KR101269987B1 - Apparatus and method of controlling stage apparatus comprising multi-axis - Google Patents

Apparatus and method of controlling stage apparatus comprising multi-axis Download PDF

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KR101269987B1
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남희범
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순환엔지니어링 주식회사
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    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D17/00—Control of torque; Control of mechanical power
    • G05D17/02—Control of torque; Control of mechanical power characterised by the use of electric means

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Abstract

PURPOSE: An apparatus and method for controlling a stage device are provided to improve the precision of control by automatically returning a master shaft to an origin. CONSTITUTION: A shaft designating unit(210) successively designates a plurality of shafts as master shafts. The undesignated shafts are designated as slave shafts. A control unit(220) returns the master shaft to an origin that is a reference location and moves the slave shaft with the master shaft. A limit sensor measures the movement limit of the master shaft. [Reference numerals] (210) Shaft designating unit; (220) Control unit; (230) Detecting unit; (240) Measuring unit

Description

다축으로 구성된 스테이지 장치의 제어 장치 및 방법{APPARATUS AND METHOD OF CONTROLLING STAGE APPARATUS COMPRISING MULTI-AXIS}Control device and method of multi-stage stage device {APPARATUS AND METHOD OF CONTROLLING STAGE APPARATUS COMPRISING MULTI-AXIS}

본 발명은 다축으로 구성된 스테이지 장치의 제어에 관한 것이다.
The present invention relates to the control of a stage device composed of multiple axes.

일반적으로 FPD(Flat Panel Display) 공정이나 SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International) 공정에서는 기판을 안착시키기 위한 스테이지 장치가 사용되고 있다.In general, a stage device for mounting a substrate is used in a flat panel display (FPD) process or a semiconductor equipment and materials international (SME) process.

이러한 스테이지 장치를 사용하여 작업을 수행하기 위해서는 스테이지를 지지하는 각 축의 기준 위치, 즉 원점으로 복귀한 후('원점 복귀'라 함), 원점을 기준으로 작업에 필요한 이송 명령을 내리게 된다. 따라서, 정확한 원점 복귀가 스테이지 장치의 작업 성능 내지 제품의 품질에 영향을 미치게 된다.
In order to perform the work using such a stage device, after returning to the reference position of each axis supporting the stage, that is, the origin (referred to as "origin return"), a transfer command necessary for the operation is given based on the origin. Thus, accurate homing will affect the working performance of the stage apparatus or the quality of the product.

하나의 축으로 구성되는 스테이지 장치의 경우는 기구적인 제약이 없기 때문에 원점 복귀를 수행하는데 어려움이 없다. 하지만, 다축으로 구성되는 스테이지 장치의 경우 기구적인 제약(즉, 스테이지가 다축에 의해 기구적으로 엮여 있는 구조)에 의해 다축 중 어느 하나의 축만에 대해 원점 복귀를 수행하는 경우 다른 나머지 축에 무리를 주게 되는 문제점이 있다.
In the case of a stage device composed of one axis, there is no difficulty in performing the homing since there is no mechanical constraint. However, in the case of a stage device composed of multiple axes, if the origin return is performed for only one of the multiple axes due to mechanical constraints (that is, the structure in which the stage is mechanically intertwined by multiple axes), There is a problem.

또한, FPD 공정이나 SEMI 공정에서는 스테이지의 오차 요인(예컨대, Roll, Pitch, Yaw, Flatness 등)이 적정 범위 이내에 있도록 하는 것이 매우 중요하며, 이를 위해 작업자는 스테이지 장치를 반복적으로 분해, 조립하여야 한다.
In addition, in the FPD process or the SEMI process, it is very important that the error factors of the stage (eg, Roll, Pitch, Yaw, Flatness, etc.) are within an appropriate range. For this purpose, the operator must disassemble and assemble the stage device repeatedly.

즉, 도 1에 도시된 바와 같이, 스테이지 장치의 조립이 완료되면(S100), 오차 요인의 에러율을 측정한 후(S101), 측정된 에러량이 목표값의 범위 내에 있는지 판단한다(S102). 판단 결과, 측정된 에러량이 목표값 이상인 경우 작업자는 스테이지 장치(S103)를 분해한 후 교정 작업을 수행한다(S103). 이후 다시 S100 내지 S102의 과정을 반복적으로 수행하게 된다.That is, as shown in Figure 1, when the assembly of the stage device is completed (S100), after measuring the error rate of the error factor (S101), it is determined whether the measured error amount is within the target value range (S102). As a result of the determination, when the measured error amount is equal to or more than the target value, the operator disassembles the stage apparatus S103 and then performs a calibration operation (S103). After that, the process of S100 to S102 is repeatedly performed.

따라서, 종래 기술에 의하면, 작업자에 의해 수동으로 오차 요인을 조정하게 되어 정밀도가 낮으며, 시간과 비용적인 면에서 낭비를 초래하게 된다.
Therefore, according to the prior art, the error factor is manually adjusted by the operator, which causes low precision and waste in time and cost.

본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 제어의 정밀도를 향상시킬 수 있으며 시간과 비용을 줄일 수 있는 다축으로 구성된 스테이지 장치의 제어 장치 및 방법을 제공한다.
According to one embodiment of the present invention, there is provided a control device and method for a stage device having a multi-axis structure that can improve control accuracy and can reduce time and cost.

또한, 본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 모터의 부하율 누적을 방지할 수 있으며, 과도한 틸팅에 의해 모터에 걸리는 부하를 줄일 수 있는 다축으로 구성된 스테이지 장치의 제어 장치 및 방법을 제공한다.
Moreover, according to one embodiment of the present invention, it is possible to prevent the load factor accumulation of the motor, and to provide a control apparatus and method for a stage apparatus having a multi-axis configured to reduce the load on the motor due to excessive tilting.

본 발명의 제1 실시 형태에 의하면, 다수의 축들 및 상기 다수의 축들에 의해 틸팅되는 스테이지를 포함하는 스테이지 장치의 제어 장치에 있어서,According to a first embodiment of the present invention, in a control apparatus of a stage apparatus, comprising a plurality of axes and a stage tilted by the plurality of axes,

상기 다수의 축들 각각을 마스터 축으로 순차 지정하되, 상기 마스터 축으로 지정되지 않은 축들은 슬레이브 축으로 지정하는 축 지정부; 및An axis designator configured to sequentially designate each of the plurality of axes as a master axis, and to designate axes not designated as the master axis as slave axes; And

상기 지정된 마스터 축을 기준 위치인 원점으로 복귀시키되, 상기 슬레이브 축은 상기 마스터 축의 원점 복귀가 완료될 때까지 상기 마스터 축과 함께 이동시키는 제어부를 포함하는 스테이지 장치의 제어 장치가 제공된다.
A control apparatus of a stage apparatus is provided, wherein the designated master axis is returned to the reference point, which is a reference position, wherein the slave axis includes a control unit that moves together with the master axis until the origin return of the master axis is completed.

본 발명의 실시 형태에 의하면, 상기 제어 장치는,According to an embodiment of the present invention, the control device,

상기 마스터 축의 이동 한계를 측정하기 위한 한계 센서;A limit sensor for measuring a limit of movement of the master axis;

상기 마스터 축의 원점을 표시한 인덱스를 포함하는 리니어 스케일; 및A linear scale including an index indicating an origin of the master axis; And

상기 한계 센서 및 상기 리니어 스케일의 인덱스를 검출하기 위한 검출부를 더 포함하며,Further comprising a detector for detecting the index of the limit sensor and the linear scale,

상기 제어부는, The control unit,

상기 마스터 축이 제1 축방향으로 이동됨에 따라 상기 검출부에 의해 상기 한계 센서가 검출되면 상기 제1 축방향의 반대 방향으로 상기 마스터 축을 이동시키되, 상기 검출부에 의해 상기 인덱스가 검출되면, 상기 마스터 축을 정지시킬 수 있다.
When the limit sensor is detected by the detector as the master axis is moved in the first axial direction, the master axis is moved in a direction opposite to the first axial direction. When the index is detected by the detector, the master axis is moved. You can stop it.

본 발명의 실시 형태에 의하면, 상기 제어 장치는,According to an embodiment of the present invention, the control device,

상기 스테이지를 수평으로 유지하기 위한 각 축의 보정량을 측정하는 측정부를 더 포함하며,It further includes a measuring unit for measuring the amount of correction of each axis for keeping the stage horizontal,

상기 제어부는, 상기 측정된 보정량에 따라 개별 축을 이동시킬 수 있다.
The controller may move the individual axes according to the measured correction amount.

본 발명의 실시 형태에 의하면, 상기 제어부는,According to an embodiment of the present invention, the control unit,

상기 측정된 보정량에 따라 해당 축이 이동된 경우 해당 보정량만큼 각 축을 반대방향으로 이동시킨 후, 상기 지정된 마스터 축을 기준 위치인 원점으로 복귀시킬 수 있다.
When the corresponding axis is moved according to the measured correction amount, each axis may be moved in the opposite direction by the corresponding correction amount, and then the designated master axis may be returned to the reference point, which is a reference position.

본 발명의 실시 형태에 의하면, 상기 스테이지 장치는,According to an embodiment of the present invention, the stage apparatus,

상기 다수의 축을 구동하기 위한 구동원을 더 포함하며, Further comprising a drive source for driving the plurality of axes,

상기 제어부는,The control unit,

상기 마스터 축의 원점 복귀가 완료될 때마다 상기 구동원의 제어를 일시 중단할 수 있다.
Whenever the home return of the master axis is completed, the control of the driving source may be suspended.

본 발명의 제2 실시 형태에 의하면, 다수의 축들 및 상기 다수의 축들에 의해 틸팅되는 스테이지를 포함하는 스테이지 장치의 제어 방법에 있어서,According to a second embodiment of the present invention, in a control method of a stage apparatus including a plurality of axes and a stage tilted by the plurality of axes,

축 지정부에서, 상기 다수의 축들 각각을 마스터 축으로 순차 지정하되, 상기 마스터 축으로 지정되지 않은 축들은 슬레이브 축으로 지정하는 지정 단계; 및An assignment step of designating each of the plurality of axes sequentially as a master axis in an axis designation unit, and designating axes not designated as the master axis as slave axes; And

제어부에서, 상기 지정된 마스터 축을 기준 위치인 원점으로 복귀시키되, 상기 슬레이브 축은 상기 마스터 축의 원점 복귀가 완료될 때까지 상기 마스터 축과 함께 이동시키는 원점 복귀 단계를 포함하는 스테이지 장치의 제어 방법이 제공된다.
A control method of a stage apparatus is provided, wherein the control unit returns the designated master axis to an origin that is a reference position, wherein the slave axis moves along with the master axis until the origin return of the master axis is completed.

본 발명의 실시 형태에 의하면, 상기 원점 복귀 단계는,According to an embodiment of the present invention, the origin return step,

상기 제어부에서, 상기 마스터 축을 제1 축방향으로 이동시키는 단계;In the control unit, moving the master axis in a first axial direction;

검출부에서, 상기 마스터 축의 이동 한계를 측정하기 위한 한계 센서를 검출하는 단계;Detecting, by a detector, a limit sensor for measuring a limit of movement of the master axis;

상기 제어부에서, 상기 한계 센서가 검출되면, 상기 제어부에서 상기 제1 축방향의 반대 방향으로 상기 마스터 축을 이동시키는 단계;In the control unit, when the limit sensor is detected, moving the master axis in a direction opposite to the first axial direction in the control unit;

상기 검출부에서, 상기 마스터 축의 원점을 표시한 인덱스를 검출하는 단계; 및Detecting, by the detector, an index indicating an origin of the master axis; And

상기 인덱스가 검출되면, 상기 제어부에서 상기 마스터 축을 정지시킬 수 있다.
When the index is detected, the controller may stop the master axis.

본 발명의 실시 형태에 의하면, 상기 제어 방법은,According to an embodiment of the invention, the control method,

측정부에서, 상기 스테이지를 수평으로 유지하기 위한 각 축의 보정량을 측정하는 단계; 및Measuring a correction amount of each axis to keep the stage horizontal; And

상기 제어부에서, 상기 측정된 보정량에 따라 해당 축을 이동시키는 단계를 더 포함할 수 있다.
The control unit may further include moving the corresponding axis according to the measured correction amount.

본 발명의 실시 형태에 의하면, 상기 제어 방법은,According to an embodiment of the invention, the control method,

상기 제어부에서, 상기 측정된 보정량에 따라 해당 축이 이동된 경우 해당 보정량만큼 각 축을 반대방향으로 이동시킨 후 상기 지정된 마스터 축을 기준 위치인 원점으로 복귀시키는 단계를 더 포함할 수 있다.
The controller may further include moving each axis in the opposite direction by the corresponding correction amount when the corresponding axis is moved according to the measured correction amount, and then returning the designated master axis to the reference point, which is a reference position.

본 발명의 실시 형태에 의하면, 상기 스테이지 장치는,According to an embodiment of the present invention, the stage apparatus,

상기 다수의 축을 구동하기 위한 구동원을 포함하며, A drive source for driving the plurality of axes,

상기 제어 방법은,The control method,

상기 제어부에서, 상기 마스터 축의 원점 복귀가 완료될 때마다 상기 구동원의 제어를 일시 중단할 수 있다.
The control unit may suspend the control of the driving source whenever the home return of the master axis is completed.

본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 스테이지의 수평도 및 원점 복귀를 모터에 의해 자동으로 수행하게 함으로써, 제어의 정밀도를 향상시킬 수 있으며 시간과 비용을 줄일 수 있다.
According to one embodiment of the present invention, the level of the stage and the home return can be automatically performed by the motor, whereby the control accuracy can be improved and the time and cost can be reduced.

또한, 본 발명의 실시 형태에 의하면, 하나의 마스터 축에 대한 원점 복귀가 완료되면 모터의 제어 신호를 일시 중단하여 모터의 부하율 누적을 방지할 수 있다.Moreover, according to embodiment of this invention, when origin return with respect to one master axis | shaft is completed, the control signal of a motor can be suspended temporarily and the accumulation of the load ratio of a motor can be prevented.

또한, 본 발명의 다른 실시 형태에 의하면, 스테이지 장치의 원점 복귀시 개별축의 보정량만큼 원위치시킨 상태에서 원점 복귀를 수행하게 함으로써, 과도한 틸팅에 의해 모터에 걸리는 부하를 줄일 수 있다.
In addition, according to another embodiment of the present invention, by performing the home return in the state where the stage device is homed by the correction amount of the individual axis during the home return, the load on the motor due to excessive tilting can be reduced.

도 1은 종래 기술에 의한 다축으로 구성된 스테이지 장치의 제어 방법을 설명하는 흐름도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시형태에 따른 다축으로 구성된 스테이지 장치의 제어 장치를 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시형태에 따른 다축으로 구성된 스테이지 장치의 제어 방법을 도시한 흐름도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 도 3의 S305를 구체화한 흐름도이다.1 is a flowchart illustrating a control method of a stage device constructed of multiple axes according to the prior art.
FIG. 2 is a diagram illustrating a control device of a stage device constructed of multiple axes according to an embodiment of the present invention.
3 is a flowchart illustrating a control method of a stage apparatus having a multi-axis according to an embodiment of the present invention.
4 is a flowchart showing an embodiment S305 of FIG. 3 according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시형태를 설명한다. 그러나 본 발명의 실시형태는 여러 가지의 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 이하 설명하는 실시형태로만 한정되는 것은 아니다. 도면에서의 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있으며, 도면상의 동일한 부호로 표시되는 요소는 동일한 요소이다.
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. However, the embodiments of the present invention can be modified into various other forms, and the scope of the present invention is not limited to the embodiments described below. The shape and the size of the elements in the drawings may be exaggerated for clarity and the same elements are denoted by the same reference numerals in the drawings.

도 2는 본 발명의 일 실시형태에 따른 다축으로 구성된 스테이지 장치의 제어 장치를 도시한 도면이다. 스테이지 장치의 제어 장치는 다수의 축들(AX1, AX2, AX3) 각각을 마스터 축으로 순차 지정하되, 마스터 축으로 지정되지 않은 축들은 슬레이브 축으로 지정하는 축 지정부(210)와, 지정된 마스터 축을 기준 위치인 원점으로 복귀시키되, 슬레이브 축은 마스터 축의 원점 복귀가 완료될 때까지 마스터 축과 함께 이동시키는 제어부(220)와, 마스터 축의 이동 한계를 측정하기 위한 한계 센서(LS1, LS2, LS3)와, 마스터 축의 원점을 표시한 인덱스를 포함하는 리니어 스케일(PS1, PS2, PS3)과, 한계 센서(LS1, LS2, LS3) 및 리니어 스케일(PS1, PS2, PS3)의 인덱스를 검출하기 위한 검출부(230)와, 스테이지(S)를 수평으로 유지하기 위한 각 축(AX1, AX2, AX3)의 보정량을 측정하는 측정부(240)를 포함할 수 있다.
FIG. 2 is a diagram illustrating a control device of a stage device constructed of multiple axes according to an embodiment of the present invention. The control device of the stage device sequentially designates each of the plurality of axes AX1, AX2, and AX3 as the master axis, but the axis designation unit 210 which designates the axes not designated as the master axis as the slave axis, and the designated master axis. Return to the home position, but the slave axis is controlled by the control unit 220 to move along with the master axis until the home position return of the master axis, limit sensors (LS1, LS2, LS3) for measuring the movement limit of the master axis, and the master Linear scales PS1, PS2, and PS3 including an index indicating the origin of the axis, a detector 230 for detecting the indexes of the limit sensors LS1, LS2, and LS3 and linear scales PS1, PS2, and PS3; The measurement unit 240 may measure a correction amount of each of the axes AX1, AX2, and AX3 to keep the stage S horizontal.

이하, 도 2를 참조하여, 본 발명의 일 실시 형태에 따른 다축으로 구성된 스테이지 장치의 제어 장치를 상세하게 설명한다.Hereinafter, with reference to FIG. 2, the control apparatus of the multistage stage apparatus which concerns on one Embodiment of this invention is demonstrated in detail.

도 2를 참조하면, 우선 스테이지 장치는 다수의 축들(AX1, AX2, AX3)과, 다수의 축들(AX1, AX2, AX3)에 의해 틸팅되는 스테이지(S)를 포함할 수 있으며, 스테이지(S) 위에는 기판(미도시)을 안착시켜 FPD 공정이나 SEMI 공정에서 작업이 수행될 수 있다. 비록 도 2에서는 3개의 축(AX1, AX2, AX3)에 의해 지지되는 스테이지(S)를 예시하고 있으나, 이는 이해를 돕기 위한 것이며, 적어도 2 이상의 축에 의해 지지되는 스테이지(S)를 포함할 수 있다.
Referring to FIG. 2, first, the stage apparatus may include a plurality of axes AX1, AX2 and AX3, and a stage S tilted by the plurality of axes AX1, AX2 and AX3. The substrate may be mounted on the substrate (not shown), and the operation may be performed in the FPD process or the SEMI process. Although FIG. 2 illustrates a stage S supported by three axes AX1, AX2, AX3, this is for ease of understanding and may include a stage S supported by at least two axes. have.

한편, 개별축(AX1, AX2, AX3)은 구동원인 모터(M1, M2, M3)에 의해 상하 방향(D 참조)으로 이동(신장 내지 수축)됨으로써, 스테이지(S)의 오차 요인(예컨대, Roll, Pitch, Yaw, Flatness 등으로 본 발명에서는 주로 Flatness를 의미함)을 보정할 수 있다.
On the other hand, the individual axes AX1, AX2, AX3 are moved (stretched or contracted) in the vertical direction (see D) by the motors M1, M2, M3, which are driving sources, thereby causing an error factor (for example, Roll) of the stage S. , Pitch, Yaw, Flatness, etc., mainly means flatness in the present invention).

그리고, 개별축(AX1, AX2, AX3)의 상부 또는 하부(본 발명에서는 하부에 표시함)에는 한계 센서(LS1, LS2, LS3)가 설치되어 마스터 축(후술함)의 이동 한계를 측정할 수 있도록 되어 있다.
In addition, limit sensors LS1, LS2, and LS3 may be installed at upper or lower portions of the individual axes AX1, AX2, and AX3 (shown below in the present invention) to measure the movement limit of the master axis (described later). It is supposed to be.

또한, 개별축(AX1, AX2, AX3)의 위치를 측정하기 위한 위치 측정부, 예를 들면 리니어 스케일(PS1, PS2, PS3)이 설치될 수 있으며, 리니어 스케일(PS1, PS2, PS3)에는 축의 기준 위치인 원점을 표시하는 인덱스(I1, I2, I3)가 마킹될 수 있다. 한편, 도 2에서는 위치 측정부가 개별축(AX1, AX2, AX3)을 따라 설치되어 있는 것으로 도시되어 있으나, 이를 본 발명의 이해를 돕기 위한 것에 불과하며 편의에 따라 다양한 위치에 설치될 수 있다는 점에 유의하여야 한다.
In addition, a position measuring unit for measuring the position of the individual axes AX1, AX2, AX3, for example, linear scales PS1, PS2, PS3 may be installed, and the linear scales PS1, PS2, PS3 may be provided. Indexes I1, I2, and I3 indicating the reference point as the reference position may be marked. On the other hand, in Figure 2 is shown that the position measuring unit is installed along the individual axes (AX1, AX2, AX3), but this is just to help understanding of the present invention and can be installed in various locations for convenience Care must be taken.

그리고, 축 지정부(210)는 다수의 축들(AX1, AX2, AX3) 각각을 마스터 축으로 순차 지정하되, 마스터 축으로 지정되지 않은 축들은 슬레이브 축으로 지정할 수 있다. 지정된 마스터 축 및 슬레이브 축은 제어부(220)로 전달될 수 있다.
In addition, the axis designation unit 210 may sequentially designate each of the plurality of axes AX1, AX2, and AX3 as a master axis, but may designate axes not designated as the master axis as slave axes. The designated master axis and slave axis may be transferred to the controller 220.

한편, 제어부(220)는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 제어 장치를 총괄한다. 구체적으로, 제어부(220)는 축 지정부(210)로부터 전달받은 지정된 마스터 축을 기준 위치인 원점으로 복귀시키되, 슬레이브 축은 마스터 축의 원점 복귀가 완료될 때까지 마스터 축과 함께 이동시킴으로써 원점 복귀를 수행하거나, 측정부(240)에서 측정한 보정값에 따라 개별축(AX1, AX2, AX3)을 이동시킴으로써, 스테이지 장치의 초기 오차를 제거할 수 있다. 제어부(200)를 포함한 구체적인 제어 방법은 후술한다.
On the other hand, the control unit 220 controls the control device according to an embodiment of the present invention. In detail, the control unit 220 returns the designated master axis received from the axis designation unit 210 to the home position, which is a reference position, but the slave axis performs the home return by moving together with the master axis until the origin return of the master axis is completed. By moving the individual axes AX1, AX2, and AX3 according to the correction value measured by the measuring unit 240, the initial error of the stage apparatus can be eliminated. A specific control method including the controller 200 will be described later.

한편, 측정부(240)는 스테이지 장치의 오차 요인을 제거하기 위해 각 지점(P1, P2, P3)에서 오차 요인의 보정량을 측정한 후, 측정된 보정량을 제어부(220)로 전달할 수 있다. 오차 요인의 보정량은 예컨대, 스테이지(S)를 수평으로 유지하기 위한 개별축(AX1, AX2, AX3)의 보정량을 포함할 수 있다.
On the other hand, the measurement unit 240 may measure the correction amount of the error factor at each point (P1, P2, P3) to remove the error factor of the stage device, and then transmit the measured correction amount to the control unit 220. The correction amount of the error factor may include, for example, the correction amount of the individual axes AX1, AX2, and AX3 for keeping the stage S horizontal.

한편, 도 3은 본 발명의 일 실시형태에 따른 다축으로 구성된 스테이지 장치의 제어 방법을 도시한 흐름도이며, 도 4는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 도 3의 S305를 구체화한 흐름도이다.
3 is a flowchart showing a control method of a multi-stage stage apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a flowchart embodying S305 of FIG. 3 according to an embodiment of the present invention.

이하에서는, 도 2 내지 도 4를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 다축으로 구성된 스테이지 장치의 제어 방법에 대해 상세하게 설명한다.
Hereinafter, with reference to FIGS. 2 to 4 will be described in detail a control method of a multi-stage stage device according to an embodiment of the present invention.

우선 도 2 및 도 3을 참조하면, 스테이지 장치의 조립이 완료(S301)되면, 측정부(240)는 오차 요인(예컨대, Roll, Pitch, Yaw, Flatness 등으로 본 발명에서는 주로 Flatness를 의미함)의 에러량을 측정할 수 있다(S302). 측정된 에러량은 제어부(220)로 전달될 수 있다.First, referring to FIGS. 2 and 3, when the assembly of the stage device is completed (S301), the measuring unit 240 may have an error factor (for example, Roll, Pitch, Yaw, Flatness, etc., which means mainly flatness in the present invention). The error amount of can be measured (S302). The measured error amount may be transmitted to the controller 220.

다음, 제어부(220)는 측정된 에러량이 목표값 이내인지를 판단한다(S303). 판단 결과, 측정된 에러량이 목표값 이상인 경우 측정부(240)는 개별축(AX1, AX2, AX3)의 보정량을 측정할 수 있다(S304). 측정된 보정량은 제어부(220)로 전달될 수 있다.Next, the controller 220 determines whether the measured error amount is within a target value (S303). As a result of the determination, when the measured error amount is greater than or equal to the target value, the measurement unit 240 may measure the correction amounts of the individual axes AX1, AX2, and AX3 (S304). The measured amount of correction may be transferred to the controller 220.

이후, 제어부(220)는 구동원인 모터(M1, M2, M3)를 제어하여 모든 축(AX1, AX2, AX3)에 대한 원점 복귀 절차를 수행할 수 있다(S305). 원점 복귀 절차는 도 4에 상세하게 도시되어 있으며, 도 2 및 도 4를 참조하여 원점 복귀 절차를 상세하게 설명한다.
Thereafter, the controller 220 may control the motors M1, M2, and M3 which are driving sources to perform an origin return procedure for all axes AX1, AX2, and AX3 (S305). The homing procedure is shown in detail in FIG. 4, and the homing procedure will be described in detail with reference to FIGS. 2 and 4.

도 2 및 도 4를 참조하면, 우선 축 지정부(210)에 의해 마스터 축과 슬레이브 축이 지정될 수 있다. 다축으로 구성되는 스테이지 장치의 경우 기구적인 제약(즉, 스테이지가 다축에 의해 기구적으로 엮여 있는 구조)에 의해 다축 중 어느 하나의 축만에 대해 원점 복귀를 수행하는 경우 다른 나머지 축에 무리를 주게 되는 문제점이 있다. 따라서, 본 발명의 실시 형태에 의하면, 다수의 축들(AX1, AX2, AX3) 각각을 마스터 축으로 순차 지정하되, 마스터 축으로 지정되지 않은 축들은 슬레이브 축으로 지정하고, 지정된 마스터 축을 기준 위치인 원점으로 복귀시키되, 슬레이브 축은 마스터 축의 원점 복귀가 완료될 때까지 마스터 축과 함께 이동시킬 수 있다. 이를 통해 제어의 정밀도를 향상시킬 수 있으며 시간과 비용을 줄일 수 있다.
2 and 4, first, the master axis and the slave axis may be designated by the axis designation unit 210. In the case of a multi-stage stage device, when performing the homing on only one of the multi-axes due to mechanical constraints (ie, the structure in which the stage is mechanically intertwined by the multi-axes), the other remaining axes will be overwhelmed. There is a problem. Therefore, according to the embodiment of the present invention, each of the plurality of axes AX1, AX2, and AX3 are sequentially designated as the master axis, but axes not designated as the master axis are designated as slave axes, and the designated master axis is a reference point as a reference position. The slave axis can move along with the master axis until the origin return of the master axis is completed. This improves control precision and saves time and money.

구체적으로, 제어부(220)는 측정된 보정량에 따라 개별축(AX1, AX2, AX3)에 대한 보정이 이루어졌는지를 판단할 수 있으며(S401), 판단 결과 보정이 이루어진 경우에는 측정된 보정량만큼 개별축(AX1, AX2, AX3)을 반대방향으로 보정할 수 있다(개별축의 보정량만큼 원위치)(S402). 이와 같이 하는 이유는 개별축을 보정한 상태에서 원점 복귀 절차를 수행할 경우 틸팅에 의해 과도한 부하가 모터(M1, M2, M3)에 걸릴 수 있기 때문이다.
In detail, the controller 220 may determine whether the correction is performed on the individual axes AX1, AX2, and AX3 according to the measured correction amount (S401). (AX1, AX2, AX3) can be corrected in the opposite direction (the home position by the amount of correction of the individual axes) (S402). The reason for this is that excessive load may be applied to the motors M1, M2, and M3 by tilting when the home return procedure is performed with the individual axes corrected.

이후, 제어부(220)는 모든 축(AX1, AX2, AX3)의 제어를 일시 중단(강제적으로 모터(M1, M2, M3)의 제어하지 않는 자유로운 상태로 두는 것)할 수 있다(S403). 상술한 S403은 모든 축(AX1, AX2, AX3)의 원점 복귀가 완료될 때마다(S407, S411) 수행될 수 있다.
Thereafter, the control unit 220 may suspend the control of all the axes AX1, AX2, and AX3 (to leave the motor M1, M2, and M3 freely uncontrolled) (S403). The above-described S403 may be performed every time the home return of all axes AX1, AX2, and AX3 is completed (S407 and S411).

이와 같이 하는 이유는 다축으로 구성된 스테이지 장치에서는 마스터 축이 원점을 찾아갈 때 나머지 슬레이브 축은 마스터 축의 지령을 추종하여 함께 동작하게 되는데, 이때 마스터 축에 내려지는 커맨드와 슬레이브 축에 내려지는 커맨드 간에 지연(슬레이브 축으로 내려지는 커맨드가 마스터 축에 내려지는 커맨드에 비해 지연됨)이 발생되며, 이로 인해 마스터 축의 모터와 슬레이브 축의 모터 간의 위치 편차가 발생하게 된다. The reason for this is that in a multi-axis stage device, when the master axis moves to the origin, the remaining slave axes follow the command of the master axis and operate together.A delay between the command given to the master axis and the command given to the slave axis (slave axis) Command is delayed compared to the command issued to the master axis), which causes a position deviation between the motor of the master axis and the motor of the slave axis.

이러한 위치 편차는 다축으로 구성된 스테이지 장치의 특성상 모터의 부하율의 누적을 발생시키게 된다. 따라서, 본 발명의 실시 형태에 의하면, 마스터 축의 원점 복귀 후에 모든 축(AX1, AX2, AX3)의 제어를 일시 중단함으로써, 누적된 모터의 부하율을 제거할 수 있는 것이다.
This positional deviation causes the accumulation of the load factor of the motor due to the characteristics of the multi-axis stage device. Therefore, according to the embodiment of the present invention, by temporarily suspending the control of all the axes AX1, AX2, and AX3 after the origin return of the master axis, the accumulated load factor of the motor can be eliminated.

이후, 축 지정부(210)는 다수의 축들 각각을 마스터 축으로 순차 지정하되, 마스터 축으로 지정되지 않은 축들은 슬레이브 축으로 지정할 수 있다. 구체적으로 축 지정부(210)는 1번 축(AX1)을 마스터 축으로 지정하며, 나머지 축들(AX2, AX2)을 슬레이브 축으로 지정할 수 있다(S404).
Subsequently, the axis designation unit 210 may sequentially designate each of the plurality of axes as the master axis, but may designate axes not designated as the master axis as slave axes. In detail, the axis designation unit 210 may designate the first axis AX1 as the master axis, and designate the remaining axes AX2 and AX2 as the slave axis (S404).

다음, 제어부(220)는 지정된 마스터 축(AX1)에 대해 원점 복귀 절차를 수행할 수 있다(S405). 구체적으로, 제어부(220)로부터의 원점 복귀 커맨드에 따라 모터(M1)는 마스터 축(AX1)을 축방향(D)으로, 즉 아래 방향으로 이동(수축)시키며, 이때 검출부(230)에 의해 한계 센서(LS1)를 검출할 수 있다. 한계 센서(LS1)가 검출되면, 제어부(220)는 다시 반대 방향으로 마스터 축(AX1)을 이동(신장) 시키게 되며, 이때 검출부(230)는 리니어 스케일(PS1)에 의해 인덱스(I1)를 검출할 수 있다. 이후 제어부(220)는 인덱스(I1) 지점에서 마스터 축(AX1)을 정지시키게 된다.
Next, the controller 220 may perform an origin return procedure on the designated master axis AX1 (S405). Specifically, the motor M1 moves (contracts) the master axis AX1 in the axial direction D, that is, in the downward direction according to the origin return command from the control unit 220, at which time the limit is detected by the detection unit 230. The sensor LS1 can be detected. When the limit sensor LS1 is detected, the controller 220 moves (extends) the master axis AX1 in the opposite direction again, and the detector 230 detects the index I1 by the linear scale PS1. can do. Thereafter, the controller 220 stops the master axis AX1 at the index I1 point.

한편, 나머지 슬레이브 축들(AX2, AX2)은 마스터 축(AX1)으로 가는 원점 복귀 커맨드를 추종하여 마스터 축(AX1)과 동일한 속도로 동작하게 된다.
Meanwhile, the remaining slave axes AX2 and AX2 operate at the same speed as the master axis AX1 by following a home return command directed to the master axis AX1.

이후 제어부(220)는 마스터 축(AX1)의 원점 복귀가 완료되었는지를 판단한다(S406). 판단 결과, 마스터 축(AX1)의 원점 복귀가 완료된 경우에는 모든 축(AX1, AX2, AX3)의 제어를 일시 중단(강제적으로 모터(M1, M2, M3)의 제어하지 않는 자유로운 상태로 두는 것)할 수 있다(S407). 이와 같이 하는 이유는 상술한 바와 같다.
Thereafter, the controller 220 determines whether the homing of the master axis AX1 is completed (S406). As a result of determination, when the home return of the master axis AX1 is completed, the control of all the axes AX1, AX2 and AX3 is temporarily suspended (leave the motor M1, M2 and M3 freely uncontrolled). It may be (S407). The reason for doing this is as described above.

이후, 축 지정부(210)는 두번째 축(AX2)을 마스터 축으로 지정하며, 나머지 축(AX1, AX3)을 슬레이브 축으로 지정할 수 있다(S408).
Thereafter, the axis designation unit 210 may designate the second axis AX2 as the master axis, and designate the remaining axes AX1 and AX3 as the slave axis (S408).

마찬가지로, 제어부(220)는 상술한 바와 마찬가지로, 두번째 축(AX2)을 마스터 축으로 하여 원점 복귀 절차를 수행할 수 있다(S409). 첫번째 축(AX1)은 이미 원점 복귀가 수행된 상태이므로, 초기 위치는 인덱스(I1)가 될 수 있을 것이며, 지정된 슬레이브 축들(AX1, AX3)은 마스터 축(AX2)으로 가는 원점 복귀 커맨드를 추종하여 마스터 축(AX2)과 동일한 속도로 동작할 수 있다.
Similarly, as described above, the controller 220 may perform an origin return procedure using the second axis AX2 as the master axis (S409). Since the first axis AX1 has already performed the home return, the initial position may be the index I1, and the designated slave axes AX1 and AX3 follow the home return command to the master axis AX2. It can operate at the same speed as the master axis AX2.

이후 제어부(220)는 마스터 축(AX2)의 원점 복귀가 완료되었는지를 판단한다(S410). 판단 결과, 마스터 축(AX2)의 원점 복귀가 완료된 경우에는 모든 축(AX1, AX2, AX3)의 제어를 일시 중단(강제적으로 모터(M1, M2, M3)의 제어하지 않는 자유로운 상태로 두는 것)할 수 있다(S411).
Thereafter, the controller 220 determines whether home return of the master axis AX2 is completed (S410). As a result of determination, when the home return of the master axis AX2 is completed, the control of all the axes AX1, AX2, and AX3 is temporarily suspended (leave the motor M1, M2, M3 freely uncontrolled). It may be (S411).

마지막으로, 축 지정부(210)는 세번째 축(AX3)을 마스터 축으로 지정하며, 나머지 축(AX1, AX2)을 슬레이브 축으로 지정할 수 있다(S412).
Finally, the axis designation unit 210 may designate the third axis AX3 as the master axis, and designate the remaining axes AX1 and AX2 as the slave axis (S412).

이후, 제어부(220)는 상술한 바와 마찬가지로, 세번째 축(AX3)을 마스터 축으로 하여 원점 복귀 절차를 수행할 수 있다(S413). 첫번째 축(AX1) 및 두번째 축(AX2)은 이미 원점 복귀가 수행된 상태이므로, 초기 위치는 인덱스(I1, I2)가 될 수 있을 것이며, 지정된 슬레이브 축들(AX2, AX3)은 마스터 축(AX3)으로 가는 원점 복귀 커맨드를 추종하여 마스터 축(AX3)과 동일한 속도로 동작할 수 있다.
Thereafter, as described above, the controller 220 may perform an origin return procedure using the third axis AX3 as the master axis (S413). Since the first axis AX1 and the second axis AX2 are already homed, the initial position may be the indexes I1 and I2, and the designated slave axes AX2 and AX3 may be the master axes AX3. The home position return command can be followed to operate at the same speed as the master axis AX3.

이후 제어부(220)는 마스터 축(AX3)의 원점 복귀가 완료되었는지를 판단한다(S414). 판단 결과, 마스터 축(AX3)의 원점 복귀가 완료된 경우에는 도 3의 S306으로 진행할 수 있다.Thereafter, the controller 220 determines whether the homing of the master axis AX3 is completed (S414). As a result of the determination, when the homing of the master axis AX3 is completed, the process can proceed to S306 of FIG. 3.

즉, 도 3에 도시된 바와 같이, 제어부(306)는 S304에서 측정된 보정량에 따라 개별축(AX1, AX2, AX3)을 보정하며, 보정이 완료된 개별축(AX1, AX2, AX3)의 현재 위치를 원점으로 설정할 수 있다. 이후 설정된 원점을 기준으로 작업에 필요한 이송 명령을 내리게 된다.
That is, as shown in FIG. 3, the controller 306 corrects the individual axes AX1, AX2, and AX3 according to the correction amount measured in S304, and the current position of the individual axes AX1, AX2, and AX3 on which the correction is completed. Can be set as the origin. After this, the transfer command required for the operation is given based on the set origin.

상술한 바와 같이, 본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 스테이지의 수평도 및 원점 복귀를 모터에 의해 자동으로 수행하게 함으로써, 제어의 정밀도를 향상시킬 수 있으며 시간과 비용을 줄일 수 있다.
As described above, according to one embodiment of the present invention, by allowing the motor to automatically perform the horizontality and the homing of the stage by the motor, the accuracy of control can be improved and the time and cost can be reduced.

또한, 본 발명의 실시 형태에 의하면, 하나의 마스터 축에 대한 원점 복귀가 완료되면 모터의 제어 신호를 일시 중단하여 모터의 부하율 누적을 방지할 수 있다.Moreover, according to embodiment of this invention, when origin return with respect to one master axis | shaft is completed, the control signal of a motor can be suspended temporarily and the accumulation of the load ratio of a motor can be prevented.

또한, 본 발명의 다른 실시 형태에 의하면, 스테이지 장치의 원점 복귀시 개별축의 보정량만큼 원위치시킨 상태에서 원점 복귀를 수행하게 함으로써, 과도한 틸팅에 의해 모터에 걸리는 부하를 줄일 수 있다.
In addition, according to another embodiment of the present invention, by performing the home return in the state where the stage device is homed by the correction amount of the individual axis during the home return, the load on the motor due to excessive tilting can be reduced.

본 발명은 상술한 실시형태 및 첨부된 도면에 의해 한정되지 아니한다. 첨부된 청구범위에 의해 권리범위를 한정하고자 하며, 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 형태의 치환, 변형 및 변경할 수 있다는 것은 당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에게 자명할 것이다.
The present invention is not limited by the above-described embodiment and the accompanying drawings. It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. It will be self-evident.

210: 축지정부
220: 제어부
230: 검출부
240: 측정부210: National Government
220:
230: detector
240: measuring unit

Claims (10)

다수의 축들 및 상기 다수의 축들에 의해 틸팅되는 스테이지를 포함하는 스테이지 장치의 제어 장치에 있어서,
상기 다수의 축들 각각을 마스터 축으로 순차 지정하되, 상기 마스터 축으로 지정되지 않은 축들은 슬레이브 축으로 지정하는 축 지정부; 및
상기 지정된 마스터 축을 기준 위치인 원점으로 복귀시키되, 상기 슬레이브 축은 상기 마스터 축의 원점 복귀가 완료될 때까지 상기 마스터 축과 함께 이동시키는 제어부
를 포함하는 스테이지 장치의 제어 장치.
A control apparatus of a stage apparatus comprising a plurality of axes and a stage tilted by the plurality of axes,
An axis designator configured to sequentially designate each of the plurality of axes as a master axis, and to designate axes not designated as the master axis as slave axes; And
A control unit for returning the designated master axis to the reference position, the reference position, wherein the slave axis moves with the master axis until the homing of the master axis is completed
Control device of the stage device comprising a.
제1항에 있어서,
상기 제어 장치는,
상기 마스터 축의 이동 한계를 측정하기 위한 한계 센서;
상기 마스터 축의 원점을 표시한 인덱스를 포함하는 리니어 스케일; 및
상기 한계 센서 및 상기 리니어 스케일의 인덱스를 검출하기 위한 검출부를 더 포함하며,
상기 제어부는,
상기 마스터 축이 제1 축방향으로 이동됨에 따라 상기 검출부에 의해 상기 한계 센서가 검출되면 상기 제1 축방향의 반대 방향으로 상기 마스터 축을 이동시키되, 상기 검출부에 의해 상기 인덱스가 검출되면, 상기 마스터 축을 정지시키는 스테이지 장치의 제어 장치.
The method of claim 1,
The control device includes:
A limit sensor for measuring a limit of movement of the master axis;
A linear scale including an index indicating an origin of the master axis; And
Further comprising a detector for detecting the index of the limit sensor and the linear scale,
The control unit,
When the limit sensor is detected by the detector as the master axis is moved in the first axial direction, the master axis is moved in a direction opposite to the first axial direction. When the index is detected by the detector, the master axis is moved. A control device of the stage device to stop.
제1항에 있어서,
상기 제어 장치는,
상기 스테이지를 수평으로 유지하기 위한 각 축의 보정량을 측정하는 측정부를 더 포함하며,
상기 제어부는, 상기 측정된 보정량에 따라 개별 축을 이동시키는 스테이지 장치의 제어 장치.
The method of claim 1,
The control device includes:
It further includes a measuring unit for measuring the amount of correction of each axis for keeping the stage horizontal,
The control unit is a control device of the stage device to move the individual axis in accordance with the measured correction amount.
제3항에 있어서,
상기 제어부는,
상기 측정된 보정량에 따라 해당 축이 이동된 경우 해당 보정량만큼 각 축을 반대방향으로 이동시킨 후, 상기 지정된 마스터 축을 기준 위치인 원점으로 복귀시키는 스테이지 장치의 제어 장치.
The method of claim 3,
The control unit,
And moving each axis in the opposite direction by the correction amount when the corresponding axis is moved according to the measured correction amount, and then returning the designated master axis to the reference position, the reference position.
제1항에 있어서,
상기 스테이지 장치는,
상기 다수의 축을 구동하기 위한 구동원을 더 포함하며,
상기 제어부는,
상기 마스터 축의 원점 복귀가 완료될 때마다 상기 구동원의 제어를 일시 중단하는 스테이지 장치의 제어 장치.
The method of claim 1,
The stage device,
Further comprising a drive source for driving the plurality of axes,
The control unit,
The control apparatus of the stage apparatus which suspends control of the said drive source every time the origin return of the said master axis is completed.
다수의 축들 및 상기 다수의 축들에 의해 틸팅되는 스테이지를 포함하는 스테이지 장치의 제어 방법에 있어서,
축 지정부에서, 상기 다수의 축들 각각을 마스터 축으로 순차 지정하되, 상기 마스터 축으로 지정되지 않은 축들은 슬레이브 축으로 지정하는 지정 단계; 및
제어부에서, 상기 지정된 마스터 축을 기준 위치인 원점으로 복귀시키되, 상기 슬레이브 축은 상기 마스터 축의 원점 복귀가 완료될 때까지 상기 마스터 축과 함께 이동시키는 원점 복귀 단계
를 포함하는 스테이지 장치의 제어 방법.
A control method of a stage apparatus comprising a plurality of axes and a stage tilted by the plurality of axes,
An assignment step of designating each of the plurality of axes sequentially as a master axis in an axis designation unit, and designating axes not designated as the master axis as slave axes; And
In the control unit, returning the designated master axis to the reference point, which is a reference position, wherein the slave axis moves with the master axis until the origin return of the master axis is completed.
Control method of a stage device comprising a.
제6항에 있어서,
상기 원점 복귀 단계는,
상기 제어부에서, 상기 마스터 축을 제1 축방향으로 이동시키는 단계;
검출부에서, 상기 마스터 축의 이동 한계를 측정하기 위한 한계 센서를 검출하는 단계;
상기 제어부에서, 상기 한계 센서가 검출되면, 상기 제어부에서 상기 제1 축방향의 반대 방향으로 상기 마스터 축을 이동시키는 단계;
상기 검출부에서, 상기 마스터 축의 원점을 표시한 인덱스를 검출하는 단계; 및
상기 인덱스가 검출되면, 상기 제어부에서 상기 마스터 축을 정지시키는 단계를 포함하는 스테이지 장치의 제어 방법.
The method according to claim 6,
The homing step,
In the control unit, moving the master axis in a first axial direction;
Detecting, by a detector, a limit sensor for measuring a limit of movement of the master axis;
In the control unit, when the limit sensor is detected, moving the master axis in a direction opposite to the first axial direction in the control unit;
Detecting, by the detector, an index indicating an origin of the master axis; And
And stopping the master axis in the control unit if the index is detected.
제6항에 있어서,
상기 제어 방법은,
측정부에서, 상기 스테이지를 수평으로 유지하기 위한 각 축의 보정량을 측정하는 단계; 및
상기 제어부에서, 상기 측정된 보정량에 따라 해당 축을 이동시키는 단계를 더 포함하는 스테이지 장치의 제어 방법.
The method according to claim 6,
In the control method,
Measuring a correction amount of each axis to keep the stage horizontal; And
The control method of the stage apparatus further comprises the step of moving the corresponding axis in accordance with the measured correction amount.
제8항에 있어서,
상기 제어 방법은,
상기 제어부에서, 상기 측정된 보정량에 따라 해당 축이 이동된 경우 해당 보정량만큼 각 축을 반대방향으로 이동시킨 후 상기 지정된 마스터 축을 기준 위치인 원점으로 복귀시키는 단계를 더 포함하는 스테이지 장치의 제어 방법.
9. The method of claim 8,
In the control method,
And in the control unit, when the corresponding axis is moved according to the measured correction amount, moving each axis in the opposite direction by the corresponding correction amount, and then returning the designated master axis to the reference point, which is a reference position.
제6항에 있어서,
상기 스테이지 장치는,
상기 다수의 축을 구동하기 위한 구동원을 포함하며,
상기 제어 방법은,
상기 제어부에서, 상기 마스터 축의 원점 복귀가 완료될 때마다 상기 구동원의 제어를 일시 중단하는 스테이지 장치의 제어 방법.The method according to claim 6,
The stage device,
A drive source for driving the plurality of axes,
In the control method,
And the control unit suspends the control of the drive source whenever the home position return of the master axis is completed.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20220171367A1 (en) * 2019-03-29 2022-06-02 Omron Corporation Control device
CN114633904A (en) * 2022-03-14 2022-06-17 哈尔滨工业大学 Automatic leveling type heavy-load plane microgravity simulation platform

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103488191B (en) * 2013-09-27 2016-01-20 浙江水利水电学院 A kind of distributed leveling controller circuitry
CN104133478A (en) * 2014-07-15 2014-11-05 大连大学 Mobile platform and mobile platform self-stabilizing method

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5173648A (en) 1988-05-31 1992-12-22 Fanuc Ltd. Numerical control method
JP2004326177A (en) 2003-04-21 2004-11-18 Fanuc Ltd Numerical control device

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3271256B2 (en) * 1993-07-29 2002-04-02 ソニー株式会社 Positioning control device and origin return method for positioning control device
JPH0822313A (en) * 1994-07-08 1996-01-23 Fanuc Ltd Numerical controller
JP2002049425A (en) * 2000-08-03 2002-02-15 Canon Inc Method for controlling stage and device for the same
CN1289270C (en) * 2001-11-09 2006-12-13 中国科学院自动化研究所 Vision controlling platform for opened industrial robot
CN1280686C (en) * 2002-01-17 2006-10-18 三菱电机株式会社 Method and device for numerical control
TW536442B (en) * 2002-10-25 2003-06-11 Nat Kaohsiung First University 6-DOF fine position adjustment platform
JP4927338B2 (en) * 2005-02-21 2012-05-09 住友重機械工業株式会社 STAGE DEVICE, GANTRY TYPE STAGE DEVICE, AND STAGE DEVICE CONTROL METHOD
JP2011192867A (en) * 2010-03-16 2011-09-29 Hitachi High-Technologies Corp Proximity exposure apparatus, method of controlling stage temperature of the same, and method of manufacturing display panel substrate
TWI425334B (en) * 2010-05-26 2014-02-01 Univ Nat Formosa Hybrid six - degree - of - freedom nano - level precision positioning platform system

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5173648A (en) 1988-05-31 1992-12-22 Fanuc Ltd. Numerical control method
JP2004326177A (en) 2003-04-21 2004-11-18 Fanuc Ltd Numerical control device

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20220171367A1 (en) * 2019-03-29 2022-06-02 Omron Corporation Control device
US11899430B2 (en) * 2019-03-29 2024-02-13 Omron Corporation Control device
CN114633904A (en) * 2022-03-14 2022-06-17 哈尔滨工业大学 Automatic leveling type heavy-load plane microgravity simulation platform

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