KR101274461B1 - 진공챔버용 패널 이송장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 진공상태에서의 작업을 위해 진공을 유지하면서 다수의 패널이 적층토록 되는 진공챔버에 복수의 피드드로우유니트를 밀봉결합한 후 상기 피드드로우유니트는 구동수단에 연결되어 동시에 승하강토록 설치되어 구동수단에 전원의 공급시 피드드로우유니트에 구비되면서 자기장의 상호 동작에 의해 구동되는 지지바가 패널을 승하강하도록 설치되는 진공상태의 패널 이송장치에 관한 것이다.

Description

진공챔버용 패널 이송장치{an elevating device for panel the vacuum chamber}

본 발명은 진공상태에서의 작업을 위해 진공을 유지하면서 다수의 패널이 적층토록 되는 진공챔버에 복수의 피드드로우유니트를 밀봉결합한 후 상기 피드드로우유니트는 구동수단에 연결되어 동시에 승하강토록 설치되므로써 구동수단에 전원의 공급시 피드드로우유니트에 구비되면서 자기장의 상호 동작에 의해 구동되는 지지바가 패널을 승하강하도록 설치되는 진공챔버용 패널 이송장치에 관한 것이다.

일반적으로, 피드 드로우(feed through)는 최근 방사선 장치 및 인공위성 등에 필요한 부품의 초정밀 부품 제작에 사용되는 것으로서 고온·고진공 이종접합 분야에서 적용된다.

그리고, 상기 피드 드로우는 반도체(LCD) 산업 및 진공산업에서 진공 내 물체를 이송 또 는 동력 전달하는데 필요한 장치로서 파티클의 발생 없이 진공기밀을 유지하면서 대기압에서의 동력전달을 가능토록 설치된다.

이와 같은 피드드로우에서 진공의 동력전달 방식에 사용되는 기술로서 비접촉식의 밀봉 실로서는 자성 유체 실의 기술이 알려져 있으며, 이와 같은 비접촉식 유체실의 방법으로 특허 제628488호에 자성체로 이루어진 축과 자성 유체 실 사이를 자성 유체에 의해서 밀봉하는 자성유체실의 구성이 개시되어 있다.

또한, 진공챔버 내측에서 피드 드로우하는 방식과 관련되어 파티클 등의 발생을 최소화 하면서 스테이지를 구동하도록 하는 기술이 특허 제731910호에 개시되어 있어 진공챔버 내측에서 전자석에 의해 파티클의 생성없이 스테이지를 구동하는 구성이 개시되어 있다.

그러나, 상기와 같은 종래의 피드 드로우에 관련된 기술은, 자성유체에 의해 실 작업을 수행하여 외부에서 작용되는 진공도에 따라 축과 자성유체실 사이에 틈새가 발생될 우려가 있다.

또한, 전자석을 이용한 피드 드로우 역시 진공챔버 내측에 구동전원을 공급하기 위한 케이블이 각각 투입토록 되어 진공유지가 힘들게 되는 단점이 있는 것이다.

상기와 같은 종래의 문제점들을 개선하기 위한 본 발명의 목적은, 편마모로 인한 지지불량을 방지할 수 있도록 하고, 파티클의 생성없이 구동장치의 동작이 가능토록 하며, 액튜에이터가 일정한 스트로크를 정확하게 왕복 이동할 수 있도록 하고, 파티클의 생성이나 패널의 수평불량현상을 방지토록 하여 이에 따른 패널의 가공불량을 방지할 수 있도록 하며, 구동장치의 승,하강 동작이 정확하게 이루어 질 수 있도록 하는 진공챔버용 패널 이송장치를 제공하는 데 있다.

본 발명은 상기 목적을 달성하기 위하여, 진공상태에서의 작업을 위해 진공을 유지하면서 다수의 패널이 적층토록 되는 진공챔버에 복수의 피드드로우유니트를 밀봉결합한 후 상기 피드드로우유니트는 구동수단에 연결되어 동시에 승하강토록 설치되어 구동수단에 전원의 공급시 피드드로우유니트에 구비되면서 자기장의 상호 동작에 의해 구동되는 지지바가 패널을 승하강하도록 설치되는 진공챔버용 패널 이송장치를 제공한다.

그리고, 본 발명의 피드드로우유니트는, 진공챔버에 연결토록 연결부가 구비되는 중공상의 드로우몸체, 상기 드로우몸체의 외경에 슬라이딩토록 설치되면서 제1마그네트가 장착되는 고정블럭, 상기 제1마그네트와 대응되는 제2마그네트가 고정되면서 위치결정부시를 통하여 일단이 지지되는 액튜에이터, 상기 드로우몸체의 일단을 밀봉토록 설치되는 커버부재의 조립구조로 이루어진 진공챔버용 패널 이송장치를 제공한다.

더하여, 본 발명의 제1,2마그네트는, 자장형성편을 개재하여 일정간격 이격설치되면서 그 양단에 액튜에니터 및 고정블럭에 지지되는 스토퍼가 각각 장착되는 구성으로 이루어 진 진공챔버용 패널 이송장치를 제공한다.

또한, 본 발명의 액튜에이터는, 내경측이 일정길이를 갖도록 절삭되는 이송홀이 형성되어 이에 대응되는 가이드바가 커버부재의 일측에 연결되는 구성으로 이루어 진 진공챔버용 패널 이송장치를 제공한다.

계속하여, 본 발명의 구동수단은 구동모터와 이에 연결되는 스크류바 및 상기 스크류바가 치합되면서 복수의 고정블럭이 각각 지지되는 이송플레이트로서 이루어진 진공챔버용 패널 이송장치를 제공한다.

이상과 같이 본 발명에 의하면, 편마모로 인한 지지불량을 방지하고, 파티클의 생성없이 구동장치의 동작이 가능하며, 지지바가 일정한 스트로크를 정확하게 이동하고, 파티클이나 패널의 수평불량현상을 방지토록 하여 이에 따른 패널의 가공불량을 방지하며, 구동장치의 승하강 동작이 정확하게 이루어 지는 효과가 있는 것이다.

도1은 본 발명에 따른 피드드로우유니트가 장착된 진공챔버를 도시한 측면도이다.
도2는 본 발명에 따른 피드드로우유니트를 도시한 사시도이다.
도3은 본 발명에 따른 피드드로우유니트를 도시한 부분단면도이다.
도4는 본 발명에 따른 피드드로우유니트를 도시한 단면도이다.
도5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 피드드로우유니트를 도시한 단면도이다.

이하, 첨부된 도면에 의거하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명하면 다음과 같다.

도1은 본 발명에 따른 피드드로우유니트가 장착된 진공챔버를 도시한 측면도이다고, 도2는 본 발명에 따른 피드드로우유니트를 도시한 사시도이며, 도3은 본 발명에 따른 피드드로우유니트를 도시한 부분단면도이고, 도4는 본 발명에 따른 피드드로우유니트를 도시한 단면도이며, 도5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 피드드로우유니트를 도시한 단면도이다.

본 발명은, 진공상태에서의 작업을 위해 진공을 유지하면서 다수의 패널이 적층토록 되는 진공챔버(100)에 복수의 피드드로우유니트(300)를 밀봉결합한 후 상기 피드드로우유니트(300)는 구동수단(500)에 연결되어 구동수단의 동작시 각각의 피드르로우유니트(300)가 동시에 동작토록 설치된다.

이때, 상기 피드드로우유니트(300)는, 환봉의 내외경측에 각각 설치되어 상호 대응되는 인력을 작용토록 자기장을 형성되는 복수의 제1,2마그네트(311)(313)가 각각 설치된다.

상기 피드드로우유니트(300)는, 진공챔버(100)에 연결토록 연결부(320)가 구비되는 중공상의 드로우몸체(350), 상기 드로우몸체(350)의 외경에 슬라이딩토록 설치되면서 제1마그네트(311)가 장착되는 고정블럭(310), 상기 제1마그네트(311)와 대응되는 제2마그네트(313)가 고정되면서 위치결정부시(375)를 통하여 일단이 지지되는 액튜에이터(370), 상기 드로우몸체(350)의 일단을 밀봉토록 설치되는 커버부재(390)의 조립구조로 이루어진다.

이때, 상기 제1,2마그네트는, 자장형성편(340)을 개재하여 일정간격 이격설치되면서 그 양단에 액튜에니터 및 고정블럭에 지지되는 스토퍼(360)가 각각 장착된다.

그리고, 상기 마그네트와 그 일측에 개재되는 자장형성편은 액튜에이터 또는 고정블럭에 각각 장착될 때 드로우몸체(350)의 내경 또는 외경측에서 마찰이 방지토록 설치된다.

한편, 상기 액튜에이터(370)는, 내경측이 일정길이를 갖도록 절삭되는 이송홀(373)이 형성되어 이에 대응되는 가이드바(395)가 커버부재(390)의 일측에 연결된다.

이때, 상기 이송홀(373)의 일측에 액튜에이터(370)를 관통하는 관통홈(373a)이 더 구비된다.

계속하여, 상기 구동수단(500)은, 구동모터(510)와 이에 연결되는 스크류(530)바 및 상기 스크류바가 치합되면서 복수의 고정블럭(310)이 각각 지지되는 이송플레이트(550)로서 이루어진다.

상기와 같은 구성으로 이루어진 본 발명의 동작을 설명한다.

도1 내지 도5에서 도시한 바와같이 본 발명은, 진공챔버(100)의 내측에 진공을 형성하여 그 내측에 적층되는 패널(P)에 고온·고진공 상태에서 접합 등의 다양한 작업을 수행하게 된다.

이때, 상기 진공챔버(100)에 연결되는 피드드로우유니트(300)는 플랜지 등이 구비되어 실러를 개재한 후 볼트 등으로 연결되는 연결부(320)를 통하여 진공챔버(100)에 연결하면 진공의 형성이 가능하여 그 연결부에서 기밀이 유지되므로써 정확한 진공도의 형성이 가능토록 된다.

즉, 상기 피드드로우 유니트(300)는 일단이 진공챔버(100)의 내측에 삽입된 후 밀봉되는 중공의 파이프 형상이면서 그 단부에 커버부재(390)가 결합되는 구성으로 진공도의 형성이 용이하게 된다.

더하여, 상기 피드드로우 유니트(300)는, 진공챔버(100)의 내측에 노출되는 중공상 파이프 상단에 유동홀(359)이 형성되어 액튜에이터(370)의 승하강시 이에 따른 유체압력에 의해 발생되는 이동간의 간섭을 최소화 된다.

그리고, 상기 진공챔버(100)는 그 내측에 적재되는 복수의 패널 하부가 각각의 피드드로우유니트(300)에서 돌출되는 액튜에이터(370)에 의해 지지되어 수평상태로 지지토록 되고, 상기 피드드로우유니트(300)에 연결되는 구동수단의 동작시 각각의 액튜에이터(370)가 동시에 상승하거나 하강하는 구성으로 패널(P)을 승하강 시킨다.

이때, 상기 구동수단(500)은, 구동모터(510)와 이에 연결되는 스크류(530)바 및 상기 스크류바가 치합되면서 복수의 고정블럭(310)이 각각 지지되는 이송플레이트(550)로서 이루어져 이송플레이트에 각각 지지되는 고정블럭(310)이 각각 상승할 때 상기 고정블럭과 인력이 작용토록 설치되어 액튜에이터의 상승이 가능토록 된다.

더하여, 상기 피드드로우유니트(300)는, 환봉의 내외경측에 각각 설치되어 상호 대응되는 인력을 작용시키도록 자기장이 형성되는 복수의 제1,2마그네트(311)(313)가 각각 설치되는 구성으로 드로우몸체(350)의 내경 및 외경측에 각각 위치하는 제1,2마그네트 사이의 인력에 의해 어느 하나의 마그네트 즉 제2마그네트(313)가 구동수단에 의해 이동할 때 액튜에이터(370)를 동작시키는 제1마그네트 역시 이동토록 된다.

이때, 상기 피드드로우유니트(300)는, 진공챔버(100)에 연결토록 연결부(320)가 구비되는 중공상의 드로우몸체(350), 상기 드로우몸체(350)의 외경에 슬라이딩토록 설치되면서 제1마그네트(311)가 장착되는 고정블럭(310), 상기 제1마그네트(311)와 대응되는 제2마그네트(313)가 고정되면서 위치결정부시(375)를 통하여 일단이 지지되는 액튜에이터(370), 상기 드로우몸체(350)의 일단을 밀봉토록 설치되는 커버부재(390)의 조립구조로 이루어져 마그네트가 각각 드로우몸체(350)에 마찰되지 않는 상태에서 동작토록 설치된다.

이때, 상기 제1,2마그네트는, 자장형성편(340)을 개재하여 일정간격 이격설치되면서 그 양단에 액튜에니터 및 고정블럭에 지지되는 스토퍼(360)가 각각 장착되는 구성으로 마그네트를 액튜에이터 및 고정블럭에서 견고하게 지지토록 한다.

한편, 상기 액튜에이터(370)는, 내경측이 일정길이를 갖도록 절삭되는 이송홀(373)이 형성되어 이에 대응되는 가이드바(395)가 커버부재(390)의 일측에 연결되는 구성으로 액튜에이터가 가이드바 및 위치결정부시(375)를 통하여 상하단이 지지되어 편심에 의한 동작 불량을 방지하게 된다.

이때, 상기 이송홀(373)의 일측에 액튜에이터(370)를 관통하는 관통홈(373a)이 더 구비되어 가이드바(395)의 상승시 액튜에이터(370)의 이송홀(373)에서의 이송불량을 방지토록 한다.

더하여, 상기 스토퍼(360)가 드로우몸체에 밀착되어 이동될 때 마그네트 및 자장형성편(340)은 드로우몸체에서 이격토록 되어 인력이 작용하면서 이동은 용이하게 되고, 상기 고정블럭 역시 동일한 구성으로 드로우 몸체를 중심으로 이동이 자유롭게 된다.

이상과 같은 구성을 통하여 마그네트의 인력에 의해 상호 동작토록 되는 액튜에이터 및 고정블럭을 진공챔버에 밀봉결합되는 드로우몸체의 내경 및 외경측에 설치하는 구성으로 파티클의 생성없이 진공챔버 내측의 패널을 용이하게 승하강시킬 수 있도록 되는 것이다.

100...진공챔버 300...피드드로우 유니트
320...연결부 350...드로우몸체
360...스토퍼 375...위치결정부시
390...커버부재 500...구동수단
550...이송플레이트

Claims (4)

1. 다수의 패널이 적층되는 진공챔버(100)에 패널을 승,하강시키는 복수의 피드드로우유니트(300)를 밀봉연결하며, 상기 피드드로우유니트(300)에 구비되는 하기의 고정블럭(310)에는 구동수단(500)이 연결되어 구동수단의 동작시 각각의 피드르로우유니트(300)에 구비되는 고정블럭(310)이 승,하강토록 설치되고,
   상기 피드드로우유니트(300)는,
   a). 진공챔버(100)의 하부를 관통하여 연결토록 연결부(320)가 상단에 구비되는 중공상의 드로우몸체(350),
   b). 상기 구동수단(500)에 연결되어 구동수단의 동작시 드로우몸체(350)의 외경을 따라 슬라이딩토록 설치되면서 제1마그네트(311)가 장착되는 고정블럭(310),
   c). 상기 고정블럭(310)의 내경측에 위치하여 드로우몸체(350)의 외경측을 따라 고정블럭(310)이 승,하강할 때 동시에 승,하강하여 패널을 승,하강시키도록 하면서 제1마그네트(311)와 대응되는 제2마그네트(313)가 하부에 연결되고 상부에는 위치결정부시(375)가 연결되어 고정블럭(310)의 내경측에서 밀착되는 상태로 승하강되는 액튜에이터(370),
   d). 상기 드로우몸체(350)의 하단을 밀봉토록 설치되는 커버부재(390)의 조립구조로 이루어지고,
   상기 액튜에이터(370)는, 하단부에서 상부를 향하여 내경을 절삭하는 이송홀(373)이 형성되어 커버부재(390)에서 돌출토록 연결되는 가이드바(395)가 이송홀에 삽입되어 밀착지지되고, 상기 이송홀(373)의 상부에는 가이드바(395)의 승,하강시에 따른 간섭을 방지토록 공기가 유동되는 관통홈(373a)이 형성되고,
   상기 제1,2마그네트는, 자장형성편(340)을 개재하여 일정간격 이격설치되면서 그 양단에 액튜에니터 및 고정블럭에서 각각 지지되는 스토퍼(360)가 장착되는 진공챔버용 패널 이송장치
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4. 제1항에 있어서, 상기 구동수단(500)은, 구동모터(510)와 이에 연결되는 스크류(530)바 및 상기 스크류바가 치합되면서 복수의 고정블럭(310)이 각각 지지되는 이송플레이트(550)로서 이루어지는 것을 특징으로 하는 진공챔버용 패널 이송장치

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