KR101320027B1 - 연마 장치 및 연마 방법 - Google Patents

연마 장치 및 연마 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR101320027B1
KR101320027B1 KR1020110101874A KR20110101874A KR101320027B1 KR 101320027 B1 KR101320027 B1 KR 101320027B1 KR 1020110101874 A KR1020110101874 A KR 1020110101874A KR 20110101874 A KR20110101874 A KR 20110101874A KR 101320027 B1 KR101320027 B1 KR 101320027B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
workpiece
polishing
polishing wheel
unit
frame
Prior art date
Application number
KR1020110101874A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20130037464A (ko
Inventor
김만기
Original Assignee
주식회사 포스코
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 포스코 filed Critical 주식회사 포스코
Priority to KR1020110101874A priority Critical patent/KR101320027B1/ko
Publication of KR20130037464A publication Critical patent/KR20130037464A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101320027B1 publication Critical patent/KR101320027B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B7/00—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor
    • B24B7/10—Single-purpose machines or devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B41/00—Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
    • B24B41/06—Work supports, e.g. adjustable steadies
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B47/00—Drives or gearings; Equipment therefor
    • B24B47/10—Drives or gearings; Equipment therefor for rotating or reciprocating working-spindles carrying grinding wheels or workpieces
    • B24B47/12—Drives or gearings; Equipment therefor for rotating or reciprocating working-spindles carrying grinding wheels or workpieces by mechanical gearing or electric power

Abstract

본 발명은 피처리물의 표면에 부착된 개재물을 제거할 수 있는 연마 장치 및 연마 방법에 관한 것으로,
본 발명의 일 실시예에 따른 연마 장치는, 내부에 피처리물이 수용되는 공간이 형성된 프레임; 상기 프레임의 내측에 형성되고 상기 피처리물을 수평 방향으로 이동시키는 수평 이동부; 상기 피처리물의 표면을 접촉 연마하는 연마휠을 구비한 연마휠부; 및, 상기 연마휠부를 상하 이동 및 전후진 이동시키는 연마휠 이동부를 포함한다.

Description

연마 장치 및 연마 방법{APPARATUS AND METHOD FOR POLISHING}
본 발명은 연마 장치 및 연마 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 피처리물의 표면에 부착된 개재물 등의 이물질을 제거할 수 있는 연마 장치 및 연마 방법에 관한 것이다.
피처리물의 표면에 부착된 이물질을 제거하는 연마 장치는 다양한 분야에서 사용되고 있다. 예를 들어, 반도체 분야에서는 웨이퍼의 표면의 미세 이물질을 연마하여 제거하기 위한 연마 장치가 있다. 또한, 가정은 물론 다양한 산업분야에서 사용하는 칼 등을 연마하는 연마석과 이를 구동하는 연마 장치가 있다. 광학 분야에서는 구면 표면을 정밀하게 제어하여 연마하는 연마 장치가 있다.
한편, 제철소에서 실시되는 여러 공정 중에서 용강으로부터 주편을 인발하여 슬라브 등의 반제품을 생산하는 연속주조 공정이 있다. 이 연속주조 공정에서 용강의 저장 및 용강 내에 함유된 개재물을 분리 부상하기 위해 턴디쉬(Tundish, 10)를 사용하고 있으며, 턴디쉬 내의 용강의 유동 제어와 개재물 분리 부상을 위해 내화물로 구성된 메인댐(Main Dam)(20)을 사용하고 있다.(도 1 참조)
연속주조 작업 중에 래들 슬래그(Ladle Slag), 염기성 플럭스(Flux)를 포집한 개재물(21)들은 턴디쉬의 메인댐에 필름 형태로 부착된다. 연속주조 작업이 완료된 턴디쉬는 수리 작업장으로 보내어지고, 수리 작업장에서는 메인댐을 회수하여 다음 사용될 턴디쉬에 회수된 메인댐을 축조하여 재사용가능하도록 한다.
재사용 메인댐(22)은 그 양쪽 표면에 상기 필름 형태의 개재물이 부착되어 있으므로, 이대로 새로운 연속주조 작업이 진행되면 메인댐에 부착된 개재물은 턴디쉬 내에 저장된 고온의 용강에 의해 녹게 되고, 녹은 개재물이 용강에 스며들어서 최종적으로 생산되는 슬라브 등의 반제품에 제품 결함이 생기게 하는 문제점이 있다.
한편, 연속주조 작업을 할 때마다, 새로운 메인댐을 사용하면 메인댐 가격만큼 생산 비용이 상승되는 문제점이 있다. 이를 해소하기 위해, 현재 망치나 정 등을 사용하여 수작업으로 메인댐의 양쪽 표면에 부착된 필름 형태의 개재물을 제거하여 회수된 메인댐을 재사용하고 있으나, 수작업시에 메인댐에 충격이 가해져서 메인댐의 형태, 강도 등이 손상되고 메인댐의 형태 변형으로 인해 메인댐 시공 위치가 불량해지는 문제점이 있다. 또한, 수작업으로 진행되므로 개재물이 충분히 제거되지 않고, 인력 부하가 증가하는 문제점이 있다.
한국공개특허 2010-0025930
본 발명의 일 기술적 과제는 피처리물의 표면에 부착된 개재물등의 이물질을 제거할 수 있는 연마 장치 및 연마 방법을 제공하는 데 있다.
또한, 본 발명의 일 기술적 과제는 제철소 연속주조 작업시 사용되는 메인댐을 재사용하면서도 제품 결함을 방지할 수 있는 연마 장치 및 연마 방법을 제공하는 데 있다.
또한, 본 발명의 일 기술적 과제는 제철소에서의 제품 생산성을 향상시킬 수 있는 연마 장치 및 연마 방법을 제공하는 데 있다.
본 발명의 일 실시 형태에 따른 연마 장치는,
피처리물의 표면에 부착된 이물질을 제거하는 연마 장치로서, 내부에 피처리물이 수용되는 공간이 형성된 프레임; 상기 프레임의 내측에 형성되고 상기 피처리물을 수평 방향으로 이동시키는 수평 이동부; 상기 피처리물의 표면을 접촉 연마하는 연마휠을 구비한 연마휠부; 및, 상기 연마휠부를 상하 이동 및 전후진 이동시키는 연마휠 이동부를 포함한다.
상기 수평 이동부는, 상기 프레임의 상부 내측에 형성된 상부 가이드 봉과,
상기 상부 가이드 봉에 관통되며 상기 피처리물의 상면을 고정하는 상부 고정 부재와, 상기 프레임의 하부 내측에 형성된 하부 가이드 봉과, 상기 하부 가이드 봉에 관통되며 상기 피처리물의 하면을 고정하는 하부 고정 부재와, 상기 하부 가이드 봉을 회전시키는 수평 이동 모터를 포함할 수 있다.
상기 하부 가이드 봉은 복수 개의 나사산이 형성할 수 있다.
상기 연마휠부는, 상기 피처리물의 표면에 접촉하여 연마하는 연마휠과, 상기 연마휠을 회전시키는 연마용 모터를 포함할 수 있다.
상기 연마휠 이동부는, 상기 연마휠부를 상기 피처리물의 표면 방향에 대해 전후진 이동시키는 전후진 이동 유닛과, 상기 전후진 이동 유닛을 수직 방향으로 상하 이동시키는 상하 이동 유닛을 포함할 수 있다.
상기 전후진 이동 유닛은, 상기 연마휠부를 고정 지지하는 제1 베이스와, 상기 제1 베이스의 배면에 수평 방향으로 형성된 제1 관통 부재와, 상기 제1 관통 부재에 수평 방향으로 관통되는 제1 스크류 봉과, 상기 제1 스크류 봉을 회전시키는 전후 주행 모터를 포함할 수 있다.
상기 상하 이동 유닛은, 상기 전후진 이동 유닛을 고정 지지하는 제2 베이스와, 상기 제2 베이스의 배면에 수직 방향으로 형성된 제2 관통 부재와, 상기 제2 관통 부재에 수직 방향으로 관통되는 제2 스크류 봉과, 상기 제2 스크류 봉을 회전시키는 수직 주행 모터를 포함할 수 있다.
한편, 상기 연마휠부 및 상기 연마휠 이동부는 상기 프레임의 전면과 후면에 대칭하여 한쌍으로 구비될 수 있다.
한편, 상기 프레임의 내측에 형성되고 상기 피처리물을 회전시키는 피처리물 회전부를 더 포함할 수 있다.
상기 피처리물 회전부는, 상기 수평 이동부를 구성하는 상부 고정 부재의 하부와 하부 고정 부재의 상부에 설치되며, 상기 피처리물을 고정하면서 축회전 가능한 회전 부재를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 형태에 따른 연마 방법은, 피처리물의 표면에 부착된 이물질을 제거하는 연마 방법으로서, 피처리물을 준비하는 과정; 상기 피처리물을 수직 방향으로 고정시키는 과정; 및, 상기 피처리물을 수평 방향으로 연마한 후, 수직 방향으로 연마하는 과정을 반복 실시하여 상기 피처리물의 전체 표면을 연마하는 과정을 포함한다.
상기 피처리물의 전체 표면을 연마하는 과정은 상기 피처리물의 전면 및 후면을 동시에 연마하도록 수행될 수 있다.
상기 피처리물의 전체 표면을 연마하는 과정은 상기 피처리물의 전면을 연마한 후, 상기 피처리물을 회전시킨 다음, 상기 피처리물의 후면을 연마하도록 수행될 수 있다.
상기한 바와 같은 본 발명의 실시 형태에 의하면, 피처리물의 표면에 부착된 개재물 등의 이물질을 신속하고 효과적으로 제거할 수 있다. 또한, 제철소 연속주조 작업시 사용되는 메인댐을 재사용하면서도 최종적으로 생산되는 슬라브 등의 반제품에 제품 결함을 방지할 수 있고 새로운 메인댐의 사용을 줄일 수 있게 되어 생산 비용을 절감할 수 있다. 또한, 수작업시 생기는 메인댐의 손상을 방지하여 제품 생산성을 향상시킬 수 있다.
도 1은 연속주조 공정에서 사용되는 턴디쉬 및 이 턴디쉬에 설치되는 메인댐을 보여주는 사진,
도 2는 연속주조 공정에서 사용된 메인댐을 회수하여 턴디쉬에 축조한 것으로, 메인댐의 표면에 개재물이 부착된 모습을 보여주는 사진,
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 연마 장치를 도시한 사시도,
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 연마 장치를 도시한 정면도,
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 연마 장치를 다른 측면에서 바라본 사시도,
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 연마 장치를 도시한 사시도,
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 연마 장치의 동작 상태를 예시한 사시도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 우선, 도면들 중 동일한 구성요소 또는 부품들은 가능한 한 동일한 참조부호를 나타내고 있음에 유의해야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 모호하게 하지 않기 위해 생략한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 연마 장치를 도시한 사시도, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 연마 장치를 도시한 정면도, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 연마 장치를 다른 측면에서 바라본 사시도, 도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 연마 장치를 도시한 사시도이다. 참고로, 도 4에서는 도 3의 전후 주행 모터(414)가 생략되어 도시되어 있다.
도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 연마 장치는, 내부에 피처리물(A)이 수용되는 공간이 형성된 프레임(100)과, 상기 프레임의 내측에 형성되고 상기 피처리물을 수평 방향으로 이동시키는 수평 이동부(200)와, 상기 피처리물의 표면을 접촉 연마하는 연마휠을 구비한 연마휠부(300)와, 상기 연마휠부를 상하 이동 및 전후진 이동시키는 연마휠 이동부(400)를 포함한다.
상기 프레임(100)은 그 내부에 피처리물이 수용될 수 있는 공간이 형성된다. 피처리물은 이 공간에서 좌우로 수평 방향 이동을 할 수 있다. 이를 위해 상기 프레임(100)은 직사각형 형상으로 형성될 수 있다. 물론, 직사각형 형상에 한정되는 것은 아니다.
상기 프레임(100)의 내측에는 상기 피처리물을 좌우 수평 방향으로 이동시키는 수평 이동부(200)가 설치된다. 상기 연마휠(310)이 피처리물 표면에 접촉한 상태에서 수평 이동부(200)가 피처리물을 좌우로 이동시켜서 연마휠(310)에 의해 피처리물의 표면에 부착된 개재물이 제거되도록 한다.
보다 구체적으로, 상기 수평 이동부(200)는, 상기 프레임(100)의 상부 내측에 형성된 상부 가이드 봉(211)과, 상기 상부 가이드 봉에 관통되며 상기 피처리물의 상면을 고정하는 상부 고정 부재(221)와, 상기 프레임의 하부 내측에 형성된 하부 가이드 봉(212)과, 상기 하부 가이드 봉에 관통되며 상기 피처리물의 하면을 고정하는 하부 고정 부재(222)와, 상기 하부 가이드 봉을 회전시키는 수평 이동 모터(230)를 포함할 수 있다.
상부 가이드 봉(211)과 하부 가이드 봉(212)은 고정 부재들이 피처리물을 고정한 채로 좌우로 이동되도록 가이드한다. 상부 가이드 봉(211)은 상부 고정 부재(221)가 슬라이딩 가능하도록 그 외주면이 매끈하게 형성되어 있으나, 하부 가이드 봉(212)은 그 외주면에 복수 개의 나사산이 형성된다. 또한, 상부 가이드 봉(211)에 관통되는 상부 고정 부재(221)의 관통구 내면은 슬라이딩 가능하도록 매끈하게 형성되어 있으나, 하부 가이드 봉(212)에 관통되는 하부 고정 부재(222)의 관통구 내면은 하부 가이드 봉(212)의 외주면에 형성된 나사산과 맞물리는 나사골이 형성된다. 상기 하부 가이드 봉(212)은 상기 수평 이동 모터(230)와 연결 설치된다. 하부 가이드 봉(212)의 나사산과 하부 고정 부재(222)의 나사골이 맞물리도록 되어 있어서 상기 수평 이동 모터(230)의 회전에 의해 하부 고정 부재(222)가 피처리물의 하면을 고정한 채로 좌우 수평 방향으로 이동할 수 있다. 한편, 상부 고정 부재(221)는 상부 가이드 봉(211)에 슬라이딩 가능하도록 관통되어 있으므로, 하부 고정 부재(222)에 의해 피처리물이 이동하게 되면, 피처리물의 상면을 고정하는 상부 고정 부재(221)도 함께 이동하게 된다.
상기 연마휠부(300)는 상기 피처리물의 표면에 접촉하여 연마하는 연마휠(310)과, 상기 연마휠을 회전시키는 연마용 모터(320)를 구비한다. 연마휠(310)에 부착되는 연마재는 피처리물에 성질에 따라 다른 물질을 사용할 수 있으며, 특히, 제철소의 연속주조 공정에 사용되는 턴디쉬의 메인댐 표면을 연마하는 물질로는 시중에서 시판되고 있는 여러 종류의 연마석을 사용할 수 있다.
상기 연마휠 이동부(400)는 연마휠부(300)를 상하 및 전후진 이동시키면서 연마휠(310)에 의해 피처리물의 표면 전체가 골고루 연마될 수 있도록 한다. 이를 위해, 상기 연마휠 이동부(400)는, 전후진 이동 유닛(410)과 상하 이동 유닛(420)을 포함한다. 상기 전후진 이동 유닛(410)은 연마휠부(300)를 피처리물의 표면 방향에 대해 전후진 이동시킨다.
상기 전후진 이동 유닛(410)은 연마휠부(300)를 고정 지지하는 제1 베이스(411)를 포함하는데, 제1 베이스(411)의 배면에는 제1 관통 부재(412)가 수평 방향으로 형성된다. 제1 관통 부재(412)는 제1 스크류 봉(413)에 관통되어 형성된다. 제1 스크류 봉(413)의 외주면에는 복수 개의 나사산이 형성되고, 제1 관통 부재(412)의 관통구 내면에는 이 나사산과 맞물리는 나사골이 형성된다. 그리고, 제1 스크류 봉(413)은 전후 주행 모터(414)와 연결 설치된다. 제1 스크류 봉(413)의 나사산과 제1 관통 부재(412)의 나사골이 맞물리도록 되어 있어서 상기 전후 주행 모터(414)의 회전에 의해 제1 관통 부재(412)가 전후진하게 되며, 제1 관통 부재(412)가 고정된 제1 베이스(411)도 함께 전후진하게 된다. 이에 따라, 연마휠부(300)는 피처리물의 표면 방향에 대해 전후진하게 된다.
상기 상하 이동 유닛(420)은 전후진 이동 유닛을 고정 지지하는 제2 베이스(421)를 포함하는데, 제2 베이스(421)의 배면에는 제2 관통 부재(422)가 수직 방향으로 형성된다. 제2 관통 부재(422)는 제2 스크류 봉(423)에 수직 방향으로 관통되어 형성된다. 제2 스크류 봉(423)의 외주면에는 복수 개의 나사산이 형성되고, 제2 관통 부재(422)의 관통구 내면에는 이 나사산과 맞물리는 나사골이 형성된다. 그리고, 제2 스크류 봉(423)은 수직 주행 모터(424)와 연결 설치된다. 제2 스크류 봉(423)의 나사산과 제2 관통 부재(422)의 나사골이 맞물리도록 되어 있어서 상기 수직 주행 모터(424)의 회전에 의해 제2 관통 부재(422)가 수직 방향으로 상하 이동하게 되며, 제2 관통 부재(422)가 고정된 제2 베이스(421)도 함께 상하 이동하게 된다. 이에 따라, 전후진 이동 유닛(410) 및 연마휠부(300)는 수직 방향으로 상하 이동하게 되며, 연마휠(310)이 피처리물의 표면에 접촉한 상태에서 상하 이동 유닛(420)을 구동하면 피처리물의 표면을 수직 방향으로 연마한다.
상기의 설명에서는 연마휠부(300) 및 연마휠 이동부(400)가 프레임(100)의 전면에 설치되는 것으로 설명하였으나, 도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 연마휠부(300) 및 연마휠 이동부(400)는 프레임(100)의 전면과 후면에 대칭하여 한쌍으로 구비되는 것이 바람직하다. 한쌍으로 구비되면 피처리물(예를 들어 턴디쉬의 메인댐)의 전면과 후면을 동시에 연마하여 피처리물의 양쪽 면에 부착된 개재물을 신속하게 제거할 수 있다.
도 3 내지 도 5에 도시된 연마 장치를 사용하여 피처리물의 양쪽 표면을 연마하는 과정은 다음과 같다.
피처리물(A)을 상부 고정 부재(221) 및 하부 고정 부재(222)에 의해 고정되도록 설치한다. 이때 피처리물을 연마 장치의 프레임에 수직으로 고정되도록 설치하고, 프레임(100)의 전면과 후면에 대칭하여 한쌍으로 구비된 전후 주행 모터(414)를 가동하여 한쌍의 연마휠(310)이 피처리물의 양쪽 표면에 접촉하도록 연마휠부(300)를 전진시키고 한쌍의 연마용 모터(320)를 가동하여 한쌍의 연마휠(310)을 회전시킨다. 이때, 연마휠(310)이 피처리물의 가장자리에 위치되도록 하는 것이 바람직하다. 즉, 피처리물이 사각형 형상인 경우, 연마휠(310)이 피처리물의 4 꼭지점 중 어느 하나에 위치되도록 한다. 도 7에서는 초기에 왼쪽 상부 꼭지점 부분에 연마휠(310)이 위치되어서 연마가 진행되는 상태를 예시하였다.
그 다음, 수평 이동 모터(230)를 가동하여 상부 고정 부재(221) 및 하부 고정 부재(222), 그리고 이에 고정된 피처리물이 오른쪽 방향으로 이동되면서 회전하는 한쌍의 연마휠(310)에 의해 피처리물의 양쪽 표면이 수평 방향으로 연마되도록 한다.
수평 방향 연마가 완료되면 한쌍의 수직 주행 모터(424)를 가동하여 연마휠(310)이 소정 거리만큼 아래로 내려가도록 한 후, 수직 주행 모터의 가동을 중지하고, 다시 수평 이동 모터(230)를 반대 방향으로 가동하여 상부 고정 부재(221) 및 하부 고정 부재(222), 그리고 이에 고정된 피처리물이 왼쪽 방향으로 이동되면서 회전하는 한쌍의 연마휠(310)에 의해 피처리물의 양쪽 표면이 수평 방향으로 연마되도록 한다.
이러한 과정을 피처리물 전체 표면에 대해 반복하여 실시한다.
한편, 연마휠부(300) 및 연마휠 이동부(400)가 프레임(100)의 전면에만 설치되는 경우에는, 피처리물의 전면을 연마한 후에, 피처리물을 연마 장치에서 분리한 후, 후면이 연마되도록 재설치하고 연마 장치를 구동하여 피처리물의 양쪽 면에 부착된 개재물을 제거할 수 있다. 이 경우에는, 전면 연마 -> 피처리물 분리 -> 후면 연마를 실시하여야 하므로 다소 번거로울 수 있다. 이러한 번거로움은 후술하는 본 발명의 다른 실시예에 따른 연마 장치를 통해 해소될 수 있다.
이하, 도 6을 참조하여 본 발명의 다른 실시예에 따른 연마 장치를 설명한다.
도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 연마 장치는 프레임의 내측에 형성되고 피처리물을 회전시키는 피처리물 회전부(500)를 더 포함한다. 전술한 일 실시예에 따른 연마 장치와 동일한 도면 부호는 동일한 구성 요소이므로 이에 대한 설명은 중복되어 생략한다.
상기 피처리물 회전부(500)는 수평 이동부(200)를 구성하는 상부 고정 부재(221)의 하부와 하부 고정 부재(222)의 상부에 설치되며, 피처리물을 고정하면서 축회전 가능한 회전 부재(510, 520)를 포함한다. 상부 고정 부재(221)의 하부에는 상부 회전 부재(510)가 설치되고 하부 고정 부재(222)의 상부에는 하부 회전 부재(520)가 설치된다. 피처리물의 전면을 연마하는 중에는 상기 회전 부재(510, 520)는 상부 고정 부재(221) 및 하부 고정 부재(222)와 결합된 상태를 유지하면서 수평 이동 모터(230)의 회전에 따라 좌우 수평 방향으로 이동하여 피처리물의 전면을 수평 방향으로 연마한다. 피처리물의 전면 연마가 완료되면, 회전 부재(510, 520)는 상부 고정 부재(221) 및 하부 고정 부재(222)와 결합된 상태를 해제하고 피처리물을 고정하면서 180도 회전하여 피처리물의 후면이 전면에 노출되도록 한 후, 다시 상부 고정 부재(221) 및 하부 고정 부재(222)에 결합되도록 한다. 이후, 결합된 상태를 유지하면서 수평 이동 모터(230)의 회전에 따라 좌우 수평 방향으로 이동하여 피처리물의 후면을 수평 방향으로 연마하여 피처리물의 양쪽 표면을 연마할 수 있다.
본 발명의 연마 장치는, 턴디쉬의 메인댐 양쪽 표면에 부착된 이물질 제거에 효과적이며, 이 뿐만 아니라, 다양한 피처리물을 대상으로 하여 적용할 수 있다.
이상과 같이 본 발명에 따른 연마 장치를 예시한 도면을 참조로 하여 설명하였으나, 본 명세서에 개시된 실시예와 도면에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술사상 범위 내에서 당업자에 의해 다양한 변형이 이루어질 수 있음은 물론이다.
100 : 프레임 200 : 수평 이동부
300 : 연마휠부 400 : 연마휠 이동부
500 : 피처리물 회전부 A : 피처리물

Claims (13)

  1. 피처리물의 표면에 부착된 이물질을 제거하는 연마 장치로서,
    내부에 피처리물이 수용되는 공간이 형성된 프레임;
    상기 프레임의 내측에 형성되고 상기 피처리물을 수평 방향으로 이동시키는 수평 이동부;
    상기 피처리물의 표면을 접촉 연마하는 연마휠을 구비한 연마휠부; 및,
    상기 연마휠부를 상하 이동 및 전후진 이동시키는 연마휠 이동부
    를 포함하고,
    상기 연마휠 이동부는,
    상기 연마휠부를 상기 피처리물의 표면 방향에 대해 전후진 이동시키는 전후진 이동 유닛과,
    상기 전후진 이동 유닛을 수직 방향으로 상하 이동시키는 상하 이동 유닛을 포함하는 연마 장치.
  2. 피처리물의 표면에 부착된 이물질을 제거하는 연마 장치로서,
    내부에 피처리물이 수용되는 공간이 형성된 프레임;
    상기 프레임의 내측에 형성되고 상기 피처리물을 수평 방향으로 이동시키는 수평 이동부;
    상기 피처리물의 표면을 접촉 연마하는 연마휠을 구비한 연마휠부;
    상기 연마휠부를 상하 이동 및 전후진 이동시키는 연마휠 이동부; 및,
    상기 프레임의 내측에 형성되고 상기 피처리물을 회전시키는 피처리물 회전부를 포함하는 연마 장치.
  3. 청구항 2에 있어서, 상기 연마휠 이동부는,
    상기 연마휠부를 상기 피처리물의 표면 방향에 대해 전후진 이동시키는 전후진 이동 유닛과,
    상기 전후진 이동 유닛을 수직 방향으로 상하 이동시키는 상하 이동 유닛을 포함하는 연마 장치.
  4. 청구항 2에 있어서, 상기 피처리물 회전부는,
    상기 수평 이동부를 구성하는 상부 고정 부재의 하부와 하부 고정 부재의 상부에 설치되며, 상기 피처리물을 고정하면서 축회전 가능한 회전 부재를 포함하는 연마 장치.
  5. 청구항 1내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서, 상기 수평 이동부는,
    상기 프레임의 상부 내측에 형성된 상부 가이드 봉과,
    상기 상부 가이드 봉에 관통되며 상기 피처리물의 상면을 고정하는 상부 고정 부재와,
    상기 프레임의 하부 내측에 형성된 하부 가이드 봉과,
    상기 하부 가이드 봉에 관통되며 상기 피처리물의 하면을 고정하는 하부 고정 부재와,
    상기 하부 가이드 봉을 회전시키는 수평 이동 모터를 포함하는 연마 장치.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 하부 가이드 봉은 복수 개의 나사산이 형성된 연마 장치.
  7. 청구항 1내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서, 상기 연마휠부는,
    상기 피처리물의 표면에 접촉하여 연마하는 연마휠과,
    상기 연마휠을 회전시키는 연마용 모터를 포함하는 연마 장치.
  8. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서, 상기 전후진 이동 유닛은,
    상기 연마휠부를 고정 지지하는 제1 베이스와,
    상기 제1 베이스의 배면에 수평 방향으로 형성된 제1 관통 부재와,
    상기 제1 관통 부재에 수평 방향으로 관통되는 제1 스크류 봉과,
    상기 제1 스크류 봉을 회전시키는 전후 주행 모터를 포함하는 연마 장치.
  9. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서, 상기 상하 이동 유닛은,
    상기 전후진 이동 유닛을 고정 지지하는 제2 베이스와,
    상기 제2 베이스의 배면에 수직 방향으로 형성된 제2 관통 부재와,
    상기 제2 관통 부재에 수직 방향으로 관통되는 제2 스크류 봉과,
    상기 제2 스크류 봉을 회전시키는 수직 주행 모터를 포함하는 연마 장치.
  10. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 연마휠부 및 상기 연마휠 이동부는 상기 프레임의 전면과 후면에 대칭하여 한쌍으로 구비되는 연마 장치.
  11. 피처리물의 표면에 부착된 이물질을 제거하는 연마 방법으로서,
    피처리물을 준비하는 과정;
    상기 피처리물을 수직 방향으로 고정시키는 과정; 및,
    상기 피처리물을 수평 방향으로 연마한 후, 수직 방향으로 연마하는 과정을 반복 실시하여 상기 피처리물의 전체 표면을 연마하는 과정
    을 포함하는 연마 방법.
  12. 청구항 11에 있어서,
    상기 피처리물의 전체 표면을 연마하는 과정은 상기 피처리물의 전면 및 후면을 동시에 연마하는 연마 방법.
  13. 청구항 11에 있어서,
    상기 피처리물의 전체 표면을 연마하는 과정은 상기 피처리물의 전면을 연마한 후, 상기 피처리물을 회전시킨 다음, 상기 피처리물의 후면을 연마하는 연마 방법.
KR1020110101874A 2011-10-06 2011-10-06 연마 장치 및 연마 방법 KR101320027B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110101874A KR101320027B1 (ko) 2011-10-06 2011-10-06 연마 장치 및 연마 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110101874A KR101320027B1 (ko) 2011-10-06 2011-10-06 연마 장치 및 연마 방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20130037464A KR20130037464A (ko) 2013-04-16
KR101320027B1 true KR101320027B1 (ko) 2013-10-21

Family

ID=48438448

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020110101874A KR101320027B1 (ko) 2011-10-06 2011-10-06 연마 장치 및 연마 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101320027B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110193781A (zh) * 2019-06-24 2019-09-03 江苏守航实业有限公司 一种改进型半导体材料生产技术设备

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114750053A (zh) * 2022-04-15 2022-07-15 鲍守骏 一种灰墨铸铁平台表面抛光处理系统

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0516172U (ja) * 1991-03-18 1993-03-02 太平洋工業株式会社 直角座標ロボツトのスライド案内機構
JP2002079431A (ja) * 2000-09-07 2002-03-19 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 平板加工機
JP2007508952A (ja) * 2003-10-24 2007-04-12 デュフィウ アンデュストリ パネルの機械加工のためのプロセスおよび装置
JP2010064228A (ja) * 2008-09-12 2010-03-25 Jtekt Corp レスト装置を備える工作機械およびレスト装置を用いる加工方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0516172U (ja) * 1991-03-18 1993-03-02 太平洋工業株式会社 直角座標ロボツトのスライド案内機構
JP2002079431A (ja) * 2000-09-07 2002-03-19 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 平板加工機
JP2007508952A (ja) * 2003-10-24 2007-04-12 デュフィウ アンデュストリ パネルの機械加工のためのプロセスおよび装置
JP2010064228A (ja) * 2008-09-12 2010-03-25 Jtekt Corp レスト装置を備える工作機械およびレスト装置を用いる加工方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110193781A (zh) * 2019-06-24 2019-09-03 江苏守航实业有限公司 一种改进型半导体材料生产技术设备

Also Published As

Publication number Publication date
KR20130037464A (ko) 2013-04-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW201231219A (en) Grinding/polishing device for polygonal column member and grinding/polishing method
JP2007320020A (ja) プロファイル研削盤
CN102371523B (zh) 树脂成形品分型线研磨装置及其研磨方法
JP5644778B2 (ja) ガラス板の加工装置
CN205166577U (zh) 机械手打磨装置
KR101320027B1 (ko) 연마 장치 및 연마 방법
JP2018524187A (ja) 加工対象物を機械加工するための研削機械および方法
JP2019034396A (ja) 全自動バリ取り機およびフローティング機構
KR20160035323A (ko) 석재 쌍방향 가공 장치
RU2684034C1 (ru) Способ ремонта зубьев зубчатого колеса
CN105382376A (zh) 3d数控切割回转头及3d数控切割机
CN204935338U (zh) 一种轴类零件批量化光整加工装置
JP2009196037A (ja) 研削装置及び研削制御方法
KR101863027B1 (ko) 인서트팁 연마장치
JP2009050996A (ja) バリ取り装置
CN107671616A (zh) 一种不锈钢管全自动切割设备的平整机构
CN206839763U (zh) 一种去除毛刺的装置
JP5103506B2 (ja) 研削加工方法
JP5748943B2 (ja) 鋳片の研削方法
CN205009006U (zh) 板坯端面打磨机
KR101597340B1 (ko) 슬라이더장치가 구비된 디버링장치 및 그 운용방법
CN205085777U (zh) 靠模打磨机
KR101589740B1 (ko) 프레스의 상부 금형대용 저면 연마장치
TWI628044B (zh) 工作件加工裝置
JP2011194533A (ja) ドレッサ付き複合平面研削装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20161014

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20191015

Year of fee payment: 7