KR101348095B1 - An organic matter feeding apparatus and method thereof - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to an apparatus and method for feeding organic matters, which is capable of feeding a required large amount of organic matters to a crucible without releasing a vacuum state during an organic light emitting diode (OLED) film deposition process. The apparatus of the present invention comprises: a repository for storing organic matters; a stirrer vertically provided in the repository to rotate by a separate drive means and stir the organic matters stored in the repository such that the organic matters cannot agglomerate; a connecting pipe provided to be connected to the lower end of the repository; a crucible for heating the organic matters; a door provided on one side of the connecting pipe to open and close the space between the connecting pipe and the crucible; a piston horizontally provided inside the connecting pipe to move forwards and backwards by a separate drive means and moving the organic matters inside the connecting pipe to feed the organic matters to the crucible; and a linear evaporation source for evaporating the organic matters heated in the crucible. According to the present invention, the vacuum state of a vacuum chamber cannot be released during the OLED film deposition process and organic matters can be fed to the crucible for a long time without replacing the crucible, thereby significantly reducing time and costs required to feed organic matters to the crucible.

Description

유기물 피딩 장치 및 방법{An Organic Matter Feeding Apparatus and Method Thereof}Organic Matter Feeding Apparatus and Method Thereof}

본 발명은 유기물 피딩 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 박막증착 공정 중에도 진공을 해제하지 않을 뿐 아니라 도가니를 교체하지 않고 장시간 연속하여 유기물을 도가니에 피딩해 주는 유기물 피딩 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an organic material feeding apparatus and method, and more particularly, an organic material that not only releases a vacuum during OLED thin film deposition process but also feeds organic material into the crucible continuously for a long time without replacing the crucible. It relates to a feeding device.

일반적으로 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 박막증착 공정은 유기물을 증발시키고, 증발된 유기물을 기판에 증착시키게 된다. 이러한 증착 공정은 글래스 등의 기판을 진공챔버 내에 배치하고, 유기물이 담긴 증발원을 기판에 대향하도록 배치한다. 이후, 유기물이 담긴 증발원을 가열하여 증발되는 유기물 기체나 액체 상태를 기판에 증착시키면서 유기 박막을 형성하게 된다. In general, an organic light emitting diode (OLED) thin film deposition process evaporates organic materials and deposits evaporated organic materials on a substrate. In this deposition process, a substrate such as glass is placed in a vacuum chamber, and an evaporation source containing an organic substance is arranged to face the substrate. Thereafter, the organic thin film is formed by heating the evaporation source containing the organic material and depositing the organic gas or liquid state which is evaporated onto the substrate.

그러나, 최근에는 기판이 대면적화됨에 따라, 대면적 박막이 균일하게 형성되도록 점증발원 대신 선형증발원이 사용되며, 이러한 선형증발원은 유기물이 대면적의 기판에 고르게 분사되도록 도가니의 상부에 다수의 증발구를 동일한 구경 및 동일한 간격으로 형성하여 구성된다. However, in recent years, as the substrate becomes larger, a linear evaporation source is used instead of an evaporation source so that a large area thin film is formed uniformly. This linear evaporation source has a plurality of evaporation ports on the top of the crucible so that the organic material is evenly sprayed on the large area substrate. It is formed by forming the same aperture and the same interval.

여기서, 도가니에 담긴 유기물 기체나 액체가 대면적 기판에 증착되기 위해서는 많은 양의 유기물이 필요로 하지만 도가니의 크기가 한정되어 있어서 유기물을 다 사용하게 되면 도가니 내에 유기물 피딩하는 별도의 시간이 필요하다. 다시 말해서 종래에는 증착공정 중 도가니 내에 유기물질이 다 증발되면 진공챔버 내의 진공상태를 해제하고 유기물을 도가니에 피딩한 뒤, 증착공정을 위해 다시 진공챔버를 진공상태로 만들어야 했기 때문에 많은 시간과 비용이 소비되는 문제점이 있었다. In this case, in order to deposit an organic material or liquid contained in the crucible on a large-area substrate, a large amount of organic material is required. However, since the size of the crucible is limited, additional time is required to feed organic materials into the crucible. In other words, conventionally, when the organic material is evaporated in the crucible during the deposition process, the vacuum state in the vacuum chamber is released, the organic material is fed to the crucible, and the vacuum chamber is vacuumed again for the deposition process. There was a problem to be consumed.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 등록특허 10-0727470호에는 유기물 증착 장치 및 방법이 개시되어 있다. 상기 유기물 증착 장치는 유기물 증발기를 자동으로 교체하고, 유기물 증착 공정의 중단없이 유기물 증발기의 교체가 가능한 유기물 증착 장비를 제공하고 있지만, 유기물 증발기가 자동으로 교체될 때 유기물 증발기가 증착 챔버로부터 반출 챔버로 반출되면 반출 챔버의 압력을 증착 챔버의 공정 압력과 일치시켜 주어야 하며, 유기물 증발기를 대기 챔버로부터 증착 챔버로 반입되면 대기 챔버의 압력을 증착 챔버의 공정 압력과 일치시켜 주어야 하는 등 각 단계별로 공정 압력을 맞춰 주어야 하는 문제점이 있다. In order to solve the above-described problems, an apparatus and a method for depositing an organic material are disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 10-2727470. The organic material evaporator is provided with an organic material evaporator for automatically replacing the organic material evaporator and replacing the organic material evaporator without stopping the organic material evaporation process. However, when the organic material evaporator is automatically replaced, the organic material evaporator is moved from the deposition chamber to the take- When the organic vaporizer is brought into the deposition chamber from the atmospheric chamber, the pressure of the atmospheric chamber must be made equal to the process pressure of the deposition chamber. In this case, the process pressure There is a problem in that it must be adjusted.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해서 안출된 것으로, 본 발명은 선형증발원에서 도가니 내에 유기물을 피딩하는 시간을 단축하고 비용을 절감하기 위하여 진공상태에서 이루어지는 박막증착 공정 중에 진공상태를 해제하지 않을 뿐 아니라 도가니를 교체하지 않고 다량의 유기물을 장시간 동안 공급할 수 있는 유기물 피딩 장치 및 방법을 제공하는데 그 목적이 있다. The present invention has been made to solve the above problems, the present invention does not release the vacuum during the thin film deposition process made in a vacuum in order to reduce the time and feed cost of organic matter in the crucible in the linear evaporation source In addition, an object of the present invention is to provide an organic material feeding apparatus and method capable of supplying a large amount of organic material for a long time without replacing the crucible.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에서는 유기물이 저장되는 저장소와, 상기 저장소에 내에 수직으로 구비되어 상기 저장소에 저장된 유기물이 응집되지 않도록 별도의 구동수단에 의해 회전하며 저어주는 스터러(stirrer)와, 상기 저장소의 하단과 연통되어 형성되는 연결관과, 상기 유기물을 가열해 주는 도가니와, 상기 연결관의 일측에 구비되어 상기 연결관과 상기 도가니 사이를 개폐하는 도어와, 상기 연결관 내부에 수평으로 구비되어 별도의 구동수단에 의해 앞뒤로 이동하며 상기 연결관 내의 유기물을 이동시켜 상기 도가니로 상기 유기물을 피딩시키는 피스톤과, 상기 도가니 내의 가열된 유기물이 증발되는 선형증발원을 포함할 수 있다. In order to achieve the above object, in the present invention, a stirrer that rotates and stirs by a separate driving means is provided vertically in the reservoir and the organic material stored in the reservoir so as not to aggregate. ), A connecting tube formed in communication with the lower end of the reservoir, a crucible for heating the organic material, a door provided at one side of the connecting tube to open and close between the connecting tube and the crucible, and the inside of the connecting tube It may be provided in a horizontal to move back and forth by a separate drive means and may include a piston for moving the organic material in the connecting pipe to feed the organic material into the crucible, and a linear evaporation source of the heated organic material in the crucible.

본 발명에서는, 상기 저장소는 하부가 상부보다 면적이 좁아질 수 있다.In the present invention, the reservoir may be narrower in area than upper part.

또한, 상기 스터러(stirrer)는 중앙의 구동축을 중심으로 회전하며, 복수의 스터러(stirrer) 윙이 형성될 수 있다.In addition, the stirrer rotates around a central drive shaft, and a plurality of stirrer wings may be formed.

그리고, 상기 스터러(stirrer) 윙은 하부로 갈수록 크기가 작아질 수 있다.The stirrer wing may be smaller in size as it goes downward.

아울러, 복수의 상기 스터러(stirrer) 윙은 끝단의 내각이 150°∼170°의 각을 이루며 날이 형성될 수 있다.In addition, a plurality of the stirrer wings may be formed with an angle of 150 ° to 170 ° of the inner end of the tip.

본 발명에서는, 상기 도어는 게이트 밸브로 작동될 수 있다.In the present invention, the door can be operated as a gate valve.

또한, 상기 피스톤은 실린더 구조로 왕복이동을 하고, 상기 피스톤의 두께는 적어도 상기 저장소 입구의 내경보다 크게 형성되어 상기 저장소의 입구를 개폐할 수 있다.In addition, the piston is a reciprocating movement in a cylinder structure, the thickness of the piston is formed at least larger than the inner diameter of the reservoir inlet can open and close the inlet of the reservoir.

그리고, 상기 연결관은 상기 연결관 내의 유기물 온도가 상기 도가니 내의 유기물 온도와 같아지도록 상기 유기물의 온도를 일정하게 유지시켜 주는 히터열선이 나선형으로 감길 수 있다.The connecting pipe may be spirally wound with a heater heating wire that maintains a constant temperature of the organic material such that the temperature of the organic material in the connecting pipe is equal to the temperature of the organic material in the crucible.

본 발명에서는, 상기 선형증발원은 상기 도어의 상단과 상기 선형증발원 사이에 개폐가능한 커버가 형성될 수 있다.In the present invention, the linear evaporator may be formed a cover that can be opened and closed between the top of the door and the linear evaporator.

아울러, 상기 선형증발원은 가열된 상기 도가니 내의 유기물이 기화하는 양을 측정하는 센서가 장착될 수 있다.In addition, the linear evaporation source may be equipped with a sensor for measuring the amount of vaporization of the organic material in the heated crucible.

그리고, 상기 센서는 측정된 유기물의 양에 따라 상기 스터러(stirrer), 상기 도어, 상기 피스톤이 연동되도록 제어할 수 있다.The sensor may control the stirrer, the door, and the piston to interlock according to the measured amount of organic material.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 기판에 증착되는 유기물을 도가니 내로 피딩하기 위한 방법에는 (a) 저장소에 유기물을 저장하는 단계와, (b) 선형증발원의 벽면에 장착된 센서가 도가니 내 충진된 유기물의 양을 측정하는 단계와, (c) 상기 센서로 측정된 상기 도가니 내의 유기물 양이 기준치보다 적으면 상기 스터러(stirrer)가 정지함과 동시에 상기 저장소의 입구를 폐쇄하던 피스톤이 뒤로 밀려나며 상기 저장소의 입구가 개방되고, 상기 센서로 측정된 상기 도가니 내의 유기물 양이 기준치보다 많으면 상기 피스톤이 상기 저장소의 입구를 폐쇄함과 동시에 상기 스터러(stirrer)가 구동하는 단계와, (d) 상기 (c)단계에서 상기 저장소의 입구가 개방되면 상기 유기물이 상기 연결관으로 이동하는 단계와, (e) 상기 연결관과 상기 도가니 사이를 개폐하는 도어가 개방됨과 동시에 상기 연결관 내에 구비된 상기 피스톤이 상기 유기물을 상기 도가니로 이동시키는 단계와, (f) 상기 (e)단계와 연동되어 상기 도어가 개방되면 상기 도가니 내에 상기 유기물이 피딩되는 동안 선형증발원의 커버는 폐쇄되는 단계와, (g) 상기 유기물 피딩이 완료되면 상기 도어가 폐쇄됨과 동시에 상기 커버는 개방되고 상기 선형증발원으로 상기 도가니 내에 피딩된 유기물이 증발되는 단계를 포함할 수 있다.In order to achieve the above object, the method for feeding the organic material deposited on the substrate according to the present invention into the crucible includes the steps of (a) storing the organic material in the reservoir, and (b) a sensor mounted on the wall of the linear evaporator Measuring the amount of organic matter filled in the crucible; and (c) a piston that closes the inlet of the reservoir while the stirrer stops when the amount of organic matter in the crucible measured by the sensor is less than the reference value. The piston is closed and the stirrer is driven while the inlet of the reservoir is opened and the amount of organic matter in the crucible measured by the sensor is greater than the reference value. (d) moving the organic material to the connecting pipe when the inlet of the reservoir is opened in step (c); and (e) the connecting pipe and the crucible. The opening and closing of the door between the opening and the piston provided in the connecting pipe to move the organic material to the crucible, and (f) the organic material in the crucible when the door is opened in conjunction with the step (e) During the feeding, the cover of the linear evaporator is closed, and (g) the door is closed and the cover is opened and the organic material fed in the crucible to the linear evaporator is evaporated when the organic material feeding is completed. can do.

본 발명의 상기 (b) 내지 (f)단계에서는, 상기 센서가 측정한 상기 도가니 내의 유기물 양에 따라 스터러(stirrer), 피스톤, 도어가 연동되도록 제어할 수 있다.In the steps (b) to (f) of the present invention, a stirrer, a piston, and a door may be interlocked according to the amount of organic matter in the crucible measured by the sensor.

또한, 상기 (b)단계에서는 상기 센서가 가열된 도가니 내의 유기물이 기화하는 양을 측정하여 상기 도가니에 남아있는 유기물의 양을 역산하는 방법으로 유기물의 양을 측정하는 단계를 더 포함할 수 있다.In addition, the step (b) may further include the step of measuring the amount of the organic material by measuring the amount of the organic matter in the crucible heated by the sensor to reverse the amount of the organic material remaining in the crucible.

아울러, 상기 (e)단계에서 상기 센서로 측정된 상기 도가니 내의 유기물 양이 기준치보다 많으면 상기 도어가 폐쇄됨과 동시에 상기 피스톤이 상기 저장소의 입구를 폐쇄할 수 있다.In addition, when the amount of organic matter in the crucible measured by the sensor in step (e) is greater than the reference value, the door may be closed and the piston may close the inlet of the reservoir.

상술한 바와 같은 본 발명에 의하면, 박막증착공정 중에 진공챔버의 진공상태를 해제하지 않을 뿐 아니라 도가니를 교체하지 않고도 도가니 내에 유기물을 장시간 동안 피딩할 수 있기 때문에 도가니 내에 유기물을 피딩하기 위해 소요되는 시간과 비용을 크게 절감할 수 있는 효과가 있다.As described above, according to the present invention, since the vacuum state of the vacuum chamber is not released during the thin film deposition process, and the organic material can be fed into the crucible for a long time without replacing the crucible, And the cost can be greatly reduced.

또한, 도가니 내에 유기물이 공급되기 전에 유기물이 응집되지 않도록 저어주고, 연결관에 히터가 감겨 있어서 도가니 내에 피딩되어 있는 유기물의 온도와 같도록 만들어 주기 때문에 유기물이 온도에 의한 변형이 일어나지 않고, 도가니에 유기물을 피딩하기 전에 유기물을 증착하기 위한 온도까지 가열하는 별도의 가열작업 없이 도가니에 피딩해 주는 효과가 있다. In addition, the organic material is stirred so that the organic material does not aggregate before the organic material is supplied into the crucible, and the heater is wound around the connection tube so that the temperature is equal to the temperature of the organic material fed into the crucible. Before feeding the organic material, there is an effect of feeding the crucible without a separate heating operation to heat up to a temperature for depositing the organic material.

도 1은 본 발명의 유기물 피딩 장치를 나타내는 단면도이다.
도 2는 본 발명의 유기물 피딩 장치 내에 구비되는 도어의 평면도이다.
도 3은 본 발명의 유기물 피딩 장치 내에 구비되는 도어의 단면도이다.
도 4는 본 발명의 유기물 피딩 방법을 단계별로 나타내는 순서도이다.1 is a cross-sectional view showing an organic material feeding apparatus of the present invention.
2 is a plan view of a door provided in the organic material feeding apparatus of the present invention.
3 is a cross-sectional view of the door provided in the organic material feeding apparatus of the present invention.
Figure 4 is a flow chart showing step by step of the organic material feeding method of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 유기물 피딩 장치 및 방법을 상세히 설명하면 다음과 같다. Hereinafter, the organic material feeding apparatus and method of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 유기물 피딩 장치를 나타내는 단면도이고, 도 2는 본 발명의 유기물 피딩 장치 내에 구비되는 도어의 평면도이고, 도 3은 본 발명의 유기물 피딩 장치 내에 구비되는 도어의 단면도이고, 도 4는 본 발명의 유기물 피딩 방법을 단계별로 나타내는 순서도이다.1 is a cross-sectional view showing an organic material feeding apparatus of the present invention, Figure 2 is a plan view of a door provided in the organic material feeding apparatus of the present invention, Figure 3 is a cross-sectional view of a door provided in the organic material feeding apparatus of the present invention, Figure 4 Is a flow chart showing step by step the organic material feeding method of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 유기물 피딩 장치는 저장소(100), 스터러 구동수단(110), 스터러 구동축(120), 스터러(130), 연결관(200), 피스톤 구동수단(210), 피스톤 구동축(220), 피스톤(230), 도어(240), 도가니(300), 선형증발원(400), 커버(410), 센서(500)를 포함한다.1, the organic material feeding apparatus according to an embodiment of the present invention, the reservoir 100, the stirrer drive means 110, the stirrer drive shaft 120, the stirrer 130, the connecting pipe 200, the piston The driving means 210, the piston drive shaft 220, the piston 230, the door 240, the crucible 300, the linear evaporator 400, the cover 410, and the sensor 500.

상기 저장소(100)는 유기물의 양을 정확하게 제어하기 위해서 상기 저장소의 하부 면적이 상부 면적보다 좁게 형성되며 상기 저장소(100)에는 진공챔버 내에서 박막증착 공정이 이루어지는 동안에도 진공상태를 해제하지 않고 박막증착 공정 중에 필요한 양만큼의 유기물을 상기 도가니(300)에 피딩할 수 있도록 많은 양의 유기물이 저장된다. The reservoir 100 is formed to have a lower area of the reservoir narrower than the upper area in order to accurately control the amount of organic matter, and in the reservoir 100, the thin film is not released while the thin film deposition process is performed in the vacuum chamber. A large amount of organic material is stored to feed the crucible 300 with the required amount of organic material during the deposition process.

본 발명의 실시예에서 상기 저장소(100)에는 저장된 상기 유기물을 저어주는 상기 스터러(130)가 수직으로 구비되는데, 별도의 스터러 구동수단(110)에 의해 구동되는 상기 스터러(130)는 중앙의 스터러 구동축(120)이 회전하면서 상기 저장소(100)에 저장된 유기물이 응집되지 않도록 저어준다. In the embodiment of the present invention, the stirrer 130 that stirs the stored organic material is vertically provided in the reservoir 100, and the stirrer 130 driven by a separate stirrer driving unit 110 is provided. As the central stirrer drive shaft 120 rotates, the organic material stored in the reservoir 100 is stirred so as not to aggregate.

또한, 상기 스터러(130)는 복수의 스터러 윙이 형성되며, 상기 스터러 윙의 각도가 너무 크거나 작으면 상기 스터러 윙에 상기 유기물이 쌓이거나 저어주는 기능이 저하될 수 있기 때문에 복수의 상기 스터러 윙은 끝단의 내각이 150°∼170°의 각을 이루며 날이 형성된다. In addition, the stirrer 130 is formed with a plurality of stirrer wings, because if the angle of the stirrer wing is too large or small, the ability to accumulate or stir the organic material on the stirrer wing may be reduced The stirrer wing of the blade is formed at an angle of 150 ° to 170 ° of the inner end.

아울러, 본 발명의 실시예에서 상기 스터러 윙은 상기 구동축(120)을 중심으로 90°간격으로 4개가 형성되는데, 상기 저장소(100)의 하부가 상부보다 좁게 형성되므로 이에 비례하여 상기 스터러의 윙도 하부로 갈수록 크기가 작게 형성된다. In addition, in the embodiment of the present invention, four stirrer wings are formed at intervals of 90 ° with respect to the drive shaft 120. Since the lower portion of the reservoir 100 is formed narrower than the upper portion of the stirrer The wing is also formed smaller in size toward the bottom.

또한, 상기 저장소(100)의 하단과 연통되어 상기 연결관(200)이 형성되는데, 상기 연결관(200) 내에 수평으로 구비되는 상기 피스톤(230)이 왕복운동을 하고, 상기 피스톤(230)의 두께는 적어도 상기 저장소(100) 입구의 내경보다 크게 형성되어 상기 저장소(100)의 입구를 개폐하여 상기 유기물이 상기 저장소(100)에서 상기 연결관(200)으로 이동하게 된다. In addition, the connection pipe 200 is formed in communication with the lower end of the reservoir 100, the piston 230 provided horizontally in the connection pipe 200 is a reciprocating motion of the piston 230 The thickness is formed at least larger than the inner diameter of the inlet of the reservoir 100 to open and close the inlet of the reservoir 100 so that the organic material moves from the reservoir 100 to the connection pipe 200.

아울러, 상기 연결관(200)은 상기 연결관(200) 내의 상기 유기물 온도가 상기 도가니(300) 내의 유기물 온도와 같아지도록 상기 유기물의 온도를 일정하게 유지시켜 주는 히터열선(도시되지 않음)이 나선형으로 감겨 있는데, 이는 상기 저장소(100)에서 상기 연결관(200)으로 이동해 온 상기 유기물의 온도를 박막증착 공정 중에 증착공정에 필요한 상기 유기물의 온도로 미리 맞춰 주므로 상기 유기물을 증착 온도로 가열하는 별도의 작업을 생략할 수 있도록 한다. In addition, the connector 200 is a spiral heating heater (not shown) that maintains the temperature of the organic material so that the temperature of the organic material in the connector 200 is the same as the temperature of the organic material in the crucible 300 is spiral In this case, since the temperature of the organic material moved from the reservoir 100 to the connection pipe 200 is preset to the temperature of the organic material required for the deposition process during the thin film deposition process, the separate heating of the organic material to the deposition temperature is performed. Allows you to omit the work of.

그리고, 상기 연결관(200)에 이동해 온 상기 유기물은 상기 연결관(200) 내에 구비되는 상기 피스톤(230)에 의해 상기 도가니(300)로 옮겨진다. 상기 피스톤(230)은 상기 연결관(200) 내부에 수평으로 구비되는데, 실린더 구조로 상기 피스톤 구동수단(210)에 의해 상기 피스톤 구동축(220)이 왕복이동을 하며 상기 저장소(100)의 입구를 개폐하고, 상기 연결관(200) 내의 상기 유기물을 이동시켜 상기 도가니(300)로 상기 유기물을 피딩한다.In addition, the organic material moved to the connection pipe 200 is transferred to the crucible 300 by the piston 230 provided in the connection pipe 200. The piston 230 is provided horizontally in the connection pipe 200, the piston drive shaft 220 is reciprocated by the piston drive means 210 in a cylinder structure to the inlet of the reservoir 100 The organic material is fed to the crucible 300 by opening and closing and moving the organic material in the connecting pipe 200.

또한, 상기 연결관(200)의 일측과 연결되어 상기 선형증발원(400)이 형성되는데, 상기 연결관(200)과 상기 선형증발원(400) 사이에는 상기 도어(240)가 구비되어 개폐된다. 이와 같이 형성된 상기 도어(240)를 통해 상기 연결관(200) 내의 상기 피스톤(230)에 의해 이동하는 상기 유기물이 상기 선형증발원(400) 아래에 위치하는 상기 도가니(300)로 피딩된다. In addition, the linear evaporation source 400 is formed by being connected to one side of the connection pipe 200, and the door 240 is provided and opened between the connection pipe 200 and the linear evaporation source 400. The organic material that is moved by the piston 230 in the connection pipe 200 through the door 240 formed as described above is fed to the crucible 300 positioned below the linear evaporation source 400.

아울러, 도 2와 도 3에 도시한 바와 같이 상기 도어(240)는 게이트 밸브로 작동하게 되는데, 상기 게이트 밸브는 얇은 평면 막과 같은 형상으로 형성되는 디스크가 상하로 작동하며 게이트 밸브의 몸체 내에 출입하여 상기 유기물을 차단하거나 이동하도록 개폐한다. In addition, as shown in Figures 2 and 3 the door 240 is to operate as a gate valve, the gate valve is a disk formed in the shape of a thin flat film is operated up and down and enters into the body of the gate valve Opening and closing to block or move the organic matter.

상기 선형증발원(400)에는 상기 도어(240)의 상단과 상기 선형증발원(400) 사이에 개폐가능한 커버(410)가 형성된다. 상기 커버는 상기 연결관(200)에서 상기 도가니(300)로 유기물이 이동할 때에는 상기 커버(410)는 폐쇄되고, 상기 도가니(300) 내에 있는 유기물이 상기 선형증발원(400)으로 기화할 때에는 상기 커버(410)는 개방된다. The linear evaporator 400 has a cover 410 that can be opened and closed between an upper end of the door 240 and the linear evaporator 400. The cover is closed when the organic material is moved from the connecting pipe 200 to the crucible 300, the cover when the organic material in the crucible 300 is vaporized to the linear evaporation source (400) 410 is open.

또한, 상기 선형증발원(400) 일측 벽면에는 상기 도가니(300) 내에 남아 있는 상기 유기물 양을 측정하는 상기 센서(500)가 부착되어 있다. In addition, the sensor 500 that measures the amount of the organic material remaining in the crucible 300 is attached to one wall surface of the linear evaporation source 400.

상기 센서(500)가 센싱하는 방법은 상기 도가니(300)에서 기화하는 상기 유기물 양을 측정하여 상기 도가니(300) 내에 남아있는 상기 유기물의 양을 역산하는 것이다. 이와 같이 상기 센서(500)에서 측정된 상기 도가니 내에 남아 있는 상기 유기물의 실제 양과 상기 도가니(300) 내에 남아 있는 상기 유기물 양의 기준치를 비교하여 상기 도가니(300) 내에 남아 있는 유기물 양이 기준치보다 많거나 적음에 따라 본 발명의 스터러(130), 피스톤(230), 도어(240), 커버(410)는 연동하도록 제어된다.The sensing method of the sensor 500 is to invert the amount of the organic material remaining in the crucible 300 by measuring the amount of the organic material vaporized in the crucible 300. As such, the amount of organic matter remaining in the crucible 300 is greater than the reference value by comparing the actual amount of organic matter remaining in the crucible measured by the sensor 500 with the reference value of the amount of organic matter remaining in the crucible 300. Or less, the stirrer 130, the piston 230, the door 240, the cover 410 of the present invention is controlled to interlock.

상기와 같은 유기물 피딩 장치의 실시예를 통하여 기판에 증착되는 유기물을 도가니 내로 피딩하기 위한 방법으로서, (a) 저장소에 유기물을 저장하는 단계(S110)와, (b) 선형증발원의 벽면에 장착된 센서가 도가니 내 충진된 유기물의 양을 측정하는 단계(S120)와, (c) 상기 센서로 측정된 상기 도가니 내의 유기물 양이 기준치보다 적으면 상기 스터러(stirrer)가 정지함과 동시에 상기 저장소의 입구를 폐쇄하던 피스톤이 뒤로 밀려나며 상기 저장소의 입구가 개방되고, 상기 센서로 측정된 상기 도가니 내의 유기물 양이 기준치보다 많으면 상기 피스톤이 상기 저장소의 입구를 폐쇄함과 동시에 상기 스터러(stirrer)가 구동하는 단계(S130)와, (d) 상기 (c)단계에서 상기 저장소의 입구가 개방되면 상기 유기물이 상기 연결관으로 이동하는 단계(S140)와, (e) 상기 연결관과 상기 도가니 사이를 개폐하는 도어가 개방됨과 동시에 상기 연결관 내에 구비된 상기 피스톤이 상기 유기물을 상기 도가니로 이동시키는 단계(S150)와, (f) 상기 (e)단계와 연동되어 상기 도어가 개방되면 상기 도가니 내에 상기 유기물이 피딩되는 동안 선형증발원의 커버는 폐쇄되는 단계(S160)와, (g) 상기 유기물 피딩이 완료되면 상기 도어가 폐쇄됨과 동시에 상기 커버는 개방되고 상기 선형증발원으로 상기 도가니 내에 피딩된 유기물이 증발되는 단계(S170)를 포함할 수 있다.A method for feeding an organic material deposited on a substrate into a crucible through an embodiment of the organic material feeding apparatus as described above, comprising: (a) storing organic material in a reservoir (S110), and (b) mounted on a wall of a linear evaporation source. The sensor measures the amount of organic matter filled in the crucible (S120), and (c) if the amount of organic matter in the crucible measured by the sensor is less than the reference value the stirrer stops and at the same time When the piston closing the inlet is pushed back and the inlet of the reservoir is opened, and the amount of organic matter in the crucible measured by the sensor is higher than the reference value, the piston closes the inlet of the reservoir and the stirrer Driving (S130), (d) moving the organic material to the connection pipe when the inlet of the reservoir is opened in step (c) (S140), and (e) the connection The door is opened and closed between the tube and the crucible at the same time the piston provided in the connecting pipe to move the organic material to the crucible (S150), and (f) the door in conjunction with the step (e) When opened, the cover of the linear evaporator is closed while the organic material is fed into the crucible (S160), and (g) when the organic material is fed, the door is closed and the cover is opened and the crucible is connected to the linear evaporator. The organic material fed therein may be evaporated (S170).

도 4에 도시한 순서도와 같이, 상기 센서(500)가 측정한 상기 도가니(300) 내의 유기물의 양에 따라 스터러(130), 피스톤(230), 도어(240)가 연동되도록 제어하게 되는데 연동되는 과정(S100)을 상세히 서술하면 다음과 같다. As shown in the flowchart of FIG. 4, the stirrer 130, the piston 230, and the door 240 are controlled to interlock according to the amount of organic matter in the crucible 300 measured by the sensor 500. The process (S100) is described in detail as follows.

본 발명에 따른 S110 단계에서는 상기 저장소(100)에는 박막증착 공정에 사용될 많은 양의 유기물이 저장된다. 이때 상기 스터러(130)가 복수 개의 스터러 윙이 형성되고, 상기 저장소(100) 내부에 수직으로 구비되어 별도의 구동수단에 의해 상기 유기물이 응집되지 않도록 저어주게 되는데, 상기 스터러(130)는 크랭크(crank) 축에 의해 상하운동 및 회전하면서 상기 스터러(130)에 형성되는 복수의 윙이 유기물을 저어준다.In step S110 according to the present invention, the reservoir 100 stores a large amount of organic material to be used in the thin film deposition process. In this case, the stirrer 130 is formed with a plurality of stirrer wings, and is vertically provided in the reservoir 100 to stir the organic material not to aggregate by a separate driving means. The plurality of wings formed on the stirrer 130 stir the organic material while the vertical movement and rotation by the crank (crank) axis.

이러한 동안에 박막증착 공정 중에 가열된 상기 도가니(300) 내에 있는 유기물은 상기 선형증발원(400)으로 기화되면서 상기 도가니(300) 내의 유기물 양이 줄어들게 된다. During this time, the organic material in the crucible 300 heated during the thin film deposition process is vaporized into the linear evaporation source 400, thereby reducing the amount of organic material in the crucible 300.

본 발명에 따른 S120 단계에서는 이때 상기 선형증발원(400)의 일측 벽면에 부착된 상기 센서(500)는 상기 도가니(300)에서 기화하는 유기물의 양을 측정하여 상기 도가니(300) 내에 남아있는 유기물의 양을 역산하는데, 본 발명에 따른 S130 단계에서는 상기 도가니(300) 내에 있는 유기물이 상기 선형증발원(400)으로 기화하면서 상기 도가니(300) 내에 남아 있는 유기물 양이 기준치보다 적어지면 상기 저장소(100)와 연결관(200) 사이를 개폐하는 상기 피스톤(230)이 뒤로 이동하여 상기 저장소(100)의 입구가 개방됨과 동시에 상기 스터러(130)는 상기 유기물을 저어주는 작동을 멈추게 되고, 이로써 본 발명에 따른 S140 단계에서는 상기 유기물이 상기 연결관(200)으로 이동한다. In the step S120 according to the present invention, the sensor 500 attached to one side wall of the linear evaporation source 400 measures the amount of organic matter vaporized in the crucible 300 to maintain the organic matter remaining in the crucible 300. In the step S130 according to the present invention, the organic matter remaining in the crucible 300 is vaporized to the linear evaporation source 400 while the amount of organic matter remaining in the crucible 300 is less than a reference value. And the piston 230 for opening and closing between the connecting pipe 200 and the back opening of the reservoir 100 is opened at the same time the stirrer 130 stops the stirring operation of the organic material, thereby In step S140 according to the organic material is moved to the connection pipe (200).

이와 연동하여 본 발명에 따른 S150 단계에서는 상기 저장소(100)에서 상기 연결관(200)으로 이동된 유기물은 피스톤 구동수단(210)에 의해 상기 피스톤(230)이 직선으로 이동하여 상기 도가니(300)로 이동하게 된다. In conjunction with this, in step S150 according to the present invention, the organic material moved from the reservoir 100 to the connection pipe 200 is moved by the piston 230 to the piston 230 in a straight line to the crucible 300. Will be moved to.

이때 본 발명에 따른 S160 단계에서는 상기 유기물이 상기 도가니(300)로 피딩되는 동안에는 상기 선형증발원(400)과 상기 연결관(200)이 연결된 지점보다 상부에 구비되는 상기 커버(410)는 폐쇄된다. At this time, in step S160 according to the present invention, while the organic material is fed into the crucible 300, the cover 410 provided above the point where the linear evaporator 400 and the connection pipe 200 is connected is closed.

앞에 서술한 과정을 거쳐, 본 발명에 따른 S130 단계에서는 상기 도가니(300)에 상기 유기물이 피딩되어 상기 유기물의 양이 기준치 이상이 되면 상기 피스톤(230)이 상기 저장소(100)의 입구를 폐쇄하면서 상기 스터러(130)는 상기 저장소(100)의 유기물을 저어주기 위해 구동되며, 이와 연동하여 본 발명에 따른 S170 단계에서는 상기 도어(240) 또한 폐쇄되고 상기 선형증발원의 커버(410)가 개방되면서 상기 도가니(300) 내의 유기물은 기화하게 된다.Through the above-described process, in step S130 according to the present invention, when the organic material is fed to the crucible 300 and the amount of the organic material is above the reference value, the piston 230 closes the inlet of the reservoir 100. The stirrer 130 is driven to stir the organic material of the reservoir 100, and in conjunction with this, in step S170 according to the present invention, the door 240 is also closed and the cover 410 of the linear evaporator is opened. The organic material in the crucible 300 is vaporized.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다. While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is clearly understood that the same is by way of illustration and example only and is not to be taken by way of limitation in the embodiment in which said invention is directed. It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and detail may be made therein without departing from the scope of the appended claims.

100 : 저장소 110 : 스터러 구동수단
120 : 스터러 구동축 130 : 스터러
200 : 연결관 210 : 피스톤 구동수단
220 : 피스톤 구동축 230 : 피스톤
240 : 도어 300 : 도가니
400 : 선형증발원 410 : 커버
500 : 센서 100: storage 110: stirrer driving means
120: stirrer drive shaft 130: stirrer
200: connector 210: piston driving means
220: piston drive shaft 230: piston
240: door 300: crucible
400: linear evaporator 410: cover
500 sensor

Claims (15)

유기물이 저장되는 저장소;
상기 저장소에 내에 수직으로 구비되어 상기 저장소에 저장된 유기물이 응집되지 않도록 별도의 구동수단에 의해 회전하며 저어주는 스터러(stirrer);
상기 저장소의 하단과 연통되어 형성되는 연결관;
상기 유기물을 가열해 주는 도가니;
상기 연결관의 일측에 구비되어 상기 연결관과 상기 도가니 사이를 개폐하는 도어;
상기 연결관 내부에 수평으로 구비되어 별도의 구동수단에 의해 앞뒤로 이동하며 상기 연결관 내의 유기물을 이동시켜 상기 도가니로 상기 유기물을 피딩시키는 피스톤; 및
상기 도가니 내의 가열된 유기물이 증발되는 선형증발원;
을 포함하는 유기물 피딩 장치;Storage where organic matter is stored;
A stirrer which is provided vertically in the reservoir and rotates and stirs by a separate driving means so that organic substances stored in the reservoir do not aggregate;
A connecting tube formed in communication with the lower end of the reservoir;
A crucible for heating the organics;
A door provided at one side of the connection pipe to open and close between the connection pipe and the crucible;
A piston provided horizontally inside the connection pipe and moving back and forth by a separate driving means to feed the organic material into the crucible by moving the organic material in the connection pipe; And
A linear evaporation source for evaporating the heated organic material in the crucible;
Organic material feeding apparatus comprising a; 제1항에 있어서,
상기 저장소는 하부가 상부보다 면적이 좁아지는 것을 특징으로 하는 유기물 피딩 장치.The method of claim 1,
And the reservoir has a narrower area than an upper portion thereof. 제1항에 있어서,
상기 스터러(stirrer)는 중앙의 구동축을 중심으로 회전하며, 복수의 스터러(stirrer) 윙이 형성되는 것을 특징으로 하는 유기물 피딩 장치.The method of claim 1,
The stirrer rotates around a central drive shaft, and a plurality of stirrer wings are formed. 제3항에 있어서,
상기 스터러(stirrer) 윙은 하부로 갈수록 크기가 작아지는 것을 특징으로 하는 유기물 피딩 장치.The method of claim 3,
The stirrer wing is an organic material feeding apparatus, characterized in that the size becomes smaller toward the bottom. 제4항에 있어서,
복수의 상기 스터러(stirrer) 윙은 끝단의 내각이 150°∼170°의 각을 이루며 날이 형성되는 것을 특징으로 하는 유기물 피딩 장치.5. The method of claim 4,
The plurality of stirrer wings is an organic material feeding device, characterized in that the blade is formed with an angle of 150 ° to 170 ° of the end of the tip. 제1항에 있어서,
상기 도어는 게이트 밸브로 작동되는 것을 특징으로 하는 유기물 피딩 장치.The method of claim 1,
And the door is operated by a gate valve. 제1항에 있어서,
상기 피스톤은 실린더 구조로 왕복이동을 하고, 상기 피스톤의 두께는 적어도 상기 저장소 입구의 내경보다 크게 형성되어 상기 저장소의 입구를 개폐하는 것을 특징으로 하는 유기물 피딩 장치.The method of claim 1,
The piston is a reciprocating movement in a cylinder structure, the thickness of the piston is formed at least larger than the inner diameter of the reservoir inlet opening and closing the inlet of the reservoir. 제1항에 있어서,
상기 연결관은 상기 연결관 내의 유기물 온도가 상기 도가니 내의 유기물 온도와 같아지도록 상기 유기물의 온도를 일정하게 유지시켜 주는 히터열선이 나선형으로 감겨 있는 것을 특징으로 하는 유기물 피딩 장치.The method of claim 1,
The connector of the organic material feeding apparatus, characterized in that the heating wire is spirally wound to maintain the temperature of the organic material so that the temperature of the organic material in the connection tube is equal to the organic material temperature in the crucible. 제1항에 있어서,
상기 선형증발원은 상기 도어의 상단과 상기 선형증발원 사이에 개폐가능한 커버가 형성되는 것을 특징으로 하는 유기물 피딩 장치.The method of claim 1,
The linear evaporator is an organic material feeding apparatus, characterized in that the cover is formed between the top of the door and the linear evaporator. 제1항에 있어서,
상기 선형증발원은 가열된 상기 도가니 내의 유기물이 기화하는 양을 측정하는 센서가 장착되는 것을 특징으로 하는 유기물 피딩 장치. The method of claim 1,
The linear evaporation source is an organic material feeding apparatus, characterized in that the sensor for measuring the amount of vaporization of the organic matter in the heated crucible is mounted. 제10항에 있어서,
상기 센서는 측정된 유기물의 양에 따라 상기 스터러(stirrer), 상기 도어, 상기 피스톤이 연동되도록 제어하는 것을 특징으로 하는 유기물 피딩 장치.The method of claim 10,
And the sensor controls the stirrer, the door, and the piston to interlock according to the measured amount of organic material. 기판에 증착되는 유기물을 도가니 내로 피딩하기 위한 방법으로서,
(a) 저장소에 유기물을 저장하는 단계;
(b) 선형증발원의 벽면에 장착된 센서가 도가니 내 충진된 유기물의 양을 측정하는 단계;
(c) 상기 센서로 측정된 상기 도가니 내의 유기물 양이 기준치보다 적으면 상기 스터러(stirrer)가 정지함과 동시에 상기 저장소의 입구를 폐쇄하던 피스톤이 뒤로 밀려나며 상기 저장소의 입구가 개방되고, 상기 센서로 측정된 상기 도가니 내의 유기물 양이 기준치보다 많으면 상기 피스톤이 상기 저장소의 입구를 폐쇄함과 동시에 상기 스터러(stirrer)가 구동하는 단계;
(d) 상기 (c)단계에서 상기 저장소의 입구가 개방되면 상기 유기물이 상기 연결관으로 이동하는 단계;
(e) 상기 연결관과 상기 도가니 사이를 개폐하는 도어가 개방됨과 동시에 상기 연결관 내에 구비된 상기 피스톤이 상기 유기물을 상기 도가니로 이동시키는 단계;
(f) 상기 (e)단계와 연동되어 상기 도어가 개방되면 상기 도가니 내에 상기 유기물이 피딩되는 동안 선형증발원의 커버는 폐쇄되는 단계;
(g) 상기 유기물 피딩이 완료되면 상기 도어가 폐쇄됨과 동시에 상기 커버는 개방되고 상기 선형증발원으로 상기 도가니 내에 피딩된 유기물이 증발되는 단계;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기물 피딩 방법.A method for feeding an organic substance deposited on a substrate into a crucible,
(a) storing the organics in the reservoir;
(b) measuring the amount of organic matter filled in the crucible by a sensor mounted on the wall of the linear evaporator;
(c) If the amount of organic matter in the crucible measured by the sensor is less than the reference value, the stirrer stops and the piston closing the inlet of the reservoir is pushed back and the inlet of the reservoir is opened. When the amount of organic matter in the crucible measured by the sensor is greater than the reference value, the stirrer is driven while the piston closes the inlet of the reservoir;
(d) moving the organic material to the connecting pipe when the inlet of the reservoir is opened in step (c);
(e) opening the door for opening and closing between the connecting pipe and the crucible and simultaneously moving the organic material to the crucible by the piston provided in the connecting pipe;
(f) closing the cover of the linear evaporator while the organic material is fed into the crucible when the door is opened in conjunction with the step (e);
(g) when the organic feeding is completed, the door is closed and at the same time the cover is opened and the organic material fed into the crucible is evaporated to the linear evaporation source;
Organic material feeding method comprising a. 제12항에 있어서,
상기 (b) 내지 (f)단계에서는,
상기 센서가 측정한 상기 도가니 내의 유기물 양에 따라 스터러(stirrer), 피스톤, 도어가 연동되도록 제어하는 것을 특징으로 하는 유기물 피딩 방법. The method of claim 12,
In the step (b) to (f),
And a stirrer, a piston, and a door are interlocked according to the amount of organic material in the crucible measured by the sensor. 제12항에 있어서,
상기 (b)단계에서는,
상기 센서가 가열된 도가니 내의 유기물이 기화하는 양을 측정하여 상기 도가니에 남아있는 유기물의 양을 역산하는 방법으로 유기물의 양을 측정하는 단계를 더 포함할 수 있는 것을 특징으로 하는 유기물 피딩 방법.The method of claim 12,
In the step (b),
And measuring the amount of organic material by measuring the amount of organic matter vaporized in the heated crucible by inverting the amount of organic matter remaining in the crucible. 제12항에 있어서,
상기 (e)단계에서,
상기 센서로 측정된 상기 도가니 내의 유기물 양이 기준치보다 많으면 상기 도어가 폐쇄됨과 동시에 상기 피스톤이 상기 저장소의 입구를 폐쇄하는 것을 특징으로 하는 유기물 피딩 방법.The method of claim 12,
In the step (e)
If the amount of organic matter in the crucible measured by the sensor is greater than the reference value, the door is closed and the piston closes the inlet of the reservoir.
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