KR101312802B1 - Bonding layer forming solution and method of forming bonding layer - Google Patents

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Abstract

본 발명은 접착층의 형성 성능을 용이하게 유지할 수 있고 수지와의 밀착성을 확보할 수 있는 접착층 형성액, 및 이것을 이용한 접착층 형성 방법을 제공한다. The present invention provides an adhesive layer forming liquid capable of easily maintaining the formation performance of the adhesive layer and ensuring adhesion with the resin, and a method of forming the adhesive layer using the same.

본 발명의 접착층 형성액은 구리와 수지를 접착시키기 위한 접착층을 형성하는 접착층 형성액으로서, 산, 제1주석염, 제2주석염, 착화제, 및 안정화제를 포함하는 수용액이고, 제조시에 상기 제1주석염의 농도를 2가 주석 이온의 농도로서 A 질량%로 하고, 상기 제2주석염의 농도를 4가 주석 이온의 농도로서 B 질량%로 한 때에, B/A의 값이 0.010 이상 1.000 이하가 되도록 제조된 것을 특징으로 한다. The adhesive layer forming liquid of the present invention is an adhesive layer forming liquid for forming an adhesive layer for bonding copper and resin, and is an aqueous solution containing an acid, a first tin salt, a second tin salt, a complexing agent, and a stabilizer. When the concentration of the first tin salt is A mass% as the concentration of divalent tin ions, and the concentration of the second tin salt is B mass% as the concentration of tetravalent tin ions, the value of B / A is 0.010 or more and 1.000. It is characterized in that it is manufactured to be below.

접착층, 접착층 형성액, 산, 제1주석염, 제2주석염, 착화제, 안정화제, 주석 이온, 티오요소, 글리콜, 글리콜에스테르, 주석 박리액 Adhesive layer, adhesive layer forming solution, acid, stannous salt, stannous salt, complexing agent, stabilizer, tin ion, thiourea, glycol, glycol ester, tin stripping solution

Description

접착층 형성액 및 접착층 형성 방법{BONDING LAYER FORMING SOLUTION AND METHOD OF FORMING BONDING LAYER}Adhesive layer forming liquid and adhesive layer forming method {BONDING LAYER FORMING SOLUTION AND METHOD OF FORMING BONDING LAYER}

본 발명은 구리와 수지를 접착시키기 위한 접착층을 형성하는 접착층 형성액, 및 이것을 이용한 접착층 형성 방법에 관한 것이다. The present invention relates to an adhesive layer forming liquid for forming an adhesive layer for bonding copper and a resin, and a method for forming an adhesive layer using the same.

일반적인 다층 배선판은 표면에 구리를 포함하는 도전층을 갖는 내층 기판이, 프리프래그를 사이에 두고 다른 내층 기판이나 동박과 적층 프레스되어 제조된다. 도전층 사이는 공벽이 구리 도금된 스루 홀(through hole)이라 불리는 관통 구멍에 의해 전기적으로 접속되어 있다. 상기 내층 기판의 도전층 표면에는 프리프래그와의 접착성을 향상시키기 위해서, 하기 특허 문헌 1 및 2 등에 기재된 주석 도금액에 의해 주석 도금층(접착층)을 형성하는 경우가 있다. A general multilayer wiring board is produced by laminating and pressing an inner layer substrate having a conductive layer containing copper on its surface with another inner layer substrate or copper foil with a prepreg interposed therebetween. The conductive wall is electrically connected by a through hole called a through hole in which the hollow wall is copper plated. In order to improve the adhesiveness with a prepreg, the tin plating layer (adhesive layer) may be formed in the conductive layer surface of the said inner layer board by the tin plating liquids described in following patent documents 1 and 2, etc.

그러나, 특허 문헌 1 및 2에 기재된 주석 도금액은 제1주석염을 주석원으로서 이용하기 때문에, 사용시 공기 산화 등에 의해 2가의 주석 이온(Sn2 +)이 4가의 주석 이온(Sn4 +)으로 산화되어 버려, 도금 부착성이 저하되고, 나아가서는 수지와의 밀착성이 저하되어 버린다는 문제가 있었다. However, the oxidation of tin plating solution of claim because the use of stannous salts of tin source, a divalent tin ion or the like using air oxidation (Sn 2 +) a tetravalent tin ions (Sn 4 +) as described in Patent Documents 1 and 2 It has become a problem, plating adhesion falls, and also there exists a problem that adhesiveness with resin falls.

상기 문제에 대하여, 하기 특허 문헌 3 및 4에는 금속 주석을 사용하여 4가의 주석 이온을 2가의 주석 이온으로 재생시키는 방법이 제안되어 있다. Regarding the above problem, Patent Documents 3 and 4 below propose methods of regenerating tetravalent tin ions to divalent tin ions using metal tin.

[특허 문헌 1] 일본 특허 공고 (평)6-66553호 공보[Patent Document 1] Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-66553

[특허 문헌 2] 일본 특허 공표 제2004-536220호 공보[Patent Document 2] Japanese Patent Publication No. 2004-536220

[특허 문헌 3] 일본 특허 공개 (평)5-222540호 공보[Patent Document 3] Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-222540

[특허 문헌 4] 일본 특허 공개 (평)5-263258호 공보[Patent Document 4] Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-263258

그러나, 상기 특허 문헌 3 및 4의 방법에서는 주석 도금액 중의 성분의 조정이 곤란하여 실용성이 부족하다. However, in the method of the said patent documents 3 and 4, adjustment of the component in a tin plating liquid is difficult and its practicality is lacking.

본 발명은 상기 실정을 감안하여 이루어진 것으로서, 접착층의 형성 성능을 용이하게 유지할 수 있고 수지와의 밀착성을 확보할 수 있는 접착층 형성액, 및 이것을 이용한 접착층 형성 방법을 제공한다. This invention is made | formed in view of the said situation, and provides the adhesive layer forming liquid which can maintain the formation performance of an adhesive layer easily, and can ensure adhesiveness with resin, and the adhesive layer forming method using the same.

본 발명의 접착층 형성액은 구리와 수지를 접착시키기 위한 접착층을 형성하는 접착층 형성액으로서, 산, 제1주석염, 제2주석염, 착화제, 및 안정화제를 포함하는 수용액이고, 제조시에 상기 제1주석염의 농도를 2가 주석 이온의 농도로서 A 질량%로 하고, 상기 제2주석염의 농도를 4가 주석 이온의 농도로서 B 질량%로 한 때에, B/A의 값이 0.010 이상 1.000 이하가 되도록 제조된 것을 특징으로 한다. The adhesive layer forming liquid of the present invention is an adhesive layer forming liquid for forming an adhesive layer for bonding copper and resin, and is an aqueous solution containing an acid, a first tin salt, a second tin salt, a complexing agent, and a stabilizer. When the concentration of the first tin salt is A mass% as the concentration of divalent tin ions, and the concentration of the second tin salt is B mass% as the concentration of tetravalent tin ions, the value of B / A is 0.010 or more and 1.000. It is characterized in that it is manufactured to be below.

또한, 본 발명의 접착층 형성 방법은 구리와 수지를 접착시키기 위한 접착층을 형성하는 접착층 형성 방법으로서, 상기 본 발명의 접착층 형성액으로 구리 표면을 처리하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다. In addition, the adhesive layer forming method of the present invention is an adhesive layer forming method for forming an adhesive layer for bonding copper and resin, characterized in that it comprises a step of treating the copper surface with the adhesive layer forming liquid of the present invention.

또한, 상기 본 발명에 있어서의 「구리」는 순구리로 이루어지는 것일 수도 있고, 구리 합금으로 이루어지는 것일 수도 있다. 또한, 본 명세서에 있어서 「구리」는 순구리 또는 구리 합금을 가리킨다. In addition, "copper" in the said invention may consist of pure copper, and may consist of a copper alloy. In addition, in this specification, "copper" points out pure copper or a copper alloy.

본 발명의 접착층 형성액, 및 이것을 이용한 접착층 형성 방법에 따르면, 접착층의 형성 성능을 용이하게 유지할 수 있고 수지와의 밀착성을 확보할 수 있다.According to the adhesive layer forming liquid of this invention and the adhesive layer forming method using the same, the formation performance of an adhesive layer can be easily maintained and adhesiveness with resin can be ensured.

본 발명은 구리와 수지를 접착시키기 위해서, 구리 표면 상에 구리-주석 합금을 주성분으로 하는 접착층을 형성하는 접착층 형성액, 및 이것을 이용한 접착층 형성 방법을 대상으로 한다. 상기 구리 표면으로서는, 예를 들면, 반도체 웨이퍼, 전자 기판, 리드 프레임 등의 전자 부품, 장식품, 건재 등에 사용되는 동박(전해 동박, 압연 동박)의 표면이나, 구리 도금막(무전해 구리 도금막, 전해 구리 도금막)의 표면, 또는 선 형상, 막대 형상, 관 형상, 판 형상 등의 여러가지 용도의 구리재의 표면을 예시할 수 있다. 이하, 본 발명의 접착층 형성액의 함유 성분에 관해서 설명한다. The present invention is directed to an adhesive layer forming liquid for forming an adhesive layer containing a copper-tin alloy as a main component on a copper surface, and an adhesive layer forming method using the same in order to bond copper and a resin. As said copper surface, the surface of copper foil (electrolytic copper foil, rolled copper foil) used for electronic components, ornaments, building materials, etc., such as a semiconductor wafer, an electronic board | substrate, a lead frame, a copper plating film (electroless copper plating film, The surface of the electrolytic copper plating film) or the surface of the copper material of various uses, such as linear shape, rod shape, tubular shape, and plate shape, can be illustrated. Hereinafter, the component containing the adhesive layer forming liquid of this invention is demonstrated.

(산)(mountain)

본 발명의 접착층 형성액에 포함되는 산은 pH 조정제, 및 주석 이온의 안정화제로서 기능한다. 상기 산으로서는, 염산, 황산, 질산, 붕불화수소산, 인산 등의 무기산이나, 포름산, 아세트산, 프로피온산, 부티르산 등의 카르복실산, 메탄술폰산, 에탄술폰산 등의 알칸술폰산, 벤젠술폰산, 페놀술폰산, 크레졸술폰산 등의 방향족 술폰산 등의 수용성 유기산을 예시할 수 있다. 이 중, 황산, 염산이 접착층의 형성 속도나 제2주석염의 용해성 등의 면에서 바람직하다. 산의 바람직한 농도는 1 내지 50 질량%이고, 보다 바람직하게는 3 내지 30 질량%, 더욱 바람직하게는 5 내지 20 질량%의 범위이다. 상기 범위 내이면 밀착성이 우수한 접착층을 용이하게 형성할 수 있다. The acid contained in the adhesive layer forming liquid of the present invention functions as a pH adjuster and a stabilizer of tin ions. Examples of the acid include inorganic acids such as hydrochloric acid, sulfuric acid, nitric acid, hydrofluoric acid and phosphoric acid, carboxylic acids such as formic acid, acetic acid, propionic acid and butyric acid, alkanesulfonic acids such as methanesulfonic acid and ethanesulfonic acid, benzenesulfonic acid, phenolsulfonic acid and cresol. Water-soluble organic acids, such as aromatic sulfonic acids, such as sulfonic acid, can be illustrated. Among them, sulfuric acid and hydrochloric acid are preferred in view of the formation rate of the adhesive layer, the solubility of the second tin salt, and the like. Preferable concentration of the acid is 1 to 50 mass%, more preferably 3 to 30 mass%, still more preferably 5 to 20 mass%. If it is in the said range, the adhesive layer excellent in adhesiveness can be easily formed.

(제1주석염)(First tin salt)

본 발명에서는, 주석원으로서 제1주석염을 사용한다. 제1주석염으로서는 황산제1주석, 붕불화제1주석, 불화제1주석, 질산제1주석, 산화제1주석, 염화제1주석, 포름산제1주석, 아세트산제1주석 등을 예시할 수 있다. 제1주석염의 바람직한 농도는 2가 주석 이온의 농도로서 0.05 내지 10.00 질량%의 범위이고, 보다 바람직하게는 0.10 내지 5.00 질량%의 범위이고, 더욱 바람직하게는 0.5O 내지 3.00 질량%의 범위이다. 상기 범위 내이면 밀착성이 우수한 접착층을 용이하게 형성할 수 있다. In the present invention, stannous salt is used as the tin source. Examples of the first tin salt include stannous sulfate, stannous boride, stannous fluoride, stannous nitrate, stannous oxide, stannous chloride, stannous formate, stannous acetate, and the like. Preferred concentrations of the stannous salt are in the range of 0.05 to 10.00 mass% as the concentration of divalent tin ions, more preferably in the range of 0.10 to 5.00 mass%, still more preferably in the range of 0.5 to 3.00 mass%. If it is in the said range, the adhesive layer excellent in adhesiveness can be easily formed.

(제2주석염)(Secondary tin salt)

본 발명의 접착층 형성액은 그 제조시에 상기 제1주석염에 추가로 제2주석염이 첨가된다. 이에 따라, 연속 사용한 경우에도 접착층 형성액 내의 2가의 주석 이온이 공기 산화 등에 의해 4가의 주석 이온으로 산화되는 것을 억제할 수 있다. 상기 제2주석염으로서는, 산성 용액에 가용인 제2주석염 중에서 특별히 제한없이 사용할 수 있지만, 용해성 측면에서 상기 산과의 염류가 바람직하다. 예를 들면, 황산제2주석, 불화제2주석, 질산제2주석, 염화제2주석, 포름산제2주석, 아세트산제2주석 등을 예시할 수 있다. 제2주석염의 바람직한 농도는 4가 주석 이온의 농도로서 0.01 내지 5.00 질량%의 범위이고, 보다 바람직하게는 0.01 내지 1.50 질량%의 범위이다. 상기 범위 내이면 밀착성이 우수한 접착층을 용이하게 형성할 수 있다. In the preparation of the adhesive layer of the present invention, in addition to the first tin salt, a second tin salt is added. Accordingly, even in the case of continuous use, the oxidation of divalent tin ions in the adhesive layer forming liquid into tetravalent tin ions by air oxidation or the like can be suppressed. As said 2nd tin salt, although it can use without a restriction | limiting in particular in the 2nd tin salt soluble in an acidic solution, Salt with the said acid is preferable from a soluble viewpoint. For example, ditin sulfate, ditin tin fluoride, ditin nitrate, ditin chloride, ditin formate, ditin acetate and the like can be exemplified. Preferred concentrations of the stannic salt are in the range of 0.01 to 5.00 mass% as the concentration of tetravalent tin ions, and more preferably in the range of 0.01 to 1.50 mass%. If it is in the said range, the adhesive layer excellent in adhesiveness can be easily formed.

본 발명의 접착층 형성액은 그 제조시에 상기 제1주석염의 농도를 2가 주석 이온의 농도로서 A 질량%로 하고, 상기 제2주석염의 농도를 4가 주석 이온의 농도로서 B 질량%로 한 때에, B/A의 값이 0.010 이상 1.000 이하가 되도록 제조된다. 여기서, 「제조시」란 접착층 형성액을 구성하는 각 성분을 배합할 때의 배합시를 가리키고, 구체적으로는 제1주석염과 제2주석염을 배합할 때의 배합시를 가리킨다. 접착층 형성액의 제조시에 B/A의 값을 0.010 이상으로 함으로써 연속 사용한 경우에도 접착층의 형성 성능을 용이하게 유지할 수 있다. 또한, 접착층 형성액의 제조시에 B/A의 값을 1.000 이하로 함으로써 수지와의 밀착성을 확보할 수 있다. 상기 효과를 보다 유효하게 발휘시키기 위해서는 접착층 형성액의 제조시의 B/A의 값이 0.050 이상 0.500 이하가 되도록 제조하는 것이 바람직하다.The adhesive layer forming liquid of this invention made the density | concentration of the said 1st tin salt into A mass% as the concentration of divalent tin ion at the time of its manufacture, and made the concentration of the said 2nd tin salt into B mass% as the concentration of tetravalent tin ion. At this time, it is manufactured so that the value of B / A may be 0.010 or more and 1.000 or less. Here, "at the time of manufacture" refers to the time of mixing | blending at the time of mix | blending each component which comprises an adhesive layer forming liquid, and specifically, refers to the time of mixing | blending when mix | blending 1 st tin salt and 2 st tin salt. By the value of B / A being 0.010 or more at the time of preparation of an adhesive layer forming liquid, even when it is used continuously, the formation performance of an adhesive layer can be easily maintained. Moreover, adhesiveness with resin can be ensured by making B / A value 1.000 or less at the time of manufacture of an adhesive layer forming liquid. In order to exhibit the said effect more effectively, it is preferable to manufacture so that the value of B / A at the time of manufacture of an adhesion layer forming liquid may be 0.050 or more and 0.500 or less.

(착화제)(Complexing agent)

본 발명의 접착층 형성액에 포함되는 착화제는 바탕의 구리 표면에 배위하여 킬레이트를 형성하여, 구리 표면에 접착층을 형성하기 쉽게 하는 것이다. 예를 들면, 티오요소, 1,3-디메틸티오요소, 1,3-디에틸-2-티오요소 등의 티오요소류나, 티오글리콜산 등의 티오요소 유도체 등을 사용할 수 있다. 착화제의 바람직한 농도는 1 내지 30 질량%의 범위이고, 보다 바람직하게는 1 내지 20 질량%의 범위이다. 이 범위 내이면 접착층의 형성 속도를 저하시키지 않고서 밀착성이 우수한 접착층을 형성할 수 있다. 또한, 이 범위 내이면 평활성이 양호한 접착층을 형성할 수 있다. The complexing agent contained in the adhesive layer-forming liquid of the present invention forms a chelate by coordinating on the underlying copper surface, thereby making it easy to form an adhesive layer on the copper surface. For example, thioureas such as thiourea, 1,3-dimethylthiourea, 1,3-diethyl-2-thiourea, thiourea derivatives such as thioglycolic acid, and the like can be used. Preferable concentration of the complexing agent is in the range of 1 to 30% by mass, more preferably in the range of 1 to 20% by mass. If it is in this range, the adhesive layer excellent in adhesiveness can be formed, without reducing the formation speed of an adhesive layer. Moreover, if it exists in this range, the adhesive layer with favorable smoothness can be formed.

(안정화제)(Stabilizer)

본 발명의 접착층 형성액에 포함되는 안정화제는 구리 표면의 근방에서 반응에 필요한 각 성분의 농도를 유지하기 위한 첨가제이다. 상기 안정화제로서는 예를 들면, 에틸렌글리콜, 디에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜, 트리프로필렌글리콜 등의 글리콜류, 셀로솔브, 카르비톨, 부틸카르비톨 등의 글리콜에스테르류 등을 예시할 수 있다. 상기 안정화제의 바람직한 농도는 1 내지 80 질량%의 범위이고, 보다 바람직하게는 5 내지 80 질량%, 더욱 바람직하게는 10 내지 80 질량%의 범위이다. 상기 범위 내이면, 구리 표면의 근방에서 반응에 필요한 각 성분의 농도를 용이하게 유지할 수 있다. The stabilizer contained in the adhesive layer forming liquid of this invention is an additive for maintaining the density | concentration of each component required for reaction in the vicinity of a copper surface. As said stabilizer, glycols, such as ethylene glycol, diethylene glycol, propylene glycol, tripropylene glycol, glycol esters, such as a cellosolve, carbitol, and butyl carbitol, etc. can be illustrated, for example. The concentration of the stabilizer is preferably in the range of 1 to 80% by mass, more preferably in the range of 5 to 80% by mass, still more preferably in the range of 10 to 80% by mass. If it is in the said range, the density | concentration of each component required for reaction can be maintained easily in the vicinity of a copper surface.

본 발명의 접착층 형성액에는, 상기 성분 외에, 차아인산 등의 환원제, 광택제, pH 조정제, 방부제 등 필요에 따라서 적절하게 첨가할 수 있다. 이들 첨가 성분의 함유량은, 예를 들면 0.1 내지 20 질량% 정도이다. To the adhesive layer forming liquid of the present invention, in addition to the above components, a reducing agent such as hypophosphorous acid, a brightening agent, a pH adjuster, an antiseptic, and the like can be appropriately added as necessary. Content of these additional components is about 0.1-20 mass%, for example.

본 발명의 접착층 형성액은 상기한 각 성분을 물에 용해시킴으로써 용이하게 제조할 수 있다. 상기 물로서는 이온성 물질이나 불순물을 제거한 물이 바람직하고, 예를 들면 이온 교환수, 순수, 초순수 등이 바람직하다. The adhesive layer forming liquid of this invention can be manufactured easily by dissolving each said component in water. As said water, ionic substance and the water which removed the impurity are preferable, for example, ion-exchange water, pure water, ultrapure water, etc. are preferable.

본 발명의 접착층 형성액을 이용하여 접착층을 형성하는 경우, 예를 들면 하기와 같은 조건에서 형성할 수 있다. When forming an adhesive layer using the adhesive layer forming liquid of this invention, it can form on the following conditions, for example.

우선, 구리 표면을 산 등으로 세정한다. 다음으로, 상기 접착층 형성액에 구리 표면을 침지하여, 5초 내지 5분간 요동 침지 처리를 한다. 이때의 접착층 형성액의 온도는 20 내지 70℃(바람직하게는 20 내지 40℃) 정도이면 된다. 그 후, 수세, 건조시킴으로써 접착층(주석 도금층)이 형성된다. First, the copper surface is washed with an acid or the like. Next, a copper surface is immersed in the said adhesive layer forming liquid, and rocking immersion treatment is performed for 5 second-5 minutes. The temperature of the adhesive layer forming liquid at this time should just be about 20-70 degreeC (preferably 20-40 degreeC). Thereafter, an adhesive layer (tin plating layer) is formed by washing with water and drying.

또한, 이 접착층의 표면을 주석 박리액으로 처리할 수도 있다. 접착층의 표면에 주석 박리액을 접촉시킴으로써 보다 평활하게 얇은 접착층을 형성할 수가 있기 때문이다. Moreover, the surface of this adhesive layer can also be processed with a tin peeling liquid. It is because a thin contact bonding layer can be formed more smoothly by making tin peeling liquid contact the surface of a contact bonding layer.

상기 주석 박리액으로서는 주석을 에칭할 수 있는 액이면 되고, 예를 들면, 질산 수용액, 염산, 황산 수용액, 이들의 혼합 용액 등의 산성 용액 등을 사용할 수 있다. 산성 용액의 산 농도로서는, 0.1 내지 10 질량%의 범위인 것이 바람직하고, 0.3 내지 5 질량%의 범위인 것이 보다 바람직하다. 이 범위 내이면 접착층의 두께를 적절한 범위 내로 용이하게 제어할 수 있다. 특히, 질산 수용액은 박리 속도가 빠르기 때문에 바람직하다. 또한, 주석 박리액에는 계면활성제, pH 조정제 등의 그 밖의 첨가제를 첨가할 수도 있다. As said tin stripping liquid, what is necessary is just a liquid which can etch tin, For example, acidic solutions, such as nitric acid aqueous solution, hydrochloric acid, a sulfuric acid aqueous solution, these mixed solutions, etc. can be used. As acid concentration of an acidic solution, it is preferable that it is the range of 0.1-10 mass%, and it is more preferable that it is the range of 0.3-5 mass%. If it is in this range, the thickness of an adhesive layer can be easily controlled in an appropriate range. In particular, the nitric acid aqueous solution is preferable because of the high peeling speed. Moreover, you may add other additives, such as surfactant and a pH adjuster, to a tin stripping liquid.

상기 표면 박리 공정에서, 접착층 표면과 주석 박리액(바람직하게는 질산 수용액)의 접촉 시간은 5 내지 120초가 바람직하고, 10 내지 30초가 보다 바람직하다. 이 범위 내이면 접착층의 두께를 적절한 범위 내로 용이하게 제어할 수 있다. 주석 박리액을 접촉시키는 방법으로서는, 침지나 분무 등에 의한 접액 처리 방법을 채용할 수 있다. 또한, 이때의 주석 박리액의 온도는 25 내지 35℃ 정도이다. In the surface peeling step, the contact time between the surface of the adhesive layer and the tin peeling liquid (preferably an aqueous nitric acid solution) is preferably 5 to 120 seconds, more preferably 10 to 30 seconds. If it is in this range, the thickness of an adhesive layer can be easily controlled in an appropriate range. As a method of making a tin peeling liquid contact, the liquid treatment method by dipping, spraying, etc. can be employ | adopted. In addition, the temperature of the tin stripping liquid at this time is about 25-35 degreeC.

또한, 접착층의 적절한 두께는 0.02 μm 이하, 바람직하게는 0.001 내지 0.02 μm, 더욱 바람직하게는 0.003 내지 0.02 μm이다. 접착층의 두께를 0.001 μm 이상으로 하면 수지층과의 접착성을 용이하게 확보할 수 있다. 한편, 접착층의 두께를 0.02 μm 이하로 하면, 후속 공정에 있어서 접착층의 제거가 필요한 경우에, 접착층을 용이하게 제거할 수 있다. In addition, the appropriate thickness of the adhesive layer is 0.02 μm or less, preferably 0.001 to 0.02 μm, more preferably 0.003 to 0.02 μm. When the thickness of the adhesive layer is 0.001 μm or more, the adhesiveness with the resin layer can be easily ensured. On the other hand, when the thickness of the adhesive layer is 0.02 μm or less, the adhesive layer can be easily removed when the adhesive layer needs to be removed in a subsequent step.

상기 접착층에 접착시키는 수지층의 구성 수지는, 특별히 한정되지 않지만, 아크릴로니트릴/스티렌 공중합 수지(AS 수지), 아크릴로니트릴/부타디엔/스티렌 공중합 수지(ABS 수지), 불소 수지, 폴리아미드, 폴리에틸렌, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리염화비닐리덴, 폴리염화비닐, 폴리카보네이트, 폴리스티렌, 폴리술폰, 폴리프로필렌, 액정 중합체 등의 열가소성 수지나, 에폭시 수지, 페놀 수지, 폴리이미드, 폴리우레탄, 비스말레이미드·트리아진 수지, 변성 폴리페닐렌에테르, 시아네이트에스테르 등의 열경화성 수지, 또는 자외선 경화성 에폭시 수지, 자외선 경화성 아크릴 수지 등의 자외선 경화성 수지 등을 들 수 있다. 이들 수지는 관능기에 의해서 변성되어 있을 수도 있고, 유리 섬유, 아라미드 섬유, 그 밖의 섬유 등으로 강화되어 있을 수도 있다.The constituent resin of the resin layer to be bonded to the adhesive layer is not particularly limited, but acrylonitrile / styrene copolymer resin (AS resin), acrylonitrile / butadiene / styrene copolymer resin (ABS resin), fluorine resin, polyamide, polyethylene Thermoplastic resins such as polyethylene terephthalate, polyvinylidene chloride, polyvinyl chloride, polycarbonate, polystyrene, polysulfone, polypropylene, liquid crystal polymer, epoxy resin, phenol resin, polyimide, polyurethane, bismaleimide tree Thermosetting resins, such as an azine resin, modified polyphenylene ether, and a cyanate ester, or ultraviolet curable resins, such as an ultraviolet curable epoxy resin and an ultraviolet curable acrylic resin, etc. are mentioned. These resins may be modified with a functional group or may be reinforced with glass fibers, aramid fibers, other fibers, or the like.

본 발명에 의해서 얻어진 접착층은 절연 수지, 에칭 레지스트, 솔더 레지스트, 도전성 수지, 도전성 페이스트, 도전성 접착제, 유전체 수지, 구멍 메우기용 수지, 연성 커버레이 필름 등과의 접착성을 확보할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따르면, 구리층과 수지층의 접착성을 확보할 수 있기 때문에, 예를 들면, 신뢰성이 높은 배선 기판을 제공할 수 있다. The adhesive layer obtained by this invention can ensure adhesiveness with an insulating resin, an etching resist, a soldering resist, a conductive resin, a conductive paste, a conductive adhesive, a dielectric resin, a resin for filling holes, a flexible coverlay film, and the like. Therefore, according to this invention, since adhesiveness of a copper layer and a resin layer can be ensured, a highly reliable wiring board can be provided, for example.

다음으로, 본 발명의 실시예에 관해서 비교예와 더불어 설명한다. 또한, 본 발명은 하기의 실시예에 한정하여 해석되는 것이 아니다. Next, the Example of this invention is described with a comparative example. In addition, this invention is not interpreted limited to the following Example.

(신액(新液)에 의한 처리) (Process by new liquid)

이하의 표 1에 나타낸 배합의 접착층 형성액(온도: 30℃)을 1 리터씩 준비하 였다. 또한, 어느 접착층 형성액에 대해서도, 표 1에 나타낸 성분을 제외한 잔부는 이온 교환수로 하였다. 그리고, 테스트피스로서 100 mm×100 mm로 컷트한 전해 동박(미쓰이 긴조꾸 고교사 제조의 3EC-III, 두께 35 μm)을 준비하고, 이 테스트피스를 상기 각 액(신액) 중에 한매씩 넣고, 30초간의 요동 침지 처리를 행하였다. 그 후, 처리한 테스트피스를 수세하고, 곧 0.7 질량% 질산 수용액(온도: 30℃)에서 20초간의 요동 침지 처리를 행한 후, 수세, 건조 처리를 행하였다. The adhesive layer forming liquid (temperature: 30 degreeC) of the formulation shown in the following Table 1 was prepared by 1 liter. In addition, the remainder except the component shown in Table 1 was made into ion-exchange water also about any adhesive layer forming liquid. Then, an electrolytic copper foil (3EC-III manufactured by Mitsui-Kinjo Kogyo Co., Ltd., 35 μm in thickness) cut to 100 mm × 100 mm was prepared as a test piece, and each test piece was placed in each of the above liquids (new liquid), A rocking dipping treatment for 30 seconds was performed. Thereafter, the treated test piece was washed with water and immediately subjected to a rocking dipping treatment for 20 seconds in an aqueous 0.7 mass% nitric acid solution (temperature: 30 ° C), followed by washing with water and drying.

(고액(古液)에 의한 처리)(Treatment by high amount)

상기와는 별도로, 이하의 표 1에 나타낸 배합의 접착층 형성액(온도: 30℃)을 1리터씩 준비하고, 각 액을 교반하면서 상기와 동일한 테스트피스를 상기와 동일한 조건으로 24시간에 걸쳐서 500매 계속 처리하였다. 이어서, 처리후의 각 액(고액) 중에 상기와 동일한 테스트피스를 한매씩 넣고, 상기와 동일한 조건으로 처리하였다. 그 후, 처리한 테스트피스를 수세하고, 곧 0.7 질량% 질산 수용액(온도; 30℃)에서 20초간의 요동 침지 처리를 행한 후, 수세, 건조 처리를 행하였다.Apart from the above, one liter of the adhesive layer forming liquid (temperature: 30 ° C.) of the formulation shown in Table 1 below was prepared, and the same test piece was prepared over 500 hours under the same conditions as above while stirring each liquid. Processing continued every time. Subsequently, the same test piece as above was put into each liquid (solid solution) after a process, and it processed on the conditions similar to the above. Thereafter, the treated test piece was washed with water and immediately subjected to a rocking immersion treatment for 20 seconds in an aqueous 0.7 mass% nitric acid solution (temperature; 30 ° C), followed by washing with water and drying.

(밀착성) (Adhesion)

처리 후의 각 테스트피스를 샘플링하고, 접착층을 개재하여 감광성 액상 솔더 레지스트(히타치 가세이 고교사 제조 SR-7200)를 약 20 μm의 두께로 도포하고, 경화시켰다. 그 후 JISC6471에 준거하여 필 강도(N/mm)를 측정하였다. 결과를 표 1에 나타내었다. Each test piece after processing was sampled, and the photosensitive liquid soldering resist (SR-7200 by Hitachi Kasei Kogyo Co., Ltd.) was apply | coated to the thickness of about 20 micrometers through the adhesive layer, and it hardened. Then, the peeling strength (N / mm) was measured based on JISC6471. The results are shown in Table 1.

(주석 도금 부착성) (Tin plating adhesion)

이하의 표 1에 나타낸 배합의 접착층 형성액의 신액(온도: 30℃)과, 이하의 표 1에 나타낸 배합의 접착층 형성액을 상기와 동일한 조건으로 24시간에 걸쳐서 500매 계속 처리한 고액(온도: 30℃)을 1리터씩 준비하였다. 그리고, 테스트피스로서 100 mm×100 mm로 컷트한 전해 동박(미쓰이 긴조꾸 고교사 제조의 3EC-III, 두께 35 μm)을 준비하고, 이 테스트피스를 상기 각 액(신액 및 고액) 중에 한매씩 넣고, 외관 관찰로 3초 미만에 도금이 된 것을 ○, 3 내지 10초에 도금이 된 것을 △, 10초 이내에 도금이 되지 않은 것을 ×로 하여, 주석 도금 부착성(접착층의 형성 성능)을 평가하였다. Solid solution (temperature) which continued to process 500 sheets of the new liquid (temperature: 30 degreeC) of the adhesive layer forming liquid of the mixture shown below in Table 1, and the adhesive layer forming liquid of the formulation shown in the following Table 1 over 24 hours on the same conditions as the above. : 30 ° C.) was prepared one by one. And an electrolytic copper foil (3EC-III by Mitsui Kinzoku Co., Ltd., 35 micrometers in thickness) cut into 100 mm x 100 mm was prepared as a test piece, and this test piece was carried out one by one in each said liquid (new liquid and solid liquid). The tin plating adhesion (formation performance of the adhesive layer) was evaluated by placing the plated in less than 3 seconds by observation of the appearance, the plated in 3 to 10 seconds, the plated in 3 to 10 seconds, and the plating without plating within 10 seconds. It was.

Figure 112009067794860-pat00001
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표 1에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 실시예 1 내지 11은 비교예 1 내지 4에 비하여 필 강도(밀착성) 및 주석 도금 부착성의 어느 것에 대해서도 양호한 결과가 얻어졌다. As shown in Table 1, Examples 1 to 11 of the present invention had good results with respect to both peel strength (adhesiveness) and tin plating adhesion as compared with Comparative Examples 1 to 4.

(Sn4 + 첨가에 의한 Sn2 +의 공기 산화 억제 효과)(Sn + 4 Sn + 2 air oxidation inhibitory effect of by addition)

접착층 형성액에 Sn4 +를 미리 첨가하여 둠으로써 Sn2 +의 공기 산화가 억제되는 것을 확인하기 위해서, 이하의 실험을 행하였다. The adhesive layer-forming solution, thereby maintaining the pre-addition of Sn + 4 to make sure that the air oxidation of Sn + 2 inhibition, was subjected to the following experiment.

표 1의 비교예 4와 동일 배합의 접착층 형성액을 1리터 준비하고, 이 액을 온도 30℃에서 테스트피스를 일체 처리하지 않고서 2시간 교반하고, 교반 후의 액을 비교예 5의 접착층 형성액(신액)으로 하였다. 그리고, 테스트피스로서 100 mm×100 mm로 컷트한 전해 동박(미쓰이 긴조꾸 고교사 제조의 3EC-III, 두께 35 μm)를 준비하고, 이 테스트피스를 상기 비교예 5의 신액 중에 넣고, 30초간의 요동 침지 처리를 행하였다. 그 후, 처리한 테스트피스를 수세하고, 곧 0.7 질량% 질산 수용액(온도: 30℃)에서 20초간의 요동 침지 처리를 행한 후, 수세, 건조 처리를 행하였다. One liter of an adhesive layer forming liquid of the same formulation as in Comparative Example 4 of Table 1 was prepared, and the liquid was stirred at a temperature of 30 ° C. for 2 hours without integrally treating the test piece, and the liquid after stirring was prepared using the adhesive layer forming liquid of Comparative Example 5 ( New liquid). Then, an electrolytic copper foil (3EC-III manufactured by Mitsui-Kinjo Kogyo Co., Ltd., 35 μm in thickness) cut to 100 mm × 100 mm was prepared as a test piece, and the test piece was placed in the fresh liquid of Comparative Example 5 for 30 seconds. Rocking dipping treatment was carried out. Thereafter, the treated test piece was washed with water and immediately subjected to a rocking dipping treatment for 20 seconds in an aqueous 0.7 mass% nitric acid solution (temperature: 30 ° C), followed by washing with water and drying.

상기와는 별도로, 상술한 비교예 5의 신액을 1리터 준비하고, 이 액을 교반하면서 상기와 동일한 테스트피스를 상기와 동일한 조건으로 24시간에 걸쳐서 500매 계속 처리하였다. 이어서, 처리 후의 액(고액) 중에 상기와 동일한 테스트피스를 넣고, 상기와 동일한 조건으로 처리하였다. 그 후, 처리한 테스트피스를 수세하고, 곧 0.7 질량% 질산 수용액(온도: 30℃)에서 20초간의 요동 침지 처리를 행한 후, 수세, 건조 처리를 행하였다. Apart from the above, 1 liter of the new liquid of Comparative Example 5 was prepared, and the same test piece as described above was continuously processed over 500 hours under the same conditions as described above while stirring the liquid. Subsequently, the same test piece as the above was put into the liquid (solid solution) after processing, and it processed on the conditions similar to the above. Thereafter, the treated test piece was washed with water and immediately subjected to a rocking dipping treatment for 20 seconds in an aqueous 0.7 mass% nitric acid solution (temperature: 30 ° C), followed by washing with water and drying.

처리 후의 각 테스트피스에 관해서 상기와 같이 밀착성의 평가를 행하였다. 또한, 상기 비교예 5의 신액 및 고액에 대해서, 각각 상기와 같이 주석 도금 부착성의 평가를 행하였다. 이들 평가 결과에 관해서, 상술한 실시예 4의 결과와 함께 표 2에 나타내었다. The adhesiveness was evaluated as mentioned above about each test piece after a process. Moreover, the tin plating adhesion property was evaluated about the new liquid and solid solution of the said comparative example 5 as above, respectively. These evaluation results are shown in Table 2 together with the results of Example 4 described above.

Figure 112009067794860-pat00002
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표 2에 나타낸 바와 같이, 미리 Sn4 +를 첨가한 실시예 4에서는, Sn2 +의 공기 산화에 의한 농도 감소가 억제되어, Sn4 +/Sn2 +의 값(즉 B/A의 값)의 변화도 억제된 것을 알 수 있다. 이에 따라, 신액 및 고액 중 어느 것에 대해서도 밀착성 및 주석 도금 부착성의 평가가 양호하였다. 한편, Sn2 +의 공기 산화에 의해 생성된 Sn4 +를 함유하는 비교예 5에 관해서는, Sn2 +의 공기 산화에 의한 농도 감소(Sn4 +의 농도 증가)가 현저하게 보였다. 그 결과, 비교예 5의 고액에 관해서는, 밀착성 및 주석 도금 부착성의 어느 것도 열화하였다. 이 결과로부터, 접착층 형성액에 미리 Sn4+를 첨가한 경우에는, 접착층 형성액의 열화 방지 효과가 얻어지지만, Sn2 +의 공기 산화에 의해 생성된 Sn4 +로는 접착층 형성액의 열화 방지 효과가 얻어지지 않는 것을 알 수 있다. As shown in Table 2, in Example 4, the addition of Sn 4 + in advance, the density reduction due to air oxidation of the Sn 2 + is suppressed, Sn 4 + / Sn 2 + value (i.e. the value of B / A) It can be seen that the change of is suppressed. Thereby, evaluation of adhesiveness and tin plating adhesion was favorable also in any of a new liquid and a solid liquid. On the other hand, as for the comparative example 5 containing the Sn 4 + generated by the air oxidation of Sn + 2 is, showed significantly decreased concentration of the air-oxidation of Sn + 2 (Sn + 4 increasing concentration). As a result, with regard to the solid solution of Comparative Example 5, neither adhesiveness nor tin plating adhesion deteriorated. If the result from this, pre-addition of Sn 4+ in the adhesive layer-forming solution, the effect of preventing the deterioration of the adhesive layer-forming solution obtained, a Sn + 4 roneun degradation preventing effect of the adhesive layer-forming solution produced by air oxidation of Sn + 2 It can be seen that is not obtained.

Claims (8)

구리와 수지를 접착시키기 위한 접착층을 형성하는 접착층 형성액으로서, As an adhesive layer forming liquid which forms an adhesive layer for bonding copper and resin, 산, 제1주석염, 제2주석염, 착화제, 및 안정화제를 포함하는 수용액이고, An aqueous solution comprising an acid, stannous salt, stantin salt, a complexing agent, and a stabilizer, 제조시에 상기 제1주석염의 농도를 2가 주석 이온의 농도로서 A 질량%로 하고, 상기 제2주석염의 농도를 4가 주석 이온의 농도로서 B 질량%로 한 때에, B/A의 값이 0.010 이상 1.000 이하가 되도록 제조된 것을 특징으로 하는 접착층 형성액.At the time of manufacture, when the density | concentration of the said 1st tin salt is made into A mass% as the concentration of divalent tin ion, and the density | concentration of the said 2nd tin salt is made into B mass% as the concentration of tetravalent tin ion, the value of B / A becomes An adhesive layer forming liquid, which is prepared to be 0.010 or more and 1.000 or less. 제1항에 있어서, 상기 A는 0.05 내지 10.00이고, 상기 B는 0.01 내지 5.00인 접착층 형성액.The adhesive layer forming liquid of claim 1, wherein A is 0.05 to 10.00 and B is 0.01 to 5.00. 제1항에 있어서, 상기 착화제는 티오요소류 및 티오요소 유도체로부터 선택되는 하나 이상의 것인 접착층 형성액. The adhesive layer forming liquid of claim 1, wherein the complexing agent is at least one selected from thioureas and thiourea derivatives. 제1항에 있어서, 상기 안정화제는 글리콜류 및 글리콜에스테르류로부터 선택되는 하나 이상의 것인 접착층 형성액. The adhesive layer forming liquid of claim 1, wherein the stabilizer is at least one selected from glycols and glycol esters. 구리와 수지를 접착시키기 위한 접착층을 형성하는 접착층 형성 방법으로서, An adhesive layer forming method for forming an adhesive layer for bonding copper and resin, 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 기재된 접착층 형성액으로 구리 표면을 처리하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 접착층 형성 방법. A method of forming an adhesive layer, comprising the step of treating a copper surface with the adhesive layer forming liquid according to any one of claims 1 to 4. 제5항에 있어서, 상기 구리 표면을 처리하는 공정은 상기 접착층 형성액에 상기 구리 표면을 침지하는 공정인 접착층 형성 방법. The method for forming an adhesive layer according to claim 5, wherein the step of treating the copper surface is a step of immersing the copper surface in the adhesive layer forming liquid. 제5항에 있어서, 상기 구리 표면을 처리하는 공정 후, 얻어진 접착층의 표면을 주석 박리액으로 처리하는 공정을 더 포함하는 접착층 형성 방법. The method for forming an adhesive layer according to claim 5, further comprising a step of treating the surface of the obtained adhesive layer with a tin stripping liquid after the step of treating the copper surface. 제7항에 있어서, 상기 주석 박리액은 질산 수용액인 접착층 형성 방법. 8. The method of claim 7, wherein the tin stripper is an aqueous solution of nitric acid.
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