KR101289627B1

KR101289627B1 - 액정 표시장치용 기판 이재 방법

Info

Publication number: KR101289627B1
Application number: KR1020060057548A
Authority: KR
Inventors: 강희철
Original assignee: 엘지디스플레이 주식회사
Priority date: 2006-06-26
Filing date: 2006-06-26
Publication date: 2013-07-30
Also published as: KR20080000168A

Abstract

카세트 반송량을 절감시킬 수 있는 액정 표시장치용 기판 이재 방법이 제공된다. 기판 이재 방법은, a) 카세트로부터 글래스 기판을 언로딩하여 해당 검사 장비로 이재시키는 단계; b) 해당 검사 장비에서 글래스 기판 상의 패널 상태를 조사하여 불량인지 양호인지 판단하는 단계; c) 글래스 기판이 양호 판정을 받은 경우, 병렬 언로드(Parallel Unroad: PU) 포트 내의 카세트로 이재시키는 단계; d) 카세트가 풀(Full) 상태인지 확인하는 단계; 및 e) 카세트가 풀 상태인 경우, 풀 카세트를 스토커로 반송하는 단계를 포함한다. PU 포트는 양호 판정을 받은 글래스 기판을 카세트에 순차적으로 적재하여 풀 카세트로 만들어 반송시킨다.

액정 표시장치, 이재 장비, 카세트, 글래스 기판, PU 포트

Description

액정 표시장치용 기판 이재 방법 {METHOD FOR CONVEYING GLASS SUBSTRATE FOR LIQUID CRYSTAL DISPLAY}

도 1은 종래의 기술에 따른 기판 이재 장비의 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다.

도 2는 종래의 기술에 따른 기판 이재 방법을 나타내는 동작 흐름도이다.

도 3a 및 도 3b는 종래의 기술에 따른 기판 이재 방법에서 카세트로부터의 기판의 로딩/언로딩을 설명하기 위한 도면이다.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 기판 이재 장비의 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다.

도 5는 본 발명의 실시예에 따른 기판 이재 방법을 나타내는 동작 흐름도이다.

도 6a 내지 도 6d는 각각 본 발명의 실시예에 따른 기판 이재 방법에서 카세트로부터의 기판의 로딩/언로딩을 설명하기 위한 도면이다.

도 7은 본 발명의 실시예에 따른 공카세트 수급 방법을 나타내는 동작 흐름도이다.

<도면의 주요 부분에 관한 부호의 설명>

110: NG 포트 120, 130, 140, 150, 160: PU 포트

200: 이재 로봇 300: 검사 장비

400, 600, 700: 카세트 500: 글래스 기판

본 발명은 기판 이재 방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로, 액정 표시장치용 글래스 기판 이재 방법 및 공카세트 수급 방법에 관한 것이다.

일반적으로, 액정 표시장치의 액정 패널은 게이트 배선 및 데이터 배선에 의해 정의된 화소 영역 상에 박막트랜지스터와 화소전극을 형성한 박막트랜지스터 기판, 블랙매트릭스와 컬러필터가 형성된 컬러필터 기판, 및 두 기판 사이에 액정을 주입한 액정층으로 구성된다.

이와 같이 구성된 액정 표시장치의 제조 공정은 기판 제조 공정, 셀 제조 공정 및 모듈 공정으로 구분할 수 있다.

먼저, 기판 제조 공정은 세정된 유리 기판을 사용하여 각각 박막트랜지스터 제조 공정과 칼라필터 제조 공정으로 나눈다.

박막트랜지스터 제조 공정은 하부 기판 상에 복수의 박막트랜지스터와 화소 전극을 제조하는 공정을 말하는 것이며, 칼라필터 제조 공정은 블랙 매트릭스가 형성된 상부 기판 상에 염료나 안료를 사용하여 RGB 색상의 칼라필터층을 형성하는 공정을 말한다.

셀 공정은 박막트랜지스터 공정이 완료된 하부 기판과 칼라필터 공정이 완료 된 상부 기판의 두 기판 사이에 일정한 간격이 유지되도록 스페이서를 산포하여 합착하고, 액정을 주입하여 액정 표시장치의 셀을 제조하는 공정이다.

모듈 공정은 신호 처리를 위한 회로부를 제작하고, 액정 패널과 신호처리 회로부를 연결시켜 모듈을 제조하는 공정이다.

액정 표시장치 제조 공정은 전술한 기판 제작 공정, 셀 공정 및 모듈 공정을 거치기 위해서, 글래스 기판을 각각의 공정에 사용되는 제조 장비로 순차적으로 또는 그룹 형태로 반송 또는 이송되어야 한다. 또한, 제조 공정 상 일부의 제조 장치에 고장 또는 수리를 위해 모든 제조 공정 라인(Line)을 중지시킬 수 없으므로 상기 제조 장치에 상기 글래스 기판을 일시 저장할 수 있는 방법이 필요하다.

이에 따라 카세트(Cassette)를 사용하여 다수의 글래스 기판을 낱장으로 저장하거나, 그룹 형태로 이송하도록 할 수 있다. 또한, 글래스 기판의 물량이 많아지고, 글래스 기판의 제작 공정이 반복적으로 이루어질 경우, 상기 카세트를 이동시켜 저장시키기 위한 스토커(Stocker)가 필요하다.

예를 들면, 상기 박막트랜지스터 공정 또는 칼라필터 공정 진행 중에 발생한 불량 글래스 기판을 취출하여 재작업하거나 폐기하기 위해 이재 장비가 사용된다. 또한, 소정의 검사 공정을 수행하여, 글래스 기판의 불량 및 양호를 판정할 경우에도 상기 이재 장비가 사용된다.

이하, 도 1 내지 도 3을 참조하여, 종래 기술에 따른 이재 장비 및 이재 방법을 설명하면 다음과 같다.

도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 기술에 따른 이재 장비는 스토커(10) 내부에 복수개의 카세트를 병렬로 로딩하는 제1 내지 제3 PG(Parallel Good) 포트(14, 15, 16)와 제1 내지 제3 NG(No Good) 포트(11, 12, 13), 및 상기 복수개의 포트로부터 카세트를 로딩하거나 언로딩하는 이재 로봇(20)을 포함하여 구성되며, 상기 이재 장비 근처에 검사 장비(30)가 마련된다.

제1 내지 제3 PG 포트(14, 15, 16)는 임의의 공정 라인에서 소정 검사 공정을 진행하기 위한 글래스 기판들이 수납된 카세트가 로딩되는 곳이다. 여기서, 편의상 제1 내지 제3 PG 포트(14, 15, 16)로 나타내고 있지만, PG 포트의 수는 필요에 따라 달라질 수 있다.

제1 내지 제3 NG 포트(11, 12, 13)는 상기 제1 내지 제3 PG 포트(14, 15, 16)의 카세트로부터 재작업 또는 폐기되어야할 글래스 기판을 선택적으로 취출하여 삽입하기 위한 공 카세트 또는 소정 카세트가 로딩되는 곳이다. 여기서, 편의상 제1 내지 제3 NG 포트(11, 12, 13)로 나타내고 있지만, NG 포트의 수는 필요에 따라 달라질 수 있다. 제1 내지 제3 NG 포트(11, 12, 13)는 불량별로 구분하여 글래스 기판을 적재할 경우에 사용될 수 있다.

따라서, 종래 기술에 따른 이재 로봇은 호스트(Host)로부터 상기 복수개의 포트(11, 12, 13, 14, 15, 16)에 위치하는 카세트 내의 글래스 기판들에 대한 이재 정보를 받아 해당 글래스 기판을 상기 제1 내지 제3 PG 포트(14, 15, 16)에서 검사 장비(30)로 이송시켜 소정의 검사를 수행하고, 이후, 양호 판정을 받은 글래스 기 판은 다시 상기 제1 내지 제3 PG 포트(14, 15, 16) 내의 카세트 상에 적재하며, 불량 판정을 받은 글래스 기판은 제1 내지 제3 NG 포트(11, 12, 13) 내의 카세트에 불량별로 적재하게 된다.

또한, 이재 정보는 작업자의 작업 지시에 의해 이루어지고, 상기 스토커 내에서 제어가 가능하기 때문에 상기 스토커 인-라인(In-line) 상태의 카세트에서 이재 작업이 이루어진다.

한편, 도 2는 종래의 기술에 따른 기판 이재 방법을 나타내는 동작 흐름도이다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 종래의 기술에 따른 기판 이재 방법은, 먼저, 해당 PG 포트(14, 15, 16) 내의 카세트로부터 글래스 기판을 언로딩하고(S11), 이후, 해당 검사 장비(30)가 상기 글래스 기판을 로딩하여 소정의 검사를 수행한다(S12).

다음으로, 해당 검사 장비(30)는 상기 글래스 기판이 불량(No Good)인지 양호(Good)인지 판정하고(S13), 양호 판정을 받은 경우, 자신의 포트 내의 카세트로 이재하고(S14), 후속 공정을 진행하게 된다(S15).

만일, 불량 판정을 받았다면, 상기 불량 판정 글래스 기판은 NG 포트(11, 12, 13) 내의 카세트로 이재되고(S16), 이후, 상기 불량 판정 글래스 기판은 불량별로 별도의 공정을 진행하게 된다(S17).

한편, 현재는 검사장비에서 NG 판정을 받은 글래스 기판들은 NG 포트(11, 12, 13)로 이재되고 양호 판정을 받은 글래스 기판은 항상 자신의 PG 포트(14, 15, 16)로 되돌아가도록 되어 있다.

도 3a와 같은 24단 카세트(40)가 있을 경우, 24매의 글래스 기판(50)을 검사하였는데 10장이 불량 판정을 받고 14매가 양호 판정을 받은 경우, 도 3b에 도시된 바와 같이, 최초의 24매가 있는 카세트(40)는 검사 진행 후 14매만 가진 채로 다른 장비로 넘겨지게 된다.

이런 경우, 검사 이후에 상기 카세트는 이재 장비에서 다른 카세트들과 합쳐져 24매가 채워진 후 다음 공정을 진행하거나, 14매인채로만 다음 공정을 진행할 수 밖에 없기 때문에, 카세트 반송의 효율성이 떨어지고, 추가적으로 이재기 사용 횟수가 많아진다는 문제점이 있다.

전술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 카세트 반송량을 절감시킬 수 있는 액정 표시장치용 기판 이재 방법을 제공하기 위한 것이다.

전술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 다른 목적은, 다른 스토커로부터 공카세트를 수급하지 않고, 자체적으로 공카세트를 수급할 수 있는 공카세트 수급 방법을 제공하기 위한 것이다.

본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 기판 이재 방법은, a) 카세트로부터 글래스 기판을 언로딩하여 해당 검사 장비로 이재시키는 단계; b) 해당 검사 장비에서 상기 글래스 기판 상의 패널 상태를 조사하여 불량인지 양호인지 판단하는 단계; c) 상기 글래스 기판이 양호 판정을 받은 경우, 병렬 언로드(PU) 포트 내의 카세트로 이재시키는 단계; d) 상기 카세트가 풀상태인지 확인하는 단계; 및 e) 상기 카세트가 풀 상태인 경우, 풀 카세트를 스토커로 반송하는 단계를 포함하여 이루어진다.

여기서, 상기 c) 단계의 PU 포트는 양호 판정을 받은 글래스 기판을 상기 카세트에 적재하여 풀 카세트로 만들어 반송시키는 포트인 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 양호 판정을 받은 글래스 기판은 상기 글래스 기판이 수납되어 있던 카세트의 원래 자리와 상관없이 순서별로 상기 카세트 상에 적재되는 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 PU 포트 내의 카세트에 빈 자리가 있을 경우, 다른 카세트의 양호 판정 글래스 기판에 의해 채워진 후에 반송되는 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 카세트가 풀 상태가 아닌 경우, 풀 상태가 될때까지 상기 a) 내지 d) 단계를 반복 수행할 수 있다.

여기서, 상기 기판 이재 방법은, f) 상기 글래스 기판이 불량(NG) 판정을 받은 경우, 불량 포트로 이재시키는 단계; 및 g) 상기 불량 포트 내의 카세트가 풀 상태가 되면, 불량별 후속 공정을 진행시키도록 상기 카세트를 반송하는 단계를 추가로 포함할 수 있다.

한편, 본 발명에 따른 공카세트 수급 방법은, a) 해당 장비가 글래스 기판을 검사하고 불량 여부를 판정하는 단계; b) PU 포트를 이용하여, 판정별 글래스 기판을 이재시키는 단계; c) 상기 글래스 기판 이재시, 상기 PU 포트 이용에 따른 공카세트가 발생할 경우, 이를 확보하는 단계; 및 d) 상기 글래스 기판 이재시, 상기 공카세트가 필요하고, 확보된 공카세트가 있는 경우, 이를 수급하는 단계를 포함하여 이루어진다.

여기서, 상기 공카세트는 불량 판정을 받은 글래스 기판을 수납하기 위해 사용되는 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 공카세트 수급 방법은, 상기 d) 단계에서 확보된 공카세트가 없는 경우, 다른 스토커로부터 공카세트를 수급하는 단계를 추가로 포함할 수 있다.

여기서, 상기 PU 포트는 양호 판정을 받은 글래스 기판을 상기 카세트에 적재하여 풀 카세트(Full Cassette)로 만들어 반송시키는 포트인 것을 특징으로 한다.

기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있을 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전 하게 알려주기 위해 제공되는 것으로, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 기판 이재 방법 및 공카세트 수급 방법을 상세히 설명한다.

카세트 내의 글래스 기판을 검사 장비로 로딩하여 작업할 때, 종래에는 작업이 끝난 글래스 기판이 항상 같은 자리로만 들어가야 했지만, 본 발명의 실시예는, 병렬 언로드(PU) 포트를 이용하여, 다른 카세트를 풀(Full) 카세트로 채워 반송함으로써 반송량을 줄일 수 있는 것을 개시한다.

도 4를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 기판 이재 장비는, 스토커(100) 내부에 복수개의 카세트를 병렬로 로딩하는 제1 내지 제5 PU(Parallel Unload) 포트(120,130, 140, 150, 160)와 NG(No Good) 포트(110), 및 상기 복수개의 포트로부터 카세트를 로딩하거나 언로딩하는 이재 로봇(200)을 포함하여 구성되며, 상기 이재 장비 근처에 검사 장비(300)가 마련된다.

제1 내지 제5 PU 포트(120, 130, 140, 150, 160)는 임의의 공정 라인에서 소정 검사 공정을 진행하기 위한 글래스 기판들이 수납된 카세트가 로딩되는 곳으로, PU 포트의 개수는 필요에 따라 변경될 수 있다.

NG 포트(110)는 상기 제1 내지 제5 PU 포트(120, 130, 140, 150, 160)의 카 세트로부터 재작업 또는 폐기되어야할 글래스 기판을 선택적으로 취출하여 삽입하기 위한 공 카세트 또는 소정 카세트가 로딩되는 곳이다.

상기 이재 로봇(200)은 카세트에 상기 기판을 낱장으로 하나씩 로딩하기 위한 로봇 암(Arm), 상기 로봇 암을 수평으로 이동시키기 위한 슬라이더(Slider) 또는 폴더(Folder), 상기 슬라이더 및 로봇 암을 회전 이동시키기 위한 주축, 상기 주축을 상하 이동시키기 위한 리프터(Lifter) 및 상기 리프터를 지지하는 지지대를 포함할 수 있다.

여기서, 상기 검사 장비(300)는 글래스 기판 상의 패널 상태를 조사하여 양호인지 불량인지 판정하여, 양호인 글래스 기판은 다음 공정 단계를 진행하게 되고, 불량인 글래스 기판은 불량별로 구분되어 별도 공정을 진행하게 된다. 이때, 상기 검사 장비로는 패턴(Pattern) 검사기, 단락 패턴 리페어(Short Pattern Repair), 매크로(Macro) 검사기, 자동 매크로(Auto Macro) 검사기, 리뷰 리페어(Review Repair), CVD 검사기, TP 측정기, 높이 측정기, Array Tester 등이 있다.

한편, 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 기판 이재 방법을 나타내는 동작 흐름도이다.

도 5를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 기판 이재 방법은, 먼저, 카세트로부터 글래스 기판을 언로딩하여 해당 검사 장비(300)로 이재시키고(S110), 해당 검사 장비에서 상기 글래스 기판 상의 패널 상태를 검사한다(S120).

다음으로, 상기 해당 검사 장비는 상기 글래스 기판이 불량(No Good: NG)인 지 양호(Good)인지 판단하게 된다(S130).

상기 글래스 기판이 양호 판정을 받은 경우, PU 포트 내의 카세트로 이재시키고(S140), 상기 카세트가 풀(Full) 상태인지 확인한다(S150). 상기 PU 포트는 양호 판정을 받은 글래스 기판을 상기 카세트에 적재하여 풀 카세트(Full Cassette)로 만들어 반송시키는 포트로서, 상기 양호 판정을 받은 글래스 기판은 상기 글래스 기판이 수납되어 있던 카세트의 원래 자리와 상관없이 순서별로 상기 카세트 상에 적재된다. 또한, 상기 PU 포트 내의 카세트에 빈 자리가 있을 경우, 다른 카세트의 양호 판정 글래스 기판에 의해 채워진 후에 반송된다.

다음으로, 상기 카세트가 풀 상태인 경우, 풀 카세트를 스토커로 반송한다(S160). 만일, 상기 카세트가 풀 상태가 아닌 경우, 풀 상태가 될 때까지 상기 S110 내지 S140 단계를 반복하여 수행한다.

만일, 상기 글래스 기판이 불량(NG) 판정을 받은 경우, 불량 포트로 이재시키고(S170), 다음으로, 상기 불량 포트 내의 카세트가 풀 상태가 되면, 불량별 후속 공정을 진행시키도록 상기 카세트를 반송하게 된다(S180).

예를 들면, 최초에 제1 PU 포트(120)로 24단 Full 카세트가 진입한 경우, 후속적으로, 검사 장비(300)에 의해 NG 판정을 받은 글래스 기판은 NG 포트(110)로 이재되고 양호 판정을 받은 글래스 기판은 글래스 기판의 원래 자리와는 상관없이 제1 PU 포트(120)의 위쪽에서부터 채워지게 된다.

예를 들면, NG 판정을 받은 글래스 기판이 10매라고 가정하면 제1 PU 포트(120)에는 14매가 카세트의 상부에서부터 채워지는데, 이때 해당 검사 작업이 모 두 끝나도 빈 슬롯이 남아 있기 때문에 상기 카세트는 자동으로 반송되지 않고, 다른 카세트에 의해 Full 카세트가 될 때 까지 기다리게 된다.

즉, 제2 PU 포트(130)에 검사해야 할 글래스 기판들이 수납된 카세트가 진입하여, 전술한 바와 같이 불량 또는 양호 판정을 받게 되고, 이때, 불량 판정을 받은 글래스 기판은 제1 NG 포트(110)로 이재되고, 양호 판정을 받은 글래스 기판은 상기 제1 PU 포트(120)에 빈 슬롯이 있는 카세트가 있기 때문에 우선적으로 상기 제1 PU 포트(120)로 이재된다.

이후, 제2 PU 포트(130)의 글래스 기판이 이재되어, 상기 제1 PU 포트(120)의 카세트가 Full 상태가 되었으면 제1 PU 포트(120) 내의 카세트는 자동으로 반송되어 빠져나가고, 이후, 제2 PU 포트(130)의 글래스 기판들은 상기 제2 PU 포트(130) 내의 카세트의 위쪽에서부터 채워지게 된다.

예를 들면, 현재 상황에서 Rework률을 20%라고 하면, 100개의 카세트가 들어왔을 경우, 120개의 카세트가 반송되어야 하지만, PU 포트 적용 시에는 그대로 100개의 카세트가 반송되기 때문에 카세트 반송량이 감소된다.

또한, 현재 상황에서는 검사 장비에 의한 검사가 끝나고, 글래스 기판을 불량별로 구분하여 수납하는 병합(Merge) 작업을 위해 이재 장비에서 이재 작업을 따로 진행해야 하지만, PU 포트 적용시 검사 장비 자체적으로 이재 작업을 실시할 수 있기 때문에 추가적인 이재 장비 사용을 줄일 수 있다.

결국, 본 발명의 실시예에 따른 기판 이재 방법에서는, 카세트가 빈 슬롯이 없이 반송되기 때문에, 카세트 반송량을 줄일 수 있고, 이재 장비의 사용을 줄일 수 있게 된다.

한편, 본 발명의 실시예에 따른 이재 방법에서, 랏 종료(LOT End)의 처리는 다음과 같다.

기존 방식은 도 1에 도시된 바와 같이, PG 포트(14, 15, 16) 또는 NG 포트(11, 12, 13)에 카세트가 모두 들어오면, 검사 장비와 Host 쪽으로 동시에 랏 종료(LOT End) 신호를 보내 주는 방식이다. 하지만, 본 발명의 실시예에 따른 이재 방법에서는 상기 검사 장비와 호스트에 LOT End 신호를 주는 시점이 다르다. 즉, 상기 검사 장비로 LOT End 신호를 보내는 시점은 검사중인 카세트의 글래스 기판들이 모두 검사가 끝나는 시점이 된다. 또한, 호스트로 LOT End 신호를 보내는 시점은 상기 PU 포트가 풀(Full)이 되어 스토커로 빠져 나가는 시점이 된다.

한편, 도 6a 내지 도 6d는 각각 본 발명의 실시예에 따른 기판 이재 방법에서 카세트로부터의 기판의 로딩/언로딩을 설명하기 위한 도면이다.

도 6a에 도시된 바와 같이, 상기 제1 PU 포트(120)로 진입한 카세트(400)가 24매의 글래스 기판들(500)이 모두 채워져 있는 경우, 후속 검사 공정을 통해 불량 판정을 받은 글래스 기판(500)이 NG 포트(110)로 이재되고, 양호 판정을 받은 글래스 기판(600)이 상기 카세트(400) 상에 채워지는데, 도 6b에 도시된 바와 같이, 23번 슬롯과 24번 슬롯에는 검사가 완료된 글래스 기판(500)이 채워져 있지 않은 상태이기 때문에 상기 카세트(400)는 자동으로 반송되지 않고 대기하게 된다.

이후, 제2 PU 포트(130)로 다른 카세트(600)가 진입하고, 전술한 바와 같이 검사 장비(300)에 의해 불량 및 양호 판정을 거치게 되고, 이때 양호 판정을 받은 글래스 기판(500)은 대기하고 있던 상기 제1 PU 포트(120) 내의 카세트(400)에 채워지게 된다.

도 6c에 도시된 바와 같이, 제2 PU 포트(130)의 카세트(600)의 1번 슬롯과 2번 슬롯에 채워져야 할 글래스 기판(500)이 상기 제1 PU 포트(120) 내의 카세트(400)에 채워지게 된다. 실질적으로, 상기 제1 PU 포트(120) 내의 카세트(400)는 풀 카세트 상태가 되므로 자동으로 반송되며, 상기 제2 PU 포트(130)의 카세트(600)는 후속적으로 카세트(600) 상부부터 양호 판정 글래스 기판들이 채워지게 된다.

한편, 도 6에 도시된 것은 공카세트(700)를 나타내는데, 전술한 불량 및 양호 판정 검사에 의해 불량 판정 글래스 기판들이 NG 포트(110)로 이재되고, 상기 제1 내지 제5 PU 포트(120, 130, 140, 150, 160)는 글래스 기판들이 순서대로 카세트에 채워져 반송되기 때문에, 결국은 불량 판정 글래스 기판들이 24매가 될 경우, 어느 한 PU 포트는 공카세트(700)가 되고, 이러한 공카세트(700)는 상기 NG 포트(110)로 공급될 수 있다. 즉, 종래에는 NG 포트(110)에는 불량 판정 글래스 기판들을 적재하기 위한 공카세트가 필요할 경우, 외부 스토커로부터 이를 제공받았지만, 본 발명의 실시예에서는 자체적으로 공카세트를 수급할 수 있는 것을 나타낸다.

한편, 도 7은 본 발명의 실시예에 따른 공카세트 수급 방법을 나타내는 동작 흐름도이다.

도 7을 참조하면, 본 발명에 따른 공카세트 수급 방법은, 먼저, 해당 검사 장비가 글래스 기판을 검사하여 불량인지 양호인지 여부를 판정한다(S210).

다음으로, 전술한 PU 포트를 이용하여, 판정별 글래스 기판을 이재시키게 된다(S220). 여기서, 상기 PU 포트는 전술한 바와 같이, 양호 판정을 받은 글래스 기판을 상기 카세트에 적재하여 풀 카세트(Full Cassette)로 만들어 반송시키는 포트이다.

다음으로, 호스트는 공카세트가 발생하는지를 확인하고(S230), 상기 글래스 기판 이재시, 상기 PU 포트 이용에 따른 공카세트가 발생할 경우, 이를 확보한다(S240). 여기서, 상기 공카세트는 불량 판정을 받은 글래스 기판을 수납하기 위해 사용된다.

다음으로, 상기 글래스 기판 이재시, 상기 공카세트가 필요한지 여부(S250) 및 확보된 공카세트가 있는지 여부(S260)를 확인하여, 확보된 공카세트가 있는 경우 이를 수급한다(S270).

다음으로, 확보된 공카세트가 없는 경우, 다른 스토커로부터 공카세트를 수급하게 된다(S280).

결국, 본 발명의 실시예에 따른 이재 방법과 공카세트 수급 방법에서는, 풀 카세트 반송이 이루어지고, 자체적으로 공 카세트를 수급하며, 이재기의 추가적 사용이 없기 때문에, 카세트 사용 수량을 절감시킬 수 있다. 실제로, 월 45,000매, 1일 1,500매의 글래스 기판들이 투입된 경우, 본 발명의 실시예에 따른 PU 포트 적용 후에 1일 10개 정도의 카세트의 반송량을 절감하는 것으로 나타났다.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해되어야만 한다.

본 발명에 따르면, PU 포트를 사용함으로써 카세트 반송량을 절감시키고, 이재 장비의 사용을 줄일 수 있으며, 또한, 공카세트를 자체적으로 용이하게 수급할 수 있다.

Claims

a) 카세트(Cassette)로부터 글래스 기판을 언로딩하여 해당 검사 장비로 이재시키는 단계;

b) 해당 검사 장비에서 상기 글래스 기판 상의 패널 상태를 조사하여 불량(No Good: NG)인지 양호(Good)인지 판단하는 단계;

c) 상기 글래스 기판이 양호 판정을 받은 경우, 병렬 언로드(Parallel Unroad: PU) 포트 내의 카세트로 이재시키는 단계;

d) 상기 카세트가 풀(Full) 상태인지 확인하는 단계;

e) 상기 카세트가 풀 상태인 경우, 풀 카세트를 스토커(Stocker)로 반송하는 단계;

f) 상기 글래스 기판이 불량(NG) 판정을 받은 경우, 불량 포트로 이재시키는 단계; 및

g) 상기 불량 포트 내의 카세트가 풀 상태가 되면, 불량별 후속 공정을 진행시키도록 상기 카세트를 반송하는 단계를 포함하고,

상기 c) 단계의 PU 포트는 양호 판정을 받은 글래스 기판을 상기 카세트에 적재하여 풀 카세트(Full Cassette)로 만들어 반송시키는 포트이고,

상기 PU 포트 내의 카세트에 빈 자리가 있을 경우, 다른 카세트의 양호 판정 글래스 기판에 의해 채워진 후에 반송되며,

상기 카세트가 풀 상태가 아닌 경우, 풀 상태가 될때까지 상기 a) 내지 d) 단계를 반복 수행하고,

상기 양호 판정을 받은 글래스 기판은 상기 글래스 기판이 수납되어 있던 카세트의 원래 자리와 상관없이 순서별로 상기 카세트 상에 적재되는 것을 특징으로 하는 기판 이재 방법.
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a) 해당 장비가 글래스 기판을 검사하고 불량 여부를 판정하는 단계;

b) 병렬 언로드(PU) 포트를 이용하여, 판정별 글래스 기판을 이재시키는 단계;

c) 상기 글래스 기판 이재시, 상기 PU 포트 이용에 따른 공카세트가 발생할 경우, 이를 확보하는 단계;

d) 상기 글래스 기판 이재시, 상기 공카세트가 필요하고 확보된 공카세트가 있는 경우, 이를 수급하는 단계; 및

e) 상기 d) 단계에서 확보된 공카세트가 없는 경우, 다른 스토커로부터 공카세트를 수급하는 단계를 포함하되,

상기 공카세트는 불량 판정을 받은 글래스 기판을 수납하기 위해 사용되고,

상기 PU 포트는 양호 판정을 받은 글래스 기판을 상기 카세트에 적재하여 풀 카세트(Full Cassette)로 만들어 반송시키는 포트인 것을 특징으로 하는 공카세트 수급 방법.
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