KR101363890B1 - 웨이퍼 양면 연마장치의 정반 페이싱 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 웨이퍼를 사이에 두고 서로 대향되게 배치되는 상부정반 및 하부정반과, 상부정반과 하부정반을 가압 회전시켜 웨이퍼의 상하면을 연마하는 웨이퍼 양면 연마장치의 정반 페이싱 장치에 있어서, 상부정반과 하부정반 사이에 위치하여 상부정반과 하부정반이 회전하는 상태에서 상부정반과 하부정반의 연삭면에 일정간격으로 이격된 복수개의 그루브(Groove)를 형성하는 바이트부, 일단부가 바이트부와 연결되고 타단부는 상부정반과 하부정반의 외측에 위치하는 이동암부, 이동암부의 타단부와 연결되어 이동암부를 상부정반과 하부정반 사이를 왕복 이동시키는 구동유닛 및 바이트부와 연결되어, 바이트부를 상부정반과 하부정반 방향으로 왕복 이동시키는 이동유닛을 포함하는 웨이퍼 양면 연마장치의 정반 페이싱 장치를 제공한다.
따라서 상부정반과 하부정반을 동시에 페이싱 작업을 수행할 수 있기 때문에 작업시간을 단축할 수 있음은 물론, 페이싱 작업을 하기 위하여 상부정반과 하부정반을 분리 및 조립할 필요가 없기 때문에 작업성이 좋다.

Description

웨이퍼 양면 연마장치의 정반 페이싱 장치 {Facing apparatus for surface plate of double side polishing device for wafer}
본 발명은 장반 페이싱 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 웨이퍼 양면 연마장치의 정반 페이싱 장치에 관한 것이다.
일반적으로 웨이퍼는 제조공정 중 선행공정 등에서 표면에 생긴 손상 등을 제거하기 위하여 표면을 경면화하면서 연마하는 공정이 필요한데, 이러한 웨이퍼의 표면을 연마하기 위하여 웨이퍼 연마장치를 이용하여 실시한다. 이러한 웨이퍼 연마장치의 예로 대한민국 공개특허 제2011-0038685호에 개시된 웨이퍼의 연마 방법 및 양면 연마 장치는, 회전구동하고 평탄한 연마 표면을 갖는 하부정반과, 하부정반에 대향되게 배치되어 회전구동하고 평탄한 연마 표면을 갖는 상부정반과, 웨이퍼를 보관 유지하는 캐리어를 포함하는 구성으로 되어 있다.
한편, 상기한 웨이퍼 양면 연마장치는 상기 하부정반과 상부정반의 각 연마면이 상기 웨이퍼와 마찰을 하는 구성이니 만큼, 주기적으로 상기 하부정반과 상부정반의 각 연마면을 평탄화시키기 위한 페이싱 작업을 실시해야 한다.
그런데, 종래의 웨이퍼 양면 연마장치의 정반 페이싱 장치는, 상기 하부정반과 상기 상부정반을 페이싱하기 위하여, 상부정반을 연마장치에서 분리한 후 따로 페이싱 작업을 실시하고, 그런 다음 나머지 상기 하부정반을 연마장치에서 분리하거나 연마장치 상에서 페이싱 작업을 실시해야했으며, 이후 페이싱 작업이 완료되면 다시 조립해야하는 등, 전체적인 작업이 복잡하고 번거로운 문제점이 있었다.
본 발명은, 웨이퍼 양면 연마장치의 정반 페이싱 장치에서 상부정반과 하부정반을 연마장치에서 각각 분리할 필요 없이 웨이퍼 양면 연마장치에 장착된 상태에서 상부정반과 하부정반을 동시에 페이싱 작업을 실시함으로써, 작업성을 향상시킬 수 있으며 페이싱 작업도 신속하게 할 수 있는 웨이퍼 양면 연마장치의 정반 페이싱 장치를 제공하는데 목적이 있다.
본 발명의 일측면에 의하면, 본 발명은, 웨이퍼를 사이에 두고 서로 대향되게 배치되는 상부정반 및 하부정반과, 상기 상부정반과 상기 하부정반을 가압 회전시켜 상기 웨이퍼의 상하면을 연마하는 웨이퍼 양면 연마장치의 정반 페이싱 장치에 있어서, 상기 상부정반과 상기 하부정반 사이에 위치하여 상기 상부정반과 상기 하부정반이 회전하는 상태에서 상기 상부정반과 상기 하부정반의 연삭면에 일정간격으로 이격된 복수개의 그루브(Groove)를 형성하는 바이트부; 일단부가 상기 바이트부와 연결되고 타단부는 상기 상부정반과 상기 하부정반의 외측에 위치하는 이동암부; 상기 이동암부의 타단부와 연결되어 상기 이동암부를 상기 상부정반과 상기 하부정반 사이를 왕복 이동시키는 구동유닛; 및 상기 바이트부와 연결되어, 상기 바이트부를 상기 상부정반과 상기 하부정반 방향으로 왕복 이동시키는 이동유닛을 포함하는 웨이퍼 양면 연마장치의 정반 페이싱 장치를 제공한다.
본 발명의 다른 측면에 의하면, 본 발명은 웨이퍼를 사이에 두고 서로 대향되게 배치되는 상부정반 및 하부정반과, 상기 상부정반과 상기 하부정반을 가압 회전시켜 상기 웨이퍼의 상하면을 연마하는 웨이퍼 양면 연마장치의 정반 페이싱 장치에 있어서, 구동모터와 축 연결되어 회전하고, 상단부가 상기 상부정반의 중앙부와 결합하고 하단부가 상기 하부정반의 중앙부와 결합하여 회전에 따라 상기 상부정반과 상기 하부정반을 회전시키는 연결파이프; 상기 상부정반과 상기 하부정반 사이에 위치하여 상기 상부정반과 상기 하부정반이 회전하는 상태에서 상기 상부정반과 상기 하부정반의 연삭면에 일정간격으로 이격된 복수개의 그루브(Groove)를 형성하는 바이트부; 일단부가 상기 바이트부와 연결되고 타단부는 상기 상부정반과 상기 하부정반의 외측에 위치하는 이동암부; 상기 이동암부의 타단부와 연결되어 상기 이동암부를 상기 상부정반과 상기 하부정반 사이를 왕복 이동시키는 구동유닛; 및 상기 바이트부와 연결되어, 상기 바이트부를 상기 상부정반과 상기 하부정반 방향으로 왕복 이동시키는 이동유닛을 포함하는 웨이퍼 양면 연마장치의 정반 페이싱 장치를 제공한다.
여기서, 상기 구동유닛은, 구동모터와, 상기 구동모터와 연결되어 회전하는 구동 볼스크류와, 일단부는 상기 구동 볼스크류에 삽입되고 타단부는 상기 이동암부와 연결되는 구동너트부를 포함하여, 상기 구동모터의 작동에 따라 회전하는 상기 구동 볼스크류를 타고 직선 이동하는 상기 구동너트부에 의하여, 상기 이동암부가 상기 상부정반과 상기 하부정반 사이로 왕복 이동할 수 있다.
또한, 상기 바이트부는, 상기 이동암부의 일단부 상측에 구비되어, 상기 상부정반의 제1연삭면에 복수개의 제1그루브(Groove)를 형성하는 상부바이트와, 상기 이동암부의 일단부 하측에 구비되어 상기 하부정반의 제2연삭면에 복수개의 제2그루브를 형성하는 하부바이트를 포함하며, 이때 상기 제1그루브 간격이 상기 제2그루브 간격보다 좁게 형성되도록, 상기 상부바이트의 개수가 상기 하부바이트의 개수보다 더 많은 것이 바람직하다.
또한, 상기 이동유닛은, 이동모터와, 상기 모터와 연결되어 회전하는 이동 볼스크류와, 상기 이동 볼스크류의 일단부에 삽입되고 상기 상부바이트가 결합되는 상부이동너트와, 상기 이동 볼스크류의 타단부에 삽입되고 상기 하부바이트가 결합되는 하부이동너트를 포함하는 이동너트부를 포함하여, 상기 모터의 작동에 따라 회전하는 상기 이동 볼스크류를 타고 직선 이동하는 상기 이동너트부에 의하여, 상기 상부바이트와 상기 하부바이트가 각각 상기 상부정반과 상기 하부정반 방향으로 전후진할 수 있다.
여기서, 상기 볼스크류는, 일단부와 타단부 각각의 외주면에 서로 대칭되는 방향으로 나사산이 형성되고, 상기 모터의 작동에 따라 회전하는 상기 볼스크류를 타고 상기 상부바이트와 상기 하부바이트가 서로 대칭되게 전후진할 수 있다.
또한, 상기 연결파이프는, 상단부가 상기 상부정반 하면 중앙부에 형성된 제1삽입홈에 끼워지고, 하단부가 상기 하부정반 상면 중앙부에 형성된 제2삽입홈에 끼워져 상기 상부정반과 상기 하부정반과 결합하되, 상기 제1삽입홈의 저면과 상기 제2삽입홈의 저면 각각에 대면 접촉하는 상단면과 하단면은 서로 평행하게 형성되어, 결합하는 상기 상부정반과 상기 하부정반의 평행도를 유지할 수 있다.
한편, 본 발명은 상기 제1삽입홈과 상기 제2삽입홈에서 각각 관통체결되어, 상기 연결파이프와 상기 상부정반 및 상기 하부정반을 서로 체결하는 체결부재를 더 포함한다.
본 발명에 따른 웨이퍼 양면 연마장치의 정반 페이싱 장치는, 상부정반과 하부정반을 동시에 페이싱 작업을 수행할 수 있기 때문에 작업시간을 단축할 수 있음은 물론, 페이싱 작업을 하기 위하여 상부정반과 하부정반을 분리 및 조립할 필요가 없기 때문에 작업성이 좋다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 양면 연마장치의 정반 페이싱 장치의 구성을 개략적으로 나타낸 구성도이다.
도 2는 도 1의 정반 페이싱 장치의 정면도이다.
도 3은 도 1의 이동유닛을 나타내는 정면도이다.
도 4는 도 3의 평면도이다.
도 5는 도 1의 바이트부의 다른 실시예를 나타내는 도면이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 웨이퍼 양면 연마장치의 정반 페이싱 장치의 구성을 개략적으로 나타낸 구성도이다.
이하 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 양면 연마장치의 정반 페이싱 장치의 구성을 개략적으로 나타낸 구성도이며, 도 2는 도 1의 정반 페이싱 장치의 정면도이다. 또한, 도 3은 도 1의 이동유닛을 나타내는 정면도이며, 도 4는 도 3의 평면도이고, 도 5는 도 1의 바이트부의 다른 실시예를 나타내는 도면이다.
먼저, 본 발명을 설명함에 앞서 웨이퍼 양면 연마장치는, 도 1에 나타난 바와 같이 웨이퍼(미도시)의 상하면을 동시에 연마하는 장치로서, 웨이퍼(미도시)를 사이에 두고 서로 대향되게 배치되는 상부정반(10) 및 하부정반(20)을 포함하여 상기 상부정반(10)과 상기 하부정반(20)을 가압 회전시켜 상기 웨이퍼의 상하면을 연마하는 장치이다.
여기서, 웨이퍼와 대면하는 상기 상부정반(10)의 하측 제1연삭면(11)과 상기 하부정반(20)의 상측 제2연삭면(21)에는 슬러리의 원활한 공급 및 배출을 위하여 일정간격으로 이격된 복수개의 제1그루브(12;Groove)와 제2그루브(22)가 형성되어 있다. 그리고, 상기 웨이퍼 양면 연마장치는 도시하지 않았지만 상기 상부정반(10)과 하부정반(20) 각각에 축 결합된 회전축을 회전시키는 구동모터(310)가 각각 구비되어 있으며, 이러한 웨이퍼 양면 연마장치의 세부구성은 공지의 공지의 상부정반(10)과 하부정반(20)을 이용하여 웨이퍼의 양면을 연마하는 웨이퍼 양면 연마장치와 대응되므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
이하 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 양면 연마장치의 정반 페이싱 장치(600;이하 '페이싱 장치'라 한다)에 대하여 살펴보기로 한다. 상기 페이싱 장치(600)는, 상기 웨이퍼 양면 연마장치의 정반 페이싱 장치(600)로서, 상기 상부정반(10)의 제1연삭면(11)과 상기 하부정반(20)의 제2연삭면(21)을 동시에 페이싱 작업할 수 있으며, 바이트부(100)와, 이동암부(200)와, 구동유닛(300)과, 이동유닛(400)을 포함한다.
상기 바이트부(100)는, 상기 상부정반(10)과 상기 하부정반(20) 사이에 위치하여 상기 상부정반(10)과 상기 하부정반(20)이 회전하는 상태에서 상기 제1연삭면(11)과 상기 제2연삭면(21)에 상기 제1그루브(12)와 제2그루브(22)를 동시에 형성한다.
상세하게, 상기 바이트부(100)는, 상기 이동암부(200)의 일단부 상측에 구비되어, 상기 상부정반(10)의 제1연삭면(11)에 복수개의 제1그루브(12)(Groove)를 형성하는 상부바이트(111)와, 상기 이동암부(200)의 일단부 하측에 구비되어 상기 하부정반(20)의 제2연삭면(21)에 복수개의 제2그루브(22)를 형성하는 하부바이트(112)를 포함한다.
한편, 상기 바이트부(100)는 도 1에 나타난 바와 같이 상측 및 하측에 각각 동일한 개수의 바이트를 구비할 수 있지만, 도 2에 나타난 바와 같이 상기 상부바이트(111)의 개수가 상기 하부바이트(112)의 개수보다 더 많도록 구비할 수 있다. 이러한 경우 상기 바이트부(100)는 개수가 더 많은 상기 제1그루브(12) 간격이 상기 제2그루브(22) 간격보다 더 좁게 형성되는데, 이러면 상기 상부정반(10)의 제1연삭면(11)의 웨이퍼 접촉면적이 상기 하부정반(20)의 제2연삭면(21)의 웨이퍼 접촉면적보다 적게 되어, 웨이퍼 연마 후 웨이퍼로부터 상부정반(10)의 분리가 더욱 용이하게 한다.
도 3을 참조하면, 상기 이동암부(200)는, 일단부가 상기 바이트부(100)와 연결되고 타단부는 상기 상부정반(10)과 상기 하부정반(20)의 외측에 위치한다. 상세하게 상기 이동암부(200)는 내부로 수용공간이 형성된 프레임(210)과, 일단부가 상기 바이트와 연결되고 상기 프레임(210)의 수용공간에 슬라이딩 이동 가능하게 배치되는 이동로드(220)를 포함한다.
상기 구동유닛(300)은, 상기 이동암부(200)의 타단부와 연결되어 상기 이동암부(200)를 상기 상부정반(10)과 상기 하부정반(20) 사이를 왕복 이동시키는 역할을 한다.
상세하게, 상기 구동유닛(300)은 구동모터(310)와, 구동 볼스크류(320)와, 구동너트부(330)를 포함한다. 상기 구동모터(310)는 공지의 모터로서 취급 및 제어가 용이한 서보모터를 이용하는 것이 바람직하다.
상기 구동 볼스크류(320)는, 상기 구동모터(310)와 연결되어 상기 구동모터(310)의 회전에 따라 회전하며 외주면을 따라 나사산이 형성되어 있다. 여기서, 상기 구동모터(310)의 회전력을 상기 구동 볼스크류(320)로 전달하기 위한 연결수단(340)으로 도면에서는 각각의 회전축에 연결된 기어를 통하여 전달하는 방식을 실시예로 나타내었으나, 이는 일 실시예로 상기한 기어방식 외 풀리 등을 이용하여 회전력을 전달할 수 있음은 물론이다.
상기 구동너트부(330)는, 일단부는 상기 구동 볼스크류(320)에 끼워지되고 타단부는 상기 이동암부(200)와 연결되어, 상기 구동모터(310)의 작동에 따라 회전하는 상기 구동 볼스크류(320)를 타고 왕복 직선이동하고, 상기 이동암부(200)를 상기 상부정반(10)과 상기 하부정반(20) 사이로 왕복 이동하게 한다.
한편, 도면에서 상기 구동유닛(300)은 상기 이동암부(200)를 왕복 직선 이동시키기 위하여, 구동모터(310)와 구동 볼스크류(320)를 이용한 방식을 나타내었으나, 이 외 상기 이동암부(200)의 타단부에 구비된 랙기어와, 상기 랙기어와 치합되는 피니언과, 상기 피니언을 정역회전시키는 서보모터를 포함하는 구성이나 유압실린더를 이용하는 등 다양한 실시예가 가능함은 물론이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 상기 이동유닛(400)은, 상기 바이트부(100)와 연결되어, 상기 바이트부(100)를 상기 상부정반(10)과 상기 하부정반(20) 방향으로 왕복 이동시키는 역할을 하며, 이동모터(410)와, 이동 볼스크류(420)와, 이동너트부(430)를 포함한다.
상기 이동모터(410)는, 공지의 회전력을 발생하는 모터로서 서보모터를 포함하여 회전력을 발생시킬 수 있는 모터라면 모두 가능하다.
상기 이동 볼스크류(420)는 상기 이동모터(410)와 연결되어 상기 이동모터(410)의 회전력을 전달받아 회전하며, 상기 그 위치가 고정되어 있다. 한편, 상기 이동모터(410)의 회전력을 상기 이동 볼스크류(420)를 전달하기 위한 수단으로 도면에서와 같이 이동모터(410)의 회전축과 이동 볼스크류(420)의 회전축과 연결되는 연결밸트(411)를 적용할 수 있다. 하지만, 이는 일 실시예로 경우에 따라 상기 이동모터(410)를 상기 이동 볼스크류(420)에 직결식으로 연결할 수 있을 뿐만 아니라, 연결밸트(411) 대신 기어식으로 회전력을 전달할 수 있는 등 설치공간 및 설계에 따라 다양한 실시예가 가능하다.
상기 이동너트부(430)는 상기 이동 볼스크류(420)에 끼워져 상기 이동 볼스크류(420)의 회전에 따라 상기 이동 볼스크류(420)를 타고 직선이동하며, 상부이동너트(432)와, 하부이동너트(434)를 포함한다.
상기 상부이동너트(432)는, 상기 이동 볼스크류(420)의 상측 일단부에 끼워지며 상기 상부바이트(111)와 연결되어 상기 이동 볼스크류(420)의 회전에 따라 상기 상부바이트(111)를 상하방향으로 이동시키는 역할은 한다. 상기 하부이동너트(434)는, 상기 이동 볼스크류(420)의 하측 타단부에 끼워지며 상기 하부바이트(112)와 연결되어 상기 이동 볼스크류(420)의 회전에 따라 상기 하부바이트(112)를 상하방향으로 이동시키는 역할을 한다.
나아가, 상기 이동 볼스크류(420)는, 일단부와 타단부 각각의 외주면에 서로 대칭되는 방향으로 나사산이 형성되고, 대칭되는 방향의 나사산에 각각 상기 상부이동너트(432)와 하부이동너트(434)가 치합하도록 하여 상기 상부바이트(111)와 상기 하부바이트(112)가 상기 이동 볼스크류(420)를 타고 서로 대칭되게 벌어지거나 모아지게 상하방향으로 이동시킬 수 있다.
한편, 도면에서 상기 이동너트부(430)는 상부바이트(111)와 연결되는 상부이동너트(432)와, 하부바이트(112)와 연결되는 하부이동너트(434)를 포함하고, 상기 이동 볼스크류(420)를 타고 상기 상부바이트(111)와 상기 하부바이트(112)가 서로 대칭되게 이동하는 구조를 바람직한 실시예로 나타내었지만, 이와 달리 상기 이동너트부(430)를 상기 상부바이트(111)와 하부바이트(112) 모두에 연결되는 하나의 이동너트로 구성하고 상기 이동 볼스크류(420)의 회전에 따라 상기 상부바이트(111)와 하부바이트(112)가 서로 동일하게 상하방향으로 이동하게 구성할 수 있는 등 다양한 실시예가 가능함은 물론이다.
상기 이동유닛(400)은, 프레임부(401) 또는 이동암부(200)와 연결되어 그 위치가 고정되고, 상기 상부바이트(111)와 상기 하부바이트(112)를 전후진할 수 있도록 가이드하는 리니어 가이드레일(442,444)을 더 구비할 수 있다.
상기한 바에 따라 상기 이동유닛(400)은 상기 모터의 작동에 따라 정역방향 회전하는 상기 이동 볼스크류(420)를 타고 직선 이동하는 상기 이동너트부(430)에 의하여, 상기 상부바이트(111)와 상기 하부바이트(112)를 각각 상기 상부정반(10)과 상기 하부정반(20) 방향으로 전후진시킬 수 있다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 웨이퍼 양면 연마장치의 정반 페이싱 장치의 구성을 개략적으로 나타낸 구성도이다. 도면을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 웨이퍼 양면 연마장치의 정반 페이싱 장치(610)는, 연결부재(500)와, 바이트부(100)와, 구동유닛(300)과, 이동유닛(400)을 포함한다.
한편, 상기 다른 실시예에 따른 페이싱 장치(600)는, 도 1의 페이싱 장치(600)가 상부정반(10)과 하부정반(40)이 각각의 모터 또는 각각의 회전축을 통하여 회전한 상태에서 페이싱 작업을 수행하는 것과는 달리, 상기 상부정반(30)과 하부정반(40)을 서로 연결하여 하나의 모터(520)를 통하여 회전시키고 상기 상부정반(30)과 하부정반(40)의 평행도를 맞출 수 있는 구성으로, 도 1의 페이싱 장치(600)와 비교하여 상기 바이트부(100)와, 구동유닛(300)과, 이동유닛(400)은 그 구성이 대응되므로 이하에서는 이와 대별되는 구성을 중점적으로 살펴보기로 한다.
상기 연결부재(500)는, 구동모터(310)와 축 연결되어 회전하고, 상단부가 상기 상부정반(30)의 중앙부와 결합하고, 하단부가 상기 하부정반(40)의 중앙부와 결합하여 모터(520)의 작동에 따라 상기 상부정반(30)과 상기 하부정반(40)을 동시에 회전시킨다.
상세하게 살펴보면, 상기 연결부재(500)는, 상단부가 상기 상부정반(30) 하면 중앙부에 형성된 제1삽입홈(31)에 끼워지고, 하단부가 상기 하부정반(40) 상면 중앙부에 형성된 제2삽입홈(41)에 끼워져 상기 상부정반(30)과 상기 하부정반(40)과 각각 결합한다.
이때, 상기 제1삽입홈(31)의 저면과 상기 제2삽입홈(41)의 저면 각각에 대면 접촉하는 연결부재(500)의 상단면과 하단면은 서로 평행하며, 이에 따라 상기 연결부재(500)는 상기 상부정반(30)과 상기 하부정반(40)의 평행도를 유지할 수 있다.
한편, 상기 페이싱 장치(600)는, 상기 연결부재(500)와 상기 상부정반(30) 및 상기 하부정반(40)을 서로 결합시키는 체결부재(510)를 더 포함한다. 상기 체결부재(510)는, 상기 제1삽입홈(31)과 상기 제2삽입홈(41) 측으로 상기 연결부재(500)와 상기 상부정반(30)과 상기 하부정반(40)을 각각 관통 체결하여 상기 연결부재(500)의 상하단부에 상기 상부정반(30)과 하부정반(40)을 고정 결합시키며, 착탈 가능한 체결핀 또는 나사산이 형성된 체결볼트를 적용할 수 있지만 이에 한정하지는 않는다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
10,30... 상부정반 20,40... 하부정반
100... 바이트부 111... 상부바이트
112... 하부바이트 200... 이동암부
210... 프레임 220... 이동로드
300... 구동유닛 310... 구동모터
320... 구동 볼스크류 400... 이동유닛
410... 이동모터 420... 이동 볼스크류
430... 이동너트부 432... 상부이동너트
434... 하부이동너트 500... 연결부재
600,610... 페이싱 장치

Claims (9)

  1. 웨이퍼를 사이에 두고 서로 대향되게 배치되는 상부정반 및 하부정반과, 상기 상부정반과 상기 하부정반을 가압 회전시켜 상기 웨이퍼의 상하면을 연마하는 웨이퍼 양면 연마장치의 정반 페이싱 장치에 있어서,
    상기 상부정반과 상기 하부정반 사이에 위치하여 상기 상부정반과 상기 하부정반이 회전하는 상태에서 상기 상부정반과 상기 하부정반의 연삭면에 일정간격으로 이격된 복수개의 그루브(Groove)를 형성하는 바이트부;
    일단부가 상기 바이트부와 연결되고 타단부는 상기 상부정반과 상기 하부정반의 외측에 위치하는 이동암부;
    상기 이동암부의 타단부와 연결되어 상기 이동암부를 상기 상부정반과 상기 하부정반 사이를 왕복 이동시키는 구동유닛; 및
    상기 바이트부와 연결되어, 상기 바이트부를 상기 상부정반과 상기 하부정반 방향으로 왕복 이동시키는 이동유닛을 포함하는 웨이퍼 양면 연마장치의 정반 페이싱 장치.
  2. 웨이퍼를 사이에 두고 서로 대향되게 배치되는 상부정반 및 하부정반과, 상기 상부정반과 상기 하부정반을 가압 회전시켜 상기 웨이퍼의 상하면을 연마하는 웨이퍼 양면 연마장치의 정반 페이싱 장치에 있어서,
    구동모터와 축 연결되어 회전하고, 상단부가 상기 상부정반의 중앙부와 결합하고 하단부가 상기 하부정반의 중앙부와 결합하여 회전에 따라 상기 상부정반과 상기 하부정반을 회전시키는 연결부재;
    상기 상부정반과 상기 하부정반 사이에 위치하여 상기 상부정반과 상기 하부정반이 회전하는 상태에서 상기 상부정반과 상기 하부정반의 연삭면에 일정간격으로 이격된 복수개의 그루브(Groove)를 형성하는 바이트부;
    일단부가 상기 바이트부와 연결되고 타단부는 상기 상부정반과 상기 하부정반의 외측에 위치하는 이동암부;
    상기 이동암부의 타단부와 연결되어 상기 이동암부를 상기 상부정반과 상기 하부정반 사이를 왕복 이동시키는 구동유닛; 및
    상기 바이트부와 연결되어, 상기 바이트부를 상기 상부정반과 상기 하부정반 방향으로 왕복 이동시키는 이동유닛을 포함하는 웨이퍼 양면 연마장치의 정반 페이싱 장치.
  3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 구동유닛은,
    구동모터와,
    상기 구동모터와 연결되어 회전하는 구동 볼스크류와,
    일단부는 상기 구동 볼스크류에 삽입되고 타단부는 상기 이동암부와 연결되는 구동너트부를 포함하여,
    상기 구동모터의 작동에 따라 회전하는 상기 구동 볼스크류를 타고 직선 이동하는 상기 구동너트부에 의하여, 상기 이동암부가 상기 상부정반과 상기 하부정반 사이로 왕복 이동하는 웨이퍼 양면 연마장치의 정반 페이싱 장치.
  4. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 바이트부는,
    상기 이동암부의 일단부 상측에 구비되어, 상기 상부정반의 제1연삭면에 복수개의 제1그루브(Groove)를 형성하는 상부바이트와,
    상기 이동암부의 일단부 하측에 구비되어 상기 하부정반의 제2연삭면에 복수개의 제2그루브를 형성하는 하부바이트를 포함하는 웨이퍼 양면 연마장치의 정반 페이싱 장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 바이트부는,
    상기 제1그루브 간격이 상기 제2그루브 간격보다 좁게 형성되도록, 상기 상부바이트의 개수가 상기 하부바이트의 개수보다 더 많은 웨이퍼 양면 연마장치의 정반 페이싱 장치.
  6. 청구항 4에 있어서,
    상기 이동유닛은,
    이동모터와,
    상기 이동모터와 연결되어 회전하는 이동 볼스크류와,
    상기 이동 볼스크류의 일단부에 삽입되고 상기 상부바이트가 결합되는 상부이동너트와, 상기 이동 볼스크류의 타단부에 삽입되고 상기 하부바이트가 결합되는 하부이동너트를 포함하는 이동너트부를 포함하여,
    상기 이동모터의 작동에 따라 회전하는 상기 이동 볼스크류를 타고 직선 이동하는 상기 이동너트부에 의하여, 상기 상부바이트와 상기 하부바이트가 각각 상기 상부정반과 상기 하부정반 방향으로 전후진하는 웨이퍼 양면 연마장치의 정반 페이싱 장치.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 이동 볼스크류는, 일단부와 타단부 각각의 외주면에 서로 대칭되는 방향으로 나사산이 형성되고,
    상기 이동모터의 작동에 따라 회전하는 상기 이동 볼스크류를 타고 상기 상부바이트와 상기 하부바이트가 서로 대칭되게 전후진하는 웨이퍼 양면 연마장치의 정반 페이싱 장치.
  8. 청구항 2에 있어서,
    상기 연결부재는,
    상단부가 상기 상부정반 하면 중앙부에 형성된 제1삽입홈에 끼워지고, 하단부가 상기 하부정반 상면 중앙부에 형성된 제2삽입홈에 끼워져 상기 상부정반과 상기 하부정반과 결합하되,
    상기 제1삽입홈의 저면과 상기 제2삽입홈의 저면 각각에 대면 접촉하는 상단면과 하단면은 서로 평행하게 형성되어, 결합하는 상기 상부정반과 상기 하부정반의 평행도를 유지하는 웨이퍼 양면 연마장치의 정반 페이싱 장치.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 제1삽입홈과 상기 제2삽입홈에서 각각 관통체결되어, 상기 연결부재와 상기 상부정반 및 상기 하부정반을 서로 체결하는 체결부재를 더 포함하는 웨이퍼 양면 연마장치의 정반 페이싱 장치.
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