KR101264676B1 - Patterning Method and Method of manufacturing Liquid Crystal Display Device using the same - Google Patents

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Abstract

상부면이 평탄한 기판 상에 패턴물질을 도포하는 공정, 상기 패턴물질을 부분적으로 경화시키는 공정 및 상기 패턴물질 상에서 롤을 회전시켜 상기 패턴물질 중 경화되지 아니한 부분을 제거하여, 상기 패턴물질 중 상기 기판 상에 남아있는 경화된 부분이 패턴을 구성하는 공정으로 패턴을 형성하므로, 종래 인쇄방법과 달리 인쇄판을 요하지 않아 제조비용이 절감되며, 인쇄판 세정공정이 필요치 않아 제조공정도 단축된다.Applying a pattern material on a substrate having a flat top surface, partially curing the pattern material, and rotating a roll on the pattern material to remove an uncured portion of the pattern material, thereby Since the cured portion remaining on the form a pattern by a process constituting the pattern, unlike the conventional printing method, a printing plate is not required because the printing plate is not required, and the manufacturing process is also shortened because the printing plate cleaning process is not required.

패턴 pattern

Description

패턴 형성 방법 및 그를 이용한 액정표시소자 제조방법{Patterning Method and Method of manufacturing Liquid Crystal Display Device using the same}Pattern Forming Method and Method of Manufacturing Liquid Crystal Display Device Using the Same {Patterning Method and Method of manufacturing Liquid Crystal Display Device using the same}

도 1a 내지 도 1c는 종래 기술에 따른 포토리소그래피공정으로 패턴을 형성하는 공정을 도시한 공정단면도이다.1A to 1C are cross-sectional views illustrating a process of forming a pattern by a photolithography process according to the prior art.

도 2a 내지 도 2c는 종래 기술에 따른 인쇄롤을 이용하여 기판 상에 패턴물질층을 패터닝하는 공정을 도시한 공정단면도이다.2A to 2C are cross-sectional views illustrating a process of patterning a pattern material layer on a substrate using a printing roll according to the prior art.

도 3a 내지 도 3c는 본 발명에 따른 패턴 형성 방법을 개략적으로 도시한 공정단면도이다.3A to 3C are schematic cross-sectional views of a method of forming a pattern according to the present invention.

도 4a 내지 도 4c는 본 발명에 따른 패턴물질층 형성 방법을 개략적으로 도시한 사시도 또는 단면도이다.4A to 4C are perspective views or cross-sectional views schematically showing a method for forming a pattern material layer according to the present invention.

도 5a는 본 발명에 따른 마스크를 이용하여 패턴물질층 중 소정의 패턴을 구성하는 부분에 광을 조사하는 공정의 단면도이다.5A is a cross-sectional view illustrating a process of irradiating light to a portion of a pattern material layer constituting a predetermined pattern using a mask according to the present invention.

도 5b는 본 발명에 따른 마스크를 이용하지 않고, 패턴물질층 중 소정의 패턴을 구성하는 부분에만 광을 조사하는 공정의 단면도이다.5B is a cross-sectional view of a step of irradiating light only to a portion of the pattern material layer constituting a predetermined pattern without using a mask according to the present invention.

도 6은 본 발명에 따른 액정표시소자의 제작공정을 도시한 공정단면도이다.6 is a process sectional view showing the manufacturing process of the liquid crystal display device according to the present invention.

<도면의 주요부의 부호에 대한 설명>DESCRIPTION OF THE REFERENCE NUMERALS OF THE DRAWINGS FIG.

100 : 투명기판 200 : 패턴물질층100: transparent substrate 200: pattern material layer

200a : 소정의 패턴을 구성하는 부분 320 : 차광층200a: portion constituting a predetermined pattern 320: light shielding layer

340 : 컬러필터 800 : 롤340: color filter 800: roll

본 발명은 액정표시소자에 관한 것으로 보다 구체적으로는 액정표시소자의 패턴 형성 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a liquid crystal display device, and more particularly, to a pattern forming method of a liquid crystal display device.

표시화면의 두께가 수 센티미터(cm)에 불과한 초박형의 평판표시소자(Flat Panel Display), 그 중에서도 액정표시소자는 동작 전압이 낮아 소비 전력이 적고 휴대용으로 쓰일 수 있는 등의 이점으로 노트북 컴퓨터, 모니터, 우주선, 항공기 등에 이르기까지 응용분야가 넓고 다양하다.Ultra-thin flat panel displays with a thickness of only a few centimeters (cm). Among them, liquid crystal displays have low operating voltages, which consume less power and can be used as portable devices. Applications range from ships to spacecraft to aircraft.

상기 액정표시소자는 하부기판, 상부기판, 및 상기 양 기판 사이에 형성된 액정층을 포함하여 구성되며, 하부 기판 상에는 서로 종횡으로 교차되어 화소영역을 정의하는 게이트 배선과 데이터 배선이 형성되어 있다. 그리고, 상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차 영역에는 스위칭 소자로서 박막트랜지스터가 형성되어 있다. 상기 박막트랜지스터는 상기 게이트 배선에서 연장되어 형성되는 게이트 전극, 게이트 절연막, 반도체층, 상기 데이터 배선에서 연장되어 형성되는 소스전극, 및 상기 소스 전극과 마주보도록 형성되는 드레인 전극이 차례로 적층되어 형성된다. 그리고 상기 기판 전면에 보호막이 형성되고, 보호막 상부에 화소전극이 형성되어 박막트랜지스터의 드레인 전극과 연결되어 있다.The liquid crystal display device includes a lower substrate, an upper substrate, and a liquid crystal layer formed between the two substrates, and a gate wiring and a data wiring are formed on the lower substrate so as to cross each other longitudinally and define a pixel region. In addition, a thin film transistor is formed as a switching element in an intersection region of the gate line and the data line. The thin film transistor is formed by sequentially stacking a gate electrode extending from the gate line, a gate insulating layer, a semiconductor layer, a source electrode extending from the data line, and a drain electrode formed to face the source electrode. A passivation layer is formed on the entire surface of the substrate, and a pixel electrode is formed on the passivation layer to be connected to the drain electrode of the thin film transistor.

또한, 상부기판 상에는 상기 게이트 배선, 데이터 배선, 및 박막트랜지스터 영역에서 광이 누설되는 것을 차단하기 위한 차광층이 형성되어 있고, 상기 차광층 위에 컬러필터층이 형성되어 있으며, 상기 컬러필터층 상부에 공통전극이 형성되어 있다. In addition, a light blocking layer is formed on the upper substrate to block light leakage from the gate wiring, data wiring, and thin film transistor regions, and a color filter layer is formed on the light blocking layer, and a common electrode is formed on the color filter layer. Is formed.

이와 같이 액정표시소자는 다양한 구성요소들을 포함하고 있으며 그 구성요소들을 형성하기 위해 수많은 공정들이 반복적으로 행해지게 된다. 특히, 다양한 구성요소들을 다양한 형태로 패터닝하기 위해서 포토리소그래피공정이 사용되고 있다. As such, the liquid crystal display includes various components, and numerous processes are repeatedly performed to form the components. In particular, photolithography processes are used to pattern various components in various forms.

이하에서, 도면을 참조로 종래 포토리소그래피공정을 통한 패턴 형성 방법을 설명하기로 한다. Hereinafter, a pattern forming method through a conventional photolithography process will be described with reference to the drawings.

우선, 도 1a에서 알 수 있듯이, 투명기판(10)상에 패턴물질층(20)을 형성한다.First, as shown in FIG. 1A, the pattern material layer 20 is formed on the transparent substrate 10.

그 후, 도 1b에서 알 수 있듯이, 상기 패턴물질층(20) 위에 소정 패턴의 마스크(23)을 위치시킨 후 광 조사장치를 통해 광을 조사한다. Thereafter, as shown in FIG. 1B, a mask 23 having a predetermined pattern is positioned on the pattern material layer 20 and then irradiated with light through a light irradiation apparatus.

그 후, 도 1c에서도 알 수 있듯이, 현상공정을 통해 패턴(20a)을 완성한다.Thereafter, as shown in FIG. 1C, the pattern 20a is completed through a developing process.

그러나 상기 포토리소그래피 공정은 소정 패턴의 마스크를 사용해야 하므로 그 만큼 제조비용이 상승되는 단점이 있으며, 또한 현상 공정 등을 거쳐야 하므로 공정이 복잡하고 공정시간이 오래 걸리는 단점이 있다.However, since the photolithography process requires the use of a mask having a predetermined pattern, the manufacturing cost increases accordingly, and the process is complicated and the process takes a long time because the photolithography process requires a development process.

따라서 상기 포토리소그래피 공정의 단점을 해결하기 위한 새로운 패턴 형성 방법이 요구되었으며, 그와 같은 요구에 따라 인쇄롤을 이용하여 패턴을 형성하는 방법이 고안되었다.Therefore, a new pattern forming method has been required to solve the shortcomings of the photolithography process, and a method of forming a pattern using a printing roll has been devised in accordance with such a request.

도 2a 내지 도 2c는 인쇄롤(27)을 이용하여 기판 상에 패턴물질층(20)을 패터닝하는 공정을 도시한 단면도이다.2A to 2C are cross-sectional views illustrating a process of patterning a pattern material layer 20 on a substrate using a printing roll 27.

우선, 도 2a에서 알 수 있듯이, 인쇄노즐(25)을 이용하여 패턴물질(20)을 인쇄롤(27)에 도포한다.First, as shown in FIG. 2A, the pattern material 20 is applied to the printing roll 27 using the printing nozzle 25.

그 후, 도 2b에서 알 수 있듯이, 소정형상의 돌출부(65)가 형성된 인쇄판(60)상에서 상기 인쇄롤(27)을 회전시켜, 상기 인쇄판(60)의 돌출부(65)에 일부 패턴물질(20b)을 전사하고 잔존하는 패턴물질(20a)에 의해 인쇄롤(27)에 소정형상의 패턴(20a)을 형성한다.Thereafter, as shown in FIG. 2B, the printing roll 27 is rotated on the printing plate 60 on which the protrusion 65 of a predetermined shape is formed, thereby partially patterning the material 20b on the protrusion 65 of the printing plate 60. ) Is transferred, and a pattern 20a of a predetermined shape is formed on the printing roll 27 by the remaining pattern material 20a.

그 후, 도 2c에서 알 수 있듯이, 투명기판(10) 상에서 상기 인쇄롤(27)을 회전하여 상기 기판(10) 상에 패턴(20a)을 전사한다.Thereafter, as shown in FIG. 2C, the printing roll 27 is rotated on the transparent substrate 10 to transfer the pattern 20a onto the substrate 10.

그러나 상기 인쇄롤을 이용하여 패턴을 형성하는 방법은 상기 소정 형상의 돌출부가 형성된 인쇄판이 추가적으로 필요하여 제조비용이 상승되고, 인쇄판의 세정 공정 등을 거쳐야 하므로 공정이 복잡해지는 단점이 있다. However, the method of forming a pattern using the printing roll requires a printing plate on which the protrusion of the predetermined shape is additionally required, which increases manufacturing costs and requires a cleaning process of the printing plate.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로, 본 발명의 제1목적은 액정표시소자를 저가의 비용으로 보다 단축된 공정시간 내에 제조할 수 있도록 하기 위해서, 새로운 방법에 의해 패턴을 형성하는 방법을 제공하는 것이고, 본 발명의 제2목적은 상기 패턴 형성 방법을 이용하여 액정표시소자를 제조하는 방법을 제공하는 것이다.The present invention has been made to solve the above problems, the first object of the present invention is to form a pattern by a new method in order to be able to manufacture a liquid crystal display device in a shorter process time at a lower cost A second object of the present invention is to provide a method of manufacturing a liquid crystal display device using the pattern forming method.

본 발명은 상기와 같은 제1목적을 달성하기 위해서, 기판 상에 패턴물질을 도포하는 공정(제1공정), 상기 패턴물질 중 소정의 패턴을 구성하는 부분을 경화시키는 공정(제2공정) 및 경화되지 아니한 부분을 제거하는 공정(제3공정)으로 이루어진 패턴 형성 방법을 제공한다.In order to achieve the first object as described above, the present invention is a step of applying a pattern material on a substrate (first step), a step of curing a portion constituting a predetermined pattern of the pattern material (second step) and Provided is a pattern forming method comprising a step (third step) of removing an uncured portion.

즉, 패턴물질층 중 소정의 패턴을 구성하는 부분만을 경화시키면 경화된 부분이 경화되지 않는 부분보다 기판과의 접착력이 강하게 되어, 경화되지 않는 부분을 기판으로부터 쉽게 제거할 수 있다. 본 발명은 이와 같은 특성을 이용하여 간단한 방법으로 기판 상에 패턴을 형성하는 것으로, 종래 포토리소그래피 공정과 달리 현상공정 등이 필요하지 않고, 종래 인쇄방법과 달리 인쇄판이 필요하지 않게 된다.That is, when only the portion constituting the predetermined pattern of the pattern material layer is cured, the adhesive strength with the substrate is stronger than the portion where the cured portion is not cured, and thus the portion that is not cured can be easily removed from the substrate. According to the present invention, a pattern is formed on a substrate by a simple method using such characteristics, and unlike a conventional photolithography process, a developing process is not required, and unlike a conventional printing method, a printing plate is not required.

이 때, 기판 상에 패턴물질을 도포하는 공정(제1공정)은 기판 상에 패턴물질을 적하하는 공정 및 기판을 회전시키는 공정으로 이루어질 수 있다.At this time, the step of applying the pattern material on the substrate (first step) may be made of a step of dropping the pattern material on the substrate and a step of rotating the substrate.

또한, 기판 상에 패턴물질을 도포하는 공정(제1공정)은 인쇄노즐에서 패턴물질을 배출하는 공정 및 기판을 이동하는 공정으로 이루어질 수 있다.In addition, the process of applying the pattern material on the substrate (first process) may be made of a process of discharging the pattern material from the printing nozzle and a process of moving the substrate.

또한, 기판 상에 패턴물질을 도포하는 공정(제1공정)은 인쇄롤에 패턴물질을 도포하는 공정 및 인쇄롤을 회전시켜 기판 상에 패턴물질을 전사하는 공정으로 이루어질 수 있다.In addition, the process of applying the pattern material on the substrate (first process) may be made of a process of applying the pattern material to the printing roll and a process of transferring the pattern material on the substrate by rotating the printing roll.

상기 패턴물질 중 소정의 패턴을 구성하는 부분을 경화시키는 공정(제2공정)은 상기 패턴물질 중 소정의 패턴을 구성하는 부분에 광을 조사하는 공정으로 이루 어질 수 있다.The step of curing the portion constituting the predetermined pattern of the pattern material (second step) may be a step of irradiating light to the portion constituting the predetermined pattern of the pattern material.

이 때, 상기 패턴물질 중 소정의 패턴을 구성하는 부분에 광을 조사하는 공정은 패턴을 구성하는 부분 이외의 부분을 마스크로 가리고 기판 전면에 광을 조사하는 공정으로 이루어질 수 있다.At this time, the step of irradiating light to the portion constituting the predetermined pattern of the pattern material may be made of a process of irradiating light on the entire surface of the substrate with a mask other than the portion constituting the pattern.

또한, 상기 패턴물질 중 소정의 패턴을 구성하는 부분에 광을 조사하는 공정은 패턴을 구성하는 부분에만 광을 조사하는 공정으로 이루어질 수 있다.In addition, the step of irradiating light to a portion constituting a predetermined pattern of the pattern material may be a step of irradiating light only to the portion constituting the pattern.

이 때, 상기 패턴물질 중 소정의 패턴을 구성하는 부분에만 광을 조사하는 공정은 광원으로 레이저를 이용하는 공정으로 이루어질 수 있다.At this time, the step of irradiating light only to a portion of the pattern material constituting a predetermined pattern may be made of a process using a laser as a light source.

상기 경화되지 아니한 부분을 제거하는 공정(제3공정)은 롤을 회전하여 경화되지 아니한 부분을 제거하는 공정으로 이루어질 수 있다.The process of removing the uncured portion (third process) may be performed by rotating the roll to remove the uncured portion.

또한, 본 발명은 상기 제2목적을 달성하기 위해서, 제1기판 상에 차광층을 형성하는 공정, 상기 차광층을 포함하는 제1기판 상에 컬러필터층을 형성하는 공정, 제2기판을 준비하는 공정 및 상기 제1기판 및 제2기판 사이에 액정층을 형성하는 공정을 포함하여 이루어지며, 상기 제1기판 상에 차광층을 형성하는 공정, 상기 컬러필터층을 형성하는 공정 중 적어도 하나의 공정은, 전술한 패턴 형성 방법에 따르는 공정으로 이루어질 수 있다.The present invention also provides a method of forming a light shielding layer on a first substrate, a process of forming a color filter layer on a first substrate including the light shielding layer, and a second substrate in order to achieve the second object. And forming a liquid crystal layer between the first substrate and the second substrate, wherein forming at least one light blocking layer on the first substrate and forming the color filter layer include: It may be made by a process according to the pattern formation method described above.

상기 제2기판을 준비하는 공정은, 전술한 패턴 형성 방법에 따르는 공정을 이용하여, 상기 제2기판 상에 서로 종횡으로 교차되어 화소영역을 정의하는 게이트 배선 및 데이터 배선과, 상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차 영역에 박막트랜지스터와, 상기 박막트랜지스터를 포함하는 제1기판 상에 보호막과, 상기 보호막 상부에 상기 박막트랜지스터의 드레인 전극에 접속되는 화소전극을 형성하는 공정을 포함하여 이루어질 수 있다.The process of preparing the second substrate may include a gate wiring and a data wiring that cross each other on the second substrate vertically and horizontally to define a pixel region using a process according to the pattern forming method described above. And forming a thin film transistor at a crossing region of the wiring, a passivation layer on the first substrate including the thin film transistor, and a pixel electrode connected to the drain electrode of the thin film transistor on the passivation layer.

이 때, 상기 제1기판 및 제2기판 사이에 액정층을 형성하는 공정은, 상기 제1기판 또는 제2기판 중 어느 하나의 기판에 주입구 없는 씨일재를 형성하고, 상기 씨일재가 형성된 기판에 액정을 적하한 후 양 기판을 합착하는 공정으로 이루어질 수 있다.At this time, the step of forming a liquid crystal layer between the first substrate and the second substrate, forming a sealing material without the injection hole on any one of the first substrate or the second substrate, the liquid crystal on the substrate formed with the seal material After the addition of the two substrates may be bonded to each other.

또한, 상기 제1기판 및 제2기판 사이에 액정층을 형성하는 공정은, 상기 제1기판 또는 제2기판 중 어느 하나의 기판에 주입구가 형성되도록 씨일재를 형성한 후 양 기판을 합착하고, 그 후에 상기 주입구를 통해 액정을 주입하여 형성할 수 있다.In addition, the process of forming a liquid crystal layer between the first substrate and the second substrate, after forming a seal material so that the injection hole is formed in any one of the first substrate or the second substrate and then bonded both substrates, Thereafter, the liquid crystal may be injected and formed through the injection hole.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

1. 패턴형성방법1. Pattern formation method

우선, 도 3a에서 알 수 있듯이, 투명기판(100) 상에 패턴물질층(200)을 형성한다.First, as shown in FIG. 3A, the pattern material layer 200 is formed on the transparent substrate 100.

상기 패턴물질층(200)을 형성하는 바람직한 방법을 도 4a 내지 도4c를 참조하여 구체적으로 설명하기로 한다.A preferred method of forming the pattern material layer 200 will be described in detail with reference to FIGS. 4A to 4C.

첫째, 도 4a에서 알 수 있듯이, 투명기판(100) 상에 패턴물질(200)을 적하한 후, 투명기판(100)을 회전시키는 공정을 통해 상기 패턴물질층(200)을 형성할 수 있다.First, as shown in FIG. 4A, the pattern material layer 200 may be formed by dropping the pattern material 200 on the transparent substrate 100 and then rotating the transparent substrate 100.

둘째, 도 4b에서 알 수 있듯이, 인쇄노즐(250)에서 패턴물질(200)을 배출하고, 투명기판(100)을 이동시키면서 패턴물질층(200)을 형성할 수 있다.Second, as shown in FIG. 4B, the pattern material 200 may be discharged from the printing nozzle 250, and the pattern material layer 200 may be formed while moving the transparent substrate 100.

셋째, 도 4c에서 알 수 있듯이, 투명기판(100) 상에서 패턴물질(200)이 도포된 인쇄롤(270)을 회전시켜 패턴물질층(200)을 형성할 수 있다.Third, as can be seen in FIG. 4C, the pattern material layer 200 may be formed by rotating the printing roll 270 coated with the pattern material 200 on the transparent substrate 100.

이와 같이 도 4a 내지 도 4c와 같은 방법으로 투명기판(100) 상에 패턴물질층(200)을 형성할 수 있는데, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.As described above, the pattern material layer 200 may be formed on the transparent substrate 100 in the same manner as in FIGS. 4A to 4C, but is not limited thereto.

그 후, 도 3b에서 알 수 있듯이, 상기 패턴물질층 중 소정의 패턴을 구성하는 부분(200a)을 경화시킨다. Thereafter, as shown in FIG. 3B, the portion 200a constituting a predetermined pattern of the pattern material layer is cured.

상기 패턴물질층 중 소정의 패턴을 구성하는 부분(200a)을 경화시키는 바람직한 방법을 도 5a 내지 5b를 참조하여 구체적으로 설명하기로 한다.A preferred method of curing the portion 200a constituting a predetermined pattern of the pattern material layer will be described in detail with reference to FIGS. 5A to 5B.

첫째, 도 5a에서 알 수 있듯이, 상기 패턴물질층 중 소정의 패턴을 구성하는 부분(200a) 이외의 부분(200b)을 마스크(230)로 가리고 기판(100) 전면에 광을 조사하여 상기 패턴물질층(200) 중 소정의 패턴을 구성하는 부분(200a)을 경화시킬 수 있다.First, as shown in FIG. 5A, a portion of the pattern material layer 200b other than the portion 200a constituting a predetermined pattern is covered with a mask 230 and the entire surface of the substrate 100 is irradiated with light to expose the pattern material. The portion 200a constituting the predetermined pattern of the layer 200 may be cured.

둘째, 도 5b에서 알 수 있듯이, 상기 패턴물질층(200) 중 소정의 패턴을 구성하는 부분(200a)에만 광을 조사하여 상기 패턴물질층(200) 중 소정의 패턴을 구성하는 부분(200a)을 경화시킬 수 있다.Second, as can be seen in Figure 5b, by irradiating light only to the portion of the pattern material layer 200 constituting a predetermined pattern 200a portion 200a constituting a predetermined pattern of the pattern material layer 200 Can be cured.

이 때, 상기 패턴물질층(200) 중 소정의 패턴을 구성하는 부분(200a)에만 광을 조사하는 경우 상기 광원(700)으로 레이저를 이용할 수 있다.In this case, when light is irradiated only to the portion 200a of the pattern material layer 200 constituting a predetermined pattern, a laser may be used as the light source 700.

레이저를 이용하여 패턴물질층(200) 중 소정의 패턴을 구성하는 부분(200a) 만을 경화시키는 경우 비교적 고가인 마스크가 필요하지 않게 되어 제조비용이 절감된다.When only the portion 200a of the pattern material layer 200 constituting a predetermined pattern is cured using a laser, a relatively expensive mask is not required, thereby reducing manufacturing costs.

이와 같이 도 5a 내지 도 5b와 같은 방법으로 상기 패턴물질층(200) 중 소정의 패턴을 구성하는 부분(200a)을 경화시킬 수 있는데, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.As described above, the portion 200a constituting the predetermined pattern of the pattern material layer 200 may be cured in the same manner as in FIGS. 5A to 5B, but is not limited thereto.

그 후, 도 3c에서 알 수 있듯이, 경화되지 아니한 부분(200b)을 투명기판(100)으로부터 제거하여 소정 형상의 패턴(200a)을 형성한다. Thereafter, as shown in FIG. 3C, the uncured portion 200b is removed from the transparent substrate 100 to form a pattern 200a having a predetermined shape.

이 때, 상기 경화되지 아니한 부분(200b)을 투명기판(100)으로부터 제거하는 공정은 롤(800)을 이용하여 간단히 수행할 수 있다.In this case, the process of removing the uncured portion 200b from the transparent substrate 100 may be simply performed using the roll 800.

이는, 패턴물질층 중 소정의 패턴을 구성하는 부분(200a)을 경화시키면 경화된 부분(200a)이 경화되지 않은 부분(200b)보다 기판과의 접착력이 강하게 되어, 롤(800)을 이용하여 경화되지 않는 부분을 기판으로부터 쉽게 제거할 수 있기 때문이다.This is because when the portion 200a constituting a predetermined pattern of the pattern material layer is cured, the adhesive strength with the substrate is stronger than the portion 200b where the cured portion 200a is not cured and is cured by using the roll 800. This is because the part that is not used can be easily removed from the substrate.

2. 액정표시소자의 제조방법2. Manufacturing method of liquid crystal display device

도 6a 내지 도 6d는 본 발명의 실시예에 따른 액정표시소자용 기판의 제조방법을 개략적으로 도시한 공정 단면도이다.6A through 6D are cross-sectional views schematically illustrating a method of manufacturing a substrate for a liquid crystal display device according to an exemplary embodiment of the present invention.

우선, 도 6a에서 알 수 있듯이, 제1기판(300) 상에 차광층(320)을 형성한다.First, as shown in FIG. 6A, the light blocking layer 320 is formed on the first substrate 300.

그 후, 도 6b에서 알 수 있듯이, 상기 차광층(320)을 포함하는 제1기판(300) 상에 컬러필터층(340)을 형성한다.Thereafter, as shown in FIG. 6B, the color filter layer 340 is formed on the first substrate 300 including the light blocking layer 320.

여기서, 상기 차광층을 형성하는 공정(도 6a 참조), 상기 컬러필터층을 형성 하는 공정(도 6b 참조) 중 적어도 하나의 공정은, 전술한 패턴 형성 방법의 실시예에 따르는 공정으로 형성된다.Here, at least one of the process of forming the light shielding layer (see FIG. 6A) and the process of forming the color filter layer (see FIG. 6B) is formed by the process according to the embodiment of the pattern forming method described above.

그 후, 도 6c에서 알 수 있듯이, 제2기판(400)을 준비한다.Thereafter, as shown in FIG. 6C, the second substrate 400 is prepared.

상기 제2기판을 준비하는 공정은, 도시하지는 아니하였으나, 전술한 패턴 형성 방법의 실시예에 따르는 공정을 이용하여, 상기 제2기판 상에 서로 종횡으로 교차되어 화소영역을 정의하는 게이트 배선 및 데이터 배선과, 상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차 영역에 박막트랜지스터와, 상기 박막트랜지스터를 포함하는 제1기판 상에 보호막과, 상기 보호막 상부에 상기 박막트랜지스터의 드레인 전극에 접속되는 화소전극을 형성하는 공정을 포함하여 이루어질 수 있다.Although not illustrated, the process of preparing the second substrate may be performed by using a process according to the embodiment of the pattern forming method described above, and the gate wiring and the data defining the pixel region by crossing vertically and horizontally on the second substrate. Forming a passivation layer on a wiring, a thin film transistor at an intersection region of the gate line and the data line, a protective film on a first substrate including the thin film transistor, and a pixel electrode connected to the drain electrode of the thin film transistor on the passivation layer. It may be made, including.

그 후, 도 6d에서 알 수 있듯이, 상기 제1기판(300) 및 제2기판(400) 사이에 액정층(500)을 형성한다.Thereafter, as shown in FIG. 6D, the liquid crystal layer 500 is formed between the first substrate 300 and the second substrate 400.

이 때, 상기 액정층(500)을 형성하는 공정은 제1기판(300) 및 제2기판(400) 중 어느 하나의 기판에 주입구 없는 씨일재를 형성하고, 씨일재가 형성된 기판에 액정을 적하한 후 양 기판을 합착하여 형성할 수 있다.At this time, the process of forming the liquid crystal layer 500 forms a sealing material without an injection hole on any one of the first substrate 300 and the second substrate 400, and dropping the liquid crystal onto the substrate on which the sealing material is formed. After that, both substrates may be bonded to each other.

또한, 상기 액정층(500)을 형성하는 공정은 제1기판(300) 및 제2기판(400) 중 어느 하나의 기판에 주입구 형성되도록 씨일재를 형성한 후 양 기판을 합착하고, 그 후에 상기 주입구를 통해 모세관 현상과 압력차를 이용하여 액정을 주입하여 형성할 수 있다.In addition, in the process of forming the liquid crystal layer 500, after forming a seal material to form an injection hole in any one of the first substrate 300 and the second substrate 400, and then bonded both substrates, The liquid crystal may be formed by using a capillary phenomenon and a pressure difference through the injection hole.

상기 구성에 의한 본 발명에 따르면, 패턴물질층 중 소정의 패턴을 구성하는 부분을 경화하고, 경화되지 아니한 부분은 제거하여 패턴을 형성하므로, 종래 인쇄방법과 달리 인쇄판을 요하지 않아 제조비용이 절감되며, 인쇄판 세정공정이 필요치 않아 제조공정도 단축된다.According to the present invention by the above configuration, because the part constituting a predetermined pattern of the pattern material layer is cured, and the part that is not cured is formed to form a pattern, unlike the conventional printing method does not require a printing plate to reduce the manufacturing cost In addition, the printing plate cleaning process is not necessary, and the manufacturing process is also shortened.

또한, 패턴물질층 중 소정의 패턴을 구성하는 부분을 경화시키면 경화된 부분이 경화되지 않은 부분보다 기판과의 접착력이 강하게 되어, 롤을 이용하여 경화되지 않는 부분을 기판으로부터 쉽게 제거할 수 있어 종래 포토리소그래피공정과 달리 현상공정이 필요치 않아 공정이 단순화된다.In addition, when the part constituting the predetermined pattern of the pattern material layer is cured, the cured part has stronger adhesive force with the substrate than the uncured part, and the part which is not cured using a roll can be easily removed from the substrate. Unlike the photolithography process, a developing process is not necessary, which simplifies the process.

또한, 레이저를 이용하여 패턴물질층 중 소정의 패턴을 구성하는 부분을 경화할 수 있어 마스크가 필요하지 않게 되어 제조비용이 절감된다.  In addition, the laser can be used to cure a portion of the pattern material layer constituting a predetermined pattern, which eliminates the need for a mask, thereby reducing manufacturing costs.

Claims (13)

상부면이 평탄한 기판 상에 패턴물질을 도포하는 공정; Applying a pattern material on a substrate having a flat top surface; 상기 패턴물질을 부분적으로 경화시키는 공정; 및 Partially curing the pattern material; And 상기 패턴물질 상에서 롤을 회전시켜 상기 패턴물질 중 경화되지 아니한 부분을 제거하여, 상기 패턴물질 중 상기 기판 상에 남아있는 경화된 부분이 패턴을 구성하는 공정으로 이루어진 패턴 형성 방법.Rotating the roll on the pattern material to remove an uncured portion of the pattern material, wherein the cured portion remaining on the substrate constitutes a pattern. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 기판 상에 패턴물질을 도포하는 공정은The process of applying the pattern material on the substrate 기판 상에 패턴물질을 적하하는 공정; 및 Dropping a pattern material on the substrate; And 기판을 회전시키는 공정으로 이루어진 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법.Pattern forming method comprising the step of rotating the substrate. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 기판 상에 패턴물질을 도포하는 공정은The process of applying the pattern material on the substrate 인쇄노즐에서 패턴물질을 배출하는 공정; 및Discharging the pattern material from the printing nozzle; And 기판을 이동하는 공정으로 이루어진 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법.The pattern formation method characterized by the process of moving a board | substrate. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 기판 상에 패턴물질을 도포하는 공정은The process of applying the pattern material on the substrate 인쇄롤에 패턴물질을 도포하는 공정; 및 Applying a pattern material to a printing roll; And 인쇄롤을 회전시켜 기판 상에 패턴물질을 전사하는 공정으로 이루어진 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법.The pattern forming method comprising the step of transferring the pattern material on the substrate by rotating the printing roll. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 패턴물질을 부분적으로 경화시키는 공정은The process of partially curing the pattern material 상기 패턴물질 중 소정의 패턴을 구성하는 부분에 광을 조사하는 공정으로 이루어진 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법.And a step of irradiating light to a portion constituting a predetermined pattern of the pattern material. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 패턴물질 중 소정의 패턴을 구성하는 부분에 광을 조사하는 공정은 The step of irradiating light to the portion constituting a predetermined pattern of the pattern material 패턴을 구성하는 부분 이외의 부분을 마스크로 가리고 기판 전면에 광을 조사하는 공정으로 이루어진 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법.A pattern forming method comprising the step of covering a portion other than a portion constituting the pattern with a mask and irradiating light on the entire surface of the substrate. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 패턴물질 중 소정의 패턴을 구성하는 부분에 광을 조사하는 공정은 The step of irradiating light to the portion constituting a predetermined pattern of the pattern material 패턴을 구성하는 부분에만 광을 조사하는 공정으로 이루어진 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법.The pattern formation method characterized by the process of irradiating light only to the part which comprises a pattern. 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 패턴물질 중 소정의 패턴을 구성하는 부분에만 광을 조사하는 공정은The step of irradiating light only to a portion of the pattern material constituting a predetermined pattern 상기 광으로 레이저를 이용하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법.The pattern forming method characterized by using a laser as the light. 삭제delete 제1기판 상에 차광층을 형성하는 공정;Forming a light shielding layer on the first substrate; 상기 차광층을 포함하는 제1기판 상에 컬러필터층을 형성하는 공정;Forming a color filter layer on the first substrate including the light blocking layer; 제2기판을 준비하는 공정; 및Preparing a second substrate; And 상기 제1기판 및 제2기판 사이에 액정층을 형성하는 공정을 포함하여 이루어지며,And forming a liquid crystal layer between the first substrate and the second substrate, 상기 제1기판 상에 차광층을 형성하는 공정, 상기 컬러필터층을 형성하는 공정 중 적어도 하나의 공정은, 상기 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 의해 패턴을 형성하는 공정으로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정표시소자 제조방법.At least one of the steps of forming the light blocking layer on the first substrate and the step of forming the color filter layer comprises a step of forming a pattern according to any one of claims 1 to 8. Liquid crystal display device manufacturing method. 제10항에 있어서,The method of claim 10, 상기 제2기판을 준비하는 공정은,The process of preparing the second substrate, 상기 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 의해 패턴을 형성하는 공정을 이용하여 상기 제2기판 상에 서로 종횡으로 교차되어 화소영역을 정의하는 게이트 배선 및 데이터 배선과, 상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차 영역에 박막트랜지스터와, 상기 박막트랜지스터를 포함하는 제1기판 상에 보호막과, 상기 보호막 상부에 상기 박막트랜지스터의 드레인 전극에 접속되는 화소전극을 형성하는 공정을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정표시소자 제조방법.A gate wiring and a data wiring crossing each other vertically and horizontally on the second substrate using a process of forming a pattern according to any one of claims 1 to 8 to define a pixel region; and the gate wiring and data Forming a thin film transistor at a cross region of the wiring, a protective film on the first substrate including the thin film transistor, and a pixel electrode connected to the drain electrode of the thin film transistor on the protective film. Liquid crystal display device manufacturing method. 제10항에 있어서,The method of claim 10, 상기 제1기판 및 제2기판 사이에 액정층을 형성하는 공정은The process of forming a liquid crystal layer between the first substrate and the second substrate is 상기 제1기판 또는 제2기판 중 어느 하나의 기판에 주입구 없는 씨일재를 형성하고,Forming a sealing material without an injection hole on any one of the first substrate and the second substrate, 상기 씨일재가 형성된 기판에 액정을 적하한 후, 양 기판을 합착하는 공정으로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정표시소자 제조방법.And dropping the liquid crystal onto the substrate on which the seal material is formed, and then bonding both substrates together. 제10항에 있어서,The method of claim 10, 상기 제1기판 및 제2기판 사이에 액정층을 형성하는 공정은The process of forming a liquid crystal layer between the first substrate and the second substrate is 상기 제1기판 또는 제2기판 중 어느 하나의 기판에 주입구가 형성되도록 씨일 형성하고,Sealing is formed to form an injection hole in any one of the first substrate or the second substrate, 양 기판을 합착한 후, 상기 액정 주입구에 액정을 주입하는 공정으로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정표시소자 제조방법.After bonding both substrates, the liquid crystal display device manufacturing method comprising the step of injecting a liquid crystal into the liquid crystal injection port.
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