KR101281392B1 - 고온 강판의 산화층 두께 측정 장치 및 방법 - Google Patents

고온 강판의 산화층 두께 측정 장치 및 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR101281392B1
KR101281392B1 KR1020110121787A KR20110121787A KR101281392B1 KR 101281392 B1 KR101281392 B1 KR 101281392B1 KR 1020110121787 A KR1020110121787 A KR 1020110121787A KR 20110121787 A KR20110121787 A KR 20110121787A KR 101281392 B1 KR101281392 B1 KR 101281392B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
module
steel sheet
oxide layer
spectrum
thickness
Prior art date
Application number
KR1020110121787A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20130056055A (ko
Inventor
박현철
임충수
이상진
Original Assignee
주식회사 포스코
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 포스코 filed Critical 주식회사 포스코
Priority to KR1020110121787A priority Critical patent/KR101281392B1/ko
Publication of KR20130056055A publication Critical patent/KR20130056055A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101281392B1 publication Critical patent/KR101281392B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
    • G01B11/0616—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating
    • G01B11/0625—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating with measurement of absorption or reflection
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/268—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light using optical fibres
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/41—Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length
    • G01N21/45—Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length using interferometric methods; using Schlieren methods
    • G01N21/453—Holographic interferometry
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28—Investigating the spectrum
    • G01J3/2803—Investigating the spectrum using photoelectric array detector
    • G01J2003/282—Modified CCD or like
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
    • G01N2201/06—Illumination; Optics
    • G01N2201/061—Sources
    • G01N2201/06113—Coherent sources; lasers
    • G01N2201/0612—Laser diodes

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Radiation Pyrometers (AREA)

Abstract

고온 강판의 산화층 두께 측정 장치 및 방법이 제공된다. 고온 강판의 산화층 두께 측정 장치는, 광원으로부터 출사된 광을 강판에 조사하는 제1 광섬유모듈; 강판 자체의 복사광과 함께 제1 광섬유모듈에 의해 조사된 광에 의해 강판으로부터 반사되는 반사광을 모두 수광하는 제1 코어모듈과, 강판 자체의 복사광만을 수광하는 제2 코어모듈을 구비한 제2 광섬유모듈; 제1 코어모듈을 통해 수광된 복사광 및 반사광의 혼합 스펙트럼을 얻는 제1 분광기 및 제2 코어모듈을 통해 수광된 복사광의 복사 스펙트럼을 얻는 제2 분광기를 구비한 분광모듈; 및 제1 분광기를 통해 얻은 혼합 스펙트럼 및 제2 분광기를 통해 얻은 복사 스펙트럼에 기초하여 강판에 형성된 산화층의 두께를 연산하는 연산모듈을 포함하며, 연산모듈은, 혼합 스펙트럼으로부터 복사 스펙트럼을 감산함으로써, 반사광의 반사 스펙트럼을 얻는 제1 연산모듈; 복사 스펙트럼의 크기에 기초하여, 반사 스펙트럼이 최대가 되는 보강 간섭의 차수 또는 반사 스펙트럼이 최소가 되는 상쇄 간섭의 차수를 구하는 제2 연산모듈; 및 제2 연산 모듈에서 구해진 보강 간섭의 차수 또는 상쇄 간섭의 차수에 기초하여 강판에 형성된 산화층의 두께를 연산하는 제3 연산모듈을 포함할 수 있다. 이를 통해 산화층의 두께를 정확하게 측정할 수 있는 기술적 효과가 있다.

Description

고온 강판의 산화층 두께 측정 장치 및 방법{METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING THICKNESS OF OXIDATION LAYER FORMED ON HIGH TEMPERATURE STEEL PLATE}
본 발명은 고온 강판에 형성된 산화층의 두께를 측정하는 방법 및 장치에 관한 것이다.
일반적으로 산화성 원소(Mn, Al, Si 등)를 다량으로 함유하는 자동차용 고강도 강판을 생산하는 용융아연도금공정에서는 강판의 도금성 향상을 위해 산화환원(pre-oxidation) 공정이 실시된다. 이러한 산화환원공정을 통해 도금성을 향상시키기 위해서는 최적 두께의 산화층을 형성할 필요가 있으며, 이러한 산화층의 두께 제어를 위해서 산화층의 두께를 정밀하게 측정할 필요성이 있다.
상술한 산화환원공정은 DEF(Direct Fired Furnace) 또는 DFI(Direct Fired Impingment) 설비에서 이루어지며, 이와 같은 열처리 설비의 직후단에서 산화층의 두께 측정이 이루어져야 한다. 이와 같은 산화층의 두께 측정을 위해서는 비접촉식 방식을 이용한 간접측정이 필수적이며, 이러한 방식으로 타원편광분광법(spectroscopic ellipsometry), 이중파장 고온계(two color pyrometer), 반사분광법(spectroscopic reflectivity) 등을 이용한 방법이 있다.
이들 중 반사분광법은, 도 1에 도시된 바와 같이, 광원(10)으로부터 출사된 광대역광을 산화층(11)이 형성된 강판(12)에 입사시킨 후, 강판(12)으로부터 반사되는 반사광을 분광기(13)로 입력시킨다. 이후 분광기(13)에서 얻은 반사스펙트럼의 최대값(보강 간섭) 또는 최소값(상쇄 간섭)에 해당하는 파장과 반사스펙트럼에서 나타나는 보강 간섭 또는 상쇄 간섭의 차수를 이용하여 산화층(11)의 두께를 산출하게 된다.
이와 같이, 산화층(11)의 두께를 정확하게 산출하기 위해서는 반사스펙트럼에 나타나는 보강 간섭 또는 상쇄 간섭의 차수를 정확하게 구할 필요가 있다. 하지만, 산화층(11)이 형성되는 강판(12)의 온도가 증가함에 따라(특히 600도 이상인 경우) 강판(12) 자체에서 나오는 복사에너지(복사광)도 점차 증가하게 된다. 이러한 강판(12) 자체의 복사에너지(복사광)는 반사광과 혼합되어 분광기(13)로 입력되므로, 분광기(13)에서 얻어진 반사스펙트럼에는 복사광에 의한 영향이 포함되어 반사 스펙트럼의 왜곡을 초래하게 된다. 그 결과, 반사스펙트럼의 보강 간섭이나 상쇄 간섭의 차수를 정확하게 얻기가 힘들며, 이로 인해 산화층의 두께를 정확하게 측정할 수 없다는 문제점이 있다.
본 발명은 본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 강판의 온도가 고온인 경우에도 보강 간섭의 차수 또는 상쇄 간섭의 차수를 정확하게 판정함으로써, 산화층의 두께를 정확하게 측정할 수 있는 고온 강판의 산화층 두께 측정 장치 및 방법을 제공한다.
본 발명의 제1 실시 형태에 의하면, 광원으로부터 출사된 광을 강판에 조사하는 제1 광섬유모듈; 상기 강판 자체의 복사광과 함께 상기 제1 광섬유모듈에 의해 조사된 광에 의해 상기 강판으로부터 반사되는 반사광을 모두 수광하는 제1 코어모듈과, 상기 강판 자체의 복사광만을 수광하는 제2 코어모듈을 구비한 제2 광섬유모듈; 상기 제1 코어모듈을 통해 수광된 복사광 및 반사광의 혼합 스펙트럼을 얻는 제1 분광기 및 상기 제2 코어모듈을 통해 수광된 복사광의 복사 스펙트럼을 얻는 제2 분광기를 구비한 분광모듈; 및 상기 제1 분광기를 통해 얻은 혼합 스펙트럼 및 상기 제2 분광기를 통해 얻은 복사 스펙트럼에 기초하여 상기 강판에 형성된 산화층의 두께를 연산하는 연산모듈을 포함하며, 상기 연산모듈은, 상기 혼합 스펙트럼으로부터 상기 복사 스펙트럼을 감산함으로써, 상기 반사광의 반사 스펙트럼을 얻는 제1 연산모듈; 상기 복사 스펙트럼의 크기에 기초하여, 상기 반사 스펙트럼이 최대가 되는 보강 간섭의 차수 또는 상기 반사 스펙트럼이 최소가 되는 상쇄 간섭의 차수를 구하는 제2 연산모듈; 및 상기 제2 연산 모듈에서 구해진 보강 간섭의 차수 또는 상쇄 간섭의 차수에 기초하여 상기 강판에 형성된 산화층의 두께를 연산하는 제3 연산모듈을 포함하는 고온 강판의 산화층 두께 측정 장치가 제공된다.
삭제
삭제
삭제
삭제
삭제
삭제
삭제
삭제
삭제
본 발명의 실시 형태에 의하면, 상기 제3 연산모듈은,
하기의 수학식:
Figure 112011092081062-pat00001
에 의해 상기 산화층의 두께를 연산하며, 여기서 d는 상기 산화층의 두께, n은 상기 산화층의 굴절율, λ는 상기 반사 스펙트럼이 최대 또는 최소가 되는 파장, m은 상기 보강 간섭의 차수 또는 상기 상쇄 간섭의 차수일 수 있다.
본 발명의 실시 형태에 의하면, 상기 제1 코어모듈 및 상기 제2 코어모듈 각각은
적어도 하나 이상의 코어를 포함한 하나의 광섬유 또는 하나의 코어를 가진 광섬유가 복수 개로 구성된 광섬유 다발을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 형태에 의하면, 상기 강판의 온도는,
600도 이상일 수 있다.
본 발명의 실시 형태에 의하면, 상기 산화층 두께 측정 장치는,
상기 제1 광섬유모듈에 의해 조사되는 광을 상기 강판에 집광시키는 제1 광학모듈; 및
상기 강판 자체의 복사광과 함께 상기 제1 광섬유모듈에 의해 조사된 광에 의해 상기 강판으로부터 반사되는 반사광을 상기 제1 코어모듈에, 상기 강판 자체의 복사광만을 상기 제2 광섬유모듈에 집광시키는 제2 광학모듈을 포함할 수 있다.
본 발명의 제2 실시 형태에 의하면, 제1 광섬유모듈에서, 광원으로부터 출사된 광을 강판에 조사하는 단계; 제1 코어모듈에서 상기 강판 자체의 복사광과 함께 상기 제1 광섬유모듈에 의해 조사된 광에 의해 상기 강판으로부터 반사되는 반사광을 모두 수광하며, 제2 코어모듈에서 상기 강판 자체의 복사광만을 수광하는 단계; 제1 분광기에서 상기 제1 코어모듈을 통해 수광된 복사광 및 반사광의 혼합 스펙트럼을 얻으며, 제2 분광기에서 상기 제2 코어모듈을 통해 수광된 복사광의 복사 스펙트럼을 얻는 단계; 및 연산모듈에서, 상기 제1 분광기를 통해 얻은 혼합 스펙트럼 및 상기 제2 분광기를 통해 얻은 복사 스펙트럼에 기초하여 상기 강판에 형성된 산화층의 두께를 연산하는 단계를 포함하며, 상기 산화층의 두께를 연산하는 단계는, 제1 연산모듈에서, 상기 혼합 스펙트럼으로부터 상기 복사 스펙트럼을 감산함으로써 상기 반사광의 반사 스펙트럼을 얻는 제1 단계; 제2 연산모듈에서, 상기 복사 스펙트럼의 크기에 기초하여, 상기 반사 스펙트럼이 최대가 되는 보강 간섭의 차수 또는 상기 반사 스펙트럼이 최소가 되는 상쇄 간섭의 차수를 구하는 제2 단계; 및 제3 연산모듈에서, 상기 제2 연산 모듈에서 구해진 보강 간섭의 차수 또는 상쇄 간섭의 차수에 기초하여 상기 강판에 형성된 산화층의 두께를 연산하는 제3 단계를 포함하는 고온 강판의 산화층 두께 측정 방법이 제공된다.
삭제
삭제
삭제
삭제
삭제
삭제
삭제
삭제
본 발명의 실시 형태에 의하면, 상기 제3 단계는,
하기의 수학식:
Figure 112011092081062-pat00002
에 의해 상기 산화층의 두께를 연산하며, 여기서 d는 상기 산화층의 두께, n은 상기 산화층의 굴절율, λ는 상기 반사 스펙트럼이 최대 또는 최소가 되는 파장, m은 상기 보강 간섭의 차수 또는 상기 상쇄 간섭의 차수일 수 있다.
본 발명의 실시 형태에 의하면, 상기 제1 코어모듈 및 상기 제2 코어모듈 각각은
적어도 하나 이상의 코어를 포함한 하나의 광섬유 또는 하나의 코어를 가진 광섬유가 복수 개로 구성된 광섬유 다발을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 형태에 의하면, 상기 강판의 온도는,
600도 이상일 수 있다.
본 발명의 실시 형태에 의하면, 상기 산화층 두께 측정 방법은,
제1 광학모듈에서, 상기 제1 광섬유모듈에 의해 조사되는 광을 상기 강판에 집광시키는 단계; 및
제2 광학모듈에서, 상기 강판 자체의 복사광과 함께 상기 제1 광섬유모듈에 의해 조사된 광에 의해 상기 강판으로부터 반사되는 반사광을 상기 제1 코어모듈에, 상기 강판 자체의 복사광만을 상기 제2 광섬유모듈에 집광시키는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 강판의 온도가 고온, 특히 600도 이상인 경우에 강판 자체의 복사광에 의한 영향을 제거하여 보강 간섭의 차수 또는 상쇄 간섭의 차수를 정확하게 판정함으로써, 산화층의 두께를 정확하게 측정할 수 있는 기술적 효과가 있다.
도 1은 반사분광법을 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 고온 강판의 산화층 두께 측정 장치의 구성도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 제2 광섬유모듈을 설명하는 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 복사 스펙트럼으로부터 반사 스펙트럼에서 나타난 최대값과 최소값의 차수를 결정하는 과정을 설명하는 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 고온 강판의 산화층 두께 측정 장치를 현장에 설치하여 실시간으로 모니터링한 산화층의 두께를 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 고온 강판의 산화층 두께 측정 방법을 설명하는 흐름도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시형태를 설명한다. 그러나 본 발명의 실시형태는 여러 가지의 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 이하 설명하는 실시형태로만 한정되는 것은 아니다. 도면에서의 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있으며, 도면상의 동일한 부호로 표시되는 요소는 동일한 요소이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 고온 강판의 산화층 두께 측정 장치의 구성도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 제2 광섬유모듈을 설명하는 도면이다. 한편, 도 4는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 복사 스펙트럼으로부터 반사 스펙트럼에서 나타난 최대값과 최소값의 차수를 결정하는 과정을 설명하는 도면이며, 도 5는 본 발명의 일 실시 형태에 따라 실시간으로 모니터링한 산화층의 두께를 도시한 도면이다.
본 발명의 일 실시 형태에 따른 고온 강판의 산화층 두께 측정 장치는 광원(100)으로부터 출사된 광을 강판(S)에 조사하는 내부에 코어(111)를 가진 제1 광섬유모듈(110)과, 강판(S) 자체의 복사광과 함께 제1 광섬유모듈(110)에 의해 조사된 광에 의해 강판(S)으로부터 반사되는 반사광을 모두 수광하는 제1 코어모듈(121)과, 강판(S) 자체의 복사광만을 수광하는 제2 코어모듈(122)을 구비한 제2 광섬유모듈(120)과, 제1 코어모듈(121)을 통해 수광된 복사광 및 반사광의 혼합 스펙트럼을 얻는 제1 분광기(131) 및 제2 코어모듈(122)을 통해 수광된 복사광의 복사 스펙트럼을 얻는 제2 분광기(132)를 구비한 분광모듈(130)과, 제1 분광기(131)를 통해 얻은 혼합 스펙트럼 및 제2 분광기(132)를 통해 얻은 복사 스펙트럼에 기초하여 강판(S)에 형성된 산화층(OL)의 두께를 연산하는 연산모듈(140)을 포함할 수 있다.
이하, 도 2 내지 도 5를 참조하여, 본 발명의 실시 형태에 따른 고온 강판의 산화층 두께 측정 장치를 상세하게 설명한다.
우선, 도 2를 참조하면, 제1 광섬유모듈(110)은, 하나의 코어(111)를 갖는 광섬유로, 광원(100)으로부터 출사된 광을 제1 광학모듈(L1)을 통해 강판(S)에 조사할 수 있다. 여기서, 제1 광학모듈(L1)은, 하나 이상의 렌즈로 구성되어 제1 광섬유모듈(110)에 의해 조사되는 광을 강판(S)의 표면에 집광시킬 수 있다.
한편, 제2 광섬유모듈(120)은, 강판(S) 자체의 복사광과 함께 제1 광섬유모듈(110)에 의해 조사된 광에 의해 강판(S)으로부터 반사되는 반사광을 모두 수광하는 제1 코어모듈(121)과, 강판(S) 자체의 복사광만을 수광하는 제2 코어모듈(122)을 구비한 제2 광섬유모듈(120)을 구비할 수 있다. 여기서, 코어 모듈(121, 122)은 각각 하나의 코어를 포함할 수 있으며, 각 코어는 일정거리 이격되어 배치될 수 있다.
즉, 강판(S)의 온도가 상승하는 경우, 예컨대 강판(S)의 온도가 600도 이상에서는 강판(S) 자체로부터 복사광이 나오게 되며, 이러한 복사광은 반사광의 반사 스펙트럼에 영향을 미치게 된다. 따라서, 본 발명의 실시 형태에 의하면, 제2 광섬유모듈(120)을 일정 거리 이격된 2개의 코어(121, 122)를 통해 구성하며, 하나의 코어(121)를 통해서는 강판(S) 자체의 복사광과 함께 제1 광섬유모듈(110)에 의해 조사된 광에 의해 강판(S)으로부터 반사되는 반사광을 모두 수광하도록 하며, 나머지 코어(122)를 통해서는 강판(S) 자체의 복사광만을 수광하도록 할 수 있다. 이후 제1 분광기(131)에서는 코어(121)를 통해 입력된 복사광과 반사광의 혼합 스펙트럼을 얻을 수 있으며, 제2 분광기(132)에서는 코어(122)를 통해 입력된 복사광의 복사 스펙트럼을 얻을 수 있다(혼합 스펙트럼으로부터 반사광의 반사 스펙트럼을 얻는 과정에 대해서는 후술함).
여기서, 하나의 코어(121)에 강판(S) 자체의 복사광과 함께 제1 광섬유모듈(110)에 의해 조사된 광에 의해 강판(S)으로부터 반사되는 반사광이 제1 코어모듈(121)에 집광될 수 있도록 제2 광학계(L2)를 더 구비할 수 있다. 제2 광학계(L2)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 적어도 하나 이상의 렌즈로 구성될 수 있다.
제2 광섬유모듈(120)은 다양한 형태로 구현될 수 있는데, 도 2에서 상술한 바와 같이 적어도 2개의 코어(121, 122)를 포함하는 하나의 광섬유(120)로 구현되는 외에도, 도 3과 같이 구현될 수 있다.
즉, 제1 광섬유모듈(300, 도 2의 120) 중 제1 코어모듈(도 2의 121) 및 제2 코어모듈(도 2의 122) 각각은 하나의 광섬유 내에 적어도 2개 이상의 코어(301, 302)를 포함하도록 구성할 수 있다(도 3의 도면부호 300 참조).
다른 실시 형태로, 제1 광섬유모듈(300, 도 2의 120) 중 제1 코어모듈(도 2의 121) 및 제2 코어모듈(도 2의 122) 각각은 하나의 코어를 가진 광섬유가 복수 개로 구성된 광섬유 다발(311, 312)을 포함하도록 구성할 수 있다(도 3의 도면부호 310 참조).
한편, 분광모듈(130)은 제1 분광기(131) 및 제2 분광기(132)를 포함할 수 있으며, 분광모듈(130) 중 제1 분광기(131)는 제1 코어모듈(121)을 통해 수광된 복사광 및 반사광의 혼합 스펙트럼을 얻을 수 있다. 그리고 분광모듈(130) 중 제2 분광기(132)는 제2 코어모듈(122)을 통해 수광된 복사광의 복사 스펙트럼을 얻을 수 있다. 분광모듈(130)을 통해 얻어진 혼합 스펙트럼과 복사 스펙트럼은 연산모듈(140)로 전달될 수 있다.
연산모듈(140)은 제1 분광기(131)를 통해 얻은 혼합 스펙트럼 및 제2 분광기(132)를 통해 얻은 복사 스펙트럼에 기초하여 강판(S)에 형성된 산화층(OL)의 두께를 연산할 수 있다. 상술한 연산모듈(140)은 제1 연산모듈(141), 제2 연산모듈(142) 및 제3 연산모듈(143)을 포함할 수 있다.
연산모듈(140) 중 제1 연산모듈(141)은, 제1 분광기(131)로부터 전달받은 혼합 스펙트럼으로부터 제2 분광기(132)로부터 전달받은 복사 스펙트럼을 감산함으로써, 반사광의 반사 스펙트럼을 얻을 수 있다. 얻어진 반사 스펙트럼은 복사 스펙트럼과 함께 제2 연산모듈(142)로 전달될 수 있다.
연산모듈(140) 중 제2 연산모듈(142)은, 제1 연산모듈(141)로부터 전달받은 복사 스펙트럼의 크기에 기초하여, 반사 스펙트럼이 최대가 되는 보강 간섭의 차수 또는 반사 스펙트럼이 최소가 되는 상쇄 간섭의 차수를 구할 수 있다. 이하에서는, 도 4를 참조하여, 복사 스펙트럼의 크기에 기초하여, 보강 간섭의 차수 또는 상쇄 간섭의 차수를 구하는 과정에 대해서 상세하게 설명한다.
도 4에 도시된 바와 같이, 반사광의 반사 스펙트럼(400)은 최대값(Max)과 최소값(Min)을 가질 수 있으며, 반사 스펙트럼(400)의 최대값(Max)은 보강 간섭을, 반사 스펙트럼(400)의 최소값(Min)은 상쇄 간섭을 의미하고 있다.
한편, 도면부호 410은 산화층(OL)의 두께가 0nm(415)에서 300nm(411)로 증가할 때, 복사 스펙트럼의 크기가 점차 증가함을 도시하고 있다. 구체적으로 설명하면, 일반적으로 산화 공정에서는 고온으로 갈수록 산화층(OL)이 두껍게 생성되며, 산화층(OL)의 두께가 두꺼워질수록 강판 표면에서 나오는 복사에너지의 양이 증가한다. 이는 산화층(OL)의 두께가 두꺼워지는 산화공정에서 강판 표면의 온도가 증가하기 때문이다.
따라서, 본 발명의 실시 형태에 의하면, 제2 연산모듈(142)은, 상술한 복사 스펙트럼(410)의 최대 크기에 따라 반사광의 반사 스펙트럼(400)의 보강 간섭(Max)의 차수 또는 상쇄 간섭(Min)의 차수를 구할 수 있다. 예를 들면, 제2 분광기(132)에서 얻어진 강판(S)의 복사 스펙트럼의 크기가 45 a.u.일 경우, 제2 연산모듈(142)은 도 4의 복사 스펙트럼(410)과 비교하여 복사 스펙트럼은 도면부호 412와 유사함을 알 수 있으며, 반사 스펙트럼(400)의 보강 간섭(Max)의 차수 또는 상쇄 간섭(Min)의 차수 가 1차라고 판별할 수 있다. 여기서, 복사 스펙트럼(410)의 크기(411 내지 415)에 대응되는 반사 스펙트럼(400)에서의 보강 간섭(Max)의 차수 또는 상쇄 간섭(Min)의 차수는 일률적으로 정의할 수는 없으며, 해당 공정에 따라 실험예 등을 통해 미리 얻어야 한다.
마지막으로, 연산모듈(140) 중 제3 연산모듈(143)은, 제2 연산 모듈(142)에서 구해진 보강 간섭의 차수 또는 상쇄 간섭의 차수에 기초하여 하기의 수학식 1에 따라 강판(S)에 형성된 산화층(OL)의 두께를 연산할 수 있다.
Figure 112011092081062-pat00003
여기서, d는 산화층의 두께, n은 산화층의 굴절율, λ는 반사 스펙트럼이 최대 또는 최소가 되는 파장, m은 보강 간섭의 차수 또는 상쇄 간섭의 차수를 의미한다. 최소값의 경우 위 수학식 1에서 m=1, 3, 5,...를 대입하고, 최대값의 경우 위 수학식 1에서 m=2, 4, 6,..을 대입하여 산화층의 두께를 연산한다. 즉, m=1, 3, 5, ..는 각각 1차, 2차, 3차, ..의 상쇄 간섭을, m=2, 4, 6,..은 각각 1차, 2차, 3차, ..의 보강 간섭을 나타낸다.
따라서, 제1 연산모듈(141)에서 얻은 반사 스펙트럼(400)이 도 4에 도시된 바와 같다고 가정하면, 그 크기가 최소가 되는 파장(Min)은 700nm, 최대가 되는 파장(Max)이 400nm일 수 있다. 또한, 상술한 바와 같이 반사 스펙트럼의 보강 간섭 또는 상쇄 간섭의 차수가 1차인 것을 알 수 있으므로, 보강 간섭의 차수로부터 구한 산화층(OL)의 두께는 (1×700nm)/(4×2.2)=7.95nm이다. 또한, 상쇄 간섭의 차수로부터 구한 산화층(OL)이 두께는 (2×400nm)/(4×2.2)=9.09nm로 양 수치가 거의 유사하게 구해짐을 알 수 있다(여기서, 산화층의 굴절율(n)은 2.2로 놓음)
한편, 도 5는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 고온 강판의 산화층 두께 측정 장치를 현장에 설치하여 실시간으로 모니터링한 산화층의 두께를 도시한 도면이다. 도 5에 도시된 바와 같이, 소둔로의 조건에 따라 강판의 두께가 300nm까지 증가한 후 다시 점차적으로 감소하고 있음을 알 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 강판의 온도가 고온, 특히 600도 이상인 경우에 강판 자체의 복사광에 의한 영향을 제거하여 보강 간섭의 차수 또는 상쇄 간섭의 차수를 정확하게 판정함으로써, 산화층의 두께를 정확하게 측정할 수 있는 기술적 효과가 있다.
마지막으로, 도 6은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 고온 강판의 산화층 두께 측정 방법을 설명하는 흐름도이다. 발명의 간명화를 위해 도 2 내지 도 5에서 설명된 사항과 중복된 설명은 생략한다.
도 2 및 도 6을 참조하면, 우선 제1 광섬유모듈(110)은 광원(100)으로부터 출사된 광을 제1 광학모듈(L1)을 통해 강판(S)에 조사할 수 있다(S600). 여기서, 제1 광학모듈(L1)은, 하나 이상의 렌즈로 구성되어 제1 광섬유모듈(110)에 의해 조사되는 광을 강판(S)의 표면에 집광시킬 수 있다.
이후, 제2 광섬유모듈(120) 중 제1 코어모듈(121)은 강판(S) 자체의 복사광과 함께 제1 광섬유모듈(110)에 의해 조사된 광에 의해 강판(S)으로부터 반사되는 반사광을 모두 수광하며, 수광된 강판(S) 자체의 복사광과 강판(S)으로부터 반사되는 반사광은 제1 분광기(131)로 전달될 수 있다. 그리고 제2 광섬유모듈(120) 중 제2 코어모듈(122)은 강판(S) 자체의 복사광만을 수광할 수 있으며, 수광된 강판(S) 자체의 복사광은 제2 분광기(132)로 전달될 수 있다(S601). 여기서, 코어 모듈(121, 122)은 각각 하나의 코어를 포함할 수 있으며, 각 코어는 일정거리 이격되어 배치될 수 있다.
한편, 제2 광섬유모듈(120)은 다양한 형태로 구현될 수 있는데, 도 2에서 상술한 바와 같이 적어도 2개의 코어(121, 122)를 포함하는 하나의 광섬유(120)로 구현되는 외에도, 도 3과 같이 구현될 수 있다.
즉, 제1 광섬유모듈(300, 도 2의 120) 중 제1 코어모듈(도 2의 121) 및 제2 코어모듈(도 2의 122) 각각은 하나의 광섬유 내에 적어도 2개 이상의 코어(301, 302)를 포함하도록 구성할 수 있다(도 3의 도면부호 300 참조).
다른 실시 형태로, 제1 광섬유모듈(300, 도 2의 120) 중 제1 코어모듈(도 2의 121) 및 제2 코어모듈(도 2의 122) 각각은 하나의 코어를 가진 광섬유가 복수 개로 구성된 광섬유 다발(311, 312)을 포함하도록 구성할 수 있다(도 3의 도면부호 310 참조).
이후, 분광모듈(130) 중 제1 분광기(131)는 제1 코어모듈(121)을 통해 수광된 복사광 및 반사광의 혼합 스펙트럼을 얻을 수 있다. 그리고 분광모듈(130) 중 제2 분광기(132)는 제2 코어모듈(122)을 통해 수광된 복사광의 복사 스펙트럼을 얻을 수 있다(S602). 분광모듈(130)을 통해 얻어진 혼합 스펙트럼과 복사 스펙트럼은 연산모듈(140)로 전달될 수 있다.
마지막으로, 연산모듈(140)은 제1 분광기(131)를 통해 얻은 혼합 스펙트럼 및 제2 분광기(132)를 통해 얻은 복사 스펙트럼에 기초하여 강판(S)에 형성된 산화층(OL)의 두께를 연산할 수 있다(S603).
구체적으로, 연산모듈(140) 중 제1 연산모듈(141)은, 제1 분광기(131)로부터 전달받은 혼합 스펙트럼으로부터 제2 분광기(132)로부터 전달받은 복사 스펙트럼을 감산함으로써, 반사광의 반사 스펙트럼을 얻을 수 있다. 얻어진 반사 스펙트럼은 복사 스펙트럼과 함께 제2 연산모듈(142)로 전달될 수 있다.
그리고 연산모듈(140) 중 제2 연산모듈(142)은, 제1 연산모듈(141)로부터 전달받은 복사 스펙트럼의 크기에 기초하여, 반사 스펙트럼이 최대가 되는 보강 간섭의 차수 또는 반사 스펙트럼이 최소가 되는 상쇄 간섭의 차수를 구할 수 있다.
마지막으로, 연산모듈(140) 중 제3 연산모듈(143)은, 제2 연산 모듈(142)에서 구해진 보강 간섭의 차수 또는 상쇄 간섭의 차수에 기초하여 상술한 수학식 1에 따라 강판(S)에 형성된 산화층(OL)의 두께를 연산할 수 있다.
상술한 바와 같이 본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 강판의 온도가 고온, 특히 600도 이상인 경우에 강판 자체의 복사광에 의한 영향을 제거하여 보강 간섭의 차수 또는 상쇄 간섭의 차수를 정확하게 판정함으로써, 산화층의 두께를 정확하게 측정할 수 있는 기술적 효과가 있다.
본 발명은 상술한 실시형태 및 첨부된 도면에 의해 한정되지 아니한다. 첨부된 청구범위에 의해 권리범위를 한정하고자 하며, 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 형태의 치환, 변형 및 변경할 수 있다는 것은 당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에게 자명할 것이다.
10, 100: 광원 11, OL: 산화층
12, S: 강판 13: 분광기
110: 제1 광섬유모듈 120, 300, 310: 제2 광섬유모듈
121, 301, 311: 제1 코어모듈 122, 302, 312: 제2 코어모듈
130: 분광모듈 131: 제1 분광기
132: 제2 분광기 140: 연산모듈
141: 제1 연산모듈 142: 제2 연산모듈
143: 제3 연산모듈 400: 반사 스펙트럼
410: 복사 스펙트럼 L1, L2: 광학계

Claims (12)

  1. 광원으로부터 출사된 광을 강판에 조사하는 제1 광섬유모듈;
    상기 강판 자체의 복사광과 함께 상기 제1 광섬유모듈에 의해 조사된 광에 의해 상기 강판으로부터 반사되는 반사광을 모두 수광하는 제1 코어모듈과, 상기 강판 자체의 복사광만을 수광하는 제2 코어모듈을 구비한 제2 광섬유모듈;
    상기 제1 코어모듈을 통해 수광된 복사광 및 반사광의 혼합 스펙트럼을 얻는 제1 분광기 및 상기 제2 코어모듈을 통해 수광된 복사광의 복사 스펙트럼을 얻는 제2 분광기를 구비한 분광모듈; 및
    상기 제1 분광기를 통해 얻은 혼합 스펙트럼 및 상기 제2 분광기를 통해 얻은 복사 스펙트럼에 기초하여 상기 강판에 형성된 산화층의 두께를 연산하는 연산모듈을 포함하며,
    상기 연산모듈은,
    상기 혼합 스펙트럼으로부터 상기 복사 스펙트럼을 감산함으로써, 상기 반사광의 반사 스펙트럼을 얻는 제1 연산모듈;
    상기 복사 스펙트럼의 크기에 기초하여, 상기 반사 스펙트럼이 최대가 되는 보강 간섭의 차수 또는 상기 반사 스펙트럼이 최소가 되는 상쇄 간섭의 차수를 구하는 제2 연산모듈; 및
    상기 제2 연산 모듈에서 구해진 보강 간섭의 차수 또는 상쇄 간섭의 차수에 기초하여 상기 강판에 형성된 산화층의 두께를 연산하는 제3 연산모듈을 포함하는 고온 강판의 산화층 두께 측정 장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제3 연산모듈은,
    하기의 수학식:
    Figure 112013024449382-pat00004

    에 의해 상기 산화층의 두께를 연산하며, 여기서 d는 상기 산화층의 두께, n은 상기 산화층의 굴절율, λ는 상기 반사 스펙트럼이 최대 또는 최소가 되는 파장, m은 상기 보강 간섭의 차수 또는 상기 상쇄 간섭의 차수인 고온 강판의 산화층 두께 측정 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제1 코어모듈 및 상기 제2 코어모듈 각각은
    적어도 하나 이상의 코어를 포함한 하나의 광섬유 또는 하나의 코어를 가진 광섬유가 복수 개로 구성된 광섬유 다발을 포함하는 고온 강판의 산화층 두께 측정 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 강판의 온도는,
    600도 이상인 고온 강판의 산화층 두께 측정 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 산화층 두께 측정 장치는,
    상기 제1 광섬유모듈에 의해 조사되는 광을 상기 강판에 집광시키는 제1 광학모듈; 및
    상기 강판 자체의 복사광과 함께 상기 제1 광섬유모듈에 의해 조사된 광에 의해 상기 강판으로부터 반사되는 반사광을 상기 제1 코어모듈에, 상기 강판 자체의 복사광만을 상기 제2 광섬유모듈에 집광시키는 제2 광학모듈을 포함하는 고온 강판의 산화층 두께 측정 장치.
  7. 제1 광섬유모듈에서, 광원으로부터 출사된 광을 강판에 조사하는 단계;
    제1 코어모듈에서 상기 강판 자체의 복사광과 함께 상기 제1 광섬유모듈에 의해 조사된 광에 의해 상기 강판으로부터 반사되는 반사광을 모두 수광하며, 제2 코어모듈에서 상기 강판 자체의 복사광만을 수광하는 단계;
    제1 분광기에서 상기 제1 코어모듈을 통해 수광된 복사광 및 반사광의 혼합 스펙트럼을 얻으며, 제2 분광기에서 상기 제2 코어모듈을 통해 수광된 복사광의 복사 스펙트럼을 얻는 단계; 및
    연산모듈에서, 상기 제1 분광기를 통해 얻은 혼합 스펙트럼 및 상기 제2 분광기를 통해 얻은 복사 스펙트럼에 기초하여 상기 강판에 형성된 산화층의 두께를 연산하는 단계를 포함하며,
    상기 산화층의 두께를 연산하는 단계는,
    제1 연산모듈에서, 상기 혼합 스펙트럼으로부터 상기 복사 스펙트럼을 감산함으로써 상기 반사광의 반사 스펙트럼을 얻는 제1 단계;
    제2 연산모듈에서, 상기 복사 스펙트럼의 크기에 기초하여, 상기 반사 스펙트럼이 최대가 되는 보강 간섭의 차수 또는 상기 반사 스펙트럼이 최소가 되는 상쇄 간섭의 차수를 구하는 제2 단계; 및
    제3 연산모듈에서, 상기 제2 연산 모듈에서 구해진 보강 간섭의 차수 또는 상쇄 간섭의 차수에 기초하여 상기 강판에 형성된 산화층의 두께를 연산하는 제3 단계를 포함하는 고온 강판의 산화층 두께 측정 방법.
  8. 삭제
  9. 제7항에 있어서,
    상기 제3 단계는,
    하기의 수학식:
    Figure 112013024449382-pat00005

    에 의해 상기 산화층의 두께를 연산하며, 여기서 d는 상기 산화층의 두께, n은 상기 산화층의 굴절율, λ는 상기 반사 스펙트럼이 최대 또는 최소가 되는 파장, m은 상기 보강 간섭의 차수 또는 상기 상쇄 간섭의 차수인 고온 강판의 산화층 두께 측정 방법.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 제1 코어모듈 및 상기 제2 코어모듈 각각은
    적어도 하나 이상의 코어를 포함한 하나의 광섬유 또는 하나의 코어를 가진 광섬유가 복수 개로 구성된 광섬유 다발을 포함하는 고온 강판의 산화층 두께 측정 방법.
  11. 제7항에 있어서,
    상기 강판의 온도는,
    600도 이상인 고온 강판의 산화층 두께 측정 방법.
  12. 제7항에 있어서,
    상기 산화층 두께 측정 방법은,
    제1 광학모듈에서, 상기 제1 광섬유모듈에 의해 조사되는 광을 상기 강판에 집광시키는 단계; 및
    제2 광학모듈에서, 상기 강판 자체의 복사광과 함께 상기 제1 광섬유모듈에 의해 조사된 광에 의해 상기 강판으로부터 반사되는 반사광을 상기 제1 코어모듈에, 상기 강판 자체의 복사광만을 상기 제2 광섬유모듈에 집광시키는 단계를 포함하는 고온 강판의 산화층 두께 측정 방법.
KR1020110121787A 2011-11-21 2011-11-21 고온 강판의 산화층 두께 측정 장치 및 방법 KR101281392B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110121787A KR101281392B1 (ko) 2011-11-21 2011-11-21 고온 강판의 산화층 두께 측정 장치 및 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110121787A KR101281392B1 (ko) 2011-11-21 2011-11-21 고온 강판의 산화층 두께 측정 장치 및 방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20130056055A KR20130056055A (ko) 2013-05-29
KR101281392B1 true KR101281392B1 (ko) 2013-07-02

Family

ID=48664293

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020110121787A KR101281392B1 (ko) 2011-11-21 2011-11-21 고온 강판의 산화층 두께 측정 장치 및 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101281392B1 (ko)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101398295B1 (ko) * 2012-10-22 2014-05-27 주식회사 포스코 초음파 측정용 레이저-간섭계 효율 증대 장치 및 방법
DE102019104260A1 (de) * 2019-02-20 2020-08-20 Stefan Böttger Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung einer Schichtdicke einer auf ein Substrat aufgebrachten Schicht
CN111833345B (zh) * 2020-07-29 2024-03-26 广东电网有限责任公司 一种基于光学图像的金属表面氧化层厚度的监控方法
CN114018942B (zh) * 2021-11-02 2024-01-23 山东钢铁集团日照有限公司 一种用于冷检通讯模块的检测装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10206125A (ja) * 1997-01-27 1998-08-07 Nippon Steel Corp 酸化膜厚さ測定装置及び測定方法
JP2000193424A (ja) 1998-12-24 2000-07-14 Sharp Corp 薄膜の膜厚測定装置およびその方法
JP2004045606A (ja) * 2002-07-10 2004-02-12 Fuji Xerox Co Ltd 電子写真感光体の評価装置および評価方法、電子写真感光体の製造装置および製造方法
JP2007010464A (ja) * 2005-06-30 2007-01-18 Jfe Steel Kk 鋼板表面の酸化膜厚計測方法及び装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10206125A (ja) * 1997-01-27 1998-08-07 Nippon Steel Corp 酸化膜厚さ測定装置及び測定方法
JP2000193424A (ja) 1998-12-24 2000-07-14 Sharp Corp 薄膜の膜厚測定装置およびその方法
JP2004045606A (ja) * 2002-07-10 2004-02-12 Fuji Xerox Co Ltd 電子写真感光体の評価装置および評価方法、電子写真感光体の製造装置および製造方法
JP2007010464A (ja) * 2005-06-30 2007-01-18 Jfe Steel Kk 鋼板表面の酸化膜厚計測方法及び装置

Also Published As

Publication number Publication date
KR20130056055A (ko) 2013-05-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Hongjie et al. Subsurface defects of fused silica optics and laser induced damage at 351 nm
JP6290637B2 (ja) 膜厚計測方法及び膜厚計測装置
KR101281392B1 (ko) 고온 강판의 산화층 두께 측정 장치 및 방법
EP3951335A1 (en) Light source device for optical measurement, spectroscopic measurement device, and spectroscopic measurement method
Katzenmeyer et al. Nanoscale imaging and spectroscopy of plasmonic modes with the PTIR technique
JP2005208046A (ja) 反応性硬化樹脂の硬化状態測定装置及び方法
KR102229048B1 (ko) 두께 측정 장치 및 두께 측정 방법
US20110301066A1 (en) Adhesion layer enhancement of plasmonic fluorescence
Navarro-Cia et al. Modes in silver-iodide-lined hollow metallic waveguides mapped by terahertz near-field time-domain microscopy
JP2012068142A (ja) 紫外線硬化樹脂の状態推定装置、状態推定方法およびプログラム
WO2008056702A1 (fr) Procédé de mesure d'indice de réfraction, appareil de mesure d'indice de réfraction et procédé de fabrication d'un élément optique
US20150146214A1 (en) Optical performance measurement apparatus of test optical element and its control unit
US8895941B2 (en) Laminated glass sheet depth profile determination
Li et al. Spectral near-field thermal emission extraction by optical waveguides
WO2012086198A1 (ja) 光電場増強デバイスおよび光検出装置
JP2004020337A (ja) 温度測定装置
US20160299084A1 (en) Systems and Methods to Reduce Delamination In Integrated Computational Elements Used Downhole
Zapata-Valencia et al. Automatic method to measure the numerical aperture of a propagating Gaussian light beam.
KR101220796B1 (ko) 도금강판의 산화층 두께 측정 장치
KR101289197B1 (ko) 강판의 산화층 두께 측정 장치 및 방법
KR20130007447A (ko) 온도 계측 장치, 기판 처리 장치 및 온도 계측 방법
CN108426861A (zh) 利用阶梯窗口实现超短单脉冲时间分辨泵浦探测的方法
Dyshlyuk et al. Surface plasmon resonance in a metal-coated single-mode optical fiber with decreased normalized frequency
KR20130062658A (ko) 산화층 두께 측정 장치 및 산화층 두께 측정 방법
Gut et al. Analysis and investigations of differential interferometer based on a polymer optical bimodal waveguide

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160621

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170626

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180620

Year of fee payment: 6