KR101302300B1 - 대면적 기판의 방향 전환장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 대면적 기판의 방향 전환장치에 관한 것으로, 모터의 회전속도를 감속하는 감속부와, 상기 감속부를 통해 감속된 모터의 구동력에 의해 회전하는 하부 플레이트와, 상기 하부 플레이트의 상부에 결합되며, 하부에서 상부로 갈수록 그 가장자리의 크기가 단계적으로 확장되는 결합기재와, 상기 결합기재의 상부면에 결합되며, 상면에 다수로 마련된 지지핀으로 대면적 기판을 지지하는 상부 플레이트를 포함한다. 이와 같은 구성의 본 발명은 구동력을 전달받는 원판형의 하부 플레이트와 대면적 기판을 지지핀을 통해 지지하는 상부 플레이트를 분리하고, 그 하부 플레이트와 상부 플레이트의 사이에서 두 플레이트를 고정하되, 상기 상부 플레이트의 저면을 더 큰 면적으로 고정하는 결합기재를 두어 보다 안정적인 회전이 가능하며, 상부 플레이트가 기울어지는 것을 방지함으로써, 장치의 신뢰성을 보다 향상시킴과 아울러 정확한 각도의 방향전환이 가능하여 공정의 수율을 높일 수 있는 효과가 있다.

Description

대면적 기판의 방향 전환장치{Turntable for large area substrate }

도 1은 종래 대면적 기판의 방향 전환장치의 구성도이다.

도 2는 본 발명 대면적 기판의 방향 전환장치의 바람직한 실시예에 따른 측면 구성도이다.

도 3은 본 발명 대면적 기판의 방향 전환장치의 바람직한 실시예의 일부 평면 투시도이다.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

10:모터 20:감속부

30:하부 플레이트 40:결합기재

41:막대형 결합부 42:십자형 결합부

50:상부 플레이트 60:대면적 기판

본 발명은 대면적 기판의 방향 전환장치에 관한 것으로, 특히 대면적 기판의 회전시 발생할 수 있는 불균형 현상을 방지하는데 적당하도록 한 대면적 기판의 방향 전환장치에 관한 것이다.

일반적으로, 대면적의 평판 디스플레이 제조용 대면적 기판은 세정, 증착, 사진식각 등의 공정을 반복하여 그 평판 디스플레이의 종류에 따른 소자 패턴들이 형성된다.

이와 같은 과정에서 상기 대면적 기판은 서로 이격되어 있는 공정장비의 사이에서 이송되어야 하며, 이때 그 공정장비의 종류나 구조에 따라 대면적 기판의 방향을 전환해야 할 필요가 있다.

상기의 필요성에 의해 대면적 기판이 상부에 로딩된 상태에서 그 기판을 소정의 각도로 회전시키는 방향 전환장치가 개발되어 사용되고 있으며, 이와 같은 종래 대면적 기판의 방향 전환장치를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 1은 종래 대면적 기판의 방향 전환장치의 구성도이다.

도 1을 참조하면, 종래 대면적 기판의 방향 전환장치는 모터(1)의 구동력을 전달받아 회전하는 직사각형의 플레이트(2)와, 상기 플레이트(2)의 상부에 돌출되어 대면적 기판(4)을 지지하는 지지핀(3)으로 구성된다.

이하, 상기와 같이 구성된 종래 대면적 기판의 방향 전환장치를 보다 상세히 설명한다.

먼저, 상기 플레이트(2)는 대면적 기판(4)의 형상 및 면적과 유사한 직사각형의 형상이다. 그리고 그 플레이트(2)의 저면 무게중심에는 모터(1)의 회전축이 직접 연결된다.

또한, 상기 플레이트(2)의 상부에는 대면적 기판(4)을 지지하는 다수의 지지핀(3)이 돌출되어 있다.

상기 지지핀(3)은 대면적 기판(4)이 플레이트(2)에 직접 접하는 경우, 그 플레이트(2)에 대면적 기판(4)을 로딩하거나, 언로딩하기가 용이하지 않기 때문에 그 대면적 기판(4)을 플레이트(2)의 상면으로부터 소정거리 이격시키는 역할을 한다.

이와 같은 구조에서 상기 플레이트(2)의 지지핀(3) 상에 방향의 전환이 필요한 대면적 기판(4)이 로딩된 후, 상기 모터(1)가 구동되면 플레이트(2)가 회전함과 아울러 대면적 기판(4)도 회전한다.

이때, 상기 모터(1)의 회전축이 플레이트(2)의 무게중심에 연결되어 있기는 하지만, 모터(1) 자체의 진동과 회전체의 관성력, 직사각형인 플레이트(2)와 대면적 기판(4)의 형상에 의해 발생하는 불균형한 회전구조를 나타낸다.

따라서, 상기 대면적 기판(4)이 일측으로 기울어지거나, 상기 지지핀(3)으로부터 이탈하여 원하는 각도로의 방향전환이 이루어지지 않는 경우가 발생한다.

또한, 상기 플레이트(2)는 항상 수평한 상태를 유지해야 하나, 오랜 사용에 의해 약간의 기울어짐이 발생할 수 있고, 이러한 기울어짐이 발생하는 경우 그 상부의 대면적 기판(4)은 회전시 기울어짐 방향을 따라 미끄러져 그 방향의 전환이 정확하게 이루어지지 않는 문제점이 발생할 수 있다.

따라서 상기 플레이트(2)의 수평상태를 주기적으로 확인해야 하나 그 플레이트(2)의 수평상태를 확인하기가 용이하지 않은 문제점이 있었다.

상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명은 안정된 회전을 통해 대면적 기판의 방향 전환을 정확하게 할 수 있는 대면적 기판의 방향 전환장치를 제공함에 그 목적이 있다.

또한, 본 발명은 대면적 기판을 로딩하는 플레이트가 쉽게 기울어지지 않는 견고한 구조를 가지며, 그 플레이트의 수평상태 확인이 용이한 대면적 기판의 방향 전환장치를 제공함에 다른 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 모터의 회전속도를 감속하는 감속부와, 상기 감속부를 통해 감속된 모터의 구동력에 의해 회전하는 하부 플레이트와, 상기 하부 플레이트의 상부에 결합되며, 하부에서 상부로 갈수록 그 가장자리의 크기가 단계적으로 확장되는 결합기재와, 상기 결합기재의 상부면에 결합되며, 상면에 다수로 마련된 지지핀으로 대면적 기판을 지지하는 상부 플레이트를 포함한다.

상기와 같이 구성되는 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 2는 본 발명 대면적 기판 방향 전환장치 바람직한 실시예의 측면 구성도이고, 도 3은 그 평면 일부 투시도이다.

도 2와 도 3을 각각 참조하면, 본 발명 대면적 기판 방향 전환장치는 동력을 발생시키는 모터(10)의 회전력을 감속하는 감속부(20)와, 상기 감속부(20)에서 감속된 모터(10)의 구동력을 전달받아 회전하는 하부 플레이트(30)와, 상기 하부 플레이트(30)의 상부에 위치하는 결합기재(40)와, 상기 결합기재(40)에 의해 상기 하부 플레이트(30)에 견고하게 결합되는 상부 플레이트(50)와, 상기 상부 플레이 트(50) 상에서 돌출되어 방향을 전환할 대면적 기판(60)을 지지하는 지지핀(51)을 포함한다.

상기 결합기재(40)는 상기 하부 플레이트(30)의 상면에 체결되되, 상기 상부 플레이트(50)의 대각선 방향을 따라 위치하는 다수의 막대형 결합부(41)와, 상기 막대형 결합부(41)의 상면과 상기 상부 플레이트(50)의 사이를 견고하게 체결하되, 상기 상부 플레이트(50)의 네 변의 방향으로 돌출부를 가지는 십자형 결합부(42)를 포함한다.

이하, 상기와 같이 구성된 본 발명 대면적 기판의 방향 전환장치의 구성과 작용을 보다 상세히 설명한다.

먼저, 본 발명 대면적 기판의 방향 전환 장치는 모터(10)의 구동축의 회전속도를 감속시키는 감속부(20)가 구비되어 대면적 기판(60)의 방향 전환시 회전속도를 감속시켜 회전체의 관성력에 의해 발생되는 불균일한 회전 현상을 줄이고, 그 모터(10)의 진동을 줄여 대면적 기판(60)이 보다 안정된 상태에서 회전을 할 수 있게 한다.

상기 감속부(20)의 감속비는 모터(10)의 정격 및 공정의 진행속도에 따라 적당하게 선택할 수 있다.

상기 감속부(20)에 의해 감속된 모터(10)의 회전력은 하부 플레이트(30)에 전달된다. 그 하부 플레이트(30)의 형상은 원판형이며, 그 원판의 일부를 천공하여 강성을 유지하는 상태로 중량을 줄일 수 있도록 한다.

이와 같은 중량의 감소는 모터(10)의 부하를 줄이기 위한 것이다.

상기 하부 플레이트(30)의 상부에는 4개의 막대형 결합부(41)가 결합된다. 이때 막대형 결합부(41)는 그 하부 플레이트(30)의 무게중심을 중심으로 상호 소정거리 이격되어 있으며, 그 설치 방향은 이후에 상세히 설명할 상부 플레이트(50)의 대각선 방향이 되도록 한다.

즉, 한 쌍의 막대형 결합부(41)가 상부 플레이트(50)의 일측 대각선 방향으로 상호 동일 선상에 위치하며, 다른 한 쌍의 막대형 결합부(41)가 상부 플레이트(50)의 다른 대각선 방향으로 상호 동일 선상에 위치하도록 결합된다.

이때, 상기 상부 플레이트(50)는 직사각형이므로, 한 쌍의 막대형 결합부(41)와 다른 한 쌍의 막대형 결합부(41)가 교차하는 각도는 직각이 아닌 다른 각도가 된다.

상기 막대형 결합부(41)의 상부에는 상기 상부 플레이트(50)와의 결합을 위한 십자형 결합부(42)가 결합된다.

이때 상기 십자형 결합부(42)는 중량의 감소를 위하여 천공된 리브(rib) 구조일 수 있다. 이와 같은 십자형 결합부(42)의 크기는 상기 하부 플레이트(30)에 비해 더 크며, 상기 상부 플레이트(50)에 비해서는 더 작은 크기로 한다.

십자형 결합부(42)의 설치방향은 그 십자형을 이루는 4개의 돌출부가 상기 막대형 결합부(41)의 사이에 위치하도록 한다. 즉, 상기 십자형 결합부(42)의 돌출부가 각각 상부 플레이트(50)의 네 개의 변을 향하도록 설치한다.

이와 같은 구조는 상기 막대형 결합부(41)와 십자형 결합부(42)의 사이 결합력을 높임과 아울러 하부로부터 점차 증가하는 결합기재(40)의 무게중심을 상기 감속부(20)의 회전축 상에 있도록 함으로써, 그 대면적 기판(60)의 회전시에도 보다 안정적인 회전이 가능하게 된다.

상기 십자형 결합부(42)의 상부에는 직사각형의 상부 플레이트(50)가 결합된다. 상기한 각 구조물간의 결합은 다수의 볼트를 통해 견고하게 이루어진다.

상기 다수의 볼트 중에는 상기 막대형 결합부(41)와 십자형 결합부(42) 사이의 유격을 조정할 수 있는 레벨보정 볼트가 구비되어 있으며, 따라서 상기 볼트의 조절에 의해 기판(60)의 수평상태를 정확하게 맞출 수 있게 된다.

상기와 같이 본 발명은 감속부(20)에 의해 감속된 모터(10)의 회전력을 전달받는 하부 플레이트(30)와 대면적 기판(60)을 지지하는 지지핀(51)을 포함하는 상부 플레이트(50)를 분리하고, 그 사이를 견고하게 고정하는 막대형 결합부(41)와 십자형 결합부(42)를 포함하는 결합기재(40)를 둠으로써, 회전에 따른 상기 상부 플레이트(50)가 기울어지는 현상의 발생을 방지하게 된다.

즉, 상기 십자형 결합부(42)는 하부 플레이트(30)가 차지하는 수평방향의 영역에 비해 더 확장된 영역에서 상기 상부 플레이트(50)를 지지 고정하기 때문에 상부 플레이트(50)가 쉽게 기울어지지 않고 수평상태를 유지할 수 있도록 한다.

상기 설명에서 막대형 결합부(41)와 십자형 결합부(42)의 방향성을 특정하였지만, 막대형 결합부(41)를 상부 플레이트(50)의 변 측으로 향하게 하고, 십자형 결합부(42)를 상부 플레이트(50)의 대각선 방향으로 위치시키는 경우에도 동일한 작용을 할 수 있음은 물론이다.

이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시 예들을 들어 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시 예들에 한정되지 않으며 본 발명의 개념을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능하다.

상기한 바와 같이 본 발명 대면적 기판의 방향 전환장치는 방향 전환을 구동하는 모터의 회전속도를 줄임으로써 대면적 기판의 회전시 발생하는 회전체 관성력의 영향을 줄여 보다 정확한 각도의 방향 전환이 가능한 효과가 있다.

또한, 본 발명은 대면적 기판의 방향을 전환하는 구동력을 전달받는 원판형 의 하부 플레이트와 대면적 기판을 지지핀을 통해 지지하는 상부 플레이트를 분리하고, 그 하부 플레이트와 상부 플레이트의 사이에서 두 플레이트를 고정하되, 상기 상부 플레이트의 저면을 더 큰 면적으로 고정하는 결합기재를 두어 보다 안정적인 회전이 가능하며, 상부 플레이트가 기울어지는 것을 방지함으로써, 장치의 신뢰성을 보다 향상시킴과 아울러 정확한 각도의 방향전환이 가능하여 공정의 수율을 높일 수 있는 효과가 있다.

Claims (4)

1. 모터의 회전속도를 감속하는 감속부;

   상기 감속부를 통해 감속된 모터의 구동력에 의해 회전하는 하부 플레이트;

   상기 하부 플레이트의 상부에 결합되며, 하부에서 상부로 갈수록 그 가장자리의 크기가 단계적으로 확장되는 결합기재; 및

   상기 결합기재의 상부면에 결합되며, 상면에 다수로 마련된 지지핀으로 대면적 기판을 지지하는 상부 플레이트를;

   포함하여 구성되고,

   상기 결합기재는, 상기 하부 플레이트 상에 위치하는 다수의 막대형 결합부; 및 상기 막대형 결합부 상에 결합되며, 상면이 상기 상부 플레이트의 저면에 결합되되, 그 상부 플레이트의 대각선 방향 또는 변방향의 돌출부를 가지는 십자형 결합부를 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 기판의 방향 전환장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 십자형 결합부는,

   그 면의 일부가 천공된 리브인 것을 특징으로 하는 대면적 기판의 방향 전환장치.
3. 제1항에 있어서,

   상기 막대형 결합부와 십자형 결합부는 볼트결합되며, 그 볼트의 조절에 따라 상기 상부 플레이트의 수평상태가 조절되는 것을 특징으로 하는 대면적 기판의 방향 전환장치.
4. 삭제

Images