KR101349409B1 - 발광장치 및 그 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명의 실시 예에 따른 발광 장치는 제 1도전형 기판; 상기 제 1도전형 기판의 표면에 형성된 제 2도전형의 제 1, 제 4 및 제 5웰 영역; 상기 제 2도전형의 제 1웰 영역 내에 형성된 제 1도전형의 제 2 및 제 3웰 영역; 상기 제 1도전형의 제 2웰 영역과 제 2도전형의 제 5웰 영역을 연결하는 제 1금속전극; 상기 제 1도전형의 제 3웰 영역과 제 2도전형의 제 4웰 영역을 연결하는 제 2금속전극; 상기 제 2도전형의 제 1웰 영역과 제 1도전형 기판 사이에 연결된 발광 다이오드를 포함한다.
LED, 교류전원, 이온 주입, WELL
Description
본 발명의 실시 예는 발광장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.
발광다이오드(LED: Light Emitting Diode)는 GaAs 계열, AlGaAs 계열, GaN 계열, InGaN 계열 및 InGaAlP 계열 등의 화합물 반도체 재료를 이용하여 발광 원을 구성할 수 있다.
이러한 발광다이오드는 패키지화되어 다양한 색을 발광하는 장치로 이용되고 있다. 예컨대, 칼라를 표시하는 점등 표시기, 문자 표시기 및 영상 표시기 등의 다양한 분야에 광원으로 사용되고 있다.
본 발명의 실시 예는 교류 전원으로 발광 다이오드의 구동이 가능한 발광 장치 및 그 제조방법을 제공한다.
본 발명의 실시 예는 교류 브리지 회로를 갖는 발광 다이오드 패키지를 이용한 발광 장치를 제공한다.
본 발명의 실시 예는 WLP 패키지에 교류 브리지 회로를 내장한 발광장치 및 그 제조방법을 제공한다.
본 발명의 실시 예에 따른 발광 장치는 제 1도전형 기판; 상기 제 1도전형 기판의 표면에 형성된 제 2도전형의 제 1, 제 4 및 제 5웰 영역; 상기 제 2도전형의 제 1웰 영역 내에 형성된 제 1도전형의 제 2 및 제 3웰 영역; 상기 제 1도전형의 제 2웰 영역과 제 2도전형의 제 5웰 영역을 연결하는 제 1금속전극; 상기 제 1도전형의 제 3웰 영역과 제 2도전형의 제 4웰 영역을 연결하는 제 2금속전극; 상기 제 2도전형의 제 1웰 영역과 제 1도전형 기판 사이에 연결된 발광 다이오드를 포함한다.
본 발명의 실시 예에 따른 발광 장치 제조방법은 제 1도전형 지지체의 표면에 제 2도전형의 제 1, 제 4 및 제 5웰 영역을 형성하는 단계; 상기 제 2도전형의 제 1웰 영역 내에 제 1도전형의 제 2 및 제 3웰 영역을 형성하는 단계; 상기 웰 영역 및 제 1도전형 지지체의 일부를 개방시키는 절연층을 형성하는 단계; 상기 절 연층 위에 금속전극을 형성하여, 제 1웰 영역과 제 5웰 영역을 연결해 주고, 제 2웰 영역과 제 4웰 영역을 연결시켜 주는 단계; 상기 제 1웰 영역과 제 1도전형 지지체 사이를 연결하는 발광 다이오드를 탑재하는 단계를 포함한다.
본 발명의 실시 예에 따른 발광장치 및 그 제조방법에 의하면, 발광 다이오드를 교류 전원으로 구동 가능한 효과가 있다.
또한 교류 브리지 회로를 갖는 발광 다이오드 패키지를 제공한다.
또한 교류 브리지 회로를 갖는 실리콘 재질의 WLP 패키지를 제공할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 발광 장치 및 그 제조방법에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 제 1실시 예에 따른 발광장치의 사시도이고, 도 2는 도 1의 A-A 측 단면도이며, 도 3은 도 1의 회로 구성도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 발광 장치(100)는 제 1도전형 기판(110), 제 2도전형의 제 1웰(well) 영역(120), 제 1도전형의 제 2웰 영역(122), 제 1도전형의 제 3웰 영역(124), 제 2도전형의 제 4웰 영역(132), 제 2도전형의 제 5웰 영역(134), 절연층(130), 금속전극(142,144,152,154), 발광 다이오드(150)를 포함한다.
상기 제 1도전형 기판(110)은 실리콘 재질의 기판으로서, 예컨대, n형 실리콘 반도체 기판으로 이루어질 수 있다. 상기 제 1도전형 기판(110)의 상부 표면에 는 제 2도전형의 제 1웰 영역(120), 제 2도전형의 제 4웰 영역(132), 제 2도전형의 제 5웰 영역(134)이 형성된다.
여기서, 제 2도전형의 제 1웰 영역(120)의 표면에는 제 1도전형의 제 2웰 영역(122) 및 제 3웰 영역(124)이 각각 형성된다. 여기서, 상기 제 1도전형이 n형 반도체 특성을 가지면, 제 2도전형은 p형 반도체 특성을 가지며, 반대로 제 1도전형이 p형 반도체 특성을 가지면 제 2도전형은 n형 반도체 특성으로 형성되도록 이온주입할 수 있다. 실시 예에서는 일 예로서, 이하에서는 제 1도전형은 p형 반도체 특성을 가지고, 제 2도전형은 n형 반도체 특성으로 하여 설명하기로 한다.
이에 따라 제 1도전형의 제 2웰 영역(122) 및 제 3웰 영역(124)은 제 2도전형의 제 1웰 영역(120)과 p-n 접합되어 제 1 및 제 3다이오드(도 3의 D1,D3)를 형성하며, 제 2도전형의 제 4웰 영역(132)과 제 5웰 영역(134)은 제 1도전형의 기판(110)과 n-p 접합되어 제 2 및 제 4다이오드(도 3의 D2,D4)를 형성하게 된다.
상기 제 1도전형의 기판(110) 위에는 절연층(130)이 형성된다. 상기 절연층(130)은 산화막 계열(Si02 등)로 이루어질 수 있으며, 기판 표면과 제 1내지 제 5웰 영역(120,122,124,132,134)을 부분적으로 개방시켜 주는 다수개의 비아 홀(123,125,127,128,133,135)이 형성된다. 여기서, 제 1비아 홀(123)은 하나 이상이 형성되어 제 1도전형의 제 2웰 영역(122)을 개방시키고, 제 2비아 홀(125)은 하나 이상이 형성되어 제 1도전형의 제 3웰 영역(124)을 개방시키고, 제 3비아 홀(133)은 하나 이상이 형성되어 제 2도전형의 제 4웰 영역(132)을 개방해 주며, 제 4비아 홀(135)은 하나 이상이 형성되어 제 2도전형의 제 5웰 영역(134)을 개방 해 준다. 제 5비아 홀(127)은 제 2도전형의 제 1웰 영역(120)을 개방해 주고, 제 6비아 홀(128)은 제 1도전형 기판의 표면을 개방시켜 준다.
상기 절연층(130) 및 기판(110) 위 위에는 다수개의 금속전극(142,144,152,154)이 형성된다. 제 1금속전극(142)은 제 1 및 제 4비아 홀(123,135)에 형성되어 제 1도전형의 제 2웰 영역(122)과 제 2도전형의 제 5웰 영역(134)을 공통으로 연결시켜 준다. 제 2금속전극(144)은 제 2 및 제 3비아 홀(125,133)에 형성되어 제 1도전형의 제 3웰 영역(124)과 제 2도전형의 제 4웰 영역(132)을 공통으로 연결시켜 준다. 제 3금속전극(152)은 제 5비아 홀(127)을 통해 제 2도전형 제 1웰 영역(120)에 연결되며 발광다이오드의 애노드와 연결되고, 상기 제 4금속전극(154)은 제 6비아 홀(128)을 통해 제 1도전형 기판(110)에 연결되며 발광다이오드의 캐소드와 연결된다.
상기 발광 다이오드(LED)(150)는 기판(110) 위의 제 3금속전극(152) 및 제 4금속전극(154) 위에 와이어 또는 플립 방식으로 본딩된다. 이러한 발광 다이오드(150)는 유색 발광다이오드(Red, Green, Blue 등), UV LED, 백색 발광 다이오드중 적어도 하나가 칩 형태로 하나 이상 탑재될 수 있다.
도 3은 도 1의 회로 구성도이며, 도 4는 도 3을 회로적으로 표현한 구성도이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 제 1다이오드(D1)는 제 1도전형 제 2웰 영역(122)과 제 2도전형 제 1웰 영역(120) 사이에 p-n 접합되며, 제 3다이오드(D3)는 제 1도전형 제 3웰 영역(124)와 제 2도전형 제 1웰 영역(120) 사이에 p-n 접합된다. 제 2 다이오드(D2)는 제 2도전형 제 4웰 영역(132)과 제 1도전형 기판(110) 사이에 n-p 접합되며, 제 4다이오드(D4)는 제 2도전형 제 5웰 영역(134)과 제 1도전형 기판(110) 사이에 n-p 접합된다. 제 1금속전극(142)은 제 1다이오드(D1)의 애노드와 제 4다이오드(D4)의 캐소드 사이에 연결되며, 제 2금속전극(144)은 제 3다이오드(D3)의 애노드와 제 2다이오드(D2)의 캐소드에 연결된다. 제 3금속전극(152)은 제 1다이오드(D1)의 캐소드, 제 3다이오드(D3)의 캐소드, 발광 다이오드(LED, 150)의 애노드에 공통으로 연결되고, 제 4금속전극(154)은 제 2다이오드(D2)의 애노드, 제 4다이오드(D4)의 애노드, 발광 다이오드(150)의 캐소드에 공통으로 연결된다.
이러한 회로 구성에 제 1 및 제 2금속전극(142,144)를 통해 AC 전원이 공급되면, 도 5 및 도 6과 같이 전류가 흐르게 된다. 도 5에 도시된 바와 같이, AC 전원의 정 전류(I1)는 순 방향의 제 1다이오드(D1)로 흘러 발광 다이오드(LED를 발광시키고, 상기 발광 다이오드(LED)의 캐소드로 출력되는 전류는 제 2다이오드(D2)로 흐르게 된다. 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 AC 전원의 부 전류(I2)는 순 방향의 제 3다이오드(D3)를 거쳐 발광 다이오드(LED)를 발광시키고, 발광 다이오드(LED)의 캐소드 측을 거쳐 제 4다이오드(D4)로 흐르게 된다.
이러한 발광 장치는 기판(110) 표면의 웰 구조를 이용하여 브리지 다이오드(D1,D2,D3,D5)를 형성한 후, 발광 다이오드(LED)를 칩 형태로 탑재하여 줌으로써, AC 전원으로 구동이 가능한 발광 다이오드(LED)를 제공할 수 있다.
도 7 내지 도 14는 본 발명의 제 1실시 예에 따른 발광 장치 제조 과정을 나 타낸 도면이다.
도 7 및 도 8을 참조하면, 제 1도전형 기판(110)은 실리콘 계열의 p형 기판으로서, 단층 또는 다층 기판으로 이루어질 수 있다. 이러한 제 1도전형 기판(110)의 상부 표면의 일측에는 제 2도전형 도펀트를 이온 주입함으로써 제 2도전형 제 1웰 영역(120)이 형성된다.
도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이, 제 1도전형 기판(110)의 제 2도전형 제 1웰 영역(120)의 표면을 통해 제 1도전형 도펀트를 이온 주입하여 제 1도전형 제 2웰 영역(122) 및 제 3웰 영역(124)이 형성된다. 상기 제 1도전형 기판(110)의 타측에는 제 2도전형 도펀트를 이온 주입하여 제 2도전형 제 4 웰 영역(132) 및 제 5웰 영역(134)이 형성된다. 여기서, 제 1웰 영역(120), 제 4 웰 영역(132), 제 5웰 영역(134)의 크기는 서로 같거나 다를 수 있다.
여기서, 제 1웰 영역 내지 제 5웰 영역(120,122,124,132,134)은 기판의 상부 표면으로 도펀트를 각각 이온 주입함으로써 소정 깊이를 갖는 웰 구조의 도전형을 갖게 된다. 예컨대, 제 2도전형 웰 영역(120,132,134)인 n형 웰 영역은 n형 도펀트 예컨대, 인(P) 이온, 불소 이온 등을 선택적으로 주입(implantation) 또는 확산(diffusion)시켜 줌으로써 형성될 수 있다. 제 1도전형 웰 영역(122,124)인 p형 웰 영역은 p형 불순물 예컨대, 보론 이온, 알루미늄 이온을 선택적으로 주입 또는 확산시켜 줌으로써 p형 웰 영역으로 형성될 수 있다. 이러한 이온 주입 기술은 n형 또는 p형 도펀트 원소를 이온화해 전압으로 가속한 후 기판 표면으로 주입 또는 확산(diffusion)하는 것으로서, 도펀트의 양이나 분포를 전기적으로 조절할 수 있다. 또한 이온 주입 방법으로는 이온 빔 주입 또는 플라즈마 이온 주입 방식 등을 이용할 수 있다. 상기의 제 1도전형 웰 영역 또는 제 2도전형 웰 영역은 모두 한 공정에서 형성될 수도 있다.
도 11을 참조하면, 상기 기판(110) 위에는 절연층(130)이 형성된다. 상기 절연층(130)에는 산화막 계열을 이용할 수 있으며, 다수개의 비아 홀(123,125,127,128,133,135)이 에칭된다. 제 2웰 영역(122)에는 적어도 하나의 제 1비아 홀(123)이 형성되며, 제 3웰 영역에는 적어도 하나의 제 2비아 홀(125)이 형성되고, 제 4웰 영역(132)에는 적어도 하나의 제 3비아 홀(133)이 형성되고, 제 5웰 영역(134)에는 적어도 하나의 제 4비아 홀(135)이 형성된다. 또한 제 1웰 영역(120)에는 제 2 웰 영역(122)과 제 3웰 영역(124) 사이에 적어도 하나의 제 5비아 홀(127)이 형성되고, 제 1도전형 기판(110)의 타측 표면(110B) 위에는 제 4웰 영역(132) 및 제 5웰 영역(134) 사이에 적어도 하나의 제 6비아 홀(128)이 형성된다. 또한 기판 위의 중심 영역인 발광 다이오드 탑재 영역(110A)은 제 1도전형 기판 상면까지 개방시켜 줄 수도 있고, 개방하지 않을 수도 있다.
도 11 및 도 12를 참조하면, 상기 절연층(130) 위 및 비아 홀(123,125,127,133,135)에는 제 1내지 제 4금속전극(142,144,152,154)이 형성된다.
도 12 및 도 13을 참조하면, 상기 제 1금속전극(142)은 제 1도전형의 제 2웰 영역(122)과 제 2도전형의 제 5웰 영역(134)을 공통으로 연결시켜 준다. 상기 제 2금속전극(144)은 제 1도전형의 제 3웰 영역(124)과 제 2도전형의 제 4웰 영역(132)을 공통으로 연결시켜 준다. 상기 제 3금속전극(152)은 제 2도전형 제 1웰 영역(120)에 연결되며 일부(155)가 발광다이오드(150)의 애노드와 연결되고, 상기 제 4금속전극(154)은 제 1도전형 기판(110)에 연결되며 발광다이오드(150)의 캐소드와 연결된다.
도 14를 참조하면, 상기 발광 다이오드(LED)(150)는 기판(110) 위의 제 3금속전극(152) 및 제 4금속전극(154) 위에 와이어 또는 플립 방식으로 본딩된다. 이러한 발광 장치는 도 4와 같은 회로 구성도로 구현될 수 있어, 브리지 다이오드 방식에 발광 다이오드(150)를 탑재하여, AC 전원으로 발광 다이오드(150)를 항상 온 시켜 줄 수 있다. 여기서 발광 다이오드(150)가 배치되는 영역에는 금속 전극이 배치됨으로써, 전기적인 특성 및 방열을 효과적으로 수행할 수 있다. 이러한 기판 위의 발광 다이오드 상부에는 별도의 볼록 렌즈가 탑재될 수도 있다.
도 15 및 도 16은 본 발명의 제 2실시 예를 나타낸 발광 장치의 사시도 및 그 측 단면도이다.
도 15 및 도 16을 참조하면, 발광 장치(200)은 캐비티(212)를 갖는 제 1도전형 지지체(210), 제 1도전형 지지체(210)의 상측에 형성된 다수개의 웰 영역(220,222,224,232,234), 캐비티(212)에 탑재된 발광 다이오드(250)를 포함한다.
상기 제 1도전형 지지체(210)는 WLP(Wafer level Package)로서, 제 1도전형(예: p형) 실리콘 계열로 이루어질 수 있다. 이러한 제 1도전형 지지체(210)는 도전형 지지체로서 상부 중앙에는 소정 깊이의 캐비티(212)가 형성되며, 캐비티 측 면(214)은 경사지게 형성될 수 있다.
상기 제 1도전형 지지체(210)의 상부 일측에는 제 2도전형 제 1웰 영역(220)이 형성되며, 상기 제 1웰 영역(220)에는 제 1도전형 제 2웰 영역(222) 및 제 3웰 영역(224)이 형성된다. 이러한 제 1도전형 제 2웰 영역(222)과 제 3웰 영역(224)은 제 2도전형 제 1웰 영역(220)과 p-n 접합 다이오드로 동작한다.
상기 제 1도전형 지지체(210)의 상부 타측에는 제 2도전형 제 4웰 영역(232) 및 제 5웰 영역(234)이 형성되며, 제 2도전형 제 4웰 영역(232)과 제 5웰 영역(234)은 제 1도전형 기판(110)과 접촉되어 n-p 접합 다이오드로 동작하게 된다.
이러한 제 1도전형 지지체(210) 위에는 도 16과 같이 절연층(230)이 형성되며, 다수개의 비아 홀(225,233)을 통해 각각의 웰 영역 및 기판 표면이 금속전극(242,244,252,254)을 통해 서로 연결된다. 여기서, 제 1금속전극(242)은 제 1도전형의 제 2웰 영역(222)과 제 2도전형의 제 5웰 영역(234)을 공통으로 연결시켜 준다. 상기 제 2금속전극(244)은 제 1도전형의 제 3웰 영역(224)과 제 2도전형의 제 4웰 영역(232)을 공통으로 연결시켜 준다. 상기 제 3금속전극(252)은 제 2도전형 제 1웰 영역(220)에 연결된 발광다이오드(250)의 애노드와 연결되고, 상기 제 4금속전극(254)은 제 1도전형 기판(210)에 연결된 발광다이오드(250)의 캐소드와 연결된다. 상기 발광 다이오드(250)는 제 3 및 제 4금속전극(252,254)에 플립 방식으로 탑재되어 도 4와 같은 회로 구성과 같이 연결된다.
상기 제 1 및 제 2금속전극(242,244)은 제 1도전형 지지체(210)의 측면을 따라 바닥면까지 연장되어, 두 개의 전극으로 이용된다. 이러한 제 1 및 제 2금속전 극(242,244)에 AC 전원을 공급할 경우 도 5 및 도 6과 같이 구동된다.
여기서, 상기 발광 다이오드(250)는 청색 LED 칩 또는 다른 유색 LED 칩(레드, 그린, 블루 등)이 패키지 형태로 하나 이상 탑재될 수 있다. 그리고 상기 캐비티(212) 영역에는 에폭시 또는 실리콘과 같은 몰드 부재(240)가 채워질 수 있으며, 상기 몰드 부재(240) 위에는 볼록 렌즈가 탑재될 수 있다. 또한 상기 몰드 부재(240)에는 발광 다이오드(240)로부터 발생된 광을 다른 스펙트럼으로 여기시켜 방출하는 적어도 한 종류의 형광체가 첨가될 수도 있다.
도 17은 본 발명의 제 2실시 예를 변형한 예이다. 도 17은 도 16과 동일 부분에 대한 부호의 설명은 동일 부호로 처리하며 중복 설명은 생략하기로 한다. 이러한 발광장치(200A)는 발광 다이오드(250A)를 와이어(255) 본딩 방식으로 캐비티 내부에 탑재한 구성이다.
이상에서 본 발명에 대하여 실시 예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 본 발명의 실시 예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
도 1은 본 발명의 제 1실시 예에 따른 발광 장치의 사시도.
도 2는 도 1의 A-A 측 단면도.
도 3은 도 1의 금속전극의 연결 상태를 나타낸 구성도.
도 4는 도 1의 회로 구성도.
도 5 및 도 6은 도 1의 발광 장치의 전류 흐름 경로를 나타낸 도면.
도 7 내지 도 14는 본 발명의 제 1실시 예에 따른 발광 장치의 제조과정을 나타낸 도면.
도 15는 본 발명의 제 2실시 예에 따른 발광 장치의 사시도.
도 16은 도 15의 측 단면도.
도 17은 본 발명의 제 2실시 예의 발광 장치의 변형 예를 나타낸 도면.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
100,200,200A : 발광장치 110 : 제 1도전형 기판
120,132,134,220,232,234 : 제 2도전형 웰 영역
122,124,222,224 : 제 1도전형 웰 영역
130,230 : 절연층
142,144,152,154,242,244,252,254 : 금속전극
123,125,133,135,127,128 : 비아 홀 150,250,250A : 발광다이오드
210 : 제 1도전형 지지체 212 : 캐비티
240 : 몰드부재
Claims (15)
- 제 1도전형 기판;상기 제 1도전형 기판의 표면에 형성된 제 2도전형의 제 1, 제 4 및 제 5웰 영역;상기 제 2도전형의 제 1웰 영역 내에 형성된 제 1도전형의 제 2 및 제 3웰 영역;상기 제 1도전형의 제 2웰 영역과 제 2도전형의 제 5웰 영역을 연결하는 제 1금속전극;상기 제 1도전형의 제 3웰 영역과 제 2도전형의 제 4웰 영역을 연결하는 제 2금속전극;상기 제 2도전형의 제 1웰 영역과 제 1도전형 기판에 연결된 발광 다이오드를 포함하는 발광 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 발광 다이오드는 적어도 하나의 유색 발광 다이오드, 백색 LED 및 UV LED 중 적어도 하나를 포함하는 발광 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 제 2도전형의 제1웰 영역에 형성된 제 3금속전극과, 상기 도전형 기판에 연결된 제 4금속 전극을 포함하며,상기 제 3 및 제 4금속 전극에 발광 다이오드가 탑재되는 포함하는 발광 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 제 1 및 제 2금속 전극은 교류 전원의 양 단자에 연결되는 발광 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 제 1도전형 기판은 n형 또는 p형 실리콘계열의 반도체 기판을 포함하는 발광 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 제 1도전형 기판 위에 형성된 절연층을 포함하며,상기 절연층은 다수개의 비아 홀을 갖고 제1, 제2금속전극 사이 및 제1내지 제5웰 영역 사이를 서로 절연시켜 주는 발광 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 제 1금속전극으로 인가되는 교류 전원의 정 전류는 제 1도전형의 제 2웰 영역, 제 2도전형의 제 1웰 영역을 통해 발광 다이오드의 애노드로 공급되고, 발광 다이오드의 캐소드에 연결된 제 1도전형 기판을 통해 제 2도전형의 제 4웰 영역으로 흐르는 발광 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 제 2금속 전극으로 인가되는 교류 전원의 부 전류는 제 1도전형의 제 3웰 영역, 제 2도전형의 제 1웰 영역을 통해 발광 다이오드의 애노드로 공급되고, 발광 다이오드의 캐소드에 연결된 제 1도전형 기판을 통해 제 2도전형의 제 5웰 영역으로 흐르는 발광장치.
- 제 1항에 있어서,상기 제 1도전형 기판의 상부에 형성된 캐비티를 포함하며,상기 캐비티에는 적어도 하나의 발광 다이오드가 탑재되는 발광 장치.
- 제 9항에 있어서,상기 제 1 및 제 2금속전극은 제 1도전형 기판의 외측을 따라 바닥면까지 연장되는 발광 장치.
- 제 1항 또는 제 9항에 있어서,상기 제 1도전형의 제2 및 제3웰 영역은 n형 도펀트가 이온 주입 또는 확산되며,상기 제 2도전형의 제1, 제4 및 제5웰 영역은 p형 도펀트가 이온 주입 또는 확산되는 발광 장치.
- 제 1항 또는 제 9항에 있어서,상기 제 1도전형의 제2 및 제3웰 영역은 p형 도펀트가 이온 주입 또는 확산되며,상기 제 2도전형의 제1 제4 및 제5웰 영역은 n형 도펀트가 이온 주입 또는 확산되는 발광 장치.
- 제 1도전형 지지체의 표면에 제 2도전형의 제 1, 제 4 및 제 5웰 영역을 형성하는 단계;상기 제 2도전형의 제 1웰 영역 내에 제 1도전형의 제 2 및 제 3웰 영역을 형성하는 단계;상기 웰 영역 및 제 1도전형 지지체의 일부를 개방시키는 절연층을 형성하는 단계;상기 절연층 위에 금속전극을 형성하여, 제 1웰 영역과 제 5웰 영역을 연결해 주고, 제 2웰 영역과 제 4웰 영역을 연결시켜 주는 단계;상기 제 1웰 영역과 제 1도전형 지지체 사이를 연결하는 발광 다이오드를 탑재하는 단계를 포함하는 발광 장치 제조방법.
- 제 13항에 있어서,상기 금속전극 형성 단계는, 제 1웰 영역과 제 5웰 영역을 연결하는 제 1금속 전극, 제 2웰 영역과 제 4웰 영역을 형성하는 제 2금속전극, 제 1웰 영역에 연 결된 제 3금속전극, 제 1도전형 지지체에 연결된 제 4금속전극을 각각 형성하는 것을 특징으로 하는 발광 장치 제조방법.
- 제 13항에 있어서,상기 제 1도전형의 제2 및 제3웰 영역 또는 제 2도전형의 제1, 제4 및 제5웰 영역은 n형 도펀트 또는 p형 도펀트가 이온 주입 또는 확산되는 발광 장치 제조방법.
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