KR101347721B1 - 콜렉터 제조장치 - Google Patents

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KR101347721B1
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    • C30—CRYSTAL GROWTH
    • C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
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    • C30B25/02—Epitaxial-layer growth
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Abstract

본 발명은, 각 벽부품의 이격거리를 고정함으로써 작업자 1인이 콜렉터를 조립할 수 있고, 작업자가 움직일 필요 없이 여러 각도에서 시야가 확보되게 하며, 상하부판의 홈에 벽부품 돌출부를 용이하게 끼움으로써 돌출부 벤딩시 파손을 줄일 수 있도록 함으로써 작업 능률을 올릴 수 있는 콜렉터 제조장치에 관한 것으로서, 외부벽부품, 내부벽부품 및 중간벽부품을 세워 고정하며, 외부벽부품, 내부벽부품 및 중간벽부품의 이격 거리를 결정하는 벽부품 정렬기구; 및 회전 가능하게 구성되는 원판형의 테이블판이 구비되어서 벽부품 정렬기구가 테이블판의 상부면에 안착되되, 상부판을 외부벽부품, 내부벽부품 및 중간벽부품의 상단에 가압 고정할 수 있도록 토글클램프가 구비된 턴테이블;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

Description

콜렉터 제조장치{Collector manufacturing apparatus}
본 발명은, 각 벽부품의 이격거리를 고정함으로써 작업자 1인이 콜렉터를 조립할 수 있고, 작업자가 움직일 필요 없이 여러 각도에서 시야가 확보되게 하며, 상하부판의 홈에 벽부품 돌출부를 용이하게 끼움으로써 돌출부 벤딩시 파손을 줄일 수 있도록 함으로써 작업 능률을 올릴 수 있는 콜렉터 제조장치에 관한 것이다.
LED(Light Emitting Diode) 제조 공정 중에는 공정별 챔버(Chamber) 형태의 장비가 있으며, 챔버 내부에서는 여러 반응을 이용한 증착 코팅처리가 이루어지는데, 크게 에피박막성장, 칩공정, 패키징 공정 순으로 진행된다.
이때, 에피박막성장 공정은 매우 중요하며, GaN-MOCVD(Metal-organic chemical vapor deposition) 장비에서 이루어지는데, 이 장비의 챔버 내부에 콜렉터(100)(Collector)가 장착되어 있다.
콜렉터(100)는 반응이 끝난 GaN(질화갈륨) 가스를 흡입하여 배출하는 역할을 하는데, 이때 챔버 내부의 온도는 약 1200℃로서 일반 금속으로 콜렉터를 제작하게 되면 고온에 견디지 못하고 형태가 변하거나 산화되어 기능을 발휘하지 못하므로 생산되는 부품에 불량을 초래하게 된다.
따라서, 콜렉터는 고온강도가 우수한 몰리브덴(Mo) 금속판으로 제작 사용하는데, 두께 0.3mm 내외의 판을 몇 개의 부품으로 나누어 홈과 돌출부를 조립하는 방식을 주로 사용한다.
이때, GaN 가스 흡입시 누기가 없도록 하기 위해서 조립하는 몰리브덴 부품의 홈 구멍은 좁고 틈새가 없도록 제작되기 때문에 홈구멍에 돌출부를 끼우는데 많은 노력을 필요로 하였다. 또한, 콜렉터는 단면이 사각 형상을 띠는 링 형상의 덕트로서, 다섯개로 이루어진 콜렉터 부품을 동시에 서로 끼워야 하는데 사각형의 단면이 좁아 손가락이 들어가지 못하므로 홈 구멍에 돌출부 간격을 맞춰 끼우기가 어려운 문제가 있었다.
한국등록특허 KR 10-0966519(등록번호) 2010.06.21
본 발명은, 각 벽부품의 이격거리를 고정함으로써 작업자 1인이 콜렉터를 조립할 수 있고, 작업자가 움직일 필요 없이 여러 각도에서 시야가 확보되게 함으로써 작업 능률을 올릴 수 있는 콜렉터 제조장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한 본 발명은, 상하부판의 홈에 중간벽부품의 중간벽부품 돌출부를 용이하게 끼움으로써 돌출부 벤딩시 파손을 줄일 수 있는 콜렉터 제조장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명은, 상부판과, 상기 상부판의 일측 단부에 수직하게 결합되는 외부벽부품과, 상기 외부벽부품과 동심원상에 배치되도록 상기 상부판의 다른 일측 단부에 수직하게 결합되는 내부벽부품과, 상기 외부벽부품과 상기 내부벽부품의 사이에 상기 외부벽부품 및 상기 내부벽부품과 동심원상에 배치되도록 상기 상부판의 밑면에 결합되는 중간벽부품 및 상기 상부판과 대향되게 상기 외부벽부품, 상기 내부벽부품 및 상기 중간벽부품의 하단부에 결합되는 하부판을 포함하여 구성되는 콜렉터를 제조하기 위한 콜렉터 제조장치에 있어서, 상기 외부벽부품, 상기 내부벽부품 및 상기 중간벽부품을 세워 고정하며, 상기 외부벽부품, 상기 내부벽부품 및 상기 중간벽부품의 이격 거리를 결정하는 벽부품 정렬기구; 및 회전 가능하게 구성되는 원판형의 테이블판이 구비되어서 상기 벽부품 정렬기구가 상기 테이블판의 상부면에 안착되되, 상기 상부판을 상기 외부벽부품, 상기 내부벽부품 및 상기 중간벽부품의 상단에 가압 고정할 수 있도록 토글클램프가 구비된 턴테이블;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명은, 벽부품 정렬기구를 구비하여 각 벽부품의 이격거리를 고정함으로써 작업자 1인이 콜렉터를 조립할 수 있으므로 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
또한 본 발명은, 회전 가능하게 구비되는 턴테이블을 구비하여 작업자가 움직일 필요 없이 여러 각도에서 시야가 확보되게 함으로써 작업 능률을 올릴 수 있는 효과가 있다.
또한 본 발명은, 벽간격조정 캠기구를 구비하여 외부벽부품으로부터 중간벽부품의 이격거리를 조정할 수 있으므로 상하부판의 홈에 중간벽부품의 중간벽부품 돌출부를 용이하게 끼울 수 있고, 돌출부 벤딩시 파손을 줄일 수 있는 효과가 있다.
도 1 은 일반적인 콜렉터의 사시도.
도 2 는 일반적인 콜렉터 부품의 정면도.
도 3 은 본 발명의 실시예에 따른 콜렉터 제조장치의 턴테이블의 평면도.
도 4 는 본 발명의 실시예에 따른 콜렉터 제조장치의 턴테이블의 단면도.
도 5 는 본 발명의 실시예에 따른 콜렉터 제조장치의 벽부품 정렬기구의 사시도.
도 6 은 본 발명의 실시예에 따른 콜렉터 제조장치의 벽간격조정 캠기구의 사시도.
이하에서, 본 발명의 실시예에 따른 콜렉터 제조장치를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1 은 일반적인 콜렉터의 사시도이고, 도 2 는 일반적인 콜렉터 부품의 정면도이고, 도 3 은 본 발명의 실시예에 따른 콜렉터 제조장치의 턴테이블의 평면도이고, 도 4 는 본 발명의 실시예에 따른 콜렉터 제조장치의 턴테이블의 단면도이고, 도 5 는 본 발명의 실시예에 따른 콜렉터 제조장치의 벽부품 정렬기구의 사시도이고, 도 6 은 본 발명의 실시예에 따른 콜렉터 제조장치의 벽간격조정 캠기구의 사시도이다.
도 1 내지 도 6 을 참조하면, 본 발명의 콜렉터 제조장치는 콜렉터(100) 부품을 올려놓고 회전시키며 콜렉터(100) 상부판(101)을 가압하여 콜렉터(100) 부품을 고정시키는 턴테이블(200)과, 콜렉터(100) 외부벽부품(110), 중간벽부품(120) 및 내부벽부품(130)을 세워 고정하는 벽부품 정렬기구(400)와, 외부벽부품(110) 및 중간벽부품(120) 사이의 간격을 조정하는 벽간격조정 캠기구(300)를 포함하여 구성된다.
본 발명의 콜렉터 제조장치의 설명에 앞서, 일반적인 콜렉터(100)의 구조와 콜렉터(100)의 결합방법에 대하여 설명하도록 한다.
도 1 및 도 2 에는 일반적인 콜렉터(100)의 구조가 도시되어 있다. 콜렉터(100)는 단면의 형상이 사각 중공형으로 형성된 링 형상의 덕트(Duct)로서, 내부의 반응된 가스를 흡입하여 외부로 배출하는 역할을 한다.
이를 위하여 콜렉터(100)는 상부판(101)과, 상부판(101)의 일측 단부에 수직하게 결합되는 외부벽부품(110)과, 외부벽부품(110)과 동심원상에 배치되도록 상부판(101)의 다른 일측 단부에 수직하게 결합되는 내부벽부품(130)과, 외부벽부품(110)과 내부벽부품(130)의 사이에 위 두 벽부품(110, 130)과 동심원상에 배치되도록 상부판(101)의 밑면에 결합되는 중간벽부품(120) 및 상부판(101)과 대향되게 위 세 벽부품(110, 120, 130)의 하단부에 결합되는 하부판(140)을 포함하여 구성된다. 따라서, 상부판(101), 외부벽부품(110), 내부벽부품(130) 및 하부판(140)으로 둘러쌓인 중공부가 형성되며, 외부벽부품(110)과 내부벽부품(130)의 사이에 중간벽부품(120)이 개재(介在)됨으로써 원주상에 2겹으로 중공부가 형성된다.
이때, 콜렉터(100)의 조립은 작은 부품으로 형성된 상부판(101), 하부판(140) 및 세 벽부품(110, 120, 130)을 점차 조립하여 반원형의 콜렉터(100) 조립체를 완성한 후, 두개의 반원형의 콜렉터(100) 조립체를 서로 결합하여 원형의 콜렉터(100) 조립체를 완성하게 된다.
이러한 콜렉터(100)의 내부벽부품(130) 및 중간벽부품(120)에는 내부벽 가스흡입구(133) 및 중간벽 가스흡입구(123)가 형성되어 내측의 반응된 가스를 내부벽 가스흡입구(133)로 빨아들이고, 내부벽 가스흡입구(133)로 흡입된 가스는 다시 중간벽 가스흡입구(123)로 흡입되어 상부판(101)과 하부판(140)에 형성된 사각통기관(102)을 지나 외부로 배출되게 된다.
한편, 상술한 콜렉터(100)를 조립하기 위해서는, 외부벽부품(110), 내부벽부품(130) 및 중간벽부품(120)의 상단부 및 하단부에 돌출 형성된 외부벽부품 돌출부(112), 내부벽부품 돌출부(132) 및 중간벽부품 돌출부(122)를 상부판(101) 및 하부판(140)에 형성된 상부판 홈 및 하부판 홈에 끼운 후 각 홈을 관통하여 외측으로 초과된 각 돌출부(112, 122, 132) 부위를 토치램프 등으로 가열한 후 블록(Block: 미도시)으로 가압하여 구부림으로서 견고한 결합이 되게 한다.
이렇게 콜렉터(100)를 조립하기 위해서는, 총 5개의 부품을 각 위치에 정위치시킨 후 벤딩(Bending)하여 고정하는 작업이 이루어져야 하는데, 이를 혼자서 처리하기가 어려워 2인 1조로 작업을 진행하였으나, 작업자 상호간 호흡이 맞지 않을 경우 제품 생산력이 떨어지고, 제품 불량률이 상승하는 문제가 있었다.
따라서, 하기에서는 이러한 콜렉터(100)를 용이하게 고정하여 결합할 수 있는 콜렉터 제조장치에 대하여 설명하기로 한다.
도 3 및 도 4 에는 콜렉터(100) 부품을 올려놓고 회전시키며 작업하는 작업대인 턴테이블(200)의 평면도와 단면도가 도시되어 있다.
턴테이블(200)은 원판형으로 형성되어 중심축(204)을 따라 회전하며 원주상에 콜렉터(100) 부품을 고정하기 위한 토글클램프(202)가 복수개 형성된 테이블판(201)과, 테이블판(201)의 하부에 결합되어 테이블판(201)과 함께 회전하며 테이블판(201)의 회전 중심을 결정하는 중심축(204)과, 중심축(204)이 삽입되어 회전할 수 있도록 구비되는 가이드부시(205)와, 중심축 기둥(206)을 하부의 베이스프레임(207)으로부터 지지하는 중심축 기둥(206)을 포함하여 구성된다.
이때, 테이블판(201)의 외측 하부면에는 중심축(204)과 동심원을 이루도록 결합된 원형 띠 형상의 레일(209)이 더 포함되어 구성되며, 레일(209)의 하부에는 복수의 롤러(208) 및 롤러(208)를 베이스프레임(207)으로부터 지지하는 복수의 롤러 기둥(203)이 구비되어서, 레일(209)이 롤러(208)를 따라 이동함으로써 테이블판(201)이 더욱 안정적으로 회전할 수 있도록 할 수 있다.
이러한 턴테이블(200)은, 콜렉터(100)의 구성 부품인 외부벽부품(110), 내부벽부품(130) 및 중간벽부품(120)의 각 돌출부(112, 122, 132)가 상부판의 홈구멍에 끼워졌을 때, 돌출부가 상부판의 홈구멍을 이탈하지 않도록 상부판(101)을 토글클램프(202)를 이용하여 상측으로부터 가압함으로써 벤딩 작업이 용이하게 이루어지도록 하는 역할을 한다.
또한, 턴테이블(200)은 회전가능하게 구성되므로, 작업시 작업자가 움직일 필요가 없고 여러 각도에서 시야가 확보되게 함으로써 작업 능률을 올릴 수 있게 된다.
그러나, 이와 같은 콜렉터(100) 부품 조립을 위해서는 외부벽부품(110), 내부벽부품(130) 및 중간벽부품(120)을 정해진 간격으로 수직하게 세워놓고 작업해야 하는데, 이를 위하여 본 발명에서는 테이블판(201)의 상부면에 안착되어 각 벽부품(110, 120, 130)을 고정할 수 있도록 벽부품 정렬기구(400)를 제시한다.
도 5 에는 콜렉터(100)의 외부벽부품(110), 중간벽부품(120) 및 내부벽부품(130)을 수직하게 세워 고정시키는 벽부품 정렬기구(400)의 사시도가 도시되어 있다.
벽부품 정렬기구(400)는 각 벽부품의 이격 거리가 결정되도록 정해진 크기로 형성된 복수의 벽정렬블록(403)과, 벽정렬블록(403)의 사이에 각 벽부품(110, 120, 130)이 삽입됐을 때 이를 외측 방향 또는 내측 방향에서 가압하여 고정시키는 벽부품 클램프(401)를 포함하여 구성된다.
이때 벽부품 클램프(401)는 사각틀의 일면이 개구된 'ㄷ'자형상을 띠며, 개구부가 상부로부터 하부로 삽입되어 양 측면의 내부에 벽정렬블록(403) 및 각 벽부품(110, 120, 130)이 개재되도록 하며, 벽부품 클램프(401)의 일측에는 클램프볼트(402)가 더 구비되어서 벽부품 클램프(401) 내측의 벽정렬블록(403) 및 각 벽부품(110, 120, 130)이 벽부품 클램프(401)에 가압 고정될 수 있도록 한다.
한편, 벽부품 클램프(401)는 그 높이를 충분히 하여서 벽부품 클램프(401)가 벽정렬블록(403)을 감싸도록 삽입된 후에도 벽정렬블록(403) 및 각 벽부품(110, 120, 130)의 상부에 충분한 공간이 형성되도록 함으로써, 콜렉터(100)의 상부판(101)이 자유롭게 이동되어 작업성이 향상될 수 있도록 한다.
벽부품 정렬기구(400)를 사용하여 상부판(101)의 상부판 홈에 각 벽부품의 돌출부(112, 122, 132)를 끼우면서 클램프볼트(402)를 풀어 점차적으로 회전 이동시키면서 콜렉터(100)를 조립해나가는데, 이때 콜렉터(100)의 사각 중공부 내측으로 손이 들어갈 수 없는 상태에서 미세하게 각 벽부품의 돌출부(112, 122, 132)와 상부판 홈의 위치가 일치하지 않는 경우가 있다. 이 경우, 외부벽부품(110) 또는 내부벽부품(130)은 작업자의 손이 직접적으로 작용할 수 있으므로 이를 용이하게 해결할 수 있는데, 중간벽부품(120)은 작업자의 손이 미치지 못해 미세한 조정을 하기가 용이하지 않을 수 있다. 따라서, 본 발명에서는 이를 위하여 벽간격조정 캠기구(300)를 제시한다.
도 6 에는 외부벽부품(110)으로부터 중간벽부품(120)의 간격을 조정하는 벽간격조정 캠기구(300)의 사시도가 도시되어 있다.
벽간격조정 캠기구(300)는, 판형의 베이스 브라켓(301)과, 베이스 브라켓(301)의 상부에 쌍으로 결합되는 캠 회전축(303)과, 각 캠 회전축(303)에 회전 가능하게 결합되는 두 타원캠(302)과, 베이스 브라켓(301)의 일측에 구비되는 캠기구 너트(305) 및 두 타원캠(302) 사이에 두 타원캠(302)과 밀착되게 삽입되어 두 타원캠(302)을 회전시킬 수 있도록 캠기구 너트(305)에 결합되는 캠기구 볼트(304)를 포함하여 구성된다.
이러한 벽간격조정 캠기구(300)는 외부벽부품(110)과 중간벽부품(120) 사이의 이격거리를 조정하기위하여 외부벽부품(110)과 중간벽부품(120)의 사이에 삽입된다. 벽간격조정 캠기구(300)를 두 벽부품(110, 120) 사이에 삽입한 후 캠기구 볼트(304)를 회전시키면 두개의 타원캠(302)이 캠기구 볼트(304)에 의해 회전되면서 타원캠(302) 양 끝단의 거리가 가변되어서, 외부벽부품(110)으로부터의 중간벽부품(120)의 이격 거리가 조절됨으로써 중간벽부품(120)의 중간벽부품 돌출부(122)를 상부판(101)의 홈에 맞추어 끼울 수 있게 된다.
상술한 과정에 의해 각 벽부품(110, 120, 130)의 각 돌출부(112, 122, 132)가 상부판(101)의 홈에 삽입되면 턴테이블(200)의 토글클램프(202)를 조절하여 상부판(101)을 가압함으로써 각 벽부품(110, 120, 130)이 상부판(101)에 고정된 채로 이탈되지 않도록 유지시킨 후, 별도의 토치램프를 이용하여 상부판(101)의 상부로 초과 돌출된 각 벽부품의 돌출부(112, 122, 132)를 순간 가열시켜 블록으로 눌러 구부려줌으로써 돌출부의 파손 없이 벤딩작업이 이루어질 수 있게 된다.
이러한 방법으로 순차적으로 벽부품 정렬기구(400) 및 벽간격조정 캠기구(300)를 이동시키면서 반복작업을 수행하면 반원 형상의 콜렉터(100) 조립체가 완성되며, 반원형상 콜렉터(100) 조립체 두개를 결합하여 하나의 완성된 원형 콜렉터(100)를 완성시킬 수 있게 된다.
100 : 콜렉터 101 : 상부판
102 : 사각통기관 110 : 외부벽부품
120 : 중간벽부품 130 : 내부벽부품
140 : 하부판 200 : 턴테이블
202 : 토글클램프 300 : 벽간격조정 캠기구
400 : 벽부품 정렬기구 401 : 벽부품 클램프
403 : 벽정렬블록

Claims (5)

  1. 상부판과, 상기 상부판의 일측 단부에 수직하게 결합되는 외부벽부품과, 상기 외부벽부품과 동심원상에 배치되도록 상기 상부판의 다른 일측 단부에 수직하게 결합되는 내부벽부품과, 상기 외부벽부품과 상기 내부벽부품의 사이에 상기 외부벽부품 및 상기 내부벽부품과 동심원상에 배치되도록 상기 상부판의 밑면에 결합되는 중간벽부품 및 상기 상부판과 대향되게 상기 외부벽부품, 상기 내부벽부품 및 상기 중간벽부품의 하단부에 결합되는 하부판을 포함하여 구성되는 콜렉터를 제조하기 위한 콜렉터 제조장치에 있어서,
    상기 외부벽부품, 상기 내부벽부품 및 상기 중간벽부품을 세워 고정하며, 상기 외부벽부품, 상기 내부벽부품 및 상기 중간벽부품의 이격 거리를 결정하는 벽부품 정렬기구; 및
    회전 가능하게 구성되는 원판형의 테이블판이 구비되어서 상기 벽부품 정렬기구가 상기 테이블판의 상부면에 안착되되, 상기 상부판은 홈구멍이 형성되고, 상기 외부벽부품, 상기 내부벽부품 및 상기 중간벽부품의 상단부에는 각각 돌출부가 형성되어서, 상기 홈구멍에 상기 돌출부가 끼워졌을 때 상기 돌출부가 상기 홈구멍을 이탈하지 않도록 상기 상부판을 상측으로부터 가압하는 토글 클램프가 구비된 턴테이블;
    을 포함하여 구성되되,
    상기 벽부품 정렬기구는, 상기 외부벽부품, 상기 내부벽부품 및 상기 중간벽부품의 이격 거리가 결정되도록 정해진 크기로 형성된 복수의 벽정렬블록과, 상기 벽정렬블록의 사이에 상기 외부벽부품, 상기 내부벽부품 및 상기 중간벽부품이 삽입된 후 이를 외측 방향 또는 내측 방향에서 가압하여 고정시키는 벽부품 클램프를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 콜렉터 제조장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 벽부품 클램프는, 사각틀의 일면이 개구된 'ㄷ'자 형상을 띠며, 내측에 삽입된 상기 벽정렬블록을 가압 고정할 수 있도록 일측에 클램프볼트가 더 구비된 것을 특징으로 하는 콜렉터 제조장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    판형의 베이스 브라켓과, 상기 베이스 브라켓의 상부에 쌍으로 결합되는 캠 회전축과, 상기 캠 회전축에 회전 가능하게 각각 결합되는 타원캠 및 상기 두 타원캠 사이에 상기 두 타원캠과 밀착되게 삽입되어 상기 두 타원캠을 회전시킬 수 있도록 구비된 캠기구 볼트를 포함하여 구성되어서, 상기 외부벽부품 및 상기 중간벽부품의 사이에 삽입되어 상기 외부벽부품과 상기 중간벽부품의 이격 거리를 조절하는 벽간격조정 캠기구를 더 포함하여서 구성되는 것을 특징으로 하는 콜렉터 제조장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 턴테이블은, 상기 테이블판의 하부에 결합되어 상기 테이블판과 함께 회전하며 상기 테이블판의 회전 중심을 결정하는 중심축과, 상기 테이블판의 외측 하부면에 상기 중심축과 동심원을 이루도록 결합되는 레일 및 상기 레일이 이동될 수 있도록 상기 레일의 하부에 구비되는 롤러를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 콜렉터 제조장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH0714782A (ja) * 1993-06-25 1995-01-17 Nec Corp 半導体製造装置
JPH07106255A (ja) * 1993-07-08 1995-04-21 Tokyo Electron Ltd 縦型熱処理装置
KR100229704B1 (ko) 1994-07-15 1999-11-15 조셉 제이. 스위니 균일한 기체흐름 패턴을 위한 배출배플

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0714782A (ja) * 1993-06-25 1995-01-17 Nec Corp 半導体製造装置
JPH07106255A (ja) * 1993-07-08 1995-04-21 Tokyo Electron Ltd 縦型熱処理装置
KR100229704B1 (ko) 1994-07-15 1999-11-15 조셉 제이. 스위니 균일한 기체흐름 패턴을 위한 배출배플

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