나타낸 바와 같이 에칭한다. 무기층(72)은 단층이어도 되고 복수층 이어도 된다. 에칭에 의해, 제2 벽부(64)의 무기부(64c), 제2 스페이서부(58)의 무기부(58c) 및 제2 앵커부(32)가 얻어진다. 또한, 제2 앵커부(32) 아래에 존재하는 제1 수지층(68) 및 제2 수지층(70)을 제거함으로써, 도 6에 나타내는 구조가 얻어진다.
제2 앵커부(32)의 형성과 동일한 프로세스로, 셔터(14), 제1 앵커부(22), 제1 스프링(20) 및 제2 스프링(34)도 형성한다. 또한, 반대측의 광 투과성 기판(12)에는, 제1 벽부(62) 및 제1 스페이서부(56)를 동시에 형성한다(도 4 참조).
이상의 공정에서, 스페이서(54), 셔터(14), 구동부(38) 및 벽부(60)는, 박막의 성막 및 에칭을 포함하는 복수회의 프로세스로 동시에 형성된다.
본 실시 형태에 따른 표시 장치의 제조 방법은, 상기 공정을 포함하고, 그 후에 계속되는 공 셀의 조립 공정을 포함한다. 공 셀은, 간격을 두고 배치된 한 쌍의 광 투과성 기판(10, 12)을 갖고, 양자 간의 구조는, 오일(52)을 갖고 있지 않은 점을 제외하고, 상기 표시 장치의 내용이 해당한다. 즉, 공 셀은, 오일(52)을 주입하기 전의 상태이다.
도 11 내지 도 14는, 공 셀에 오일(52)을 주입하는 공정을 설명하는 도면이다. 본 실시 형태에서는, 오일(52)을 주입하는 공정에서, 공간의 내부를 외부보다도 저기압으로 해서, 시일재(44)의 절취선(46)으로부터 오일(52)을 주입한다.
구체적으로는, 도 11에 나타낸 바와 같이, 시일재(44)가 공간을 둘러싸는 공 셀(74)을 준비한다. 또한, 진공조(76)에, 오일(52)이 들어간 용기(78)를 준비한다. 도 12에 나타낸 바와 같이, 진공조(76)의 내부를 진공 상태로 한 후에, 시일재(44)의 절취선(46)(주입구)를 오일(52)에 접촉시킨다. 도 13에 나타낸 바와 같이, 진공조(76)의 밀폐 상태를 해제해서 공기를 리크하면, 공 셀(74)의 내부(시일재(44)에 의해 둘러싸여진 공간)에, 시일재(44)의 절취선(46)으로부터 오일(52)이 충전된다. 오일(52)은, 점성이 낮을수록 유입 속도가 빨라진다.
본 실시 형태에 따르면, 시일재(44)의 절취선(46)으로부터 표시 영역(48)에 오일(52)을 주입할 때에, 오일(52)의 흐름을 벽부(60)에서 약하게 할 수 있어, 표시 영역(48)에 배치된 셔터(14)(도 2 참조)에 가해지는 데미지를 줄일 수 있다. 또한, 벽부(60)를, 스페이서(54), 셔터(14) 및 구동부(38)와 동시에 형성하므로, 공정수의 증가를 피할 수 있다. 이렇게 해서, 도 14에 나타낸 바와 같이 오일(52)을 충전한다. 그 후, 도 2에 나타낸 바와 같이, 절취선(46)을 엔드 시일(50)로 막는다.
도 15 및 도 16은, 본 발명의 실시 형태에 따른 표시 장치의 변형 예를 나타내는 도면이다.
도 15에 나타내는 예에서는, 벽부(160)는, 절취선(46)과 표시 영역(48)과의 사이에서, 최단 경로를 차단하는 위치를 통하여 직선 형상으로 연장하도록 형성되어 있다. 벽부(160)는, 이 위치에만 형성되고, 표시 영역(48)을 둘러싸지 않도록 되어 있다. 적어도 절취선(46)으로부터 유입한 오일(52)(도 14 참조)이 표시 영역(48)에 유입되기 전에 벽부(160)에 닿으므로, 상술한 효과를 달성할 수 있다. 또한, 벽부(160)는, 표시 영역(48)의 폭을 초과하는 길이로 연속적으로 형성되어 있으므로, 오일(52)은 표시 영역(48)의 가로로부터 돌아들어가도록 흐르므로, 유로가 길어지는 것으로도 유속을 느리게 할 수도 있다.
도 16에 나타내는 예에서는, 벽부(260)는, 복수의 평행한 직선을 따라 연장하고, 각각의 직선을 따라 연장하는 부분이 슬릿(266)을 갖도록 형성되어 있다. 슬릿(266)은 서로 다르게 형성되어 있으므로, 오일(52)(도 14 참조)이 지그재그로 흐르도록 되어있다. 이에 의해, 오일(52)의 유로를 길게 할 수가 있어, 유속을 느리게 할 수 있다.
본 발명은, 상술한 실시 형태로 한정되는 것은 아니며 여러 가지 변형이 가능하다. 예를 들면, 실시 형태에서 설명한 구성은, 실질적으로 동일한 구성, 동일한 작용 효과를 발휘하는 구성 또는 동일한 목적을 달성할 수 있는 구성으로 치환할 수 있다.
10 : 광 투과성 기판
12 : 광투과성 기판
14 : 셔터
16 : 개구부
18 : 백라이트
20 : 제1 스프링
22 : 제1 앵커부
24 : 제1 배선
26 : 제1부
28 : 제2부
30 : 제3부
32 : 제2 앵커부
34 : 제2 스프링
36 : 제2 배선
38 : 구동부
40 : 차광막
42 : 개구부
44 : 시일재
46 : 절취선
48 : 표시 영역
50 : 엔드 시일
52 : 오일
54 : 스페이서
56 : 제1 스페이서부
58 : 제2 스페이서부
58a : 수지부
58b : 수지부
58c : 무기부
60 : 벽부
60a : 벽부의 일부
60b : 벽부의 일부
60c : 벽부의 일부
62 : 제1 벽부
64 : 제2 벽부
64a : 수지부
64b : 수지부
64c : 무기부
66 : 슬릿
68 : 제1 수지층
70 : 제2 수지층
72 : 무기층
74 : 공 셀
76 : 진공조
78 : 용기
160 : 벽부
260 : 벽부
266 : 슬릿

Claims (6)

  1. 간격을 두고 배치된 한 쌍의 광 투과성 기판과,
    상기 한 쌍의 광 투과성 기판의 대향면끼리 밀착하고, 절취선을 갖고서 공간을 둘러싸는 시일재와,
    상기 시일재의 상기 절취선을 막고, 상기 공간을 밀봉해서 밀봉 공간을 형성하는 엔드 시일과,
    상기 밀봉 공간에 채워진 오일과,
    상기 오일 내에 배치되고, 상기 한 쌍의 광 투과성 기판 간의 상기 간격을 유지하는 스페이서와,
    한쪽의 상기 광 투과성 기판에 형성된, 개구부를 갖는 차광막과,
    상기 오일 내에 배치된 셔터와,
    상기 개구부로의 광의 통과 및 차단을 제어하도록, 상기 셔터를 기계적으로 구동하기 위한, 상기 오일 내에 배치된 구동부와,
    상기 한 쌍의 광 투과성 기판의 상기 대향면의 적어도 한쪽 위에 형성된 벽부를 갖고,
    상기 스페이서, 상기 셔터 및 상기 구동부는, 상기 개구부를 통과하는 광의 유무 및 강약에 의해 화상을 표시하는 표시 영역에 배치되고,
    상기 벽부는, 상기 시일재의 상기 절취선과 상기 표시 영역과의 최단 경로를 차단하는 위치에 배치된 부분을 갖고, 상기 스페이서, 상기 셔터 및 상기 구동부를 구성하는 재료로 형성되어 있고,
    상기 벽부는, 상기 한 쌍의 광 투과성 기판의 상기 대향면끼리 밀착하고 있는 것을 특징으로 하는 표시 장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 벽부는, 상기 표시 영역을 둘러싸도록 배치되고, 상기 최단 경로를 차단하는 상기 위치를 제외하고 슬릿이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 표시 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 벽부는, 상기 절취선과 상기 표시 영역과의 사이에서, 상기 최단 경로를 차단하는 상기 위치를 통해서 직선 형상으로 연장하도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 표시 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 벽부는, 복수의 평행한 직선을 따라 연장하고, 각각의 상기 직선을 따라 연장하는 부분이 슬릿을 갖도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 표시 장치.
  6. 간격을 두고 배치된 한 쌍의 광 투과성 기판과,
    상기 한 쌍의 광 투과성 기판의 대향면끼리 밀착하고, 절취선을 갖고서 공간을 둘러싸는 시일재와,
    오일 내에 배치되고, 상기 한 쌍의 광 투과성 기판 간의 상기 간격을 유지하는 스페이서와,
    한쪽의 상기 광 투과성 기판에 형성된, 개구부를 갖는 차광막과,
    상기 공간 내에 배치된 셔터와,
    상기 개구부로의 광의 통과 및 차단을 제어하도록, 상기 셔터를 기계적으로 구동하기 위한, 상기 공간 내에 배치된 구동부와,
    상기 한 쌍의 광 투과성 기판의 상기 대향면의 적어도 한쪽 위에 형성된 벽부를 갖고,
    상기 스페이서, 상기 셔터 및 상기 구동부는, 상기 개구부를 통과하는 광의 유무 및 강약에 의해 화상을 표시하는 표시 영역에 배치되고,
    상기 벽부는, 상기 시일재의 상기 절취선과 상기 표시 영역과의 최단 경로를 차단하는 위치에 배치된 부분을 갖도록, 공 셀을 조립하는 공정과,
    상기 시일재의 상기 절취선으로부터 상기 공 셀에 오일을 주입하는 공정을 포함하고,
    상기 공 셀을 조립하는 공정에서, 상기 스페이서, 상기 셔터, 상기 구동부 및 상기 벽부를, 박막의 성막 및 에칭을 포함하는 복수회의 프로세스로 동시에 형성하고,
    상기 오일을 주입하는 공정에서, 상기 공간의 내부를 외부보다도 저기압으로 하여, 상기 시일재의 상기 절취선으로부터 상기 오일을 주입하는 것을 특징으로 하는 표시 장치의 제조 방법.
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