KR101307432B1 - 리첵크 모드를 가지는 테스트 핸들러의 자동 소켓 온 오프방법 - Google Patents

리첵크 모드를 가지는 테스트 핸들러의 자동 소켓 온 오프방법 Download PDF

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Abstract

소켓의 이상여부를 정확하게 검사하고 이상으로 판단될 경우 자동으로 '오프'시킬 수 있도록 한 리첵크 모드를 가지는 테스트 핸들러의 자동 소켓 오프방법에 관한 것으로, 다수개의 소켓(Socket)을 구비하고 각각의 소켓에 테스트 대상물을 장착하여 테스트를 수행하는 테스트 핸들러에 있어서, 테스트 모드 및 각 모드별 기준값을 설정하는 단계와, 소켓 오프 자동 모드일 경우 절대, 상대, 연속 또는 혼합 모드 중 설정된 어느 하나의 모드를 파악하는 단계와, 소켓 오프 리첵크 온 모드일 경우 절대, 상대, 연속 또는 혼합 모드 중 설정된 어느 하나의 모드를 파악하는 단계와, 테스트를 시작하고 불량 판정율, 수율, 불량 판정 등급 또는 불량 판정 횟수중 적어도 어느 하나 이상과 해당 모드의 기준값을 비교하는 단계와, 그 비교 결과에 따라 각 소켓의 이상을 판단하고 이상이 발생한 소켓을 오프시키는 단계를 포함하여 이루어지므로 절대/상대/연속/혼합 모드 등의 효율적인 소켓 이상 판단과정을 통해 자동으로 소켓 이상을 판단하고 오프시키며, 리첵크 모드를 추가로 포함함으로써 소켓의 이상 여부를 더 확실하게 판단할 수 있어 잘못된 소켓 오프에 따른 소켓 등의 교체 비용을 현저히 감소시킬 수 있어, 더욱 작업 능률이 향상되고, 그에 따른 수율 향상의 효과가 있다.
소켓 오프, 절대/상대/연속/혼합 모드, 리첵크

Description

리첵크 모드를 가지는 테스트 핸들러의 자동 소켓 온 오프 방법{Method for auto socket on/off of test handler having a recheck mode}
본 발명은 테스트 핸들러에 관한 것으로서, 특히 테스트 핸들러의 자동 소켓 오프 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 리첵크 모드를 가지는 테스트 핸들러의 자동 소켓 온 오프 방법이다.
일반적으로, 메모리 혹은 비메모리 반도체 소자 등의 디바이스(Device) 및 이들을 적절히 하나의 기판상에 회로적으로 구성한 모듈(Module)들은 생산 후 여러 가지 테스트과정을 거친 후 출하되는데, 핸들러라 함은 상기와 같은 디바이스 및 모듈램 등을 자동으로 테스트하는데 사용되고 있는 장치를 일컫는다.
통상, 이러한 핸들러 중 많은 것들이 상온 상태에서의 일반적인 성능 테스트 뿐만 아니라, 밀폐된 챔버 내에서 전열히터 및 액화질소 분사시스템을 통해 고온 및 저온의 극한 상태의 환경을 조성하여 상기 디바이스 및 모듈램 등이 이러한 극한 온도 조건에서도 정상적인 기능을 수행할 수 있는가를 테스트하는 고온테스트 및 저온 테스트도 수행할 수 있도록 되어 있다.
도 1은 상기와 같이 디바이스의 고온 및 저온 테스트를 수행할 수 있는 일반 적인 핸들러의 일례를 나타낸 것으로, 로딩부(10)의 사용자 트레이에 수납된 테스트할 디바이스들은 X-Y축으로 선형운동하는 제1피커로봇(31)에 의해 파지되어 버퍼부(40)에 일시적으로 장착된 다음, 다시 제 2피커로봇(32)에 의해 교환부(50)로 이송되어 테스트용 트레이(T)에 재장착된다.
이렇게 테스트할 디바이스들이 재장착된 테스트용 트레이(T)는 별도의 이송수단(도시 않음)에 의해 핸들러 후방에 위치된 챔버부(70)로 이송된 후, 이 챔버부(70)에서 고온 또는 저온 테스트를 수행받게 된다.
여기서, 상기 챔버부(70)는 그 내부에 고온 또는 저온의 환경을 조성하여 테스트용 트레이(T)들을 순차적으로 이송시키면서 디바이스들을 소정의 온도상태 하에서 테스트하도록 된 3개의 밀폐된 챔버들이 상하로 연접하게 배치되어 있는바, 이들 챔버들은 상측에서부터, 디바이스들을 고온 또는 저온으로 예열하는 예열챔버(도시 않음)와, 상기 예열챔버를 통과한 디바이스들을 별도의 테스트장비와 결합된 소켓(socket)에 장착하여 고온 또는 저온 상태에서 테스트를 수행하는 테스트챔버(도시 않음)와, 상기 테스트챔버를 통해 테스트 완료된 디바이스들을 냉각시키거나 혹은 가열에 의해 성에를 제거하여 원래의 상온 상태로 복귀시키는 디프로스팅챔버(도시 않음)로 구성된다.
이때 소켓은 각각 해당 디바이스를 테스트할 수 있도록 다수개가 행렬형태로 구성되어 있으며, 소켓 자체의 이상에 의해 디바이스가 불량 판정될 수 있다.
한편, 상기 챔버부(70)의 디프로스팅챔버를 거친 테스트 트레이(T)는 다시 교환부(50)로 이송되고, 이어서 테스트 완료된 디바이스들은 제 2피커로봇(32)에 의해 버퍼부(40)에 일시 장착된 후, 다시 제 1피커로봇(31)에 의해 테스트결과에 따라 언로딩부(20)의 소정의 트레이에 등급별로 분류되어 장착된다.
소켓의 이상여부를 검사하고, 이상으로 판단될 경우 자동으로 '오프'시킬 수 있도록 한 테스트 핸들러의 자동 소켓 오프 방법에 관한 것으로는, 대한민국 특허등록번호 제10-372881호 등에 제시되어 있다.
그러나, 상술한 종래의 기술에 따른 테스트 핸들러는 디바이스를 실장하여 검사를 수행하기 위한 소켓(Socket)의 이상을 작업자가 직접 파악하고 즉, 작업자가 판단하기에 불량판정 빈도가 높으면 이상으로 판단하여 이상이 발생한 것으로 판단되는 소켓을 직접 '오프'시켜야 하므로 작업능률이 저하됨과 동시에 소켓 이상판단 정확도의 신뢰성이 저하되어 결국, 전체 수율을 저하시키는 문제점이 있다.
또한 이상과 같은 소켓 오프의 경우, 소켓 자체에 이상이 발생하여 소켓이 정상 작동을 하지 못하는 경우도 있지만, 불량의 디바이스가 소켓에 연속적으로 적재됨으로써 소켓이 불량으로 판단되는 경우, 또는 하이픽스보드가 적당한 위치에 위치하지 못하여 디바이스가 불량으로 판단되는 경우 등 여러 가지 이유가 있을 수 있다.
이와 같이 일정한 위치의 소켓에서 판정된 디바이스가 불량으로 판정받았다고 하더라도 불량으로 판정된 디바이스를 적재한 소켓에 이상이 발생하였다고는 단정할 수 없는 바, 즉 소켓에는 이상이 없지만 다른 원인에 의해 해당 소켓을 이상이 있는 것으로 판단하는 경우도 충분히 발생될 수 있으므로, 이 경우 역시 작업능률이 저하됨과 동시에 소켓 이상판단 정확도의 신뢰성이 저하되어 결국, 전체 수율 을 저하시키는 문제점이 있다.
따라서 본 발명은 상기한 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로서, 소켓의 이상여부를 정확하게 검사하고 이상으로 판단될 경우 자동으로 '오프'시킬 수 있게 하고, 정상으로 판단된 경우 자동으로 소켓을 '온'시켜 디바이스를 테스트할 수 있도록 한 테스트 핸들러의 자동 소켓 온 오프 방법을 제공함에 그 목적이 있다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 이상의 소켓 오프 방법에 추가적으로 불량으로 판정된 디바이스와 대응되는 위치에 형성되는 소켓의 이상여부를 다시 확인할 수 있는 리첵크 모드를 포함함으로써 소켓의 이상여부로 디바이스가 불량이 난 것인지, 아니면 다른 원인에 의해 디바이스 불량이 난 것인지의 여부를 더 확실하게 판단할 수 있는 리첵크 모드를 가지는 테스트 핸들러의 자동 소켓 온 오프 방법을 제공하는 것이다.
본 발명은 다수개의 소켓(Socket)을 구비하고 각각의 소켓에 테스트 대상물을 장착하여 테스트를 수행하는 테스트 핸들러의 자동 소켓 온 오프 방법에 있어서, 테스트 모드 및 각 모드별 기준값을 설정하는 단계와, 소켓 오프 자동 모드일 경우 절대, 상대, 연속 또는 혼합 모드 중 설정된 어느 하나의 모드를 파악하는 단계와, 소켓 오프 리첵크 온 모드일 경우 절대, 상대, 연속 또는 혼합 모드 중 설정된 어느 하나의 모드를 파악하는 단계와, 테스트를 시작하고 불량 판정율, 수율, 불량 판정 등급 또는 불량 판정 횟수 중 적어도 어느 하나 이상과 해당 모드의 기준값을 비교하는 단계와, 그 비교 결과에 따라 각 소켓의 이상을 판단하고, 상기 이상 여부가 판단된 소켓을 자동 온 오프시키는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 소켓 오프 리첵크 모드를 가지는 테스트 핸들러의 자동 소켓 온 오프 방법은 작업자의 별도 관리없이 절대, 상대, 연속 또는 혼합 모드 등의 효율적인 소켓 이상 판단과정을 통해 자동으로 소켓 이상을 판단하고 오프시키므로 작업능률 향상 및 그에 따른 수율향상의 효과가 있으며, 리첵크 모드를 추가로 포함함으로써 소켓의 이상 여부를 더 확실하게 판단할 수 있어 잘못된 소켓 오프에 따른 소켓 등의 교체 비용을 현저히 감소시킬 수 있어, 더욱 작업 능률이 향상되고, 그에 따른 수율 향상의 효과가 있다. 또한 리첵크 후 정상으로 판단된 소켓에 대하여 자동으로 '온'시킴으로써, 불필요한 소켓 교체에 따른 소켓 비용 절감 및 테스트 효율을 증가시킬 수 있는 효과가 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 리첵크 모드를 가지는 테스트 핸들러의 자동 소켓 온 오프 방법의 바람직한 일실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.
본원 발명은 종래 기술인 테스트 핸들러의 자동 소켓 오프 방법에서 리첵크하는 단계를 거쳐, 리첵크 후 정상으로 판단된 소켓에 대하여는 자동으로 '온'시키고, 불량으로 판단된 소켓에 대하여는 자동으로 '오프'시키는 단계를 포함하는 기술인 바, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하되, 설 명의 간결함으로 위해 중복되는 설명은 가급적 생략하거나 압축하기로 한다.
도 2는 본 발명에 따른 리첵크 모드를 가지는 테스트 핸들러의 자동 소켓 온 오프 방법을 나타낸 플로우챠트이고, 도 3은 도 2의 리첵크 모드를 설명하기 위한 플로우챠트이고, 도 4 내지 도 7은 리첵크 모드의 경우의 도 2의 절대, 상대, 연속 또는 혼합 모드를 설명하기 위한 플로우챠트이다.
본 발명에 따른 리첵크 모드를 가지는 테스트 핸들러의 자동 소켓 온 오프 방법은 도 2에 도시된 바와 같이, 테스트 핸들러의 테스트 시작에 앞서, 각종 설정을 초기화한 이후, 테스트 모드 설정 및 테스트 모드별 기준 설정단계(S100)와, 소켓 오프 수동 또는 자동 모드 실행단계(S200)와, 소켓 오프 리첵크 모드 실행단계(S300)와, 테스트 종료단계(S400)로 이루어진다.
이때 테스트용 모드는 소켓 오프 수동 또는 자동(절대 모드, 상대 모드, 연속 모드 또는 혼합 모드) 모드와 소켓 오프 리첵크 오프 또는 온(절대 모드, 상대 모드, 연속 모드 또는 혼합 모드) 모드로 구분된다. 그리고 소켓 오프 자동 모드별 기준값으로서, 절대 모드는 설정 카운트값과 설정 수율이 있고, 상대 모드는 설정 카운트값과 설정 수율이 있으며, 연속 모드는 불량 판정등급과 등급 카운트값이 있다. 또한 소켓 오프 리첵크 온 모드별 기준값으로서, 절대 모드는 설정 카운트값과 설정 수율이 있고, 상대 모드는 설정 카운트값과 설정 수율이 있고, 연속 모드는 등급 판정과 연속 적용의 판정이 있다.
초기화 이후, 테스트 모드 설정 및 테스트 모드별 기준 설정단계(S100)는 소켓 오프와 소켓 온에 따라 소켓 오프 사용 모드 설정 및 소켓 오프 사용 모드별 기준을 설정하고(S120), 이어서 소켓 온 사용 모드 설정 및 소켓 온 사용 모드별 기 준을 설정한다(S140).
이어서, 소켓 오프 수동 또는 자동 모드 설정을 판단하여(S210), 수동으로 설정되어 있으면 이후 작업자가 지정하는 소켓을 수동 오프시킨다(S270).
한편, 상기 판단결과(S210), 소켓 오프가 자동으로 설정되어 있으면, 자동 모드 즉, 절대, 상대, 연속 또는 혼합 모드를 판단하고(S220-S250), 해당 모드별로 각 소켓에 대한 테스트를 진행하고 이상이 발생한 소켓을 자동 '오프'시킨다(S280).
각 자동 모드별 자동 소켓 오프의 세부동작은 상기 선등록특허에 상세히 기재되어 있으므로, 본 명세서에서는 설명의 편의상 생략한다.
종래 기술에서와 같이, 소켓 오프 수동 또는 자동 모드를 실행한 후, 소켓 오프 리첵크 오프 또는 온 모드 설정을 판단하여(S310), 리첵크 오프가 설정되어 있으면 이후 작업자는 테스트 종료단계를 실행한다(S400).
소켓 오프 리첵크 오프 또는 온 모드 설정의 판단(S310)은 도 3에 도시된 바와 같이, 소켓을 오프한 후, 오프된 소켓에 로딩된 디바이스의 불량 판정(B)과 불량 판정 모드의 기준값을 설정한다(S311),
이어서, 소켓 오프 후 카운트가 기설정된 카운트값 이상인지 즉, 오프된 소켓에 로딩된 디바이스의 불량 판정(B) 카운트값이 기설정 카운트값 이상으로 발생하였는지 판단한다(S312).
그리고 상기 판단결과(S312), 소켓 오프 후 오프된 소켓에 로딩된 디바이스의 불량 판정(B) 카운트값이 기설정 카운트값 이상이면 불량 판정 디바이스의 로딩 스텝이 설정된 스텝과 동일한지 판단하고(S313), 동일하면 불량 판정 디바이스의 로딩 카운트값이 기설정된 카운트값 이상인지 즉, 설정수 이상의 불량 판정 디바이스가 로딩되었는지를 판단한다(S314).
한편, 상기 판단결과(S314), 오프된 소켓에서의 불량 판정 디바이스의 로딩 카운트값이 기설정된 카운트값 이상이면 리첵크 테스트 모드를 오프한다. 반면 로딩 카운트값이 기설정된 카운트값 이하이면 오프된 소켓을 리첵크하고자 디바이스를 로딩하여(S315), 오프된 소켓의 리첵크 테스트를 실행하고(S316), 이후, 오프된 소켓에 로딩된 디바이스의 불량(B) 판정 카운트값이 기설정 카운트값 이상으로 발생하였는지 판단하는 단계(S312) 이후를 재차 실행한다.
따라서, 소켓 오프 리첵크 오프 또는 온 판단 결과(S300), 리첵크 온이 되어 있으면, 리첵크 온 모드 즉, 절대, 상대, 연속 또는 혼합 모드를 판단하고, 해당 모드별로 각 소켓별로 리첵크 테스트를 실행하고 이상이 발생한 것으로 오프한 소켓을 자동 '온'시키거나 또는 계속해서 '오프'시킨다(S320 - S350).
각 리첵크 온 모드별 자동 소켓 온 또는 오프 세부동작을 상세히 설명하면 다음과 같다.
먼저, 도 4를 참조하여 절대 모드를 설명하면 다음과 같다.
절대 모드는 리첵크 테스트가 시작되고, 오프된 해당 소켓별로 디바이스의 불량(B) 판정이 발생되면(S321), 불량(B) 판정 디바이스의 로딩 카운트값 즉, B 카운트값이 기설정된 카운트값 이상인지, 즉 오프된 해당 소켓에서 설정수 이상의 불량 판정 디바이스가 로딩되었는지를 판단한다(S322).
상기 판단결과(S322), B 카운트값이 기설정된 카운트값 이상이면 오프된 해 당 소켓의 리첵크 테스트 종료 후, 해당 소켓의 수율(Y1)을 계산한다(S324). 이때 수율(Y1)은 리첵크 테스트된 총 오프 소켓 수량에 대한 양품 판정된 오프 소켓 수량의 백분율이다.
한편, B 카운트값이 기설정된 카운트값 미만이면, 오프 소켓의 리첵크 테스트를 위해 디바이스를 로딩한다(S323).
이어서, 상기 계산된 수율(Y1)이 기설정된 수율(Y0) 이상인지를 판단하고(S325), 계산된 수율(Y1)이 기설정된 수율(Y0) 미만이면 해당 소켓의 이상으로 판단하여 해당 소켓을 자동 '오프'한다(S327).
이와 달리, 상기 계산된 수율(Y1)이 기설정된 수율(Y0) 이상이면, 해당 소켓을 자동 '온'한다(S326). 결국, 해당 소켓의 불량률이 소정 기준치를 감안하되, 기준치 이상일 경우 무조건 소켓을 오프시키고, 기준치 미만일 경우 무조건 소켓을 온시키는 것이다.
다음 도 5를 참조하여 상대 모드를 설명하면 다음과 같다.
상대 모드는 리첵크 테스트가 시작되고, 오프된 해당 소켓별로 디바이스의 불량(B) 판정이 발생되면(S331), 불량(B) 판정 디바이스의 로딩 카운트값 즉, B 카운트값이 기설정된 카운트값 이상인지, 즉 오프된 해당 소켓에서 설정수 이상의 불량 판정 디바이스가 로딩되었는지를 판단한다(S332).
상기 판단결과(S332), B 카운트값이 기설정된 카운트값 이상이면 오프된 해당 소켓의 리첵크 테스트 종료 후, 해당 소켓의 수율(Y1)을 계산한다(S334). 이때 수율(Y1)은 리첵크 테스트된 총 오프 소켓 수량에 대한 양품 판정된 오프 소켓 수 량의 백분율이다.
한편, B 카운트값이 기설정된 카운트값 미만이면, 오프 소켓의 리첵크 테스트를 위해 디바이스를 로딩한다(S333).
이어서, 상기 계산된 수율(Y1)이 전체 테스트 트레이 평균 수율(YT)에서 상기 계산된 수율(Y1)을 뺀 차이값(YT-Y1)이 기설정 수율(Y0) 이상인지를 판단하고(S335), 계산된 차이값( YT-Y1)이 기설정된 수율(Y0) 미만이면 해당 소켓의 이상으로 판단하여 해당 소켓을 자동 '오프'한다(S337).
이와 달리, 상기 계산된 차이값(YT-Y1)이 기설정된 수율(Y0) 이상이면, 해당 소켓을 자동 '온'한다(S336). 결국, 해당 소켓의 불량률이 소정 기준치를 감안하되, 기준치 이상일 경우 무조건 소켓을 오프시키고, 기준치 미만일 경우 무조건 소켓을 온시키는 것이다.
다음 도 6을 참조하여 연속 모드를 설명하면 다음과 같다.
연속 모드는 리첵크 테스트가 시작되고, 오프된 해당 소켓별로 디바이스의 불량(B) 판정이 발생되면(S341), 불량(B) 판정 디바이스의 로딩 카운트값 즉, B 카운트값이 기설정된 카운트값 이상인지, 즉 오프된 해당 소켓에서 설정수 이상의 불량 판정 디바이스가 로딩되었는지를 판단한다(S342).
상기 판단결과(S342), B 카운트값이 기설정된 카운트값 이상이면 오프된 해당 소켓의 리첵크 테스트 종료 후, 로딩된 횟수 만큼 등급을 판정한다(S344)
한편, B 카운트값이 기설정된 카운트값 미만이면, 오프 소켓의 리첵크 테스트를 위해 디바이스를 로딩한다(S343).
이어서, 설정된 테스트 트레이 전체에 대해 어떻게 연속적용을 할지를 설정하는 및(and)/또는(or)을 판단한다(S345).
상기 판단결과(S345), 또는(or)으로 판단되면, 연속적으로 같은 등급으로 판정한다(S346). 즉 설정한 테스트 트레이를 모두 같은 트레이로 설정하여 소켓 오프시킨다.
이와 달리, 및(and)으로 판단되면, 개별적으로 같은 등급으로 판정한다(S347). 즉 설정된 테스트 트레이가 개별적으로 연속될 경우에만 소켓 오프시킨다.
이상의 등급 판정에 이어서, 해당 소켓을 자동으로 온 또는 오프한다(S348). 예를 들면, 로트(lot)가 시작되어 초기에 설정되는 연속 모드의 설정된 테스트 트레이 중에서 1 내지 8의 테스트 트레이 중에서 소켓 오프되는 테스트 결과는 다음과 같다.
또는(or)으로 판단되어 6,7,8의 테스트 트레이가 선택되는 경우, 소켓 오프되며, 6,6,6의 테스트 트레이가 선택되는 경우, 소켓 오프되며, 7,8,7의 테스트 트레이가 선택되는 경우 소켓 오프된다.
이와 달리 및(and)으로 판단되어 6,7,8의 테스트 트레이가 선택되는 경우, 소켓 오프되지 않으며, 6,6,6의 테스트 트레이가 선택되는 경우 소켓 오프되며, 7,8,7의 테스트 트레이가 선택되는 경우 소켓 오프되지 않는다.
다름 도 7을 참조하여 혼합 모드를 설명하면 다음과 같다.
혼합 모드는 도 5의 상대 모드와 도 6의 연속 모드를 동시에 적용한 모드로서 연속 모드가 상대 모드에 우선한다.
혼합 모드는 리첵크 테스트 결과, 오프된 해당 소켓별로 디바이스의 불량(B) 판정이 발생되면(S351), 불량(B) 판정 디바이스의 로딩 카운트값 즉, B 카운트값이 기설정된 카운트값 이상인지, 즉 오프된 해당 소켓에서 설정수 이상의 불량 판정 디바이스가 로딩되었는지를 판단한다(S352).
상기 판단결과(S352), B 카운트값이 기설정된 카운트값 이상이면 오프된 해당 소켓의 리첵크 테스트 종료 후, 로딩된 횟수 만큼 등급을 판정한다(S353)
한편, B 카운트값이 기설정된 카운트값 미만이면, 오프 소켓의 리첵크 테스트를 위해 디바이스를 로딩한다(S360).
이어서, 설정된 테스트 트레이 전체에 대해 어떻게 연속적용을 할지를 설정하는 및(and)과 또는(or)을 판단한다(S354).
상기 판단결과(S354), 또는(or)으로 판단되면, 연속적으로 같은 등급으로 판정한다(S355). 즉 설정한 테스트 트레이를 모두 같은 테스트 트레이로 설정하여 소켓 오프시킨다.
이와 달리, 및(and)으로 판단되면, 개별적으로 같은 등급으로 판정한다(S356). 즉 설정된 테스트 트레이가 개별적으로 연속될 경우에만 소켓 오프시킨다.
이상의 등급 판정에 이어서, 해당 소켓을 자동으로 온/오프한다(S357).
한편, 상기 판단결과(S357), B 카운트값이 기설정된 카운트값 이상이면 오프된 해당 소켓의 리첵크 테스트 종료 후, 등급판정 단계(S353)를 수행함과 동시에 해당 소켓의 수율(Y1)을 계산한다(S361). 이때 수율(Y1)은 리첵크 테스트된 총 오 프 소켓 수량에 대한 양품 판정된 오프 소켓 수량의 백분율이다.
이와 달리 B 카운트값이 기설정된 카운트값 미만이면, 오프 소켓의 리첵크 테스트를 위해 디바이스를 로딩한다(S360).
이어서, 상기 계산된 수율(Y1)이 전체 테스트 트레이 평균 수율(YT)에서 상기 계산된 수율(Y1)을 뺀 차이값(YT-Y1)이 기설정 수율(Y0) 이상인지를 판단하고(S362), 계산된 차이값( YT-Y1)이 기설정된 수율(Y0) 미만이면 해당 소켓의 이상으로 판단하여 해당 소켓을 자동 '오프'한다(S363).
이와 달리, 상기 계산된 차이값(YT-Y1)이 기설정된 수율(Y0) 이상이면, 해당 소켓을 자동 '온/오프'한다(S357). 결국, 해당 소켓의 불량률이 소정 기준치를 감안하되, 기준치 이상일 경우 무조건 소켓을 온시키고, 기준치 미만일 경우 무조건 소켓을 오프시키는 것이다.
마지막으로, 테스트 종료단계(S400)에서, 이상의 모드별 리첵크 테스트 결과 소켓 오프 개수가 설정 개수 이상인지 판단하고(S420), 소켓 오프 개수가 설정 개수 이상이면 더 이상 정상적인 테스팅 작업을 수행할 수 없는 것으로 판단하고 테스크를 종료하고 작업자에게 알람을 발생시킨다(S440).
따라서 작업자는 해당 소켓들이 포함된 헤드(Head)의 사용을 중지하고 교환하는 등의 작업을 수행한다.
이상 본 발명에 따른 리첵크 모드를 가지는 테스트 핸들러의 자동 소켓 온 오프 방법의 구체적인 실시 형태로서 설명하였으나, 이는 예시에 불과한 것으로서, 본 발명은 이에 한정되지 않는 것이며, 본 명세서에 개시된 기초 사상에 따르는 최광의 범위를 갖는 것으로 해석되어야 함은 물론이며, 당업자라면 이하에 기재된 특허청구범위에 기재된 것이외에 용이하게 변경 또는 변형도 실시될 가능성이 자명하므로 이러한 변형된 실시예들은 본 발명의 권리범위에 속함은 명백하다.
도 1은 일반적인 테스트 핸들러의 구성을 나타낸 평면도
도 2는 본 발명에 따른 리첵크 모드를 가지는 테스트 핸들러의 자동 소켓 온 오프 방법을 나타낸 플로우챠트
도 3은 도 2의 리첵크 모드를 설명하기 위한 플로우챠트
도 4는 리첵크 온 모드인 경우의 도 3의 절대 모드를 설명하기 위한 플로우챠트
도 5는 리첵크 온 모드인 경우의 도 3의 상대 모드를 설명하기 위한 플로우챠트
도 6은 리첵크 온 모드인 경우의 도 3의 연속 모드를 설명하기 위한 플로우챠트
도 7은 리첵크 온 모드인 경우의 도 3의 혼합 모드를 설명하기 위한 플로우챠트
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
10: 로딩부 20: 언로딩부
31: 제1 피커로봇 32: 제2 피커로봇
40: 버퍼부 50: 교환부
70: 챔버부

Claims (6)

  1. 다수개의 소켓(Socket)을 구비하고 각각의 소켓에 테스트 대상물을 장착하여 테스트를 수행하는 테스트 핸들러의 자동 소켓 온 오프 방법에 있어서,
    테스트 모드 및 각 모드별 기준값을 설정하는 단계와,
    소켓 오프 자동 모드일 경우 절대, 상대, 연속 또는 혼합 모드 중 설정된 어느 하나의 모드를 파악하는 단계,
    소켓 오프 리첵크 온 모드일 경우 절대, 상대, 연속 또는 혼합 모드 중 설정된 어느 하나의 모드를 파악하는 단계와,
    테스트를 시작하고 불량 판정율, 수율, 불량 판정 등급 또는 불량 판정 횟수 중 적어도 어느 하나 이상과 해당 모드의 기준값을 비교하는 단계,
    상기 비교 결과에 따라 각 소켓의 이상을 판단하고, 상기 이상 여부가 판단된 소켓을 온 오프시키는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 리첵크 모드를 가지는 테스트 핸들러의 자동 소켓 온 오프방법.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 소켓 오프 리첵크 온 모드의 설정은 소켓을 오프한 후, 오프된 소켓별로 로딩된 디바이스의 불량 판정(B)과 불량 판정 모드별로 기준값을 설정하는 단계와,
    소켓 오프 후 오프된 소켓에 로딩된 불량 판정 카운트가 설정수 이상인지를 판단하는 단계와,
    불량 판정(B) 디바이스가 설정수 이상이면 불량 판정 디바이스의 로딩 스텝이 설정된 스텝과 동일한지 판단하는 단계와,
    로딩 스텝이 동일하면 불량 판정 디바이스의 로딩 카운터가 설정수 이상인지를 판단하는 단계와,
    불량 판정 디바이스의 로딩 카운트값이 설정수 이상이면 리첵크 테스트 모드를 오프하는 단계와,
    불량 판정 디바이스의 상기 로딩 카운트값이 설정수 이하이면 오프 소켓을 리첵크하고자 디바이스를 로딩하는 단계와,
    오프 소켓의 리첵크 테스트를 실행하는 단계를 포함하는 리첵크 모드를 가지는 테스트 핸들러의 자동 소켓 온 오프 방법.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 오프된 소켓의 수가 설정수 이상이면 알람을 발생시키는 단계를 더 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 리첵크 모드를 가지는 테스트 핸들러의 자동 소켓 온 오프 방법.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 소켓 오프 리첵크 온 모드 중 설정된 어느 하나의 모드가 절대 모드이면, 리첵크 테스트를 시작하고, 오프된 해당 소켓별로 디바이스의 불량(B) 판정이 발생되면, 불량(B) 판정 디바이스의 로딩 카운트값이 설정수 이상인지를 판단하는 단계와,
    상기 불량 판정 디바이스가 설정수 이상이면 오프된 해당 소켓의 리첵크 테스트 종료 후, 해당 소켓의 수율(Y1)을 계산하는 단계와,
    상기 불량 판정 디바이스가 설정수 미만이면, 오프된 소켓의 리첵크 테스트를 위해 디바이스를 로딩하는 단계와,
    상기 계산된 수율(Y1)이 기설정된 수율(Y0) 이상인지를 판단하는 단계와,
    계산된 수율(Y1)이 기설정된 수율(Y0) 미만이면 해당 소켓의 이상으로 판단하여 해당 소켓을 자동 '오프'하는 단계와,
    상기 계산된 수율(Y1)이 기설정된 수율(Y0) 이상이면, 해당 소켓을 자동 '온'하는 단계를 포함하는 리첵크 모드를 가지는 테스트 핸들러의 자동 소켓 온 오프 방법.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 소켓 오프 리첵크 온 모드 중 설정된 어느 하나의 모드가 상대 모드일 경우 리첵크 테스트가 시작되고, 오프된 해당 소켓별로 디바이스의 불량(B) 판정이 발생되면, 불량(B) 판정 디바이스의 로딩 카운트값이 설정수 이상인지를 판단하는 단계와,
    상기 불량 판정 디바이스의 로딩 카운트값이 설정수 이상이면 오프된 해당 소켓의 리첵크 테스트 종료 후, 해당 소켓의 수율(Y1)을 계산하는 단계와,
    상기 불량 판정 디바이스의 로딩 카운트값이 설정수 미만이면, 오프 소켓의 리첵크 테스트를 위해 디바이스를 로딩하는 단계와,
    상기 계산된 수율(Y1)이 전체 테스트 트레이 평균 수율(YT)에서 상기 계산된 수율(Y1)을 뺀 차이값(YT-Y1)이 기설정 수율(Y0) 이상인지를 판단하는 단계와,
    계산된 차이값(YT-Y1)이 기설정된 수율(Y0) 미만이면 해당 소켓의 이상으로 판단하여 해당 소켓을 자동 '오프'하는 단계와,
    상기 계산된 차이값(YT-Y1)이 기설정된 수율(Y0) 이상이면, 해당 소켓을 자동 '온'하는 단계를 포함하는 리첵크 모드를 가지는 테스트 핸들러의 자동 소켓 온 오프 방법.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 소켓 오프 리첵크 온 모드 중 설정된 어느 하나의 모드가 연속 모드일 경우 리첵크 테스트가 시작되고, 리첵크 테스트가 시작되고, 오프된 해당 소켓별로 디바이스의 불량(B) 판정이 발생되면, 불량(B) 판정 디바이스의 로딩 카운트값이 설정수 이상인지를 판단하는 단계와,
    상기 불량 판정 디바이스의 로딩 카운트값이 설정수 이상이면 오프된 해당 소켓의 리첵크 테스트 종료 후, 로딩된 횟수 만큼 등급을 판정하는 단계와,
    상기 불량 판정 디바이스의 로딩 카운트값이 설정수 미만이면, 오프 소켓의 리첵크 테스트를 위해 디바이스를 로딩하는 단계와,
    설정된 테스트 트레이 전체에 대해 어떻게 연속적용을 할지를 설정하는 및(and)과 또는(or)을 판단하는 단계와,
    상기 또는(or)으로 판단되면, 연속적으로 같은 등급으로 판정하여 설정한 테스트 트레이를 모두 같은 테스트 트레이로 설정하여 소켓 오프시키는 단계와,
    상기 및(and)으로 판단되면, 개별적으로 같은 등급으로 판정하여, 설정된 테스트 트레이가 개별적으로 연속될 경우에만 소켓 오프시키는 단계와,
    이상의 등급 판정에 이어서, 해당 소켓을 자동으로 온 또는 오프하는 단계를 포함하는 리첵크 모드를 가지는 테스트 핸들러의 자동 소켓 온 오프 방법.
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