KR101271563B1 - 재단 소결 세라믹 시트 및 그 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
소결 세라믹 시트를 신속하게 복잡한 형상으로 가공하는 재단 소결 세라믹 시트의 제조 방법과 상기 방법으로 제조된 재단 소결 세라믹 시트를 제공한다.
세라믹 그린 시트를 성형하는 제1 공정과, 성형 세라믹 그린 시트를 소성하는 제2 공정과, 소결 세라믹 시트의 적어도 편면에 점착제가 도포된 가요성 수지 필름을 부착하여 필름 부착 세라믹 시트를 얻는 제3 공정과, 상기 필름 부착 세라믹 시트를 전단하는 제4 공정으로 이루어지는 재단 소결 세라믹 시트의 제조 방법에 있어서, 상기 제4 공정은, 상기 필름 부착 세라믹 시트를 상하 금형의 맞닿음면에 대하여 제1 또는 제2 가압부에 의해 직접 또는 간접적으로 가압하면서 상기 상하 금형의 맞닿음면에 있는 에지 사이에서 전단하는 조작을 포함하는 재단 소결 세라믹 시트의 제조 방법과, 상기 방법으로 제조한 재단 소결 세라믹 시트를 제공한다.
세라믹 그린 시트를 성형하는 제1 공정과, 성형 세라믹 그린 시트를 소성하는 제2 공정과, 소결 세라믹 시트의 적어도 편면에 점착제가 도포된 가요성 수지 필름을 부착하여 필름 부착 세라믹 시트를 얻는 제3 공정과, 상기 필름 부착 세라믹 시트를 전단하는 제4 공정으로 이루어지는 재단 소결 세라믹 시트의 제조 방법에 있어서, 상기 제4 공정은, 상기 필름 부착 세라믹 시트를 상하 금형의 맞닿음면에 대하여 제1 또는 제2 가압부에 의해 직접 또는 간접적으로 가압하면서 상기 상하 금형의 맞닿음면에 있는 에지 사이에서 전단하는 조작을 포함하는 재단 소결 세라믹 시트의 제조 방법과, 상기 방법으로 제조한 재단 소결 세라믹 시트를 제공한다.
Description
본원은, 일본국 특허 출원(출원 번호 JP2011-248110, 출원일 2011년 11월 11일), 및, 국제 특허 출원(출원 번호 PCT/JP2012/004604, 출원일 2011년 7월 19일)의 우선권을 청구하는 것이고, 그 내용을 본문에 원용한다.
본 발명은, 재단 소결 세라믹 시트, 특히, 세라믹 그린 시트를 성형하여 성형 세라믹 그린 시트를 얻는 제1 공정 및 상기 성형 세라믹 그린 시트를 소성하여 소결 세라믹 시트를 얻는 제2 공정을 적어도 포함하는 방법을 거쳐 소결 세라믹 시트를 제조할 때, 그 소결 세라믹 시트를 그것보다 작은 면적의 소결 세라믹 시트, 즉, 재단 소결 세라믹 시트를 얻는 방법에 관한 것이다.
최근, 소결 세라믹 시트는, 그 우수한 특성으로부터 휴대전화나 퍼스널 컴퓨터 등의 전자기기에 폭넓게 이용되고 있다. 그리고, 그 특성을 더욱 유효하게 활용하기 위하여 여러가지 형상으로 가공한 재단 소결 세라믹 시트가 필요하게 되어 있다.
종래부터 주지의 소결 세라믹 시트의 형상 가공 방법으로서는, 세라믹 그린 시트의 단계에서 원하는 형상으로 가공해 두는 방법이 있다. 이 방법으로 얻어지는 소결 세라믹 시트는, 소성 과정에 있어서 예측되는 세라믹 그린 시트의 수축률에 의거한 형상 가공이 된다. 일반적으로, 도 11과 같이, 세라믹 그린 시트(11)를 소성하면, 약 20% 수축한 소결 세라믹 시트(12)가 얻어진다. 그러나, 수축률을 계산한 설계 사이즈와 실제로 얻어진 소결 세라믹 시트의 사이즈에 차이가 생긴다는 문제가 있다.
이 문제를 해결하는 수단으로서, 소성 후의 소결 세라믹 시트를 가공하는 기술이 있다. 예를 들면, 특허 문헌 1에 기재되어 있는 바와 같이, 소결 세라믹 시트에 레이저 가공이나 다이싱 가공을 실시함으로써, 원하는 치수의 재단 소결 세라믹 시트를 얻는 방법이 개시되어 있다.
그러나, 다이싱 가공은, 회전 칼날을 소결 세라믹 시트에 직접 접촉시켜서 절단하기 때문에, 소결 세라믹 시트를 복잡한 형상으로 가공할 수 없다는 문제가 있다. 한편, 레이저 가공은, 복잡한 형상으로 가공하는 것은 가능하지만, 레이저를 조사한 부위에 열이 발생하기 때문에, 재단 소결 세라믹 시트의 특성이 변화된다는 문제가 있다. 또, 원하는 형상이 복잡해질수록 절단하는 데 시간이 걸려 생산 효율이 나쁘고, 가공 비용이 높아진다는 문제가 있다.
따라서 본 발명은, 소결 세라믹 시트를 신속하게 복잡한 형상으로 가공할 수 있고, 게다가 매우 높은 치수 정밀도로 재단 소결 세라믹 시트를 얻을 수 있는 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
그래서, 본 발명자들은, 예의 연구를 거듭한 결과, 세라믹 그린 시트를 성형하여 성형 세라믹 그린 시트를 얻는 제1 공정 및 상기 성형 세라믹 그린 시트를 소성하여 소결 세라믹 시트를 얻는 제2 공정을 적어도 포함하는 방법에 있어서, 제2 공정에 의해 얻어진 소결 세라믹 시트에 대하여 특정한 절단 수단을 실시하면 치수정밀도가 높은 재단 소결 세라믹 시트가 얻어지고, 더욱 바람직하게는 그 절단 수단으로서 특정한 금형을 사용하면 더욱 치수 정밀도가 높은 재단 소결 세라믹 시트를 얻을 수 있다는 지견에 도달하였다.
따라서, 본 발명의 과제는, 세라믹 그린 시트를 원자재로서, 이것을 소성하여 얻어진 소결 세라믹 시트를 그 평면 형상보다 작은 외형 및/또는 내형을 가지는 재단 소결 세라믹 시트 및 그 재단 소결 세라믹 시트를 신속하고 또한 높은 치수 정밀도로 제조하는 방법을 제공하는 것에 있다.
상기의 과제를 해결하는 수단으로서, 세라믹 그린 시트를 성형하여 성형 세라믹 그린 시트를 얻는 제1 공정과, 상기 성형 세라믹 그린 시트를 소성하여 소결 세라믹 시트를 얻는 제2 공정과, 상기 소결 세라믹 시트의 적어도 편면에 점착제가 도포된 가요성 수지 필름을 부착하여 필름 부착 세라믹 시트를 얻는 제3 공정과, 상기 필름 부착 세라믹 시트를 전단하여, 상기 필름 부착 세라믹 시트를 내방 영역과 외방 영역으로 분리하는 제4 공정으로 이루어진다.
상기 제4 공정은, 상기 필름 부착 세라믹 시트를 상하 금형의 에지 사이에서 전단하는 조작을 포함한다.
상기 제4 공정은, 상기 필름 부착 세라믹 시트를 상하 금형의 맞닿음면에 대하여 제1 또는 제2 가압부(module)에 의해 직접 또는 간접적으로 가압하면서 상기 상하 금형의 맞닿음면에 있는 에지 사이에서 전단하는 조작을 포함한다.
상기 제4 공정은, 상기 필름 부착 세라믹 시트를 상기 상형(上型)과 제2 가압부에 끼움과 함께, 상기 제2 가압부에 상기 하형(下型)을 병치하고, 상기 상하 금형이 가지는 에지 사이에 소정의 클리어런스(X)를 설치하는 제1 단계와, 상기 상하 금형을 상대적으로 상하동(上下動)시켜서 상기 필름 부착 세라믹 시트를 전단하는 제2 단계를 포함한다.
상기 제4 공정은, 상기 필름 부착 세라믹 시트를 상기 하형과 제1 가압부에 끼움과 함께, 상기 제1 가압부에 상기 상형을 병치하고, 상기 상하 금형이 가지는 에지 사이에 소정의 클리어런스(X)를 설치하는 제1 단계와, 상기 상하 금형을 상대적으로 상하동시켜서 상기 필름 부착 세라믹 시트를 전단하는 제2 단계를 포함한다.
상기 필름 부착 세라믹 시트를 전단하여, 상기 필름 부착 세라믹 시트를, 고리 형상 영역과, 내방 영역과, 외방 영역으로 분리하는 제4 공정을 포함한다.
재단 소결 세라믹 시트는, 측면 전체 면이 기복을 가지는 파단면인 것을 특징으로 한다.
재단 소결 세라믹 시트는, 가요성 수지 필름이 상하면의 적어도 일방의 면에 부착되어 있는 것을 특징으로 한다.
소결 세라믹 시트의 적어도 편면에 가요성 수지 필름이 부착된 필름 부착 세라믹 시트를 전단하는 것을 특징으로 한다.
소결 세라믹 시트의 적어도 편면에 가요성 수지 필름이 부착된 필름 부착 세라믹 시트를 금형으로 전단하는 것을 특징으로 한다.
소결 세라믹 시트의 적어도 편면에 가요성 수지 필름이 부착된 필름 부착 세라믹 시트를, 상형, 및, 그 하방에 있는 제2 가압부(module)로 협지(挾持)함과 함께, 상기 제2 가압부에 병치된 하형, 및, 그 상방에 있는 제1 가압부로 협지하여 고정한 후에, 상기 상하 금형을 소정의 하중으로 상대적으로 상하동시키는 동작을 포함하는 것을 특징으로 한다.
소결 세라믹 시트의 적어도 편면에 가요성 수지 필름이 부착된 필름 부착 세라믹 시트를 전단하여, 상기 필름 부착 세라믹 시트를 내방 영역과 외방 영역으로 분리한다.
소결 세라믹 시트의 적어도 편면에 가요성 수지 필름이 부착된 필름 부착 세라믹 시트를 전단하여, 상기 필름 부착 세라믹 시트를, 고리 형상 영역과, 내방 영역과, 외방 영역으로 분리한다.
본 발명에 의하면, 복잡화되어 오고 있는 소결 세라믹 시트의 형상의 요구에 대하여, 치수 정밀도가 우수한 재단 소결 세라믹 시트를 매우 높은 생산 효율로 제조하는 것이 가능해진다.
도 1은 재단 소결 세라믹 시트의 일 제조 공정을 나타낸다.
도 2는 소결 세라믹 시트를 세트하였을 때의 전단 장치의 부분 단면도이다.
도 3은 소결 세라믹 시트를 전단하기 전의 전단 장치의 부분 단면도이다.
도 4는 도 3의 C 부분의 확대 단면도이다.
도 5는 소결 세라믹 시트를 전단한 후의 전단 장치의 부분 단면도이다.
도 6은 도 5의 D 부분의 확대 단면도이다.
도 7은 도 2의 B-B 화살표 방향으로 본 도면이다.
도 8은 재단 소결 세라믹 시트의 다른 제조 공정을 나타낸다.
도 9는 필름 부착 세라믹 시트의 단면도이다.
도 10은 필름 부착 세라믹 시트를 세트하였을 때의 전단 장치의 부분 단면도이다.
도 11은 소결 전과 소결 후의 세라믹 시트의 수축 상태를 나타내는 도면이다
도 12는 실시예 1의 재단 소결 세라믹 시트를 나타낸다.
도 13은 실시예 1에 있어서의 도 2의 E-E 화살표 방향으로 본 도면이다.
도 14는 실시예 2의 재단 소결 세라믹 시트를 나타낸다.
도 15은 실시예 2에 있어서의 도 2의 E-E 화살표 방향으로 본 도면이다.
도 16은 실시예 3의 재단 소결 세라믹 시트를 나타낸다.
도 17은 실시예 4의 재단 소결 세라믹 시트를 나타낸다.
도 18은 실시예 4에 있어서의 도 2의 E-E 화살표 방향으로 본 도면이다.
도 19는 실시예 5의 재단 소결 세라믹 시트를 나타낸다.
도 20은 실시예 5에 있어서의 도 2의 E-E 화살표 방향으로 본 도면이다.
도 21은 필름 부착 세라믹 시트의 파단면의 SEM 화상이다.
도 22는 소결 세라믹 시트를 전단하기 전의 부분 사시도이다.
도 2는 소결 세라믹 시트를 세트하였을 때의 전단 장치의 부분 단면도이다.
도 3은 소결 세라믹 시트를 전단하기 전의 전단 장치의 부분 단면도이다.
도 4는 도 3의 C 부분의 확대 단면도이다.
도 5는 소결 세라믹 시트를 전단한 후의 전단 장치의 부분 단면도이다.
도 6은 도 5의 D 부분의 확대 단면도이다.
도 7은 도 2의 B-B 화살표 방향으로 본 도면이다.
도 8은 재단 소결 세라믹 시트의 다른 제조 공정을 나타낸다.
도 9는 필름 부착 세라믹 시트의 단면도이다.
도 10은 필름 부착 세라믹 시트를 세트하였을 때의 전단 장치의 부분 단면도이다.
도 11은 소결 전과 소결 후의 세라믹 시트의 수축 상태를 나타내는 도면이다
도 12는 실시예 1의 재단 소결 세라믹 시트를 나타낸다.
도 13은 실시예 1에 있어서의 도 2의 E-E 화살표 방향으로 본 도면이다.
도 14는 실시예 2의 재단 소결 세라믹 시트를 나타낸다.
도 15은 실시예 2에 있어서의 도 2의 E-E 화살표 방향으로 본 도면이다.
도 16은 실시예 3의 재단 소결 세라믹 시트를 나타낸다.
도 17은 실시예 4의 재단 소결 세라믹 시트를 나타낸다.
도 18은 실시예 4에 있어서의 도 2의 E-E 화살표 방향으로 본 도면이다.
도 19는 실시예 5의 재단 소결 세라믹 시트를 나타낸다.
도 20은 실시예 5에 있어서의 도 2의 E-E 화살표 방향으로 본 도면이다.
도 21은 필름 부착 세라믹 시트의 파단면의 SEM 화상이다.
도 22는 소결 세라믹 시트를 전단하기 전의 부분 사시도이다.
다음으로, 본 발명의 전체의 실시 형태에 대하여 설명한다. 본 발명에 있어서, 재단 소결 세라믹 시트란, 어떤 면적을 가지는 소결 세라믹 시트가 그것보다 작은 면적으로 잘린 소결 세라믹 시트를 말한다. 구체적으로는, 도 12는, 소결 세라믹 시트(6)를 전단하여 얻어진, 그것보다 작은 면적의 재단 소결 세라믹 시트(13)를 나타낸다.
재단 소결 세라믹 시트의 기본적인 제조 방법에 대하여 이하에 나타낸다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 재단 소결 세라믹 시트의 제조 공정은, 다음의 3가지 공정으로 이루어진다.
(1) 세라믹 그린 시트 성형 공정
세라믹 그린 시트를 일반적으로 알려져 있는 독터 블레이드법이나 사출법 등에 의해 성형하고, 그 후, 적절한 크기로 잘라내는 공정이다.
(2) 소성 공정
얻어진 세라믹 그린 시트를 소성로에서 적절한 온도로 소결하여, 소결 세라믹 시트를 얻는 공정이다.
(3) 전단 공정
얻어진 소결 세라믹 시트를 원하는 형상으로 전단하여, 재단 소결 세라믹 시트를 얻는 공정이다. 도 22와 같이, 전단 방법의 원리는, 먼저, 에지(7b)가 있는 하형(4) 위에, 소결 세라믹 시트(6)를 얹고, 그 위로부터 에지(7a)가 있는 상형(3)을 Z 방향으로 강하시킨다. 즉, 전단이란, 대상물을, 상형 에지(7a)와 하형 에지(7b) 사이에서, 순간적으로 또한 직선 방향, 굴곡선 방향 또는 곡선 방향으로 동시에 절단하는 것을 말한다. 또한, 상기 (1) 및 (2)의 공정은, 종래부터 공지된 기술이며, 상기 (3)의 공정만이어도 본 발명의 기술적 범위에 속한다.
전단 공정에 대하여, 다음에 구체적으로 장치를 설명한다. 소결 세라믹 시트(6)를 전단하기 위하여, 도 2와 같은 전단 장치(1)를 사용한다. 전단 장치(1)는, 상부의 금형(2a)과 하부의 금형(2b)으로 이루어진다. 도 2와 같이, 상부의 금형(2a)은, 상형(3)과 제1 가압부(5a)를 구비하고 있다. 한편, 하부의 금형(2b)은, 하형(4)과 제2 가압부(5b)를 구비하고 있다. 상형(3)의 바닥면과 제2 가압부(5b)의 상면은, 소결 세라믹 시트(6)를 전단하였을 때의 재단 소결 세라믹 시트의 평면 형상을 하고 있다. 하형(4)과 제1 가압부(5a)는, 각각 제2 가압부(5b)와 상형(3)에 병치되어 있다. 즉, 상형(3)과 하형(4)은 대각선 상에 있다. 또한, 상형(3)과 하형(4)은, 각각 대략 직각의 에지(7a, 7b)를 가지고 있다. 에지의 각도는, 직각에 가까울수록 좋다.
다음으로, 전단 공정을 설명한다. 도 3에 나타내는 바와 같이, 소결 세라믹 시트(6)를 상부의 금형(2a)과 하부의 금형(2b) 사이에 세트하고, 상형(3)의 맞닿음면(8)과 제2 가압부(5b)의 맞닿음면(8)으로 소결 세라믹 시트(6)를 직접적으로 가압하여 고정한다. 맞닿음면이란, 소결 세라믹 시트(6)에 상형(3), 하형(4), 제1 가압부(5a) 또는 제2 가압부(5b)가 접하는 면이다. 이와 같이, 소결 세라믹 시트(6)를 제2 가압부(5b)로 가압하여 고정함으로써, 소결 세라믹 시트(6)를 전단할 때에, 소결 세라믹 시트(6)의 휨을 방지하기 때문에, 치수 정밀도가 좋아진다.
다음으로, 제2 가압부(5b)에 하형(4)을 병치한다. 이때, 도 4에 나타내는 바와 같이, 상형(3)과 하형(4)에 소정의 클리어런스(X)를 설치한다. 클리어런스(X)는 전단할 때에 상형(3)과 하형(4) 사이에 생기는 간극이다.
그리고, 도 5, 도 6에 나타내는 바와 같이, 상형(3)과 하형(4)을 상대적으로 상하동시키면, 소결 세라믹 시트(6)가 상형 에지(7a)와 하형 에지(7b) 사이에서 전단되어서, 원하는 형상으로 할 수 있다. 상대적으로 상하동시킨다는 것은, 상형(3)을 내리거나, 하형(4)을 올리거나 또는 상형(3)과 하형(4)을 동시에 움직여도 된다. 이때, 도 6과 같이, 금형을 움직이는 거리 A는, 적어도 소결 세라믹 시트(6)의 두께 이상의 거리이어야 한다. 또, 하형(4)과 제1 가압부(5a)로 소결 세라믹 시트(6)의 원하는 형상 이외의 부분(6b)을 끼워 고정하고, 상형(3)을 제1 가압부(5a)에 병치한 후, 상형(3)과 제2 가압부(5b)를 상하로 변위시킴으로써, 소결 세라믹 시트(6)를 상형(3)과 하형(4)의 에지 사이에서 전단하여, 원하는 형상으로 해도 된다. 또, 상형(3)과 제2 가압부(5b)로 재단 소결 세라믹 시트(6a)를, 또한 하형(4)과 제1 가압부(5a)로 원하는 형상 이외의 부분(6b)을 고정하고 나서 전단하면, 소결 세라믹 시트(6)의 대략 전체 면이 고정되기 때문에, 가장 양호한 치수 정밀도로 절단할 수 있다. 또, 도 7과 같이, 도 2에 있어서의 B-B 단면에서 절단하고, 화살표 방향으로 보면, 소결 세라믹 시트(6)는, 상하(Y1, Y2) 방향으로 순식간에 찢어져서, 상형(3)과 하형(4)의 에지 사이에서 전단되기 때문에, 전단됨과 동시에 원하는 형상의 재단 소결 세라믹 시트(6a)가 된다.
이러한 전단 장치(1)를 사용하면, 소결 세라믹 시트(10)를 신속하게 복잡한 형상으로 가공할 수 있고, 게다가 매우 높은 치수 정밀도로 재단 소결 세라믹 시트(6a)를 얻을 수 있다. 또한, 전단 장치(1)의 상하 금형(2a, 2b)은 각각 소정의 하중으로 상하형(3, 4)을 승강시키는 기구를 포함하고 있으나, 예를 들면, 유압식, 기계식 등의 종래의 승강 기구를 채용 가능하다. 또, 상하 금형(2a, 2b)에 설치된 가압부(5a, 5b)의 맞닿음면은, 상하형(3, 4)의 맞닿음면과 동일한 소재[예를 들면, 강재(鋼材)]로 구성 가능하다. 또한, 하중 등의 전단 장치의 가공 조건은, 세라믹 시트의 두께, 재질, 크기 등에 따라, 당업자에 의해 적절히 설정될 수 있다.
상기 방법으로도, 소결 세라믹 시트(6)를 전단할 수 있으나, 소결 세라믹 시트 상에 돌기 등이 있으면, 돌기에 압력이 집중되기 때문에, 깨지기 쉽다. 그래서, 도 8에 나타내는 바와 같이, 가요성 수지 필름 부착 공정을 가한다. 가요성 수지 필름(9)을 소결 세라믹 시트(6)에 부착하면, 단면은, 도 9와 같이 되어, 필름 부착 세라믹 시트(10)가 얻어진다. 도 9의 필름 부착 세라믹 시트(10)는, 소결 세라믹 시트(6)의 양면에 가요성 수지 필름(9)을 부착하고 있으나, 편면만이어도 된다. 이러한 가요성 수지 필름(9)을 부착하면, 전단 시에, 소결 세라믹 시트(6)에 직접 가해지는 압력이 분산되고, 그 결과, 원하는 전단 지점 이외에 있어서, 소결 세라믹 시트(6)가 깨지기 어렵다. 따라서, 도 10과 같이, 필름 부착 세라믹 시트(10)를 전단 장치(1)에 세트하여, 상기 방법과 마찬가지로, 필름 부착 세라믹 시트(10)를 전단하면, 더욱 치수 정밀도가 높은 제단 소결 세라믹 시트(6a)를 얻을 수 있다.
또한, 필름 부착 세라믹 시트(10)를 전단할 때의 클리어런스(X)는, 약(substantially) 5∼50㎛인 것이 바람직하다. 즉, 클리어런스(X)를 5∼50㎛로 함으로써, 파단면에 큰 버(burr)가 생기거나, 세라믹 시트 파단면의 끝 가장자리가 변형되는 것이 경감되어, 더욱 치밀하고 또한 치수 정밀도가 높은 전단 가공이 가능하다. 또한, 상기 클리어런스(X)에서 가요성 수지 필름(9)을 부착한 소결 세라믹 시트(6)[즉, 필름 부착 세라믹 시트(10)]가 전단되면, 소결 세라믹 시트(6) 및 가요성 수지 필름(9)의 양방이 파단면을 따라 파단되고, 그 결과, 얻어진 재단 소결 세라믹 시트(6a)에서는, 가요성 수지 필름(9)이 재단 소결 세라믹 시트(6a)의 단부(端部)까지 펴져서 부착되어 있다. 그러나, 본 기술 분야의 당업자는, 클리어런스(X)를 임의로 설정 가능하고, 본 발명의 기술적 범위(technical scope)는 한정되지 않는다.
본 실시 형태의 소결 세라믹 시트의 재질은, 알루미나, 지르코니아, 마그네시아, 티타니아, 실리카, 질화알루미늄, 질화규소, 탄화규소, 페라이트, 코디어라이트, 멀라이트 등으로 이루어지는 1군으로부터 선택될 수 있다. 또, 본 실시 형태의 가요성 필름은, 폴리에스테르, 폴리이미드, 폴리이미드바니시, 에폭시 수지, 및, 구리, 알루미늄, SUS 등의 금속박 등을 포함할 수 있다. 또한, 본 실시 형태의 가요성 필름을 소결 세라믹 시트에 부착하기 위한 점착제는, 아크릴계 접착제, 실리콘계 접착제, 에폭시계 접착제 등으로부터 선택될 수 있다. 그러나, 본 발명의 기술적 범위(technical scope)는 상기 재료에 한정되지 않고, 본 기술 분야의 당업자이면 적절히 선택 가능하다.
(실시예 1)
다음으로, 실시예 1로서, 도 12는, 본 발명을 이용하여 얻어진 재단 소결 세라믹 시트의 일 실시예이다. 도 13과 같이, 상부의 금형(2a)을 바로 아래로부터 보면, 상형(3)과 가압부(5a)가 이웃하고 있다. 한편, 하부의 금형(2b)은, 바로 위로부터 보면, 도 13의 상형(3)이 제2 가압부(5b)와, 제1 가압부(5a)가 하형(4)과 대응하도록 동일 형상을 하고 있다. 이와 같은 상부의 금형(2a)과 하부의 금형(2b)을 준비하고, 도 1, 도 8에 나타낸 제조 공정으로 소결 세라믹 시트(6)를 전단하면, 2개로 전단된 재단 소결 세라믹 시트(13)가 얻어진다.
(실시예 2)
다음으로, 실시예 2로서, 도 14는, 본 발명을 이용하여 얻어진 재단 소결 세라믹 시트의 다른 실시예이다. 도 15에 나타내는 바와 같이, 상부의 금형(2a)을 바로 아래로부터 보면, 상형(3)과 제1 가압부(5a)가 이웃하여 위치하고, 또한 상형(3)끼리와 제1 가압부(5a)끼리가 대각선 상에 위치하고 있다. 한편, 하부의 금형(2b)은, 바로 위로부터 보면, 도 15의 상형(3)이 제2 가압부(5b)와, 제1 가압부(5a)가 하형(4)과 대응하도록 동일 형상을 하고 있다. 이와 같은 상부의 금형(2a)과 하부의 금형(2b)을 준비하고, 도 1, 도 8에 나타낸 제조 공정으로 소결 세라믹 시트(6)를 전단하면, 4개로 전단된 재단 소결 세라믹 시트(14)가 얻어진다.
(실시예 3)
다음으로, 실시예 3으로서, 도 16은, 본 발명을 이용하여 얻어진 재단 소결 세라믹 시트의 다른 실시예이다. 상부의 금형(2a)을 바로 아래로부터 보면, 실시예 2와 마찬가지로, 상형(3)과 제1 가압부(5a)가 이웃하여 위치하고, 또한 상형(3)끼리와 제1 가압부(5a)끼리가 대각선 상에 위치하며, 또한, 이 형상이 격자 형상으로 연결되어 있다. 하부의 금형(2b)은, 실시예 1과 마찬가지로, 상형(3)이 제2 가압부(5b)와, 제1 가압부(5a)가 하형(4)과 대응하도록 동일 형상을 하고 있다. 이와 같은 상부의 금형(2a)과 하부의 금형(2b)을 준비하고, 도 1, 도 8에 나타낸 제조 공정으로 소결 세라믹 시트(6)를 전단하면, 다수로 전단된 재단 소결 세라믹 시트(15)가 얻어진다.
(실시예 4)
다음으로, 실시예 4로서, 도 17은, 본 발명을 이용하여 얻어진 재단 소결 세라믹 시트의 다른 실시예이다. 도 18에 나타내는 바와 같이, 상부의 금형(2a)을 바로 아래로부터 보면, 상형(3)은 별(星)형의 부분, 제1 가압부(5a)는 그 이외의 부분이다. 한편, 하부의 금형(2b)은, 바로 위로부터 보면, 제2 가압부(5b)가 별형의 부분, 하형(4)이 별형 이외의 부분으로 되어 있다. 이와 같은 상부의 금형(2a)과 하부의 금형(2b)을 준비하고, 도 1, 도 8에 나타낸 제조 공정으로 소결 세라믹 시트(6)를 전단하면, 굴곡선을 가지는 별형의 재단 소결 세라믹 시트(16)가 얻어진다. 즉, 상형(3)[또는 제2 가압부(5b)] 및 하형(4)[또는 제1 가압부(5a)]의 맞닿음면의 각 에지가, 재단 소결 세라믹 시트의 원하는 형상(즉 내방 영역)과 실질적으로 동일한 형상을 가지고 있기 때문에, 상기 전단 공정으로, 당해 에지를 따라 별형의 재단 소결 세라믹 시트(16)가 소결 세라믹 시트(6)[또는 필름 부착 세라믹 시트(10)]로부터 떠내어진다. 그리고, 1매의 필름 부착 세라믹 시트(10)[또는 소결 세라믹 시트(6)]가, 내방 영역의 재단 소결 세라믹 시트(16)와, 그 이외의 바깥 프레임 부분(즉 외방 영역)으로 분리된다. 이와 같이, 상하 금형의 형상을 임의로 설정함으로써, 원하는 형상의 재단 소결 세라믹 시트를 얻을 수 있다. 또한, 재단 소결 세라믹 시트의 외방 영역인 마진을 하나의 전단 공정에 의해 잘라내기 때문에, 신속하고 또한 정밀하게 재단 소결 세라믹 시트를 제작할 수 있다. 또한, 상하 금형(2a, 2b)에 복수의 분리한 상형(3) 및 하형(4)을 설치함으로써, 한 번의 전단 공정에 있어서, 복수의 원하는 형상의 재단 소결 세라믹 시트를, 1매의 필름 부착 세라믹 시트(10)로부터 떠낼 수 있다.
(실시예 5)
다음으로, 실시예 5의 일례로서, 도 19는, 본 발명을 이용하여 얻어진 재단 소결 세라믹 시트의 다른 실시예이다. 도 20에 나타내는 바와 같이, 상부의 금형(2a)을 바로 아래로부터 보면, 상형(3)은 도넛형의 부분, 제1 가압부(5a)는 그 이외의 부분이다. 한편, 하부의 금형(2b)은, 바로 위로부터 보면, 제2 가압부(5b)가 도넛형의 부분, 하형(4)이 도넛형 이외의 부분으로 되어 있다. 이와 같은 상부의 금형(2a)과 하부의 금형(2b)을 준비하고, 도 1, 도 8에 나타낸 제조 공정으로 소결 세라믹 시트(6)를 전단하면, 곡선을 가지는 도넛형의 재단 소결 세라믹 시트(17)가 얻어진다. 즉, 상형(3)은, 그 외주 측 및 내주 측에 에지를 가지는 고리 형상의 맞닿음면을 가지고 있고, 당해 내외 에지를 따라, 필름 부착 세라믹 시트(10)로부터 2개의 재단 세라믹 시트를 떠낼 수 있다. 즉, 1매의 필름 부착 세라믹 시트(10)[또는 소결 세라믹 시트(6)]는, 내외 에지에 각각 대응하는 내측면(17b) 및 외측면(17a)을 가지는 고리 형상의 제1 재단 소결 세라믹 시트(17)(즉 고리 형상 영역)와, 내주 에지에 대응하는 외측면(17b)을 가지는 제2 재단 소결 세라믹 시트(즉 내방 영역)와, 그 이외의 바깥 프레임 부분(즉 외방 영역)으로 분리된다. 제1 재단 소결 세라믹 시트(17)는, 그 내측 단면(端面) 전체 및 외측 단면 전체에 있어서, 상기 전단 공정에 의한 파단면을 가지고 있다. 또, 제2 재단 소결 세라믹 시트는, 그 외측 단면 전체에 있어서 상기 전단 공정에 의한 파단면을 가지고 있고, 제1 재단 소결 세라믹 시트와 마찬가지로 정밀도가 높은 부품으로서 이용 가능하다. 이와 같이, 전단한 소결 세라믹 시트의 내측에, 당해 전단 부위와는 독립된 또 하나의 전단 부위를 더 설치하도록 금형을 설계(디자인)함으로써, 외주 마진인 외방 영역뿐만 아니라, 내측도 원하는 형상으로 잘라낸 형상의 재단 소결 세라믹 시트를 얻을 수 있다. 환언하면, 실시예 5에서 나타내는 바와 같이, 독립된 2 이상의 전단면이 존재하는 복잡한 형상의 재단 소결 세라믹 시트도, 하나의 전단 공정에 의해, 신속하고 또한 정밀하게 제작할 수 있다. 혹은, 상기 하나의 전단 공정을 별도의 공정으로 나누어, 두 개의 전단면을 시간차로 형성하는 것도 가능하다.
이와 같이, 본 발명을 이용하면, 소결 세라믹 시트(6)를, 상부의 금형(2a)과 하부의 금형(2b)의 형상을 바꾸는 것만으로 여러가지 형상의 재단 소결 세라믹 시트로 할 수 있다. 상기 실시예 1∼5에서는, 클리어런스(X)는 약 10㎛로 설정되어 있다. 또, 본 실시예의 소결 세라믹 시트(6)로서, 각 변 약 100㎜, 두께 약 170㎛의 정방형의 페라이트판이 채용되었다. 또한, 가요성 수지 필름은 약 30㎛ 두께의 폴리이미드 시트가 채용되었다. 단, 재단 소결 세라믹 시트의 용도에 따라, 전단 장치의 가공 조건, 및/또는, 소결 세라믹 시트 및 가요성 수지 필름의 형상, 치수, 재질은 임의로 설정될 수 있다.
이러한 방법으로 얻어진 재단 소결 세라믹 시트의 단면(端面)은, 도 21과 같이, 전체 면이 기복을 가지는 파단면인 것을 특징으로 한다. 파단면이란, 소결 후에 파단되어, 단면에 가공 흔적이 없는 면이다. 단면을 가공하지 않았기 때문에, 단면은, 평탄하지는 않고, 기복을 가지는 면이 된다. 또한, 도 21의 화상은, 주사형 전자현미경(SEM)에 의해 100배의 배율로 촬영된 것이다.
파단면을 가공하지 않았기 때문에, 파단면의 소결 상태가 변화되지 않아, 특성이 변화되지 않는다. 즉, 상기 전단 공정에 의해 얻어진 재단 소결 세라믹 시트의 소결 상태는, 기복을 가지는 파단면과, 그 이외의 부분에 있어서 일정하다. 예를 들면, 레이저 가공하면, 열에 의해, 단면의 소결 상태가 변화되기 때문에, 특성이 열화되는 경우가 있다.
재단 소결 세라믹 시트는, 가요성 수지 필름(9)을 상하면의 적어도 일방의 면에 부착하여 두면 된다. 그 가요성 수지 필름(9)은, 재단 소결 세라믹 시트의 상하면의 어느 일방의 면에 있어서, 단부까지 펴져서 부착되어 있다.
상기의 특징은, 본 발명에 의한 제조 방법에 의해서만 얻어지는 것이다. 예를 들면, 필름 부착 세라믹 시트(10)를 레이저 가공하면, 가공 후의 재단 소결 세라믹 시트는, 열에 의해, 가요성 수지 필름(9)의 단부가 용융하거나, 변형되어 가요성 수지 필름(9)으로 단부까지 완전히 덮이지 않는다. 또, 필름 부착 세라믹 시트(10)를 다이싱 가공하면, 고속으로 회전하는 회전 칼날이 세라믹을 절단하기 때문에, 곡선 방향으로 절단하는 것이 매우 곤란하다. 또한, 회전 칼날이 가요성 수지 필름(9)을 변형시켜서, 레이저 가공과 마찬가지로 재단 소결 세라믹 시트의 단부까지 가요성 수지 필름(9)으로 완전히 덮이지 않는다. 따라서, 가요성 수지 필름(9)이 덮여 있지 않은 부분에 외부로부터 압력이 가해지면, 재단 소결 세라믹 시트가 깨지기 쉬워진다. 혹은, 다이싱 가공으로 소결 세라믹 시트(6)를 절단한 후에, 가요성 수지 필름(9)을 부착하였다고 해도, 시트 단부로부터 벗어나지 않도록 가요성 수지 필름(9)을 부착하는 것이 곤란하기 때문에, 가요성 수지 필름(9)으로 덮여 있지 않은 노출 부분이 생기기 쉽다. 이 경우도 마찬가지로, 가요성 수지 필름(9)이 덮여 있지 않은 부분에 외부로부터 압력이 가해지면, 재단 소결 세라믹 시트가 깨지기 쉬워진다.
본 발명을 이용하면, 가요성 수지 필름을 재단 소결 세라믹 시트의 단부까지 부착할 수 있어, 재단 소결 세라믹 시트를 외부의 압력으로부터 보호할 수 있다.
이상, 본 발명은, 소결 후의 소결 세라믹 시트를 가공하기 때문에 치수 정밀도가 매우 좋다. 또, 금형을 사용하여, 소결 세라믹 시트를 전단하는 것만으로, 소결 세라믹 시트를 원하는 형상으로 성형할 수 있기 때문에, 신속하고 효율적으로 재단 소결 세라믹 시트를 생산할 수 있다. 또한, 더욱 구체적으로는, 본 실시예의 재단 소결 세라믹 시트의 제조 방법에서는, 상기 서술한 바와 같이, 상형의 맞닿음면과 제2 가압부의 맞닿음면으로 소결 세라믹 시트의 일방 측을 협지하여 고정하고, 또한, 하형의 맞닿음면과 제1 가압부의 맞닿음면으로 소결 세라믹 시트의 타방 측을 협지하여 고정한 상태로부터, 상하 금형을 소정의 하중으로 상대 이동시킴으로써, 소결 세라믹 시트를 전단한다. 이에 의해, 전단 부위 또는 그 근방에 있어서, 국소적이면서 또한 찰나적인 강한 응력(휨) 및 충격이 전단 시에 발생하는 것을 억제하여, 재단 소결 세라믹 시트의 파단면에 취성(脆性) 파괴가 일어나는 것을 방지한다. 즉, 본 실시 형태의 재단 소결 세라믹 시트의 제조 방법은, 재단 소결 세라믹 시트의 파단면에 버나 치핑(chipping)이 생기기 어렵다는 이점을 더 가진다.
본 발명은 상기 서술한 실시 형태에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 기술적 범위에 속하는 한에 있어서 다양한 양태로 실시할 수 있는 것이다. 예를 들면, 상기 실시예 5에 있어서, 내방 영역과 고리 형상 영역과 외방 영역으로 분리하는 실시 양태로서, 고리 형상 영역을 본 발명에 있어서 얻고자 하는 최종 목적물로 한다는 취지의 설명을 하였으나, 그 실시 양태와는 반대로, 상기 외방 영역을 목적물로 할 수도 있다. 또, 필름 부착 세라믹 시트의 가요성 필름으로서, 수지 필름을 사용하는 실시 형태를 상세히 서술하였으나, 필름 부착 세라믹 시트를 금형과 가압부 사이에서 협지시켰을 때, 가요성을 발휘하여 소결 페라이트 시트의 표면 형상에 순응하여 부착하는 한도에 있어서, 수지 필름 대신 금속박을 사용할 수 잇다. 목적물을 특정 용도로 사용하는 경우에는, 소결 페라이트 시트의 표면에 수지 필름을, 그리고 이면에는 금속박을 각각 부착한다.
본 발명에 의하면, 소결 세라믹 시트를 취급하는 전자 부품 등의 분야에 폭넓게 이용할 수 있다.
1 : 전단 장치 2a : 상부의 금형
2b : 하부의 금형 3 : 상형
4 : 하형 5a : 제1 가압부
5b : 제2 가압부 6 : 소결 세라믹 시트
6a : 재단 소결 세라믹 시트 6b : 원하는 형상 이외의 부분
7a : 상형 에지 7b : 하형 에지
8 : 맞닿음면 9 : 가요성 수지 필름
10 : 필름 부착 세라믹 시트 11 : 소결 전의 세라믹 그린 시트
12 : 소결 후의 소결 세라믹 시트
13 : 실시예 1에서 얻어진 재단 소결 세라믹 시트의 작은 조각
14 : 실시예 2에서 얻어진 재단 소결 세라믹 시트의 작은 조각
15 : 실시예 3에서 얻어진 재단 소결 세라믹 시트의 작은 조각
16 : 실시예 4에서 얻어진 재단 소결 세라믹 시트
17 : 실시예 5에서 얻어진 재단 소결 세라믹 시트
X : 클리어런스
2b : 하부의 금형 3 : 상형
4 : 하형 5a : 제1 가압부
5b : 제2 가압부 6 : 소결 세라믹 시트
6a : 재단 소결 세라믹 시트 6b : 원하는 형상 이외의 부분
7a : 상형 에지 7b : 하형 에지
8 : 맞닿음면 9 : 가요성 수지 필름
10 : 필름 부착 세라믹 시트 11 : 소결 전의 세라믹 그린 시트
12 : 소결 후의 소결 세라믹 시트
13 : 실시예 1에서 얻어진 재단 소결 세라믹 시트의 작은 조각
14 : 실시예 2에서 얻어진 재단 소결 세라믹 시트의 작은 조각
15 : 실시예 3에서 얻어진 재단 소결 세라믹 시트의 작은 조각
16 : 실시예 4에서 얻어진 재단 소결 세라믹 시트
17 : 실시예 5에서 얻어진 재단 소결 세라믹 시트
X : 클리어런스
Claims (26)
- 세라믹 그린 시트를 성형하여 성형 세라믹 그린 시트를 얻는 제1 공정과,
상기 성형 세라믹 그린 시트를 소성하여 소결 세라믹 시트를 얻는 제2 공정과,
상기 소결 세라믹 시트의 적어도 편면에 점착제가 도포된 가요성 필름을 부착하여 필름 부착 세라믹 시트를 얻는 제3 공정과,
상기 필름 부착 세라믹 시트를 전단하여 상기 필름 부착 세라믹 시트를 내방 영역과 외방 영역으로 분리하는 제4 공정을 포함하는 재단 소결 세라믹 시트의 제조 방법. - 제1항에 있어서,
상기 제4 공정이, 상기 필름 부착 세라믹 시트를 상하 금형의 에지 사이에서 전단하는 조작을 포함하는 것을 특징으로 하는 재단 소결 세라믹 시트의 제조 방법. - 세라믹 그린 시트를 성형하여 성형 세라믹 그린 시트를 얻는 제1 공정과,
상기 성형 세라믹 그린 시트를 소성하여 소결 세라믹 시트를 얻는 제2 공정과,
상기 소결 세라믹 시트의 적어도 편면에 점착제가 도포된 가요성 필름을 부착하여 필름 부착 세라믹 시트를 얻는 제3 공정과,
상기 필름 부착 세라믹 시트를 전단하는 제4 공정으로 이루어지고,
상기 제4 공정이, 상기 필름 부착 세라믹 시트를 상하 금형의 에지 사이에서 전단하는 조작을 포함하고,
상기 제4 공정이, 상기 필름 부착 세라믹 시트를 상하 금형의 맞닿음면에 대하여 제1 또는 제2 가압부(module)에 의해 직접 또는 간접적으로 가압하면서 상기 상하 금형의 맞닿음면에 있는 에지 사이에서 전단하는 조작을 포함하며,
상기 가요성 필름은 금속박인 것을 특징으로 하는 재단 소결 세라믹 시트의 제조 방법. - 세라믹 그린 시트를 성형하여 성형 세라믹 그린 시트를 얻는 제1 공정과,
상기 성형 세라믹 그린 시트를 소성하여 소결 세라믹 시트를 얻는 제2 공정과,
상기 소결 세라믹 시트의 적어도 편면에 점착제가 도포된 가요성 필름을 부착하여 필름 부착 세라믹 시트를 얻는 제3 공정과,
상기 필름 부착 세라믹 시트를 전단하는 제4 공정으로 이루어지고,
상기 제4 공정이, 상기 필름 부착 세라믹 시트를 상하 금형의 에지 사이에서 전단하는 조작을 포함하고,
상기 필름 부착 세라믹 시트를, 상기 상형(上型), 및, 상기 하형(下型)에 병치된 제2 가압부(module)로 협지(挾持)함과 함께, 상기 하형, 및, 상기 상형에 병치된 제1 가압부로 협지하여 고정한 후에, 상기 상하 금형을 소정의 하중으로 상대적으로 상하동(上下動)시킴으로써, 상기 필름 부착 세라믹 시트를 전단하는 것을 특징으로 하는 재단 소결 세라믹 시트의 제조 방법. - 세라믹 그린 시트를 성형하여 성형 세라믹 그린 시트를 얻는 제1 공정과,
상기 성형 세라믹 그린 시트를 소성하여 소결 세라믹 시트를 얻는 제2 공정과,
상기 소결 세라믹 시트의 적어도 편면에 점착제가 도포된 가요성 필름을 부착하여 필름 부착 세라믹 시트를 얻는 제3 공정과,
상기 필름 부착 세라믹 시트를 전단하는 제4 공정으로 이루어지고,
상기 제4 공정이, 상기 필름 부착 세라믹 시트를 상하 금형의 에지 사이에서 전단하는 조작을 포함하고,
상기 에지 사이의 클리어런스(X)가 5∼50㎛인 것을 특징으로 하는 재단 소결 세라믹 시트의 제조 방법. - 세라믹 그린 시트를 성형하여 성형 세라믹 그린 시트를 얻는 제1 공정과,
상기 성형 세라믹 그린 시트를 소성하여 소결 세라믹 시트를 얻는 제2 공정과,
상기 소결 세라믹 시트의 적어도 편면에 점착제가 도포된 가요성 필름을 부착하여 필름 부착 세라믹 시트를 얻는 제3 공정과,
상기 필름 부착 세라믹 시트를 전단하는 제4 공정으로 이루어지고,
상기 제4 공정이, 상기 필름 부착 세라믹 시트를 상하 금형의 에지 사이에서 전단하는 조작을 포함하고,
상기 제4 공정이, 상기 필름 부착 세라믹 시트를 상기 상형과 제2 가압부에 끼움과 함께, 상기 제2 가압부에 상기 하형을 병치하고, 상기 상하 금형이 가지는 에지 사이에 소정의 클리어런스(X)를 설치하는 제1 단계와, 상기 상하 금형을 상대적으로 상하동시켜서 상기 필름 부착 세라믹 시트를 전단하는 제2 단계를 포함하고,
상기 클리어런스(X)가 5∼50㎛인 것을 특징으로 하는 재단 소결 세라믹 시트의 제조 방법. - 세라믹 그린 시트를 성형하여 성형 세라믹 그린 시트를 얻는 제1 공정과,
상기 성형 세라믹 그린 시트를 소성하여 소결 세라믹 시트를 얻는 제2 공정과,
상기 소결 세라믹 시트의 적어도 편면에 점착제가 도포된 가요성 필름을 부착하여 필름 부착 세라믹 시트를 얻는 제3 공정과,
상기 필름 부착 세라믹 시트를 전단하는 제4 공정으로 이루어지고,
상기 제4 공정이, 상기 필름 부착 세라믹 시트를 상하 금형의 에지 사이에서 전단하는 조작을 포함하고,
상기 제4 공정이, 상기 필름 부착 세라믹 시트를 상기 하형과 제1 가압부에 끼움과 함께, 상기 제1 가압부에 상기 상형을 병치하고, 상기 상하 금형이 가지는 에지 사이에 소정의 클리어런스(X)를 설치하는 제1 단계와, 상기 상하 금형을 상대적으로 상하동시켜서 상기 필름 부착 세라믹 시트를 전단하는 제2 단계를 포함하고,
상기 클리어런스(X)가 5∼50㎛인 것을 특징으로 하는 재단 소결 세라믹 시트의 제조 방법. - 세라믹 그린 시트를 성형하여 성형 세라믹 그린 시트를 얻는 제1 공정과,
상기 성형 세라믹 그린 시트를 소성하여 소결 세라믹 시트를 얻는 제2 공정과,
상기 소결 세라믹 시트의 적어도 편면에 점착제가 도포된 가요성 필름을 부착하여 필름 부착 세라믹 시트를 얻는 제3 공정과,
상기 필름 부착 세라믹 시트를 전단하는 제4 공정으로 이루어지고,
상기 가요성 필름은, 폴리에스테르, 폴리이미드, 폴리이미드바니시, 에폭시 수지로 이루어지는 1군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 재단 소결 세라믹 시트의 제조 방법. - 세라믹 그린 시트를 성형하여 성형 세라믹 그린 시트를 얻는 제1 공정과,
상기 성형 세라믹 그린 시트를 소성하여 소결 세라믹 시트를 얻는 제2 공정과,
상기 소결 세라믹 시트의 적어도 편면에 점착제가 도포된 가요성 필름을 부착하여 필름 부착 세라믹 시트를 얻는 제3 공정과,
상기 필름 부착 세라믹 시트를 전단하여, 상기 필름 부착 세라믹 시트를, 고리 형상 영역과, 내방 영역과, 외방 영역으로 분리하는 제4 공정을 포함하는 재단 소결 세라믹 시트의 제조 방법. - 제9항에 있어서,
상기 필름 부착 세라믹 시트를, 상형, 및, 하형에 병치된 제2 가압부(module)로 협지함과 함께, 상기 하형, 및, 상기 상형에 병치된 제1 가압부로 협지하여 고정한 후에, 상기 상하 금형을 소정의 하중으로 상대적으로 상하동시키고, 이들의 에지 사이에서, 상기 필름 부착 세라믹 시트를 전단하는 것을 특징으로 하는 재단 소결 세라믹 시트의 제조 방법. - 제10항에 있어서,
상기 에지 사이의 클리어런스(X)가 5∼50㎛인 것을 특징으로 하는 재단 소결 세라믹 시트의 제조 방법. - 가요성 필름이 상하면에 부착되어 있는 재단 소결 세라믹 시트로서,
상기 재단 소결 세라믹 시트의 측면 전체 면이 기복을 가지는 파단면이고,
상기 기복을 가지는 파단면은, 상기 가요성 필름을 부착한 소결 세라믹 시트를 전단함으로써 형성된 것을 특징으로 하는 재단 소결 세라믹 시트. - 제12항에 있어서,
당해 재단 소결 세라믹 시트의 파단면에 노출되어 있는 세라믹 입자는, 열변질되어 있지 않은 재단 소결 세라믹 시트. - 제12항에 있어서,
당해 재단 소결 세라믹 시트의 상하면에 피복되어 있는 가요성 필름은, 열변형되어 있지 않은 재단 소결 세라믹 시트. - 가요성 필름이 상하면에 부착되어 있는 재단 소결 세라믹 시트로서,
상기 재단 소결 세라믹 시트의 측면 전체 면이 기복을 가지는 파단면이고,
상기 가요성 필름은, 폴리에스테르, 폴리이미드, 폴리이미드바니시, 에폭시 수지로 이루어지는 1군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 재단 소결 세라믹 시트. - 가요성 필름이 상하면에 부착되어 있는 재단 소결 세라믹 시트로서,
상기 재단 소결 세라믹 시트의 측면 전체 면이 기복을 가지는 파단면이고,
본 재단 소결 세라믹 시트의 외측면 전체 및 내측면 전체에 상기 기복을 가지는 파단면이 형성된 고리 형상체인 것을 특징으로 하는 재단 소결 세라믹 시트. - 소결 세라믹 시트의 적어도 편면에 금속박으로 이루어지는 가요성 필름이 부착된 필름 부착 세라믹 시트를 전단하는 것을 특징으로 하는 재단 소결 세라믹 시트의 제조 방법.
- 소결 세라믹 시트의 적어도 편면에 금속박으로 이루어지는 가요성 필름이 부착된 필름 부착 세라믹 시트를 금형으로 전단하는 것을 특징으로 하는 재단 소결 세라믹 시트의 제조 방법.
- 소결 세라믹 시트의 적어도 편면에 금속박으로 이루어지는 가요성 필름이 부착된 필름 부착 세라믹 시트를, 상형, 및, 그 하방에 있는 제2 가압부(module)로 협지함과 함께, 상기 제2 가압부에 병치된 하형, 및, 그 상방에 있는 제1 가압부로 협지하여 고정한 후에, 상기 상하 금형을 소정의 하중으로 상대적으로 상하동시키는 동작을 포함하는 것을 특징으로 하는 재단 소결 세라믹 시트의 제조 방법.
- 소결 세라믹 시트의 적어도 편면에 가요성 필름이 부착된 필름 부착 세라믹 시트를 전단하여, 상기 필름 부착 세라믹 시트를 내방 영역과 외방 영역으로 분리하는 재단 소결 세라믹 시트의 제조 방법.
- 소결 세라믹 시트의 적어도 편면에 가요성 필름이 부착된 필름 부착 세라믹 시트를 금형으로 전단하여, 상기 필름 부착 세라믹 시트를 내방 영역과 외방 영역으로 분리하는 재단 소결 세라믹 시트의 제조 방법.
- 소결 세라믹 시트의 적어도 편면에 가요성 필름이 부착된 필름 부착 세라믹 시트를 전단하여, 상기 필름 부착 세라믹 시트를, 고리 형상 영역과, 내방 영역과, 외방 영역으로 분리하는 재단 소결 세라믹 시트의 제조 방법.
- 소결 세라믹 시트의 적어도 편면에 가요성 필름이 부착된 필름 부착 세라믹 시트를 금형으로 전단하여, 상기 필름 부착 세라믹 시트를, 고리 형상 영역과, 내방 영역과, 외방 영역으로 분리하는 재단 소결 세라믹 시트의 제조 방법.
- 제17항 내지 제23항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 필름 부착 세라믹 시트가, 세라믹 그린 시트를 성형하여 성형 세라믹 그린 시트를 얻는 공정, 상기 성형 세라믹 그린 시트를 소성하여 소결 세라믹 시트를 얻는 공정, 상기 소결 세라믹 시트의 적어도 편면에 점착제가 도포된 가요성 필름을 부착하여 필름 부착 세라믹 시트를 얻는 공정을 거쳐 형성된 필름 부착 세라믹 시트인, 재단 소결 세라믹 시트의 제조 방법. - 제1항 내지 제11항 및 제17항 내지 제23항 중 어느 한 항에 기재된 제조 방법에 의해 얻어지는 재단 소결 세라믹 시트.
- 제24항에 기재된 제조 방법에 의해 얻어지는 재단 소결 세라믹 시트.
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