KR101266095B1 - 폐수 구분배출구조를 갖는 세정장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 폐수 구분배출구조를 갖는 세정장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판표면의 이물질을 제거하도록 상기 기판을 수침시켜 세척하도록 된 세정장치에 있어서, 내부에 세정액 충진공간을 갖는 세정틀과 상기 세정틀의 하부에 설치되며 다수의 상부통수공을 갖는 상부패널로 이루어진 세정조와 상기 세정조의 하부에 설치되어 기판을 세정한 폐세정액의 배출을 단속하는 퀵배수장치로 이루어져, 기판의 세정을 위한 순환시간이 빨라져 생산성이 향상되며, 이물질을 구분,격리시킨 후 배출되게 함으로서 이물질 제거를 위한 비용이 절감되는 효과가 있다.

Description

폐수 구분배출구조를 갖는 세정장치 { CLEANING APPARATUS HAVING DIVISION DISCHARGE STRUCTURE }
본 발명은 폐수 구분배출구조를 갖는 세정장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 세정조의 하부에 퀵배수장치를 설치하여 기판을 세척한 세정액을 신속하게 배출시킴으로서, 기판의 세정을 위한 순환시간이 빨라져 생산성이 향상되며, 이물질을 구분,격리시킨 후 배출되게 함으로서 이물질 제거를 위한 비용이 절감되는 폐수 구분배출구조를 갖는 세정장치에 관한 것이다.
일반적으로 표면처리는 방법과 목적에 따라 다양한 방법이 이용되고 있다. 예시적으로, 금속의 표면처리와 같이 금속의 부식 방지라든가 금속자체의 내마모성 및 내열성 향상이라든가 장식용 등으로 많이 수행되고 있다. 예를들어, PCB 기판의 경우 이물 제거, 도금, 활성화, 촉매 등의 표면처리가 이용된다.
이처럼 다양한 분야에서 이용되는 표면처리는 표면처리 공정전후 및 공정중 도금의 경우와 같이 이물질 제거를 위해 사용되었던 부식액이라든가 반응액 및 도금액 등을 제거하기 위해 세정장치가 이용된다.
통상의 세정방식은 세정조에 세정에 적합한 세정액을 저장 및 순환하여, 표면처리를 끝낸 대상물을 수침시켜 안정화하는 방법을 많이 이용하고 있다. 이러한 세정방식을 채용한 세정장치는 세정효과를 높이기 위하여 복수의 세정조를 구비하고, 각 세정조에 연속적으로 수침하게 된다.
이러한 종래의 세정조는 배수를 위한 배수구가 측면에 형성되어, 세정수를 충진시 폐쇄하게 되고 기판의 세정이 종료된 후에는 개방시켜 내부의 세정수를 외부로 배출시키게 된다.
그러나, 종래의 세정조는 배수구를 통해 세정액이 배출되는 시간이 과도하게 오래 걸려, 기판의 세정을 위한 순환시간이 지연되므로 생산성이 저하되는 문제점이 있으며, 세정하는 과정중 기판에서 분리된 이물질이 세정수와 함께 배출됨으로서, 세정수를 재활용하기 위한 별도의 필터링 장치를 설치해야 하며 반복적으로 필터를 교환해야 하는 번거로운 문제점이 있었다.
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 세정조의 하부에 퀵배수장치를 설치하여 기판을 세척한 세정액을 신속하게 배출시킴으로서, 기판의 세정을 위한 순환시간이 빨라져 생산성이 향상되며, 이물질을 구분,격리시킨 후 배출되게 함으로서 이물질 제거를 위한 비용이 절감되는 폐수 구분배출구조를 갖는 세정장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명은 기판표면의 이물질을 제거하도록 상기 기판을 수침시켜 세척하도록 된 세정장치에 있어서, 내부에 세정액 충진공간을 갖는 세정틀과 상기 세정틀의 하부에 설치되며 다수의 상부통수공을 갖는 상부패널로 이루어진 세정조와 상기 세정조의 하부에 설치되어 기판을 세정한 폐세정액의 배출을 단속하는 퀵배수장치로 이루어진 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 퀵배수장치는 상기 상부패널의 하부에 이동가능하게 설치되며, 상기 상부통수공을 차단하는 다수의 차단부와 상기 차단부들 사이에 형성되어 상기 상부통수공을 개방시키는 통수공으로 구성된 개폐패널와 상기 개폐패널을 이동시키는 작동실린더와 상기 개폐패널의 하부에 설치되며, 다수의 하부통수공이 형성된 하부패널로 이루어진 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 상부패널에는 상기 기판에서 분리된 이물질이 상기 상부통수공으로 배출되지 않고 별도로 구분배출되도록 구분배출부가 더 설치되되, 상기 구분배출부는 상기 상부패널의 상면에 상기 상부통수공들을 감싸면서 형성되는 격벽틀과 상기 격벽틀의 상부에 설치되는 다수의 리브와 상기 리브의 상부에 설치되는 유입차단패널로 이루어지며, 상기 세정틀의 하부에는 상기 이물질배출구가 더 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명인 폐수 구분배출구조를 갖는 세정장치는 세정조의 하부에 퀵배수장치를 설치하여 기판을 세척한 세정액을 신속하게 배출시킴으로서, 기판의 세정을 위한 순환시간이 빨라져 생산성이 향상되며, 이물질을 구분,격리시킨 후 배출되게 함으로서 이물질 제거를 위한 비용이 절감되는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 폐수 구분배출구조를 갖는 세정장치을 나타낸 정면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 폐수 구분배출구조를 갖는 세정장치을 나타낸 측면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 폐수 구분배출구조를 갖는 세정장치을 나타낸 평면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 폐수 구분배출구조를 갖는 세정장치의 작동상태를 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명에 따른 폐수 구분배출구조를 갖는 세정장치의 다른 실시예를 나타낸 도면이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 폐수 구분배출구조를 갖는 세정장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다. 또한, 후술되는 용어들은 본 고안에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
또한, 하기 실시예는 본 발명의 권리범위를 한정하는 것이 아니라 단지 예시로 제시하는 것이며, 본 기술 사상을 통해 구현되는 다양한 실시예가 있을 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 폐수 구분배출구조를 갖는 세정장치을 나타낸 정면도이며, 도 2는 본 발명에 따른 폐수 구분배출구조를 갖는 세정장치을 나타낸 측면도이고, 도 3은 본 발명에 따른 폐수 구분배출구조를 갖는 세정장치을 나타낸 평면도이며, 도 4는 본 발명에 따른 폐수 구분배출구조를 갖는 세정장치의 작동상태를 나타낸 도면이다.
도면에 도시된 바와 같이 본 발명인 폐수 구분배출구조를 갖는 세정장치(10)(이하 세정장치)는 기판표면의 이물질을 제거하도록 상기 기판을 수침시켜 세척하도록 된 것으로서, 이러한 세정장치(10)는 세정조(20)와 퀵배수장치(30)로 이루어진다.
상기 세정조(20)는 금속재로 이루어지고 내부에 세정액이 충진되도록 세정액 충진공간을 갖는 세정틀(21)과 상기 세정틀(21)의 하부에 용접 또는 수밀이 유지되게 볼트체결되며 다수의 상부통수공(221)을 갖는 상부패널(22)로 이루어진다.
상기한 세정틀(21)의 외측면에는 내부에 약품 또는 에어를 주입하기 위한 다수의 주입관이 형성된다.
상기 퀵배수장치(30)는 상기 세정조(20)의 하부에 설치되어 기판을 세정한 폐세정액의 배출을 단속하게 된다.
이러한 퀵배수장치(30)는 상기 상부패널(22)의 하부에 이동가능하게 설치되며, 상기 상부통수공(221)을 차단하는 다수의 차단부(311)와 상기 차단부(311)들 사이에 형성되어 상기 상부통수공(221)을 개방시키는 통수공(312)으로 구성된 개폐패널(31)과 상기 개폐패널(31)을 이동시키는 작동실린더(32)와 상기 개폐패널(31)의 하부에 설치되며, 다수의 하부통수공(331)이 형성된 하부패널(33)로 이루어진다.
이때, 상기 작동실린더(32)는 상기 세정틀(21)의 외측면에 볼트체결되어 고정되며, 상기 작동실린더(32)의 작동축과 상기 개폐패널(31)의 측면은 연결브라켓(321)에 의해 연결되어 상기 작동실린더(32)의 구동에 의해 도면상 좌,우로 이동하게 된다. 여기서 개패폐널(31)의 측면을 상기 상부,하부패널보다 외측으로 돌출시킨 상태에서 상기 연결브라켓(321)과 용접 또는 볼체체결되게 하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 하부패널(33)의 저면에는 상기 세정장치(10)를 지지함과 아울러 배출되는 세정액이 수용되도록 세정수 탱크(100)가 마련되며, 상기 세정액 탱크에 수용되는 세정액은 별도의 정화과정을 거처 상기 세정틀(21)로 순환 공급된다.
여기서, 하부패널(33)의 상면에는 상기 상부패널(22)과 일정간격을 유지하도록 다수의 간격유지돌기(331)가 형성되며, 상기 하부패널(33)과 상기 상부패널(22)의 간격은 상기 개폐패널(31)이 상기 상부패널(22)의 하중을 받지 않는 상태에서 이동할 수 있는 간격, 즉 상기 개폐패널(31)이 상기 상부패널(22)의 저면 및 상기 하부패널(33)의 상면과 면접촉한 상태로 이동될 수 있도록 상기 개폐패널의 두께만큼 이격이시키게 된다.
상기와 같이 구성된 폐수 구분배출구조를 갖는 세정장치(10)의 작동상태를 설명하면 먼저, 상기 세정틀(21) 내부에 세정액을 공급함과 아울러 다수의 기판을 수침시켜 기판표면의 이물질을 제거하게 된다.
이후, 이물질이 제거된 기판을 외부로 이동시킨 상태에서 상기 작동실린더(32)를 구동시켜, 상기 개폐패널(31)의 이동에 의해 통수공(312)이 상부통수공 (221)및 하부통수공(331)과 연통되게 배치시켜 신속하게 세정틀(21) 내부에 세정수을 하부의 세정수 탱크(100)로 이동시킨 다음 재차 작동실린더(32)를 구동시켜 차단부로 상부통수공(221)을 폐쇄시킨 후 상기 세정틀(21)에 세정수를 충진시키게 됨으로서, 일련의 공정을 마치게 된다.
도 5는 본 발명에 따른 폐수 구분배출구조를 갖는 세정장치의 다른 실시예를 나타낸 도면이다.
도 5를 참조하면, 상기에서는 상부패널(22)과 하부패널(23) 사이에 개폐패널(31)을 이동가능하게 설치하여, 개폐패널(31)의 이동에 의해 상부,하부 통수공(221,331) 및 통수공(312)으로 세정수가 신속하게 배수되도록 설명 및 도면에 나타내고 있지만 이에 한정되는 것은 아니다.
예를들면, 상기 상부패널(22)에 상기 기판에서 분리된 이물질이 상기 상부통수공으로 배출되지 않고 별도로 구분배출되도록 구분배출부(40)를 더 설치된다.
상기 구분배출부(40)는 상기 상부패널(22)의 상면에 상기 상부통수공(221)들을 감싸면서 형성되는 사각의 격벽틀(41)과 상기 격벽틀(41)의 상부에 설치되는 다수의 리브(42)와 상기 리브(42)의 상부에 설치되는 유입차단패널(43)로 이루어지며, 상기 세정틀(21)의 하부에는 상기 이물질배출구(23)가 더 형성된다.
즉, 기판에서 분리된 이물질이 격벽틀(41)과 유입차단패널(43)에 의해 통수공(312)으로 유출되는 것을 차단됨과 아울러 격벽틀(41)과 세청틀 내측 사이에 누적된 이물질과 고인 세정수는 상기 이물질배출구(24)의 개방에 의해 외부로 배출된다.
10 : 세정장치 20 : 세정조
30 : 퀵배수장치 40 : 구분배출부
21 : 세정틀 22 : 상부패널
221 : 상부통수공 23 : 이물질배출구
31 : 개폐패널 311 : 차단부
312 : 통수공 32 : 작동실린더
321 : 연결브라켓 33 : 하부패널
331 : 하부통수공 41 : 격벽틀
42 : 리브 43 : 유입차단패널
100 : 세정수탱크

Claims (3)

  1. 기판표면의 이물질을 제거하도록 상기 기판을 수침시켜 세척하도록 된 세정장치에 있어서, 내부에 세정액 충진공간을 갖는 세정틀과 상기 세정틀의 하부에 설치되며 다수의 상부통수공을 갖는 상부패널로 이루어진 세정조와 상기 세정조의 하부에 설치되어 기판을 세정한 폐세정액의 배출을 단속하는 퀵배수장치로 이루어진 폐수 구분배출구조를 갖는 세정장치에 있어서,
    상기 퀵배수장치는 상기 상부패널의 하부에 이동가능하게 설치되며, 상기 상부통수공을 차단하는 다수의 차단부와 상기 차단부들 사이에 형성되어 상기 상부통수공을 개방시키는 통수공으로 구성된 개폐패널;
    상기 개폐패널을 이동시키는 작동실린더; 및
    상기 개폐패널의 하부에 설치되며, 다수의 하부통수공이 형성된 하부패널로 이루어진 것을 특징으로 하는 폐수 구분배출구조를 갖는 세정장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 상부패널에는 상기 기판에서 분리된 이물질이 상기 상부통수공으로 배출되지 않고 별도로 구분배출되도록 구분배출부가 더 설치되되,
    상기 구분배출부는 상기 상부패널의 상면에 상기 상부통수공들을 감싸면서 형성되는 격벽틀과 상기 격벽틀의 상부에 설치되는 다수의 리브와 상기 리브의 상부에 설치되는 유입차단패널로 이루어지며,
    상기 세정틀의 하부에는 이물질배출구가 더 형성되는 것을 특징으로 하는 폐수 구분배출구조를 갖는 세정장치.
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JP2011092891A (ja) * 2009-10-30 2011-05-12 Yokogawa Denshikiki Co Ltd 基板洗浄装置

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