KR101279674B1 - Glass scriber - Google Patents

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KR101279674B1
KR101279674B1 KR1020130040275A KR20130040275A KR101279674B1 KR 101279674 B1 KR101279674 B1 KR 101279674B1 KR 1020130040275 A KR1020130040275 A KR 1020130040275A KR 20130040275 A KR20130040275 A KR 20130040275A KR 101279674 B1 KR101279674 B1 KR 101279674B1
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glass substrate
slider
linear motor
wheel
bracket
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Application number
KR1020130040275A
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Inventor
임호영
천권욱
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주식회사 디엠텍
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Abstract

PURPOSE: A glass substrate scriber Is provided to confirm position movement value of a linear motor in a vertical guider and to conform torque value applied on a wheel in real time. CONSTITUTION: A glass substrate scriber comprises a vertical guider (10); a linear motor (20); a scale (30); a main slider (40), a sub slider (50); a wheel holder (60); a load cell (70); and a control section. The linear motor is installed in an upper part of the vertical guider. The linear motor is installed in the upper part of the vertical guider. The scale generates a moved distant signal corresponding to the movement of the linear motor. The main slider slides the vertical guider being connected to the linear motor. The sub slider is combined to the main slider allowing sliding. The wheel holder is installed in a sub slider and supports the wheel (61). The load cell is installed in one among a main slider or a sub slider and generates a corresponding pressure signal pressurizing the other one among the main slider or a sub slider. The control section controls the linear motor being connected to a moving distance signal and the pressure signal.

Description

글라스기판 스크라이버{Glass Scriber}Glass substrate scriber {Glass Scriber}

본 발명은 글라스기판 스크라이버에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 실시간으로 수직가이더에서 리니어모터의 위치이동값 및 휠에 인가되는 토크값을 실시간으로 확인할 수 있는 글라스기판 스크라이버에 관한 것이다. The present invention relates to a glass substrate scriber, and more particularly, to a glass substrate scriber capable of checking in real time the position shift value of the linear motor and the torque value applied to the wheel in the vertical guider.

일반적으로 TFT-LCD(Thin film transistor-liquid crystal display), OLED(Organic Light Emitting Display), PDP(Plasma display panel), EL(Electro luminescent) 등의 평판 디스플레이 패널은 2 장의 글라스를 접합시켜 구성된다. 이러한 패널을 제조할 때에는 머더 글라스(mother glass)를 소정의 크기형태로 절단하여야 하는데, 이때 절단공정은 글라스에 스크라이브 라인을 형성하고, 계속하여 형성된 스크라이브 라인을 중심으로 하여 소정의 휨 응력을 인가함으로서 글라스를 스크라이브 라인을 따라 절단하는 것이다. 즉 표시장치인 평판 패널 디스플레이에 사용되는 패널은 큰 면적의 글라스를 복수 매의 소정의 크기로 절단한 것이다. In general, a flat panel display panel such as a thin film transistor-liquid crystal display (TFT-LCD), an organic light emitting display (OLED), a plasma display panel (PDP), an electroluminescent (EL), or the like is formed by bonding two glasses. When manufacturing such a panel, the mother glass must be cut into a predetermined size shape, wherein the cutting process is performed by forming a scribe line on the glass and applying a predetermined bending stress around the continuously formed scribe line. The glass is cut along the scribe line. In other words, a panel used for a flat panel display as a display device is obtained by cutting a large area of glass into a plurality of predetermined sizes.

도 1은 종래의 글라스기판 스크라이버의 구성을 설명하기 위한 도면이다. 1 is a view for explaining the configuration of a conventional glass substrate scriber.

도시된 바와 같이, 종래의 글라스기판 스크라이버는, 글라스기판(G)상에서 이동하는 것으로서 수직방향으로 형성된 수직가이더(1)와, 수직가이더(1)의 상부측에 설치되는 스테핑모터(2)와, 스테핑모터(2)의 회전축과 연결된 볼스크류(2a)에 결합되어 수직가이더(1)를 따라 상하방향으로 슬라이딩되는 메인슬라이더(3)와, 메인슬라이더(3)에 고정되는 에어실린더(4)와, 메인슬라이더(3)의 하부측에 슬라이딩 가능하게 결합되는 것으로서 에어실린더(4)로부터 돌출되는 로드(4a)에 의하여 하방으로 가압되는 서브슬라이더(5)와, 서브슬라이더(5)에 고정되는 것으로서 글라스기판(G)에 접촉되어 그 글라스기판(G)에 스크라이브 라인을 형성하기 위한 휠(6a)을 회전가능하게 지지하는 휠홀더(6)를 포함한다.As shown, the conventional glass substrate scriber includes a vertical guider (1) formed in the vertical direction as moving on the glass substrate (G), and a stepping motor (2) installed on the upper side of the vertical guider (1). , The main slider 3 coupled to the ball screw 2a connected to the rotating shaft of the stepping motor 2 and sliding up and down along the vertical guider 1, and the air cylinder 4 fixed to the main slider 3. And a sub-slider 5 which is slidably coupled to the lower side of the main slider 3 and pressed downward by a rod 4a protruding from the air cylinder 4, and fixed to the sub-slider 5. And a wheel holder 6 rotatably supporting the wheel 6a for contacting the glass substrate G and forming a scribe line on the glass substrate G.

이러한 구조에 의하여, 스테핑모터(2)는 메인슬라이더(3)를 승강시켜 글라스기판(G)의 상부로 위치이동시킨다. 에어실린더(4)는 주입되는 공기압에 따라 로드(4a)를 돌출시키고, 돌출된 로드(4a)는 서브슬라이더(5)를 하방으로 가압하여 휠(6a)이 글라스기판(G)의 표면을 가압하게 한다. 이 상태에서 상대이동되는 글라스기판(G)의 표면에는 휠(6a)에 의하여 스크라이브 라인이 형성된다. By this structure, the stepping motor 2 lifts the main slider 3 and moves it to the upper portion of the glass substrate G. The air cylinder 4 protrudes the rod 4a according to the injected air pressure, and the protruding rod 4a presses the sub slider 5 downward so that the wheel 6a presses the surface of the glass substrate G. Let's do it. In this state, a scribe line is formed by the wheel 6a on the surface of the glass substrate G which is relatively moved.

그런데 상기한 글라스기판 스크라이버에 있어서, 스테핑모터(2)의 내부에는 여러 기어구조가 내장되어 있기 때문에, 기어구조에서 발생되는 백래쉬(backlash)에 의하여 위치제어시 오차가 발생하였다. 이러한 위치제어 오차는, 에어실린더(4)가 최적의 압력으로 휠(6a)을 가압하는 것을 방해하여 휠(6a)이 쉽게 마모되게 하거나, 정확한 스크라이브 라인을 형성하는데 방해가 되었다라는 문제점이 있었다. By the way, in the above-described glass substrate scriber, since several gear structures are built into the stepping motor 2, an error occurs during position control due to backlash generated in the gear structure. This positioning error has a problem that the air cylinder 4 is prevented from pressurizing the wheel 6a at an optimum pressure, which causes the wheel 6a to be easily worn or to form an accurate scribe line.

특히 최근 평판 패널 디스플레이의 대형화에 따라 패널용 글라스기판도 대면적화되고, 그 두께는 점점 얇아지는 경향이어서 0.2㎜의 두께의 글라스기판이 사용되고 있으며, 또한 1500㎜×1800㎜의 대면적으로서 두께가 0.7㎜ 이하인 글라스기판도 사용되고 있다. 이러한 얇아지는 두께를 가지는 대면적 글라스기판에 스크라이브 라인을 형성하기 위하여, 휠(6a)에 인가되는 토크값은 매우 정밀하게 제어하여야 하는데, 상기한 글라스 스크라이버는 백래쉬가 발생하는 기어구조를 가지는 스테핑모터를 채용하거나 에어실린더를 채용함으로써 현실적으로 정밀한 제어가 어려운 것이었다. In particular, with the recent increase in the size of flat panel displays, the glass substrates for panels have also become large, and the thickness thereof has tended to become thinner and thinner. Thus, glass substrates having a thickness of 0.2 mm are used, and the thickness of the glass substrates having a large area of 1500 mm x 1800 mm is 0.7. Glass substrates of mm or less are also used. In order to form a scribe line on the large-area glass substrate having this thinning thickness, the torque value applied to the wheel 6a should be controlled very precisely. The glass scriber has a stepping step having a gear structure in which backlash occurs. In reality, precise control was difficult by employing a motor or an air cylinder.

또한 메인슬라이더(3)는 스테핑모터(2)에 의하여 승강되는데, 승강되는 정도는 스테핑모터(2)로 인가되는 구동신호에 따라 볼스크류(2a)의 회전에 의하여 정해진다. 그런데 볼스크류(2a)를 몇회전시켰을 때 메인슬라이더(3)의 승강 위치가 얼마라는 것이 데이터화되어 있을 뿐, 실제로 메인슬라이더(3)가 정확히 움직였는지를 확인할 수 없었다. 따라서 절단대상인 글라스기판의 두께에 오차가 있을 경우, 스크라이브 라인을 정확히 형성하기가 어려웠다. In addition, the main slider (3) is lifted by the stepping motor (2), the degree of lifting is determined by the rotation of the ball screw (2a) in accordance with the drive signal applied to the stepping motor (2). By the way, when the ball screw 2a was rotated a few times, only how much the lifting position of the main slider 3 was in data was not able to confirm whether the main slider 3 actually moved correctly. Therefore, if there is an error in the thickness of the glass substrate to be cut, it is difficult to form a scribe line accurately.

그리고 에어실린더(4)에서 돌출되는 로드(4a)가 휠(6a)을 가압하여 스크라이브 라인을 형성하지만, 휠(6a)에 인가되는 토크값이 정확한지 여부를 알 수가 없었다. 따라서 휠(6a)에 인가되는 토크값이 최적의 조건에서 벗어날 경우, 예를 들면 휠(6a)이 글라스기판(G)을 과도하게 가압하여 휠(6a)에 과도한 토크값이 인가되면 휠(6a)의 마모의 원인이 되고, 휠(6a)이 글라스기판(G)을 약하게 가압하여 휠(6a)에 인가되는 토크값이 기준 토크값보다 작아질 경우 글라스기판(G)에 스크라이브 라인이 정확하게 형성되지 않게 되었다. The rod 4a protruding from the air cylinder 4 presses the wheel 6a to form a scribe line, but it is not known whether the torque value applied to the wheel 6a is correct. Therefore, if the torque value applied to the wheel 6a deviates from the optimum condition, for example, if the wheel 6a excessively presses the glass substrate G and the excessive torque value is applied to the wheel 6a, the wheel 6a If the wheel 6a weakly presses the glass substrate G so that the torque value applied to the wheel 6a becomes smaller than the reference torque value, the scribe line is accurately formed on the glass substrate G. It became impossible.

상기한 스크라이버에 관련된 다른 종래기술이 공개번호 10-2005-0032834호(기판 절단장치 및 이의 구동방법)이 개시되어 있는데, 휠에 초음파 진동을 인가하기 위한 진동부를 채용함으로서 스크라이브라인을 형성할 때 토크값을 증가시켜 크랙의 깊이를 깊게 한다.Another prior art related to the above-described scriber is disclosed in Korean Patent Application Publication No. 10-2005-0032834 (substrate cutting device and its driving method), in which a scribe brain is formed by employing a vibration unit for applying ultrasonic vibration to a wheel. Increase the torque value to deepen the crack depth.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 실시간으로 수직가이더에서의 리니어모터의 위치이동값 및 휠에 인가되는 토크값을 실시간으로 확인할 수 있으며, 이러한 위치이동값 및 토크값이 리니어모터의 작동에 반영되게 함으로써 휠이 글라스기판에 최적의 토크값으로 가압되도록 할 수 있고, 이에 따라 휠의 마모현상을 최소화하고, 정밀한 스크라이브 라인의 형성을 가능하게 할 수 있는 글라스기판 스크라이버를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention was created to solve the above problems, it is possible to check in real time the position shift value of the linear motor and the torque value applied to the wheel in the vertical guider, the position shift value and the torque value is linear By being reflected in the operation of the motor, the wheel can be pressed to the glass substrate at the optimum torque value, thereby minimizing the wheel wear and providing a glass substrate scriber that enables the formation of precise scribe lines. It aims to do it.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 글라스기판 스크라이버는, 글라스기판(G)상에서 이동하는 것으로서 수직방향으로 형성된 수직가이더(10); 상기 수직가이더(10)의 상부측에 설치되는 리니어모터(20); 상기 리니어모터(20)의 위치이동을 측정하여 대응되는 이동거리신호를 발생하는 스케일(30); 상기 리니어모터(20)에 연동되어 상기 수직가이더(10)를 따라 슬라이딩되는 메인슬라이더(40); 상기 메인슬라이더(40)에 슬라이딩되게 결합되는 서브슬라이더(50); 상기 서브슬라이더(50)에 설치되는 것으로서, 상기 글라스기판(G)에 접촉되어 그 글라스기판(G)에 스크라이브 라인을 형성하기 위한 휠(61)을 지지하는 휠홀더(60); 상기 메인슬라이더(40)와 서브슬라이더(50) 중 어느 하나에 설치되어 상기 메인슬라이더(40)와 서브슬라이더(50) 중 다른 하나와 접촉되어 가압함과 동시에 대응되는 압력신호를 발생하는 로드셀(70); 및 상기 스케일(30)에서 발생되는 이동거리신호 및 상기 로드셀(70)에서 발생되는 압력신호에 연동되어 상기 리니어모터(20)를 제어하는 제어부(미도시);를 포함하는 것을 특징으로 한다. In order to achieve the above object, the glass substrate scriber according to the present invention, the vertical guider (10) formed in the vertical direction as moving on the glass substrate (G); A linear motor 20 installed at an upper side of the vertical guider 10; A scale 30 measuring position movement of the linear motor 20 to generate a corresponding movement distance signal; A main slider 40 interlocked with the linear motor 20 and sliding along the vertical guider 10; A sub slider 50 slidably coupled to the main slider 40; A wheel holder (60) installed in the sub slider (50), the wheel holder (60) contacting the glass substrate (G) and supporting the wheel (61) for forming a scribe line on the glass substrate (G); The load cell 70 is installed in any one of the main slider 40 and the sub slider 50 to contact and press the other of the main slider 40 and the sub slider 50 to generate a corresponding pressure signal. ); And a controller (not shown) that controls the linear motor 20 in association with a movement distance signal generated by the scale 30 and a pressure signal generated by the load cell 70.

본 발명에 있어서, 상기 스크라이브 라인을 형성하는 과정에서 발생되는 파티클을 비산시키기 위한 블로워노즐(80); 및 상기 블라워노즐(80)에서 분사되는 공기에 의하여 비산하는 상기 파티클을 석션하기 위한 석션부(90);를 더 포함한다.In the present invention, a blow nozzle (80) for scattering particles generated in the process of forming the scribe line; And a suction unit 90 for suctioning the particles scattered by the air sprayed from the blower nozzle 80.

본 발명에 있어서, 상기 서브슬라이더(50)에 설치되어 스크라이브 라인이 형성되는 상기 글라스기판(G)을 촬영하기 위한 카메라(100)를 더 포함한다.In the present invention, the sub-slider 50 further includes a camera 100 for photographing the glass substrate (G) in which a scribe line is formed.

본 발명에 있어서, 상기 스케일(30)에서 발생되는 이동거리신호 및 상기 로드셀(70)에서 발생되는 압력신호를 표시하는 디스플레이(110)를 더 포함한다.In the present invention, the display device further includes a display 110 for displaying a moving distance signal generated in the scale 30 and a pressure signal generated in the load cell 70.

본 발명에 있어서, 상기 메인슬라이더(40)에는 전방으로 돌출된 제1브라켓(45)이 설치되고; 상기 서브슬라이더(50)에는 상기 제1브라켓(45)에 대응되는 제2브라켓(55)이 전방으로 돌출되게 설치되며; 상기 제1브라켓(45)과 제2브라켓(55) 중 어느 하나에 상기 로드셀(70)이 설치되고; 상기 제1브라켓(45)과 제2브라켓(55) 중 다른 하나에 상기 로드셀(70)의 단부가 접촉된다.In the present invention, the main slider 40 is provided with a first bracket 45 protruding forward; A second bracket 55 corresponding to the first bracket 45 is installed to protrude forward in the sub slider 50; The load cell 70 is installed on any one of the first bracket 45 and the second bracket 55; An end of the load cell 70 is in contact with the other one of the first bracket 45 and the second bracket 55.

본 발명에 있어서, 상기 제2브라켓(55)의 하부측에는 상기 휠홀더(60)가 착탈되는 홀더헤드(65)가 설치되고; 상기 홀더헤드(65)에는 편심된 축부(65a)가 형성되어 그 축부(65)가 상기 제2브라켓(55)에 회전가능하게 결합된다.In the present invention, the lower side of the second bracket (55) is provided with a holder head (65) for detaching the wheel holder (60); An eccentric shaft portion 65a is formed in the holder head 65 so that the shaft portion 65 is rotatably coupled to the second bracket 55.

본 발명에 있어서, 상기 홀더헤드(65)에는 상기 휠홀더(60)가 착탈되는 착탈홈(66)이 형성되어 있고; 상기 착탈홈(66)의 내부에는 상기 휠홀더(60)가 상기 착탈홈(66)에 끼어진 상태를 유지하도록 하는 자석(67)이 내장된다.In the present invention, the holder head (65) is provided with a detachable groove (66) for detaching the wheel holder (60); Inside the detachable groove 66, a magnet 67 is built in the wheel holder 60 to maintain a state of being fitted into the detachable groove 66.

본 발명에 따르면, 리니어모터가 메인슬라이더를 하방으로 움직일 때, 스케일은 리니어모터의 위치이동을 정확히 측정하여 대응되는 이동거리신호를 제어부로 전송함과 동시에 디스플레이로 위치이동값을 표시하고, 로드셀은 서브슬라이더를 가압할 때 발생하는 압력신호를 제어부로 전송함과 동시에 글라스기판에 의하여 휠로 인가되는 토크값을 디스플레이로 표시한다. 이때 제어부로 전송된 이동거리신호 및 압력신호는 휠이 글라스기판에 정확한 스크라이브 라인을 형성하도록 하고, 디스플레이는 리니어모터의 위치이동값 및 휠의 토크값을 표시함으로써, 관리자가 글라스기판에 스크라이브 라인이 정확히 형성되고 있는지 여부를 실시간으로 확인하게 할 수 있다. According to the present invention, when the linear motor moves the main slider downward, the scale accurately measures the position movement of the linear motor, transmits the corresponding movement distance signal to the control unit, and simultaneously displays the position movement value on the display. The pressure signal generated when the sub slider is pressed is transmitted to the controller, and the torque value applied to the wheel by the glass substrate is displayed on the display. At this time, the movement distance signal and the pressure signal transmitted to the control unit allow the wheel to form an accurate scribe line on the glass substrate, and the display displays the position movement value of the linear motor and the torque value of the wheel. It can be checked in real time whether it is formed correctly.

특히 제어부는 이동거리신호 및 압력신호에 따라 리니어모터를 제어함으로서, 휠이 글라스기판에 최적의 토크값으로 가압되도록 하고 이에 따라 휠의 마모현상을 최소화하고, 정밀한 스크라이브 라인의 형성을 가능하게 할 수 있다. In particular, the control unit controls the linear motor according to the movement distance signal and the pressure signal, so that the wheel is pressed to the optimal torque value on the glass substrate, thereby minimizing the wheel wear and thereby forming a precise scribe line. have.

또한 블로워노즐 및 석션부를 채용함으로써, 스크라이브 라인 형성과정에서 발생되는 과정에서 발생되는 파티클을 제거할 수 있어 파티클에 의하여 글라스기판이 오염되는 것을 방지할 수 있다. In addition, by employing a blower nozzle and a suction unit, particles generated in the process of forming the scribe line may be removed, thereby preventing contamination of the glass substrate by the particles.

그리고 카메라 및 디스플레이에 의하여, 스크라이브라인 형성과정을 촬영하고, 스케일에서 발생되는 이동거리신호 및 로드셀에서 발생하는 압력신호등을 표시함으로써 관리자는 글라스기판에 스크라이브 라인이 정확히 형성되고 있는지를 알 수 있다라는 작용, 효과가 있다. And the camera and display, photographing the scribe brain formation process, by displaying the moving distance signal generated in the scale and the pressure signal generated in the load cell, the administrator can know whether the scribe line is correctly formed on the glass substrate , It works.

도 1은 종래의 글라스기판 스크라이버의 구성을 설명하기 위한 도면,
도 2는 본 발명에 따른 글라스기판 스크라이버의 구성을 설명하기 위한 도면,
도 3은 도 2의 홀더헤드의 구성을 설명하기 위한 도면,
도 4는 도 2의 글라스기판 스크라이버의 동작을 설명하기 위한 도면.1 is a view for explaining the configuration of a conventional glass substrate scriber,
2 is a view for explaining the configuration of a glass substrate scriber according to the present invention;
3 is a view for explaining the configuration of the holder head of FIG.
4 is a view for explaining the operation of the glass substrate scriber of FIG.

이하, 본 발명에 따른 글라스 스크라이버를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. Hereinafter, a glass scriber according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명에 따른 글라스기판 스크라이버의 구성을 설명하기 위한 도면이고, 도 3은 도 2의 홀더헤드의 구성을 설명하기 위한 도면이며, 도 4는 도 2의 글라스기판 스크라이버의 동작을 설명하기 위한 도면이다. 2 is a view for explaining the configuration of the glass substrate scriber according to the present invention, Figure 3 is a view for explaining the configuration of the holder head of Figure 2, Figure 4 is an operation of the glass substrate scriber of FIG. It is a figure for demonstrating.

도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 글라스 스크라이버는, 글라스기판(G)상에서 이동하는 것으로서 수직방향으로 형성된 수직가이더(10)와; 수직가이더(10)의 상부측에 설치되는 리니어모터(20)와; 리니어모터(20)의 위치이동을 측정하여 대응되는 이동거리신호를 발생하는 스케일(30)과; 리니어모터(20)에 연동되어 수직가이더(10)를 따라 슬라이딩되는 메인슬라이더(40)와; 메인슬라이더(40)에 슬라이딩되게 결합되는 서브슬라이더(50)와; 서브슬라이더(50)에 설치되는 것으로서, 글라스기판(G)에 접촉되어 그 글라스기판(G)에 스크라이브 라인을 형성하기 위한 휠(61)을 지지하는 휠홀더(60)와; 메인슬라이더(40)와 서브슬라이더(50) 중 어느 하나에 설치되어 메인슬라이더(40)와 서브슬라이더(50) 중 다른 하나와 접촉되어 가압함과 동시에 대응되는 압력신호를 발생하는 로드셀(70)과; 스크라이브 라인을 형성하는 과정에서 발생되는 파티클을 비산시키기 위한 블로워노즐(80)과; 수직가이더(10)에 지지되어 블라워노즐(80)에서 분사되는 공기에 의하여 비산하는 파티클을 석션하기 위한 석션부(90)와; 서브슬라이더(50)에 설치되어 스크라이브 라인이 형성되는 글라스기판(G)을 촬영하기 위한 카메라(100)와; 카메라(100)에서 촬영되는 영상 또는 스케일(30)에서 발생되는 이동거리신호 및 로드셀(70)에서 발생되는 압력신호를 표시하는 디스플레이(110)와; 스케일(30)에서 발생되는 이동거리신호 및 로드셀(70)에서 발생되는 압력신호에 연동되어 리니어모터(20)를 제어하는 제어부(미도시);를 포함한다. As shown, the glass scriber according to the present invention, the vertical guider 10 formed in the vertical direction as moving on the glass substrate (G); A linear motor 20 installed at an upper side of the vertical guider 10; A scale 30 for measuring a position movement of the linear motor 20 to generate a corresponding movement distance signal; A main slider 40 interlocked with the linear motor 20 and sliding along the vertical guider 10; A sub slider 50 slidably coupled to the main slider 40; A wheel holder 60 installed in the sub-slider 50, the wheel holder 60 being in contact with the glass substrate G and supporting the wheel 61 for forming a scribe line on the glass substrate G; A load cell 70 installed in one of the main slider 40 and the sub slider 50 to contact and press the other of the main slider 40 and the sub slider 50 to generate a corresponding pressure signal; ; A blower nozzle 80 for scattering particles generated in the process of forming a scribe line; A suction unit 90 supported by the vertical guider 10 to suction particles scattered by the air injected from the blower nozzle 80; A camera 100 mounted on the sub-slider 50 to photograph the glass substrate G on which a scribe line is formed; A display 110 for displaying a moving distance signal generated in the image or scale 30 captured by the camera 100 and a pressure signal generated in the load cell 70; And a controller (not shown) for controlling the linear motor 20 in association with the movement distance signal generated by the scale 30 and the pressure signal generated by the load cell 70.

본 실시예에서 로드셀(70)은 메인슬라이더(40)에 설치되어 서브슬라이더(50)와 접촉되는 것으로 예시하지만, 로드셀(70)이 서브슬라이더(50)에 설치되어 메인슬라이더(40)와 접촉될 수도 있음은 물론이다. In this embodiment, the load cell 70 is illustrated as being installed in the main slider 40 to be in contact with the sub slider 50, but the load cell 70 is installed in the sub slider 50 to be in contact with the main slider 40. Of course you can.

수직가이더(10)는 X-Y 스테이지에 결합되어 글라스기판(G)의 스크라이브 라인 형성위치로 이동한다. The vertical guider 10 is coupled to the X-Y stage to move to the scribe line forming position of the glass substrate G.

리니어모터(20)는 수직가이더(10)를 따라 승강되면서 메인슬라이더(40)를 위치이동시키는 것으로서, 인가되는 전원에 빠른 응답성을 가진다. 이러한 리니어모터(20)는 내부에 기어구조가 채용되지 않아 위치이동시 백래쉬가 발생하지 않으며, 따라서 리니어모터(20)가 수직가이더(10)에 대하여 승강하면서 후술할 휠(61)을 스크라이브 라인 형성위치로 정확하게 이동시킬 수 있다. The linear motor 20 moves the main slider 40 while being moved up and down along the vertical guider 10 and has a quick response to an applied power source. Since the linear motor 20 does not employ a gear structure therein, backlash does not occur when the position is moved. Therefore, the linear motor 20 moves up and down with respect to the vertical guider 10, so that the wheel 61 to be described later is formed at the scribe line position. Can be moved precisely with

특히 최근 평판 패널 디스플레이의 대형화에 따라 패널용 글라스기판도 대면적화되고, 그 두께는 점점 얇아지는 경향이어서 0.2㎜의 두께의 글라스기판 또는 0.7㎜ 두께 이하의 그라스기판도 사용되고 있다. 따라서 얇아지는 글라스기판의 표면에 휠을 정확히 위치시켜야 하며, 본원의 리니어모터(20)는 백래쉬가 발생하지 않아 휠(61)을 얇은 두께의 글라스기판의 스크라이브 라인 형성위치에 정확히 위치시킬 수 있는 것이다. In particular, as the size of flat panel displays has recently increased, glass substrates for panels have also increased in size, and the thickness thereof has tended to become thinner. Therefore, glass substrates having a thickness of 0.2 mm or glass substrates having a thickness of 0.7 mm or less have been used. Therefore, the wheel should be accurately positioned on the surface of the thinner glass substrate, and the linear motor 20 of the present application does not generate backlash so that the wheel 61 can be accurately positioned at the scribe line formation position of the thin glass substrate. .

또한 얇아지는 두께를 가지는 글라스기판(G)에 스크라이브 라인을 형성하기 위하여 휠(61)에 인가되는 토크값을 매우 정밀하게 제어하여야 하는데, 상기한 리니어모터(20)는 백래쉬가 발생하지 않아 휠(61)에 인가되는 토크값을 정밀하게 제어할 수 있는 것이다. In addition, in order to form a scribe line on the glass substrate G having a thinning thickness, the torque value applied to the wheel 61 must be controlled very precisely. The linear motor 20 does not generate a backlash and the wheel ( 61) it is possible to precisely control the torque value applied to.

스케일(30)은 수직가이더(10)에 고정되어 리니어모터(20)가 승강될 때, 수직가이더(10)에 대한 상대적인 리니어모터(20)의 위치이동을 감지하여 대응되는 이동거리신호를 발생하며, 이에 따라 리니어모터(20)의 이동거리를 정확히 알수 있다. 또한 스케일(30)은 이동거리신호를 제어부(미도시)로 전송하여, 제어부가 리니어모터(20)를 제어할 수 있도록 한다. The scale 30 is fixed to the vertical guider 10 so that when the linear motor 20 is elevated, the scale 30 detects the positional movement of the linear motor 20 relative to the vertical guider 10 and generates a corresponding movement distance signal. Thus, the moving distance of the linear motor 20 can be accurately known. In addition, the scale 30 transmits a movement distance signal to a controller (not shown), so that the controller can control the linear motor 20.

특히 스케일(30)은 리니어모터(20)의 이동위치를 정확히 감지하므로, 예를 들면 스크라이브 라인을 형성하는 대상이 0.5mm 두께의 글라스기판에 0.7mm 두께의 글라스기판으로 바뀌더라도 바뀐 두께의 글라스기판에 대응되는 위치로 휠(61)이 이동하도록 리니어모터(20)를 제어할 수 있는 것이다. In particular, since the scale 30 accurately detects the movement position of the linear motor 20, for example, a glass substrate having a changed thickness even if the object forming the scribe line is changed to a glass substrate having a thickness of 0.7 mm and a glass substrate having a thickness of 0.7 mm. The linear motor 20 may be controlled to move the wheel 61 to a position corresponding to the linear motor 20.

메인슬라이더(40)는 리니어모터(20)와 연결되어 함께 움직이며, 리니어모터(20)에 연동되며, 리니어모터(20)에 의하여 수직가이더(10)를 따라 승강된다. 즉 도2에 도시된 바와 같은 위치에서 리니어모터(20)가 상승하면, 도 4에 도시된 바와 같이 리니어모터(20)와 함께 상승하는 것이다. The main slider 40 is connected to the linear motor 20 and moves together, interlocked with the linear motor 20, and lifted along the vertical guider 10 by the linear motor 20. That is, when the linear motor 20 rises at the position as shown in FIG. 2, the linear motor 20 ascends with the linear motor 20 as shown in FIG. 4.

서브슬라이더(50)는 메인슬라이더(40)에 슬라이딩되게 설치된다. The sub slider 50 is installed to slide in the main slider 40.

한편 상기한 메인슬라이더(40)에는 전방으로 돌출된 제1브라켓(45)이 설치되고, 서브슬라이더(50)에는 제1브라켓(45)에 대응되는 제2브라켓(55)이 전방으로 돌출되게 설치된다. 이때 제1브라켓(45)과 제2브라켓(55) 중 어느 하나에 상기 로드셀(70)이 설치되고, 제1브라켓(45)과 제2브라켓(55) 중 다른 하나에 상기 로드셀(70)의 단부가 접촉된다. 본 실시예에서는, 제1브라켓(45)에는 상기 로드셀(70)이 설치되고, 로드셀(70)의 단부는 제2브라켓(55)에 접촉되는 것으로 예시되어 있다. Meanwhile, the main slider 40 is provided with a first bracket 45 protruding forward, and the sub slider 50 is installed with a second bracket 55 corresponding to the first bracket 45 protruding forward. do. At this time, the load cell 70 is installed on any one of the first bracket 45 and the second bracket 55, and the load cell 70 is mounted on the other of the first bracket 45 and the second bracket 55. The ends are contacted. In this embodiment, the load cell 70 is installed in the first bracket 45, and the end of the load cell 70 is in contact with the second bracket 55 ”.

한편, 제2브라켓(55)의 하부측에는 휠홀더(60)가 착탈되는 홀더헤드(65)가 설치된다. 이때 홀더헤드(65)에는 도 3에 도시된 바와 같이, 중심선(C)에서 편심된 축부(65a)가 형성되며, 그 축부(65a)가 제2브라켓(55)의 하단에 회전가능하게 결합된다. 이러한 홀더헤드(65)는 편심된 축부(65a)를 가지므로, 글라스기판(G)이 상대이동될 때 휠(61)이 글라스기판(G)의 이송방향과 정확히 대향될 수 있도록 하고, 이에 따라 정확한 스크라이브 라인을 형성할 수 있다.On the other hand, the lower side of the second bracket (55) is provided with a holder head (65) in which the wheel holder 60 is detachable. At this time, as shown in Figure 3, the holder head 65, the shaft portion 65a eccentric from the center line (C) is formed, the shaft portion 65a is rotatably coupled to the lower end of the second bracket (55). . Since the holder head 65 has an eccentric shaft portion 65a, when the glass substrate G is relatively moved, the wheel 61 can be exactly aligned with the conveying direction of the glass substrate G, thereby Accurate scribe lines can be formed.

홀더헤드(65)에는 휠홀더(60)가 착탈되는 착탈홈(66)이 형성되어 있다. 이때 착탈홈(66)의 내부에는 휠홀더(60)가 착탈홈(66)에 끼어진 상태를 유지하도록 하는 자석(67)이 내장된다. 따라서 작업도중 휠홀더(60)를 단순히 잡아당김으로써 홀더헤드(65)에서 분리할 수 있고, 휠홀더(60)를 착탈홈(66)에 밀어넣는 단순한 동작으로 홀더헤드(65)에 용이하게 결합시킬 수 있다. The holder head 65 is formed with a detachable groove 66 in which the wheel holder 60 is detachable. At this time, the magnet 67 to keep the wheel holder 60 is fitted in the removable groove 66 is embedded in the removable groove (66). Therefore, the wheel holder 60 can be detached from the holder head 65 by simply pulling it during operation, and the wheel holder 60 can be easily coupled to the holder head 65 by a simple operation of pushing the wheel holder 60 into the detachable groove 66. You can.

휠홀더(60)는 홀더헤드(65)에 설치되어, 서브슬라이더(50)를 통하여 인가되는 압력을 휠(61)로 인가한다. 이에 따라 휠(61)은 글라스기판(G)에 압력을 인가하고, 따라서 휠(61)에 의하여 상대이동되는 글라스기판(G)에 스크라이브 라인이 형성된다. 이러한 휠(61)의 에지에는 많은 미세홈이 형성되어, 글라스기판(G)에 스크라이브 라인을 효과적으로 형성하며, 통상적으로 글라스기판(G)의 표면에서 수십미크론 정도의 홈을 형성하게 된다.The wheel holder 60 is installed in the holder head 65 to apply the pressure applied through the sub slider 50 to the wheel 61. Accordingly, the wheel 61 applies pressure to the glass substrate G, and thus a scribe line is formed on the glass substrate G which is relatively moved by the wheel 61. Many fine grooves are formed at the edge of the wheel 61 to effectively form a scribe line on the glass substrate G, and typically, grooves of about tens of microns are formed on the surface of the glass substrate G.

로드셀(70)은, 휠(61)이 글라스기판(G)에 접촉된 상태에서 리니어모터(20)가 메인슬라이더(40)를 하방으로 가압할 때, 서브슬라이더(50)의 제2브라켓(55)과 접촉되면서 서브슬라이더(50)를 하방으로 가압하고, 이에 따라 휠(61)이 글라스기판(G)의 표면을 가압하게 한다. 이때 로드셀(70)은 서브슬라이더(50)를 가압할 때 해당하는 압력신호를 발생하며, 이에 따라 글라스기판(G)에 의하여 휠(61)에 전달되는 토크값을 정확히 알 수 있다. 이때 압력신호는 토크값과 정비례하기 때문에, 압력신호를 통하여 토크값을 알 수 있는 것이다.The load cell 70 has the second bracket 55 of the sub slider 50 when the linear motor 20 presses the main slider 40 downward while the wheel 61 is in contact with the glass substrate G. ) Presses the sub slider 50 downward, thereby causing the wheel 61 to press the surface of the glass substrate (G). In this case, the load cell 70 generates a corresponding pressure signal when the sub slider 50 is pressed, thereby accurately knowing the torque value transmitted to the wheel 61 by the glass substrate G. At this time, since the pressure signal is directly proportional to the torque value, the torque value can be known through the pressure signal.

블로워노즐(80)은, 수직가이더(10)의 하단에 설치되어, 휠(61)이 글라스기판(G)에 스크라이브 라인을 형성하는 동안 휠(61( 측으로 공기를 분사시켜, 스크라이브 라인 형성과정에서 발생되는 과정에서 발생되는 파티클을 비산시킨다. 이러한 블라워노즐(80)은 수직가이더(10)의 하부측에 설치되며, 펌프(미도시)와 연결되어 고압공기를 분사한다. The blower nozzle 80 is installed at the lower end of the vertical guider 10 and blows air to the wheel 61 (side) while the wheel 61 forms a scribe line on the glass substrate G. The blower nozzle 80 is installed at the lower side of the vertical guider 10 and connected to a pump (not shown) to inject high pressure air.

석션부(90)는, 수직가이더(10)의 하부측에 설치되어 글라스기판(G)에서 비산하는 파티클을 석션한다. 이러한 석션부(90)는, 도 2 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상기한 휠(61)의 주위를 감싸도록 배치된 석션몸체(91)와, 상기 석션몸체(91)의 내측에 형성된 석션홈(92)과, 석션홈(92)과 연결되어 석션몸체(91)의 외부로 돌출된 밸브(93)를 포함한다. 이때 밸브(93)는 석션펌프(미도시)와 연결되어 있다. 이에 따라 스크라이브 라인의 형성과정에서 비산되는 파티클은 석션몸체(91)의 석션홈(92)을 경유한 후 밸브(93)를 통하여 석션펌프로 석션된다. 이에 따라 파티클에 의하여 글라스기판(G)이 오염되는 것을 방지할 수 있다. The suction unit 90 is provided on the lower side of the vertical guider 10 to suction particles scattered from the glass substrate G. As shown in FIGS. 2 and 4, the suction unit 90 includes a suction body 91 disposed to surround the wheel 61 and a suction formed inside the suction body 91. It includes a groove 92, the valve 93 is connected to the suction groove 92 and protrudes out of the suction body (91). At this time, the valve 93 is connected to the suction pump (not shown). Accordingly, the particles scattered during the formation of the scribe line are suctioned through the valve 93 through the suction groove 92 of the suction body 91 and suctioned by the suction pump. Accordingly, it is possible to prevent the glass substrate G from being contaminated by the particles.

카메라(100)는 휠(61)이 글라스기판(G)에 형성하는 스크라이브 라인을 촬영하여 디스플레이(미도시)를 통하여 촬영된 영상을 볼 수 있도록 한다. The camera 100 photographs a scribe line formed by the wheel 61 on the glass substrate G so that the photographed image may be viewed through a display (not shown).

디스플레이(110)는, 카메라(100)에서 촬영되는 영상 또는 스케일(30)에서 발생되는 이동거리신호 및 로드셀(70)에서 발생하는 압력신호를 표시한다. 이때 스케일(30)에서 발생하는 이동거리신호나 로드셀(70)에서 발생하는 압력신호가 실시간으로 표시됨으로써, 관리자는 글라스기판(G)에 스크라이브 라인이 정확히 형성되고 있는지를 알 수 있다. The display 110 displays a moving distance signal generated in the image or scale 30 captured by the camera 100 and a pressure signal generated in the load cell 70. At this time, the movement distance signal generated in the scale 30 or the pressure signal generated in the load cell 70 is displayed in real time, the administrator can know whether the scribe line is correctly formed on the glass substrate (G).

제어부는 이동거리신호 및 압력신호에 따라 리니어모터(20)를 제어한다. 따라서 리니어모터(20)는 휠(61)이 글라스기판(G)에 최적의 토크값으로 가압되도록 하고 이에 따라 휠(61)의 마모현상을 최소화하고, 정밀한 스크라이브 라인의 형성을 가능하게 한다. The control unit controls the linear motor 20 according to the movement distance signal and the pressure signal. Therefore, the linear motor 20 allows the wheel 61 to be pressed to the glass substrate G with an optimal torque value, thereby minimizing wear of the wheel 61 and enabling the formation of a precise scribe line.

이러한 구조에 의하여, 리니어모터(20)가 메인슬라이더(40)를 하방으로 움직일 때, 스케일(30)은 리니어모터(20)의 위치이동을 정확히 측정하여 대응되는 이동거리신호를 제어부로 전송함과 동시에 디스플레이로 위치이동값을 표시하고, 로드셀(70)은 서브슬라이더(50)를 가압할 때 발생하는 압력신호를 제어부로 전송함과 동시에 글라스기판(G)에 의하여 휠(61)로 인가되는 토크값을 디스플레이로 표시한다. 이때 제어부로 전송된 이동거리신호 및 압력신호는 휠(61)이 글라스기판(G)에 정확한 스크라이브 라인을 형성하도록 하고, 디스플레이를 통하여 표시되는 리니어모터(20)의 위치이동값 및 휠(61)의 토크값은 관리자가 스크라이브 라인이 정확히 형성되고 있는지를 실시간으로 확인하게 한다. By this structure, when the linear motor 20 moves the main slider 40 downward, the scale 30 accurately measures the position movement of the linear motor 20 and transmits a corresponding movement distance signal to the controller. At the same time, the position shift value is displayed on the display, and the load cell 70 transmits a pressure signal generated when the sub slider 50 is pressed to the controller, and at the same time, torque applied to the wheel 61 by the glass substrate G. Display the value on the display. In this case, the movement distance signal and the pressure signal transmitted to the controller allow the wheel 61 to form an accurate scribe line on the glass substrate G, and the position movement value and the wheel 61 of the linear motor 20 displayed through the display. The torque value of allows the administrator to check in real time whether the scribe line is correctly formed.

본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the appended claims.

10 ... 수직가이더 20 ... 리니어모터
30 ... 스케일 40 ... 메인슬라이더
45 ... 제1브라켓 50 ... 서브슬라이더
55 ... 제2브라켓 60 ... 휠홀더
61 ... 휠 70 ... 로드셀
65... 홀더헤드 65a ... 축부
66 ... 착탈홈 67 ... 자석
70 ... 로드셀 80 ... 블라워노즐
90 ... 석션부 91 ... 석션몸체
92 ... 석션홈 93 ... 밸브
100 ... 카메라 110 ... 디스플레이10 ... vertical guider 20 ... linear motor
30 ... scale 40 ... main slider
45 ... First bracket 50 ... Sub slider
55 ... 2nd Bracket 60 ... Wheel Holder
61 ... wheel 70 ... load cell
65 ... holder head 65a ... shaft
66 ... Detachable groove 67 ... Magnet
70 ... load cell 80 ... blower nozzle
90 ... Suction part 91 ... Suction body
92 ... suction groove 93 ... valve
100 ... camera 110 ... display

Claims (7)

글라스기판(G)상에서 이동하는 것으로서 수직방향으로 형성된 수직가이더(10);
상기 수직가이더(10)의 상부측에 설치되는 리니어모터(20);
상기 리니어모터(20)의 위치이동을 측정하여 대응되는 이동거리신호를 발생하는 스케일(30);
상기 리니어모터(20)에 연동되어 상기 수직가이더(10)를 따라 슬라이딩되는 메인슬라이더(40);
상기 메인슬라이더(40)에 슬라이딩되게 결합되는 서브슬라이더(50);
상기 서브슬라이더(50)에 설치되는 것으로서, 상기 글라스기판(G)에 접촉되어 그 글라스기판(G)에 스크라이브 라인을 형성하기 위한 휠(61)을 지지하는 휠홀더(60);
상기 메인슬라이더(40)와 서브슬라이더(50) 중 어느 하나에 설치되어 상기 메인슬라이더(40)와 서브슬라이더(50) 중 다른 하나와 접촉되어 가압함과 동시에 대응되는 압력신호를 발생하는 로드셀(70); 및
상기 스케일(30)에서 발생되는 이동거리신호 및 상기 로드셀(70)에서 발생되는 압력신호에 연동되어 상기 리니어모터(20)를 제어하는 제어부(미도시);를 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스기판 스크라이버.Vertical guider 10 formed in the vertical direction as moving on the glass substrate (G);
A linear motor 20 installed at an upper side of the vertical guider 10;
A scale 30 measuring position movement of the linear motor 20 to generate a corresponding movement distance signal;
A main slider 40 interlocked with the linear motor 20 and sliding along the vertical guider 10;
A sub slider 50 slidably coupled to the main slider 40;
A wheel holder (60) installed in the sub slider (50), the wheel holder (60) contacting the glass substrate (G) and supporting the wheel (61) for forming a scribe line on the glass substrate (G);
The load cell 70 is installed in any one of the main slider 40 and the sub slider 50 to contact and press the other of the main slider 40 and the sub slider 50 to generate a corresponding pressure signal. ); And
And a control unit (not shown) that controls the linear motor 20 in association with the movement distance signal generated by the scale 30 and the pressure signal generated by the load cell 70. Driver. 제1항에 있어서,
상기 스크라이브 라인을 형성하는 과정에서 발생되는 파티클을 비산시키기 위한 블로워노즐(80); 및
상기 블로워노즐(80)에서 분사되는 공기에 의하여 비산하는 상기 파티클을 석션하기 위한 석션부(90);를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 장치용 글라스기판 스크라이버.The method of claim 1,
A blower nozzle (80) for scattering particles generated in the process of forming the scribe line; And
And a suction unit (90) for suctioning the particles scattered by the air sprayed from the blower nozzle (80). 제1항에 있어서,
상기 서브슬라이더(50)에 설치되어 스크라이브 라인이 형성되는 상기 글라스기판(G)을 촬영하기 위한 카메라(100)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스기판 스크라이버.The method of claim 1,
And a camera (100) installed on the sub slider (50) for photographing the glass substrate (G) on which a scribe line is formed. 제1항에 있어서,
상기 스케일(30)에서 발생되는 이동거리신호 및 상기 로드셀(70)에서 발생되는 압력신호를 표시하는 디스플레이(110)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스기판 스크라이버.The method of claim 1,
The glass substrate scriber, characterized in that further comprising a display (110) for displaying the movement signal generated in the scale 30 and the pressure signal generated in the load cell (70). 제1항에 있어서,
상기 메인슬라이더(40)에는 전방으로 돌출된 제1브라켓(45)이 설치되고;
상기 서브슬라이더(50)에는 상기 제1브라켓(45)에 대응되는 제2브라켓(55)이 전방으로 돌출되게 설치되며;
상기 제1브라켓(45)과 제2브라켓(55) 중 어느 하나에 상기 로드셀(70)이 설치되고;
상기 제1브라켓(45)과 제2브라켓(55) 중 다른 하나에 상기 로드셀(70)의 단부가 접촉된 것;을 특징으로 하는 글라스 스크라이버.The method of claim 1,
The main slider 40 is provided with a first bracket 45 protruding forward;
A second bracket 55 corresponding to the first bracket 45 is installed to protrude forward in the sub slider 50;
The load cell 70 is installed on any one of the first bracket 45 and the second bracket 55;
The end of the load cell 70 is in contact with the other one of the first bracket (45) and the second bracket (55); Glass scriber, characterized in that. 제5항에 있어서,
상기 제2브라켓(55)의 하부측에는 상기 휠홀더(60)가 착탈되는 홀더헤드(65)가 설치되고;
상기 홀더헤드(65)에는 편심된 축부(65a)가 형성되어 그 축부(65)가 상기 제2브라켓(55)에 회전가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 글라스기판 스크라이버.The method of claim 5,
A holder head 65 to which the wheel holder 60 is attached and detached is installed at a lower side of the second bracket 55;
The holder head (65) has an eccentric shaft portion (65a) is formed so that the shaft portion 65 is rotatably coupled to the second bracket (55). 제6항에 있어서,
상기 홀더헤드(65)에는 상기 휠홀더(60)가 착탈되는 착탈홈(66)이 형성되어 있고;
상기 착탈홈(66)의 내부에는 상기 휠홀더(60)가 상기 착탈홈(66)에 끼어진 상태를 유지하도록 하는 자석(67)이 내장된 것을 특징으로 하는 글라스기판 스크라이버.The method according to claim 6,
The holder head (65) is provided with a detachable groove (66) to which the wheel holder (60) is attached and detached;
Glass substrate scriber, characterized in that the inside of the removable groove 66, the magnet holder 67 to maintain the state that the wheel holder 60 is fitted in the removable groove (66).
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