KR101332344B1 - 대형 펠리클 프레임 아노다이징 지그 - Google Patents

대형 펠리클 프레임 아노다이징 지그 Download PDF

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Abstract

본 발명은 대형 펠리클 프레임 아노다이징 지그를 제공하는 것을 목적으로 하는 것으로, 본 발명의 구성은 메인 프레임(10)과; 상기 메인 프레임(10)에 서로 마주하도록 구비된 복수 그룹의 클램핑 지지체(20)와; 상기 클램핑 지지체(20)에 구비됨과 동시에 적어도 두 개 이상의 그룹으로 구비되어 선단부가 펠리클 프레임(4)의 네 측면부(4SF) 중에서 적어도 두 군데의 측면부(4SF)에 형성된 오목홈(4a)에 결합되는 복수개의 클램프핀(30)과; 상기 클램핑 지지체(20)에 구비되어 서로 마주하도록 배치된 상기 클램프핀(30)에 의해 상기 펠리클 프레임(4)의 적어도 두 군데 측면부(4SF)가 클램핑되도록 하여 상기 펠리클 프레임(4)이 상기 메인 프레임(10)에 거치되도록 지지하는 클램핑 작동수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

대형 펠리클 프레임 아노다이징 지그{Pellicle frame anodizing jig}
본 발명은 대형 펠리클 프레임 아노다이징 지그에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 대형 펠리클 프레임을 다량으로 장착하여 아노다이징 처리가 될 수 있도록 하므로 생산성이 향상되면서도 다량의 대형 펠리클 프레임 장착 구조는 비교적 심플하게 구현할 수 있는 대형 펠리클 프레임 아노다이징 지그에 관한 것이다.
일반적으로, 펠리클(pellicle)은 반도체, LCD의 사진식각 공정에서 포토마스크(photo mask)나 레티클(reticle: 실리콘 웨이퍼에 LSI 회로를 정착시키기 위해 사용하는 원판) 표면을 대기중 분자나 다른 형태의 오염물질로부터 보호하기 위한 얇은 박판을 말한다. 이 펠리클은 테두리 형상의 펠리클 프레임에 부착된 후 다시 포토마스크나 레티클 위에 부착되어, 마스크와 레티클을 공정에 사용하는 도중 이물질이 발생되거나 부착되는 것을 막아줌으로써, 웨이퍼상의 패턴 형상화에 영향을 주지 않도록 한다.
이때, 패턴 형상화 공정을 수행할 때, 포토마스크나 레티클(이하, 포토마스크나 레티클을 편의상 피가공물이라 칭함)을 지지용 조오(jaw) 등으로 클램핑하여 정확한 위치에 정밀 셋팅할 필요가 있으므로, 피가공물의 정밀 셋팅을 위하여 전공정에서 펠리클 프레임의 양측 측면부에 적어도 두 개의 기준 오목홈을 형성한다. 즉, 펠리클 프레임의 양측 측면부에 가공장치에 의해 각각 복수개의 기준 오목홈을 형성하고, 이 기준 오목홈에 맞추어 지지용 조오를 결합하여 펠리클 프레임과 이에 부착된 피가공물을 정위치에 정밀 셋팅한 다음, 패턴 형상화 공정을 수행한다.
한편, 펠리클 프레임은 통상 알루미늄으로 제작되어, 도금을 하여 사용하게 되는데, 도금 공정 이전에 아노다이징(anodizing: 양극산화) 공정을 거친다. 아노다이징이란 금속(부품)을 플러스전극봉에 걸고 전해액(황산, 인산, 수산 등의 희석산 전해액)에서 전해시켜 양극에서 발생하는 산소에 의해 소재 금속과 대단한 밀착력을 가진 산화피막(산화알미늄)이 형성되도록 하는 것으로서, 펠리클 프레임에 단단히 밀착되어 있는 양극피막(즉, 산화피막)은 모든 도금 시스템에서 화학적으로 활성표면을 제공하여 도금 밀착력을 향상시킬 수 있기 때문에, 펠리클 프레임에 도금을 행하기 이전에 필수적으로 아노다이징 공정을 거치게 된다.
이러한 아노다이징 공정을 수행하기 위해 아노다이징용 지그에 펠리클 프레임을 고정하고, 아노다이징 지그를 플러스극에 걸어주게 된다. 즉, 펠리클 프레임의 양측면에 각각 두 개 정도의 지그 결합 오목홈을 형성하여, 이 지그 결합 오목홈에 아노다이징 지그의 지그핀을 끼워서 펠리클 프레임을 아노다이징 지그에 고정한다.
한편, 소비자의 취향이 커다란 화면의 디스플레이를 선호하는 추세이므로 디스플레이를 생산하는 업체 또한 생산하는 디스플레이 화면의 크기를 크게 생산하여 회사의 부가가치를 올리려하는 방향으로 진행되고 있으므로, 화면의 크기가 커짐에 따라 커다란 패턴을 형성시키기 위하여 펠리클 프레임의 크기도 커지게 되며, 이러한 대형 사이즈의 펠리클 프레임에 맞추어서 아노다이징 지그 역시 사이즈가 큰 것이 요구된다.
이때, 아노다이징 지그에 대형 펠리클 프레임을 하나만을 장착하여 아노다이징 푸울에 투입하여 아노다이징 처리를 하는 경우에는 생산성이 저하되는 등의 여러 가지 바람직하지 못한 결과를 초래할 수 있으므로, 대형 펠리클 프레임을 다량으로 아노다이징 지그에 장착하여 한꺼번에 아노다이징 처리할 수 있으면 생산성도 높일 수 있는 등의 좋은 결과를 얻을 수 있으므로, 대형 펠리클 프레임을 다량으로 장착할 수 있는 구조의 아노다이징 지그가 필요한 실정이라 할 수 있다.
본 발명은 대형 펠리클 프레임을 다량으로 장착하여 아노다이징 처리가 될 수 있도록 하면서도 다량의 대형 펠리클 프레임 장착 구조는 비교적 심플하게 구현할 수 있는 새로운 구성의 대형 펠리클 프레임 아노다이징 지그를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명에 의하면, 메인 프레임(10)과; 상기 메인 프레임(10)에 서로 마주하도록 구비된 복수 그룹의 클램핑 지지체(20)와; 상기 클램핑 지지체(20)에 전진 및 후진 가능하게 결합됨과 동시에 적어도 두 개 이상의 그룹으로 구비되어 선단부가 펠리클 프레임(4)의 네 측면부 중에서 적어도 두 군데의 측면부에 형성된 오목홈(4a)에 끼워지는 복수개의 클램프핀(30)과; 상기 클램핑 지지체(20)에 결합되어 서로 마주하도록 배치된 상기 클램프핀(30)에 의해 상기 펠리클 프레임(4)의 적어도 두 군데 측면부가 클램핑되도록 하여 상기 펠리클 프레임(4)이 상기 메인 프레임(10)에 거치되도록 지지하는 클램핑 작동수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 대형 펠리클 프레임 아노다이징 지그가 제공된다.
상기 메인 프레임(10)은 네 개의 테두리부가 있는 사각틀 형상으로 구성되고, 상기 클램핑 지지체(20)는 상기 메인 프레임(10)의 적어도 서로 마주하는 두 개의 테두리부의 길이 방향과 교차하는 전후 방향으로 대칭되도록 연장됨과 동시에 상기 메인 프레임(10)의 서로 마주하는 테두리부의 길이 방향을 따라 일정 간격으로 적어도 두 개 열로 배치되고, 상기 메인 프레임(10)에 서로 마주하도록 행을 이루어 배치된 상기 복수개의 클램핑 지지체(20)에는 상기 클램핑 작동수단을 매개로 상기 복수개의 클램프핀(30)이 전진 가능하게 결합되며, 상기 서로 마주하는 클램프핀(30) 그룹은 상기 클램핑 지지체(20)의 길이 방향을 따라 일정 간격으로 배치되어 복수 그룹의 클램프핀(30) 그룹이 상기 메인 프레임(10)의 서로 마주하는 두 개의 테두리부 양쪽 위치에 배치된 것을 특징으로 하는 대형 펠리클 프레임 아노다이징 지그가 제공된다.
상기 클램핑 작동수단은, 상기 클램핑 지지체(20)의 상면에서 저면으로 관통된 나사홀(42)과, 상기 클램프핀(30)의 외주면에 구비되어 상기 클램핑 지지체(20)의 상기 나사홀(42)에 볼트 조임식으로 상기 클램프핀(30)을 결합시키는 나사부(44)를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 클램프핀(30) 외주면의 상기 나사부(44)에 결합된 록킹 너트(52)를 더 포함하는 것이 바람직하다.
상기 클램프핀(30)은 선단부에 각각 포인트 접점부(32)가 구비되어, 상기 포인트 접점부(32)가 상기 펠리클 프레임(4)의 측면부에 구비된 오목홈(4a)에 점접촉 상태로 상기 서로 마주하는 한 쌍의 클램프핀(30)이 상기 펠리클 프레임(4)을 지지하는 것을 특징으로 한다.
상기 클램핑 지지체(20)에 구비되어 서로 마주하도록 배치된 상기 한 쌍의 클램프핀(30) 중에서 하나의 클램프핀(30)은 서로 마주하는 한 쌍의 클램핑 지지체(20) 중에서 하나의 클램핑 지지체(20)에 고정 지지된 고정 클램프핀(30B)과, 다른 클램핑 지지체(20)에 전후진 가능하게 설치된 가변 클램프핀(30A)으로 구성된 것을 특징으로 한다.
본 발명은 사각틀 형상의 메인 프레임과, 이 메인 프레임에 서로 마주하도록 구비된 복수 그룹의 클램핑 지지체와, 이 클램핑 지지체에 구비됨과 동시에 적어도 두 개 이상의 그룹으로 구비되어 선단부가 펠리클 프레임의 네 측면부 중에서 적어도 두 군데의 측면부에 형성된 오목홈에 결합되는 복수개의 클램프핀과, 상기 클램핑 지지체에 구비되어 서로 마주하도록 배치된 클램프핀에 의해 상기 펠리클 프레임의 적어도 두 군데 측면부가 클램핑되도록 하여 펠리클 프레임이 상기 메인 프레임에 거치되도록 지지하는 클램핑 작동수단을 포함하고, 상기 클램핑 지지체는 메인 프레임의 적어도 서로 마주하는 두 개의 테두리부의 길이 방향과 교차하는 전후 방향으로 대칭되도록 연장됨과 동시에 메인 프레임의 서로 마주하는 테두리부의 길이 방향을 따라 일정 간격으로 적어도 두 개 열로 배치되고, 상기 메인 프레임에 서로 마주하도록 행을 이루어 배치된 복수개의 클램핑 지지체에는 클램핑 작동수단을 매개로 복수개의 클램프핀이 서로 마주하는 위치에서 상대 전진 가능하게 결합되며, 상기 한 쌍의 서로 마주하는 클램프핀은 메인 프레임의 전후 방향을 따라 일정 간격으로 배치되어 복수개의 클램프핀 그룹이 메인 프레임의 서로 마주하는 두 개의 테두리부 양쪽 위치에 배치된 구성을 특징으로 한다.
따라서, 본 발명에서는 메인 프레임을 기준으로 전면 위치에 후면 위치에 한 쌍의 클램프핀이 복수개의 그룹으로 배치되어 있어서, 대형 펠리클 프레임을 하나만 거치시키는 것보다는 다량의 대형 펠리클 프레임(적어도, 6개 이상의 대형 펠리클 프레임)을 거치한 상태에서 이러한 대형 펠리클 프레임을 한꺼번에 아노다이징 처리할 수 있게 때문에, 생산성도 높일 수 있는 등의 여러 가지 바람직한 효과를 가져올 수 있게 되며, 다량의 대형 펠리클 프레임을 거치하는 구조는 복수개의 클램핑 지지체에 결합된 클램프핀으로 비교적 심플하게 구현할 수 있는 효과도 기대할 수 있다.
도 1은 본 발명의 구조를 보여주는 사시도
도 2는 본 발명의 주요부인 가변 클램프핀 부분의 구조를 확대하여 보여주는 사시도
도 3은 본 발명의 다른 주요부인 고정 클램프핀 부분의 구조를 확대하여 보여주는 사시도
도 4는 본 발명에 의한 대형 펠리클 프레임 아노다이징 지그에 펠리클 프레임을 장착한 상태를 개략적으로 보여주는 사시도
도 5는 본 발명에 의한 대형 펠리클 프레임 아노다이징 지그에 다수의 펠리클 프레임을 장착한 상태를 보여주는 측면도
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세히 설명한다.
도면을 참조하면, 본 발명의 실시예에 의한 대형 펠리클 프레임 아노다이징 지그는 메인 프레임(10)과, 이 메인 프레임(10)에 서로 마주하도록 구비된 복수 그룹의 클램핑 지지체(20)와, 이 클램핑 지지체(20)에 결합됨과 동시에 적어도 두 개 이상의 그룹으로 구비되어 선단부가 펠리클 프레임(4)의 네 측면부(4SF) 중에서 적어도 두 군데의 측면부(4SF)에 형성된 오목홈(4a)에 결합되는 복수개의 클램프핀(30)과, 상기 클램핑 지지체(20)에 결합되어 서로 마주하도록 배치된 클램프핀(30)에 의해 펠리클 프레임(4)의 적어도 두 군데 측면부(4SF)가 클램핑되도록 하여 펠리클 프레임(4)이 메인 프레임(10)에 거치되도록 지지하는 클램핑 작동수단을 포함하는 것으로, 대형 펠리클 프레임(4)을 하나만이 아니라 적어도 4개 내지 6개 이상 다량으로 장착하여 한꺼번에 신속 용이하게 아노다이징 처리를 할 수 있는 것에 주요 특징이 있다.
상기 메인 프레임(10)은 알루미늄 바아(12)를 가로방향과 세로방향으로 사각틀 형상으로 연결하여 구성된다. 또한, 메인 프레임(10)의 일측(구체적으로, 상측)에는 알루미늄 와이어를 절곡한 행거(16)가 용접 고정된다. 이러한 행거(16)는 아노다이징 풀(pool)의 상측에 수평하게 배치된 전극봉에 걸어주는 것인데, 아노다이징 지그에 장착된 대형 펠리클 프레임(4)의 아노다이징 과정 중에 아노다이징 지그와 대형 펠리클 프레임(4)이 유동되지 않고 안정적으로 전극봉에 걸어줄 수 있도록 적어도 두 개의 행거가 구비되어 있다.
상기 메인 프레임(10)은 네 개의 테두리부(12)가 있는 사각틀 형상으로 구성되는데, 상기 클램핑 지지체(20)는 메인 프레임(10)의 적어도 서로 마주하는 두 개의 테두리부(12)의 길이 방향과 교차하는 전후 방향으로 대칭되도록 연장됨과 동시에 메인 프레임(10)의 서로 마주하는 테두리부(12)의 길이 방향을 따라 일정 간격으로 적어도 두 개 열로 배치된다. 즉, 화살표 X 방향(즉, 메인 프레임(10)의 서로 마주하는 테두리부(12)의 길이 방향)이 열 방향이고 화살표 Y 방향이 행 방향이고, 화살표 Z 방향이 전후 방향이라 할 수 있는데, 상기 클램핑 지지체(20)는 메인 프레임(10)의 열방향으로 나란하게 적어도 두 개 열로 배치되고 메인 프레임(10)의 상하 방향인 행 방향으로 서로 마주하도록 두 개 행으로 배치되며 메인 프레임(10)의 전후 방향으로 연장된 구조를 이루고 있다. 본 발명에서는 메인 프레임(10)의 전후 방향으로 대칭되게 연장된 클램핑 지지체(20)가 메인 프레임(10)의 좌우 방향(즉, 열 방향)과 상하 방향(즉, 행 방향)으로 각각 두 개 열과 두 개 행으로 구비되어, 메인 프레임(10)에 상하 좌우 네 군데에 네 개의 클램핑 지지체(20)가 구비된 구조를 이루고 있다. 즉, 메인 프레임(10)의 전면 위치에 상하 좌우 네 군데에 네 개의 클램핑 지지체(20)가 구비되고, 메인 프레임(10)의 후면 위치에도 상하 좌우 네 군데에 네 개의 클램핑 지지체(20)가 구비된 구조이다.
상기 메인 프레임(10)에 서로 마주하도록 행을 이루어 배치된 복수개(본 발명에서는 두 개)의 클램핑 지지체(20)에는 클램핑 작동수단을 매개로 서로 마주하는 한 쌍의 클램프핀(30)이 상대 전후진 가능하게 결합되며, 서로 마주하는 한 쌍의 클램프핀(30)은 클램핑 지지체(20)의 길이 방향(메인 프레임(10)에 대해서는 전후 방향)을 따라 일정 간격으로 배치되어, 이러한 한 쌍을 이루는 클램프핀(30) 그룹이 메인 프레임(10)의 서로 마주하는 두 개의 테두리부(12) 양쪽 위치에 배치된다.
구체적으로, 본 발명에서 클램핑 지지체(20)는 메인 프레임(10)의 열방향으로 나란하게 두 개 열로 배치되고 메인 프레임(10)의 행 방향으로 나란하게 두 개 행으로 구비되어 있는데, 상기 한 쌍의 마주하는 클램프핀(30) 중에서 한 쪽의 클램프핀(30)은 메인 프레임(10)의 열 방향으로 나란하게 배치된 두 개의 클램핑 지지체(20)에 클램핑 작동수단을 매개로 전후진 가능하게 결합되고, 다른 쪽의 클램프핀(30)은 메인 프레임(10)의 열 방향으로 나란한 클램핑 지지체(20)에 대해 행 방향으로 나란한 두 개의 클램핑 지지체(20)에 결합되어 있으며, 상기 두 개의 클램프핀(30)은 각 클램핑 지지체(20)의 길이 방향(상기와 같이, 메인 프레임(10)에 대해서는 전후 방향)을 따라 일정 간격으로 복수개의 그룹을 이루도록 배치되어 있다. 즉, 상기 메인 프레임(10)의 상하 방향으로 마주하는 두 개의 클램프핀(30)은 메인 프레임(10)의 열 방향을 따라 두 개 열로 배치되고, 메인 프레임(10)의 전후 방향을 따라 복수개의 그룹으로 배치된 것이다. 본 발명에서는 메인 프레임(10)의 측면에서 볼 때에 한 쌍의 상하 클램프핀(30)이 6개의 클램프핀(30) 그룹으로 이루어진다.
이때, 상기 메인 프레임(10)의 상하 방향으로 마주하도록 배치된 한 쌍의 클램프핀(30) 중에서 하나의 클램프핀(30)은 서로 마주하는 한 쌍의 클램핑 지지체(20) 중에서 상측의 클램핑 지지체(20)에 전후진 가능하게 설치된 가변 클램프핀(30A)과, 다른 클램핑 지지체(20)에 고정 설치된 고정 클램프핀(30B)으로 구성되어 있다.
상기 한 쪽의 클램핑 지지체(20) 부분(정확하게는 하측의 클램핑 지지체(20) 부분)에 상하로 관통된 통공에 고정 클램프핀(30B)이 끼워진다. 도 5에 도시된 바와 같이, 고정 클램프핀(30A) 외주면에 형성된 나사부에 너트(36)를 조여주면 고정 클램프핀(30B)의 외주면에 구비된 걸림단턱은 한 쪽 클램핑 지지체(20) 부분(구체적으로, 하측 클램핑 지지체(20) 부분)의 일면에 걸려지고 너트(36)는 하측 클램핑 지지체(20)의 다른 면에 밀착 체결되므로, 상기 한 쪽 클램핑 지지체(20)에 고정 클램프핀(30B)이 고정될 수 있다.
상기 메인 프레임(10)에 상하로 마주하도록 배치된 한 쌍의 클램핑 지지체(20) 중에서 다른 클램핑 지지체(20) 부분(정확하게는 상측 클램핑 지지체(20) 부분)에는 가변 클램프핀(30A)이 고정 클램프핀(30B)에 대해 상대 전후진 가능하게 결합되어 있다. 본 발명에서 상측 클램핑 지지체(20)에 상하로 관통된 통공에 슬리브(34)가 결합되고, 이 슬리브(34)의 내부에는 양단부로 관통된 나사홀(42)이 형성되고, 상기 가변 클램프핀(30A)의 외주면에는 나사부(44)가 형성되어, 가변 클램프핀(30A) 외주면의 나사부(44)를 상기 슬리브(34) 내부의 나사홀(42)에 볼트 조임식으로 결합하면, 가변 클램프핀(30A)이 다른 쪽 클램핑 지지체(20)에 대해 전후진 작동되므로, 가변 클램프핀(30A)이 고정 클램프핀(30B)과 마주하는 위치에서 상대 전후진되도록 결합될 수 있다. 상기 슬리브(34)의 일단부(즉, 상단부)에는 상측 클램핑 지지체(20)의 상면에 접촉되는 플랜지부(34a)가 구비된다. 이때, 클램핑 지지체(20)는 알루미늄으로 이루어지는데, 상기 슬리브(34)는 알루미늄보다 강한 금속(예를 들어, 티타늄)으로 구성되어, 상기 클램핑 지지체(20)와 가변 클램프핀(30A) 사이의 결합 강도를 높이도록 한다.
또한, 본 발명은 클램핑 지지체(20)에 결합되어 서로 마주하도록 배치된 한 쌍의 클램프핀(30)에 의해 펠리클 프레임(4)의 적어도 두 군데 측면부(4SF)가 클램핑되도록 하여 펠리클 프레임(4)이 메인 프레임(10)에 거치되도록 지지하는 클램핑 작동수단을 포함한다. 본 발명에서 클램핑 작동수단은 다른 쪽 클램핑 지지체(20)의 상면에서 저면으로 관통된 나사홀(42), 구체적으로, 상기 슬리브(34) 내부에 형성된 나사홀(42)과, 상기 가변 클램프핀(30A)의 외주면에 구비되어 슬리브(34) 내부의 나사홀(42)에 볼트 조임식으로 결합된 나사부(44)로 구성될 수 있다.
이때, 상기 클램프핀(30)은 선단부에 각각 포인트 접점부(32)가 구비되어, 상기 포인트 접점부(32)가 펠리클 프레임(4)의 측면부(4SF)에 구비된 오목홈(4a)에 점접촉 상태로 서로 마주하는 한 쌍의 클램프핀(30)이 펠리클 프레임(4)을 지지한다. 본 발명에서 클램프핀(30)은 선단부측에 뿔형상부가 구비되고, 이러한 뿔형상부의 끝에 뾰족한 포인트 접점부(32)가 구비되어, 이 포인트 접점부(32)가 펠리클 프레임(4) 측면부(4SF)의 오목홈(4a)에 수용되어 점접촉된 상태로 펠리클 프레임(4)을 메인 프레임(10)에 거치되도록 지지하는 것이다.
이러한 구성의 본 발명에 의하면, 사각틀 형상의 메인 프레임(10)에 대해 전후 방향으로 복수개의 그룹을 이루어 배치된 한 쌍의 클램프핀(30) 중에서 고정 클램프핀(30B) 선단부의 포인트 접점부(32)에 펠리클 프레임(4)의 한쪽 측면부(4SF)에 형성된 두 개의 기준 오목홈(4a)을 끼운 다음, 가변 클램프핀(30A)을 펠리클 프레임(4)의 다른 쪽 측면부(4SF)에 형성된 두 개의 기준 오목홈(4a)에 맞추어서 회전시켜 조여주면, 가변 클램프핀(30A)과 고정 클램프핀(30B)에 의해 대형 펠리클 프레임(4)의 양쪽 두 개의 나란한 측면부(4SF)가 지지되어 사각틀 형상의 메인 프레임(10)에 대형 펠리클 프레임(4)을 통전 가능하게 걸어줄 수 있다.
그리고, 메인 프레임(10)에 고정된 행거(16)를 아노다이징 풀의 상측에 수평하게 배치된 전극봉에 걸어서 전류를 인가하면, 대형 펠리클 프레임(4)을 아노다이징 처리할 수 있게 된다.
이때, 본 발명에서는 메인 프레임(10)을 기준으로 전면 위치에 후면 위치에 한 쌍의 클램프핀(30)이 복수개의 그룹으로 배치되어 있어서, 대형 펠리클 프레임(4)을 하나만 거치시키는 것보다는 다량의 대형 펠리클 프레임(4)(적어도, 6개 이상의 대형 펠리클 프레임(4))을 거치한 상태에서 이러한 대형 펠리클 프레임(4)을 한꺼번에 아노다이징 처리할 수 있게 때문에, 생산성도 높일 수 있는 등의 여러 가지 바람직한 효과를 가져올 수 있게 되며, 다량의 대형 펠리클 프레임(4)을 거치하는 구조는 복수개의 클램핑 지지체(20)에 결합된 클램프핀(30)으로 비교적 심플하게 구현할 수 있는 효과도 기대할 수 있다.
또한, 본 발명에 의하면, 상기 가변 클램프핀(30A) 외주면의 나사부(44)에 결합된 록킹 너트(52)를 더 포함하는데, 가변 클램프핀(30A)이 고정 클램프핀(30B) 방향으로 전진하여 두 개의 클램프핀(30) 선단부가 펠리클 프레임(4)의 서로 나란한 양쪽 측면부(4SF)의 오목홈(4a)에 접촉 결합된 상태가 되었을 때에 상기 록킹 너트(52)를 조여서 클램핑 지지체(20) 표면(정확하게는, 슬리브(34)의 일단부에 형성된 플랜지부(34a) 부분)에 밀착시켜 조여주면, 가변 클램프핀(30A)이 정위치에 보다 견고하게 셋팅되므로, 대형 펠리클 프레임(4)의 양쪽 나란한 측면부(4SF)를 클램핑하여 지지하는 힘을 보다 견고하게 할 수 있다.
이상, 본 발명의 특정 실시예에 대하여 상술하였다. 그러나, 본 발명의 사상 및 범위는 이러한 특정 실시예에 한정되는 것이 아니라, 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위 내에서 다양하게 수정 및 변형이 가능하다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이해할 것이다.
따라서, 이상에서 기술한 실시예들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이므로, 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 하며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
4. 펠리클 프레임 4a. 오목홈
10. 메인 프레임 20. 클램핑 지지체
30. 클램프핀 30A. 가변 클램프핀
30B. 고정 클램프핀 32. 포인트 접점부
34. 슬리브 34a. 플랜지부
36. 너트 42. 나사홀
44. 나사부 52. 록킹 너트

Claims (6)

  1. 메인 프레임(10)과;
    상기 메인 프레임(10)에 서로 마주하도록 구비된 복수 그룹의 클램핑 지지체(20)와;
    상기 클램핑 지지체(20)에 구비됨과 동시에 적어도 두 개 이상의 그룹으로 구비되어 선단부가 펠리클 프레임(4)의 네 측면부(4SF) 중에서 적어도 두 군데의 측면부(4SF)에 형성된 오목홈(4a)에 결합되는 복수개의 클램프핀(30)과;
    상기 클램핑 지지체(20)에 구비되어 서로 마주하도록 배치된 상기 클램프핀(30)에 의해 상기 펠리클 프레임(4)의 적어도 두 군데 측면부(4SF)가 클램핑되도록 하여 상기 펠리클 프레임(4)이 상기 메인 프레임(10)에 거치되도록 지지하는 클램핑 작동수단;을 포함하며,
    상기 메인 프레임(10)은 네 개의 테두리부(12)가 있는 사각틀 형상으로 구성되고, 상기 클램핑 지지체(20)는 상기 메인 프레임(10)의 적어도 서로 마주하는 두 개의 테두리부(12)의 길이 방향과 교차하는 전후 방향으로 대칭되도록 연장됨과 동시에 상기 메인 프레임(10)의 서로 마주하는 테두리부(12)의 길이 방향을 따라 일정 간격으로 적어도 두 개 열로 배치되고, 상기 메인 프레임(10)에 서로 마주하도록 행을 이루어 배치된 상기 복수개의 클램핑 지지체(20)에는 상기 클램핑 작동수단을 매개로 상기 복수개의 클램프핀(30)이 서로 마주하는 위치에서 상대 전진 가능하게 결합되며, 상기 한 쌍의 서로 마주하는 클램프핀(30)은 상기 메인 프레임(10)의 전후 방향을 따라 일정 간격으로 배치되어 복수개의 클램프핀(30) 그룹이 상기 메인 프레임(10)의 서로 마주하는 두 개의 테두리부(12) 양쪽 위치에 배치된 것을 특징으로 하는 대형 펠리클 프레임 아노다이징 지그.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 클램핑 작동수단은, 상기 클램핑 지지체(20)의 상면에서 저면으로 관통된 나사홀(42)과, 상기 클램프핀(30)의 외주면에 구비되어 상기 클램핑 지지체(20)의 상기 나사홀(42)에 볼트 조임식으로 상기 클램프핀(30)을 결합시키는 나사부(44)를 포함하는 것을 특징으로 하는 대형 펠리클 프레임 아노다이징 지그.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 클램프핀(30) 외주면의 상기 나사부(44)에 결합된 록킹 너트(52)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 대형 펠리클 프레임 아노다이징 지그.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 클램프핀(30)은 선단부에 각각 포인트 접점부(32)가 구비되어, 상기 포인트 접점부(32)가 상기 펠리클 프레임(4)의 측면부(4SF)에 구비된 오목홈(4a)에 점접촉 상태로 상기 서로 마주하는 한 쌍의 클램프핀(30)이 상기 펠리클 프레임(4)을 지지하는 것을 특징으로 하는 대형 펠리클 프레임 아노다이징 지그.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 클램핑 지지체(20)에 구비되어 서로 마주하도록 배치된 상기 한 쌍의 클램프핀(30) 중에서 하나의 클램프핀(30)은 서로 마주하는 한 쌍의 클램핑 지지체(20) 중에서 하나의 클램핑 지지체(20)에 고정 지지된 고정 클램프핀(30B)과, 다른 클램핑 지지체(20)에 전후진 가능하게 설치된 가변 클램프핀(30A)으로 구성된 것을 특징으로 하는 대형 펠리클 프레임 아노다이징 지그.
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