KR101289782B1

KR101289782B1 - Variable table apparatus

Info

Publication number: KR101289782B1
Application number: KR1020110078875A
Authority: KR
Inventors: 박기삼
Original assignee: 주식회사 케이엔제이
Priority date: 2011-08-09
Filing date: 2011-08-09
Publication date: 2013-07-26
Also published as: KR20130016770A

Abstract

본 발명은 가변테이블장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 최소의 구동원을 구비하여 복수의 테이블을 X방향 및 Y방향으로 이동하여 다양한 면적의 기판에 대응할 수 있는 가변테이블장치에 관한 것이다.
본 발명에 의한 가변테이블장치는 베이스; 상기 베이스상에 나란히 설치되는 제1 및 제2 안내부; 상기 제1 및 제2안내부상에 나란히 설치되며, 상기 제1 및 제2 안내부와 직교하는 제3 및 제4 안내부; 상기 제3 안내부상에 각각 설치된 제1 및 제2테이블; 상기 제4 안내부상에 설치되며 상기 제2테이블과 이웃하는 제3테이블; 상기 제4 안내부상에 설치되며 상기 제1테이블과 이웃하는 제4테이블; 상기 제1테이블과 제2테이블, 상기 제3테이블과 제4테이블이 각각 상기 제3 및 제4 안내부를 따라 상호 접근 또는 이격되도록 구동하는 제1구동수단; 및 상기 제3 및 제4 안내부가 상기 제1 및 제2 안내부를 따라 상호 접근 또는 이격되도록 구동하는 제2 구동수단;을 포함한다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a variable table apparatus, and more particularly, to a variable table apparatus having a minimum driving source and capable of responding to substrates of various areas by moving a plurality of tables in the X and Y directions.
Variable table device according to the invention the base; First and second guide parts installed side by side on the base; Third and fourth guide parts disposed side by side on the first and second guide parts and orthogonal to the first and second guide parts; First and second tables respectively provided on the third guide portion; A third table disposed on the fourth guide portion and neighboring the second table; A fourth table disposed on the fourth guide portion and neighboring the first table; First driving means for driving the first table and the second table, the third table and the fourth table to be approached or spaced apart from each other along the third and fourth guides, respectively; And second driving means for driving the third and fourth guide parts to approach or be spaced apart from each other along the first and second guide parts.

Description

Variable Table Apparatus {VARIABLE TABLE APPARATUS}

본 발명은 가변테이블장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 최소의 구동원을 구비하여 복수의 테이블을 X방향 및 Y방향으로 이동하여 다양한 면적의 기판에 대응할 수 있는 가변테이블장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a variable table apparatus, and more particularly, to a variable table apparatus having a minimum driving source and capable of responding to substrates of various areas by moving a plurality of tables in the X and Y directions.

일반적으로 평판 디스플레이 기판은 원판유리에서 필요로 크기로 절단하여 사용한다. 이와 같이 절단하게 되면 날카롭기 때문에 깨지기 쉬워 에지를 둥글게 면취하여 깨짐이나 크랙을 방지한다. 또는 외곽형상을 소정의 디자인에 따라 가공을 하는 경우도 있다. In general, a flat panel display substrate is cut to size required from the original glass. When cut in this way, it is sharp and brittle, and the edges are chamfered to prevent cracking or cracking. Or the outer shape may be processed according to a predetermined design.

특히, 네 코너를 둥글게 또는 임의의 형상으로 가공하는 경우가 있다. 도 1은 기판(S)의 코너를 직선으로 가공하는 경우((a)참조)와 둥굴게 가공하는 경우((b)참조)를 나타낸 것이다. 도면부호 '10'은 연마지석을 나타낸 것이다. In particular, four corners may be rounded or processed into arbitrary shapes. 1 shows the case where the corners of the substrate S are processed in a straight line (see (a)) and the case where the corners are rounded (see (b)). Reference numeral 10 denotes a grinding wheel.

도 2는 종래 기판의 코너를 가공하는 장치를 나타낸 것이다. 도시된 바와 같이, 기판(S)을 테이블(121)에 견고히 고정시킨 상태에서, 스핀들(111)을 이용하여 연마지석(110)을 회전시켜 기판의 코너를 가공한다. 한편, 기판을 견고히 고정하기 위하여 주로 진공으로 기판을 흡착하는 흡착테이블을 많이 이용한다.2 shows an apparatus for processing corners of a conventional substrate. As shown, in the state in which the substrate S is firmly fixed to the table 121, the corner of the substrate is processed by rotating the abrasive grindstone 110 using the spindle 111. On the other hand, in order to firmly fix the substrate, a suction table that mainly sucks the substrate by vacuum is often used.

또한 기판의 네 코너를 가공하기 위하여 최소한 네 코너를 지지하는 4개의 흡착테이블이 요구되며, 기판의 처짐, 변형 또는 파손을 방지하기 위하여 3×3과 같이 복수개의 흡착테이블을 구비하기도 한다. In addition, four adsorption tables supporting at least four corners are required to process four corners of the substrate, and a plurality of adsorption tables, such as 3 × 3, may be provided to prevent sagging, deformation, or breakage of the substrate.

한편, 코너 가공장치는 다양한 면적의 기판들을 가공하기 위하여 가변테이블장치를 구비한다. 도 3을 참조하면, 가변테이블장치(120)는 소면적 기판(S1)을 가공할 때는 흡착테이블들이 밀집하고, 대면적 기판(S2)을 가공할 때는 흡착테이블들이 이격된다. 이를 위해 각 흡착테이블들은 X방향, Y방향으로 수평운동이 가능해야 하고, 특히, 네 코너를 지지하는 흡착테이블들은 θ방향으로 이동이 가능하도록 구성된다. 따라서 각 흡착테이블들을 X방향, Y방향 및 θ방향으로 구동하기 위한 구동원들이 구비되어야 하기 때문에 구성이 매우 복잡하다는 문제점이 있다. On the other hand, the corner processing apparatus includes a variable table apparatus for processing substrates of various areas. Referring to FIG. 3, in the variable table apparatus 120, the suction tables are concentrated when the small area substrate S1 is processed, and the suction tables are spaced apart when the large area substrate S2 is processed. For this purpose, each suction table must be capable of horizontal movement in the X direction and the Y direction, and in particular, the suction tables supporting the four corners are configured to be movable in the θ direction. Therefore, there is a problem in that the configuration is very complicated because drive sources for driving the respective suction tables in the X, Y and θ directions must be provided.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 최소의 구동원을 구비하여 복수의 테이블을 X방향 및 Y방향으로 이동하여 다양한 면적의 기판에 대응할 수 있는 가변테이블장치를 제공함에 있다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a variable table apparatus having a minimum driving source and corresponding to a substrate having various areas by moving a plurality of tables in X and Y directions. Is in.

위와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 의한 가변테이블장치는 베이스; 상기 베이스상에 나란히 설치되는 제1 및 제2 안내부; 상기 제1 및 제2안내부상에 나란히 설치되며, 상기 제1 및 제2 안내부와 직교하는 제3 및 제4 안내부; 상기 제3 안내부상에 각각 설치된 제1 및 제2테이블; 상기 제4 안내부상에 설치되며 상기 제2테이블과 이웃하는 제3테이블; 상기 제4 안내부상에 설치되며 상기 제1테이블과 이웃하는 제4테이블; 상기 제1테이블과 제2테이블, 상기 제3테이블과 제4테이블이 각각 상기 제3 및 제4 안내부를 따라 상호 접근 또는 이격되도록 구동하는 제1구동수단; 및 상기 제3 및 제4 안내부가 상기 제1 및 제2 안내부를 따라 상호 접근 또는 이격되도록 구동하는 제2 구동수단;을 포함한다. In order to solve the above technical problem, the variable table device according to the present invention is a base; First and second guide parts installed side by side on the base; Third and fourth guide parts disposed side by side on the first and second guide parts and orthogonal to the first and second guide parts; First and second tables respectively provided on the third guide portion; A third table disposed on the fourth guide portion and neighboring the second table; A fourth table disposed on the fourth guide portion and neighboring the first table; First driving means for driving the first table and the second table, the third table and the fourth table to be approached or spaced apart from each other along the third and fourth guides, respectively; And second driving means for driving the third and fourth guide parts to approach or be spaced apart from each other along the first and second guide parts.

또한 상기 제1구동수단에 의해 상기 제1테이블과 제4테이블, 상기 제2테이블과 제3테이블이 각각 연동되도록 연결하는 제1 및 제2연결수단이 더 구비되는 것이 바람직하다. In addition, it is preferable that the first driving means further comprises first and second connecting means for connecting the first table and the fourth table, the second table and the third table to be interlocked, respectively.

또한 상기 제1 및 제2연결수단은 상기 제1테이블과 제4테이블, 또는 상기 제2테이블과 제3테이블을 연결하는 연결바인 것이 바람직하다. In addition, the first and second connection means is preferably a connecting bar for connecting the first table and the fourth table, or the second table and the third table.

또한 상기 제1구동수단은, 상기 제1연결수단에 연결된 제1너트부재가 체결되는 우나사형 볼스크류와, 상기 제2연결수단에 연결된 제2너트부재가 체결되는 좌나사형 볼스크류와, 상기 우나사형 볼스크류와 좌나사형 볼스크류를 연결하는 연결커플링과, 상기 볼스크류를 회전시키는 구동원을 포함하는 것이 바람직하다. The first driving means may include a right-handed ball screw to which the first nut member connected to the first connecting means is fastened, a left-threaded ball screw to which the second nut member connected to the second connecting means is fastened, and the right hand screw. It is preferable to include a connection coupling for connecting the ball screw and the left-hand ball screw, and a drive source for rotating the ball screw.

또한 상기 제2구동수단은, 상기 제3안내부에 연결된 제3너트부재가 체결되는 우나사형 볼스크류와, 상기 제4안내부에 연결된 제4너트부재가 체결되는 좌나사형 볼스크류와, 상기 우나사형 볼스크류와 좌나사형 볼스크류를 연결하는 연결커플링과, 상기 볼스크류를 회전시키는 구동원을 포함하는 것이 바람직하다. The second driving means may include a right-handed ball screw to which the third nut member connected to the third guide part is fastened, a left-handed ball screw to which the fourth nut member connected to the fourth guide part is fastened, and the right hand screw. It is preferable to include a connection coupling for connecting the ball screw and the left-hand ball screw, and a drive source for rotating the ball screw.

또한 상기 제1테이블, 제2테이블, 제3테이블 및 제4테이블의 중심에 테이블이 더 구비되는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that a table is further provided at the center of the first table, the second table, the third table and the fourth table.

또한 상기 제1테이블과 제2테이블 사이, 상기 제3테이블과 제4테이블 사이, 상기 제1테이블과 제4테이블 사이 및 상기 제2테이블과 제3테이블 사이에 테이블이 더 구비되는 것이 바람직하다. In addition, it is preferable that a table is further provided between the first and second tables, between the third and fourth tables, between the first and fourth tables, and between the second and third tables.

본 발명에 따르면, 복수의 테이블을 X방향 및 Y방향으로 이동하여 다양한 면적의 기판에 대응할 수 있는 효과가 있다. According to the present invention, the plurality of tables can be moved in the X direction and the Y direction to cope with substrates of various areas.

특히, 단지 2개의 구동축만으로 복수의 테이블의 위치를 가변시킬 수 있게 된다. In particular, it is possible to vary the positions of the plurality of tables with only two drive shafts.

도 1 내지 도 3은 종래 기판의 코너가공장치를 나타낸 것이다.
도 4 내지 도 8은 본 발명에 의한 가변테이블장치를 나타낸 것이다. 1 to 3 show the corners of a conventional substrate.
4 to 8 show a variable table apparatus according to the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 실시예의 구성 및 작용을 설명한다. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a configuration and an operation of an embodiment according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 4 및 도 5를 참조하면, 본 발명에 의한 가변테이블장치(1)의 실시예는 베이스(10)와, 제1 내지 제4 안내부(11~14)와, 제1 및 제2 구동수단(21,31)과, 3×3개의 테이블(40)과, 제1 및 제2 연결바(51,52)를 포함한다. 4 and 5, an embodiment of the variable table apparatus 1 according to the present invention includes a base 10, first to fourth guide parts 11 to 14, and first and second driving means. 21 and 31, 3x3 table 40, and the 1st and 2nd connecting bars 51 and 52. As shown in FIG.

상기 제1 및 제2안내부(11,12)는 상기 베이스(10)상에 나란히 설치되고, 상기 제3 및 제4 안내부(13,14)는 상기 제1 및 제2안내부(11,12)상에 나란히 설치되는데, 상기 제1 및 제2 안내부(11,12)와 직교되도록 설치된다. The first and second guide parts 11 and 12 are installed side by side on the base 10, and the third and fourth guide parts 13 and 14 are mounted on the first and second guide parts 11, 12, and 12. 12 is installed side by side, orthogonal to the first and second guide parts 11 and 12.

또한 상기 제3안내부(13)에는 제1테이블(41)과 제2테이블(42)이 설치되고, 제4안내부(14)에는 제3테이블(43)과 제4테이블(44)이 설치된다. 상기 제1 내지 제4테이블(41~44)에는 기판을 진공흡입하기 위하여 진공홀(미도시)이 형성되는 것도 가능하다. In addition, a first table 41 and a second table 42 are installed in the third guide part 13, and a third table 43 and a fourth table 44 are installed in the fourth guide part 14. do. A vacuum hole (not shown) may be formed in the first to fourth tables 41 to 44 to suck the substrate in a vacuum.

또한 상기 제1테이블(41)과 제4테이블(44)이 연동되도록 연결하는 제1연결수단(51)과, 상기 제2테이블(42)과 제3테이블(43)이 연동되도록 연결하는 제2연결수단(52)이 구비된다. 따라서 상기 제1테이블(41)과 제4테이블(44)은 X축방향으로 연동되고, 상기 제2테이블(42)과 제3테이블(43)도 X축방향으로 연동된다. 본 실시예에서 상기 제1 및 제2연결수단(51,52)은 제1테이블(41)과 제4테이블(44)의 하부 또는 제2테이블(42)과 제3테이블(43)의 하부를 관통하는 연결바이다. 또한 상기 연결바가 관통하는 면에는 슬라이딩이 용이하도록 부시가 구비된다. In addition, a first connecting means 51 connecting the first table 41 and the fourth table 44 to interlock with each other, and a second connecting the second table 42 and the third table 43 interlocking with each other. The connecting means 52 is provided. Therefore, the first table 41 and the fourth table 44 are interlocked in the X-axis direction, and the second table 42 and the third table 43 are also interlocked in the X-axis direction. In the present embodiment, the first and second connecting means 51 and 52 may be formed by lowering the first table 41 and the fourth table 44 or lowering the second table 42 and the third table 43. It is a penetrating connecting bar. In addition, a surface of the connection bar is provided with a bush to facilitate sliding.

또한 상기 제1연결수단(51)과 제2연결수단(52)을 상호 접근 또는 이격되도록 구동하는 제1구동수단이 구비된다. 상기 제1구동수단은 제1연결수단(51)에 연결된 제1너트부재(23)가 체결되는 우나사형 볼스크류(22)와, 제2연결수단(52)에 연결된 제2너트부재(25)가 체결되는 좌나사형 볼스크류(24)와, 상기 우나사형 볼스크류(22)와 좌나사형 볼스크류(24)를 연결하는 연결커플링과 상기 좌나사형 볼스크류와 우나사형 볼스크류를 회전시키는 구동원(21)을 포함한다. 상기 연결커플링은 도 6에 도시된 제2구동수단의 연결커플링(36)과 구조 및 작용이 동일하므로 중복설명을 피하고 하기에서 설명한다. 따라서 상기 구동원(21)이 구동되면 상기 우나사형 볼스크류(22)와 좌나사형 볼스크류(24)가 회전을 하게 되고, 따라서 각각의 제1너트부재(23)와 제2너트부재(25)는 접근 또는 이격되도록 구동된다. 이와 더불어 상기 제1연결수단(51)과 제2연결수단(52)도 접근 또는 이격되는 것이며, 그에 따라 제1테이블(41)과 제4테이블(44), 제2테이블(42)과 제3테이블(43)은 접근 또는 이격되도록 구동된다. In addition, a first driving means for driving the first connecting means 51 and the second connecting means 52 to be approached or spaced apart from each other is provided. The first driving means includes a right-threaded ball screw 22 to which the first nut member 23 connected to the first connecting means 51 is fastened, and a second nut member 25 connected to the second connecting means 52. A driving source for rotating the left-handed ball screw and the right-handed ball screw and the right-handed ball screw 22 and the left-handed ball screw 22 and the coupling coupling connecting the left-handed ball screw and the right-handed ball screw ( 21). Since the coupling coupling has the same structure and function as the coupling coupling 36 of the second driving means shown in FIG. Accordingly, when the driving source 21 is driven, the right-handed ball screw 22 and the left-handed ball screw 24 rotate, and thus, each of the first nut member 23 and the second nut member 25 is rotated. It is driven to approach or to be spaced apart. In addition, the first connecting means 51 and the second connecting means 52 are also approached or spaced apart, so that the first table 41 and the fourth table 44, the second table 42 and the third The table 43 is driven to approach or to be spaced apart.

도 6을 참조하면, 제3 및 제4안내부(13,14)가 상호 접근 또는 이격되도록 구동하는 제2구동수단이 구비된다. 상기 제2구동수단은 제3안내부(13)에 연결된 제3너트부재(도 4의 33참조)가 체결되는 우나사형 볼스크류(32)와, 제4안내부(14)에 연결된 제4너트부재(미도시)가 체결되는 좌나사형 볼스크류(34)와, 상기 우나사형 볼스크류(32)와 좌나사형 볼스크류(34)를 연결하는 연결커플링(36)과 상기 볼스크류를 회전시키는 구동원(31)을 포함한다. 따라서 상기 구동원(31)이 구동되면 상기 우나사형 볼스크류(32)와 좌나사형 볼스크류(34)가 회전을 하게 되고, 따라서 각각의 제3너트부재(33)와 제4너트부재는 접근 또는 이격되도록 구동된다. 이와 더불어 상기 제3안내부(13)와 제4안내부(14)도 접근 또는 이격되는 것이며, 그에 따라 제1테이블(41)과 제2테이블(42), 제3테이블(43)과 제4테이블(44)은 접근 또는 이격되도록 구동된다.Referring to FIG. 6, second driving means for driving the third and fourth guide parts 13 and 14 to be approached or spaced apart from each other is provided. The second driving means includes a right-threaded ball screw 32 to which the third nut member (see 33 in FIG. 4) connected to the third guide part 13 and a fourth nut connected to the fourth guide part 14. A drive source for rotating the ball screw 34 and a coupling coupling 36 connecting the right-hand ball screw 32 and the left-hand ball screw 34 to which the member (not shown) is fastened. (31). Therefore, when the driving source 31 is driven, the right-handed ball screw 32 and the left-handed ball screw 34 are rotated, so that each of the third nut member 33 and the fourth nut member approaches or is spaced apart. To be driven. In addition, the third guide portion 13 and the fourth guide portion 14 are also approached or spaced apart, and accordingly, the first table 41 and the second table 42, the third table 43 and the fourth The table 44 is driven to approach or to be spaced apart.

이하에서는 본 실시예에 의한 가변테이블장치의 작동상태를 설명한다. Hereinafter, the operating state of the variable table apparatus according to the present embodiment will be described.

도 7은 소면적 기판을 지지하기 위하여 제1 내지 제4테이블(41~44)이 중심을 향해 최대한 접근된 상태를 나타낸 것이다. 이 상태에서 소면적 기판을 지지 또는 흡착하여 도 1과 같은 코너가공 등의 공정을 수행하는 것이다. FIG. 7 illustrates a state in which the first to fourth tables 41 to 44 are approached toward the center in order to support the small area substrate. In this state, a small area substrate is supported or adsorbed to perform a process such as corner processing as shown in FIG. 1.

다음으로, 대면적 기판을 지지 또는 흡착하기 위하여는 도 8에 도시된 바와 같이, 제1 내지 제4테이블(41~44)을 X방향 및 Y방향으로 이격시킨다. 보다 구체적으로 설명하면, 제1구동수단의 구동원(21)을 구동하면 제1연결수단(51)과 제2연결수단(52)이 바깥쪽 방향으로 이동한다. 따라서 그에 연동되어 제1테이블(41)과 제4테이블(44)은 도면상 좌측으로 이동하고, 제2테이블(42)과 제3테이블(43)은 도면상 우측으로 이동하게 된다. 물론 이 때 제1 및 제2테이블(41,42)은 제3안내부(13)를 따라 반대방향으로 이격되도록 이동하고, 제3 및 제4테이블(43,44)은 제4안내부(14)를 따라 반대방향으로 이격되도록 이동한다. Next, in order to support or adsorb the large-area substrate, as shown in FIG. 8, the first to fourth tables 41 to 44 are spaced apart in the X and Y directions. In more detail, when the driving source 21 of the first driving means is driven, the first connecting means 51 and the second connecting means 52 move outwards. Accordingly, the first table 41 and the fourth table 44 move to the left in the drawing, and the second table 42 and the third table 43 move to the right in the drawing. Of course, at this time, the first and second tables 41 and 42 move to be spaced apart in opposite directions along the third guide portion 13, and the third and fourth tables 43 and 44 are moved to the fourth guide portion 14. And move away from each other in the opposite direction.

또한 제2구동수단의 구동원(31)을 구동하게 되면 제3안내부(13)와 제4안내부(14)는 상호 이격되도록 이동한다. 따라서 제3안내부(13)상에 구비되는 제1테이블(41)과 제2테이블(42)은 도면상 하측으로 이동하고, 제4안내부(13)상에 구비되는 제3테이블(43)과 제4테이블(44)은 도면상 상측으로 이동하게 된다. In addition, when the driving source 31 of the second driving means is driven, the third guide part 13 and the fourth guide part 14 move to be spaced apart from each other. Accordingly, the first table 41 and the second table 42 provided on the third guide part 13 move downward in the drawing, and the third table 43 provided on the fourth guide part 13. And the fourth table 44 are moved upward in the drawing.

즉, 제1 내지 제4테이블(41~44)은 X방향 및 Y방향으로 이격되도록 벌어지게되는 것이다. 이 상태에서 대면적 기판을 지지 또는 흡착하여 코너가공 등의 공정을 수행할 수 있게 된다. That is, the first to fourth tables 41 to 44 are spaced apart from each other in the X and Y directions. In this state, a large area substrate can be supported or adsorbed to perform a process such as corner processing.

또한 다시 도 7과 같이 소면적 기판을 지지 또는 흡착해야 하는 경우에는 제1구동수단 및 제2구동수단의 구동원(21,31)을 반대방향으로 구동하는 것으로 가능하다. In addition, when it is necessary to support or absorb the small area substrate as shown in FIG. 7 again, the driving sources 21 and 31 of the first driving means and the second driving means can be driven in the opposite direction.

결과적으로 본 실시예에 의하면 제1 내지 제4테이블(41~44)은 2개의 구동수단만을 구비함으로써 복수의 테이블을 X방향 및 Y방향으로 접근 또는 이격시키는 것이 가능한 것이다. As a result, according to this embodiment, the first to fourth tables 41 to 44 are provided with only two driving means, so that the plurality of tables can be approached or separated in the X and Y directions.

한편, 도 4를 참조하면, 본 실시예에는 제1 내지 제4 테이블(41~44) 이외에 이들 사이에 테이블(45~47)들이 더 구비되는 것을 알 수 있다. 이것은 기판들을 보다 안정적으로 지지 또는 흡착하기 위한 구성이다. 즉, 제1 내지 제4테이블(41~44)은 기판의 네 모서리를 지지하는 것으로서, 코너가공시 반드시 구비해야 하는 것이지만, 기타 테이블(45~47)들은 필요에 따라 더 설치할 수도 있고 덜 설치할 수도 있는 등 다양한 변경이 있을 수 있는 것이다. Meanwhile, referring to FIG. 4, it can be seen that the tables 45 to 47 are further provided between the first and fourth tables 41 to 44 in the present embodiment. This is a configuration for supporting or adsorbing the substrates more stably. That is, the first to fourth tables 41 to 44 support four corners of the substrate, which must be provided at the corner processing, but the other tables 45 to 47 may be installed more or less as needed. There may be various changes.

또한 제1 내지 제4테이블(41~44)은 각각 X방향 및 Y방향으로 이동이 되는 것이지만, 기타 테이블(45~47)들은 이 중 어느 하나의 방향으로만 이동되거나 전혀 이동되지 않는 것도 있다. 구체적으로 설명하면, 제1테이블(41)과 제2테이블(42) 사이에 구비되는 테이블(45) 또는 제3테이블(43)과 제4테이블(44) 사이에 구비되는 테이블(45)은 Y방향으로만 접근 또는 이격되도록 구동될 뿐, X방향으로는 이동되지 않는다. 또한 제2테이블(42)과 제3테이블(43) 사이에 구비되는 테이블(46)과, 제1테이블(41)과 제4테이블(44) 사이에 구비되는 테이블(46)은 제1연결수단(51)과 제2연결수단(52) 상에 구비됨으로써 X방향으로만 이동될 뿐 Y방향으로는 이동되지 않는다. 또한 가장 중심에 위치되는 테이블(47)은 X방향뿐 아니라 Y방향으로도 이동되지 않는다. In addition, although the first to fourth tables 41 to 44 are moved in the X and Y directions, respectively, the other tables 45 to 47 may be moved only in one of these directions or not at all. Specifically, the table 45 provided between the first table 41 and the second table 42 or the table 45 provided between the third table 43 and the fourth table 44 is Y. It is driven to approach or be spaced only in the direction, but not move in the X direction. In addition, the table 46 provided between the second table 42 and the third table 43 and the table 46 provided between the first table 41 and the fourth table 44 are provided with first connection means. By being provided on the 51 and the 2nd connection means 52, it moves only in the X direction and is not moved to the Y direction. In addition, the table 47 positioned at the center thereof does not move in the Y direction as well as the X direction.

1: 가변테이블 장치 10: 베이스
11: 제1안내부 12: 제2안내부
13: 제3안내부 14: 제4안내부
21: 구동원 22: 우나사형 볼스크류
23: 제1너트부재 24: 좌나사형 볼스크류
25: 제2너트부재 31: 구동원
32: 우나사형 볼스크류 33: 제3너트부재
34: 좌나사형 볼스크류 36: 연결커플링
40: 테이블 51: 제1연결수단
52: 제2연결수단 1: variable table device 10: base
11: First Guide 12: Second Guide
13: Third Guide 14: Fourth Guide
21: drive source 22: right-hand ball screw
23: first nut member 24: left-handed ball screw
25: second nut member 31: drive source
32: right-hand ball screw 33: third nut member
34: Left-hand ball screw 36: Coupling coupling
40: table 51: first connecting means
52: second connecting means

Claims

Base;
First and second guide parts installed side by side on the base;
Third and fourth guide parts disposed side by side on the first and second guide parts and orthogonal to the first and second guide parts;
First and second tables respectively provided on the third guide portion;
A third table disposed on the fourth guide portion and neighboring the second table;
A fourth table disposed on the fourth guide portion and neighboring the first table;
First driving means for driving the first table and the second table, the third table and the fourth table to be approached or spaced apart from each other along the third and fourth guides, respectively; And
And second driving means for driving the third and fourth guide parts to be approached or spaced apart from each other along the first and second guide parts.
And first and second connecting means for connecting the first table and the fourth table, and the second table and the third table to be linked to each other by the first driving means.

delete

The method of claim 1,
And the first and second connecting means are connecting bars connecting the first table and the fourth table or the second table and the third table.

The method of claim 1,
The first driving means,
A right-handed ball screw to which the first nut member connected to the first connecting means is fastened;
A left screw ball screw to which the second nut member connected to the second connecting means is fastened;
A connection coupling connecting the right screw ball screw and the left screw ball screw;
And a drive source for rotating the ball screw.

The method of claim 1,
The second driving means,
A right hand threaded ball screw to which the third nut member connected to the third guide part is coupled;
A left screw ball screw to which the fourth nut member connected to the fourth guide part is fastened;
A connection coupling connecting the right screw ball screw and the left screw ball screw;
And a drive source for rotating the ball screw.