KR101365245B1 - Shower head cleaning and packing apparatus - Google Patents

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Abstract

샤워헤드의 세척과 진공 포장을 함께 할 수 있는 샤워헤드 세척 및 포장 장치가 개시된다. 개시된 샤워헤드 세척 및 포장 장치는, 외부에서 유입되는 세척 가스를 샤워헤드를 향해 토출하여 샤워헤드를 세척하는 세척 유닛이 구비된 세척 챔버(chamber)와,세척된 샤워헤드를 진공 포장하는 진공 포장 유닛이 구비된 포장 챔버와, 세척 챔버에서 포장 챔버로 세척된 샤워헤드를 이송하는 이송 유닛과, 세척 챔버와 포장 챔버를 구분하며, 세척 챔버에서 샤워헤드가 세척되는 때 폐쇄되고, 이송 유닛에 의해 세척된 샤워헤드가 세척 챔버에서 포장 챔버로 이송되는 때 개방되는 챔버 분리 도어를 구비한다. Disclosed is a showerhead cleaning and packaging apparatus capable of performing both a showerhead cleaning and a vacuum packaging. The disclosed showerhead cleaning and packaging apparatus includes a cleaning chamber including a cleaning unit for discharging externally introduced cleaning gas toward the showerhead and washing the showerhead, and a vacuum packaging unit for vacuum packaging the washed showerhead. The provided packing chamber, a transfer unit for transferring the showerhead washed from the cleaning chamber to the packing chamber, and separate the cleaning chamber and the packing chamber, are closed when the showerhead is washed in the cleaning chamber, and washed by the transfer unit And a chamber separation door that opens when the showerhead is transferred from the cleaning chamber to the packaging chamber.

Figure R1020120053866
Figure R1020120053866

Description

샤워헤드 세척 및 포장 장치{Shower head cleaning and packing apparatus}Shower head cleaning and packing apparatus

본 발명은 증착(vapor deposition), 에칭(etching) 등의 작업 대상에 화학물질을 뿌려주는데 사용되는 샤워헤드(shower head)를 세척하고 포장하는 장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for cleaning and packaging a shower head used for spraying chemicals on a work object such as vapor deposition and etching.

LCD, 반도체칩 등 정밀 전자부품의 생산에 있어 증착(vapor deposition), 에칭(etching) 등의 작업이 요구된다. 이러한 작업에는 증착 또는 에칭의 대상이 되는 기판에 가스(gas) 또는 액상의 화학물질을 뿌려주기 위한 샤워헤드(shower head)가 사용된다. 고도의 정밀도가 요구되는 정밀 전자부품 생산 설비에 사용되는 부품들은 미세 먼지 등으로 인한 오염에 매우 민감하다. 따라서, 샤워헤드도 신제품은 물론이고 중고 제품이더라도 세척 후 오염을 방지하기 위하여 포장을 할 필요가 있다. In the production of precision electronic components such as LCD and semiconductor chips, operations such as vapor deposition and etching are required. This operation uses a shower head to spray gas or liquid chemicals onto the substrate to be deposited or etched. Parts used in precision electronic parts production equipment that requires high precision are very sensitive to contamination from fine dust. Therefore, the shower head also needs to be packaged to prevent contamination after cleaning, as well as used products as well as new products.

본 발명은, 샤워헤드의 세척과 진공 포장을 함께 할 수 있는 샤워헤드 세척 및 포장 장치를 제공한다. The present invention provides a showerhead cleaning and packaging apparatus capable of performing both a showerhead cleaning and a vacuum packaging.

본 발명은 샤워헤드를 세척 건조하는 장소에서 진공 포장하는 장소로 자동 이송하는 샤워헤드 세척 및 포장 장치를 제공한다. The present invention provides a showerhead cleaning and packaging device that automatically transfers a showerhead from a place to wash and dry to a vacuum place.

본 발명은, 외부에서 유입되는 세척 가스를 샤워헤드를 향해 토출하여 상기 샤워헤드를 세척하는 세척 유닛이 구비된 세척 챔버(chamber), 세척된 샤워헤드를 진공 포장하는 진공 포장 유닛이 구비된 포장 챔버, 상기 세척 챔버에서 상기 포장 챔버로 상기 세척된 샤워헤드를 이송하는 이송 유닛, 및 상기 세척 챔버와 포장 챔버를 구분하며, 상기 세척 챔버에서 샤워헤드가 세척되는 때 폐쇄되고, 상기 이송 유닛에 의해 세척된 샤워헤드가 상기 세척 챔버에서 상기 포장 챔버로 이송되는 때 개방되는 챔버 분리 도어를 구비하는 샤워헤드 세척 및 포장 장치를 제공한다. The present invention is a cleaning chamber (chamber) having a washing unit for discharging the cleaning gas flowing from the outside toward the shower head to wash the shower head, a packaging chamber having a vacuum packaging unit for vacuum packaging the washed shower head A transfer unit for transferring the washed showerhead from the wash chamber to the packing chamber, and separating the wash chamber and the packing chamber, closed when the showerhead is washed in the wash chamber, and washed by the transfer unit. A showerhead cleaning and packaging device having a chamber separation door that opens when a showerhead is transferred from the cleaning chamber to the packaging chamber.

상기 세척 유닛은 세척 가스가 분출되는 다수의 가스 통공과, 상기 세척 챔버의 외부로부터 상기 가스 통공까지 세척 가스를 유도하는 가스 유로를 구비하고, 상기 세척 챔버에는 상기 가스 통공을 통해 분출된 세척 가스를 상기 세척 챔버의 외부로 강제 배출하기 위한 배기 펌프가 구비될 수 있다. The washing unit has a plurality of gas through-holes through which the cleaning gas is ejected, and a gas flow path leading the cleaning gas from the outside of the cleaning chamber to the gas through-holes, and the cleaning chamber includes the cleaning gas ejected through the gas through-holes. An exhaust pump for forcibly discharging to the outside of the cleaning chamber may be provided.

상기 이송 유닛은 상기 샤워헤드를 지지하며 제자리에서 회전하여 상기 샤워헤드를 이송하는 다수의 롤러를 구비할 수 있다. The conveying unit may include a plurality of rollers that support the shower head and rotate in place to convey the shower head.

상기 진공 포장 유닛은, 일 측이 개방된 개구부를 구비한 진공 포장지와, 상기 진공 포장지의 내부로 상기 세척된 샤워헤드가 투입되면 상기 개구부를 통해 상기 진공 포장지 내부의 공기를 상기 진공 포장지 외부로 강제 배출하는 진공 펌프와, 상기 진공 포장지의 개구부를 가열 봉합하는 봉합 히터(heater)를 구비할 수 있다. The vacuum packaging unit may include a vacuum wrapping paper having an opening at one side thereof, and when the washed shower head is introduced into the vacuum wrapping paper, the air inside the vacuum wrapping paper is forced out of the vacuum wrapping paper through the opening. It may be provided with a vacuum pump for discharging, and a sealing heater for heat-sealing the opening of the vacuum wrapping paper.

상기 진공 포장 유닛은, 상기 진공 포장지 개구부의 하측 단부를 지지하며, 상기 봉합 히터를 구비한 베이스, 및 상기 진공 포장지 개구부의 상측 단부를 지지하고 승강하며, 상기 진공 포장지 개구부가 닫히도록 하강된 때 상기 진공 포장지를 사이에 두고 상기 봉합 히터를 가압하여 상기 개구부의 봉합을 돕는 가압 부재를 구비하는 승강 커버를 구비할 수 있다. The vacuum packaging unit supports the lower end of the vacuum wrapping paper opening, supports and lifts the base having the sealing heater, and the upper end of the vacuum wrapping paper opening, and when the vacuum wrapping paper opening is lowered to close. It may be provided with a lifting cover having a pressing member for pressing the sealing heater through the vacuum wrapping paper to help seal the opening.

상기 진공 포장지 개구부가 닫히도록 상기 승강 커버가 하강된 때, 상기 진공 포장지 개구부의 상측 단부 및 하측 단부가 수용되는 진공 챔버가 형성되고, 상기 진공 챔버 내부의 공기가 강제 배출될 수 있도록 상기 진공 챔버는 상기 진공 펌프와 연결될 수 있다. When the lifting cover is lowered so that the vacuum wrapping paper opening is closed, a vacuum chamber is formed in which upper and lower ends of the vacuum wrapping paper opening are accommodated, and the vacuum chamber is forcibly discharged of air inside the vacuum chamber. It may be connected to the vacuum pump.

상기 진공 포장 유닛은, 서로 분리된 제1 필름 및 제2 필름과, 상기 제1 필름 및 제2 필름 사이로 상기 세척된 샤워헤드가 투입되면 일 부분을 제외하고 상기 제1 필름 및 제2 필름을 가열 봉합하는 제1 봉합 히터와, 상기 봉합되지 않은 일 부분을 통해 상기 제1 필름 및 제2 필름 사이의 공기를 그 외부로 강제 배출하는 진공 펌프와, 상기 제1 필름 및 제2 필름 사이의 공기가 강제 배출된 후 상기 봉합되지 않은 일 부분을 가열 봉합하는 제2 봉합 히터를 구비할 수 있다. The vacuum packaging unit heats the first film and the second film except for a portion when the first and second films separated from each other and the washed shower head are inserted between the first film and the second film. A first sealing heater for sealing, a vacuum pump for forcibly discharging air between the first film and the second film to the outside through the unsealed portion, and air between the first film and the second film It may be provided with a second suture heater for heat sealing the non-sealed portion after forced discharge.

상기 진공 포장 유닛은, 상기 제1 필름을 지지하며, 상기 제1 봉합 히터 및 제2 봉합 히터를 구비한 베이스, 및 상기 제2 필름을 지지하고 승강하며, 상기 제1 필름 및 제2 필름을 사이에 두고 상기 제1 봉합 히터 및 제2 봉합 히터를 가압하여 상기 제1 필름 및 제2 필름의 봉합을 돕는 제1 가압 부재 및 제2 가압 부재를 구비하는 상부 프레임을 구비할 수 있다. The vacuum packaging unit supports the first film, the base including the first sealing heater and the second sealing heater, and supports and lifts the second film, between the first film and the second film. The upper frame may include a first pressing member and a second pressing member which pressurize the first sealing heater and the second sealing heater to help seal the first film and the second film.

상기 상부 프레임이 하강된 때, 상기 제1 봉합 히터에 의해 봉합되지 않은 상기 제1 필름 및 제2 필름의 단부가 수용되는 진공 챔버가 형성되고, 상기 진공 챔버 내부의 공기가 강제 배출될 수 있도록 상기 진공 챔버는 상기 진공 펌프와 연결될 수 있다. When the upper frame is lowered, a vacuum chamber is formed in which end portions of the first film and the second film which are not sealed by the first sealing heater are formed, and the air inside the vacuum chamber is forcibly discharged. The vacuum chamber may be connected with the vacuum pump.

본 발명의 샤워헤드 세척 및 포장 장치에 의하면, 샤워헤드의 세척과 진공 포장을 함께 할 수 있어 샤워헤드의 세척 후 일반 환경 노출에 의한 재오염을 막을 수 있다. 따라서, LCD, 반도체칩 등 정밀 전자부품의 생산 공장 및 생산 설비에 설치할 때 샤워헤드의 오염에 기인한 공장 및 설비의 오염을 막을 수 있다. According to the showerhead cleaning and packaging apparatus of the present invention, the showerhead and the vacuum packaging can be combined together to prevent recontamination by exposure to the general environment after washing the showerhead. Therefore, when installed in the production plant and production equipment of precision electronic components such as LCD, semiconductor chip, it is possible to prevent the contamination of the plant and equipment caused by the contamination of the shower head.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 샤워헤드 세척 및 포장 장치의 구성도이다.
도 2는 도 1의 샤워헤드 세척 및 포장 장치를 이용한 샤워헤드 포장 단계를 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 샤워헤드 세척 및 포장 장치의 구성도이다.
도 4는 도 3의 샤워헤드 세척 및 포장 장치를 이용한 샤워헤드 포장 단계를 도시한 도면이다. 1 is a block diagram of a showerhead cleaning and packaging device according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a view illustrating a showerhead packaging step using the showerhead cleaning and packaging apparatus of FIG. 1.
3 is a block diagram of a showerhead cleaning and packaging apparatus according to a second embodiment of the present invention.
4 is a view illustrating a showerhead packaging step using the showerhead cleaning and packaging apparatus of FIG.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 샤워헤드 세척 및 포장 장치를 상세하게 설명한다. 본 명세서에서 사용되는 용어(terminology)들은 본 발명의 바람직한 실시예를 적절히 표현하기 위해 사용된 용어들로서, 이는 사용자 또는 운용자의 의도 또는 본 발명이 속하는 분야의 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 따라서, 본 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a showerhead cleaning and packaging apparatus according to an embodiment of the present invention. The terminology used herein is a term used to properly express the preferred embodiment of the present invention, which may vary depending on the intention of the user or operator or the custom of the field to which the present invention belongs. Therefore, the definitions of the terms should be made based on the contents throughout the specification.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 샤워헤드 세척 및 포장 장치의 구성도이고, 도 2는 도 1의 샤워헤드 세척 및 포장 장치를 이용한 샤워헤드 포장 단계를 도시한 도면이다. 1 is a block diagram of a showerhead cleaning and packaging apparatus according to a first embodiment of the present invention, Figure 2 is a view showing a showerhead packaging step using the showerhead cleaning and packaging apparatus of FIG.

도 1을 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 샤워헤드 세척 및 포장 장치(10)는 중앙 돌출부에 다수의 샤워 통공(3)이 형성된 샤워헤드(1)를 세척하는 장치이다. 상기 샤워 통공(3)을 통해서 증착 또는 에칭의 대상이 되는 기판에 가스(gas) 또는 액상의 화학물질이 뿌려진다. 상기 샤워헤드 세척 및 포장 장치(10)는 세척 챔버(11), 포장 챔버(12), 및 이송 유닛을 구비한다. 또한, 상기 세척 챔버(11)와 포장 챔버(12)를 구분하는 챔버 분리 도어(15)와, 세척 챔버(11)로 세척할 샤워헤드(1)를 투입하기 위해 개방되는 샤워헤드 투입 도어(14)와, 포장 챔버(12)로부터 진공 포장된 샤워헤드(1)를 취출하기 위해 개방되는 샤워헤드 취출 도어(16)를 구비한다. Referring to FIG. 1, the showerhead cleaning and packaging apparatus 10 according to the first embodiment of the present invention is an apparatus for cleaning a showerhead 1 having a plurality of shower holes 3 formed in a central protrusion. A gas or liquid chemical is sprayed on the substrate to be deposited or etched through the shower hole 3. The showerhead cleaning and packaging apparatus 10 includes a cleaning chamber 11, a packaging chamber 12, and a transfer unit. In addition, the chamber separation door 15 that separates the cleaning chamber 11 and the packaging chamber 12, and the shower head input door 14 that is opened to inject the shower head 1 to be washed into the cleaning chamber 11 And a showerhead take-out door 16 that is opened to take out the vacuum-packed showerhead 1 from the packing chamber 12.

세척 챔버(11)에는 외부에서 유입되는 세척 가스를 샤워헤드(1)를 향해 토출하여 샤워헤드(1)를 세척하는 세척 유닛이 구비된다. 세척 유닛은 샤워헤드(1)의 위에 마련되는 다수의 가스 통공(27)과, 세척 챔버(11)의 외부로부터 상기 가스 통공(27)으로 세척 가스를 유도하는 가스 유로(25)를 구비한다. 상기 가스 유로(25)를 통해 고압으로 승압된 세척 가스가 세척 챔버(11) 내부로 유입되고, 다수의 가스 통공(27)을 통해 고압의 세척 가스가 샤워헤드(1)를 향해 분출된다. 상기 세척 가스는 세척 및 건조 효과가 있고 무해한 질소(N2)가 사용될 수 있다. 고압의 세척 가스가 샤워헤드(1)의 샤워 통공(3)을 통과함에 따라 샤워 통공(3)을 막고 들러붙어 있는 오염 물질들을 고압의 가스로 물리적으로 분리할 수도 있다. The cleaning chamber 11 is provided with a cleaning unit for discharging the cleaning gas flowing from the outside toward the shower head 1 to clean the shower head 1. The cleaning unit includes a plurality of gas through holes 27 provided on the shower head 1, and a gas flow path 25 that guides the cleaning gas to the gas through holes 27 from the outside of the cleaning chamber 11. The washing gas boosted to high pressure through the gas flow path 25 is introduced into the washing chamber 11, and the washing gas of high pressure is blown toward the shower head 1 through the plurality of gas through holes 27. The cleaning gas has a cleaning and drying effect and harmless nitrogen (N 2 ) may be used. As the high pressure cleaning gas passes through the shower hole 3 of the shower head 1, the shower hole 3 may be blocked and the contaminants stuck to the shower hole may be physically separated into the high pressure gas.

한편, 세척 챔버(11)에는 가스 통공(27)을 통해 분출된 세척 가스를 세척 챔버(11) 외부로 강제 배출하기 위한 배기 펌프(29)가 구비되어, 샤워헤드(1)에서 분리된 오염 물질 및 세척 가스는 세척 챔버(11)에서 원활히 배출된다. 세척 가스의 분출을 이용한 세척 중에는 샤워헤드 투입 도어(14)와 챔버 분리 도어(15)는 폐쇄된다. On the other hand, the cleaning chamber 11 is provided with an exhaust pump 29 for forcibly discharging the cleaning gas ejected through the gas through hole 27 to the outside of the cleaning chamber 11, the pollutant separated from the shower head (1) And the cleaning gas is smoothly discharged from the cleaning chamber 11. The showerhead input door 14 and the chamber separation door 15 are closed during the cleaning using the ejection of the cleaning gas.

이송 유닛은 세척된 샤워헤드(1)를 세척 챔버(11)에서 포장 챔버(12)로 이송한다. 이송 유닛에 의해 샤워헤드(1)가 세척 챔버(11)에서 포장 챔버(12)로 이송되는 때 챔버 분리 도어(15)는 개방된다. 이송 유닛은 세척 챔버(11) 내에 일렬로 배치되는 다수의 제1 이송 롤러(20)와, 상기 제1 이송 롤러(20)와 이어지게 포장 챔버(12) 내에 배치되는 제2 이송 롤러(22)를 구비한다. 제1 이송 롤러(20) 및 제2 이송 롤러(22)는 샤워헤드(1)를 지지하며 제자리에서 회전하여 샤워헤드(1)를 이송한다. 명확히 도시되진 않았으나 제1 및 제2 이송 롤러(20, 22)는 모터의 동력에 의해 회전한다. The transfer unit transfers the washed showerhead 1 from the cleaning chamber 11 to the packaging chamber 12. The chamber separation door 15 is opened when the showerhead 1 is transferred from the cleaning chamber 11 to the packaging chamber 12 by the transfer unit. The transfer unit includes a plurality of first transfer rollers 20 arranged in a row in the cleaning chamber 11, and a second transfer roller 22 disposed in the packaging chamber 12 so as to be connected to the first transfer roller 20. Equipped. The first conveying roller 20 and the second conveying roller 22 support the shower head 1 and rotate in place to convey the shower head 1. Although not clearly shown, the first and second transfer rollers 20 and 22 rotate by the power of the motor.

샤워헤드(1)가 세척되는 때에는 제1 이송 롤러(20) 및 제2 이송 롤러(22)는 회전하지 않고 멈추며, 샤워헤드(1)는 회전하지 않는 제1 이송 롤러(20) 상에서 세척 가스에 의해 세척된다. 포장 챔버(12)에는 세척된 샤워헤드(1)를 진공 포장하는 진공 포장 유닛이 구비된다. 샤워헤드(1)가 세척되면 챔버 분리 도어(15)가 개방되고 제1 이송 롤러(20)가 회전하여 샤워헤드(1)를 포장 챔버(12)의 제2 이송 롤러(22)까지 이송하고, 제2 이송 롤러(22)가 회전하여 샤워헤드(1)를 진공 포장 유닛까지 이송한다. When the showerhead 1 is cleaned, the first feed roller 20 and the second feed roller 22 stop without rotation, and the showerhead 1 is flushed with the cleaning gas on the first feed roller 20 which does not rotate. By washing. The packaging chamber 12 is provided with a vacuum packaging unit for vacuum packaging the washed showerhead 1. When the shower head 1 is cleaned, the chamber separation door 15 is opened and the first transfer roller 20 rotates to transfer the shower head 1 to the second transfer roller 22 of the packing chamber 12, The second conveying roller 22 rotates to convey the showerhead 1 to the vacuum packaging unit.

도 1 및 도 2를 함께 참조하면, 진공 포장 유닛은 세척 챔버(11)를 향한 일 측이 개방된 개구부(52)를 구비한 진공 포장지(50)와, 진공 포장지(50)의 내부로 세척된 샤워헤드(1)가 투입되면 개구부(52)를 통해 진공 포장지(50) 내부의 공기를 진공 포장지(50) 외부로 강제 배출하는 진공 펌프(47)와, 진공 포장지(50)의 개구부(52)를 가열 봉합하는 봉합 히터(heater)(36)를 구비한다. 봉합 히터(36)는 베이스(31)에 구비된다. 제2 이송 롤러(22)에 의해 이송되어 베이스(31)에 진입한 샤워헤드(1)가 베이스(31)를 벗어나지 않도록 베이스(31)에는 오목한 홈이 형성된다. 1 and 2 together, the vacuum packaging unit has a vacuum wrapping paper 50 having an opening 52 with one side open toward the cleaning chamber 11 and the inside of the vacuum wrapping paper 50 When the shower head 1 is introduced, the vacuum pump 47 for forcibly discharging the air inside the vacuum wrapping paper 50 to the outside of the vacuum wrapping paper 50 through the opening 52, and the opening 52 of the vacuum wrapping paper 50. It is provided with a sealing heater (36) for heat sealing. The suture heater 36 is provided in the base 31. Concave grooves are formed in the base 31 so that the showerhead 1 transferred by the second transfer roller 22 and entering the base 31 does not leave the base 31.

상기 봉합 히터(36)의 상측에는 상하로 승강하는 승강 커버(40)가 구비되고, 승강 커버(40)에는 고무 재질의 가압 부재(44)가 마련된다. 베이스(31)의 봉합 히터(36) 외측에는 실링(sealing)을 위한 하부 돌기(33)가 형성되고, 승강 커버(40)의 가압 부재(44) 외측에는 상기 하부 돌기(33)에 대응되는, 실링(sealing)을 위한 상부 돌기(42)가 마련된다. 한편, 진공 펌프(47)는 포장 챔버(12)의 외부에 구비되나, 공기 흡입을 위한 흡기공은 상기 하부 돌기(33) 사이의 일 지점에 마련된다. An elevating cover 40 for elevating up and down is provided above the suture heater 36, and an elevating cover 40 is provided with a rubber pressing member 44. A lower protrusion 33 for sealing is formed on the outside of the sealing heater 36 of the base 31, and corresponds to the lower protrusion 33 on the outer side of the pressing member 44 of the lifting cover 40. An upper projection 42 is provided for sealing. On the other hand, the vacuum pump 47 is provided on the outside of the packaging chamber 12, the intake hole for air suction is provided at one point between the lower projection (33).

포장 챔버(12)로 샤워헤드(1)가 이송되기 전에 미리 베이스(31)에는 진공 포장지(50)가 탑재된다. 진공 포장지(50)는 대략 4각형의 봉지 형태로 3면이 폐쇄되어 있고 한 면이 개방되어 개구부(52)가 형성된다. 상기 개구부(52)의 하측 단부(54)는 상기 베이스(31)의 하부 돌기(33) 사이에 부착 지지되고, 상기 개구부(52)의 상측 단부(53)는 상기 승강 커버(40)의 상부 돌기(42) 사이에 부착 지지된다. Before the shower head 1 is transferred to the packaging chamber 12, the vacuum wrapping paper 50 is mounted on the base 31 in advance. The vacuum wrapping paper 50 has three sides closed in the form of a substantially rectangular bag and one side is opened to form an opening 52. The lower end 54 of the opening 52 is attached and supported between the lower protrusions 33 of the base 31, and the upper end 53 of the opening 52 is the upper protrusion of the lifting cover 40. It is attached and supported between the 42.

승강 커버(40)가 상승된 때 진공 포장지(50)의 개구부(52)는 개방되어 있고, 이송 롤러들(20, 22)에 의해 이송된 샤워헤드(1)는 상기 개구부(52)를 통해 진공 포장지(50) 내부에 삽입되고 베이스(31)의 오목한 홈에 안착된다. 상기 개구부(52)가 폐쇄되도록 승강 커버(40)가 하강하면, 하부 돌기(33)와 상부 돌기(42)가 밀착되어 그 내부에 진공 챔버(46)가 형성되고, 가압 부재(44)는 진공 포장지(50)를 사이에 두고 봉합 히터(36)를 밀착 가압한다. 상기 진공 챔버(46)에는 진공 포장지 개구부(52)의 상측 단부(53) 및 하측 단부(54)가 수용된다. The opening 52 of the vacuum wrapping paper 50 is open when the lifting cover 40 is raised, and the showerhead 1 conveyed by the conveying rollers 20, 22 is vacuumed through the opening 52. It is inserted into the wrapping paper 50 and seated in the concave groove of the base 31. When the lifting cover 40 descends so that the opening 52 is closed, the lower protrusion 33 and the upper protrusion 42 are in close contact with each other, and a vacuum chamber 46 is formed therein, and the pressing member 44 is vacuumed. The sealing heater 36 is pressed against each other with the wrapping paper 50 therebetween. The vacuum chamber 46 houses the upper end 53 and the lower end 54 of the vacuum wrapper opening 52.

진공 챔버(46)가 형성된 때 진공 펌프(47)가 작동하면 진공 챔버(46)를 통해 진공 포장지(50) 내부의 공기가 포장 챔버(12)의 밖으로 강제 배출된다. 진공 포장지(50) 내부의 공기가 대부분 배출되면 봉합 히터(36)를 발열시켜 상기 하측 단부(54)와 상측 단부(53) 주변 영역을 녹임으로써 개구부(52)를 봉합한다. 개구부(52)가 봉합된 후 승강 커버(40)가 원위치로 상승하고 샤워헤드 취출 도어(16)가 개방되면 베이스(31)에 놓여진 진공 포장된 샤워헤드(1)를 세척 및 포장 장치(10)로부터 취출할 수 있다. When the vacuum pump 47 operates when the vacuum chamber 46 is formed, air inside the vacuum wrapping paper 50 is forced out of the packaging chamber 12 through the vacuum chamber 46. When most of the air inside the vacuum wrapping paper 50 is discharged, the sealing heater 36 is heated to seal the opening 52 by melting the region around the lower end 54 and the upper end 53. After the opening 52 is sealed, the lifting cover 40 is raised to the original position, and the shower head draw door 16 is opened, the vacuum packed shower head 1 placed on the base 31 is cleaned and packed. It can be taken out from.

도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 샤워헤드 세척 및 포장 장치의 구성도이고, 도 4는 도 3의 샤워헤드 세척 및 포장 장치를 이용한 샤워헤드 포장 단계를 도시한 도면이다.3 is a block diagram of a showerhead cleaning and packaging apparatus according to a second embodiment of the present invention, Figure 4 is a view showing a showerhead packaging step using the showerhead cleaning and packaging device of FIG.

도 3을 참조하면, 본 발명의 제2 실시예에 따른 샤워헤드 세척 및 포장 장치(60) 또한, 중앙 돌출부에 다수의 샤워 통공(3)이 형성된 샤워헤드(1)를 세척하는 장치로서, 세척 챔버(61), 포장 챔버(62), 및 이송 유닛을 구비한다. 또한, 상기 세척 챔버(61)와 포장 챔버(62)를 구분하는 챔버 분리 도어(65)와, 세척 챔버(61)로 세척할 샤워헤드(1)를 투입하기 위해 개방되는 샤워헤드 투입 도어(64)와, 포장 챔버(62)로부터 진공 포장된 샤워헤드(1)를 취출하기 위해 개방되는 샤워헤드 취출 도어(66)를 구비한다. Referring to FIG. 3, the showerhead cleaning and packaging apparatus 60 according to the second embodiment of the present invention is also an apparatus for washing the showerhead 1 in which a plurality of shower holes 3 are formed in the central protrusion. A chamber 61, a packaging chamber 62, and a transfer unit. In addition, a chamber separation door 65 separating the cleaning chamber 61 and the packing chamber 62, and a showerhead inlet door 64 that is opened to inject the showerhead 1 to be cleaned into the cleaning chamber 61. And a showerhead take-out door 66 which is opened to take out the vacuum-packed showerhead 1 from the packing chamber 62.

세척 챔버(61)에는 세척 가스를 샤워헤드(1)를 향해 토출하여 샤워헤드(1)를 세척하는 세척 유닛이 구비된다. 도 3의 세척 유닛은 도 1의 세척 유닛과 마찬가지로 다수의 가스 통공(77)과, 상기 가스 통공(77)으로 세척 가스를 유도하는 가스 유로(75)와, 샤워헤드(1)에서 분리된 오염 물질 및 세척 가스를 세척 챔버(11) 외부로 강제 배출하기 위한 배기 펌프(79)가 구비된다. 도 1의 이송 유닛과 마찬가지로 도 3의 이송 유닛도 세척 챔버(61) 내에 일렬로 배치되는 다수의 제1 이송 롤러(70)와, 상기 제1 이송 롤러(70)와 이어지게 포장 챔버(62) 내에 배치되는 제2 이송 롤러(72)를 구비한다. 포장 챔버(62)에는 세척된 샤워헤드(1)를 진공 포장하는 진공 포장 유닛이 구비된다. 샤워헤드(1)가 세척되면 챔버 분리 도어(65)가 개방되고 제1 이송 롤러(70)가 회전하여 샤워헤드(1)를 포장 챔버(62)의 제2 이송 롤러(72)까지 이송하고, 제2 이송 롤러(72)가 회전하여 샤워헤드(1)를 진공 포장 유닛까지 이송한다. The washing chamber 61 is provided with a washing unit for discharging the washing gas toward the shower head 1 to wash the shower head 1. 3, the cleaning unit of FIG. 3 has a plurality of gas through holes 77, a gas flow path 75 that guides the cleaning gas to the gas through holes 77, and contamination separated from the shower head 1. An exhaust pump 79 is provided for forcibly discharging the substance and the cleaning gas out of the cleaning chamber 11. Like the conveying unit of FIG. 1, the conveying unit of FIG. 3 also includes a plurality of first conveying rollers 70 arranged in a row in the cleaning chamber 61 and within the packaging chamber 62 so as to be connected to the first conveying rollers 70. A second conveying roller 72 is provided. The packaging chamber 62 is provided with a vacuum packaging unit for vacuum packaging the washed showerhead 1. When the showerhead 1 is cleaned, the chamber separation door 65 is opened and the first transfer roller 70 rotates to transfer the showerhead 1 to the second transfer roller 72 of the packing chamber 62, The second conveying roller 72 rotates to convey the showerhead 1 to the vacuum packaging unit.

도 3 및 도 4를 함께 참조하면, 진공 포장 유닛은 서로 분리된 제1 필름(101) 및 제2 필름(105)과, 제1 필름(102) 및 제2 필름(105) 사이로 세척된 샤워헤드(1)가 투입되면 일 부분, 예컨대 샤워헤드 취출 도어(66)에 인접한 일 부분을 제외하고 제1 필름(101) 및 제2 필름(105)을 가열 봉합하는 제1 봉합 히터(85)와, 상기 봉합되지 않은 일 부분을 통해 제1 필름(101) 및 제2 필름(105) 사이의 공기를 그 외부로 강제 배출하는 진공 펌프(99)와, 제1 필름(101) 및 제2 필름(105) 사이의 공기가 강제 배출된 후 상기 봉합되지 않은 일 부분을 가열 봉합하는 제2 봉합 히터(87)를 구비한다. 3 and 4 together, the vacuum packaging unit includes a showerhead washed between the first film 101 and the second film 105 and the first film 102 and the second film 105 separated from each other. A first sealing heater 85 which heat-seales the first film 101 and the second film 105 except for a portion, for example, a portion adjacent to the showerhead draw-out door 66, when 1 is input, The vacuum pump 99 for forcibly discharging air between the first film 101 and the second film 105 to the outside through the unsealed portion, the first film 101 and the second film 105 And a second sealing heater 87 which heat seals the unsealed portion after forced air is discharged.

제1 봉합 히터(85) 및 제2 봉합 히터(87)는 베이스(81)에 구비된다. 제2 이송 롤러(72)에 의해 이송되어 베이스(81)에 진입한 샤워헤드(1)가 베이스(81)를 벗어나지 않도록 베이스(81)에는 오목한 홈이 형성되고, 상기 제1 봉합 히터(85) 및 제2 봉합 히터(87)는 상기 오목한 홈 주위를 에워싸도록 마련된다. 베이스(81)의 제2 봉합 히터(87) 외측에는 실링(sealing)을 위한 하부 돌기(83)가 형성된다. 베이스(81)에는 제1 필름(101)이 부착 지지된다. The first suture heater 85 and the second suture heater 87 are provided in the base 81. A recessed groove is formed in the base 81 so that the shower head 1 transferred by the second transfer roller 72 to the base 81 does not leave the base 81, and the first suture heater 85 is disposed. And a second suture heater 87 is provided to surround the concave groove. The lower protrusion 83 for sealing is formed outside the second sealing heater 87 of the base 81. The first film 101 is attached to and supported by the base 81.

베이스(81)의 상측에는 제2 필름(105)이 부착 지지되며, 상하로 승강 가능한 상부 프레임(90)이 구비된다. 상부 프레임(90)에는 고무 재질의 제1 가압 부재(94)와 제2 가압 부재(96)가 마련된다. 상부 프레임(90)의 제2 가압 부재(96) 외측에는 상기 하부 돌기(83)에 대응되는, 실링(sealing)을 위한 상부 돌기(92)가 마련된다. 한편, 진공 펌프(99)는 포장 챔버(62)의 외부에 구비되나, 공기 흡입을 위한 흡기공은 상기 하부 돌기(83)의 일 지점에 마련된다. On the upper side of the base 81, the second film 105 is attached and supported, and is provided with an upper frame 90 capable of lifting up and down. The upper frame 90 is provided with a first pressing member 94 and a second pressing member 96 made of rubber. An upper protrusion 92 for sealing, corresponding to the lower protrusion 83, is provided outside the second pressing member 96 of the upper frame 90. On the other hand, the vacuum pump 99 is provided on the outside of the packaging chamber 62, the intake hole for air suction is provided at one point of the lower projection (83).

포장 챔버(62)로 샤워헤드(1)가 이송되기 전에 미리 베이스(81)에는 제1 필름(101)이 부착 지지되고, 상부 프레임(90)에는 제2 필름(105)이 부착 지지된다. 제1 필름(101) 및 제2 필름(105)은 대등한 크기의 사각형일 수 있다. 포장 챔버(62) 내의 진공 포장 과정에서 사각형의 제1 필름(101) 및 제2 필름(105)의 세 측면이 먼저 봉합되고 한 측면이 진공 펌프(99)를 이용한 배기 후 봉합될 수 있다. 상기 먼저 봉합되는 세 측면을 일 측 단부라 하고 나중에 봉합되는 한 측면을 타 측 단부라고 부르기로 한다. Before the shower head 1 is transferred to the packaging chamber 62, the first film 101 is attached to the base 81 in advance, and the second film 105 is attached to the upper frame 90. The first film 101 and the second film 105 may be rectangular in size. In the vacuum packaging process in the packaging chamber 62, three sides of the rectangular first film 101 and the second film 105 may be first sealed and one side may be sealed after evacuation using the vacuum pump 99. The first three sides to be sealed are called one end, and one side to be sealed later is called the other end.

제1 필름(101)의 일 측 단부(102)는 베이스(81)의 제1 봉합 히터(85) 외측에 부착 지지되고, 타 측 단부(103)는 베이스(81)의 하부 돌기(83) 사이에 부착 지지된다. 또한, 제2 필름(105)의 일 측 단부(106)는 상부 프레임(90)의 제1 가압 부재(94) 외측에 부착 지지되고, 타 측 단부(107)는 상부 프레임(90)의 상부 돌기(92) 사이에 부착 지지된다. One end 102 of the first film 101 is attached and supported outside the first suture heater 85 of the base 81, and the other end 103 is between the lower protrusions 83 of the base 81. Attached to and supported. In addition, one end portion 106 of the second film 105 is attached and supported outside the first pressing member 94 of the upper frame 90, the other end 107 is the upper projection of the upper frame 90 It is attached and supported between 92.

상부 프레임(90)이 상승되어 제1 필름(101)과 제2 필름(105)이 이격된 때 이송 롤러들(70, 72)에 의해 이송된 샤워헤드(1)는 베이스(81)의 오목한 홈으로 이동하며 제1 필름(101) 상의 중앙부에 안착된다. 제1 필름(101)과 제2 필름(105)의 주변부가 밀착되도록 상부 프레임(90)이 하강하면 제1 가압 부재(94)와 제2 가압 부재(96)는 제1 필름(101)과 제2 필름(105)을 사이에 두고 제1 봉합 히터(85)와 제2 봉합 히터(87)를 밀착 가압한다. 또한, 상부 돌기(92)와 하부 돌기(83)가 밀착되어 그 내부에 진공 챔버(98)가 형성된다. 진공 챔버(98)에는 제1 필름(101)의 타 측 단부(103)와 제2 필름(105)의 타 측 단부(107)가 수용된다. When the upper frame 90 is raised so that the first film 101 and the second film 105 are spaced apart, the showerhead 1 conveyed by the conveying rollers 70 and 72 is a concave groove of the base 81. Moving to the center portion on the first film (101). When the upper frame 90 is lowered such that the periphery of the first film 101 and the second film 105 is in close contact with each other, the first pressing member 94 and the second pressing member 96 may be formed of the first film 101 and the first film 101. The first sealing heater 85 and the second sealing heater 87 are pressed against each other with the second film 105 therebetween. In addition, the upper protrusion 92 and the lower protrusion 83 are in close contact with each other to form a vacuum chamber 98 therein. The vacuum chamber 98 accommodates the other end 103 of the first film 101 and the other end 107 of the second film 105.

제1 필름(101)과 제2 필름(105)이 밀착된 때 제1 봉합 히터(85)가 발열하면 제1 필름(101)과 제2 필름(105)의 일 측 단부(102, 106) 주변 영역이 녹아 봉합된다. 이렇게 제1 필름(101)과 제2 필름(105)의 세 측면이 먼저 봉합된 상태로 진공 펌프(99)가 작동하면 진공 챔버(98)를 통해 제1 필름(101)과 제2 필름(105) 사이의 공기가 포장 챔버(62) 밖으로 강제 배출된다. 제1 필름(101)과 제2 필름(105) 사이의 공기가 대부분 배출되면 제2 봉합 히터(87)를 발열시켜 제1 필름(101)과 제2 필름(105)의 타 측 단부(103, 107) 주변 영역을 녹임으로써 제1 필름(101)과 제2 필름(105)의 나머지 한 측면이 봉합된다. 제1 필름(101)과 제2 필름(105)의 4 측면이 모두 봉합된 후 상부 프레임(90)이 원위치로 상승하고 샤워헤드 취출 도어(66)가 개방되면 베이스(81)에 놓여진 진공 포장된 샤워헤드(1)를 세척 및 포장 장치(60)로부터 취출할 수 있다.When the first sealing heater 85 generates heat when the first film 101 and the second film 105 are in close contact with each other, around the end portions 102 and 106 of the first film 101 and the second film 105. The area melts and is sutured. When the vacuum pump 99 operates with the three sides of the first film 101 and the second film 105 sealed in this manner, the first film 101 and the second film 105 through the vacuum chamber 98. Air between) is forced out of the packing chamber 62. When most of the air between the first film 101 and the second film 105 is discharged, the second sealing heater 87 is heated to generate the other ends 103 of the first film 101 and the second film 105. 107) The other side of the first film 101 and the second film 105 is sealed by melting the peripheral region. After all four sides of the first film 101 and the second film 105 have been sealed, the upper frame 90 is raised to its original position, and the shower head draw door 66 is opened, and the vacuum-packed placed on the base 81 is placed. The showerhead 1 can be taken out of the washing and packing apparatus 60.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해서만 정해져야 할 것이다. While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it will be understood by those skilled in the art that various changes and modifications may be made without departing from the scope of the present invention. Therefore, the true scope of protection of the present invention should be defined only by the appended claims.

1: 샤워헤드 10: 샤워헤드 세척 및 포장 장치
11: 세척 챔버 12: 포장 챔버
15: 챔버 분리 도어 27: 가스 통공
20, 22: 롤러 31: 베이스
36: 봉합 히터 40: 승강 커버
44: 가압 부재 50: 진공 포장지1: showerhead 10: showerhead cleaning and packaging unit
11: washing chamber 12: packing chamber
15: chamber separation door 27: gas through hole
20, 22: roller 31: base
36: suture heater 40: lifting cover
44: pressure member 50: vacuum wrapping paper

Claims (9)

외부에서 유입되는 세척 가스를 샤워헤드를 향해 토출하여 상기 샤워헤드를 세척하는 세척 유닛이 구비된 세척 챔버(chamber);
세척된 샤워헤드를 진공 포장하는 진공 포장 유닛이 구비된 포장 챔버;
상기 세척 챔버에서 상기 포장 챔버로 상기 세척된 샤워헤드를 이송하는 이송 유닛; 및,
상기 세척 챔버와 포장 챔버를 구분하며, 상기 세척 챔버에서 샤워헤드가 세척되는 때 폐쇄되고, 상기 이송 유닛에 의해 세척된 샤워헤드가 상기 세척 챔버에서 상기 포장 챔버로 이송되는 때 개방되는 챔버 분리 도어;를 구비하는 것을 특징으로 하는 샤워헤드 세척 및 포장 장치. A cleaning chamber having a cleaning unit configured to discharge the cleaning gas introduced from the outside toward the shower head and to wash the shower head;
A packaging chamber having a vacuum packaging unit for vacuum packaging the washed showerhead;
A transfer unit for transferring the washed showerhead from the wash chamber to the packaging chamber; And
A chamber separation door that distinguishes the cleaning chamber from the packaging chamber and is closed when the shower head is washed in the cleaning chamber and is opened when the shower head washed by the transfer unit is transferred from the cleaning chamber to the packaging chamber; Showerhead cleaning and packaging device comprising a. 제1 항에 있어서,
상기 세척 유닛은 세척 가스가 분출되는 다수의 가스 통공과, 상기 세척 챔버의 외부로부터 상기 가스 통공까지 세척 가스를 유도하는 가스 유로를 구비하고,
상기 세척 챔버에는 상기 가스 통공을 통해 분출된 세척 가스를 상기 세척 챔버의 외부로 강제 배출하기 위한 배기 펌프가 구비된 것을 특징으로 하는 샤워헤드 세척 및 포장 장치. The method according to claim 1,
The washing unit includes a plurality of gas through-holes through which the cleaning gas is ejected, and a gas flow path that guides the cleaning gas from the outside of the cleaning chamber to the gas through-holes,
The washing chamber is a shower head cleaning and packaging device characterized in that the exhaust pump for forcibly discharging the cleaning gas ejected through the gas through the outside of the cleaning chamber. 제1 항에 있어서,
상기 이송 유닛은 상기 샤워헤드를 지지하며 제자리에서 회전하여 상기 샤워헤드를 이송하는 다수의 롤러를 구비하는 것을 특징으로 하는 샤워헤드 세척 및 포장 장치. The method according to claim 1,
And the transfer unit includes a plurality of rollers supporting the shower head and rotating in place to convey the shower head. 제1 항에 있어서,
상기 진공 포장 유닛은, 일 측이 개방된 개구부를 구비한 진공 포장지와, 상기 진공 포장지의 내부로 상기 세척된 샤워헤드가 투입되면 상기 개구부를 통해 상기 진공 포장지 내부의 공기를 상기 진공 포장지 외부로 강제 배출하는 진공 펌프와, 상기 진공 포장지의 개구부를 가열 봉합하는 봉합 히터(heater)를 구비하는 것을 특징으로 하는 샤워헤드 세척 및 포장 장치. The method according to claim 1,
The vacuum packaging unit may include a vacuum wrapping paper having an opening at one side thereof, and when the washed shower head is introduced into the vacuum wrapping paper, the air inside the vacuum wrapping paper is forced out of the vacuum wrapping paper through the opening. And a sealing heater for heating and sealing the opening of the vacuum wrapping paper. 제4 항에 있어서,
상기 진공 포장 유닛은, 상기 진공 포장지 개구부의 하측 단부를 지지하며, 상기 봉합 히터를 구비한 베이스; 및,
상기 진공 포장지 개구부의 상측 단부를 지지하고 승강하며, 상기 진공 포장지 개구부가 닫히도록 하강된 때 상기 진공 포장지를 사이에 두고 상기 봉합 히터를 가압하여 상기 개구부의 봉합을 돕는 가압 부재를 구비하는 승강 커버;를 구비하는 것을 특징으로 하는 샤워헤드 세척 및 포장 장치. 5. The method of claim 4,
The vacuum packaging unit, the base for supporting the lower end of the vacuum wrapping paper opening, the base having the sealing heater; And
A lifting cover supporting and lifting an upper end of the vacuum wrapping paper opening, and having a pressing member to press the sealing heater to seal the opening by pressing the sealing heater therebetween when the vacuum wrapping paper is lowered to close; Showerhead cleaning and packaging device comprising a. 제5 항에 있어서,
상기 진공 포장지 개구부가 닫히도록 상기 승강 커버가 하강된 때, 상기 진공 포장지 개구부의 상측 단부 및 하측 단부가 수용되는 진공 챔버가 형성되고,
상기 진공 챔버 내부의 공기가 강제 배출될 수 있도록 상기 진공 챔버는 상기 진공 펌프와 연결된 것을 특징으로 하는 샤워헤드 세척 및 포장 장치. 6. The method of claim 5,
When the lifting cover is lowered so that the vacuum wrapping paper opening is closed, a vacuum chamber is formed in which upper and lower ends of the vacuum wrapping paper opening are accommodated.
And the vacuum chamber is connected to the vacuum pump so that the air in the vacuum chamber can be forcibly discharged. 제1 항에 있어서,
상기 진공 포장 유닛은, 서로 분리되며 각각 일측 단부 및 타측 단부가 형성된 제1 필름 및 제2 필름과, 상기 제1 필름 및 제2 필름 사이로 상기 세척된 샤워헤드가 투입되면 상기 제1 필름 및 제2 필름의 일측 단부를 가열 봉합하는 제1 봉합 히터와, 봉합되지 않은 타측 단부를 통해 상기 제1 필름 및 제2 필름 사이의 공기를 그 외부로 강제 배출하는 진공 펌프와, 상기 제1 필름 및 제2 필름 사이의 공기가 강제 배출된 후 상기 타측 단부를 가열 봉합하는 제2 봉합 히터를 구비하는 것을 특징으로 하는 샤워헤드 세척 및 포장 장치. The method according to claim 1,
The vacuum packaging unit may include a first film and a second film which are separated from each other and each of which has one end portion and the other end portion, and when the washed shower head is inserted between the first film and the second film, the first film and the second film. A first sealing heater for heat sealing one end of the film, a vacuum pump for forcibly discharging air between the first film and the second film to the outside through the other end that is not sealed, and the first film and the second And a second sealing heater for heating and sealing the other end after the air between the films is forcedly discharged. 제7 항에 있어서,
상기 진공 포장 유닛은, 상기 제1 필름을 지지하며, 상기 제1 봉합 히터 및 제2 봉합 히터를 구비한 베이스; 및,
상기 제2 필름을 지지하고 승강하며, 상기 제1 필름 및 제2 필름을 사이에 두고 상기 제1 봉합 히터 및 제2 봉합 히터를 가압하여 상기 제1 필름 및 제2 필름의 봉합을 돕는 제1 가압 부재 및 제2 가압 부재를 구비하는 상부 프레임;을 구비하는 것을 특징으로 하는 샤워헤드 세척 및 포장 장치.The method of claim 7, wherein
The vacuum packaging unit includes: a base supporting the first film and having the first sealing heater and the second sealing heater; And
A first press that supports and lifts the second film and pressurizes the first suture heater and the second suture heater with the first film and the second film interposed therebetween to help seal the first film and the second film; And an upper frame having a member and a second pressing member. 제8 항에 있어서,
상기 상부 프레임이 하강된 때, 상기 제1 봉합 히터에 의해 봉합되지 않은 상기 제1 필름 및 제2 필름의 타측 단부가 수용되는 진공 챔버가 형성되고,
상기 진공 챔버 내부의 공기가 강제 배출될 수 있도록 상기 진공 챔버는 상기 진공 펌프와 연결된 것을 특징으로 하는 샤워헤드 세척 및 포장 장치. The method of claim 8,
When the upper frame is lowered, a vacuum chamber is formed in which the other ends of the first film and the second film which are not sealed by the first sealing heater are accommodated.
And the vacuum chamber is connected to the vacuum pump so that the air in the vacuum chamber can be forcibly discharged.
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR19990070777A (en) * 1998-02-24 1999-09-15 윤종용 Shower head cleaning method used in chamber equipment for semiconductor device manufacturing and drying equipment used therein
WO2011034841A2 (en) * 2009-09-15 2011-03-24 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for showerhead cleaning
US20110139174A1 (en) * 2009-04-22 2011-06-16 Inotera Memories, Inc. Method of cleaning showerhead

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19990070777A (en) * 1998-02-24 1999-09-15 윤종용 Shower head cleaning method used in chamber equipment for semiconductor device manufacturing and drying equipment used therein
US20110139174A1 (en) * 2009-04-22 2011-06-16 Inotera Memories, Inc. Method of cleaning showerhead
WO2011034841A2 (en) * 2009-09-15 2011-03-24 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for showerhead cleaning

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