KR101364169B1

KR101364169B1 - 초격자 구조의 장벽층을 갖는 근자외선 발광 다이오드

Info

Publication number: KR101364169B1
Application number: KR1020070032010A
Authority: KR
Inventors: 이상준
Original assignee: 서울바이오시스 주식회사
Priority date: 2007-03-30
Filing date: 2007-03-30
Publication date: 2014-02-17
Also published as: KR20080089044A

Abstract

초격자 구조의 장벽층을 갖는 근자외선 발광 다이오드가 개시된다. 질화갈륨 계열의 N형 화합물 반도체층과 질화갈륨 계열의 P형 화합물 반도체층 사이에 활성영역을 갖는 근자외선 발광 다이오드에 있어서, 상기 근자외선 발광 다이오드는 활성 영역이 웰층과 초격자 구조의 장벽층을 포함하고, 360~410nm 파장범위의 근자외선을 방출하는 것을 특징으로 한다. 초격자 구조의 장벽층을 채택함에 따라, 웰층과 장벽층 사이의 격자 불일치에 기인한 결함 발생을 감소시킬 수 있다.

근자외선, 발광 다이오드, 질화갈륨(GaN), 질화인듐갈륨(InGaN), 웰층, 장벽층, 초격자(superlattice)

Description

초격자 구조의 장벽층을 갖는 근자외선 발광 다이오드{NEAR-UV LIGHT EMITTING DIODE HAVING BARRIER LAYER OF SUPERLATTICE STRUCTURE}

도 1은 종래의 근자외선 발광 다이오드를 설명하기 위한 단면도이다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 초격자 구조의 장벽층을 갖는 근자외선 발광 다이오드를 설명하기 위한 단면도이다.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 초격자 구조의 장벽층을 설명하기 위한 단면도이다.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 초격자 구조의 장벽층을 갖는 근자외선 발광 다이오드를 설명하기 위한 단면도이다.

본 발명은 근자외선 발광 다이오드에 관한 것으로, 특히 초격자 구조의 장벽층을 갖는 근자외선 발광 다이오드에 관한 것이다.

일반적으로 질화갈륨(GaN), 질화알루미늄(AlN), 질화인듐갈륨(InGaN) 등과 같은 Ⅲ족 원소의 질화물은 열적 안정성이 우수하고 직접 천이형의 에너지 밴드(band) 구조를 갖고 있어, 최근 청색 및 자외선 영역의 발광 다이오드용 물질로 많은 각광을 받고 있다. 특히, 질화인듐갈륨(InGaN) 화합물 반도체는 좁은 밴드 갭에 기인하여 많은 주목을 받고 있다. 이러한 질화갈륨 계열의 화합물 반도체를 이용한 발광 다이오드는 대규모 천연색 평판 표시 장치, 백라이트 광원, 신호등, 실내 조명, 고밀도광원, 고해상도 출력 시스템과 광통신 등 다양한 응용 분야에 활용되고 있다. 특히, 근자외선을 방출하는 발광 다이오드는 위폐감식, 수지 경화 및 자외선 치료 등에 사용되고 있으며, 또한 형광체와 조합되어 다양한 색상의 가시광선을 구현할 수 있다.

도 1을 참조하면, 발광 다이오드는 N형 반도체층(17)과 P형 반도체층(21)을 포함하고, 상기 N형 및 P형 반도체층들(17, 21) 사이에 활성 영역(19)이 개재된다. 상기 N형 반도체층 및 P형 반도체층은 III족 원소의 질화물 반도체층, 즉 (Al, In, Ga)N 계열의 화합물 반도체층으로 형성된다. 한편, 활성 영역(19)은 하나의 웰층을 갖는 단일 양자웰 구조이거나, 도시한 바와 같이, 복수개의 웰층을 갖는 다중 양자웰 구조로 형성된다. 다중 양자웰 구조의 활성 영역은 InGaN 웰층(19a)과 AlGaN 장벽층(19b)이 교대로 적층되어 형성된다. 상기 웰층(19a)은 N형 및 P형 반도체층들(17, 19) 및 장벽층(19b)에 비해 밴드갭이 작은 반도체층으로 형성되어 전자와 정공이 재결합되는 양자 웰을 제공한다.

이러한 III족 원소의 질화물 반도체층은 육방 정계의 구조를 갖는 사파이어(Sapphire)나 실리콘 카바이드(SiC) 등의 이종 기판(11)에서 금속유기화학기상증착법(MOCVD) 등의 공정을 통해 성장된다. 그러나, III족 원소의 질화물 반도체층이 이종기판(11) 상에 형성될 경우, 반도체층과 기판 사이의 격자상수 및 열팽창 계수의 차이에 기인하여 반도체층 내에 크랙(crack) 또는 뒤틀림(warpage)이 발생하고, 전위(dislocation)가 생성된다.

이를 방지하기 위해, 기판(11) 상에 버퍼층이 형성되며, 일반적으로 저온 버퍼층(13)과 고온 버퍼층(15)이 형성된다. 저온 버퍼층(13)은 일반적으로 Al_xGa₁ _- _xN(0≤x≤1)로 MOCVD 공정 등을 사용하여 400~800℃의 온도에서 형성된다. 이어서, 저온 버퍼층(13) 상에 고온 버퍼층(15)이 형성된다. 고온 버퍼층(15)은 900~1200℃의 온도에서 GaN층으로 형성된다. 이에 따라, N형 GaN층(17), 활성 영역(19) 및 P형 GaN층(21)의 결정 결함을 상당히 제거할 수 있다.

그러나, 버퍼층들(13, 15)의 채택에도 불구하고, 활성 영역(19) 내의 결정결함밀도는 여전히 높은 편이다. 특히, 활성 영역(19)은, 전자와 정공의 결합 효율을 높이기 위해, N형 GaN층(17) 및 P형 GaN층(19)에 비해 밴드갭이 작은 반도체층으로 형성되고, 또한 웰층(19a)은 AlGaN 장벽층(19b)에 비해 밴드갭이 작은 반도체층으로 형성되며, 일반적으로 In을 많이 함유한다. In은 Al에 비해 상대적으로 크기 때문에 웰층의 격자 상수가 장벽층의 격자 상수에 비해 상대적으로 크다. 이에 따라, 웰층(19a)과 장벽층(19b) 사이에, 그리고 웰층(19a) N형 반도체층(17) 사이에 격자 부정합이 발생되고, 이러한 층 사이의 격자 부정합은 핀홀(pin hole), 표면 거침 및 결정질의 저하를 발생시킨다.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 활성 영역 내의 결정 결함 발생을 감소시킬 수 있는 근자외선 발광 다이오드를 제공하는 데 있다.

본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는 활성 영역의 표면 거칠기를 개선한 근자외선 발광 다이오드를 제공하는 데 있다.

상기 기술적 과제를 이루기 위하여 본 발명은 초격자 구조의 장벽층을 갖는 근자외선 발광 다이오드를 제공한다. 본 발명의 일 태양에 따른 근자외선 발광 다이오드는, 질화갈륨 계열의 N형 화합물 반도체층과 질화갈륨 계열의 P형 화합물 반도체층 사이에 활성영역을 갖는 발광 다이오드에 있어서, 상기 활성 영역이 웰층과 초격자 구조의 장벽층을 포함하고, 360~410nm 파장범위의 근자외선을 방출하는 것을 특징으로 한다. 초격자 구조의 장벽층을 채택함에 따라, 웰층과 장벽층 사이의 격자 불일치에 기인한 결함 발생을 감소시킬 수 있다.

상기 웰층은 InGaN으로 형성되고, 상기 장벽층은 InGaN 및 GaN가 교대로 적층된 초격자 구조일 수 있다. 이때, 상기 웰층의 InGaN은 장벽층의 InGaN에 비해 In을 더 많이 함유한다. 이에 따라, 상기 웰층의 In 조성을 변화시켜 근자외선 영역에서 다양한 파장의 광을 방출하는 근자외선 발광 다이오드를 제공할 수 있다.

한편, 상기 장벽층 내의 InGaN이 In을 많이 함유할 수록 핀홀은 감소되나, 힐락(hillrock)이 발생될 수 있다. 이는 In이 핀홀을 채워 핀홀 발생을 방지하나, In이 과도하게 증가될 경우, 여분의 In에 의해 힐락이 생성되는 것으로 판단된다. 따라서, 장벽층 내의 InGaN의 In 함량을 적합하게 선택함으로써 핀홀 및 힐락이 발 생되는 것을 방지할 수 있다.

몇몇 실시예들에 있어서, 상기 웰층은 InxGa(1-x)N이고, 상기 장벽층은 InyGa(1-y)N 및 GaN이 교대로 적층된 하부 초격자, InyGa(1-y)N 및 GaN이 교대로 적층된 상부 초격자, 및 상기 하부 초격자와 상부 초격자 사이에 개재되고 InzGa(1-z)N 및 GaN이 교대로 적층된 중부 초격자를 포함할 수 있다. 여기서, 0<x<0.5, 0<y<0.05, 0<z<0.1 및 y<z<x 일 수 있다. 본 실시예들에 따르면, In 함량이 많은 초격자가 In 함량이 적은 초격자 사이에 배치된다. 이에 따라, In 함량이 다른 초격자들을 적층하여 핀홀 및 힐락의 발생을 억제할 수 있다.

다른 실시예들에 있어서, 상기 웰층 및 초격자 구조의 장벽층 내 InGaN의 조성비들은 0<x<0.5, 0<y<0.1, 0<z<0.05 및 z<y<x 일 수 있다. 즉, 위의 실시예들과 달리, In 함량이 많은 초격자 구조 사이에 In 함량이 적은 초격자 구조를 배치시켜 핀홀 및 힐락의 발생을 억제할 수 있다.

초격자 구조 내의 각 층들은 일반적으로 30Å 이하의 두께를 갖는다. 본 실시예들에 있어서, 상기 장벽층 내의 InyGa(1-y)N, GaN 및 InzGa(1-z)N는 각각 2.5Å 내지 20Å 범위의 두께를 가질 수 있다. 또한, 상기 장벽층 내의 각 층들은 거의 동일한 두께를 갖도록 형성될 수 있다.

또한, 상기 하부 초격자는 InyGa(1-y)N 및 GaN가 4 내지 10회 교대로 적층되고, 상기 중부 초격자는 InzGa(1-z)N 및 GaN가 6 내지 20회 교대로 적층되고, 상기 상부 초격자는 InyGa(1-y)N 및 GaN가 4 내지 10회 교대로 적층될 수 있다. InGaN과 GaN의 적층수는 상기 장벽층의 두께를 과도하게 증가시키지 않으면서 핀홀과 힐락 을 억제하도록 설정된다.

한편, 상기 활성 영역은 단일 양자웰 또는 다중 양자웰일 수 있으며, 다중 양자웰의 경우, 상기 웰층과 상기 초격자 구조의 장벽층이 교대로 적층된 다중 양자웰일 수 있다.

이에 더하여, 상기 웰층들은 초격자 구조의 장벽층들 사이에 개재될 수 있다. 이에 따라, 상기 N형 화합물 반도체층 또는 P형 화합물 반도체층과 상기 웰층 사이의 격자 부정합에 의한 스트레인을 완화할 수 있다.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 다음에 소개되는 실시예들은 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 예로서 제공되는 것이다. 따라서, 본 발명은 이하 설명되는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 그리고, 도면들에 있어서, 구성요소의 폭, 길이, 두께 등은 편의를 위하여 과장되어 표현될 수 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 근자외선 발광 다이오드를 설명하기 위한 단면도이다.

도 2를 참조하면, 기판(51) 상에 N형 화합물 반도체층(57)이 위치한다. 또한, 기판(51)과 N형 화합물 반도체층(57) 사이에 버퍼층이 개재될 수 있으며, 상기 버퍼층은 저온 버퍼층(53) 및 고온 버퍼층(55)을 포함할 수 있다. 상기 기판(51)은 특별히 한정되지 않으며, 예컨대 사파이어, 스피넬, 탄화실리콘 기판 등일 수 있 다. 한편, 저온 버퍼층(53)은 일반적으로 Al_xGa₁ _- _xN(0≤x≤1)로 형성될 수 있고, 상기 고온 버퍼층(55)은 예컨대 언도프트 GaN 또는 n형 불순물이 도핑된 n형 GaN일 수 있다.

상기 N형 화합물 반도체층(57) 상부에 P형 화합물 반도체층(61)이 위치하고, 상기 N형 화합물 반도체층(57)과 P형 화합물 반도체층(61) 사이에 활성 영역(59)이 개재된다. 상기 N형 화합물 반도체층 및 P형 화합물 반도체층은 (Al, In, Ga)N 계열의 III족 질화물 반도체층으로 형성될 수 있다. 예컨대, 상기 N형 화합물 반도체층(57) 및 P형 화합물 반도체층(61)은 각각 N형 및 P형 GaN, 또는 N형 및 P형 AlGaN일 수 있다.

한편, 상기 활성 영역(59)은 웰층(59a)과 초격자 구조의 장벽층(59b)을 포함한다. 상기 활성 영역(59)은 단일의 웰층(59a)을 갖는 단일 양자웰 구조일 수 있으며, 이때, 상기 초격자 구조의 장벽층(59b)은 상기 웰층(59a)의 하부 및/또는 상부에 위치한다. 또한, 상기 활성 영역(59)은, 도시된 바와 같이, 웰층(59a) 및 초격자 구조의 장벽층(59b)이 교대로 적층된 다중 양자웰 구조일 수 있다. 즉, N형 화합물 반도체층(57) 상에 InGaN 웰층(59a) 및 장벽층(59b)이 교대로 적층되며, 상기 장벽층(59b)은 InGaN과 GaN이 교대로 적층된 초격자 구조를 갖는다. 웰층(59a)의 InGaN은 360~410nm 파장범위의 광을 방출하도록 In 함량이 선택되며, 장벽층(59b) 내의 InGaN에 비해 더 많은 In을 포함하여 양자웰을 형성한다.

장벽층(59b)을 초격자 구조로 형성함으로써, 웰층과 장벽층 사이의 격자 부 정합에 의해 전위 및 핀홀 등의 결정 결함이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 이에 더하여, 장벽층(59b)을 InGaN/GaN 초격자 구조로 형성함으로써, 종래 InGaN 웰층과 AlGaN 장벽층 사이에 발생되는 격자부정합을 더욱 완화할 수 있다. 한편, 장벽층(59b)의 InGaN의 In 함량을 증가시키면, 핀홀의 생성은 방지할 수 있으나, 힐락(hillrock)이 발생된다. 힐락은 여분의 In이 InGaN층 상에 남게 되어 형성되는 것으로 생각된다. 따라서, 장벽층(59b)의 In 함량을 적절히 조절하여 핀홀과 힐락을 억제할 수 있으며, In은 0.01 내지 0.1의 범위 내에서 조절될 수 있다.

한편, 본 발명의 몇몇 실시예들은 핀홀과 힐락을 억제하기 위한 초격자 구조의 장벽층은 서로 다른 In 함량을 갖는 InGaN을 포함할 수 있으며, 이하에서 상세히 설명한다.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 In 함량이 다른 InGaN들을 갖는 초격자 구조의 장벽층을 설명하기 위해 도 2의 활성 영역을 확대하여 도시한 단면도이다.

도 3을 참조하면, 상기 웰층(59a)은 InxGa(1-x)N으로 표현될 수 있으며, 여기서 0<x<0.5 이다. 상기 In의 조성은 360~410nm 파장범위의 근자외선을 방출하도록 선택된다. 한편, 상기 초격자 구조의 장벽층(59b)은 InyGa(1-y)N(71a) 및 GaN(71b)이 교대로 적층된 하부 초격자(71), InyGa(1-y)N(75a) 및 GaN(75b)이 교대로 적층된 상부 초격자(75)와, 상기 하부 초격자와 상부 초격자 사이에 개재된 중부 초격자(73)를 포함한다. 상기 중부 초격자(73)는 InzGa(1-z)N 및 GaN이 교대로 적층되어 형성된다. 여기서, 0<x<0.5, 0<y<0.05, 0<z<0.1 및 y<z<x 일 수 있다.

상기 하부 초격자 및 상부 초격자의 InyGa(1-y)N(71a, 75a)은 중부 초격자의 InzGa(1-z)N(73a)에 비해 적은 함량의 In 조성을 갖는다. 따라서, 하부 초격자(71)를 형성한 단계에서 미세한 핀홀들이 형성될 수 있다. 그러나, 그 후에 형성되는 중부 초격자(73)는 여분의 In을 함유하여 상기 핀홀들을 채워 핀홀을 제거한다. 한편, 상기 중부 초격자(73)의 여분의 In은 힐락을 생성시킬 수 있으며, 이러한 여분의 In은 상부 초격자(75)에 의해 제거된다. 본 실시예에 따르면, In함량이 적은 InGaN들을 포함하는 초격자 구조와 In 함량이 많은 InGaN들을 포함하는 초격자를 채택하여 핀홀과 힐락을 억제할 수 있다.

상기 하부, 중부 및 상부 초격자들(71, 73, 75) 내의 InGaN 및 GaN은 교대로 적층되며, InGaN과 GaN이 쌍을 이루어 각각 4 내지 10회, 6 내지 20회 및 4 내지 10회 반복 적층될 수 있다. 이러한 적층수는 InGaN 및 GaN의 두께, InGaN 내의 In의 함량에 따라 변경될 수 있으며, 핀홀 및 힐락의 발생을 제어하도록 설정된다.

본 실시예에 있어서, 하부 및 상부 초격자들(71, 75) 내의 InGaN이 중부 초격자(73) 내의 InGaN에 비해 In 함량이 적은 것으로 설명하였으나, 하부 및 상부 초격자들(71, 75) 내의 InGaN이 중부 초격자(73) 내의 InGaN에 비해 In 함량이 많을 수도 있다. 즉, 상기 웰층 및 장벽층들 내의 In 조성비들은 0<x<0.5, 0<y<0.1, 0<z<0.05 및 z<y<x 를 만족할 수도 있다.

상기 하부 초격자(71), 중부 초격자(73) 및 상부 초격자(75) 내의 InGaN 및 GaN은 각각 800~900℃에서 MOCVD 기술을 사용하여 형성될 수 있으며, 상기 장벽층(59b) 내의 InGaN 및 GaN은 각각 2.5 Å내지 20 Å의 두께를 가질 수 있으며, 거의 동일한 두께를 갖도록 형성될 수 있다.

한편, 도 3에서, N형 화합물 반도체층(57)과 웰층(59a)이 접촉하는 것으로 도시되었으나, 도 4에 도시된 바와 같이 상기 N형 화합물 반도체층(57)과 웰층(59a) 사이에 도 3을 참조하여 설명한 바와 같은 초격자 구조의 장벽층(59b)이 개재될 수 있다. N형 화합물 반도체층(57)과 웰층(59a) 사이에 개재된 장벽층(59b)은 N형 화합물 반도체층(57)과 웰층(59a) 사이의 격자 부정합에 따른 스트레인을 감소시켜 웰층의 결정결함 발생을 방지한다.

본 발명의 실시예들에 있어서, N형 화합물 반도체층(57)과 P형 화합물 반도체층(61)은 서로 위치를 바꿀 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 초격자 구조의 장벽층을 채택함으로써 활성 영역 내의 핀홀 등의 결정 결함 발생을 감소시키고, 표면 거칠기를 개선할 수 있는 근자외선 발광 다이오드를 제공할 수 있다. 또한, InGaN와 GaN가 교대로 적층된 초격자 구조의 장벽층을 채택함으로써 장벽층과 웰층 사이의 격자부정합을 완화할 수 있다.

Claims

질화갈륨 계열의 N형 화합물 반도체층과 질화갈륨 계열의 P형 화합물 반도체층 사이에 활성영역을 갖는 근자외선 발광 다이오드에 있어서,

상기 활성 영역은 웰층과 초격자 구조의 장벽층을 포함하고, 360~410nm 파장범위의 근자외선을 방출하되,

상기 웰층은 InGaN으로 형성되고,

상기 장벽층은 InGaN 및 GaN가 교대로 적층된 초격자 구조이고,

상기 웰층의 InGaN은 장벽층의 InGaN에 비해 In을 더 많이 함유하는 근자외선 발광 다이오드.
청구항 1에 있어서,

상기 장벽층은 서로 다른 In 함량을 갖는 InGaN을 포함하는 초격자 구조인 근자외선 발광 다이오드.
삭제
청구항 1에 있어서,

상기 웰층은 상기 360~410nm 파장범위의 근자외선을 방출하도록 In 함량이 선택된 근자외선 발광 다이오드.
청구항 1에 있어서,

상기 장벽층의 InGaN은 0.01~0.1 범위의 In 함량을 포함하는 근자외선 발광 다이오드.
청구항 1에 있어서,

상기 웰층은 InxGa(1-x)N로 형성되고,

상기 장벽층은

InyGa(1-y)N 및 GaN이 교대로 적층된 하부 초격자;

InyGa(1-y)N 및 GaN이 교대로 적층된 상부 초격자; 및

상기 하부 초격자와 상부 초격자 사이에 개재되고, InzGa(1-z)N 및 GaN이 교대로 적층된 중부 초격자를 포함하고, 0<x<0.5, 0<y<0.05, 0<z<0.1 및 y<z<x 인 것을 특징으로 하는 근자외선 발광 다이오드.
청구항 6에 있어서,

상기 장벽층 내의 InyGa(1-y)N, GaN 및 InzGa(1-z)N는 각각 2.5Å 내지 20Å 범위의 두께를 갖는 근자외선 발광 다이오드.
청구항 6에 있어서,

상기 하부 초격자는 InyGa(1-y)N 및 GaN가 4 내지 10회 교대로 적층되고,

상기 중부 초격자는 InzGa(1-z)N 및 GaN가 6 내지 20회 교대로 적층되고,

상기 상부 초격자는 InyGa(1-y)N 및 GaN가 4 내지 10회 교대로 적층된 근자외선 발광 다이오드.
청구항 1에 있어서,

상기 활성 영역은 상기 웰층과 상기 초격자 구조의 장벽층이 교대로 적층된 다중 양자웰 구조인 것을 특징으로 하는 근자외선 발광 다이오드.
청구항 9에 있어서,

상기 웰층들은 각각 상기 초격자 구조의 장벽층들 사이에 개재된 근자외선 발광 다이오드.
청구항 1에 있어서,

상기 웰층은 InxGa(1-x)N로 형성되고,

상기 장벽층은

InyGa(1-y)N 및 GaN이 교대로 적층된 하부 초격자;

InyGa(1-y)N 및 GaN이 교대로 적층된 상부 초격자; 및

상기 하부 초격자와 상부 초격자 사이에 개재되고, InzGa(1-z)N 및 GaN이 교대로 적층된 중부 초격자를 포함하고, 0<x<0.5, 0<y<0.1, 0<z<0.05 및 z<y<x 인 것을 특징으로 하는 근자외선 발광 다이오드.
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