KR101382072B1 - Device that mist capture by slowing the rate of air current - Google Patents

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KR101382072B1
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Abstract

본 발명은 기류 감속 미스트 포집장치는, 이류체 분사 노즐의 직하방향에 설치되며, 상면과 저면이 개방된 케이스부와, 상기 케이스부의 상부에 상면과 저면이 개방되는 형태로 결합되며, 상기 케이스부의 공간에 비해 더 좁은 공간을 제공하는 커버부와, 상기 커버부의 하부측 상기 케이스부의 내측을 횡방향으로 막아 기류가 통과하면서 미스트가 포집되도록 하는 미스트분리부와, 상기 미스트분리부의 하부측 상기 케이스부의 측면에 마련되어 미스트부를 통과하여 미스트가 분리된 공기를 외부로 감속시켜 배출하는 감속배출부와, 상기 케이스부의 저면에 결합되며, 다수의 포집구가 마련되어 액상의 미스트가 중력에 의해 외부로 낙하되도록 하는 포집부를 포함한다. 본 발명은 슬릿 젯 등의 세정노즐의 직하방향에 설치되어, 세정노즐에서 분사되는 기류의 속도를 낮춰 미스트를 포집하되, 미스트의 유출을 방지하여 미스트의 재부착을 방지할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, the airflow deceleration mist collecting device is installed in a direction directly below the airflow nozzle, and is coupled to a case portion having an upper surface and a bottom surface opened, an upper surface and a bottom surface opened on an upper portion of the case portion, and the case portion. A cover portion providing a narrower space than the space, a mist separation portion for blocking the inner side of the case portion at the lower side of the cover side in a transverse direction so that mist is collected while the airflow passes, and the case portion at the bottom side of the mist separation portion. It is provided on the side to pass through the mist portion to reduce the discharged air to the outside to decelerate and discharge, and coupled to the bottom of the case portion, a plurality of collecting holes are provided so that the liquid mist falls to the outside by gravity It includes a collecting part. The present invention is installed in the direction immediately below the cleaning nozzles, such as slit jet, while collecting the mist by lowering the speed of the air flow injected from the cleaning nozzle, there is an effect that can prevent the re-attach of the mist by preventing the outflow of the mist.

Description

기류 감속 미스트 포집장치{Device that mist capture by slowing the rate of air current}Device that mist capture by slowing the rate of air current}

본 발명은 기류 감속 미스트 포집장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기류의 이동거리를 최소화하면서도 미스트를 제거할 수 있는 기류 감속 미스트 포집장치에 관한 것이다.
The present invention relates to an airflow deceleration mist collecting device, and more particularly to an airflow deceleration mist collecting device that can remove the mist while minimizing the moving distance of the airflow.

일반적으로 평판 디스플레이 장치의 제조 공정에서는 대면적의 유리 기판을 일방향으로 수평 또는 경사지게 이송하면서, 세정, 건조 등의 다양한 처리를 하게 된다.In general, in the manufacturing process of a flat panel display device, various processes such as cleaning and drying are performed while the glass substrate having a large area is horizontally or inclined in one direction.

이때 유리 기판을 이송하는 이송축들은 다수로 마련되어 기판의 저면에 접하여 모두 동일한 방향으로 회전하면서 기판을 이송하게 된다. 이와 같은 이송 과정에서 고압 세정모듈인 슬릿 젯(slit jet)에서 이류체를 기판에 분사하여 세정을 수행한다.In this case, a plurality of transport shafts for transporting the glass substrates are provided to contact the bottom surface of the substrate to rotate the substrates while rotating in the same direction. In this transfer process, the air is sprayed onto the substrate by a slit jet, which is a high-pressure cleaning module, to perform cleaning.

상기 슬릿 젯은 기류와 미스트가 혼합된 이류체를 분사하며, 분사압력이 강할수록 기판에 강한 압력으로 기체와 미스트를 충돌시킬 수 있어, 세정 효율을 높일 수 있게 된다. The slit jet injects a mixture of airflow and mist, and the stronger the injection pressure, the higher the pressure on the substrate can collide with the mist and the gas, thereby improving the cleaning efficiency.

그러나 강한 압력으로 분사되는 이류체는 기판의 표면이나 상기 이송축들에 충돌 후 미스트가 분산되어 기판 등에 재부착되어 오염시키는 문제점이 있었다.
However, the air sprayed at a high pressure has a problem in that mist is dispersed after collision with the surface of the substrate or the transfer shafts and reattached to the substrate to contaminate.

이러한 문제점을 감안하여 고압의 세정 노즐을 사용하는 기판 처리장치에서는 기류와 세정액(미스트)를 분리하여 각각 제거하는 수단이 마련되어 있다.In view of these problems, a substrate processing apparatus using a high pressure cleaning nozzle is provided with means for separating and removing the air flow and the cleaning liquid (mist), respectively.

그 예로 등록특허 10-0770503호에는 기판 처리장치의 일부에 배기구가 마련되고, 이송축의 하부에 메쉬망을 두어 미스트 및 기류가 배기구로 이동하면서 메쉬망을 통해 기류의 속도를 낮추고, 미스트를 분리시켜 액상의 세정수를 수집하는 구조가 공개되어 있다.
For example, in Patent No. 10-0770503, an exhaust port is provided in a portion of a substrate processing apparatus, and a mesh network is provided at a lower portion of a transfer shaft to lower the speed of the air flow through the mesh network while separating the mist and the air flow to the exhaust port. A structure for collecting liquid washing water is disclosed.

그러나 이와 같은 종래 기술은 기류의 이동 경로가 노즐부터 배기구까지 길게 연장될 수밖에 없으며, 따라서 기류의 이동 과정에서 주변 장치들과의 간섭에 의해 와류가 발생 될 수 있으며, 와류의 발생에 의해 미스트가 기류의 이동 경로를 벗어나 기판 등에 재부착될 수 있는 확률이 있었다.
However, such a conventional technology has no choice but to extend the flow path of the airflow from the nozzle to the exhaust port, and thus, in the process of moving the airflow, vortices may be generated by interference with peripheral devices, and mist may cause airflow. There was a possibility of reattaching to the substrate or the like out of the moving path of.

상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 세정 노즐의 직하부에서 미스트의 유출을 방지하면서 공기와 미스트를 효과적으로 분리하여, 미스트의 재부착을 방지할 수 있는 기류 감속 미스트 포집장치를 제공함에 있다.The problem to be solved by the present invention in view of the above problems is an airflow deceleration mist collecting device that can effectively separate the air and mist while preventing the outflow of the mist directly below the cleaning nozzle, to prevent the reattachment of the mist In providing.

또한 본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는, 기류의 속도를 급감시켜 이상기류에 의한 기판 손상을 방지할 수 있는 기류 감속 미스트 포집장치를 제공함에 있다.
In addition, another object of the present invention is to provide an airflow deceleration mist collecting device that can reduce the speed of the airflow to prevent damage to the substrate by the abnormal airflow.

상기와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명 기류 감속 미스트 포집장치는, 이류체 분사 노즐의 직하방향에 설치되며, 상면과 저면이 개방된 케이스부와, 상기 케이스부의 상부에 상면과 저면이 개방되는 형태로 결합되며, 상기 케이스부의 공간에 비해 더 좁은 공간을 제공하는 커버부와, 상기 커버부의 하부측 상기 케이스부의 내측을 횡방향으로 막아 기류가 통과하면서 미스트가 포집되도록 하는 미스트분리부와, 상기 미스트분리부의 하부측 상기 케이스부의 측면에 마련되어 미스트부를 통과하여 미스트가 분리된 공기를 외부로 감속시켜 배출하는 감속배출부와, 상기 케이스부의 저면에 결합되며, 다수의 포집구가 마련되어 액상의 미스트가 중력에 의해 외부로 낙하되도록 하는 포집부를 포함한다.
In order to solve the above problems, the present airflow deceleration mist collecting device is provided in a direction directly below the airflow nozzle, and has a case portion having an upper surface and a bottom surface opened, and an upper surface and a bottom surface opened on an upper portion of the case portion. A cover part coupled to the case part, the cover part providing a narrower space than the space of the case part, a mist separation part to close the inner side of the case part lower side of the case part in a transverse direction so that mist is collected while the airflow passes, and the mist The lower side of the separating part is provided on the side of the case part, the deceleration discharge part for decelerating and discharging the air from which the mist is separated by passing through the mist part, and coupled to the bottom surface of the case part, provided with a plurality of collecting holes, the liquid mist is gravity It includes a collecting portion to fall to the outside by.

본 발명 기류 감속 미스트 포집장치는, 슬릿 젯 등의 세정노즐의 직하방향에 설치되어, 세정노즐에서 분사되는 기류의 속도를 낮춰 미스트를 포집하되, 미스트의 유출을 방지하여 미스트의 재부착을 방지할 수 있는 효과가 있다.The airflow deceleration mist collecting device of the present invention is installed in a direction directly below a cleaning nozzle such as a slit jet, and collects the mist by lowering the speed of the airflow injected from the cleaning nozzle, but prevents the outflow of the mist to prevent reattachment of the mist. It can be effective.

또한 본 발명 기류 감속 미스트 포집장치는 장치를 소형화하여 설치가 용이하며, 주변 설비들과의 간섭에 의해 와류가 발생 되는 것을 최소화할 수 있는 효과가 있다.In addition, the present airflow deceleration mist collecting device is easy to install by miniaturizing the device, there is an effect that can minimize the generation of vortex due to interference with the surrounding equipment.

또한 본 발명 기류 감속 미스트 포집장치는 메쉬망 구조의 미스트분리부를 사용하여 기류의 속도를 급감시켜 이상 기류의 발생에 의해 기판이 손상되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
In addition, the present airflow deceleration mist collecting device has the effect of preventing the substrate from being damaged by the generation of abnormal airflow by reducing the speed of the airflow using the mist separator of the mesh network structure.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기류 감속 미스트 포집장치의 사시도이다.
도 2는 도 1의 A-A 단면도이다.
도 3은 도 1의 평면도이다.
도 4는 도 1의 측면도이다.
도 5는 본 발명의 설치 상태도이다.1 is a perspective view of an airflow deceleration mist collecting device according to a preferred embodiment of the present invention.
2 is a sectional view taken along the line AA in Fig.
3 is a plan view of Fig.
4 is a side view of Fig.
5 is an installation state diagram of the present invention.

이하, 본 발명 기류 감속 미스트 포집장치의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, preferred embodiments of the present invention airflow reduction mist collecting device will be described in detail.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기류 감속 미스트 포집장치의 사시도이고, 도 2는 A-A 단면도이고, 도 3과 도 4는 각각 도 1의 평면도와 측면도이다.1 is a perspective view of an airflow reduction mist collecting device according to a preferred embodiment of the present invention, Figure 2 is a cross-sectional view A-A, Figures 3 and 4 are a plan view and a side view of Figure 1, respectively.

도 1 내지 도 4를 각각 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기류 감속 미스트 포집장치는, 일방향으로 길고 상부와 하부가 개방된 케이스부(10)와, 상기 케이스부(10)의 상부측에 결합되며, 상부측이 안쪽으로 절곡되어 미스트의 이탈을 방지하는 이탈방지부(21)를 포함하는 커버부(20)와, 상기 커버부(20)의 하부측 케이스부(10)의 내측에 수평설치되어, 기류를 감속하여 미스트를 분리하는 미스트분리부(50)와, 미스트분리부(50) 하부측의 케이스부(10)의 양측면에 마련되어 상기 미스트분리부(50)를 통과한 기류를 외부로 배출하는 감속배출부(30)와, 상기 케이스부(10)의 저면을 막으며 다수의 천공이 마련되어 상기 분리된 미스트를 포집하는 포집부(40)를 포함하여 구성된다.
1 to 4, the airflow deceleration mist collecting device according to the preferred embodiment of the present invention includes a case part 10 which is long in one direction and the upper part and the lower part are opened, and an upper side of the case part 10. It is coupled to, the upper side is bent inward to cover the cover portion 20 including a departure prevention portion 21 to prevent the separation of the mist, and the inner side of the lower case portion 10 of the cover portion 20 It is installed horizontally, is provided on both sides of the mist separation section 50 for separating the mist by decelerating the air flow, and the case portion 10 of the lower side of the mist separation section 50, the air flow passing through the mist separation section 50 It comprises a deceleration discharge portion 30 for discharging to the outside and a collecting portion 40 to block the bottom of the case portion 10 is provided with a plurality of perforations to collect the separated mist.

상기와 같이 구성된 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기류 감속 미스트 포집장치의 구체적인 구성과 작용에 대하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.
The detailed configuration and operation of the airflow deceleration mist collecting device according to the preferred embodiment of the present invention configured as described above will be described in detail as follows.

먼저, 케이스부(10)의 형상은 상면과 저면이 개방된 직육면체의 구성이며, 그 길이는 적어도 기판(도면 미도시)의 폭과 동일한 길이가 되도록 한다.First, the shape of the case part 10 is the structure of the rectangular parallelepiped which opened the upper surface and the bottom surface, and the length is made to be the same length as the width of a board | substrate (not shown) at least.

또한 상부측은 일부가 절곡되어 도 2의 단면도 상에서 상부측 공간의 부피가 하부측 공간의 부피에 비해 더 적게 되도록 한다. 이는 기류가 좁은 공간에서 넓은 공간으로 이동하면서 감속되어 미스트의 포집이 보다 원활하게 일어나도록 하기 위한 것이다.In addition, the upper side is partially bent so that the volume of the upper side space is smaller than the volume of the lower side space in the cross-sectional view of FIG. 2. This is to allow the airflow to decelerate as the air flow moves from the narrow space to the large space so that the mist collection occurs more smoothly.

또한 케이스부(10)의 상부와 미스트분리부(50)의 결합위치 사이에는 다수의 홀(11)이 마련되어 있어, 그 홀(11)을 통해 기류의 일부가 배출되도록 한다.
In addition, a plurality of holes 11 are provided between the upper portion of the case portion 10 and the coupling position of the mist separation unit 50, so that a part of the airflow is discharged through the holes 11.

상기 케이스부(10)의 상부 내측에는 커버부(20)가 결합된다. 상기 커버부(20)의 전체적인 형상은 한 쌍의 판이 각각 케이스부(10)의 상부 절곡부분에 각각 결합된 형상이며, 그 한 쌍의 판 각각은 상기 케이스부(10)와 접하는 중앙부분이 외측으로 돌출된 형태로, 상부와 하부로 갈수록 사이의 공간이 좁아지는 형태가 된다.The cover part 20 is coupled to an upper inner side of the case part 10. The overall shape of the cover portion 20 is a shape in which a pair of plates are respectively coupled to the upper bent portion of the case portion 10, each of the pair of plates is the center portion in contact with the case portion 10 is the outside As it protrudes into a shape, the space between the upper and lower becomes narrower.

상기 한 쌍의 판 각각의 상부는 안쪽으로 절곡된 이탈방지부(21)를 구비하여 미스트가 외부로 유출되는 것을 방지하게 된다. 이는 미스트가 내부에서 발생되는 와류에 의해 외부로 유출될 때 이탈방지부(21)에 접하여 액적이 생겨 다시 하부로 낙하되도록 하여 미스트의 유출을 방지하고, 포집률을 높일 수 있게 된다.The upper portion of each of the pair of plates is provided with a departure prevention portion 21 bent inward to prevent the mist from flowing out. When the mist is discharged to the outside by the vortex generated inside the droplets in contact with the escape prevention portion 21 is generated to fall again to prevent the leakage of the mist, it is possible to increase the collection rate.

또한 상기 커버부(20)의 하단부는 상기 케이스부(10)의 폭보다 좁게 형성되어, 기류를 감속시키는 역할을 하게 된다.
In addition, the lower end portion of the cover portion 20 is formed to be narrower than the width of the case portion 10, and serves to reduce the air flow.

상기 커버부(20)로 유입된 미스트와 기류는 그 커버부(20)를 통과하면서 보다 큰 공간으로 이동하기 때문에 속도가 저하되며, 이때 상기 커버부(20)의 하부측에 위치하는 미스트분리부(50)를 통과하면서 미스트가 포집된다. 상기 미스트분리부(50)는 메쉬망으로 하는 것이 바람직하다. Mist and air flow introduced into the cover portion 20 is moved to a larger space while passing through the cover portion 20, the speed is lowered, at this time, the mist separation portion located on the lower side of the cover portion 20 Mist is collected while passing 50. The mist separation unit 50 is preferably a mesh network.

미스트분리부(50)를 메쉬망으로 하는 이유는 기류의 속도를 감속함과 아울러 기류의 충돌을 줄여 이상 기류의 발생을 방지함으로써, 이상기류가 이송되는 기판에 영향을 주어 손상되는 것을 방지할 수 있다.
The reason why the mist separation unit 50 is a mesh net is to reduce the speed of the airflow and to prevent the occurrence of the abnormal airflow by reducing the collision of the airflow, thereby preventing the abnormal airflow from being damaged by affecting the substrate to be transferred. have.

상기 미스트분리부(50)를 통과하면서 기체와 액체가 분리되며, 기체는 감속배출부(30)와 포집부(40)를 통해 배출된다. 이때 기류는 속도가 현저하게 감소된다.Gas and liquid are separated while passing through the mist separation unit 50, and the gas is discharged through the deceleration discharge unit 30 and the collecting unit 40. At this time, the airflow is significantly reduced in speed.

이는 미스트분리부(50)를 통과한 기체는 상기 케이스부(10)와 포집부(40)가 이루는 한정된 공간에서 특별한 공간적 제한이 없는 케이스부(10)의 외측의 넓은 공간으로 배출되면서 속도가 현저하게 감속되기 때문이다.This is because the gas passing through the mist separation unit 50 is discharged to a large space outside the case portion 10 without a special space limitation in the limited space formed by the case portion 10 and the collecting portion 40 is remarkable speed Because it slows down.

이처럼 현저하게 속도가 감속된 기류에 의해서는 다시 미스트가 비산될 염려가 없으며, 미스트는 상기 미스트분리부(50), 감속배출부(30) 및 포집부(40)에서 액적이 되어 포집부(40)에 마련된 다수의 포집구(41)를 통해 낙하되며, 이는 세정수로서 재사용될 수 있다.
There is no fear that the mist is scattered again by the air flow which has been significantly reduced in speed, and the mist becomes droplets in the mist separation unit 50, the deceleration discharge unit 30, and the collecting unit 40 and collects the collecting unit 40. Drop through a plurality of collecting ports 41 provided in the), which can be reused as washing water.

도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기류 감속 미스트 포집장치의 설치 상태도이다.5 is an installation state diagram of the airflow deceleration mist collecting device according to a preferred embodiment of the present invention.

도 5를 참조하면, 슬릿 젯 등의 세정노즐(2)가 설치된 위치에서 기판(1)을 이송하는 이송축(3)의 하부에 본 발명이 설치된다.Referring to FIG. 5, the present invention is installed in the lower portion of the feed shaft 3 for feeding the substrate 1 at a position where a cleaning nozzle 2 such as a slit jet is installed.

즉, 세정노즐(2)의 직하방향에 위치하게 되며, 미스트를 포함하는 기류의 이동경로를 최소화함과 아울러 미스트를 포함하는 기류가 직하 방향으로만 이동하도록 하여 미스트가 주변으로 확산되는 것을 방지하게 된다.
That is, it is located in the direction immediately below the cleaning nozzle 2, to minimize the movement path of the air flow containing the mist and to allow the air flow containing the mist to move only in the direct direction to prevent the mist from spreading to the surroundings. do.

상기 세정노즐(2)에서 분사된 이류체는 기판(1)이 그 세정노즐(2)의 직하 방향에 없을 때 이송축(3)에 분사되며, 이송축(3)에 분사된 이류체는 상기 커버부(20)에 유입된다. The air sprayed from the cleaning nozzle 2 is sprayed on the feed shaft 3 when the substrate 1 is not in the direction of the cleaning nozzle 2, and the air sprayed on the feed shaft 3 is It flows into the cover part 20.

이때 A영역인 이송축(3)의 하부영역에는 와류가 발생하게 되나, A영역에서 발생한 와류에 의해 미스트가 커버부(20)의 상부측으로 배출되는 것을 방지할 수 있게 된다.
At this time, the vortex is generated in the lower region of the feed shaft 3, which is the A region, but the mist is prevented from being discharged to the upper side of the cover portion 20 by the vortex generated in the A region.

또한 상기 커버부(20)의 하부측 측면과 케이스부(10)의 내측면 일부가 이루는 공간인 B영역에도 와류가 형성되며, 그 와류는 좁은 영역에서 발생 되며, 커버부(20), 케이스부(10)에 미스트가 포집되어 홀(11)을 통해서는 여과된 기류만이 배출된다.In addition, a vortex is formed in a region B, which is a space formed by the lower side surface of the cover portion 20 and a part of the inner surface of the case portion 10, and the vortex is generated in a narrow region, and the cover portion 20 and the case portion Mist is collected by 10 and only the filtered airflow is discharged through the hole 11.

이처럼 기류의 일부가 배출된 상태에서 내측의 압력이 낮아져 감속 효과를 더욱 높일 수 있게 된다.
In this way, the inside pressure is lowered while a part of the air flow is discharged, thereby further increasing the deceleration effect.

앞서 설명한 바와 같이 메쉬망 구조의 미스트분리부(50)를 통과하면서 미스트가 대부분 포집되어 액적의 상태로서 그 하부의 포집부(40)의 포집구(41)를 통해 본 발명의 하부측 공간에서 액상의 미스트가 포집된다.As described above, the mist is mostly collected while passing through the mist separation unit 50 of the mesh network structure, and as a state of droplets, the liquid phase in the lower space of the present invention through the collecting port 41 of the lower collecting portion 40. Mist is collected.

또한 상기 미스트분리부(50)에 수직방향으로 유입되는 기류는 메쉬망인 미스트분리부(50)에 반사되어 상향으로 이송되는 것을 방지하여, 상기 기판(1)이 이상기류에 의해 상향으로 들려 파손되는 것을 방지할 수 있게 된다.In addition, the airflow flowing in the vertical direction to the mist separation unit 50 is reflected by the mist separation unit 50, which is a mesh network, and prevented from being transferred upward, and the substrate 1 is lifted upward by the abnormal airflow and is damaged. Can be prevented.

이때 포집구(41)로는 일부 공기도 함께 배출되나 이는 미스트를 발생시킬 정도의 압력과 속도를 가지지 못한다.
At this time, some air is also discharged to the collecting port 41, but it does not have a pressure and speed enough to generate mist.

이처럼 본 발명은 세정노즐의 직하방향으로 미스트를 포함하는 기류를 배출하여, 미스트와 기류를 분리함과 동시에 미스트를 포집하여 재사용할 수 있기 때문에 장치의 크기를 현저하게 줄여 설치가 용이하게 된다.As described above, the present invention discharges the airflow including mist in the direction immediately below the cleaning nozzle, separates the mist and the airflow, and collects and reuses the mist.

또한 미스트의 확산을 차단하여 세정공정 후 미스트에 의한 기판 재오염을 방지할 수 있게 된다.
In addition, the diffusion of mist can be blocked to prevent recontamination of the substrate by the mist after the cleaning process.

전술한 바와 같이 본 발명에 대하여 바람직한 실시예를 들어 상세히 설명하였지만, 본 발명은 전술한 실시예들에 한정되는 것이 아니고, 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명에 속한다.
While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, And this also belongs to the present invention.

10:케이스부 11:홀
20:커버부 21:이탈방지부
30:감속배출부 40:포집부
41:포집구 50:미스트분리부 10: Case part 11: hole
20: cover 21: release prevention portion
30: deceleration discharge part 40: collecting part
41: collecting port 50: mist separation unit

Claims (4)

이류체 분사 노즐의 직하방향에 설치되며, 상면과 저면이 개방된 케이스부;
상기 케이스부의 상부에 상면과 저면이 개방되는 형태로 결합되며, 상기 케이스부의 공간에 비해 더 좁은 공간을 제공하는 커버부;
상기 커버부의 하부측 상기 케이스부의 내측을 횡방향으로 막아 기류가 통과하면서 미스트가 포집되도록 하는 미스트분리부;
상기 미스트분리부의 하부측 상기 케이스부의 측면에 마련되어 미스트부를 통과하여 미스트가 분리된 공기를 외부로 감속시켜 배출하는 감속배출부; 및
상기 케이스부의 저면에 결합되며, 다수의 포집구가 마련되어 액상의 미스트가 중력에 의해 외부로 낙하되도록 하는 포집부를 포함하는 기류 감속 미스트 포집장치.
A case part installed in a direction directly below the air atomizing nozzle and having an upper surface and a lower surface opened;
A cover portion coupled to an upper surface and a bottom surface of the upper portion of the case portion and providing a narrower space than the space of the case portion;
A mist separation unit for blocking the inner side of the case portion in the transverse direction from the lower side of the cover portion to collect mist while passing airflow;
A deceleration discharge part provided on a lower side of the mist separation part and provided on a side of the case part to decelerate and discharge air from which mist is separated to the outside through a mist part; And
The airflow deceleration mist collecting device is coupled to the bottom surface of the case, and includes a collecting unit provided with a plurality of collecting holes to fall outward by the gravity of the liquid mist.
제1항에 있어서,
상기 케이스부는,
상기 커버부와의 결합부분이 타부분에 비해 좁게 되도록 절곡되어 있으며,
상기 커버부의 하단부와 중첩되는 측면부에 다수의 홀이 마련된 것을 특징으로 하는 기류 감속 미스트 포집장치.
The method of claim 1,
In the case,
The coupling portion with the cover portion is bent to be narrower than the other portion,
Airflow deceleration mist collecting device, characterized in that a plurality of holes provided in the side portion overlapping the lower end of the cover portion.
제1항에 있어서,
상기 커버부는,
상기 케이스부와 결합되는 중앙부가 외측을 향하도록 상단부와 하단부가 안쪽으로 절곡되며,
상기 커버부의 상단부의 끝부분은 안쪽으로 절곡되어 미스트가 유출되는 것을 차단하는 이탈방지부를 이루는 것을 특징으로 하는 기류 감속 미스트 포집장치.
The method of claim 1,
The cover portion
The upper part and the lower part are bent inward so that the center part combined with the case part faces outward,
End portion of the upper end of the cover portion is bent inward to form an escape prevention portion for preventing the mist from flowing out of the mist collection device.
제1항에 있어서,
상기 미스트분리부와 감속배출부는,
각각 메쉬망인 것을 특징으로 하는 기류 감속 미스트 포집장치.
The method of claim 1,
The mist separation unit and the deceleration discharge unit,
Airflow deceleration mist collecting device, characterized in that each of the mesh network.
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KR20100077356A (en) * 2008-12-29 2010-07-08 주식회사 케이씨텍 Mist removal device for high pressure micro jet

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000107705A (en) 1998-09-30 2000-04-18 Shimada Phys & Chem Ind Co Ltd Method and apparatus for cleaning semiconductor wafer, etc.
KR20100077356A (en) * 2008-12-29 2010-07-08 주식회사 케이씨텍 Mist removal device for high pressure micro jet

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