KR101258486B1

KR101258486B1 - A gate valve

Info

Publication number: KR101258486B1
Application number: KR1020100019915A
Authority: KR
Inventors: 최상환
Original assignee: 주식회사 에스알티
Priority date: 2010-03-05
Filing date: 2010-03-05
Publication date: 2013-04-26
Also published as: KR20110100859A

Abstract

본 발명에 의하면, 챔버에 연결되는 유입부와 진공펌프에 연결되는 유출부를 가지는 유체통로와 상기 유체통로에 직교방향으로 관통하는 슬라이드공간을 가지는 하우징; 상기 슬라이드공간 내에 위치되어 유체통로를 완전 개폐 또는 소프트 개방시키는 유체통로밀폐부재; 상기 유체통로밀폐부재를 상기 슬라이드공간 내에 이동시키도록 전/후진 구동하는 메인액츄에이터; 상기 유체통로밀폐부재와 메인액츄에이터에 연결되어 상기 메인액츄에이터의 전/후진 구동을 유체통로밀폐부재에 전달하는 링크부재; 및 상기 메인액츄에이터의 전단에 직렬 연결되어 상기 유체통로를 밀폐한 유체통로밀폐부재가 유체통로로부터 일정간격 이격되도록 메인액츄에이터를 강제로 일정거리 후진 구동시켜 상기 유체통로가 소프트 개방되도록 하여 상기 유체통로와 슬라이드공간 및 진공펌프 사이의 압력차 발생을 억제시키는 보조액츄에이터를 포함하는 게이트 밸브가 제공된다.According to the present invention, a housing having a fluid passage having an inlet connected to the chamber and an outlet connected to a vacuum pump and a slide space penetrating the fluid passage perpendicularly; A fluid passage sealing member positioned in the slide space to completely open or soft open the fluid passage; A main actuator for driving forward / backward to move the fluid passage sealing member in the slide space; A link member connected to the fluid passage sealing member and the main actuator to transfer the forward / backward driving of the main actuator to the fluid passage sealing member; And the fluid passage sealing member connected in series with the front end of the main actuator to forcibly drive the main actuator backward for a predetermined distance so that the fluid passage sealing member sealing the fluid passage is spaced apart from the fluid passage so as to softly open the fluid passage. A gate valve is provided that includes an auxiliary actuator that suppresses the occurrence of a pressure difference between the slide space and the vacuum pump.

Description

A gate valve

본 발명은 게이트 밸브에 관한 것으로, 보다 상세하게는 유체통로 내부에서 유체통로를 개폐시키는 유체통로밀폐부재가 유체통로의 완전 개방 이전에 보조액츄에이터에 의해 상기 유체통로로부터 일정간격 이격되어 유체통로를 소프트 개방시켜 유체통로와 유체통로밀폐부재가 위치되는 슬라이드공간 사이의 압력차 발생을 억제시켜 진공펌프의 과부하를 방지하고 슬라이드공간에 파티클이 유입되는 것을 방지할 수 있는 게이트 밸브에 관한 것이다. The present invention relates to a gate valve, and more particularly, a fluid passage sealing member for opening and closing a fluid passage in a fluid passage is spaced a predetermined distance from the fluid passage by an auxiliary actuator before the fluid passage is completely opened to soften the fluid passage. The present invention relates to a gate valve capable of preventing an overload of a vacuum pump and preventing particles from flowing into the slide space by opening the pressure path between the fluid passage and the slide space in which the fluid passage sealing member is located.

일반적으로 반도체는 고정밀도를 요구하므로 높은 청결도와 특수한 제조기술이 요구되고 있다. 이러한 이유로 반도체 소자는 공기 중에 포함된 이물질의 접촉을 가장 완벽하게 차단할 수 있는 진공상태에서 제조되며, 반도체 제조장치의 진공 작업구역과 대기와의 밀폐기술도 반도체 제품의 품질에 많은 영향을 준다.In general, semiconductors require high precision, and therefore, high cleanliness and special manufacturing technology are required. For this reason, the semiconductor device is manufactured in a vacuum state in which the contact of the foreign substances contained in the air can be most completely blocked, and the vacuum working area of the semiconductor manufacturing apparatus and the airtight sealing technique also greatly affect the quality of the semiconductor product.

따라서 반도체 소자의 집적공정이 이루어지는 챔버와 상기 챔버내의 공기를 흡입하는 진공펌프와의 사이에 설치되어, 진공펌프의 흡입력이 챔버로 전달되는 것을 개폐하는 게이트 밸브가 중요한 역할을 담당하게 되므로, 그 수명을 유지하기 위한 노력 또한 중요한 문제점으로 대두되고 있으며, 이를 위하여 특허등록 제10-0446455호 등과 같은 '게이트 밸브'가 개시되고 있다.Therefore, the gate valve, which is installed between the chamber in which the semiconductor element integration process is performed and the vacuum pump that sucks air in the chamber, plays an important role because the gate valve that opens and closes the transfer of suction power of the vacuum pump to the chamber plays an important role. Efforts to maintain this also has emerged as an important problem, for this purpose 'gate valve' such as patent registration No. 10-0446455 is disclosed.

이하, 도면을 참조하여 종래의 게이트 밸브에 대해 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a conventional gate valve will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1a와 도 1b는 각각 종래의 게이트 밸브를 나타낸 사시도와 측단면도이다.1A and 1B are a perspective view and a side cross-sectional view, respectively, of a conventional gate valve.

도 1a와 도 1b에 도시된 바와 같이, 종래의 게이트 밸브는, 메인게이트밸브(10)와 보조게이트밸브(20)가 구비되되, 상기 메인게이트밸브(10)에는 유입구를 포함하는 유입부(11)와 유출구를 포함하는 유출부(12) 및 상기 유입부(11)와 유출부(12)를 연결하는 메인유체통로(13)가 자신의 내측에 형성되고, 상기 유입부(11)와 유출부(12)를 연결하는 보조유체통로(14) 및 상기 보조유체통로(14)와 연결되며 유입구가 자신의 외부로 노출되는 세정가스통로(15)가 자신의 벽 내부에 형성되는 몸체(15)와, 디스크(16)가 상기 메인유체통로(13)를 개폐하도록 디스크(16)를 슬라이딩시키는 액츄에이터(17)가 구비되며, 상기 보조게이트밸브(20)에는 상기 보조유체통로(14)를 개폐하도록 설치되는 보조디스크(21)와, 상기 보조디스크(21)가 상기 보조유체통로(14)를 개폐하도록 상기 보조디스크(21)를 슬라이딩시켜 상기 보조유체통로(14)를 개폐시키는 보조액츄에이터(22)가 형성되어, 메인유체통로(13)의 개방시 상기 보조게이트밸브(20)의 보조유체통로(14)를 먼저 개방시켜 유입부(11)로 유입된 챔버의 공기가 보조유체통로(14)를 통하여 진공펌프 측으로 배출되도록 하고, 이어서 상기 메인게이트밸브(10)가 메인유체통로(13)를 개방시켜 유입부(11)로 유입된 챔버의 공기가 메인유체통로(14)를 통하여 진공펌프 측으로 배출되도록 하여, 상기 메인유체통로(13)의 개방시 발생되는 챔버와 진공펌프 및 메인유체통로(13) 사이의 압력차를 제거하여 진공펌프 등의 설비에 과부하가 발생하지 않도록 하고 있다.1A and 1B, the conventional gate valve includes a main gate valve 10 and an auxiliary gate valve 20, and the main gate valve 10 includes an inlet 11 including an inlet. ) And an outlet portion 12 including an outlet and a main fluid passage 13 connecting the inlet portion 11 and the outlet portion 12 are formed inside thereof, and the inlet portion 11 and the outlet portion The body 15 which is connected to the auxiliary fluid passage 14 and the auxiliary fluid passage 14 connecting the 12 and the cleaning gas passage 15 in which the inlet is exposed to the outside thereof is formed inside the wall thereof. An actuator 17 is provided to slide the disc 16 so that the disc 16 opens and closes the main fluid passage 13. The auxiliary gate valve 20 is installed to open and close the auxiliary fluid passage 14. The auxiliary disk 21 and the auxiliary disk 21 to open and close the auxiliary fluid passage 14. An auxiliary actuator 22 is formed to slide the screed 21 to open and close the auxiliary fluid passage 14, thereby opening the auxiliary fluid passage 14 of the auxiliary gate valve 20 when the main fluid passage 13 is opened. First, the air in the chamber introduced into the inlet 11 is discharged to the vacuum pump side through the auxiliary fluid passage 14, and then the main gate valve 10 opens the main fluid passage 13 to open the inlet. Air of the chamber introduced into the (11) is discharged to the vacuum pump side through the main fluid passage 14, between the chamber and the vacuum pump and the main fluid passage 13 generated when the main fluid passage 13 is opened The pressure difference is eliminated to prevent overloading of equipment such as vacuum pumps.

그러나 상기와 같은 종래의 게이트 밸브는, 상기 메인유체통로(13)의 개방에 따른 챔버와 진공펌프 및 메인유체통로(13) 사이의 압력차를 제거하기 위해서 별도로 메인유체통로(13)의 일측에 보조유체통로(14)가 형성되기 때문에, 상기 보조유체통로(14)의 초기 개방시 압력차에 의해 상기 보조유체통로(14)에 파티클이 유입되는 문제점이 있다.However, the conventional gate valve as described above, separately to one side of the main fluid passage 13 in order to remove the pressure difference between the chamber and the vacuum pump and the main fluid passage 13 according to the opening of the main fluid passage (13). Since the auxiliary fluid passage 14 is formed, there is a problem that particles are introduced into the auxiliary fluid passage 14 due to the pressure difference at the initial opening of the auxiliary fluid passage 14.

또한, 상기와 같이, 상기 보조유체통로(14)에 파티클이 유입되는 경우 구성부들의 동작 불량을 초래하여 가스공급을 정확하게 제어할 수 없고 이는, 결국 반도체 소자 또는 웨이퍼의 생산 효율을 저하시키게 되는 문제점이 있다. In addition, as described above, when particles are introduced into the auxiliary fluid passage 14, the operation of the components may be inaccurate and gas supply cannot be accurately controlled, which in turn lowers the production efficiency of the semiconductor device or the wafer. There is this.

또한, 상기 보조유체통로(14)에 유입된 파티클을 제거하기 위해서는 상기 보조유체통로(14)에 세정가스를 주입하기 위한 세정가스통로(15)를 별도로 더 형성하여야 하는 번거로움이 있다.In addition, in order to remove particles introduced into the auxiliary fluid passage 14, it is cumbersome to separately form a cleaning gas passage 15 for injecting the cleaning gas into the auxiliary fluid passage 14.

따라서 본 발명의 목적은 유체통로 내부에서 유체통로를 개폐시키는 유체통로밀폐부재가 유체통로의 완전 개방 이전에 보조액츄에이터에 의해 상기 유체통로로부터 일정 간격 이격되어 유체통로를 소프트 개방시켜 유체통로와 유체통로밀폐부재가 위치되는 슬라이드공간 사이의 압력차 발생을 억제시켜 진공펌프의 과부하를 방지하고 슬라이드공간에 파티클이 유입되는 것을 방지할 수 있는 게이트 밸브를 제공하는 것이다. Accordingly, an object of the present invention is that the fluid passage sealing member for opening and closing the fluid passage in the fluid passage is spaced apart from the fluid passage by a second actuator at a predetermined interval before the full opening of the fluid passage, thereby softly opening the fluid passage so as to softly open the fluid passage and the fluid passage. It is to provide a gate valve that can suppress the occurrence of the pressure difference between the slide space where the sealing member is located to prevent the overload of the vacuum pump and to prevent particles from flowing into the slide space.

한편, 본 발명의 목적은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.Meanwhile, the object of the present invention is not limited to the above-mentioned objects, and other objects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

여기서, 상기 게이트 밸브는, 상기 유입부와 유출부가 결합되는 유체통로의 플랜지에 구비되어 유체통로의 몸체를 가열시켜 상기 유체통로밀폐부재에 열이 전달되도록 하여 파티클의 침을 억제하는 히팅부재를 더 포함하는 것이 바람직하다.Here, the gate valve is provided on the flange of the fluid passage coupled to the inlet and the outlet is heated to the body of the fluid passage to heat transfer to the fluid passage sealing member to further suppress the heating member to suppress the particle needles It is preferable to include.

따라서 본 발명에 의하면, 유체통로 내부에서 유체통로를 개폐시키는 유체통로밀폐부재가 유체통로의 개방 이전에 보조액츄에이터에 의해 상기 유체통로로부터 일정간격 이격되어 유체통로를 소프트 개방시킴으로써, 유체통로와 슬라이드공간 및 진공펌프 사이의 압력차 발생을 억제시킬 수 있다.Therefore, according to the present invention, the fluid passage sealing member for opening and closing the fluid passage inside the fluid passage is softly opened by the auxiliary actuator at a predetermined interval from the fluid passage before opening the fluid passage, thereby softly opening the fluid passage and the slide space. And generation of a pressure difference between the vacuum pumps can be suppressed.

또한, 상기 유체통로밀폐부재에 의해 밀폐되는 유체통로의 플랜지에 히팅부재를 구비하여 유체통로밀폐부재에 제공되는 열에 의해 유체통로와 유체통로밀폐부재에 파티클이 침착되는 것을 방지하여 밸브의 성능을 최적화할 수 있다.In addition, the heating member is provided on the flange of the fluid passage sealed by the fluid passage sealing member to prevent particles from being deposited in the fluid passage and the fluid passage sealing member by heat provided to the fluid passage sealing member to optimize the performance of the valve. can do.

또한, 보조액츄에이터가 유체통로밀폐부재를 이동시키는 메인액츄에이터에 직렬 연결되어 유체통로가 소프트 개방되도록 함으로써, 종래와 같이 보조유체통로와 상기 보조유체통로에 세정가스를 주입하기 위한 별도의 세정가스통로를 형성하지 않아도 되어 그 구성을 간단히 할 수 있다.In addition, the auxiliary actuator is connected in series with the main actuator for moving the fluid passage sealing member so that the fluid passage is softly opened, thereby providing a separate cleaning gas passage for injecting the cleaning gas into the auxiliary fluid passage and the auxiliary fluid passage as in the prior art. It does not need to be formed, and the structure can be simplified.

한편, 본 발명의 효과는 이상에서 언급한 효과로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.On the other hand, the effects of the present invention are not limited to the effects mentioned above, and other effects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the description of the claims.

도 1a와 도 1b는 각각 종래의 게이트 밸브를 나타낸 사시도와 측단면도;
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 게이트 밸브를 나타낸 사시도;
도 3은 도 2의 게이트 밸브를 나타낸 분해사시도;
도 4와 도 5는 각각 도 2의 게이트 밸브에 있어서 유체통로밀폐부재에 의해 유체통로가 완전 밀폐된 상태를 나타낸 평단면도와 측단면도;
도 6과 도 7은 각각 도 2의 게이트 밸브에 있어서 유체통로밀폐부재에 의해 유체통로가 소프트 개방된 상태를 나타낸 평단면도와 측단면도; 및
도 8과 도 9는 각각 도 2의 게이트 밸브에 있어서 유체통로밀폐부재에 의해 유체통로가 완전 개방된 상태를 나타낸 평단면도와 측단면도이다.1A and 1B are a perspective view and a side cross-sectional view, respectively, of a conventional gate valve;
2 is a perspective view showing a gate valve according to a preferred embodiment of the present invention;
3 is an exploded perspective view showing the gate valve of FIG.
4 and 5 are a plan sectional view and a side sectional view showing a state in which the fluid passage is completely sealed by the fluid passage sealing member in the gate valve of FIG. 2, respectively;
6 and 7 are a plan sectional view and a side sectional view showing a state in which the fluid passage is softly opened by the fluid passage sealing member in the gate valve of FIG. 2, respectively; And
8 and 9 are planar cross-sectional and side cross-sectional views, respectively, illustrating a state in which the fluid passage is completely opened by the fluid passage sealing member in the gate valve of FIG. 2.

이하, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세히 설명하기로 한다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 게이트 밸브를 나타낸 사시도이고, 도 3은 도 2의 게이트 밸브를 나타낸 분해사시도이며, 도 4와 도 5는 각각 도 2의 게이트 밸브에 있어서 유체통로밀폐부재에 의해 유체통로가 완전 밀폐된 상태를 나타낸 평단면도와 측단면도이고, 도 6과 도 7은 각각 도 2의 게이트 밸브에 있어서 유체통로밀폐부재에 의해 유체통로가 소프트 개방된 상태를 나타낸 평단면도와 측단면도이며, 도 8과 도 9는 각각 도 2의 게이트 밸브에 있어서 유체통로밀폐부재에 의해 유체통로가 완전 개방된 상태를 나타낸 평단면도와 측단면도이다.Figure 2 is a perspective view showing a gate valve according to a preferred embodiment of the present invention, Figure 3 is an exploded perspective view showing the gate valve of Figure 2, Figures 4 and 5 are the fluid passage sealing member in the gate valve of Figure 2, respectively Fig. 6 and 7 are plan cross-sectional views showing a state in which the fluid passage is softly opened by the fluid passage sealing member in the gate valve of Fig. 2, respectively. 8 and 9 are a planar cross-sectional view and a cross-sectional side view showing a state in which the fluid passage is completely opened by the fluid passage sealing member in the gate valve of FIG. 2, respectively.

도 2 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 게이트 밸브는, 챔버(미도시)에 연결되는 유입부(110)와 진공펌프(미도시)에 연결되는 유출부(120)를 가지는 유체통로(130)와 상기 유체통로(130)에 직교방향으로 관통하는 슬라이드공간(140)을 가지는 하우징(100), 상기 슬라이드공간(140) 내에 위치되어 유체통로(130)를 완전 개폐 또는 소프트 개방시키는 유체통로밀폐부재(200), 상기 유체통로밀폐부재(200)를 상기 슬라이드공간(140) 내에 이동시키도록 전/후진 구동하는 메인액츄에이터(300), 상기 유체통로밀폐부재(200)와 메인액츄에이터(300)에 연결되어 상기 메인액츄에이터(300)의 전/후진 구동을 유체통로밀폐부재(200)에 전달하는 링크부재(400) 및 상기 메인액츄에이터(300)의 전단에 직렬 연결되어 상기 유체통로(130)를 밀폐한 유체통로밀폐부재(200)가 유체통로(130)로부터 일정간격 이격되도록 메인액츄에이터(300)를 강제로 일정거리 후진 구동시켜 상기 유체통로(130)가 소프트 개방되도록 하여 상기 유체통로(130)와 슬라이드공간(140) 및 진공펌프 사이의 압력차 발생을 억제시키는 보조액츄에이터(500)를 포함한다.2 to 9, the gate valve according to the preferred embodiment of the present invention includes an inlet 110 connected to a chamber (not shown) and an outlet 120 connected to a vacuum pump (not shown). A housing 100 having a fluid passage 130 having a) and a slide space 140 orthogonal to the fluid passage 130, and positioned in the slide space 140 to completely open and close the fluid passage 130. Or a fluid passage sealing member 200 for soft opening, a main actuator 300 for driving forward / reverse to move the fluid passage sealing member 200 in the slide space 140, and the fluid passage sealing member 200. And a link member 400 connected to the main actuator 300 and serially connected to the front end of the link member 400 and the main actuator 300 to transfer the forward / backward driving of the main actuator 300 to the fluid passage sealing member 200. Closed fluid passage sealing fluid passage 130 Forcibly driving the main actuator 300 backward by a predetermined distance such that the member 200 is spaced apart from the fluid passage 130 by a predetermined distance so that the fluid passage 130 is softly opened so that the fluid passage 130 and the slide space 140 And an auxiliary actuator 500 for suppressing the generation of a pressure difference between the vacuum pump and the vacuum pump.

여기서, 상기 게이트 밸브는, 상기 유입부(110)와 유출부(120)가 결합되는 유체통로(130)의 플랜지에 구비되어 유체통로(130)의 몸체를 가열시켜 상기 유체통로밀폐부재(200)에 열이 전달되도록 하여 파티클의 침착을 억제하는 히팅부재(미도시)를 포함하는 것이 바람직하다. 상기 히팅부재(미도시)는, 상기 유체통로(130)의 바디 전체가 가열되도록 플랜지에 코일 형태로 일정 간격을 두고 설치되는 히터와, 상기 플랜지의 외측 하우징(100)의 슬라이드공간(140) 외부에 위치되어 상기 히터에 동작전원을 공급하는 전원공급수단을 포함할 수 있다. 또한, 상기 히팅부재(미도시)는 상기 유체통로(130)의 유입부(110)와 유출부(120)의 플랜지뿐만 아니라, 상기 유체통로(130)의 벽 내부 전체에 히터의 히팅코일이 전반적으로 구비되도록 할 수도 있으며, 보다 바람직하게는, 상기 유체통로밀폐부재(200)의 상하면에 히터의 히팅코일이 전반적으로 구비되도록 할 수도 있다.Here, the gate valve is provided on the flange of the fluid passage 130 to which the inlet 110 and the outlet 120 are coupled to heat the body of the fluid passage 130 to the fluid passage sealing member 200. It is preferable to include a heating member (not shown) to allow the heat to be transferred to suppress the deposition of particles. The heating member (not shown), the heater is installed at a predetermined interval in the form of a coil on the flange so that the entire body of the fluid passage 130, and the outside of the slide space 140 of the outer housing 100 of the flange Located in the may include a power supply means for supplying operating power to the heater. In addition, the heating member (not shown) is not only the flange of the inlet 110 and the outlet 120 of the fluid passage 130, the heating coil of the heater in the entire interior of the wall of the fluid passage 130 as a whole It may be provided as, more preferably, the heating coil of the heater may be provided on the upper and lower surfaces of the fluid passage sealing member 200 as a whole.

상기 하우징(100)은 육면체 형상을 가지며 상측과 하측에 챔버에 연결되는 유입부(110)와 진공펌프에 연결되는 유출부(120)가 연통 형성되는 유체통로(130)와, 상기 유체통로(130)의 일측에 상기 유체통로밀폐부재(200)가 이동 가능하게 구비되는 공간인 슬라이드공간(140)이 형성된다.The housing 100 has a hexahedral shape and a fluid passage 130 in which an inlet 110 connected to a chamber is connected to an upper side and a lower side thereof, and an outlet 120 connected to a vacuum pump, and the fluid passage 130. Slide space 140 is formed on one side of the fluid passage sealing member 200 is a space provided to be movable.

상기 유체통로(130)는, 일측에 챔버에 연결되는 유입부(110)와, 타측에 진공펌프에 연결되는 유출부(120)가 연결되며, 상기 챔버에서 유입되는 유체가 상기 진공펌프로 유출되는 통로이다.The fluid passage 130 is connected to the inlet 110 connected to the chamber on one side, and the outlet 120 connected to the vacuum pump on the other side, the fluid flowing from the chamber is discharged to the vacuum pump It is a passage.

상기 슬라이드공간(140)은, 상기 유체통로(130)를 직교방향으로 관통하여 형성되어 유체통로(130)를 개폐하기 위한 유체통로밀폐부재(200)가 슬라이딩되는 이동통로이다.The slide space 140 is a moving passage formed by penetrating the fluid passage 130 in an orthogonal direction to slide the fluid passage sealing member 200 for opening and closing the fluid passage 130.

상기 유체통로밀폐부재(200)는, 후술된 메인액츄에이터(300)와 링크부재(400)에 의해 상기 슬라이드공간(140)을 이동하면서 유체통로(130)의 유입부(110)와 유입부(120)를 완전 개폐하거나 소프트 개방하는 것으로, 상기 메인액츄에이터(300)에 연결된 링크부재(400)에 연결되어 상기 메인액츄에이터(300)의 동작에 따라 유체통로(130)에 대응되는 위치까지 슬라이드공간(140)을 이동하는 플레이트(210), 상기 플레이트(210)의 상측과 하측에 각각 플레이트(210)에 대하여 탄성적으로 승강 가능하게 연결되어 상기 유입부(110)와 유출부(120)를 완전 개폐하거나 소프트 개방하는 상부 블레이드(220)와 하부 블레이드(230) 및 상기 플레이트(210)의 중앙부위에 회전 가능하게 삽입되어 상기 링크부재(400)의 전/후진 이동에 따라 정/역회전되어 상부 블레이드(220)와 하부 블레이드(230)가 각각 유입부(110)와 유출부(120)에 밀착되거나 밀착 해제되도록 상부 블레이드(220)와 하부 블레이드(230)를 승강시키는 승강용디스크(240)를 포함한다. The fluid passage sealing member 200 moves the slide space 140 by the main actuator 300 and the link member 400 to be described later while the inlet 110 and the inlet 120 of the fluid passage 130. ) By fully opening and closing or soft opening, the slide space 140 is connected to the link member 400 connected to the main actuator 300 to a position corresponding to the fluid passage 130 according to the operation of the main actuator 300. Plate 210 for moving the plate 210, the upper and lower sides of the plate 210 are connected to the plate 210 so as to be able to be lifted and retracted so as to completely open or close the inlet 110 and the outlet 120. The upper blade 220 and the lower blade 230 to be soft-opened and rotatably inserted in the central portion of the plate 210 is rotated forward / reverse according to the forward / reverse movement of the link member 400, the upper blade ( 220) and lower blade 230 It includes a lifting disk 240 for elevating the upper blade 220 and the lower blade 230 to be in close contact with or in close contact with the inlet 110 and the outlet 120, respectively.

여기서, 상기 플레이트(210)는, 상기 메인액츄에이터(300)에 연결된 링크부재(400)의 전/후진 이동에 따라 상부 및 하부 블레이드(220,230)와 함께 슬라이드공간(140)을 이동하는 것으로서, 중앙에 상기 승강용디스크(240)가 회전 가능하게 삽입되는 삽입구(211)가 형성되고, 좌우측에 각각 슬라이드공간(140)의 내측벽을 따라 안정적으로 슬라이딩되도록 하는 복수개의 주행용 롤러(212)들이 구비된다. Here, the plate 210, as the front and the lower blades 220 and 230 move the slide space 140 in accordance with the forward / backward movement of the link member 400 connected to the main actuator 300, in the center An insertion opening 211 is formed to rotatably insert the elevating disk 240, and a plurality of driving rollers 212 are provided on the left and right sides so as to reliably slide along the inner wall of the slide space 140. .

상기 상부 블레이드(220)와 하부 블레이드(230)는, 상기 플레이트(210)의 상측과 하측에 각각 플레이트(210)에 대하여 탄성적으로 승강 가능하게 연결되어 상기 유입부(110)와 유출부(120)를 개폐하는 것으로서, 블레이드(221,231)의 일면이 상기 플레이트(210)의 상측과 하측 가장자리에 각각 판스프링 등과 같은 탄성부재(222,232)를 통하여 탄성 결합되고, 중앙에 각각 상기 플레이트(210)의 삽입구(211)에 삽입된 승강용디스크(240)의 통공(242)에 끼워져 승강 동작이 안정적으로 지지되도록 하는 지지축(223,233)이 형성되며, 상기 지지축(223,233)의 외주연부에 상기 블레이드(221,231)가 유입부(110)와 유출부(120)를 밀착 또는 밀착 해제되도록 블레이드(221,231)를 승강시키는 승강용디스크(240)의 복수개의 승강돌기(243)가 승강용디스크(240)의 회전시 가이드되는 복수개의 삽입홈(224,234)이 형성된다. The upper blade 220 and the lower blade 230 are connected to the upper and lower sides of the plate 210 so as to be elastically liftable with respect to the plate 210, respectively, so that the inlet 110 and the outlet 120 are provided. ), One side of the blades (221, 231) is elastically coupled to the upper and lower edges of the plate 210 via elastic members (222,232), such as a leaf spring, respectively, the insertion hole of the plate 210 in the center, respectively Support shafts 223 and 233 are inserted into the through holes 242 of the lifting disk 240 inserted in the 211 so as to stably support the lifting operation. The blades 221 and 231 are formed at the outer periphery of the support shafts 223 and 233. A plurality of lifting projections 243 of the lifting disk 240 for elevating the blades 221 and 231 so that the inlet 110 and the outlet 120 are brought into close contact with or released from each other. Guide grooves 224,234 are formed.

여기서, 상기 상부 블레이드(220)와 하부 블레이드(230)의 복수개의 삽입홈(224,234)은, 넓은 면적과 깊은 깊이를 가지는 개방용삽입홈(224a,234a)과 비교적 좁은 면적과 낮은 깊이를 가지는 밀폐용삽입홈(224b,234b)이 선형 결합된 형상을 가짐으로써, 후술된 승강용디스크(240)의 복수개의 승강돌기(242)가 삽입 가이드되는 경우, 상기 블레이드(221,231)가 탄성부재(222,232)에 의해 탄성 지지된 채 플레이트(210)의 상하측으로부터 각각 승강되어 유입부(110)와 유출부(120)를 개폐할 수 있다.Here, the plurality of insertion grooves 224 and 234 of the upper blade 220 and the lower blade 230, the opening insertion grooves (224a, 234a) having a large area and a deep depth and a relatively narrow area and a low depth When the insertion grooves 224b and 234b have a linearly coupled shape, when the plurality of lifting protrusions 242 of the lifting disc 240 described below are inserted and guided, the blades 221 and 231 are elastic members 222 and 232. By being elastically supported by each of the elevating from the upper and lower sides of the plate 210 can open and close the inlet 110 and outlet 120.

또한, 상기 상부 블레이드(220)와 하부 블레이드(230)의 블레이드(221,231)에는 상기 유체통로(130)의 유입부(110)와 유출부(120)에 맞닿는 부분에 오링부재(미부호)가 더 형성되는 것이 바람직하다. In addition, an O-ring member (unsigned) is further formed at a portion of the upper blades 220 and the blades 221 and 231 of the lower blade 230 that contact the inlet 110 and the outlet 120 of the fluid passage 130. It is preferably formed.

상기 승강용디스크(240)는, 상기 플레이트(210)의 삽입구(211)에 회전 가능하게 위치되어 상기 링크부재(400)의 전/후진 이동에 따라 정/역회전되어 상부 블레이드(220)와 하부 블레이드(230)가 각각 유입부(110)와 유출부(120)에 밀착되거나 밀착 해제되도록 상부 블레이드(220)와 하부 블레이드(230)를 승강시키기 위한 것으로, 상기 플레이트(210)의 삽입구(211)에 삽입된 디스크(241) 중앙에 상기 상부 블레이드(220)와 하부 블레이드(230)의 지지축(223,233)이 끼워져 지지되는 통공(242)이 형성되고, 상기 디스크(241)의 상면과 하면 즉, 상기 상부 블레이드(220)와 하부 블레이드(230)의 복수개의 삽입홈(224,234)에 대응되는 부위에 상기 디스크(241)의 회동시 상기 블레이드(221,231)가 탄성부재(222,232)에 의해 탄성 지지된 채 플레이트(210)의 상하측으로부터 각각 승강되어 유입부(110)와 유출부(120)를 개폐하도록 상기 삽입홈(224,234)에 삽입 가이드되는 복수개의 승강돌기(243)가 형성되며, 상기 디스크(241)의 일측에 상기 메인액츄에이터(300)의 구동에 따라 상기 디스크(241)를 정/역회전하기 위해 상기 플레이트(210)의 삽입구(211)에 삽입되는 링크부재(400)의 일축 단부가 가이드되는 가이드홈(244)이 형성된다. The elevating disk 240 is rotatably positioned in the insertion hole 211 of the plate 210 is rotated forward / reverse according to the forward / backward movement of the link member 400, the upper blade 220 and the lower The blade 230 is for elevating the upper blade 220 and the lower blade 230 to be in close contact with or in close contact with the inlet 110 and the outlet 120, respectively, the insertion hole 211 of the plate 210 A through hole 242 is formed in the center of the disk 241 inserted into the support blades 223 and 233 of the upper blade 220 and the lower blade 230, and is supported, and the upper and lower surfaces of the disk 241, The blades 221 and 231 are elastically supported by the elastic members 222 and 232 when the disk 241 is rotated to a portion corresponding to the plurality of insertion grooves 224 and 234 of the upper blade 220 and the lower blade 230. The inlet portion 110 is lifted from the upper and lower sides of the plate 210, respectively. A plurality of lifting projections 243 inserted into the insertion grooves 224 and 234 to open and close the outlet 120 and the outlet 120 are formed, and the main actuator 300 is driven on one side of the disc 241. A guide groove 244 is formed to guide one shaft end of the link member 400 inserted into the insertion hole 211 of the plate 210 to forward / reverse the disk 241.

여기서, 상기 플레이트(210)의 삽입구(211)는, 상기 승강용디스크(240)를 회동시키기 위한 링크부재(400)의 일축 단부가 승강용디스크(240)의 가이드홈(244)을 따라 선회되도록 하기 위한 공간을 제공할 수 있도록 승강용디스크(240) 보다 더 큰 면적을 가지는 것이 바람직하다.Here, the insertion hole 211 of the plate 210, so that the uniaxial end of the link member 400 for rotating the elevating disk 240 is pivoted along the guide groove 244 of the elevating disk 240. It is preferable to have a larger area than the elevating disk 240 so as to provide a space for.

따라서 상기 승강용디스크(240)에 의하면, 복수개의 승강돌기(243)가 상부 블레이드(220)와 하부 블레이드(230)의 삽입홈(224,234)에 삽입된 상태에서, 디스크(241)의 가이드홈(244)에 링크부재(400)의 일축 단부가 가이드되어 상기 디스크(241)가 상부 블레이드(220)와 하부 블레이드(230)에 대하여 정/역회전 하게 되면, 상기 승강돌기(243)가 상기 삽입홈(224,234)의 개방용삽입홈(224a,234a)으로부터 밀폐용삽입홈(224b,234b)으로 가이드되거나 밀폐용삽입홈(224b,234b)으로부터 개방용삽입홈(224a,234a)으로 가이드되는 동작을 통하여, 상기 블레이드(221,231)가 탄성부재(222,232)에 의해 탄성 지지된 채 플레이트(210)의 상하측으로부터 각각 승강되어 유입부(110)와 유출부(120)가 개폐되게 된다.Therefore, according to the elevating disk 240, a plurality of the lifting projections 243 is inserted into the insertion grooves 224 and 234 of the upper blade 220 and the lower blade 230, the guide groove of the disk 241 ( When the one end portion of the link member 400 is guided to 244 so that the disk 241 rotates forward and backward with respect to the upper blade 220 and the lower blade 230, the lifting projection 243 is inserted into the insertion groove. Guides from the opening insertion grooves 224a and 234a of the openings 224a and 234a of the openings 224b and 234b to the sealing insertion grooves 224b and 234b. The blades 221 and 231 are lifted from the upper and lower sides of the plate 210 while being elastically supported by the elastic members 222 and 232 to open and close the inlet 110 and the outlet 120.

상기 메인액츄에이터(300)는, 상기 유체통로밀폐부재(200)를 상기 슬라이드공간(140) 내에 이동시키도록 전/후진 구동하는 것으로, 압축 공기가 유입되거나 배출되는 메인실린더(310), 상기 메인실린더(310)의 내부에 구비되어 압축 공기의 유입과 배출에 따라 메인실린더(310) 내부를 왕복 이동하는 메인피스톤(320) 및 상기 메인피스톤(320)에 일단이 연결되고 상기 유체통로밀폐부재(200)에 연결된 링크부재(400)의 일축 단부에 타단이 연결되어 유체통로밀폐부재(200)가 슬라이드공간(140)을 왕복 이동되도록 하여 유체통로(130)를 개폐시키도록 하는 구동축(330)을 포함한다. The main actuator 300 drives forward / backward to move the fluid passage sealing member 200 in the slide space 140. The main cylinder 310 into which compressed air is introduced or discharged, the main cylinder It is provided inside the 310 is connected to the main piston 320 and the main piston 320 to reciprocate the inside of the main cylinder 310 in accordance with the inlet and discharge of compressed air and the fluid passage sealing member 200 The other end is connected to one shaft end of the link member 400 connected to the drive shaft 330 to open and close the fluid passage 130 by allowing the fluid passage sealing member 200 to reciprocate the slide space 140. do.

여기서, 상기 메인액츄에이터(300)는, 자동식 또는 수동식 등이 있을 수 있으며, 자동식의 경우 압축공기에 의하여 작동하는 뉴메틱(PNEUMATIC) 타입으로 하는 것이 바람직하다. 또한, 상기 메인액츄에이터(300)는 외부에서 액츄에이터의 구동을 쉽게 인지할 수 있도록 인디게이터 등과 같은 인식수단이 더 구비되는 것이 바람직하다.Here, the main actuator 300 may be automatic or manual, and in the case of automatic, it is preferable that the main actuator 300 is a pneumatic type operated by compressed air. In addition, the main actuator 300 is preferably further provided with a recognition means such as an indicator so as to easily recognize the drive of the actuator from the outside.

상기 링크부재(400)는, 상기 유체통로밀폐부재(200)와 메인액츄에이터(300)에 연결되어 상기 메인액츄에이터(300)의 전/후진 구동을 유체통로밀폐부재(200)에 전달하여 유체통로(130)가 개폐되도록 하는 것으로, 제1축(410)과 제2축(420)으로 구성되며, 상기 제1축(410)은 제1힌지축(411)에 의하여 일측부가 상기 플레이트(210)의 일측에 회동 가능하게 연결된 상태에서 일단부에 상기 승강용디스크(240)의 가이드홈(244)을 따라 선회되도록 형성되는 가이드롤러(412)를 포함한다. 또한, 상기 제2축(420)은 제2힌지축(421)에 의하여 상기 제1축(410)의 타단부에 일단부가 회동 가능하게 연결되고, 상기 제2축(420)의 타단부는 제3힌지축(422)에 의하여 하우징(100)의 차단판(미부호)에 회동 가능하게 연결되며, 제4힌지축(423)에 의하여 메인액츄에이터(300)의 구동축(330)에 회동 가능하게 연결된다. The link member 400 is connected to the fluid passage sealing member 200 and the main actuator 300 to transfer the forward / backward driving of the main actuator 300 to the fluid passage sealing member 200 to provide a fluid passage ( 130 to be opened and closed, the first shaft 410 and the second shaft 420 is configured, the first shaft 410 is one side of the plate 210 by the first hinge shaft 411 It includes a guide roller 412 is formed to pivot along the guide groove 244 of the elevating disk 240 in one end in a state rotatably connected to one side. In addition, one end of the second shaft 420 is rotatably connected to the other end of the first shaft 410 by a second hinge shaft 421, and the other end of the second shaft 420 is formed of a second shaft 420. The hinge shaft 422 is rotatably connected to the blocking plate (unsigned) of the housing 100, and the fourth hinge shaft 423 is rotatably connected to the drive shaft 330 of the main actuator 300. do.

따라서 상기 링크부재(400)에 의하면, 상기 메인액츄에이터(300)의 구동축(330)이 전진하면, 상기 제2축(420)과 제1축(410)이 연속으로 회동되어 상기 제1축(410)이 전진하는 방향으로 힘을 가하여 상기 플레이트(210)를 전진시키고, 이와 반대로 상기 구동축(330)이 후진하면, 상기 제2축(420)과 제1축(410)이 역방향으로 회동되어 상기 제1축(410)이 후진하는 방향으로 힘을 가하여 플레이트(210)를 후진시킨다.Therefore, according to the link member 400, when the drive shaft 330 of the main actuator 300 is advanced, the second shaft 420 and the first shaft 410 is rotated continuously to the first shaft 410 ) And advancing the plate 210 by applying a force in a forward direction, on the contrary, when the driving shaft 330 is reversed, the second shaft 420 and the first shaft 410 are rotated in the reverse direction to form the first The plate 210 is retracted by applying a force in a direction in which the one shaft 410 retreats.

또한, 상기 링크부재(400)에 의하면, 상기 메인액츄에이터(300)의 구동축(330) 전진시 상기 제1축(410)의 가이드롤러(412)가 상기 승강용디스크(240)의 가이드홈(244)을 따라 일방향 가이드되어 디스크(241)가 일방향 회전하게 되고 이에 따라, 상기 승강용디스크(240)의 승강돌기(243)가 상부 블레이드(220)와 하부 블레이드(230)의 개방용삽입홈(224a,234a)으로부터 밀폐용삽입홈(224b,234b)으로 가이드되어 블레이드(221,231)가 탄성부재(222,232)에 의해 탄성 지지된 채 플레이트(210)의 상하측으로부터 각각 상승되어 유입부(110)와 유출부(120)가 밀폐되게 된다. In addition, according to the link member 400, the guide roller 412 of the first shaft 410 is the guide groove 244 of the elevating disk 240 when the drive shaft 330 of the main actuator 300 is advanced. 1) is guided along one direction so that the disk 241 is rotated in one direction, so that the lifting projections 243 of the lifting disk 240 are the opening insertion grooves 224a of the upper blade 220 and the lower blade 230. Guided to the sealing insertion grooves (224b, 234b) from the 234a, the blades (221, 231) are lifted from the upper and lower sides of the plate 210 while being elastically supported by the elastic members (222,232), respectively, the inlet 110 and the outlet The unit 120 is to be sealed.

또한, 이 상태에서, 상기 메인액츄에이터(300)의 구동축(330) 후진시 상기 제1축(410)의 가이드롤러(412)가 상기 승강용디스크(240)의 가이드홈(244)을 따라 역방향 가이드되어 디스크(241)가 역방향 회전하게 되고 이에 따라, 상기 승강용디스크(240)의 승강돌기(243)가 상부 블레이드(220)와 하부 블레이드(230)의 밀폐용삽입홈(224b,234b)으로부터 개방용삽입홈(224a,234a)으로 가이드되어 블레이드(221,231)가 탄성부재(222,232)에 의해 플레이트(210)의 상하측으로 각각 하강되어 유입부(110)와 유출부(120)가 개방되게 된다. Also, in this state, the guide roller 412 of the first shaft 410 guides along the guide groove 244 of the elevating disk 240 when the driving shaft 330 of the main actuator 300 moves backward. As a result, the disk 241 is rotated in the reverse direction, so that the lifting projections 243 of the lifting disk 240 are opened from the sealing insertion grooves 224b and 234b of the upper blade 220 and the lower blade 230. Guide blades 224a and 234a are guided so that the blades 221 and 231 are lowered to the upper and lower sides of the plate 210 by the elastic members 222 and 232, respectively, so that the inlet 110 and the outlet 120 are opened.

상기 보조액츄에이터(500)는, 상기 메인액츄에이터(300)의 전단에 직렬 연결되어 상기 유체통로(130)를 밀폐한 유체통로밀폐부재(200)가 유체통로(130)로부터 일정간격 이격되도록 메인액츄에이터(300)의 메인피스톤(330)을 강제로 일정거리 후진 구동시켜 상기 유체통로(130)가 소프트 개방되도록 하여 상기 유체통로(130)와 슬라이드공간(140) 및 진공펌프 사이의 압력차 발생을 억제시키는 것으로, 상기 메인액츄에이터(300)의 구동축(330)이 관통되는 상태로 메인실린더(310)의 외부 전단부에 공간(511)을 두고 직렬 연결되며 압축 공기가 유입되거나 배출되는 보조실린더(510), 상기 보조실린더(510)의 외부 후단부의 공간(511)에 위치되어 메인피스톤(330)의 전진 구동시 보조실린더(310)의 외부 후단부의 공간(511) 전단부에 밀착되도록 전진 이동하는 리프트판넬(520) 및 상기 보조실린더(510)의 내부에 상기 리프트판넬(520)과 연결되도록 위치되며 상기 리프트판넬(520)의 전진 이동시 보조실린더(510) 내부의 전단부로 전진 이동하고 보조실린더(510)의 압축 공기의 유입에 따라 보조실린더(510) 내부의 후단부로 후진 이동하여 상기 보조실린더(510)의 외부 후단부의 공간(511) 후단부로 이동된 리프트판넬(520)과 상기 리프트판넬(520)에 밀착된 메인피스톤(320)을 소정 거리 강제 후진시키는 보조피스톤(530)을 포함한다. The auxiliary actuator 500 is connected to the front end of the main actuator 300 in series so that the fluid passage sealing member 200 sealing the fluid passage 130 is spaced apart from the fluid passage 130 by a predetermined distance from the main actuator ( The main piston 330 of the 300 is forcibly driven backward to allow the fluid passage 130 to be softly opened to suppress the pressure difference between the fluid passage 130 and the slide space 140 and the vacuum pump. The auxiliary cylinder 510 which is connected in series with a space 511 at an outer front end portion of the main cylinder 310 while the drive shaft 330 of the main actuator 300 is penetrated and compressed air is introduced or discharged, A lift panel positioned in the space 511 of the outer rear end of the auxiliary cylinder 510 and moving forward to closely contact the front end of the space 511 of the outer rear end of the auxiliary cylinder 310 when the main piston 330 is driven forward. 520) and The auxiliary cylinder 510 is positioned to be connected to the lift panel 520 and moves forward to the front end of the auxiliary cylinder 510 during the forward movement of the lift panel 520 and the compressed air of the auxiliary cylinder 510. The main piston in close contact with the lift panel 520 and the lift panel 520 moved backward to the rear end of the auxiliary cylinder 510 and moved to the rear end of the space 511 of the outer rear end of the auxiliary cylinder 510 according to the inflow. And an auxiliary piston 530 forcing the 320 to be retracted a predetermined distance.

여기서, 상기 보조액츄에이터(500)는, 자동식 또는 수동식 등이 있을 수 있으며, 자동식의 경우 압축공기에 의하여 작동하는 뉴메틱(PNEUMATIC) 타입으로 하는 것이 바람직하다. 또한, 상기 보조액츄에이터(500)는 외부에서 액츄에이터의 구동을 쉽게 인지할 수 있도록 인디게이터 등과 같은 인식수단이 더 구비되는 것이 바람직하다.Here, the auxiliary actuator 500 may be automatic or manual, and in the case of automatic, it is preferable that the auxiliary actuator 500 is a pneumatic type operated by compressed air. In addition, the auxiliary actuator 500 is preferably further provided with a recognition means such as an indicator so as to easily recognize the drive of the actuator from the outside.

따라서 상기 보조액츄에이터(500)에 의하면, 상기 메인액츄에이터(300)의 전진 구동에 의해 상기 유체통로밀폐부재(200)의 상부 블레이드(220)와 하부 블레이드(230)가 각각 유체통로(130)를 밀폐한 상태에서, 보조실린더(510)에 압축 공기가 유입되게 되면 상기 보조실린더(510) 내부 전단부로 이동되었던 보조피스톤(530)이 보조실린더(510) 내부 후단부로 이동하게 되고 이에, 상기 보조피스톤(530)에 연결된 보조실린더(510) 외부 공간(511)의 리프트판넬(520)과 상기 리프트판넬(520)에 밀착된 메인피스톤(320)이 원래의 위치로부터 일정 거리 이격된 상태를 가지게 되며 이에, 상기 메인피스톤(320)에 연결된 구동축(330)의 후진에 따라 상기 링크부재(400)의 제1축(410) 가이드롤러(412)가 유체통로밀폐부재(200)의 승강용디스크(240) 가이드홈(244)을 따라 역방향 가이드되어 승강용디스크(240)가 역방향 회전됨으로써, 상기 승강용디스크(240)의 승강돌기(243)가 상부 블레이드(220)와 하부 블레이드(230)의 밀폐용삽입홈(224b,234b)으로부터 개방용삽입홈(224a,234a)으로 가이드되어 유입부(110)와 유출부(120)에 각각 밀착된 블레이드(221,231)가 탄성부재(222,232)에 의해 플레이트(210)의 상하측으로 각각 하강되어 유입부(110)와 유출부(120)가 소프트 개방되게 된다. 이에, 상기 유체통로(130)가 완전 개방되기 전에 보조액츄에이터(500)에 의해 상부 블레이드(220)와 하부 블레이드(230)가 각각 유입부(110)와 유출부(120)로부터 일정 간격 이격되는 소프트 개방을 통하여 갑작스런 밸브의 개방으로 인하여 유체통로(130), 진공펌프 및 슬라이드공간(140)에 발생하던 압력차를 억제하여 진공펌프의 손상을 방지할 수 있고 슬라이드공간(140)에 파티클이 유입되는 것을 방지할 수 있다. Therefore, according to the auxiliary actuator 500, the upper blade 220 and the lower blade 230 of the fluid passage sealing member 200 is closed by the forward drive of the main actuator 300, respectively, the fluid passage 130 In one state, when compressed air is introduced into the auxiliary cylinder 510, the auxiliary piston 530, which has been moved to the front end of the auxiliary cylinder 510, is moved to the rear end of the auxiliary cylinder 510, and thus, the auxiliary piston ( The lift panel 520 of the auxiliary cylinder 510 external space 511 connected to the 530 and the main piston 320 in close contact with the lift panel 520 are spaced a predetermined distance from the original position. The guide shaft 412 of the first shaft 410 of the link member 400 guides the elevating disk 240 of the fluid passage sealing member 200 as the drive shaft 330 connected to the main piston 320 moves backward. Reverse guided along groove 244 to win As the disk 240 is rotated in the reverse direction, the lifting projections 243 of the lifting disk 240 are inserted into the opening insertion grooves 224b and 234b of the upper blade 220 and the lower blade 230. The blades 221 and 231, which are guided to the inlet 110 and the outlet 120, are lowered to the upper and lower sides of the plate 210 by the elastic members 222 and 232, respectively. And the outlet 120 is to be softly opened. Thus, before the fluid passage 130 is completely opened, the upper blade 220 and the lower blade 230 are softly spaced apart from the inlet 110 and the outlet 120 by the auxiliary actuator 500, respectively. Due to the sudden opening of the valve through the opening to suppress the pressure difference generated in the fluid passage 130, the vacuum pump and the slide space 140 to prevent damage to the vacuum pump and particles are introduced into the slide space 140 Can be prevented.

여기서, 상기 보조액츄에이터(500)에 유입되는 압축 공기의 압력은, 상기 보조피스톤(530)과 리프트판넬(520)이 신속하게 후진 이동될 수 있도록 상기 메인액츄에이터(300)의 압축 공기의 압력보다 큰 것이 바람직하다.Here, the pressure of the compressed air flowing into the auxiliary actuator 500 is greater than the pressure of the compressed air of the main actuator 300 so that the auxiliary piston 530 and the lift panel 520 can be moved backwards quickly. It is preferable.

이하, 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 게이트 밸브의 작용과 효과에 대해 설명하기로 한다.Hereinafter, with reference to the drawings will be described the operation and effect of the gate valve according to a preferred embodiment of the present invention.

먼저, 게이트 밸브가 밀폐될 때의 과정을 설명하면 다음과 같다.First, the process when the gate valve is closed is described as follows.

먼저, 메인액츄에이터(300)의 전진 구동에 따라 링크부재(400)에 의해 유체통로밀폐부재(200)가 하우징(100)의 유체통로(130)까지 슬라이드공간(140)을 이동한다.First, the fluid passage sealing member 200 moves the slide space 140 to the fluid passage 130 of the housing 100 by the link member 400 according to the forward driving of the main actuator 300.

이때, 상기 보조액츄에이터(500)는, 상기 메인액츄에이터(300)의 구동축(330) 전진 구동시 보조실린더(510)의 외부 공간(511)의 전단부에 리프트판넬(520)이 메인피스톤(320)에 의해 밀착되게 되고 상기 리프트판넬(520)에 연결된 보조피스톤(530)이 보조실린더(510)의 내부 전단부에 밀착된 상태를 가지게 된다.At this time, the auxiliary actuator 500, the lift panel 520 is the front end of the outer space 511 of the auxiliary cylinder 510 during the forward drive of the drive shaft 330 of the main actuator 300, the main piston 320 The auxiliary piston 530 which is in close contact with the lift panel 520 is in close contact with the inner front end of the auxiliary cylinder 510.

이후, 상기 링크부재(400)에 의하여, 상기 메인액츄에이터(300)의 구동축(330) 전진시 제1축(410)의 가이드롤러(412)가 유체통로밀폐부재(200)의 승강용디스크(240) 가이드홈(244)을 따라 일방향 가이드되게 되고 이에 따라, 승강용디스크(240)의 디스크(241)가 일방향 회전하게 되어 상기 승강용디스크(240)의 승강돌기(243)가 유체통로밀폐부재(200)의 상부 블레이드(220)와 하부 블레이드(230)의 개방용삽입홈(224a,234a)으로부터 밀폐용삽입홈(224b,234b)으로 가이드되어 유체통로밀폐부재(200)의 블레이드(221,231)가 탄성부재(222,232)에 의해 탄성 지지된 채 플레이트(210)의 상하측으로부터 각각 상승되어 유입부(110)와 유출부(120)가 완전 밀폐되게 된다. Thereafter, when the drive shaft 330 of the main actuator 300 is advanced by the link member 400, the guide roller 412 of the first shaft 410 moves up and down the disk 240 of the fluid passage sealing member 200. The one-way guide along the guide groove 244, so that the disk 241 of the elevating disk 240 is rotated in one direction so that the lifting projections 243 of the elevating disk 240 is a fluid passage sealing member ( The blades 221 and 231 of the fluid passage sealing member 200 are guided from the opening insertion grooves 224a and 234a of the upper blade 220 and the lower blade 230 of the 200 to the sealing insertion grooves 224b and 234b. While being elastically supported by the elastic members 222 and 232, the inlet 110 and the outlet 120 are completely sealed from the upper and lower sides of the plate 210.

한편, 게이트 밸브가 열릴 때의 과정을 설명하면 다음과 같다.On the other hand, the process when the gate valve is opened as follows.

먼저, 상기 유체통로밀폐부재(200)의 상부 블레이드(220)와 하부 블레이드(230)에 의해 유체통로(130)의 유입부(110)와 유출부(120)가 밀폐된 상태에서, 상기 보조실린더(510)의 보조피스톤(530)이 보조실린더(510) 내부 후단부로 이동되어 상기 보조피스톤(530)에 연결된 리프트판넬(520)과 상기 리프트판넬(520)에 밀착된 메인피스톤(320)이 원래의 위치로부터 일정 거리 이격된 상태를 가지게 된다.First, in the state in which the inlet 110 and the outlet 120 of the fluid passage 130 are sealed by the upper blade 220 and the lower blade 230 of the fluid passage sealing member 200, the auxiliary cylinder The auxiliary piston 530 of 510 is moved to the rear end of the auxiliary cylinder 510 so that the lift panel 520 connected to the auxiliary piston 530 and the main piston 320 in close contact with the lift panel 520 are original. It has a state spaced apart from the position of.

이때, 상기 메인피스톤(320)에 연결된 구동축(330)의 후진에 따라 상기 링크부재(400)의 제1축(410) 가이드롤러(412)가 유체통로밀폐부재(200)의 승강용디스크(240) 가이드홈(244)을 따라 역방향 가이드되어 승강용디스크(240)의 디스크(241)가 역방향 회전하게 되고, 상기 승강용디스크(240)의 승강돌기(243)가 상부 블레이드(220)와 하부 블레이드(230)의 밀폐용삽입홈(224b,234b)으로부터 개방용삽입홈(224a,234a)으로 가이드되어 유입부(110)와 유출부(120)에 각각 밀착된 블레이드(221,231)가 탄성부재(222,232)에 의해 플레이트(210)의 상하측으로 각각 하강되어 유입부(110)와 유출부(120)가 소프트 개방되게 된다. At this time, as the drive shaft 330 connected to the main piston 320, the first roller 410, the guide roller 412 of the link member 400, the lifting disk 240 of the fluid passage sealing member 200 The reverse guide is guided along the guide groove 244, the disk 241 of the elevating disk 240 is rotated in the reverse direction, the lifting projection 243 of the elevating disk 240 is the upper blade 220 and the lower blade The blades 221 and 231 which are guided from the sealing insertion grooves 224b and 234b of the 230 to the opening insertion grooves 224a and 234a and are in close contact with the inlet 110 and the outlet 120, respectively, are elastic members 222 and 232. By lowering the upper and lower sides of the plate 210, respectively, the inlet 110 and the outlet 120 is a soft opening.

따라서 상기 유체통로(130)가 완전 개방되기 전에 보조액츄에이터(500)에 의해 상부 블레이드(220)와 하부 블레이드(230)가 각각 유입부(110)와 유출부(120)로부터 일정 간격 이격되는 소프트 개방됨으로써, 갑작스런 밸브의 개방으로 인하여 유체통로(130), 진공펌프 및 슬라이드공간(140)에 발생하던 압력차를 억제하여 진공펌프의 손상을 방지할 수 있고 슬라이드공간(140)에 파티클이 유입되는 것을 방지할 수 있다. Therefore, before the fluid passage 130 is fully opened, the soft opening of the upper blade 220 and the lower blade 230 is spaced apart from the inlet 110 and the outlet 120 by the auxiliary actuator 500, respectively. As a result, the pressure difference generated in the fluid passage 130, the vacuum pump, and the slide space 140 may be suppressed due to the sudden opening of the valve, thereby preventing damage to the vacuum pump and introducing particles into the slide space 140. You can prevent it.

이후, 상기 메인액츄에이터(300)의 후진 구동에 따라 링크부재(400)에 의해 유체통로밀폐부재(200)가 하우징(100)의 유체통로(130)로부터 슬라이드공간(140)으로 이동하게 되어 상기 유체통로(130)의 유입부(110)와 유출부(120)가 완전 개방되게 된다.Thereafter, the fluid passage sealing member 200 is moved from the fluid passage 130 of the housing 100 to the slide space 140 by the link member 400 according to the reverse driving of the main actuator 300. The inlet 110 and the outlet 120 of the passage 130 is completely open.

따라서 본 발명에 의하면, 유체통로 내부에서 유체통로를 개폐시키는 유체통로밀폐부재가 유체통로의 개방시 보조액츄에이터에 의해 상기 유체통로로부터 일정간격 이격되어 유체통로를 소프트 개방시킴으로써, 유체통로와 슬라이드공간 및 진공펌프 사이의 압력차 발생을 억제시킬 수 있다.Therefore, according to the present invention, the fluid passage sealing member for opening and closing the fluid passage in the fluid passage is softly opened by the auxiliary actuator at a predetermined distance from the fluid passage by opening the fluid passage, so that the fluid passage and the slide space and The generation of a pressure difference between the vacuum pumps can be suppressed.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지로 치환, 변형 및 변경이 가능하므로 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.While the preferred embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, those skilled in the art to which the present invention pertains have various permutations and modifications without departing from the spirit or essential features of the present invention. It is to be understood that the present invention may be practiced in other specific forms, since modifications may be made. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive.

Claims

A fluid passage 130 having an inlet portion 110 connected to a chamber (not shown) and an outlet portion 120 connected to a vacuum pump (not shown) and a slide space penetrating perpendicularly to the fluid passage 130. A housing 100 having a 140;
A fluid passage sealing member (200) positioned in the slide space (140) to completely open or close the fluid passage (130);
A main actuator 300 driving forward and backward to move the fluid passage sealing member 200 in the slide space 140;
A link member 400 connected to the fluid passage sealing member 200 and the main actuator 300 to transfer the forward / backward driving of the main actuator 300 to the fluid passage sealing member 200; And
The auxiliary piston 530 provided in the auxiliary cylinder 510 positioned in front of the main actuator 300 is configured to be in contact with the shaft (unsigned) of the main piston 320 of the main actuator 300. When the auxiliary piston 530 moves backward in the auxiliary cylinder 510 to open the fluid passage 130 in a state in which the fluid passage sealing member 200 seals the fluid passage 130, the auxiliary piston 530 The shaft is in contact with the main piston 320 is forced to move by the movement distance of the auxiliary piston 530, the fluid passage sealing member 200 sealing the fluid passage 130 is moved a certain distance to the slide space 140 Gate valve, characterized in that it comprises a secondary actuator (500) to enable the soft opening in which the fluid passage 130 is partially opened.

The method of claim 1, wherein the fluid passage sealing member 200,
The slide space is connected to the link member 400 connected to the main actuator 300 to the position of the fluid passage 130 communicating with the inlet 110 and the outlet 120 according to the operation of the main actuator 300. A plate 210 for reciprocating 140;
An upper blade 220 connected to the upper and lower sides of the plate 210 so as to be elastically lifted and lowered to the plate 210 to completely open or softly open the inlet 110 and the outlet 120. Lower blade 230; And
It is rotatably inserted into the central portion of the plate 210 is rotated forward / reverse according to the forward / backward movement of the link member 400, the upper blade 220 and the lower blade 230, respectively, the inlet 110 And an elevating disk 240 for elevating the upper blade 220 and the lower blade 230 to be in close contact with or released from the outlet 120.

The method of claim 2, wherein the plate 210,
Insertion hole 211 is formed to be rotatably inserted in the lifting disk 240, the plurality of driving rollers 212 to be reliably sliding along the inner wall of the slide space 140 on the left and right sides, respectively Gate valve, characterized in that provided.

The method of claim 3, wherein the upper blade 220 and the lower blade 230,
One surface of the blades 221 and 231 are elastically coupled to the upper and lower edges of the plate 210 through elastic members 222 and 232 such as leaf springs, respectively, and inserted into the insertion holes 211 of the plate 210 in the center, respectively. Support shafts 223 and 233 are inserted into the through holes 242 of the lifting disk 240 to stably support the lifting operation, and the blades 221 and 231 are formed at the outer periphery of the support shafts 223 and 233. And a plurality of lifting projections 243 of the lifting disks 240 for elevating the blades 221 and 231 so that the blades 221 and 231 are in close contact with each other or the outlet 120 are guided when the lifting disk 240 is rotated. Gate valve, characterized in that (224,234) is formed.

The method of claim 4, wherein the plurality of insertion grooves (224, 234) of the upper blade 220 and the lower blade 230,
The opening insertion grooves 224a and 234a having a predetermined area and depth and the sealing insertion grooves 224b and 234b having a narrower area and a lower depth than the opening insertion grooves 224a and 234a are linearly coupled. Gate valve having a.

The method of claim 4, wherein the lifting disk 240,
A through hole 242 is formed at the center of the disk 241 inserted into the insertion hole 211 of the plate 210 to support the support shafts 223 and 233 of the upper blade 220 and the lower blade 230. When the disk 241 is rotated on the upper and lower surfaces of the disk 241, the blades 221 and 231 are lifted from the upper and lower sides of the plate 210 while being elastically supported by the elastic members 222 and 232, respectively. And a plurality of lifting protrusions 243 inserted into the insertion grooves 224 and 234 to open and close the outlet portion 120, and the disc is driven by the main actuator 300 on one side of the disc 241. The gate valve, characterized in that the guide groove 244 is formed to guide the uniaxial end of the link member 400 is inserted into the insertion hole (211) of the plate 210 to forward / reverse rotation (241).

The method of claim 4, wherein the main actuator 300,
A main cylinder 310 into which compressed air is introduced or discharged;
A main piston 320 provided inside the main cylinder 310 to reciprocate the inside of the main cylinder 310 according to the inflow and discharge of compressed air; And
One end is connected to the main piston 320 and the other end is connected to one end of the link member 400 connected to the fluid passage sealing member 200 so that the fluid passage sealing member 200 reciprocates the slide space 140. Gate valve, characterized in that it comprises a drive shaft (330) to open and close the fluid passage (130).

The method of claim 6 or 7, wherein the link member 400,
It is composed of a first axis 410 and a second axis 420,
The first shaft 410 has a guide groove 244 of the elevating disk 240 at one end in a state in which one side is rotatably connected to one side of the plate 210 by the first hinge shaft 411. It comprises a guide roller 412 is formed to pivot along,
The second shaft 420 is rotatably connected to the other end of the first shaft 410 by the second hinge shaft 421, and the other end of the second shaft 420 is the third hinge. Is connected rotatably to the blocking plate (unsigned) of the housing 100 by the shaft 422, and rotatably connected to the drive shaft 330 of the main actuator 300 by the fourth hinge shaft 423. Characterized in that the gate valve.

The method of claim 7, wherein the auxiliary actuator 500,
An auxiliary cylinder 510 connected in series with a space 511 at an external front end of the main cylinder 310 in a state where the driving shaft 330 of the main actuator 300 is penetrated, and compressed air is introduced or discharged;
A lift panel positioned in the space 511 of the outer rear end of the auxiliary cylinder 510 and moving forward to closely contact the front end of the space 511 of the outer rear end of the auxiliary cylinder 310 when the main piston 330 is driven forward. 520); And
The auxiliary cylinder 510 is positioned to be connected to the lift panel 520 and moves forward to the front end of the auxiliary cylinder 510 during the forward movement of the lift panel 520 and the compressed air of the auxiliary cylinder 510. The main piston in close contact with the lift panel 520 and the lift panel 520 moved backward to the rear end of the auxiliary cylinder 510 and moved to the rear end of the space 511 of the outer rear end of the auxiliary cylinder 510 according to the inflow. Gate valve, characterized in that it comprises an auxiliary piston (530) forcing the reverse (320) a predetermined distance.

The method of claim 1,
The inlet 110 and the outlet 120 is provided on the flange of the fluid passage 130 coupled to heat the body of the fluid passage 130 to heat transfer to the fluid passage sealing member 200 particles The gate valve further comprises a heating member (not shown) to suppress the deposition of.