KR101344176B1 - Copper foil for printed circuit board and copper-clad laminate for printed circuit board - Google Patents

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제이엑스 닛코 닛세키 킨조쿠 가부시키가이샤
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Abstract

동박의 표면에, 니켈, 아연 및 구리를 함유하는 층 (이하, 「구리니켈아연층」이라고 한다) 을 구비하는 인쇄 회로 기판용 동박으로서, 상기 구리니켈아연층의 단위 면적당의 아연 부착 중량이 200 ㎍/dm2 이상, 2000 ㎍/dm2 이하이고, 상기 구리니켈아연층 중, Ni 가 1 ∼ 50 중량%, (아연 부착량 (질량%))/{100-(구리 부착량 (질량%))} 가 0.3 이상, (구리 부착량 (질량%))/{100-(아연 부착량 (질량%))} 가 0.3 이상인 것을 특징으로 하는 인쇄 회로 기판용 동박.
수지 기재에 동박을 적층하고, 황산-과산화수소계 에칭액을 사용하여 회로를 소프트 에칭하는 경우에 있어서, 회로 침식 현상을 효과적으로 방지할 수 있는 동박의 표면 처리 기술을 확립하는 것을 과제로 한다.
Copper foil for printed circuit boards provided with the layer (henceforth a "copper nickel zinc layer") containing nickel, zinc, and copper on the surface of copper foil, The weight of zinc adhesion per unit area of the said copper nickel zinc layer is 200 It is 1 microgram / dm <2> or more and 2000 microgram / dm <2> or less, Ni is 1-50 weight% in the said copper nickel zinc layer, (zinc adhesion amount (mass%)) / {100- (copper adhesion amount (mass%))} Is 0.3 or more and (copper adhesion amount (mass%)) / {100- (zinc adhesion amount (mass%))} is 0.3 or more, The copper foil for printed circuit boards characterized by the above-mentioned.
When laminating | stacking copper foil on a resin base material and soft-etching a circuit using a sulfuric acid-hydrogen peroxide type etching liquid, it is a subject to establish the surface treatment technology of copper foil which can prevent a circuit erosion phenomenon effectively.

Description

인쇄 회로 기판용 동박 및 인쇄 회로 기판용 동장 적층판 {COPPER FOIL FOR PRINTED CIRCUIT BOARD AND COPPER-CLAD LAMINATE FOR PRINTED CIRCUIT BOARD}Copper foil for printed circuit boards and copper clad laminates for printed circuit boards {COPPER FOIL FOR PRINTED CIRCUIT BOARD AND COPPER-CLAD LAMINATE FOR PRINTED CIRCUIT BOARD}

본 발명은, 내열성 및 내약품성이 우수한 인쇄 회로 기판용 동박 (銅箔) 및 인쇄 회로 기판용 동장 (銅張) 적층판, 특히 동박의 적어도 수지와의 접착면에 니켈, 아연 및 구리를 함유하는 층 (이하, 「구리니켈아연층」이라고 한다), 동 층 위에 크로메이트 피막층, 그리고 필요에 따라서 실란 커플링제층을 갖고 있는 인쇄 회로 기판용 동박 및 그 동박을 사용하여 제조한 인쇄 회로 기판용 동장 적층판에 관한 것이다.This invention is the layer which contains nickel, zinc, and copper in the adhesive surface with at least resin of the copper foil for printed circuit boards and the copper clad laminated board for printed circuit boards, especially copper foil excellent in heat resistance and chemical-resistance. (Hereinafter referred to as "copper nickel zinc layer"), a copper foil for printed circuit boards having a chromate coating layer and a silane coupling agent layer on the copper layer, and a copper clad laminate for printed circuit boards manufactured using the copper foil. It is about.

인쇄 회로 기판의 1 종인 반도체 패키지 기판은, 반도체 IC 칩이나 그 밖의 반도체 소자를 실장하기 위해서 사용되는 인쇄 회로 기판이다. 반도체 패키지 기판에 형성되는 회로는 통상적인 인쇄 회로 기판보다 미세하기 때문에, 기판 재료에는 일반적인 인쇄 회로 기판과는 상이한 수지 기재가 사용된다.The semiconductor package substrate which is one type of a printed circuit board is a printed circuit board used for mounting a semiconductor IC chip and other semiconductor elements. Since the circuit formed on the semiconductor package substrate is finer than a conventional printed circuit board, a resin substrate different from a general printed circuit board is used for the substrate material.

반도체 패키지 기판은, 통상적으로 다음과 같은 공정에 의해 제조된다. 먼저, 합성 수지 등의 기재에 동박을 고온 고압하에서 적층 접착한다. 이것을 동장 적층판 혹은 단순히 적층판이라고 부른다. 다음으로, 적층판 상에 목적으로 하는 도전성의 회로를 형성하기 위해서, 동박 상에 내에칭성 수지 등의 재료에 의해 회로와 동등한 패턴을 인쇄한다. 그리고, 노출되어 있는 동박의 불필요부를 에칭 처리에 의해 제거한다.The semiconductor package substrate is usually manufactured by the following process. First, a copper foil is laminated and adhered to a base material such as a synthetic resin under high temperature and high pressure. This is called a copper clad laminate or simply a laminate. Next, in order to form the target electroconductive circuit on a laminated board, the pattern equivalent to a circuit is printed by materials, such as a etch-resistant resin, on copper foil. And the unnecessary part of the exposed copper foil is removed by an etching process.

에칭 후, 인쇄부를 제거하고, 기판 상에 도전성의 회로를 형성한다. 형성된 도전성의 회로에는 최종적으로 소정의 소자를 납땜하여, 일렉트로닉스 디바이스용의 각종 인쇄 회로 기판을 형성한다. 최종적으로는 레지스트 또는 빌드 업 수지 기판과 접합한다.After the etching, the printed portion is removed to form a conductive circuit on the substrate. Finally, predetermined elements are soldered to the formed conductive circuits to form various printed circuit boards for electronic devices. Finally, it joins with a resist or a buildup resin substrate.

일반적으로 인쇄 회로 기판용 동박에 대한 품질 요구는, 수지 기재와 접착되는 접착면 (이른바, 조화면 (粗化面)) 과 비접착면 (이른바 광택면) 에서 상이하며, 양자를 동시에 만족시키는 것이 필요하다.In general, the quality requirements for copper foil for printed circuit boards are different on the adhesive surface (so-called rough surface) and the non-bonded surface (so-called glossy surface) to be bonded to the resin substrate, and satisfying both at the same time. need.

광택면에 대한 요구로는, (1) 외관이 양호한 것 및 보존시에 있어서의 산화 변색이 없는 것, (2) 땜납 젖음성이 양호한 것, (3) 고온 가열시에 산화 변색이 없는 것, (4) 레지스트와의 밀착성이 양호한 것 등이 요구된다.As a request for a gloss surface, (1) the appearance is good and there is no oxidation discoloration at the time of storage, (2) the solder wettability is good, (3) the oxidation discoloration at the time of high temperature heating, ( 4) Good adhesion with a resist is required.

한편, 조화면에 대해서는 주로, (1) 보존시에 있어서의 산화 변색이 없는 것, (2) 기재와의 박리 강도가 고온 가열, 습식 처리, 납땜, 약품 처리 등의 후에도 충분한 것, (3) 기재와의 적층, 에칭 후에 발생한 이른바 적층 오점이 없는 것 등을 들 수 있다.On the other hand, the roughened surface is mainly (1) no oxidation discoloration at the time of storage, (2) peel strength with the substrate is sufficient even after high temperature heating, wet treatment, soldering, chemical treatment, etc., (3) Lamination | stacking with a base material, what is called a lamination | smal flaw which generate | occur | produced after etching, etc. are mentioned.

또한, 최근 회로 인쇄 패턴의 미세화에 따라서, 동박 표면의 저조도화가 요구되고 있다.In addition, in recent years, with the miniaturization of circuit printed patterns, the roughness of the copper foil surface is required.

또한, 퍼스널 컴퓨터나 이동체 통신 등의 전자 기기에서는 통신의 고속화, 대용량화에 수반하여 전기 신호의 고주파화가 진행되어 있어, 이것에 대응할 수 있는 인쇄 회로 기판 및 동박이 요구되고 있다. 전기 신호의 주파수가 1 GHz 이상이 되면, 전류가 도체의 표면에만 흐르는 표피 효과의 영향이 현저해져, 표면의 요철에 의해 전류 전송 경로가 변화되어 임피던스가 증대되는 영향을 무시할 수 없게 된다. 이 점에서도 동박의 표면 조도가 작을 것이 요망된다. In addition, in electronic devices such as personal computers and mobile communication, high frequency of electric signals is progressing with high speed and high capacity of communication, and a printed circuit board and copper foil that can cope with this are required. When the frequency of the electrical signal is 1 GHz or more, the effect of the skin effect that the current flows only on the surface of the conductor becomes remarkable, and the effect of changing the current transmission path due to the surface irregularities and increasing the impedance cannot be ignored. Also from this point, it is desired that the surface roughness of the copper foil is small.

이러한 요구에 부응하기 위해, 인쇄 회로 기판용 동박에 대해 많은 표면 처리 방법이 제창되어 왔다. In order to meet these demands, many surface treatment methods have been proposed for copper foil for printed circuit boards.

표면 처리 방법은 압연 동박과 전해 동박에서 상이한데, 전해 동박의 표면 처리 방법의 일례를 나타내면, 이하에 기재하는 방법이 있다. Although a surface treatment method differs between a rolled copper foil and an electrolytic copper foil, when an example of the surface treatment method of an electrolytic copper foil is shown, there exists a method described below.

즉, 먼저 구리와 수지 기재와의 접착력 (필 강도) 을 높이기 위해, 일반적으로는 구리 및 산화구리로 이루어지는 미립자를 동박 표면에 부여한 후 (조화 처리), 내열 특성을 갖게 하기 위해 황동 또는 아연 등의 내열층 (장벽층) 을 형성한다.That is, first, in order to increase the adhesive force (peel strength) of copper and a resin base material, generally, the fine particle which consists of copper and copper oxide is given to the copper foil surface (harmonic treatment), and in order to have heat-resistant characteristics, such as brass or zinc, A heat resistant layer (barrier layer) is formed.

그리고, 마지막에 운반 중 또는 보관 중의 표면 산화 등을 방지하기 위해서, 침지 또는 전해에 의한 크로메이트 처리 혹은 전해 아연 크로메이트 처리 등을 녹 방지 처리를 실시함으로써 제품으로 한다.Finally, in order to prevent surface oxidation during transportation or storage, etc., the product is subjected to rust prevention treatment by immersion or electrolytic chromate treatment or electrolytic zinc chromate treatment.

이 중에서, 특히 내열층을 형성하는 표면 처리 방법은 동박의 표면 성상을 결정하는 것으로서, 중요한 열쇠를 쥐고 있다. 이로 인해, 내열층을 형성하는 금속 또는 합금으로서, Zn, Cu-Ni 합금, Cu-Co 합금 및 Cu-Zn 합금 등의 피복층을 형성한 다수의 동박이 실용화되어 있다 (예를 들어, 특허문헌 1 참조).Among these, the surface treatment method which forms especially a heat resistant layer determines the surface property of copper foil, and has an important key. For this reason, many copper foils which provided coating layers, such as Zn, Cu-Ni alloy, Cu-Co alloy, and Cu-Zn alloy, as a metal or alloy which forms a heat resistant layer are put to practical use (for example, patent document 1 Reference).

이들 중에서, Cu-Zn 합금 (황동) 으로 이루어지는 내열층을 형성한 동박은, 에폭시 수지 등으로 이루어지는 인쇄 회로 기판에 사용한 경우에 수지층의 얼룩이 없다는 점, 또 인쇄 회로 기판을 고온에서 유지한 후의 동박의 필 강도의 열화가 적다는 등의 우수한 특성을 가지고 있기 때문에, 공업적으로 널리 사용되고 있다. 이 황동으로 이루어지는 내열층을 형성하는 방법에 대해서는, 특허문헌 2 에 상세히 서술되어 있다.Among these, the copper foil in which the heat resistant layer which consists of Cu-Zn alloys (brass) was formed does not have the stain of a resin layer when it uses for the printed circuit board which consists of epoxy resins, etc., and copper foil after maintaining a printed circuit board at high temperature It has been widely used industrially because it has excellent characteristics such as less deterioration in peel strength. The method of forming the heat resistant layer which consists of this brass is explained in patent document 2 in detail.

그러나 최근, 인쇄 회로 기판 특히 패키지 기판의 제조 공정 중에서, 레지스트 또는 빌드 업 수지 기판과 회로면인 동박의 광택면과의 밀착성을 향상시키기 위해, 황산과 과산화수소의 혼합액에 의해 소프트 에칭을 실시하여 동박 광택면을 조면화하는 처리가 사용되게 되어서, 특허문헌 1 등에 기재되어 있는 공지된 내열층을 형성한 동박을 사용한 인쇄 회로 기판의 동박 회로 광택면을 상기 황산과 과산화수소의 혼합액에 의해 소프트 에칭을 실시하면, 먼저 형성한 회로 패턴 양측 단부 (에지부) 의 침식 (회로 침식) 현상이 일어나, 수지 기재와의 박리 강도가 열화된다는 문제가 있다.However, in recent years, in order to improve the adhesiveness of the resist or build-up resin substrate and the gloss surface of copper foil which is a circuit surface, in the manufacturing process of a printed circuit board, especially a package board | substrate, soft etching is performed by the liquid mixture of sulfuric acid and hydrogen peroxide, and copper foil glossiness. When the surface roughening process is used, soft etching of the copper foil circuit gloss surface of the printed circuit board using the copper foil which provided the well-known heat-resistant layer described in patent document 1 etc. with the liquid mixture of the said sulfuric acid and hydrogen peroxide is carried out. There exists a problem that the erosion (circuit erosion) phenomenon of the circuit pattern both sides edge part formed previously arises, and the peeling strength with a resin base material deteriorates.

이 회로 침식 현상이란, 동박 회로와 수지 기재와의 접착 경계층이 상기 황산과 과산화수소의 혼합액에 의해 침식되고, 이것에 의해 그 부분의 동박의 필 강도가 현저히 열화되는 현상을 말한다. 그리고, 이 현상이 회로 패턴 전체면에 발생하면, 회로 패턴이 기재로부터 박리되게 되어 중대한 문제가 된다.This circuit erosion phenomenon refers to a phenomenon in which the adhesive boundary layer between the copper foil circuit and the resin substrate is eroded by the mixed solution of sulfuric acid and hydrogen peroxide, whereby the peel strength of the copper foil in the portion is significantly degraded. When this phenomenon occurs on the entire circuit pattern surface, the circuit pattern is peeled off from the base material, which is a serious problem.

그래서, 회로 침식 현상의 방지에 우수한 표면 처리층으로서, 황동에 니켈을 첨가한 니켈-아연-구리층이 유효하다는 것이 일반적으로 알려져 있다. 그러나, 니켈의 첨가에 의해 회로 침식 현상을 방지할 수 있지만, 니켈의 첨가의 양에 따라서는 내열성 (내열 필 강도) 의 저하나 회로 형성시의 풀 잔류물의 발생 등, Cu-Zn 합금 (황동) 으로 이루어지는 표면층보다 떨어지는 경우가 있는 것을 발명자들이 알아내었다.Therefore, it is generally known that a nickel-zinc-copper layer in which nickel is added to brass is effective as a surface treatment layer excellent in preventing circuit erosion. However, although the circuit erosion phenomenon can be prevented by the addition of nickel, the Cu-Zn alloy (brass) may be reduced depending on the amount of nickel added, such as a decrease in heat resistance (heat peel strength) or generation of pool residues during circuit formation. The inventors found out that the surface layer may be lower than the surface layer formed of the same.

일본 특허공보 소51-35711호Japanese Patent Publication No. 51-35711 일본 특허공보 소54-6701호Japanese Patent Publication No. 54-6701

본 발명의 과제는, Cu-Zn 합금 (황동) 으로 이루어지는 표면층의 여러 가지 특성 (동박과 수지 기재를 적층하여 제조한 인쇄 회로 기판의 동박의 상태 (常態) 필 강도, 및 인쇄 회로판을 고온에서 소정 시간 유지한 후의 필 강도 (이하, 내열 필 강도라고 한다), 및 내약품성 (염산)) 을 열화시키지 않고, 상기한 회로 침식 현상을 저감시킨 반도체 패키지 기판용으로서 바람직한 동박을 개발하는 것이다.The subject of this invention is the various characteristics of the surface layer which consists of a Cu-Zn alloy (brass) (state peeling strength of the copper foil of the printed circuit board manufactured by laminating | stacking copper foil and a resin base material, and a printed circuit board predetermined | prescribed at high temperature). It is to develop a copper foil suitable for a semiconductor package substrate which reduces the above-described circuit erosion phenomenon without deteriorating the peel strength (hereinafter referred to as a heat resistant peel strength) and chemical resistance (hydrochloric acid) after the time retention.

특히, 수지 기재에 동박을 적층하여, 내열 필 강도를 크게 향상시키는 것과 함께, 황산-과산화수소계 에칭액을 사용하여 회로를 소프트 에칭하는 경우에 있어서, 동 에칭액에 의한 회로 침식 현상을 효과적으로 방지할 수 있는 (이하, 필요에 따라 「내약품성」이라고 한다) 동박의 표면 처리 기술을 확립하는 것에 있다.In particular, when copper foil is laminated on a resin substrate to greatly improve the heat-resistant peeling strength, and the circuit is soft-etched using a sulfuric acid-hydrogen peroxide-based etching solution, the circuit erosion phenomenon by the copper etching solution can be effectively prevented. (Hereinafter, it is called "chemical resistance" as needed.) It is in establishing the surface treatment technology of copper foil.

상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명자가 동박 상에 표면 처리를 실시하는 조건 등에 관해서 예의 검토한 결과, 이하의 동박의 내열 필 강도 향상 및 내약품성, 즉 황산-과산화수소계 에칭액에 의한 동박 광택면의 소프트 에칭시, 조화면의 내침식성 (내회로 침식성) 에 유효하다는 것을 알 수 있었다.In order to solve the said subject, as a result of earnestly examining about the conditions etc. which this inventor performs surface treatment on copper foil, the heat-resistant peeling strength improvement and chemical-resistance of the following copper foil, ie, the copper foil glossiness surface by the sulfuric acid-hydrogen peroxide type etching liquid, At the time of soft etching, it turned out that it is effective for the corrosion resistance (circulation corrosion resistance) of a roughening surface.

이상으로부터, 본원 발명은, From the above, this invention,

1) 동박의 표면에, 니켈, 아연 및 구리를 함유하는 층 (이하, 「구리니켈아연층」이라고 한다) 을 구비하는 인쇄 회로 기판용 동박으로서, 상기 구리니켈아연층의 단위 면적당의 아연 부착 중량이 200 ㎍/dm2 이상, 2000 ㎍/dm2 이하이고, 상기 구리니켈아연층 중, Ni 가 1 ∼ 50 중량%, (아연 부착량 (질량%))/{100-(구리 부착량 (질량%))} 가 0.3 이상, (구리 부착량 (질량%))/{100-(아연 부착량 (질량%))} 가 0.3 이상인 것을 특징으로 하는 인쇄 회로 기판용 동박을 제공한다.1) Copper foil for printed circuit boards provided with the layer containing nickel, zinc, and copper on the surface of copper foil (henceforth a "copper nickel zinc layer"), and the weight with zinc per unit area of the said copper nickel zinc layer. It is 200 micrograms / dm <2> or more and 2000 micrograms / dm <2> or less, Ni is 1-50 weight% in the said copper nickel zinc layer, (zinc adhesion amount (mass%)) / {100- (copper adhesion amount (mass%) )} Is 0.3 or more and (copper adhesion amount (mass%)) / {100- (zinc adhesion amount (mass%))} is 0.3 or more, The copper foil for printed circuit boards is provided.

또한 본 발명은,Further, according to the present invention,

2) 상기 구리니켈아연층 위에, 크로메이트 피막층을 구비하는 것을 특징으로 하는 상기 1 에 기재된 인쇄 회로 기판용 동박,2) A copper foil for a printed circuit board according to 1, comprising a chromate coating layer on the copper nickel zinc layer.

3) 상기 크로메이트 피막층에 있어서, 크롬 부착 중량이 단위 면적당 30 ㎍/dm2 이상, 100 ㎍/dm2 이하인 것을 특징으로 하는 상기 2 에 기재된 인쇄 회로 기판용 동박,3) Said chromate coating layer WHEREIN: The chromium adhesion weight is 30 microgram / dm <2> or more and 100 microgram / dm <2> per unit area, The copper foil for printed circuit boards of said 2 characterized by the above-mentioned.

4) 상기 크로메이트 피막층 위에, 추가로 실란 커플링제층을 구비하는 것을 특징으로 하는 상기 2 또는 3 에 기재된 인쇄 회로 기판용 동박,4) Copper foil for printed circuit boards as described in said 2 or 3 which further comprises a silane coupling agent layer on the said chromate coating layer,

5) 동박이 전해 동박이고, 상기 구리니켈아연층이, 전해 도금시의 조면 또는 전해 동박의 광택면에 형성되는 것을 특징으로 하는 상기 1 ∼ 4 중 어느 한 항에 기재된 인쇄 회로 기판용 동박,5) Copper foil is an electrolytic copper foil, The said copper nickel zinc layer is formed in the rough surface at the time of electrolytic plating, or the gloss surface of an electrolytic copper foil, The copper foil for printed circuit boards in any one of said 1-4 characterized by the above-mentioned.

6) 동박이 압연 동박인 것을 특징으로 하는 상기 1 ∼ 4 중 어느 한 항에 기재된 인쇄 회로 기판용 동박,6) Copper foil is rolled copper foil, Copper foil for printed circuit boards in any one of said 1-4 characterized by the above-mentioned,

7) 상기 1 ∼ 상기 6 중 어느 한 항에 기재된 인쇄 회로 기판용 동박과 인쇄 회로 기판용 수지를, 부착하여 제조한 인쇄 회로 기판용 동장 적층판을 제공한다.7) The copper clad laminated board for printed circuit boards which attached and manufactured the copper foil for printed circuit boards and resin for a printed circuit board as described in any one of said 1-6 are provided.

이상 나타낸 바와 같이, 본 발명의 인쇄 회로 기판용 동박은, 인쇄 회로 기판을 고온 유지한 후의 동박의 필 강도를 열화시키지 않기 위해서 구리니켈아연층을 사용하는 것이다. 이로써, 동박의 내열 필 강도를 비약적으로 향상시킬 수 있다.As shown above, the copper foil for printed circuit boards of this invention uses a copper nickel zinc layer in order not to deteriorate the peeling strength of copper foil after maintaining a printed circuit board at high temperature. Thereby, the heat resistant peeling strength of copper foil can be improved remarkably.

또한, 이로써 약품에 의한 회로 침식 현상을 효과적으로 방지할 수 있고, 특히 내황산-과산화수소성을 향상시킬 수 있다는 새로운 특성이 부여된 것으로, 인쇄 회로 기판용 동박 (특히, 반도체 패키지 기판용 동박) 및 동박과 수지 기재를 부착하여 제조한 동장 적층판 (특히, 반도체 패키지 기판용 동장 적층판) 으로서 매우 유효하다. 당연한 것으로, 일반적인 인쇄 회로 기판용 동박으로서도 사용할 수 있음은 물론이다.In addition, this prevents the erosion of the circuit caused by chemicals, and in particular, has given new characteristics to improve sulfuric acid-hydrogen peroxide resistance. Copper foil for printed circuit boards (in particular, copper foil for semiconductor package substrates) and copper foil It is very effective as a copper clad laminated board (especially copper clad laminated board for semiconductor package board | substrates) manufactured by adhering to a resin base material. Naturally, it can be used also as a copper foil for general printed circuit boards.

도 1 은 Cu-Ni-Zn 3 원 합금의 본원 발명에 적합한 조성 영역을 나타내는 도면이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a figure which shows the composition area | region suitable for this invention of Cu-Ni-Zn ternary alloy.

다음으로, 본 발명의 이해를 쉽게 하기 위해서, 본 발명을 구체적이면서 또한 상세히 설명한다.Next, in order to make understanding of this invention easy, this invention is demonstrated concretely and in detail.

본원 발명의 동박은 전해 동박 및 압연 동박 중 어느 것이나 사용할 수 있는데, 전해 동박의 경우에는, 전해 도금시의 조면 또는 전해 동박의 광택면에 적용할 수 있다. 또한, 그리고 이들의 표면에 추가로 조화 처리를 실시해도 된다. 예를 들어, 수지 기재와 적층 후의 동박의 박리 (필) 강도를 향상시키는 것을 목적으로 하여, 탈지 후의 동박의 표면에, 예를 들어 구리의 「혹」 모양의 전착을 실시하는 조화 처리가 행해진 전해 동박으로, 이것을 그대로 사용할 수 있다.The copper foil of this invention can use either an electrolytic copper foil and a rolled copper foil, but in the case of an electrolytic copper foil, it can apply to the rough surface at the time of electroplating, or the gloss surface of an electrolytic copper foil. In addition, you may perform a roughening process further on these surfaces. For example, in order to improve the peeling (fill) strength of the copper foil after lamination with a resin substrate, an electrolytic treatment in which the electrodepositing of, for example, a "hog" shape of copper is performed on the surface of the copper foil after degreasing is performed. With copper foil, this can be used as it is.

일반적으로, 드럼형의 전해 동박의 제조 장치에 있어서는, 편측 (드럼측) 이 광택면이고, 반대측이 조면이 된다. 압연 동박에 있어서는, 어느 쪽도 광택이 있는 압연면이 된다. 본 발명에서는, 전해 동박에 조면과 광택면이 있는데, 조면의 경우에는 그대로 사용할 수 있다. 전해 동박의 광택면에 관해서는, 추가로 필 강도를 높이기 위해서 조화 처리를 실시하여 조화면으로 할 수 있다.Generally, in the manufacturing apparatus of the drum type electrolytic copper foil, one side (drum side) is a gloss surface, and the other side is a rough surface. In a rolled copper foil, both become a glossy rolling surface. In the present invention, the electrolytic copper foil has a rough surface and a glossy surface, but in the case of the rough surface, it can be used as it is. About the gloss surface of an electrolytic copper foil, in order to raise a peeling intensity | strength, a roughening process can be performed and it can be set as a roughening surface.

압연 동박에 있어서도 마찬가지로 조화 처리를 실시한다. 조화 처리는 어느 경우에서도 이미 공지된 조화 처리를 사용할 수 있으며, 특별히 제한은 없다.Also in a rolled copper foil, a roughening process is performed similarly. In any case, the roughening process can use a well-known roughening process, and there is no restriction | limiting in particular.

본 발명의 조화면은, 전해 도금시의 조면을 갖는 전해 동박 또는 조화 처리를 실시한 전해 동박 및 압연 동박을 의미하는 것으로, 어떠한 동박에도 적용할 수 있다.The roughening surface of this invention means the electrolytic copper foil which has the roughening surface at the time of electrolytic plating, or the electrolytic copper foil and rolled copper foil which performed the roughening process, and is applicable to any copper foil.

상기한 바와 같이, 본원 발명의 반도체 패키지 기판용 동박은, 수지와의 접착면이 되는 동박의 표면에 형성된 구리니켈아연층, 크로메이트 피막층 및 필요에 따라서 실란 커플링제층으로 이루어진다. 동박으로는, 상기한 압연 동박 또는 전해 동박을 사용할 수 있다.As mentioned above, the copper foil for semiconductor package substrates of this invention consists of a copper nickel zinc layer formed on the surface of the copper foil used as an adhesive surface with resin, a chromate coating layer, and a silane coupling agent layer as needed. As copper foil, said rolled copper foil or electrolytic copper foil can be used.

또한 크로메이트 피막층은, 전해 크로메이트 피막층 또는 침지 크로메이트 피막층을 사용할 수 있다.As the chromate coating layer, an electrolytic chromate coating layer or an immersion chromate coating layer can be used.

본원 발명은 상기한 바와 같이, 예를 들어 동박의 표면에, 니켈, 아연 및 구리를 함유하는 층 (이하, 「구리니켈아연층」이라고 한다) 을 형성하는 것이다.As mentioned above, this invention forms a layer (henceforth a "copper nickel zinc layer") containing nickel, zinc, and copper on the surface of copper foil, for example.

동박이 고온 가열 후의 필 강도를 열화시키지 않기 위해서는, 상기 구리니켈아연층에 있어서의 동박의 단위 면적당 아연 부착량을 200 ㎍/dm2 이상으로 할 필요가 있다. 구리니켈아연층의 조성에 상관없이, 아연 부착 중량이 200 ㎍/dm2 미만이면, 층 형성의 효과가 없이, 고온 가열 후의 필 강도의 열화가 커지기 때문이다. 한편, 아연 부착 중량이 2000 ㎍/dm2 를 초과하면, 황산-과산화수소계 에칭액에 의한 회로 단부의 침식이 현저해진다. 따라서 상기 구리니켈아연층에 있어서의 동박의 단위 면적당 아연 부착량은 200 ㎍/dm2 이상 2000 ㎍/dm2 이하가 바람직하다.In order for copper foil not to deteriorate the peeling strength after high temperature heating, it is necessary to make zinc adhesion amount per unit area of copper foil in the said copper nickel zinc layer into 200 microgram / dm <2> or more. Regardless of the composition of the copper nickel zinc layer, when the zinc adhesion weight is less than 200 µg / dm 2 , the deterioration of the peel strength after high temperature heating becomes large without the effect of layer formation. On the other hand, when zinc adhesion weight exceeds 2000 microgram / dm < 2 >, erosion of the circuit edge by a sulfuric acid-hydrogen peroxide type etching liquid becomes remarkable. Therefore, the zinc adhesion amount per unit area of copper foil in the said copper nickel zinc layer is preferably 200 µg / dm 2 or more and 2000 µg / dm 2 or less.

그리고 발명자들은, 구리니켈아연층에 있어서 각 금속의 조성의 밸런스가 중요하여, 도 1 의 Cu-Ni-Zn 3 원 합금의 조성 영역에 나타내는 영역 X 의 구리니켈아연층을 형성함으로써, 고온 가열 후의 필 강도, 내약품성 (내염산성, 내황산-과산화수소성) 이 우수한 것을 알아내었다. 이하에 구체적으로 서술한다.And the inventors of the copper nickel zinc layer, the balance of the composition of each metal is important, and by forming a copper nickel zinc layer of the region X shown in the composition region of the Cu-Ni-Zn ternary alloy of Fig. 1, after the high temperature heating It was found that the peel strength and the chemical resistance (hydrochloric acid resistance, sulfuric acid-hydrogen peroxide resistance) were excellent. It describes concretely below.

내약품성을 위해서는 니켈 첨가는 불가피하고, 구리니켈아연층 중의 니켈 비율이 1 % 이상이면 된다. 1 % 미만이면, 회로 침식 현상을 효과적으로 방지할 수 없다. 단, 구리니켈아연층 중의 니켈 비율이 50 % 를 초과하면 후술하는 구리니켈아연층 중의 아연, 구리의 밸런스가 무너져, 내열 필 강도가 저하되고, 회로 형성시의 풀 잔류물이 다발하기 때문에 바람직하지 않다. 따라서, 구리니켈아연층 중의 니켈 비율은 1 % 이상, 50 % 이하가 바람직하다.Nickel addition is inevitable for chemical resistance, and the nickel ratio in a copper nickel zinc layer should just be 1% or more. If it is less than 1%, circuit erosion cannot be prevented effectively. However, when the nickel ratio in a copper nickel zinc layer exceeds 50%, since the balance of zinc and copper in a copper nickel zinc layer mentioned later will fall, heat-resistant peeling strength will fall and the pool residue at the time of circuit formation will become unpreferable. not. Therefore, as for the nickel ratio in a copper nickel zinc layer, 1% or more and 50% or less are preferable.

그리고 구리니켈아연층 중의 니켈 비율은 1 % 이상, 50 % 이하에 있어서, 구리니켈아연층 중의 아연과 구리의 부착량의 비율이 내열 필 강도나 내약품성 (염산) 에 영향을 미친다. 구체적으로는 이하의 식을 만족시킬 필요가 있다. 즉, (아연 부착량 (질량%))/{100-(구리 부착량 (질량%))} (식 1) 이 0.3 이상, (구리 부착량 (질량%))/{100-(아연 부착량 (질량%))} (식 2) 가 0.3 이상인 것이 필요하다 (도 1 의 X 의 영역). 또, 이해가 쉬워지도록, 위의 식에 각각 (식 1) 과 (식 2) 를 부기하였다.And when the nickel ratio in a copper nickel zinc layer is 1% or more and 50% or less, the ratio of the adhesion amount of zinc and copper in a copper nickel zinc layer affects heat-resistant peeling strength and chemical-resistance (hydrochloric acid). Specifically, it is necessary to satisfy the following equation. That is, (zinc adhesion amount (mass%)) / {100- (copper adhesion amount (mass%))} (formula 1) is 0.3 or more, (copper adhesion amount (mass%)) / {100- (zinc adhesion amount (mass%) )} (Formula 2) needs to be 0.3 or more (the area | region of X of FIG. 1). Moreover, (Equation 1) and (Equation 2) were added to the said Formula, respectively, so that it might be easy to understand.

예를 들어, 아연 부착량이 지나치게 많으면, (아연 부착량 (질량%))/{100-(구리 부착량 (질량%))} (식 1) 은 0.3 이상이 되는데, 구리 부착량이 적어지기 때문에 구리 부착량 (질량%))/{100-(아연 부착량 (질량%))} (식 2) 가 0.3 을 하회하는 경우가 있다 (도 1 의 영역 c). 이 경우, 아연 부착량에 대해 구리 부착량이 적어지기 때문에, 내약품성 (염산) 이 저하된다.For example, when there is too much zinc adhesion amount, (zinc adhesion amount (mass%)) / {100- (copper adhesion amount (mass%))} (formula 1) becomes 0.3 or more, but since copper adhesion amount becomes small, copper adhesion amount ( Mass%)) / {100- (zinc adhesion amount (mass%))} (Formula 2) may be less than 0.3 (region c of FIG. 1). In this case, since copper adhesion amount becomes small with respect to zinc adhesion amount, chemical-resistance (hydrochloric acid) falls.

한편, 구리 부착량이 지나치게 많으면, (구리 부착량 (질량%))/{100-(아연 부착량 (질량%))} (식 2) 는 0.3 이상이 되지만, (아연 부착량 (질량%))/{100-(구리 부착량 (질량%))} (식 1) 이 0.3 을 하회하는 경우가 있다 (도 1 의 영역 b).On the other hand, when there is too much copper adhesion amount, (copper adhesion amount (mass%)) / {100- (zinc adhesion amount (mass%))} (formula 2) becomes 0.3 or more, but (zinc adhesion amount (mass%)) / {100 -(Copper adhesion amount (mass%))} (Formula 1) may be less than 0.3 (region b of FIG. 1).

이 경우에는, 구리 부착량에 대해 아연 부착량이 적어지기 때문에, 내열 필 강도가 저하된다. 따라서, 구리니켈아연층 중의 아연과 구리의 부착량의 비율에 관해서 (아연 부착량 (질량%))/{100-(구리 부착량 (질량%))} (식 1) 이 0.3 이상, (구리 부착량 (질량%))/{100-(아연 부착량 (질량%))} (식 2) 가 0.3 이상의 양쪽 식을 만족하는 것이 바람직하다 (도 1 의 X 의 영역).In this case, since zinc adhesion amount becomes small with respect to copper adhesion amount, heat-resistant peeling strength falls. Therefore, about the ratio of the adhesion amount of zinc and copper in a copper nickel zinc layer, (zinc adhesion amount (mass%)) / {100- (copper adhesion amount (mass%))} (Formula 1) is 0.3 or more, (copper adhesion amount (mass %)) / {100- (zinc adhesion amount (mass%))} (Formula 2) preferably satisfies both equations of 0.3 or more (region of X in FIG. 1).

구리니켈아연층은, 통상 하기의 조건으로 형성한다. 그러나, 구리니켈아연층의 단위 면적당 아연 부착 중량이 200 ㎍/dm2 이상, 2000 ㎍/dm2 이하이고, 상기 구리니켈아연층 중, Ni 가 1 ∼ 50 중량%, (아연 부착량 (질량%))/{100-(구리 부착량 (질량%))} (식 1) 이 0.3 이상, (구리 부착량 (질량%))/{100-(아연 부착량 (질량%))} (식 2) 가 0.3 이상인 것을 달성할 수 있는 전기 도금 조건이면, 특별히 제한되지 않고, 다른 전기 도금 조건을 사용할 수도 있다.A copper nickel zinc layer is normally formed on condition of the following. However, zinc adhesion weight per unit area of a copper nickel zinc layer is 200 microgram / dm <2> or more and 2000 microgram / dm <2> or less, and Ni is 1-50 weight% in the said copper nickel zinc layer, (zinc adhesion amount (mass%) ) / {100- (copper adhesion amount (mass%))} (formula 1) is 0.3 or more, (copper adhesion amount (mass%)) / {100- (zinc adhesion amount (mass%))} (formula 2) is 0.3 or more If it is an electroplating condition which can achieve | attain, it will not specifically limit, Other electroplating conditions can also be used.

(도금액 조성) (Plating amount furtherance)

Ni : 0.1 g/ℓ ∼ 30 g/ℓ, Zn : 0.1 g/ℓ ∼ 12 g/ℓ, Cu : 0.1 g/ℓ ∼ 2 g/ℓ, 황산 (H2SO4) : 0.1 g/ℓ ∼ 10 g/ℓ, 를 기본 욕 (浴) 으로 한다. 또한, 황산을 대신하여 다른 무기산 또는 유기 카르복실산 (시트르산, 말산 등) 을 사용할 수도 있다.Ni: 0.1 g / l to 30 g / l, Zn: 0.1 g / l to 12 g / l, Cu: 0.1 g / l to 2 g / l, sulfuric acid (H 2 SO 4 ): 0.1 g / l to 10 g / l, is taken as the basic bath. In addition, other inorganic acids or organic carboxylic acids (citric acid, malic acid, etc.) may be used instead of sulfuric acid.

(전류 밀도) 3 ∼ 25 A/dm2 (Current Density) 3 to 25 A / dm 2

다음으로 크로메이트 처리인데, 이 크로메이트 피막층의 제조에는, 전해 크로메이트 처리, 침지 크로메이트 처리 및 크로메이트욕 중에 아연을 함유한 아연 크로메이트 처리 중 어느 것이나 적용할 수 있다.Next, in the chromate treatment, any of the electrolytic chromate treatment, the immersion chromate treatment, and the zinc chromate treatment containing zinc in the chromate bath can be applied to the production of the chromate coating layer.

어느 경우에서도, 크롬 부착 중량이 30 ㎍/dm2 미만에서는, 내산성과 내열성을 증강시키는 효과가 적기 때문에, 크롬 부착 중량은 30 ㎍/dm2 이상으로 한다. 또한, 크롬 부착 중량이 100 ㎍/dm2 를 초과하면 크로메이트 처리의 효과가 포화되어 더 이상크롬 부착 중량이 늘어나지 않게 된다. 이들을 종합하면, 크로메이트 처리층 중 단위 면적당의 크롬 부착 중량은 30 ∼ 100 ㎍/dm2 인 것이 바람직하다고 할 수 있다.In any case, when the chromium adhesion weight is less than 30 µg / dm 2 , the chromium adhesion weight is 30 µg / dm 2 or more because the effect of enhancing acid resistance and heat resistance is small. In addition, when the chromium adhesion weight exceeds 100 µg / dm 2 , the effect of the chromate treatment is saturated so that the chromium adhesion weight no longer increases. Taken together, it can be said that the chromium adhesion weight per unit area in the chromate treated layer is preferably 30 to 100 µg / dm 2 .

상기 크로메이트 피막층을 형성하기 위한 조건의 예를 이하에 기재한다. 그러나, 상기한 바와 같이 이 조건에 한정될 필요는 없으며, 이미 공지된 크로메이트 처리는 어느 것이나 사용할 수 있다.Examples of the conditions for forming the chromate film layer are described below. However, it is not necessary to be limited to this condition as mentioned above, Any known chromate treatment can be used.

일반적으로 침지 크로메이트 처리의 경우에는, 단위 면적당 크롬 부착 중량30 ∼ 40 ㎍/dm2 를 달성할 수 있다. 또한 전해 크로메이트 처리의 경우에는, 단위 면적당 크롬 부착 중량 30 ∼ 100 ㎍/dm2 를 달성할 수 있다.Generally in the case of immersion chromate treatment, 30-40 microgram / dm <2> of chromium adhesion weights per unit area can be achieved. Moreover, in the case of the electrolytic chromate treatment, 30-100 microgram / dm <2> of chromium adhesion weights per unit area can be achieved.

이 녹 방지 처리는 동박의 내산성과 내열성에 영향을 미치는 인자의 하나로, 크로메이트 처리에 의해, 동박의 내약품성과 내열성이 보다 향상되기 때문에 유효하다.This rust prevention treatment is one of the factors affecting the acid resistance and heat resistance of the copper foil, and is effective because the chemical resistance and heat resistance of the copper foil are further improved by the chromate treatment.

(a) 침지 크로메이트 처리의 일례(a) Example of immersion chromate treatment

CrO3 또는 K2Cr2O7 : 1 ∼ 12 g/ℓ, Zn(OH)2 또는 ZnSO4·7H2O : 0 ∼ 10 g/ℓ, Na2SO4 : 0 ∼ 20 g/ℓ, pH 2.5 ∼ 12.5, 온도 : 20 ∼ 60 ℃, 시간 : 0.5 ∼ 20 초CrO 3 or K 2 Cr 2 O 7 : 1-12 g / L, Zn (OH) 2 or ZnSO 4 .7H 2 O: 0-10 g / L, Na 2 SO 4 : 0-20 g / L, pH 2.5-12.5, Temperature: 20-60 ℃, time: 0.5-20 seconds

(b) 전해 크로메이트 처리의 일례(b) An example of electrolytic chromate treatment

CrO3 또는 K2Cr2O7 : 1 ∼ 12 g/ℓ, Zn(OH)2 또는 ZnSO4·7H2O : 0 ∼ 10 g/ℓ, Na2SO4 : 0 ∼ 20 g/ℓ, pH 2.5 ∼ 12.5, 온도 : 20 ∼ 60 ℃, 전류 밀도 0.5 ∼ 5 A/dm2, 시간 : 0.5 ∼ 20 초CrO 3 or K 2 Cr 2 O 7 : 1-12 g / l, Zn (OH) 2 or ZnSO 4 · 7H 2 O: 0-10 g / l, Na 2 SO 4 : 0-20 g / l, pH 2.5-12.5, temperature: 20-60 ° C., current density 0.5-5 A / dm 2 , time: 0.5-20 seconds

본 발명의 인쇄 회로 기판용 동박에 사용하는 실란 커플링제로는, 예를 들어 적어도 테트라알콕시실란과, 수지와의 반응성을 갖는 관능기를 구비한 알콕시실란을 1 종 이상 함유하고 있는 것이 바람직하다. 이 실란 커플링제의 선택도 임의이지만, 수지와의 접착성을 고려한 선택이 바람직하다.As a silane coupling agent used for the copper foil for printed circuit boards of this invention, it is preferable that at least 1 type of alkoxysilanes provided with the functional group which has at least tetraalkoxysilane and reactivity with resin, for example is preferable. Although the selection of this silane coupling agent is also arbitrary, the selection which considered adhesiveness with resin is preferable.

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다음으로, 이 녹 방지층 위에, 실란 커플링제 처리 (도포 후, 건조) 를 실시하였다. Next, the silane coupling agent process (after application | coating and drying) was performed on this rust prevention layer.

실란 커플링제 처리의 조건은, 다음과 같다. The conditions of a silane coupling agent process are as follows.

에폭시실란 0.5 체적% 를 함유하는 수용액을 pH 7 로 조정하여 도포하고, 그 후 건조시켰다.An aqueous solution containing 0.5 volume% of epoxysilane was adjusted to pH 7 and applied, and then dried.

(시험 방법) (Test Methods)

동박과 적층하는 수지 기재에는, 이하의 2 종류의 것을 사용하였다. The following two types of things were used for copper foil and the resin base material laminated | stacked.

FR-4 수지 (유리 크로스 기재 에폭시 수지) FR-4 Resin (Glass Cross Base Epoxy Resin)

BT 수지 (트리아진-비스말레이미드계 수지, 상표명 : 미츠비시 가스 화학 제조 GHPL-830) BT resin (triazine-bismaleimide resin, trade name: GHPL-830 manufactured by Mitsubishi Gas Chemical)

또, BT 수지는 내열성이 높아, 반도체 패키지용 인쇄 회로 기판에 사용되고 있는 재료이다. Moreover, BT resin is high in heat resistance and is a material used for the printed circuit board for semiconductor packages.

(1) FR-4 기판을 사용한 상태 필 강도와 내열 필 강도의 측정(1) Measurement of state peel strength and heat resistant peel strength using FR-4 substrate

동박의 구리니켈아연층을 형성한 면과 FR-4 수지 기재를 적층하여 제조한 적층판 상의 동박을 에칭하여, 적층판 상에 10 ㎜ 폭의 동박 회로를 형성한다.The copper foil on the laminated board which laminated | stacked the surface which formed the copper nickel zinc layer of copper foil, and FR-4 resin base material is etched, and the copper foil circuit of 10 mm width is formed on a laminated board.

이 회로를 박리하여 상태 필 강도를 측정한다. 다음으로, 상기 10 ㎜ 폭의 동박 회로를 형성한 적층판을 대기 중에서 180 ℃ 에서 2 일간 가열시킨 후의 필 강도 (이하 내열 필 강도라고 한다) 와 그 상태 필 강도로부터의 상대 열화율 (로스%) 을 측정하였다. FR-4 기판은 BT 기판과 비교하면 내열성이 떨어진다.This circuit is peeled off and the state peel strength is measured. Next, the peel strength (henceforth heat-resistant peeling strength) and the relative deterioration rate (loss%) from the state peeling strength after heating the laminated board in which the said 10 mm width copper foil circuit was formed at 180 degreeC in air | atmosphere for 2 days. Measured. FR-4 substrates are inferior in heat resistance compared to BT substrates.

그 때문에, FR-4 기판을 사용했을 때에 양호한 내열 필 강도와 낮은 열화율을 가지면, BT 기판을 사용했을 때에도 충분한 내열 필 강도와 열화율을 갖는다. Therefore, when it has favorable heat resistant peeling strength and low deterioration rate when using a FR-4 board | substrate, it has sufficient heat resistant peeling strength and deterioration rate even when using a BT board | substrate.

(2) BT 기판을 사용한 상태 필 강도와 내황산 과산화수소성의 측정(2) Measurement of state peel strength and sulfuric acid hydrogen peroxide resistance using BT substrate

동박의 구리니켈아연층을 형성한 면과 BT 수지 기재를 적층하여 제조한 적층판 상의 동박을 에칭하여, 적층판 상에 0.4 ㎜ 폭의 동박 회로를 형성한다. 이 회로를 박리하여 상태 필 강도를 측정한다. 다음으로, 상기 0.4 ㎜ 폭의 동박 회로를 형성한 적층판을 사용하여 내황산-과산화수소성 시험 및 내염산성 시험을 실시하였다.Copper foil on the laminated board which laminated | stacked the surface which formed the copper nickel zinc layer of copper foil, and BT resin base material is etched, and the copper foil circuit of 0.4 mm width is formed on a laminated board. This circuit is peeled off and the state peel strength is measured. Next, the sulfuric acid-hydrogen peroxide test and the hydrochloric acid test were implemented using the laminated board in which the said 0.4 mm width copper foil circuit was formed.

내황산-과산화수소성 시험에서는 적층판 상의 동박 회로를, 황산 5 ∼ 20 체적% 및 과산화수소 1 ∼ 10 체적% 를 함유하는 에칭액에 침지하여 동박 회로 두께를 2 ㎛ 에칭한 후, 필 강도와 그 상태 필 강도로부터의 상대 열화율 (로스%) 을 측정한다.In the sulfuric acid-hydrogen peroxide test, the copper foil circuit on the laminated sheet was immersed in an etching solution containing 5-20% by volume of sulfuric acid and 1-10% by volume of hydrogen peroxide, and the copper foil circuit thickness was etched by 2 µm. The relative deterioration rate (loss%) from is measured.

이 경우의 필 강도의 측정은 가혹한 환경 하에 있다고 할 수 있으며, FR-4 기판을 사용했을 때에 일반적으로 실시되고 있는 내약품성의 평가보다 가혹한 조건이다In this case, the peel strength can be said to be in a harsh environment, which is a harsher condition than the evaluation of chemical resistance that is generally performed when using a FR-4 substrate.

따라서, BT 기판을 사용했을 때에 양호한 내황산-과산화수소성을 가지면, FR-4 기판에서도 충분한 내약품성 (특히 내황산-과산화수소성) 을 갖는다. Therefore, when the BT substrate is used, if it has good sulfuric acid-hydrogen peroxide resistance, the FR-4 substrate also has sufficient chemical resistance (particularly sulfuric acid-hydrogen peroxide resistance).

내염산 시험에서는 적층판 상의 동박 회로를, 염산 12 중량% 를 함유하는 60 ℃ 액에 90 분간 침지한 후의 필 강도와 그 상태 필 강도로부터의 상대 열화율 (로스%) 를 측정한다.In a hydrochloric acid resistance test, the peel strength after immersing a copper foil circuit on a laminated board in 60 degreeC liquid containing 12 weight% of hydrochloric acid for 90 minutes, and the relative deterioration rate (loss%) from the state peeling strength are measured.

(3) 단위 면적당 니켈 및 아연의 도금 부착 중량의 측정(3) Measurement of plating adhesion weight of nickel and zinc per unit area

동박에 구리니켈아연층을 형성한 면이 표면에 노출되도록 FR-4 수지 기재와 적층하여, 적층판을 제조한다. 다음으로, 적층판 표면에 노출된 구리니켈아연층과 그 모층의 구리를 염산 또는 질산으로 용해시키고, 용해액 중의 아연 농도의 화학 분석을 실시함으로써 단위 면적당 아연의 부착 중량을 측정하였다.It laminates with FR-4 resin base material so that the surface which formed the copper nickel zinc layer in copper foil is exposed to the surface, and a laminated board is manufactured. Next, the copper nickel zinc layer exposed on the surface of the laminated plate and copper of the mother layer were dissolved with hydrochloric acid or nitric acid, and the adhesion weight of zinc per unit area was measured by performing a chemical analysis of the zinc concentration in the solution.

(4) 아연, 니켈 및 구리의 존재비의 해석 (4) Analysis of abundance of zinc, nickel and copper

XPS (X 선 광전자 분광법) 를 사용하여, 구리니켈아연층 중에 함유되는 니켈, 아연 및 구리의 존재비를 측정하였다. 측정은 아르곤 이온 스퍼터에 의해 동박 두께를 에칭하면서, 최표면으로부터 구리니켈아연층의 하지인 구리층에 이를 때까지 단속적으로 실시하여, 각 깊이에 있어서 얻어진 니켈, 아연 및 구리의 존재비를 최표면으로부터의 깊이로 적분함으로써, 니켈, 아연 및 구리의, 구리니켈아연층 전체에서의 평균적인 존재비를 계산하였다.The abundance ratio of nickel, zinc, and copper contained in a copper nickel zinc layer was measured using XPS (X-ray photoelectron spectroscopy). The measurement was intermittently carried out from the outermost surface to the copper layer which is the base of the copper nickel zinc layer while etching the copper foil thickness with an argon ion sputter, and the abundance ratios of nickel, zinc and copper obtained at each depth were determined from the outermost surface. By integrating to the depth of, the average abundance ratio of nickel, zinc, and copper in the whole copper nickel zinc layer was calculated.

측정에 사용한 기기는 KRATOS 사 제조 AXIS-HS 이고, 아르곤 이온 스퍼터의 출력은 52.5 W 이다. 이 조건에 있어서, 동박 두께는 1 분 동안에 약 20 Å 에칭된다. 스퍼터 시간은 15 ∼ 100 분간의 조건으로 실시하였다.The instrument used for the measurement is AXIS-HS manufactured by KRATOS, and the output of the argon ion sputter is 52.5 W. In this condition, the copper foil thickness is etched at about 20 kPa in one minute. Sputter time was performed on 15-100 minutes conditions.

실시예Example

다음으로, 실시예 및 비교예에 대해 설명한다. 그 결과를 이하의 각 표에 나타낸다. 또한, 본 실시예는 바람직한 일례를 나타내는 것으로, 본 발명은 이들 실시예에 한정되는 것은 아니다. 따라서, 본 발명의 기술 사상에 포함되는 변형, 그 밖의 실시예 또는 양태는 모두 본 발명에 포함된다. Next, examples and comparative examples will be described. The results are shown in the following tables. This embodiment shows a preferable example, and the present invention is not limited to these embodiments. Accordingly, all modifications, other embodiments or aspects included in the technical idea of the present invention are included in the present invention.

또한, 본 발명과의 대비를 위해, 비교예를 게재하였다. Further, for comparison with the present invention, a comparative example was published.

(실시예 1 - 9)(Examples 1-9)

두께 12 ㎛ 의 전해 동박을 사용하여, 이 동박의 조화면 (표면 평균 조도 : 3.8 ㎛) 에, 하기에 나타내는 조건으로, 구리니켈아연층을 전기 도금에 의해 형성하였다. 니켈, 아연, 구리의 존재 비율을 표 1 에 나타낸다.A copper nickel zinc layer was formed by electroplating on the rough surface (surface average roughness: 3.8 micrometers) of this copper foil on the conditions shown below using the electrolytic copper foil of thickness 12micrometer. Table 1 shows the abundance ratios of nickel, zinc and copper.

(실시예 1 의 전기 도금액 조성) (Electric Plating Solution Composition of Example 1)

Ni : 3 g/ℓ, Zn : 6 g/ℓ, Cu : 0.5 g/ℓ, 황산 (H2SO4) : 7.5 g/ℓ Ni: 3 g / l, Zn: 6 g / l, Cu: 0.5 g / l, sulfuric acid (H 2 SO 4 ): 7.5 g / l

(실시예 2 의 전기 도금액 조성) (Electric Plating Solution Composition of Example 2)

Ni : 20 g/ℓ, Zn : 3 g/ℓ, Cu : 0.2 g/ℓ, 황산 (H2SO4) : 8.5 g/ℓ Ni: 20 g / l, Zn: 3 g / l, Cu: 0.2 g / l, sulfuric acid (H 2 SO 4 ): 8.5 g / l

(실시예 3 의 전기 도금액 조성) (Electric Plating Solution Composition of Example 3)

Ni : 13 g/ℓ, Zn : 1 g/ℓ, Cu : 2 g/ℓ, 황산 (H2SO4) : 8.5 g/ℓ Ni: 13 g / l, Zn: 1 g / l, Cu: 2 g / l, sulfuric acid (H 2 SO 4 ): 8.5 g / l

(실시예 4 의 전기 도금액 조성) (Electric Plating Solution Composition of Example 4)

Ni : 10 g/ℓ, Zn : 12 g/ℓ, Cu : 0.2 g/ℓ, 황산 (H2SO4) : 8.5 g/ℓ Ni: 10 g / l, Zn: 12 g / l, Cu: 0.2 g / l, sulfuric acid (H 2 SO 4 ): 8.5 g / l

(실시예 5 의 전기 도금액 조성) (Electric Plating Solution Composition of Example 5)

Ni : 28 g/ℓ, Zn : 8 g/ℓ, Cu : 0.5 g/ℓ, 황산 (H2SO4) : 8.5 g/ℓ Ni: 28 g / l, Zn: 8 g / l, Cu: 0.5 g / l, sulfuric acid (H 2 SO 4 ): 8.5 g / l

(실시예 6 의 전기 도금액 조성) (Electric Plating Solution Composition of Example 6)

Ni : 10 g/ℓ, Zn : 5 g/ℓ, Cu : 1.0 g/ℓ, 황산 (H2SO4) : 8.5 g/ℓ Ni: 10 g / l, Zn: 5 g / l, Cu: 1.0 g / l, sulfuric acid (H 2 SO 4 ): 8.5 g / l

(실시예 7 의 전기 도금액 조성) (Electric Plating Solution Composition of Example 7)

Ni : 0.3 g/ℓ, Zn : 0.3 g/ℓ, Cu : 2.0 g/ℓ, 황산 (H2SO4) : 8.5 g/ℓ Ni: 0.3 g / l, Zn: 0.3 g / l, Cu: 2.0 g / l, sulfuric acid (H 2 SO 4 ): 8.5 g / l

(실시예 8 의 전기 도금액 조성) (Electric Plating Solution Composition of Example 8)

Ni : 28 g/ℓ, Zn : 1 g/ℓ, Cu : 0.8 g/ℓ, 황산 (H2SO4) : 8.5 g/ℓ Ni: 28 g / l, Zn: 1 g / l, Cu: 0.8 g / l, sulfuric acid (H 2 SO 4 ): 8.5 g / l

(실시예 9 의 전기 도금액 조성) (Electric Plating Solution Composition of Example 9)

Ni : 7 g/ℓ, Zn : 10 g/ℓ, Cu : 0.5 g/ℓ, 황산 (H2SO4) : 8.5 g/ℓ Ni: 7 g / l, Zn: 10 g / l, Cu: 0.5 g / l, sulfuric acid (H 2 SO 4 ): 8.5 g / l

(전류 밀도) 5 A/dm2 또는 10 A/dm2 (Current density) 5 A / dm 2 or 10 A / dm 2

또, 이 구리니켈아연층 상에 크로메이트 처리를 실시하여, 녹 방지층을 형성시켰다. 이하에, 처리 조건을 나타낸다.Moreover, the chromate treatment was performed on this copper nickel zinc layer, and the rust prevention layer was formed. The processing conditions are shown below.

CrO3 : 4.0 g/ℓ, ZnSO4·7H2O : 2.0 g/ℓ, Na2SO4 : 15 g/ℓ, pH : 4.2, 온도 : 45 ℃, 전류 밀도 3.0 A/dm2, 시간 : 1.5 초CrO 3 : 4.0 g / l, ZnSO 4 · 7H 2 O: 2.0 g / l, Na 2 SO 4 : 15 g / l, pH: 4.2, temperature: 45 ° C., current density 3.0 A / dm 2 , time: 1.5 second

(실시예 1) (Example 1)

실시예 1 에 있어서는, 도금 피막 중의 아연 (Zn) 부착량이 924 ㎍/dm2 이고, 도금 피막 중, Ni : 9 질량%, Zn : 42 질량%, Cu : 49 질량% 이고, 식 1 (아연 부착량 (질량%))/{100-(구리 부착량 (질량%))} 가 0.83, 식 2 (구리 부착량 (질량%))/{100-(아연 부착량 (질량%))} 가 0.85 로, 모두 본원 발명의 조건의 범위에 있었다. 이 결과, 이 실시예 1 에서는, FR-4 기판에서의 상태 필 강도는 1.47 kN/m, 2 일간 에이징 후의 필 강도는 1.20 kN/m, 열화율은 18 % 였다.In Example 1, zinc (Zn) adhesion amount in a plating film is 924 microgram / dm <2> , Ni: 9 mass%, Zn: 42 mass%, Cu: 49 mass% in a plating film, Formula 1 (zinc adhesion amount) (Mass%)) / {100- (copper adhesion amount (mass%))} is 0.83, Formula 2 (copper adhesion amount (mass%)) / {100- (zinc adhesion amount (mass%))} is 0.85, and all It was in the range of the condition of invention. As a result, in this Example 1, the peel strength after aging for 1.47 kN / m, 2 days was 1.20 kN / m, and the deterioration rate was 18% in the FR-4 board | substrate.

또한, 상태 BT 기판 (가혹한 환경하) 에서의 상태 필 강도는 1.05 kN/m, 염산 처리 후의 필 강도는 0.85 kN/m, 열화율은 20 % 가 되고, 또 내황산-과산화수소에서의 필 강도는 0.98 kN/m, 열화율은 7 % 가 되어, 모두 양호한 결과가 되었다.In addition, the state peel strength in the state BT substrate (under severe environment) is 1.05 kN / m, the peel strength after hydrochloric acid treatment is 0.85 kN / m, the deterioration rate is 20%, and the peel strength in sulfuric acid-hydrogen peroxide is 0.98 kN / m and the deterioration rate became 7%, and all brought favorable results.

이상의 결과를 표 1 에 나타낸다.Table 1 shows the above results.

Figure 112012058939472-pct00001
Figure 112012058939472-pct00001

(실시예 2) (Example 2)

실시예 2 에 있어서는, 도금 피막 중의 아연 (Zn) 부착량이 320 ㎍/dm2 이고, 도금 피막 중, Ni : 31 질량%, Zn : 34 질량%, Cu : 36 질량% 이고, 식 1 (아연 부착량 (질량%))/{100-(구리 부착량 (질량%))} 가 0.52, 식 2 (구리 부착량 (질량%))/{100-(아연 부착량 (질량%))} 가 0.54 로, 모두 본원 발명의 조건의 범위에 있었다. 이 결과, 이 실시예 2 에서는, FR-4 기판에서의 상태 필 강도는 1.56 kN/m, 2 일간 에이징 후의 필 강도는 1.42 kN/m, 열화율은 9 % 였다.In Example 2, zinc (Zn) adhesion amount in a plating film is 320 micrograms / dm <2> , Ni: 31 mass%, Zn: 34 mass%, Cu: 36 mass% in a plating film, Formula 1 (zinc adhesion amount) (Mass%)) / {100- (copper adhesion amount (mass%))} is 0.52, Formula 2 (copper adhesion amount (mass%)) / {100- (zinc adhesion amount (mass%))} is 0.54, and all It was in the range of the condition of invention. As a result, in this Example 2, the peel strength after aging for 1.56 kN / m and 2 days was 1.42 kN / m, and the deterioration rate was 9% in the FR-4 board | substrate.

또한, 상태 BT 기판 (가혹한 환경하) 에서의 상태 필 강도는 0.99 kN/m, 염산 처리 후의 필 강도는 0.89 kN/m, 열화율은 10 % 가 되고, 또 내황산-과산화수소에서의 필 강도는 0.86 kN/m, 열화율은 14 % 가 되어, 모두 양호한 결과가 되었다.In addition, the state peel strength in a state BT substrate (under severe environment) is 0.99 kN / m, the peel strength after hydrochloric acid treatment is 0.89 kN / m, the deterioration rate is 10%, and the peel strength in sulfuric acid-hydrogen peroxide is 0.86 kN / m and the deterioration rate became 14%, and all brought favorable results.

이상의 결과를 동일하게 표 1 에 나타낸다.The above result is shown in Table 1 similarly.

(실시예 3) (Example 3)

실시예 3 에 있어서는, 도금 피막 중의 아연 (Zn) 부착량이 465 ㎍/dm2 이고, 도금 피막 중, Ni : 18 질량%, Zn : 12 질량%, Cu : 70 질량% 이고, 식 1 (아연 부착량 (질량%))/{100-(구리 부착량 (질량%))} 가 0.39, 식 2 (구리 부착량 (질량%))/{100-(아연 부착량 (질량%))} 가 0.79 로, 모두 본원 발명의 조건의 범위에 있었다. 이 결과, 이 실시예 3 에서는, FR-4 기판에서의 상태 필 강도는 1.55 kN/m, 2 일간 에이징 후의 필 강도는 1.53 kN/m, 열화율은 2 % 였다.In Example 3, zinc (Zn) adhesion amount in a plating film is 465 microgram / dm <2> , Ni: 18 mass%, Zn: 12 mass%, Cu: 70 mass% in a plating film, Formula 1 (zinc adhesion amount) (Mass%)) / {100- (copper adhesion amount (mass%))} is 0.39, Formula 2 (copper adhesion amount (mass%)) / {100- (zinc adhesion amount (mass%))} is 0.79, and all It was in the range of the condition of invention. As a result, in this Example 3, the peel strength after the aging of 1.55 kN / m and aging for 2 days was 1.53 kN / m, and the deterioration rate was 2% in the FR-4 board | substrate.

또한, 상태 BT 기판 (가혹한 환경하) 에서의 상태 필 강도는 0.99 kN/m, 염산 처리 후의 필 강도는 0.93 kN/m, 열화율은 6 % 가 되고, 또 내황산-과산화수소에서의 필 강도는 0.88 kN/m, 열화율은 11 % 가 되어, 모두 양호한 결과가 되었다.In addition, the state peel strength in a state BT substrate (under severe environment) is 0.99 kN / m, the peel strength after hydrochloric acid treatment is 0.93 kN / m, the deterioration rate is 6%, and the peel strength in sulfuric acid-hydrogen peroxide is 0.88 kN / m and the deterioration rate became 11%, and all showed favorable results.

이상의 결과를 동일하게 표 1 에 나타낸다.The above result is shown in Table 1 similarly.

(실시예 4) (Example 4)

실시예 4 에 있어서는, 도금 피막 중의 아연 (Zn) 부착량이 390 ㎍/dm2 이고, 도금 피막 중, Ni : 2 질량%, Zn : 93 질량%, Cu : 5 질량% 이고, 식 1 (아연 부착량 (질량%))/{100-(구리 부착량 (질량%))} 가 0.98, 식 2 (구리 부착량 (질량%))/{100-(아연 부착량 (질량%))} 가 0.77 로, 모두 본원 발명의 조건의 범위에 있었다. 이 결과, 이 실시예 4 에서는, FR-4 기판에서의 상태 필 강도는 1.46 kN/m, 2 일간 에이징 후의 필 강도는 1.28 kN/m, 열화율은 12 % 였다.In Example 4, zinc (Zn) adhesion amount in a plating film is 390 microgram / dm <2> , Ni: 2 mass%, Zn: 93 mass%, Cu: 5 mass% in a plating film, Formula 1 (Zinc adhesion amount) (Mass%)) / {100- (copper adhesion amount (mass%))} is 0.98, Formula 2 (copper adhesion amount (mass%)) / {100- (zinc adhesion amount (mass%))} is 0.77, and all It was in the range of the condition of invention. As a result, in this Example 4, the peel strength after aging for 1.46 kN / m and the aging for 2 days was 1.28 kN / m, and the deterioration rate was 12% in the FR-4 board | substrate.

또한, 상태 BT 기판 (가혹한 환경하) 에서의 상태 필 강도는 1.01 kN/m, 염산 처리 후의 필 강도는 0.86 kN/m, 열화율은 15 % 가 되고, 또 내황산-과산화수소에서의 필 강도는 0.92 kN/m, 열화율은 9 % 가 되어, 모두 양호한 결과가 되었다.In addition, the state peel strength in a state BT substrate (under severe environment) is 1.01 kN / m, the peel strength after hydrochloric acid treatment is 0.86 kN / m, the deterioration rate is 15%, and the peel strength in sulfuric acid-hydrogen peroxide is 0.92 kN / m and the deterioration rate became 9%, and all brought favorable results.

이상의 결과를 동일하게 표 1 에 나타낸다.The above result is shown in Table 1 similarly.

(실시예 5) (Example 5)

실시예 5 에 있어서는, 도금 피막 중의 아연 (Zn) 부착량이 378 ㎍/dm2 이고, 도금 피막 중, Ni : 40 질량%, Zn : 36 질량%, Cu : 24 질량% 이고, 식 1 (아연 부착량 (질량%))/{100-(구리 부착량 (질량%))} 가 0.47, 식 2 (구리 부착량 (질량%))/{100-(아연 부착량 (질량%))} 가 0.37 로, 모두 본원 발명의 조건의 범위에 있었다. 이 결과, 이 실시예 5 에서는, FR-4 기판에서의 상태 필 강도는 1.48 kN/m, 2 일간 에이징 후의 필 강도는 1.43 kN/m, 열화율은 3 % 였다.In Example 5, zinc (Zn) adhesion amount in a plating film is 378 microgram / dm <2> , Ni: 40 mass%, Zn: 36 mass%, Cu: 24 mass% in a plating film, Formula 1 (Zinc adhesion amount) (Mass%)) / {100- (copper adhesion amount (mass%))} is 0.47, Formula 2 (copper adhesion amount (mass%)) / {100- (zinc adhesion amount (mass%))} is 0.37, and all It was in the range of the condition of invention. As a result, in this Example 5, the peel strength after the aging of 1.48 kN / m and aging for 2 days was 1.43 kN / m, and the deterioration rate was 3% in the FR-4 board | substrate.

또한, 상태 BT 기판 (가혹한 환경하) 에서의 상태 필 강도는 1.04 kN/m, 염산 처리 후의 필 강도는 0.91 kN/m, 열화율은 13 % 가 되고, 또 내황산-과산화수소에서의 필 강도는 0.93 kN/m, 열화율은 11 % 가 되어, 모두 양호한 결과가 되었다.In addition, the state peel strength in the state BT substrate (under severe environment) is 1.04 kN / m, the peel strength after hydrochloric acid treatment is 0.91 kN / m, the deterioration rate is 13%, and the peel strength in sulfuric acid-hydrogen peroxide is 0.93 kN / m and the deterioration rate became 11%, and all brought favorable results.

이상의 결과를 표 1 에 나타낸다.Table 1 shows the above results.

(실시예 6) (Example 6)

실시예 6 에 있어서는, 도금 피막 중의 아연 (Zn) 부착량이 617 ㎍/dm2 이고, 도금 피막 중, Ni : 18 질량%, Zn : 12 질량%, Cu : 70 질량% 이고, 식 1 (아연 부착량 (질량%))/{100-(구리 부착량 (질량%))} 가 0.39, 식 2 (구리 부착량 (질량%))/{100-(아연 부착량 (질량%))} 가 0.79 로, 모두 본원 발명의 조건의 범위에 있었다. 이 결과, 이 실시예 6 에서는, FR-4 기판에서의 상태 필 강도는 1.45 kN/m, 2 일간 에이징 후의 필 강도는 1.42 kN/m, 열화율은 2 % 였다.In Example 6, zinc (Zn) adhesion amount in a plating film is 617 microgram / dm <2> , Ni: 18 mass%, Zn: 12 mass%, Cu: 70 mass% in a plating film, Formula 1 (zinc adhesion amount) (Mass%)) / {100- (copper adhesion amount (mass%))} is 0.39, Formula 2 (copper adhesion amount (mass%)) / {100- (zinc adhesion amount (mass%))} is 0.79, and all It was in the range of the condition of invention. As a result, in this Example 6, the peel strength after the aging of 1.45 kN / m and aging for 2 days was 1.42 kN / m, and the deterioration rate was 2% in the FR-4 board | substrate.

또한, 상태 BT 기판 (가혹한 환경하) 에서의 상태 필 강도는 1.10 kN/m, 염산 처리 후의 필 강도는 0.87 kN/m, 열화율은 21 % 가 되고, 또 내황산-과산화수소에서의 필 강도는 0.98 kN/m, 열화율은 11 % 가 되어, 모두 양호한 결과가 되었다.In addition, the state peel strength in the state BT substrate (under severe environment) is 1.10 kN / m, the peel strength after hydrochloric acid treatment is 0.87 kN / m, the deterioration rate is 21%, and the peel strength in sulfuric acid-hydrogen peroxide is 0.98 kN / m and the deterioration rate became 11%, and all showed favorable results.

이상의 결과를 동일하게 표 1 에 나타낸다.The above result is shown in Table 1 similarly.

(실시예 7) (Example 7)

실시예 7 에 있어서는, 도금 피막 중의 아연 (Zn) 부착량이 1860 ㎍/dm2 이고, 도금 피막 중, Ni : 7 질량%, Zn : 9 질량%, Cu : 84 질량% 이고, 식 1 (아연 부착량 (질량%))/{100-(구리 부착량 (질량%))} 가 0.56, 식 2 (구리 부착량 (질량%))/{100-(아연 부착량 (질량%))} 가 0.92 로, 모두 본원 발명의 조건의 범위에 있었다. 이 결과, 이 실시예 7 에서는, FR-4 기판에서의 상태 필 강도는 1.48 kN/m, 2 일간 에이징 후의 필 강도는 1.40 kN/m, 열화율은 5 % 였다.In Example 7, zinc (Zn) adhesion amount in a plating film is 1860 microgram / dm <2> , Ni: 7 mass%, Zn: 9 mass%, Cu: 84 mass% in a plating film, Formula 1 (zinc adhesion amount) (Mass%)) / {100- (copper adhesion amount (mass%))} is 0.56, Formula 2 (copper adhesion amount (mass%)) / {100- (zinc adhesion amount (mass%))} is 0.92, and all It was in the range of the condition of invention. As a result, in this Example 7, the peel strength after state aging of the FR-4 board | substrate was 1.48 kN / m, aging for 2 days was 1.40 kN / m, and the deterioration rate was 5%.

또한, 상태 BT 기판 (가혹한 환경하) 에서의 상태 필 강도는 1.02 kN/m, 염산 처리 후의 필 강도는 0.98 kN/m, 열화율은 4 % 가 되고, 또 내황산-과산화수소에서의 필 강도는 0.96 kN/m, 열화율은 2 % 가 되어, 모두 양호한 결과가 되었다.In addition, the state peel strength in the state BT substrate (under severe environment) is 1.02 kN / m, the peel strength after hydrochloric acid treatment is 0.98 kN / m, the deterioration rate is 4%, and the peel strength in sulfuric acid-hydrogen peroxide is 0.96 kN / m and the deterioration rate became 2%, and all brought favorable results.

이상의 결과를 동일하게 표 1 에 나타낸다.The above result is shown in Table 1 similarly.

(실시예 8) (Example 8)

실시예 8 에 있어서는, 도금 피막 중의 아연 (Zn) 부착량이 746 ㎍/dm2 이고, 도금 피막 중, Ni : 47 질량%, Zn : 30 질량%, Cu : 23 질량% 이고, 식 1 (아연 부착량 (질량%))/{100-(구리 부착량 (질량%))} 가 0.39, 식 2 (구리 부착량 (질량%))/{100-(아연 부착량 (질량%))} 가 0.33 로, 모두 본원 발명의 조건의 범위에 있었다. 이 결과, 이 실시예 8 에서는, FR-4 기판에서의 상태 필 강도는 1.47 kN/m, 2 일간 에이징 후의 필 강도는 1.46 kN/m, 열화율은 1 % 였다.In Example 8, zinc (Zn) adhesion amount in a plating film is 746 microgram / dm <2> , Ni: 47 mass%, Zn: 30 mass%, Cu: 23 mass% in a plating film, Formula 1 (zinc adhesion amount) (Mass%)) / {100- (copper adhesion amount (mass%))} is 0.39, Formula 2 (copper adhesion amount (mass%)) / {100- (zinc adhesion amount (mass%))} is 0.33, and all It was in the range of the condition of invention. As a result, in this Example 8, the peel strength after aging of 1.47 kN / m and aging for 2 days was 1.46 kN / m, and the deterioration rate was 1% in the FR-4 board | substrate.

또한, 상태 BT 기판 (가혹한 환경하) 에서의 상태 필 강도는 1.03 kN/m, 염산 처리 후의 필 강도는 0.95 kN/m, 열화율은 8 % 가 되고, 또 내황산-과산화수소에서의 필 강도는 0.95 kN/m, 열화율은 0 % 가 되어, 모두 양호한 결과가 되었다.In addition, the state peel strength in a state BT substrate (under severe environment) is 1.03 kN / m, the peel strength after hydrochloric acid treatment is 0.95 kN / m, the deterioration rate is 8%, and the peel strength in sulfuric acid-hydrogen peroxide is 0.95 kN / m and the deterioration rate became 0%, and all showed favorable results.

이상의 결과를 표 1 에 나타낸다.Table 1 shows the above results.

(실시예 9) (Example 9)

실시예 9 에 있어서는, 도금 피막 중의 아연 (Zn) 부착량이 220 ㎍/dm2 이고, 도금 피막 중, Ni : 20 질량%, Zn : 69 질량%, Cu : 11 질량% 이고, 식 1 (아연 부착량 (질량%))/{100-(구리 부착량 (질량%))} 가 0.78, 식 2 (구리 부착량 (질량%))/{100-(아연 부착량 (질량%))} 가 0.35 로, 모두 본원 발명의 조건의 범위에 있었다. 이 결과, 이 실시예 9 에서는, FR-4 기판에서의 상태 필 강도는 1.45 kN/m, 2 일간 에이징 후의 필 강도는 1.42 kN/m, 열화율은 2 % 였다.In Example 9, zinc (Zn) adhesion amount in a plating film is 220 microgram / dm <2> , Ni: 20 mass%, Zn: 69 mass%, Cu: 11 mass% in a plating film, Formula 1 (zinc adhesion amount) (Mass%)) / {100- (copper adhesion amount (mass%))} is 0.78, Formula 2 (copper adhesion amount (mass%)) / {100- (zinc adhesion amount (mass%))} is 0.35, and all It was in the range of the condition of invention. As a result, in this Example 9, the peel strength after the aging of 1.45 kN / m and aging for 2 days was 1.42 kN / m, and the deterioration rate was 2% in the FR-4 board | substrate.

또한, 상태 BT 기판 (가혹한 환경하) 에서의 상태 필 강도는 1.06 kN/m, 염산 처리 후의 필 강도는 0.92 kN/m, 열화율은 13 % 가 되고, 또 내황산-과산화수소에서의 필 강도는 0.98 kN/m, 열화율은 11 % 가 되어, 모두 양호한 결과가 되었다.In addition, the state peel strength in the state BT substrate (under severe environment) is 1.06 kN / m, the peel strength after hydrochloric acid treatment is 0.92 kN / m, the deterioration rate is 13%, and the peel strength in sulfuric acid-hydrogen peroxide is 0.98 kN / m and the deterioration rate became 11%, and all showed favorable results.

이상의 결과를 동일하게 표 1 에 나타낸다.The above result is shown in Table 1 similarly.

상기한 바와 같이, 실시예의 도금층은, 단위 면적당 아연의 부착 중량은 220 ㎍/dm2 ∼ 1860 ㎍/dm2 가 되고, FR-4 기판에서의 상태 필 강도는 1.45 kN/m ∼ 1.56 kN/m, 내열 필 강도는 1.20 kN/m ∼ 1.53 kN/m, 열화율은 18 % 이하의 범위로, 모두 양호한 상태 필 강도와 내열 필 강도를 나타내었다.As mentioned above, in the plating layer of the Example, the adhesion weight of zinc per unit area is 220 µg / dm 2 to 1860 µg / dm 2 , and the state peel strength on the FR-4 substrate is 1.45 kN / m to 1.56 kN / m. The heat resistant peel strength was 1.20 kN / m to 1.53 kN / m, and the deterioration rate was 18% or less, and both exhibited good state peel strength and heat resistant peel strength.

또한, BT 기판에서의 상태 필 강도는, 0.99 kN/m ∼ 1.10 kN/m 의 범위가 되었다. 염산·황산과수액에서의 처리 후의 필 강도는 각각 0.85 kN/m ∼ 0.93 kN/m, 0.86 kN/m ∼ 0.98 kN/m 이고, 열화율은 각각 4 % ∼ 21 %, 0 % ∼ 14 % 로, 양호한 성질을 나타내었다.In addition, the state peeling strength in BT board | substrate became the range of 0.99 kN / m-1.10 kN / m. Peel strengths after treatment in hydrochloric acid and sulfuric acid permeate are 0.85 kN / m to 0.93 kN / m and 0.86 kN / m to 0.98 kN / m, respectively, and the deterioration rates are 4% to 21% and 0% to 14%, respectively. And good properties.

(비교예 1-10) (Comparative Example 1-10)

하기에 나타내는 조건으로 도금욕 조성을 변화시켜, 구리니켈아연층을 형성하였다. 단위 면적당 아연 부착량과 도금 피막 중의, 니켈, 아연, 구리의 존재 비율을 표 2 에 나타낸다.The plating bath composition was changed on condition shown below, and the copper nickel zinc layer was formed. Table 2 shows the zinc adhesion amount per unit area and the abundance ratio of nickel, zinc and copper in the plated film.

(비교예 1 의 전기 도금액 조성) (Electroplating Solution Composition of Comparative Example 1)

Ni : 13 g/ℓ, Zn : 5 g/ℓ, Cu : 0 g/ℓ, 황산 (H2SO4) : 8.5 g/ℓ Ni: 13 g / l, Zn: 5 g / l, Cu: 0 g / l, sulfuric acid (H 2 SO 4 ): 8.5 g / l

(비교예 2 의 전기 도금액 조성) (Electroplating Solution Composition of Comparative Example 2)

Ni : 13 g/ℓ, Zn : 0 g/ℓ, Cu : 6.5 g/ℓ, 황산 (H2SO4) : 8.5 g/ℓ Ni: 13 g / l, Zn: 0 g / l, Cu: 6.5 g / l, sulfuric acid (H 2 SO 4 ): 8.5 g / l

(비교예 3 의 전기 도금액 조성) (Electroplating Solution Composition of Comparative Example 3)

Ni : 0 g/ℓ, Zn : 5 g/ℓ, Cu : 0.5 g/ℓ, 황산 (H2SO4) : 8.5 g/ℓ Ni: 0 g / l, Zn: 5 g / l, Cu: 0.5 g / l, sulfuric acid (H 2 SO 4 ): 8.5 g / l

(비교예 4 의 전기 도금액 조성) (Electroplating Solution Composition of Comparative Example 4)

Ni : 13 g/ℓ, Zn : 15 g/ℓ, Cu : 0.9 g/ℓ, 황산 (H2SO4) : 8.5 g/ℓ Ni: 13 g / l, Zn: 15 g / l, Cu: 0.9 g / l, sulfuric acid (H 2 SO 4 ): 8.5 g / l

(비교예 5 의 전기 도금액 조성) (Electroplating Solution Composition of Comparative Example 5)

Ni : 15 g/ℓ, Zn : 0.1 g/ℓ, Cu : 3 g/ℓ, 황산 (H2SO4) : 8.5 g/ℓ Ni: 15 g / l, Zn: 0.1 g / l, Cu: 3 g / l, sulfuric acid (H 2 SO 4 ): 8.5 g / l

(비교예 6 의 전기 도금액 조성) (Electroplating Solution Composition of Comparative Example 6)

Ni : 3 g/ℓ, Zn : 16 g/ℓ, Cu : 0.1 g/ℓ, 황산 (H2SO4) : 1 g/ℓ Ni: 3 g / l, Zn: 16 g / l, Cu: 0.1 g / l, sulfuric acid (H 2 SO 4 ): 1 g / l

(비교예 7 의 전기 도금액 조성) (Electroplating Solution Composition of Comparative Example 7)

Ni : 13 g/ℓ, Zn : 3 g/ℓ, Cu : 0.5 g/ℓ, 황산 (H2SO4) : 1 g/ℓ Ni: 13 g / l, Zn: 3 g / l, Cu: 0.5 g / l, sulfuric acid (H 2 SO 4 ): 1 g / l

(비교예 8 의 전기 도금액 조성) (Electroplating Solution Composition of Comparative Example 8)

Ni : 40 g/ℓ, Zn : 3 g/ℓ, Cu : 0.1 g/ℓ, 황산 (H2SO4) : 1 g/ℓ Ni: 40 g / l, Zn: 3 g / l, Cu: 0.1 g / l, sulfuric acid (H 2 SO 4 ): 1 g / l

(비교예 9 의 전기 도금액 조성) (Electroplating Solution Composition of Comparative Example 9)

Ni : 32 g/ℓ, Zn : 0.05 g/ℓ, Cu : 3.4 g/ℓ, 황산 (H2SO4) : 1 g/ℓ Ni: 32 g / l, Zn: 0.05 g / l, Cu: 3.4 g / l, sulfuric acid (H 2 SO 4 ): 1 g / l

(비교예 10 의 전기 도금액 조성) (Electroplating Solution Composition of Comparative Example 10)

Ni : 25 g/ℓ, Zn : 16 g/ℓ, Cu : 0.05 g/ℓ, 황산 (H2SO4) : 1 g/ℓ Ni: 25 g / l, Zn: 16 g / l, Cu: 0.05 g / l, sulfuric acid (H 2 SO 4 ): 1 g / l

(전류 밀도) (Current density)

2.5 A/dm2 ∼ 30 A/dm2 2.5 A / dm 2 ~ 30 A / dm 2

(비교예 1) (Comparative Example 1)

비교예 1 에 있어서는, 도금 피막 중에 구리가 존재하지 않고, 또한 도금 피막 중의 니켈의 존재비가 50 질량% 를 초과하고 있어, 본원 발명으로부터 일탈하였다. 또한, 식 1 (아연 부착량 (질량%))/{100-(구리 부착량 (질량%))} 가 0.49 이지만, 식 2 (구리 부착량 (질량%))/{100-(아연 부착량 (질량%))} 가 0.00 으로, 본원 발명의 조건의 범위에 없다.In the comparative example 1, copper did not exist in a plating film, and the abundance ratio of nickel in the plating film exceeded 50 mass%, and deviated from this invention. Moreover, although Formula 1 (zinc adhesion amount (mass%)) / {100- (copper adhesion amount (mass%))} is 0.49, Formula 2 (copper adhesion amount (mass%)) / {100- (zinc adhesion amount (mass%) )} Is 0.00, and is not in the range of the conditions of the present invention.

이 비교예 1 에서는, FR-4 기판에서의 상태 필 강도는 1.50 kN/m, 2 일간 에이징 후의 필 강도는 1.47 kN/m, 열화율은 2 % 였다. 또, 상태 BT 기판 (가혹한 환경하) 에서의 상태 필 강도는 0.98 kN/m 였지만, 염산 처리 후의 필 강도는 0.15 kN/m 로, 열화율이 85 % 로 현저히 저하되었고, 나아가 내황산-과산화수소에서의 필 강도는 0.75 kN/m, 열화율은 24 % 가 되어, 모두 내약품성이 크게 저하되었다. 이상의 결과를 표 2 에 나타낸다.In this comparative example 1, the peel strength after the aging of 1.50 kN / m and aging for two days was 1.47 kN / m, and the deterioration rate was 2% in the FR-4 board | substrate. In addition, while the state peeling strength in the state BT substrate (under severe environment) was 0.98 kN / m, the peeling strength after hydrochloric acid treatment was 0.15 kN / m, and the deterioration rate was markedly reduced to 85%. Furthermore, in sulfuric acid-hydrogen peroxide The peel strength of 0.75 kN / m and the deterioration rate became 24%, and the chemical resistance of all significantly decreased. The above result is shown in Table 2.

Figure 112012058939472-pct00002
Figure 112012058939472-pct00002

(비교예 2) (Comparative Example 2)

비교예 2 에서는, 도금 피막 중에 아연이 존재하지 않고, 또한 도금 피막 중의 니켈의 존재비가 50 질량% 를 초과하고 있어, 본원 발명으로부터 일탈하였다. 또한, 식 2 (구리 부착량 (질량%))/{100-(아연 부착량 (질량%))} 가 0.45 이지만, 식 1 (아연 부착량 (질량%))/{100-(구리 부착량 (질량%))} 가 0.00 으로, 본원 발명의 조건의 범위에 없다.In the comparative example 2, zinc did not exist in a plating film, and the abundance ratio of nickel in the plating film exceeded 50 mass%, and deviated from this invention. Moreover, although Formula 2 (copper adhesion amount (mass%)) / {100- (zinc adhesion amount (mass%))} is 0.45, Formula 1 (zinc adhesion amount (mass%)) / {100- (copper adhesion amount (mass%) )} Is 0.00, and is not in the range of the conditions of the present invention.

이 비교예 2 에서는, FR-4 기판에서의 상태 필 강도는 1.51 kN/m, 2 일간 에이징 후의 필 강도는 1.06 kN/m, 열화율은 30 % 가 되어, FR-4 기판에서의 내열 필 강도가 크게 저하되었다. 이상의 결과를 동일하게 표 2 에 나타낸다.In Comparative Example 2, the state peel strength of the FR-4 substrate was 1.51 kN / m, the peel strength after aging for two days was 1.06 kN / m, and the deterioration rate was 30%. Was greatly reduced. Table 2 shows the above results.

(비교예 3) (Comparative Example 3)

비교예 3 에서는, 도금 피막 중의 아연 (Zn) 부착량이 620 ㎍/dm2 이지만, 도금 피막 중에 니켈이 존재하지 않아, 본원 발명으로부터 일탈하였다. 식 1 (아연 부착량 (질량%))/{100-(구리 부착량 (질량%))} 가 1.00, 식 2 (구리 부착량 (질량%))/{100-(아연 부착량 (질량%))} 가 1.00 이다.In the comparative example 3, although the amount of zinc (Zn) adhesion in a plating film is 620 microgram / dm <2> , nickel did not exist in a plating film and it deviated from this invention. Formula 1 (zinc adhesion amount (mass%)) / {100- (copper adhesion amount (mass%)) is 1.00, and formula 2 (copper adhesion amount (mass%)) / {100- (zinc adhesion amount (mass%))} is 1.00.

이 비교예 3 에서는, 상태 BT 기판 (가혹한 환경하) 에서의 상태 필 강도는 0.96 kN/m 였지만, 염산 처리 후의 필 강도는 0.65 kN/m 로, 열화율이 32 % 로 현저히 저하되었고, 나아가 내황산-과산화수소에서의 필 강도는 0.69 kN/m, 열화율은 28 % 가 되어, 모두 내약품성이 크게 저하되었다. 이상의 결과를 동일하게 표 2 에 나타낸다.In Comparative Example 3, the state peel strength on the state BT substrate (under severe environment) was 0.96 kN / m, but the peel strength after hydrochloric acid treatment was 0.65 kN / m, and the deterioration rate was significantly lowered to 32%. The peeling strength in sulfuric acid-hydrogen peroxide was 0.69 kN / m, and the deterioration rate was 28%, and the chemical resistance of all significantly decreased. Table 2 shows the above results.

(비교예 4) (Comparative Example 4)

비교예 4 에서는, 단위 면적당 아연의 부착량은 2564 ㎍/dm2 가 되어, 본원 발명으로부터 일탈하였다. 이 비교예 4 에서는, 상태 BT 기판 (가혹한 환경하) 에서의 상태 필 강도는 1.02 kN/m 였지만, 염산 처리 후의 필 강도는 0.20 kN/m 로, 열화율이 80 % 로 현저히 저하되었고, 나아가 내황산-과산화수소에서의 필 강도는 0.62 kN/m, 열화율은 39 % 가 되어, 모두 내약품성이 크게 저하되었다.In Comparative Example 4, the deposition amount of zinc per unit area was 2564 µg / dm 2 , which deviated from the present invention. In this Comparative Example 4, the state peel strength on the state BT substrate (under severe environment) was 1.02 kN / m, but the peel strength after hydrochloric acid treatment was 0.20 kN / m, and the deterioration rate was significantly lowered to 80%. The peeling strength in sulfuric acid-hydrogen peroxide was 0.62 kN / m, and the deterioration rate was 39%, and all of them significantly reduced chemical resistance.

이상의 결과를 동일하게 표 2 에 나타낸다.Table 2 shows the above results.

(비교예 5) (Comparative Example 5)

비교예 5 에서는, 도금 피막 중에 존재하는 구리가 80 질량% 로 많고, 아연이 4 질량%, 니켈이 16 질량% 가 되어, (아연 부착량 (질량%))/{100-(구리 부착량 (질량%))} 가 0.2 으로 본원 발명의 범위로부터 일탈하였다. 이 비교예 5 에서는, FR-4 기판에서의 상태 필 강도는 1.50 kN/m 였지만, 2 일간 에이징 후의 필 강도는 1.12 kN/m 로, 열화율이 25 % 가 되어, FR-4 기판에서의 내열 필 강도가 크게 저하되었다.In Comparative Example 5, the amount of copper present in the plated film was 80% by mass, 4% by mass of zinc, and 16% by mass of nickel, resulting in (zinc deposition amount (mass%)) / {100- (copper adhesion amount (mass% ))} Deviated from 0.2 by the scope of the present invention. In this Comparative Example 5, the state peel strength on the FR-4 substrate was 1.50 kN / m, but the peel strength after aging for 2 days was 1.12 kN / m, and the deterioration rate became 25%. Peel strength was greatly reduced.

이상의 결과를 동일하게 표 2 에 나타낸다.Table 2 shows the above results.

(비교예 6) (Comparative Example 6)

비교예 6 에 있어서, 도금 피막 중에 존재하는 아연이 70 질량% 로 많고 구리가 6 질량% 로 적기 때문에, (구리 부착량 (질량%))/{100-(아연 부착량 (질량%)} 가 0.20 이 되어 본원 발명의 범위로부터 일탈하였다. 이 비교예 6 에서는, BT 기판에서의 상태 필 강도는 1.04 kN/m 였지만, 염산 처리 후의 필 강도는 0.16 kN/m 가 되어, 열화율이 85 % 로 크고, 내약품성 (염산) 이 크게 저하되었다. 이상의 결과를 동일하게 표 2 에 나타낸다.In Comparative Example 6, since the amount of zinc present in the plated film is large at 70% by mass and the copper is small at 6% by mass, (copper adhesion amount (mass%)) / {100- (zinc adhesion amount (mass%)) is 0.20. In Comparative Example 6, the state peel strength on the BT substrate was 1.04 kN / m, but the peel strength after hydrochloric acid treatment was 0.16 kN / m, and the deterioration rate was large at 85%. Chemical resistance (hydrochloric acid) fell significantly, The same result is shown in Table 2.

(비교예 7) (Comparative Example 7)

비교예 7 에서는, 단위 면적당 아연의 부착량은 150 ㎍/dm2 로 적어, 본원 발명으로부터 일탈하였다. 이 비교예 7 에서는, FR-4 기판에서의 2 일간 에이징 후의 필 강도는 1.01 kN/m 로, 열화율이 31 % 로 커져, 내열성이 크게 저하되었다.In Comparative Example 7, the adhesion amount of zinc per unit area was 150 μg / dm 2 , which deviated from the present invention. In this comparative example 7, the peeling strength after aging for two days in the FR-4 substrate was 1.01 kN / m, the deterioration rate was increased to 31%, and the heat resistance greatly decreased.

이상의 결과를 동일하게 표 2 에 나타낸다.Table 2 shows the above results.

(비교예 8) (Comparative Example 8)

비교예 8 에서는, 도금 피막 중의 니켈의 존재비가 50 질량% 를 초과하고 있고, (아연 부착량 (질량%))/{100-(구리 부착량 (질량%))} 가 0.27 로 본원 발명의 범위로부터 일탈하였다. 이 비교예 8 에서는, FR-4 기판에서의 2 일간 에이징 후의 필 강도는 1.10 kN/m 로, 열화율이 23 % 로 커져, FR-4 기판에서의 내열 필 강도가 크게 저하되었다. 이상의 결과를 동일하게 표 2 에 나타낸다.In the comparative example 8, the abundance ratio of nickel in a plating film exceeds 50 mass%, (zinc adhesion amount (mass%)) / {100- (copper adhesion amount (mass%))} is 0.27, deviating from the scope of this invention. It was. In this comparative example 8, the peeling strength after aging for two days in an FR-4 board | substrate was 1.10 kN / m, the deterioration rate became 23%, and the heat resistant peeling strength in FR-4 board | substrate fell significantly. Table 2 shows the above results.

(비교예 9) (Comparative Example 9)

비교예 9 에서는, (아연 부착량 (질량%))/{100-(구리 부착량 (질량%))} 가 0.25 로 본원 발명의 범위로부터 일탈하였다. 이 비교예 9 에서는, FR-4 기판에서의 2 일간 에이징 후의 필 강도는 1.19 kN/m 로, 열화율이 22 % 로 커져, FR-4 기판에서의 내열 필 강도가 크게 저하되었다. 이상의 결과를 동일하게 표 2 에 나타낸다.In Comparative Example 9, (zinc adhesion amount (mass%)) / {100- (copper adhesion amount (mass%))} was 0.25 and deviated from the scope of the present invention. In this Comparative Example 9, the peel strength after aging for two days in the FR-4 substrate was 1.19 kN / m, the deterioration rate was increased to 22%, and the heat resistant peel strength in the FR-4 substrate was greatly reduced. Table 2 shows the above results.

또한, 비교예 10 에서는, 구리 부착량 (질량%))/{100-(아연 부착량 (질량%)} 가 0.28 이 되어 본원 발명의 범위로부터 일탈하였다. 이 비교예 10 에서는, BT 기판에서의 상태 필 강도는 1.01 kN/m 였지만, 염산 처리 후의 필 강도는 0.71 kN/m 가 되어, 열화율이 30 % 로 크고, 내약품성 (염산) 이 크게 저하되었다.In addition, in Comparative Example 10, the copper adhesion amount (mass%)) / {100- (zinc adhesion amount (mass%)} became 0.28 and deviated from the scope of the present invention. Although the intensity | strength was 1.01 kN / m, the peeling strength after hydrochloric acid treatment became 0.71 kN / m, the deterioration rate was 30%, and chemical resistance (hydrochloric acid) fell large.

이상의 결과를 동일하게 표 2 에 나타낸다.Table 2 shows the above results.

이상으로부터, 본원 발명의 구리니켈아연층을 제조하는 데 있어서의 도금욕의 조건은, Ni : 0.1 g/ℓ ∼ 30 g/ℓ, Zn : 0.1 g/ℓ ∼ 12 g/ℓ, Cu : 0.1 g/ℓ ∼ 2 g/ℓ, 황산 (H2SO4) : 0.1 g/ℓ ∼ 10 g/ℓ 를 기본 욕으로 하는 것이 바람직하다.As mentioned above, the conditions of the plating bath in manufacturing the copper nickel zinc layer of this invention are Ni: 0.1g / L-30g / L, Zn: 0.1g / L-12g / L, Cu: 0.1g / ℓ ~ 2 g / ℓ, sulfuric acid (H 2 SO 4): to a 0.1 g / ℓ ~ 10 g / ℓ as the primary bath is preferred.

이들 농도의 범위를 벗어나, 니켈, 아연 또는 구리의 농도가 진해지면, 폐수 처리에 지장을 초래하기 때문에, 도금욕의 조건으로는 바람직하지 않다. 또한, 성분 농도가 낮게 벗어나면, 도금에 의한 농도 변화 등의 요인에 의해 도금욕의 관리가 어려워질 뿐 아니라, 전류 효율이 극단적으로 저하되기 때문에, 도금욕의 조건으로는 바람직하지 않다.If the concentration of nickel, zinc, or copper increases beyond the range of these concentrations, the treatment of wastewater will be impaired, which is not preferable under the conditions of the plating bath. In addition, when the component concentration is lowered, the management of the plating bath becomes difficult due to factors such as the concentration change due to plating, and the current efficiency is extremely lowered. Therefore, the condition of the plating bath is not preferable.

상기에 있어서는, 전해 동박의 조화면에 적용한 경우에 관해서 설명했지만, 광택면에 조화 처리를 실시한 전해 동박에 있어서도 동일한 것은 말할 필요도 없다. 그리고 조화 처리를 실시한 압연 동박에 있어서도 동일하다. 전해 동박 및 압연 동박의 조화면을 사용하고 있으면, 조화 처리의 형상이나 표면 조도의 차이에 의해 상태 필 강도의 절대값에 차이가 생기는 경우는 있지만, 내열 필 강도 및 황산·과산화수소수 처리 후의 필 강도의 상태 필로부터의 상대 열화율을 작게 할 수 있다.In the above, although the case where it applied to the roughening surface of an electrolytic copper foil was demonstrated, it is needless to say that it is the same also in the electrolytic copper foil which performed the roughening process to the glossy surface. And also in the rolled copper foil which performed the roughening process, it is the same. If the rough surface of the electrolytic copper foil and the rolled copper foil is used, a difference may occur in the absolute value of the state peel strength due to the difference in shape and surface roughness of the roughening treatment, but the peel strength after heat-resistant peel strength and sulfuric acid / hydrogen peroxide treatment The relative deterioration rate from the state fill of can be made small.

본원 발명의 인쇄 회로 기판용 동박에 있어서는, 특히 구리니켈아연층의 최적의 조건을 선택하는 것을 발명의 중심적 과제로 하는 것이다. 이것에 의해, 동박의 내열 필 강도를 비약적으로 향상시킴과 함께, 회로 침식 현상을 효과적으로 방지하고, 내황산·과산화수소성을 항상적으로 안정되게 효력을 발휘시키는 것이다.In the copper foil for printed circuit boards of this invention, selecting the optimal conditions of a copper nickel zinc layer especially makes it the central subject of this invention. This significantly improves the heat-resistant peeling strength of the copper foil, effectively prevents circuit erosion, and exerts a stable effect of sulfuric acid and hydrogen peroxide constantly.

따라서, 전해 동박 및 압연 동박의 선택 또는 조화면의 선택은, 목적에 따라서 임의로 선택할 수 있음은 용이하게 이해되어야 할 것이다.Therefore, it should be easily understood that the selection of the electrolytic copper foil and the rolled copper foil or the selection of the roughened surface can be arbitrarily selected according to the purpose.

산업상 이용가능성Industrial availability

이상에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 인쇄 회로 기판용 동박은, 고온 가열 후의 수지와의 박리 강도를 열화시키지 않기 위해서 구리니켈아연층을 사용하는 것으로, 동박의 내열 필 강도를 비약적으로 향상시킬 수 있다. 또한, 이로써 회로 침식 현상을 효과적으로 방지할 수 있고, 내약품성 (내황산-과산화수소계성) 을 항상적으로 안정되게 효력을 발휘할 수 있는 새로운 특성이 부여된 것으로, 최근 인쇄 회로의 파인 패턴화 및 고주파화가 진행되는 가운데 인쇄 회로 기판용 동박 (특히 반도체 패키지 기판용 동박) 및 동박과 수지 기재를 부착하여 제조한 인쇄 회로 기판 (특히 반도체 패키지 기판) 용 동장 적층판으로서 유용하다.As shown above, the copper foil for printed circuit boards of this invention uses a copper nickel zinc layer, in order not to deteriorate peeling strength with resin after high temperature heating, and can significantly improve the heat-resistant peeling strength of copper foil. . In addition, this effectively prevents the circuit erosion phenomenon, and has been given a new characteristic that can effectively effect the chemical resistance (sulfuric acid-hydrogen peroxide-based) always stable, fine patterning and high frequency of the recent printed circuit It is useful as copper clad board for printed circuit boards (especially copper foil for semiconductor package board | substrates), and the copper clad laminated board for printed circuit boards (especially semiconductor package board | substrate) manufactured by adhering copper foil and a resin base material.

Claims (12)

동박의 표면에, 니켈, 아연 및 구리를 함유하는 층 (이하, 「구리니켈아연층」이라고 한다) 을 구비하는 인쇄 회로 기판용 동박으로서, 상기 구리니켈아연층의 단위 면적당의 아연 부착 중량이 200 ㎍/dm2 이상, 2000 ㎍/dm2 이하이고, 상기 구리니켈아연층 중, Ni 가 1 ∼ 50 중량%, (아연 부착량 (질량%))/{100-(구리 부착량 (질량%))} 가 0.3 이상, (구리 부착량 (질량%))/{100-(아연 부착량 (질량%))} 가 0.3 이상인 것을 특징으로 하는 인쇄 회로 기판용 동박.Copper foil for printed circuit boards provided with the layer (henceforth a "copper nickel zinc layer") containing nickel, zinc, and copper on the surface of copper foil, The weight of zinc adhesion per unit area of the said copper nickel zinc layer is 200 It is 1 microgram / dm <2> or more and 2000 microgram / dm <2> or less, Ni is 1-50 weight% in the said copper nickel zinc layer, (zinc adhesion amount (mass%)) / {100- (copper adhesion amount (mass%))} Is 0.3 or more and (copper adhesion amount (mass%)) / {100- (zinc adhesion amount (mass%))} is 0.3 or more, The copper foil for printed circuit boards characterized by the above-mentioned. 제 1 항에 있어서,
상기 구리니켈아연층 위에, 크로메이트 피막층을 구비하는 것을 특징으로 하는 인쇄 회로 기판용 동박.
The method of claim 1,
A copper foil for printed circuit boards is provided on the copper nickel zinc layer.
제 2 항에 있어서,
상기 크로메이트 피막층에 있어서, 크롬 부착 중량이 단위 면적당 30 ㎍/dm2 이상, 100 ㎍/dm2 이하인 것을 특징으로 하는 인쇄 회로 기판용 동박.
3. The method of claim 2,
The said chromate coating layer WHEREIN: The chromium adhesion weight is 30 microgram / dm <2> or more and 100 microgram / dm <2> per unit area, The copper foil for printed circuit boards.
제 2 항에 있어서,
상기 크로메이트 피막층 위에, 추가로 실란 커플링제층을 구비하는 것을 특징으로 하는 인쇄 회로 기판용 동박.
3. The method of claim 2,
A copper foil for printed circuit boards, further comprising a silane coupling agent layer on the chromate coating layer.
제 3 항에 있어서,
상기 크로메이트 피막층 위에, 추가로 실란 커플링제층을 구비하는 것을 특징으로 하는 인쇄 회로 기판용 동박.
The method of claim 3, wherein
A copper foil for printed circuit boards, further comprising a silane coupling agent layer on the chromate coating layer.
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
동박이 전해 동박이고, 상기 구리니켈아연층이, 전해 도금시의 조면 또는 전해 동박의 광택면에 형성되는 것을 특징으로 하는 인쇄 회로 기판용 동박.
6. The method according to any one of claims 1 to 5,
Copper foil is an electrolytic copper foil, and the said copper nickel zinc layer is formed in the rough surface at the time of electroplating, or the gloss surface of an electrolytic copper foil, The copper foil for printed circuit boards.
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
동박이 압연 동박인 것을 특징으로 하는 인쇄 회로 기판용 동박.
6. The method according to any one of claims 1 to 5,
Copper foil is a rolled copper foil, Copper foil for printed circuit boards characterized by the above-mentioned.
제 6 항에 있어서,
동박이 압연 동박인 것을 특징으로 하는 인쇄 회로 기판용 동박.
The method according to claim 6,
Copper foil is a rolled copper foil, Copper foil for printed circuit boards characterized by the above-mentioned.
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 기재된 인쇄 회로 기판용 동박과 인쇄 회로 기판용 수지를, 부착하여 제조한 인쇄 회로 기판용 동장 적층판.The copper clad laminated board for printed circuit boards which attached and manufactured the copper foil for printed circuit boards, and the resin for printed circuit boards of any one of Claims 1-5. 제 6 항에 기재된 인쇄 회로 기판용 동박과 인쇄 회로 기판용 수지를, 부착하여 제조한 인쇄 회로 기판용 동장 적층판.The copper clad laminated board for printed circuit boards which attached and manufactured the copper foil for printed circuit boards of Claim 6, and the resin for printed circuit boards. 제 7 항에 기재된 인쇄 회로 기판용 동박과 인쇄 회로 기판용 수지를, 부착하여 제조한 인쇄 회로 기판용 동장 적층판.The copper clad laminated board for printed circuit boards which attached and manufactured the copper foil for printed circuit boards of Claim 7, and resin for a printed circuit board. 제 8 항에 기재된 인쇄 회로 기판용 동박과 인쇄 회로 기판용 수지를, 부착하여 제조한 인쇄 회로 기판용 동장 적층판.The copper clad laminated board for printed circuit boards which attached and manufactured the copper foil for printed circuit boards of Claim 8, and the resin for printed circuit boards.
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5497808B2 (en) * 2012-01-18 2014-05-21 Jx日鉱日石金属株式会社 Surface-treated copper foil and copper-clad laminate using the same
CN104755220B (en) * 2013-10-18 2016-11-16 三菱电机株式会社 Processing work platform tool part, the manufacture method of processing work platform tool part and laser processing
KR102394732B1 (en) 2018-04-27 2022-05-09 제이엑스금속주식회사 Surface-treated copper foil, copper clad laminate and printed wiring board
KR20210031899A (en) * 2018-07-18 2021-03-23 쇼와덴코머티리얼즈가부시끼가이샤 Copper clad laminate, printed wiring board, semiconductor package, and copper clad laminate manufacturing method

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009226874A (en) 2008-03-25 2009-10-08 Nippon Steel Chem Co Ltd Flexible copper clad laminate

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07202367A (en) * 1993-12-28 1995-08-04 Japan Energy Corp Surface treatment method of copper foil for printed circuit
JP3292774B2 (en) * 1994-02-15 2002-06-17 三井金属鉱業株式会社 Copper foil for printed wiring board and method for producing the same
JP3142259B2 (en) * 1998-11-30 2001-03-07 三井金属鉱業株式会社 Copper foil for printed wiring board excellent in chemical resistance and heat resistance and method for producing the same
JP3670185B2 (en) * 2000-01-28 2005-07-13 三井金属鉱業株式会社 Method for producing surface-treated copper foil for printed wiring board
JP4172704B2 (en) * 2003-07-31 2008-10-29 日鉱金属株式会社 Surface-treated copper foil and substrate using the same
KR101188147B1 (en) * 2008-06-17 2012-10-05 제이엑스 닛코 닛세키 킨조쿠 가부시키가이샤 Copper foil for printed circuit board and copper clad laminate plate for printed circuit board

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009226874A (en) 2008-03-25 2009-10-08 Nippon Steel Chem Co Ltd Flexible copper clad laminate

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