KR101269446B1 - 기판 검사 및 리페어 장치 - Google Patents

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Abstract

기판 검사 및 리페어 장치가 개시된다. 본 발명에 따른 기판 검사 및 리페어 장치는, 기판이 탑재 지지되는 검사유닛을 회전시켜 기판을 세울 수 있으므로, 기판과 작업자의 거리가 가까워지고, 기판에 대한 작업자의 시선의 각도를 편안한 각도로 설정할 수 있다. 따라서, 검사작업이 대단히 편리한 효과가 있다. 그리고, 기판이 검사유닛에 지지되어 고정되고, 검사유닛의 프로브가 기판의 하측에서 승강하면서 기판의 전극라인에 접속 또는 비접속된다. 즉, 작은 크기 및 작은 부피를 가지는 프로브가 승강하고, 프로브가 검사유닛의 내부에 설치되어 있으므로, 기판 검사 및 리페어 장치의 설치 공간이 감소되는 효과가 있다. 그리고, 기판을 이동시키기 위한 고가의 장치가 필요 없으므로, 기판 검사 및 리페어 장치의 원가가 절감된다.

Description

기판 검사 및 리페어 장치 {APPARATUS FOR TESTING AND REPAIRING OF SUBSTRATE}
본 발명은 기판을 점등시켜 검사하고, 검사 후 발견된 결함을 리페어 할 수 있는 기판 검사 및 리페어 장치에 관한 것이다.
평판 디스플레이는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), LED(Light-Emitting Diode) 디스플레이, OLED(Organic Light-Emitting Diode) 디스플레이 등으로 대별된다.
OLED 디스플레이는 저전압에 의한 구동, 높은 발광 효율, 넓은 시야각, 빠른 응답속도 등의 장점이 있어, 고화질의 동영상을 표현할 수 있는 차세대 평판 디스플레이로 각광받고 있다.
OLED 디스플레이는 ITO와 같은 투명 전극인 양극과 일함수(Work Function)가 낮은 금속으로 형성된 음극 사이에 발광층인 유기박막층이 형성된 구조이다. 그리하여, 전극에 순방향의 전압을 인가하면 양극과 음극에서 각각 정공(Hole)과 전자(Electron)가 유기박막층으로 주입되고, 주입된 정공과 전자는 결합하여 엑시톤(Exciton)을 형성한다. 그러면, 엑시톤이 재결합하여 전계 발광 현상을 일으킨다.
OLED 디스플레이의 제조 공정 중에는 검사 공정과 리페어 공정이 있다. 검사 공정은 기판에 형성된 양극라인 및 음극라인에 전원을 공급하여 기판의 결함을 검사하고, 리페어 공정은 검출된 기판의 결함 부위를 레이저로 리페어한다.
평판 디스플레이의 제조시, 기판의 결함 유무는 검사장치에서 검사하고, 기판에 결함이 있으면 기판을 리페어 장치로 이송하여 기판의 결함 부위를 리페어한다. 그리고, 리페어된 기판을 검사장치로 재이송하여 재검사한다. 즉, 검사장치와 리페어장치가 별도로 마련되고, 기판의 검사 → 리페어 → 재검사를 위하여 기판을 이송시켜야 하므로 생산성이 저하되는 단점이 있다.
상기와 같은 문제점을 해소하기 위하여, 검사장치와 리페어장치를 일체로 한 검사 및 리페어 장치가 개발되었다.
종래의 기판 검사 및 리페어 장치는, 기판을 점등시켜 검사할 때, 기판을 수평상태로 둔 상태에서 작업자가 검사한다. 그러면, 기판과 작업자의 거리가 멀어서 작업자가 허리 또는 고개를 숙여야 하므로, 대단히 불편한 단점이 있다.
그리고, 종래의 기판 검사 및 리페어 장치는 기판의 양극라인 및 음극라인과 접속되어 기판으로 전원을 공급하기 위한 프로브(Probe)가 고정되어 있고, 기판을 하측에서 상측으로 이송시켜 기판의 양극라인 및 음극라인을 프로브에 접속시킨다.
즉, 기판을 이송시켜 기판을 프로브에 접속시키므로, 기판의 이송공간에 해당하는 만큼 넓은 설치 공간이 필요한 단점이 있다.
그리고, 기판을 이동시키기 위한 고가의 장치가 필요하므로 원가가 상승하는 단점이 있다.
기판 검사 및 리페어 장치와 관련한 선행기술은 한국등록특허공보 10-0450194호 등에 개시되어 있다.
본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점들을 해소하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 작업자가 편리하게 기판을 검사할 수 있는 기판 검사 및 리페어 장치를 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 설치 공간을 줄일 수 있음과 동시에 원가를 절감할 수 있는 기판 검사 및 리페어 장치를 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판 검사 및 리페어 장치는, 테이블; 상기 테이블에 설치되고, 양극라인 및 음극라인이 형성된 기판이 탑재 지지되며, 상기 기판에 전원을 공급하는 복수의 프로브(Probe)를 가지면서 상기 기판의 결함 유무를 검사하는 검사유닛; X축 방향 및 Y축 방향으로 이송가능하게 상기 테이블에 설치되어 상기 기판의 결함 부위를 리페어하는 리페어유닛을 포함하고, 상기 검사유닛은 상기 테이블상에서 일측면을 기준으로 타측면이 회전가능하게 설치되며, 상기 프로브는 상기 기판의 하측에 위치되고, 승강가능하게 설치되어 상기 기판의 상기 양극라인 및 상기 음극라인에 접속 또는 비접속된다.
본 발명에 따른 기판 검사 및 리페어 장치는, 기판이 탑재 지지되는 검사유닛을 회전시켜 기판을 세울 수 있으므로, 기판과 작업자의 거리가 가까워지고, 기판에 대한 작업자의 시선의 각도를 편안한 각도로 설정할 수 있다. 따라서, 검사작업이 대단히 편리한 효과가 있다.
그리고, 기판이 검사유닛에 지지되어 고정되고, 검사유닛의 프로브가 기판의 하측에서 승강하면서 기판의 전극라인에 접속 또는 비접속된다. 즉, 작은 크기 및 작은 부피를 가지는 프로브가 승강하고, 프로브가 검사유닛의 내부에 설치되어 있으므로, 기판 검사 및 리페어 장치의 설치 공간이 감소되는 효과가 있다.
그리고, 기판을 이동시키기 위한 고가의 장치가 필요 없으므로, 기판 검사 및 리페어 장치의 원가가 절감되는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 검사 및 리페어 장치의 사시도.
도 2는 도 1에 도시된 검사유닛이 회전된 상태를 보인 측면도.
도 3은 도 1에 도시된 검사유닛을 회전시킨 상태에서 작업자가 기판을 검사하는 것을 보인 개략 측면도.
도 4는 도 1에 도시된 검사유닛의 확대 사시도.
도 5는 도 4에 도시된 누름판이 외측으로 이동한 상태를 보인 사시도.
도 6은 도 5의 "A"부 확대도.
도 7은 도 6에 도시된 프로브의 단면도.
후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시하여 도시한 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있도록 충분히 상세하게 설명된다. 본 발명의 다양한 실시예는 상호 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 특정 구조 및 특성은 일 실시예와 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다. 또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미가 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에 도시된 실시예들의 길이, 면적, 두께 및 형태는, 편의상, 과장되어 표현될 수도 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 검사 및 리페어 장치를 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 검사 및 리페어 장치의 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 검사유닛이 회전된 상태를 보인 측면도이다.
도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 기판 검사 및 리페어 장치는 테이블(100), 검사유닛(200) 및 리페어유닛(300)을 포함한다.
검사유닛(200)은 테이블(100)의 상면에 설치되고, 기판(50)이 탑재 지지된다. 검사유닛(200)은 기판(50)에 전원을 공급한 다음, 기판(50)의 각 픽셀을 점등시켜 기판(50)의 결함 유무를 검사하기 위한 프로브(Probe)(261)(도 6 참조)가 설치된다. 이때, 기판(50)의 일측 및 타측 테두리부에는 프로브(261)와 접속되어 전원을 공급받기 위한 양극라인 및 음극라인이 각각 형성된다.
이하, 기판(50)에 형성된 양극라인 및 음극라인을 '전극라인'이라 한다.
리페어유닛(300)은 X축 방향 및 Y축 방향으로 이송가능하게 테이블(100)에 설치되어 기판(50)의 점 결함(Point Defect) 부위 또는 라인 결함(Line Defect) 부위를 리페어한다.
본 실시예에 따른 검사유닛(200)은 회전가능하게 설치된다. 상세히 설명하면, 검사유닛(200)의 일측면은 테이블(100)에 지지되고, 타측면은 일측면을 기준으로 회전가능하게 설치된다. 즉, 검사유닛(200)이 테이블(100)에 대하여 수평을 이룬 상태에서, 테이블(100) 대하여 소정 각도를 이루는 형태로 회전가능하게 설치된다.
검사유닛(200)이 회전되면, 검사유닛(200)에 탑재 지지된 기판(50)도 함께 회전되어 테이블(100)과 소정 각도를 이룬다. 그러면, 전원이 공급되어 점등된 기판(50)을 소정 각도로 세워 작업자와 가까이 위치시킬 수 있고, 기판(50)에 대한 작업자의 시선의 각도를 편안한 각도로 설정할 수 있으므로, 대단히 편리하다.
검사유닛(200)은 모터(202) 또는 실린더(미도시) 등에 의하여 테이블(100)을 기준으로 대략 80도 정도 회전되는 것이 바람직하다.
도 3은 도 1에 도시된 검사유닛을 회전시킨 상태에서 작업자가 기판을 검사하는 것을 보인 개략 측면도로서, 이를 설명한다.
도시된 바와 같이, 기판(50)(도 1 참조)을 점등시켜 기판(50)의 결함 유무를 작업자가 목시(目視)로 검사하는 경우, 기판(50) 주위의 조도(照度)가 소정 이상이면, 기판(50)의 결함 유무를 판별하기 어렵다. 이로 인해, 본 실시예에 따른 기판 검사 및 리페어 장치가 설치되어 사용되는 공간은 소정 이하의 조도(照度)로 유지된다.
이때, 작업자가 기판(50)의 결함 유무를 목시로 더욱 정확하게 판별할 수 있도록, 테이블(100)의 일측에는 작업자의 작업 공간인 암실(400)이 형성된다. 그러면, 검사유닛(200)의 타측면측을 암실(400)측으로 회전시킨 상태에서 기판(50)의 결함 유무를 판별할 수 있으므로, 작업자가 더욱 정확하게 기판(50)의 결함 유무를 판별할 수 있다.
본 실시예에 따른 검사유닛(200)을 도 4 내지 도 6을 참조하여 설명한다. 도 4는 도 1에 도시된 검사유닛의 확대 사시도이고, 도 5는 도 4에 도시된 누름판이 외측으로 이동한 상태를 보인 사시도이며, 도 6은 도 5의 "A"부 확대도이다.
도시된 바와 같이, 검사유닛(200)은 테이블(100)(도 1 참조)에 설치된 스테이지(210)를 포함한다. 스테이지(210)의 중앙부측에는 길이방향이 X축 방향을 향하는 제 1 지지블록(220)이 설치되고, 제 1 지지블록(220)에는 검사 또는 리페어 하고자 하는 기판(50)의 중앙부가 탑재 지지된다.
제 1 지지블록(220)에는 제 1 클램퍼(231)가 설치된다. 제 1 클램퍼(231)는 상호 대향하는 한쌍으로 마련되어 어느 하나는 제 1 지지블록(220)의 일단부측에 설치되고, 다른 하나는 제 1 지지블록(220)의 타단부측에 설치된다. 제 1 클램퍼(231)는 상호 가까워지고 멀어지는 형태로 운동하면서 X축 방향을 향하는 기판(50)의 일측면 및 타측면을 지지한다.
제 1 지지블록(220)에는 모터(233)가 설치되고, 모터(233)에는 볼스크류(미도시)가 연결되며, 상기 볼스크류에는 제 1 클램퍼(231)가 설치된다. 따라서, 모터(233)에 의하여 상기 볼스크류가 정역 회전하면, 제 1 클램퍼(231)는 상기 볼스크류를 따라 직선왕복운동한다.
스테이지(210)에는 한쌍의 제 2 지지블록(240)이 설치된다. 제 2 지지블록(240)은 제 1 지지블록(220)을 사이에 두고 제 1 지지블록(220)의 일측 및 타측 스테이지(210) 부위에 각각 설치된다. 즉, 제 1 지지블록(220)을 기준으로, 어느 하나의 제 2 지지블록(240)은 (+) Y축 방향에 설치되고, 다른 하나의 제 2 지지블록(240)은 (-) Y축 방향에 설치된다.
제 2 지지블록(240)도 길이방향이 X축 방향을 향하면서 제 1 지지블록(220)과 평행을 이룬다. 제 2 지지블록(240)은 Y축 방향으로 운동가능하게 설치되어 상호 가까워지고 멀어지는 형태로 운동하며, Y축 방향을 향하는 기판(50)의 일측 및 타측 테두리부가 탑재 지지된다.
제 2 지지블록(240)은 받침판(243)에 각각 설치되고, 스테이지(210)에는 받침판(243)을 지지하는 지지레일(245)이 각각 설치된다. 그리고, 받침판(243)과 지지레일(245)은 LM 가이드 등에 의하여 상호 연결되고, 받침판(243)이 지지레일(245)을 따라 직선운동한다. 따라서, 제 2 지지블록(240)이 상호 가까워지고 멀어지는 형태, 즉 제 1 지지블록(220)과 가까워지고 멀어지는 형태로 운동한다.
제 2 지지블록(240)에는 제 2 클램퍼(251)가 각각 설치된다. 제 2 클램퍼(251)는 어느 하나의 제 2 지지블록(240) 및 다른 하나의 제 2 지지블록(240)에 각각 복수개 설치되며, 제 2 지지블록(240)과 함께 운동하면서 Y축 방향을 향하는 기판(50)의 일측면 및 타측면을 지지한다.
상호 대향하는 한쌍의 제 1 클램퍼(231) 사이의 거리가 가변되고, 제 2 클램퍼(251)가 각각 설치된 상호 대향하는 한쌍의 제 2 지지블록(240) 사이의 거리가 가변되므로, 다양한 크기의 기판(50)을 지지할 수 있다.
기판(50)이 OLED(Organic Light-Emitting Diode) 디스플레이용인 경우에는 상기 전극라인을 통하여 전원을 공급하여야 기판(50)의 결함 유무를 검사할 수 있다.
이를 위하여, 본 실시예에 따른 검사유닛(200)에는 기판(50)의 전극라인과 접속되는 복수의 프로브(261)가 설치된다. 프로브(261)는 검사유닛(200)에 탑재 지지되는 기판(50)의 하측에 위치되며, 승강가능하게 설치되어 기판(50)의 상기 전극라인에 접속 또는 비접속된다.
프로브(261)는 제 2 지지블록(240)에 각각 설치되어 제 2 지지블록(240)과 함께 운동함과 동시에, 제 2 지지블록(240)에 대하여 승강가능하게 설치된다. 프로브(261)의 승강구조에 대하여 설명한다.
제 2 지지블록(240)에는 승강판(263)이 각각 설치되고, 승강판(263)에는 지지브라켓(265)이 각각 착탈가능하게 결합된다. 이때, 승강판(263)은 제 2 지지블록(240)과 함께 운동함과 동시에 제 2 지지블록(240)에 대하여 승강가능하게 설치된다. 그리고, 지지브라켓(265)은 승강판(263)과 함께 운동한다. 승강판(263)은 실린더(미도시) 등에 의하여 승강한다.
프로브(261)는 지지브라켓(265)에 각각 복수개 설치된다. 따라서, 승강판(263)이 승강함에 따라 지지브라켓(265)이 승강하고, 지지브라켓(265)에 의하여 프로브(261)가 승강하면서 기판(50)의 상기 전극라인에 접속 또는 비접속된다. 프로브(261)를 통하여 기판(50)으로 전원을 공급하였을 때, 발광되지 않는 기판(50)의 부위 또는 원하는 색상이 구현되지 않는 기판(50)의 부위가 결함 부위이다.
기판(50)이 검사유닛(200)에 지지되어 고정되고, 기판(50) 보다 크기 및 부피가 작은 프로브(261)가 승강하면서 기판(50)에 접속 또는 비접속되므로, 본 실시예에 따른 기판 검사 및 리페어 장치는 상대적으로 작은 공간에 설치할 수 있다.
프로브(261)의 상승 거리는 제어부(미도시)에서 적절하게 제어한다. 그러나, 프로브(261)가 지지브라켓(265)에 고정되어 있다면, 프로브(261)와 기판(50)이 접속된 상태에서, 프로브(261)와 기판(50) 사이에 작용하는 힘이 소정 이상이면 프로브(261)가 손상될 수 있다. 이를 방지하기 위하여, 프로브(261)는 지지브라켓(265)에 대하여 승강가능하게 설치된다. 그리고, 도 7에 도시된 바와 같이, 지지브라켓(265)에는 프로브(261)를 기판(50)측으로 탄성 지지하는 탄성지지부재(267)가 설치된다.
그러면, 프로브(261)가 기판(50)에 접속되었음에도 불구하고 프로브(261)가 계속 상승하면, 프로브(261)가 하측으로 하강하므로, 프로브(261)가 손상되는 것이 방지된다. 프로브(261)는 탄성지지부재(267)에 의하여 기판(50)에 견고하게 접속된다.
프로브(261)가 상승하여 기판(50)에 접속되었을 때, 프로브(261)에 의하여 기판(50)이 상승하면, 프로브(261)와 기판(50)이 견고하게 접속되지 못한다. 이를 방지하기 위하여, 본 실시예에 따른 검사유닛(200)에는 승강가능하게 설치되어 기판(50)을 하측으로 눌러주는 누름판(271)이 설치된다.
누름판(271)은 제 2 지지블록(240)과 함께 운동함과 동시에, 제 2 지지블록(240)에 대하여 승강가능하게 설치되어 기판(50)의 상면 테두리부측을 하측으로 눌러준다.
상세히 설명하면, 받침판(243)에는 지지레일(273)이 설치되고, 지지레일(273)에는 수평지지판(275a)이 설치되며, 수평지지판(275a)에는 수직지지판(275)이 설치된다. 그리고, 수직지지판(275)에는 실린더(미도시) 등에 의하여 승강하는 누름판(271)이 설치된다.
그리하여, 로봇아암 등에 지지되어 기판(50)이 제 1 및 제 2 지지블록(220, 240)에 탑재 지지되면, 제 1 클램퍼(231)가 상호 가까워지는 형태로 운동하고, 제 2 지지블록(240)이 상호 가까워지는 형태로 운동하여, 기판(50)을 지지한다. 이러한 상태에서, 누름판(271)이 하강하여 기판(50)을 눌러서 지지하면, 프로브(261)가 상승하여 기판(50)에 접속된다. 따라서, 프로브(261)가 기판(50)에 견고하게 접속되는 것이다.
수평지지판(275a)은 제 2 지지블록(240)의 직선운동과는 독립적으로 제 1 지지블록(220)과 가까워지고 멀어지는 방향인 Y축 방향으로 직선운동가능하게 설치된다. 이를 위하여, 지지레일(273)과 수평지지판(275a)은 LM 가이드에 의하여 상호 연결되고, 수평지지판(275a)은 지지레일(273)을 따라 직선운동가능하게 설치된다. 따라서, 누름판(271)도 제 2 지지블록(240)의 직선운동과는 독립적으로 직선운동가능하게 설치된다.
프로브(261)를 수리 또는 교체하고자 할 경우, 프로브(261)가 설치된 지지브라켓(265)이 제 2 지지블록(240)에 착탈가능하게 결합되므로, 도 5에 도시된 바와 같이, 수평지지판(275a)을 제 1 지지블록(220)의 외측으로 이동시킨 상태에서, 지지브라켓(265)을 교체하면 된다.
받침판(243)에는 제 1 스토퍼(243a) 및 제 2 스토퍼(243b)가 형성된다. 제 1 스토퍼(243a)는 제 1 지지블록(220)과 가까워지는 방향으로 운동하는 수평지지판(275a)의 운동거리를 제한하고, 제 2 스토퍼(243b)는 제 1 지지블록(220)과 멀어지는 방향으로 운동하는 수평지지판(275a)의 운동거리를 제한한다. 즉, 제 1 스토퍼(243a)와 제 2 스토퍼(243b)는 수평지지판(275a)에 의하여 직선운동하는 누름판(271)의 운동 거리를 제한한다.
그리고, 누름판(271)을 직선운동시키는 수평지지판(275a)에는 수평지지판(275a)의 직선운동방향에 따라 제 1 스토퍼(243a) 또는 제 2 스토퍼(243b)에 걸리는 걸림돌기(275aa)가 형성된다.
도 7의 미설명부호 261a는 프로브(261)로 전원을 공급하기 위한 전선이다.
본 실시예에 따른 기판 검사 및 리페어 장치는 기판(50)이 검사유닛(200)에 지지되어 고정되고, 검사유닛(200)의 프로브(261)가 기판(50)의 하측에서 승강하면서 기판(50)의 상기 전극라인에 접속 또는 비접속된다. 즉, 기판(50)에 비하여 상대적으로 작은 크기 및 부피를 가지는 프로브(261)가 승강하고, 프로브(261)가 검사유닛(200)의 내부에 설치되므로, 좁은 공간에도 설치할 수 있다. 그리고, 기판(50)을 이동시키기 위한 별도의 장치가 필요 없으므로, 원가가 절감된다.
본 발명은 상술한 바와 같이 바람직한 실시예를 예로 들어 도시하여 설명하였으나, 상기 실시예에 한정되지 아니하며 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형과 변경이 가능하다. 그러한 변형예 및 변경예는 본 발명과 첨부된 특허청구범위의 범위 내에 속하는 것으로 보아야 한다.
100: 테이블
200: 검사유닛
161: 프로브
171: 누름판
300: 리페어유닛
400: 암실

Claims (10)

  1. 테이블; 상기 테이블에 설치되고, 양극라인 및 음극라인이 형성된 기판이 탑재 지지되며, 상기 기판의 하측에 위치되어 상기 기판에 전원을 공급하는 복수의 프로브(Probe)를 가지면서 상기 기판의 결함 유무를 검사하는 검사유닛; X축 방향 및 Y축 방향으로 이송가능하게 상기 테이블에 설치되어 상기 기판의 결함 부위를 리페어하는 리페어유닛을 포함하는 기판 검사 및 리페어 장치로서,
    상기 검사유닛은 상기 테이블상에서 일측면을 기준으로 타측면이 회전가능하게 설치되고,
    상기 프로브는 상기 검사유닛과 함께 운동함과 동시에 탄성 지지되어 상기 검사유닛에 대하여 승강가능하게 설치되어 상기 기판의 상기 양극라인 및 상기 음극라인에 접속 또는 비접속되며,
    상기 테이블의 일측에는 상기 검사유닛과 함께 소정 각도 회전된 상기 기판을 목시(目視)로 검사하는 작업자의 작업 공간인 암실이 형성된 것을 특징으로 하는 기판 검사 및 리페어 장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 검사유닛은,
    상기 테이블에 설치된 스테이지;
    길이방향이 X축 방향을 향하면서 상기 스테이지에 설치되며 상기 기판의 중앙부측이 탑재 지지되는 제 1 지지블록;
    상기 제 1 지지블록을 사이에 두고 상기 제 1 지지블록의 일측 및 타측 상기 스테이지 부위에 각각 설치되며, 길이방향이 X축 방향을 향하고, Y축 방향으로 운동가능하게 설치되어 상호 가까워지고 멀어지는 형태로 운동하며, 상기 기판의 일측 및 타측 테두리부가 탑재 지지되는 한쌍의 제 2 지지블록;
    상기 제 1 지지블록의 일단부측 및 타단부측에 설치되어 상호 가까워지고 멀어지는 형태로 운동하며, X축 방향을 향하는 상기 기판의 일측면 및 타측면을 각각 지지하는 한쌍의 제 1 클램퍼;
    상기 제 2 지지블록에 각각 설치되어 상기 제 2 지지블록과 각각 함께 운동하며, Y축 방향을 향하는 상기 기판의 일측면 및 타측면을 각각 지지하는 제 2 클램퍼를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 및 리페어 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 프로브는 상기 제 2 지지블록측에 각각 설치되어 상기 제 2 지지블록과 각각 함께 운동함과 동시에, 상기 제 2 지지블록에 대하여 승강가능하게 설치된 것을 특징으로 하는 기판 검사 및 리페어 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제 2 지지블록에는 상기 제 2 지지블록과 각각 함께 운동함과 동시에, 상기 제 2 지지블록에 대하여 승강가능하게 승강판이 각각 설치되고,
    상기 승강판에는 지지브라켓이 각각 착탈가능하게 결합되며,
    상기 지지브라켓에는 복수의 상기 프로브가 각각 지지 설치된 것을 특징으로 하는 기판 검사 및 리페어 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 프로브는 상기 지지브라켓에 대하여 승강가능하게 설치되고,
    상기 지지브라켓에는 상기 프로브를 상기 기판측으로 탄성 지지하는 탄성지지부재가 설치된 것을 특징으로 하는 기판 검사 및 리페어 장치.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 제 2 지지블록에는 상기 제 2 지지블록과 각각 함께 운동함과 동시에, 상기 제 2 지지블록에 대하여 승강가능하게 설치되어 상기 기판의 상면 테두리부측을 하측으로 누르는 복수의 누름판이 각각 설치된 것을 특징으로 하는 기판 검사 및 리페어 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 누름판은 상기 제 2 지지블록의 운동과 각각 독립적으로 Y축 방향으로 직선운동가능하게 설치된 것을 특징으로 하는 기판 검사 및 리페어 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 스테이지에는 Y축 방향으로 운동가능하게 받침판이 설치되고,
    상기 받침판에 상기 제 2 지지블록이 설치되며,
    상기 받침판에는 상기 제 2 지지블록과 가까워지는 방향으로 운동하는 상기 누름판의 운동거리를 제한하는 제 1 스토퍼와 상기 제 2 지지블록과 멀어지는 방향으로 운동하는 상기 누름판의 운동거리를 제한하는 제 2 스토퍼가 형성된 것을 특징으로 하는 기판 검사 및 리페어 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 누름판측에는 상기 누름판의 운동방향에 따라 상기 제 1 스토퍼 또는 상기 제 2 스토퍼에 걸리는 걸림돌기가 형성된 것을 특징으로 하는 기판 검사 및 리페어 장치.
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