KR101243785B1 - The adapter structuer of degasification apparatus - Google Patents

The adapter structuer of degasification apparatus Download PDF

Info

Publication number
KR101243785B1
KR101243785B1 KR1020120084427A KR20120084427A KR101243785B1 KR 101243785 B1 KR101243785 B1 KR 101243785B1 KR 1020120084427 A KR1020120084427 A KR 1020120084427A KR 20120084427 A KR20120084427 A KR 20120084427A KR 101243785 B1 KR101243785 B1 KR 101243785B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
inlet member
sleeve
ring
inlet
connector
Prior art date
Application number
KR1020120084427A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
한종호
이효형
Original Assignee
(주) 디엔아이테크
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주) 디엔아이테크 filed Critical (주) 디엔아이테크
Priority to KR1020120084427A priority Critical patent/KR101243785B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101243785B1 publication Critical patent/KR101243785B1/en

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D19/00—Degasification of liquids
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D63/00—Apparatus in general for separation processes using semi-permeable membranes
    • B01D63/02—Hollow fibre modules
    • B01D63/04—Hollow fibre modules comprising multiple hollow fibre assemblies
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D65/00—Accessories or auxiliary operations, in general, for separation processes or apparatus using semi-permeable membranes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2313/00—Details relating to membrane modules or apparatus
    • B01D2313/21—Specific headers, end caps

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
  • Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)

Abstract

PURPOSE: An adapter structure of a degassing apparatus is provided to easily fix a tube bundle to an inlet member, to shorten the assembly time by a simple process, and to increase the efficiency and productivity of the operation. CONSTITUTION: An adapter structure of a degassing apparatus comprises an inlet member(101), a nut(102), a sleeve(104), a cap nut(105), a connector(103), a first O-ring(106), a second O-ring(107), and a third O-ring. The inlet member perpendicularly passes through an inlet port(11) and an outlet port(12) of a cover part(21). The nut is spirally combined to a first outer spiral part(101a) formed on the upper part of the inlet member, and fixes the inlet member to the cover part. The sleeve is inserted into the lower inner side of the inlet member. Multiple circular grooves(104a) are formed within the insertion end part. A fixing protrusion(104b) is integrally formed on the outside of the sleeve. The cap nut is connected to a second outer spiral part(101b) formed on the lower part of the inlet member, and fixes the sleeve to the inlet member. The first O-ring tightly seals the interval of the inlet member and the cover part. The second O-ring tightly seals the interval of the inlet member and the sleeve. The third O-ring tightly seals the interval of the inlet member and the connector. The sleeve further includes powder(109) filled in the circular grooves.

Description

탈기 장치의 어댑터 구조{The adapter structuer of degasification apparatus}The adapter structuer of degasification apparatus

본 발명은 탈기 장치의 어댑터 구조에 관한 것으로, 보다 상세하게는 튜브 다발의 단부를 입구 부재에 고정할 때 기존에서와 같이 고정판에 튜브 다발 각각의 튜브를 수작업으로 삽입하여 열융착하고, 다시 상기 고정판을 열융착에 의해 입구 부재에 고정하는 작업없이 캡 너트의 체결력에 의한 단순 조립 작업에 의해 튜브 다발의 단부를 입구 부재에 고정할 수 있도록 한 탈기 장치의 어댑터 구조에 관한 것이다.
The present invention relates to an adapter structure of the degassing apparatus, and more particularly, when each end of the tube bundle is fixed to the inlet member, as described in the prior art, each tube of the tube bundle is manually inserted into the fixing plate and heat-sealed, and the fixing plate again. The present invention relates to an adapter structure of a degassing apparatus in which an end portion of a tube bundle can be fixed to an inlet member by a simple assembling operation by a fastening force of a cap nut without an operation of fixing it to the inlet member by thermal fusion.

일반적으로 액체 중의 용존 가스는 액체가 유통하는 관체의 부식, 기포의 발생에 의한 압력이나 열교환율의 저하, 발생한 기포에 의한 액체의 도포 불균일의 원인이 된다.In general, the dissolved gas in the liquid causes corrosion of the tubular body in which the liquid flows, a decrease in pressure or heat exchange rate due to bubbles, and uneven coating of the liquid due to the bubbles generated.

일례로, 반도체나 LCD 제조 공정에서 사용하는 현상액 등과 같은 액체 내에 존재하는 용존가스, 질소 가스는 피대상물인 웨이퍼 위에 분사됨과 동시에 마이크로 버블로 기포화되어 감광막과 현상액의 접촉을 방해함으로써 패턴이 형성되지 않는 현상 불량을 초래하게 된다.For example, dissolved gas and nitrogen gas present in a liquid, such as a developer used in a semiconductor or LCD manufacturing process, are injected onto a target wafer and bubbled with micro bubbles to prevent contact between the photoresist and the developer. It does not cause a defective phenomenon.

따라서, 액체 중의 용존 가스를 제거하기 위한 탈기(脫氣)장치가 사용되는 것으로서, 종래의 탈기장치는 대한민국 공개특허공보 제2009-0057452호 "탈기 장치"가 개시된 바 있다. 그 구성은 도 1에 도시된 바와 같이 피탈기 액체가 출입하는 유입구(11) 및 유출구(12)가 형성된 감압 챔버(2)와, 일단부가 상기 유입구(11)에 접속되고, 타단부가 상기 유출구(12)에 접속된 상태에서 상기 감압 챔버(2)에 수용되고, 상기 유입구(11)로 유입되는 상기 피탈기 액체가 내부를 통과하는 탈기 엘리먼트(5)가 구비된다.Therefore, as a degassing apparatus for removing dissolved gas in the liquid is used, a conventional degassing apparatus has been disclosed in the Republic of Korea Patent Publication No. 2009-0057452 "Degassing apparatus". As shown in FIG. 1, the pressure reducing chamber 2 including the inlet 11 and the outlet 12 through which the sorbent liquid enters and exits is formed, and one end is connected to the inlet 11, and the other end thereof is the outlet. The degassing element 5 which is accommodated in the decompression chamber 2 in the state connected to (12), and through which the scavenger liquid which flows into the inlet 11 passes through is provided.

상기 감압 챔버(2)는 챔버 본체(22)와 덮개부(21)로 구성되고, 덮개부(21)에 상기 유입구(11) 및 유출구(12)가 형성되며, 챔버 본체(22)의 측부(25)에 진공 배기구(13)가 형성되고, 내부에 탈기 엘리먼트(5)가 수용된다.The decompression chamber 2 is composed of a chamber body 22 and a cover 21, the inlet 11 and the outlet 12 are formed in the cover 21, the side of the chamber body 22 ( A vacuum exhaust port 13 is formed in 25, and the degassing element 5 is accommodated therein.

상기 탈기 엘리먼트(5)는 가요성을 갖는 복수개의 기체 투과성 튜브(151)로 이루어지는 튜브 다발(15)과, 상기 복수개의 기체 투과성 튜브(151)를 묶어 상기 튜브 다발(15)을 형성하는 결속 부재(16)와, 상기 튜브 다발(15)의 일단부에 장착되어 상기 감압 챔버(2)의 유입구(11)에 접속하는 유입측 어댑터(141)와, 튜브 다발(15)의 타단부에 장착되어 감압 챔버(2)의 유출구(12)에 접속하는 유출측 어댑터(142)를 포함한다.The degassing element 5 is a binding member for forming the tube bundle 15 by tying the tube bundle 15 composed of a plurality of gas permeable tubes 151 with flexibility and the plurality of gas permeable tubes 151. (16), an inlet adapter 141 which is attached to one end of the tube bundle 15 and connected to the inlet 11 of the decompression chamber 2, and the other end of the tube bundle 15, An outlet side adapter 142 is connected to the outlet 12 of the decompression chamber 2.

상기 기체 투과성 튜브(151)는 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE), 테트라플루오로에틸렌-퍼플루오로알킬비닐에테르 공중합체, 에틸렌테트라플루오로에틸렌 공중합체, 폴리클로로트리플루오로에틸렌 등의 불소 수지로 이루어지는 튜브와 폴리에틸렌, 폴리프로필렌 등의 폴리올레핀으로 이루어지는 튜브가 사용되고, 단위 용적당의 막 면적을 넓게 하기 위해 가는 비다공질 중공사체(中空絲體)를 사용한다. 이때, 1개의 중공사체의 직경은 내경으로 하여 수십㎛ 내지 수㎜ 정도의 범위이고, 통상 수개 내지 수백개 정도로 하나의 튜브 다발(15)을 구성한다.The gas permeable tube 151 is made of a fluorine resin such as polytetrafluoroethylene (PTFE), tetrafluoroethylene-perfluoroalkyl vinyl ether copolymer, ethylene tetrafluoroethylene copolymer, polychlorotrifluoroethylene, etc. A tube made of a polyolefin such as polyethylene and polypropylene is used, and a thin nonporous hollow fiber is used to increase the membrane area per unit volume. At this time, the diameter of one hollow fiber is in the range of several tens of micrometers to several millimeters as an inner diameter, and usually constitutes one tube bundle 15 of several to several hundreds.

상기 어댑터(141)(142)는 덮개부(21)의 유입구(11) 및 유출구(12)를 수직으로 관통하여 설치되는 입구 부재(55)와, 튜브 다발(15)의 단부를 고정하는 쐐기(52)와, 상기 쐐기(52)를 입구 부재(55)의 하부에 고정하는 캡 너트(105)와, 입구 부재(101)의 상부를 덮개부(21)에 고정하는 너트(102)와, 입구 부재(55)와 덮개부(21)의 사이를 밀폐시키는 오링(53)으로 구성되고, 상기 오링(53)은 피탈기 액체의 종류에 따라 액체에 대하여 화학적인 내성을 갖는 재질로 형성된다. 여기서 미설명 부호 70은, 입구 부재(101)의 상단부에 연결되는 컨넥터이다.The adapters 141 and 142 may include an inlet member 55 installed vertically through the inlet 11 and the outlet 12 of the cover portion 21 and a wedge fixing the end of the tube bundle 15. 52, a cap nut 105 for fixing the wedge 52 to the lower portion of the inlet member 55, a nut 102 for fixing the upper portion of the inlet member 101 to the cover portion 21, an inlet It is composed of an O-ring 53 for sealing between the member 55 and the cover portion 21, the O-ring 53 is formed of a material having chemical resistance to the liquid, depending on the type of the degassing liquid. Here, reference numeral 70 is a connector connected to the upper end of the inlet member 101.

이와같이 구성된 종래의 탈기 장치는 피탈기 액체를 감압 챔버(2) 내부의 탈기 엘리먼트(5)의 내부로 보내고, 그 외부를 챔버 본체(22)의 진공 배기구(13)와 연결된 진공펌프(미도시됨)로 감압시켜 탈기 엘리먼트(5) 내부의 액체 내의 용존가스를 탈기시키게 되는 것이다.The conventional degassing device configured as described above sends the degassing liquid to the inside of the degassing element 5 inside the decompression chamber 2, and the outside thereof is connected to the vacuum exhaust port 13 of the chamber body 22 (not shown). By depressurizing with), the dissolved gas in the liquid inside the degassing element 5 is degassed.

한편, 상기 튜브 다발(15)의 단부는 핀 융착 방법에 의해서 쐐기(52)에 고정된다. 이를 위해 쐐기(52)의 내경에 상응하는 직경을 갖는 원형의 고정판(60)이 구비되고, 상기 고정판(60)은 튜브 다발(15) 각각의 기체 투과성 튜브(151)가 삽입되는 다수의 핀홀(61)을 가지며, 테프론 재질로 형성된다.On the other hand, the end of the tube bundle 15 is fixed to the wedge 52 by a pin fusion method. To this end, a circular fixing plate 60 having a diameter corresponding to the inner diameter of the wedge 52 is provided, and the fixing plate 60 includes a plurality of pinholes into which gas-permeable tubes 151 of each of the tube bundles 15 are inserted. 61) and is formed of Teflon material.

튜브 다발(15) 각각의 기체 투과성 튜브(151)는 고정판(60)의 하부에서 상부측으로 각각의 핀홀(61)에 삽입되고, 핀홀(61)에 삽입된 각각의 기체 투과성 튜브(151)는 고정판(60)에 가해지는 열에 의해 각각의 핀홀(61)에 열융착되는 것이며, 다시 상기 고정판(60)을 쐐기(52)의 내부에 삽입한 후 쐐기(52)와 고정판(60)의 사이를 실리콘 등으로 부착시킴으로써 튜브 다발(15)의 단부를 쐐기(52)의 내부에 고정하게 되는 것이다.The gas permeable tube 151 of each of the tube bundles 15 is inserted into each pinhole 61 from the bottom to the top of the fixing plate 60, and each gas permeable tube 151 inserted into the pinhole 61 is fixed plate. The heat is applied to each of the pinhole 61 by the heat applied to the 60, and the fixing plate 60 is inserted into the inside of the wedge 52, and then between the wedge 52 and the fixing plate 60 between the silicon The end of the tube bundle 15 is fixed to the inside of the wedge 52 by attaching with a back or the like.

이같이 종래의 탈기 장치는 쐐기에 튜브 다발의 단부를 고정할 때, 수작업으로 일일이 고정판 각각의 핀홀에 튜브 다발 각각의 기체 투과성 튜브를 삽입하고, 각각의 기체 투과성 튜브를 고정판 각각의 핀홀에 열융착시켜며, 다시 고정판을 쐐기의 내부에 삽입한 후 쐐기와 고정판의 사이를 열융착시켜야만 하므로 그 작업이 번거롭고 불편할 뿐만 아니라 작업의 비효율성을 초래하고, 작업시간이 오래 걸려 생산 효율이 떨어지는 문제점이 있었다.As such, the conventional degassing apparatus manually inserts the gas-permeable tubes of each of the tube bundles into the pinholes of the fixing plates by hand, and fixes each gas-permeable tube to the pinholes of the fixing plates by hand. And, since the fixing plate must be heat-sealed between the wedge and the fixing plate after inserting the inside of the wedge again, the work is not only cumbersome and inconvenient, but also causes inefficiency of the work and takes a long time, resulting in a problem of low production efficiency.

또한, 컨넥터의 숫나선부가 입구 부재의 암나선부에 체결된 결합 구조를 가지므로 감압 챔버 내의 진공압에 의해 컨넥터와 입구 부재의 사이가 벌어져 틈새가 발생하고, 입구 부재와 쐐기 사이에 기밀이 되어 있지 않아 액 누설로 인한 장치의 성능 및 신뢰성 저하를 초래하는 문제점이 있었다.
In addition, since the male threaded portion of the connector has a coupling structure fastened to the female threaded portion of the inlet member, a gap is generated between the connector and the inlet member due to the vacuum pressure in the decompression chamber, resulting in airtightness between the inlet member and the wedge. There was a problem that caused the degradation of the performance and reliability of the device due to liquid leakage.

이에 본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 제반 문제점을 해소하기 위해 창안된 것으로서, 그 목적은 튜브 다발의 단부를 입구 부재에 고정할 때 기존에서와 같이 고정판에 튜브 다발 각각의 튜브를 수작업으로 삽입하여 열융착하고, 다시 상기 고정판을 열융착에 의해 입구 부재에 고정하는 작업없이 캡 너트의 체결력에 의한 단순 조립 작업에 의해 튜브 다발의 단부를 입구 부재에 고정할 수 있도록 한 탈기 장치의 어댑터 구조를 제공함에 있다.Accordingly, the present invention has been devised to solve the conventional problems as described above, the purpose of which is to manually insert each tube of the tube bundle into the fixing plate as in the past when fixing the end of the tube bundle to the inlet member Provides an adapter structure of the degassing apparatus, which is heat-sealed and in which the end of the tube bundle can be fixed to the inlet member by a simple assembly operation by the fastening force of the cap nut without the work of fixing the fixing plate to the inlet member by heat fusion again. Is in.

또한, 본 발명은 덮개부와 입구 부재의 사이를 밀폐하고, 입구 부재와 슬리브의 사이를 밀폐하며, 입구 부재와 컨넥터의 사이를 밀폐하는 이중락 구조와 상기 컨넥터를 암나사로 하고 입구 부재를 숫나사로 하는 결합 구조에 의해 기밀성 향상을 기할 수 있도록 탈기 장치의 어댑터 구조를 제공함에 있다.
In addition, the present invention seals between the lid and the inlet member, seals between the inlet member and the sleeve, the double lock structure for sealing between the inlet member and the connector and the connector as a female screw and the inlet member with a male screw. The coupling structure to provide an adapter structure of the degassing apparatus to improve the airtightness.

이러한 본 발명의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 탈기 장치의 어댑터 구조의 한 형태는, 덮개부의 유입구 및 유출구를 수직으로 관통하여 설치되는 입구 부재와; 상기 입구 부재의 상부에 형성된 제1 외측 나선부에 나선 결합되어 입구부재를 덮개부에 고정하는 너트와; 상기 입구 부재의 하부 내측에 삽입되고, 삽입 단부 내측에 다수의 환형홈이 형성되며, 외측에 고정턱이 일체로 형성된 슬리브와; 상기 입구 부재의 하부에 형성된 제2 외측 나선부에 결합되어 슬리브를 입구 부재에 고정하는 캡 너트와; 상기 입구 부재의 제1 외측 나선부에 나선 결합되는 내측 나선부를 갖는 컨넥터;로 구성된 것을 특징으로 한다.One embodiment of the adapter structure of the degassing apparatus according to the present invention for achieving the object of the present invention comprises an inlet member which is installed through the inlet and outlet of the cover vertically; A nut that is helically coupled to a first outer spiral portion formed on an upper portion of the inlet member to fix the inlet member to the cover part; A sleeve inserted into the lower inside of the inlet member, a plurality of annular grooves formed inside the insertion end, and a fixing jaw integrally formed on the outside thereof; A cap nut coupled to a second outer spiral portion formed below the inlet member to fix the sleeve to the inlet member; And a connector having an inner spiral portion that is spirally coupled to the first outer spiral portion of the inlet member.

또한, 상기 덮개부와 입구 부재의 사이를 밀폐하는 제1 오링과; 상기 슬리브와 입구 부재의 사이를 밀폐하는 제2 오링과; 상기 컨넥터와 입구 부재의 사이를 밀폐하는 제3 오링;을 더 포함하는 것을 특징으로 하고, 상기 슬리브는 환형홈에 충진되는 파우더를 더 포함하는 것을 특징으로 한 탈기 장치의 어댑터 구조.
In addition, a first O-ring sealing between the cover and the inlet member; A second O-ring sealing between the sleeve and the inlet member; And a third O-ring sealing the space between the connector and the inlet member, wherein the sleeve further comprises powder filled in the annular groove.

상술한 바와 같이 본 발명은 튜브 다발의 단부를 입구 부재에 고정할 때 기존에서와 같이 고정판에 튜브 다발 각각의 튜브를 수작업으로 삽입하여 열융착하고, 다시 상기 고정판을 열융착에 의해 입구 부재에 고정하는 작업없이 캡 너트의 체결력에 의한 단순 조립 작업에 의해 튜브 다발의 단부를 입구 부재에 고정할 수 있어 입구 부재에 대한 튜브 다발의 고정작업이 용이하고, 이로 인하여 작업의 간편성은 물론 조립 시간의 단축으로 작업의 효율성 및 생산성을 한층 증대시킬 수 있는 효과를 갖게 된다.As described above, when the end of the tube bundle is fixed to the inlet member, the tube bundle is manually thermally fused by inserting each tube of the tube bundle into the fixing plate as in the prior art, and the fixing plate is fixed to the inlet member by thermal fusion again. The end of the tube bundle can be fixed to the inlet member by a simple assembly operation by the clamping force of the cap nut, thereby making it easy to fix the tube bundle to the inlet member, thereby simplifying the work and shortening the assembly time. As a result, the efficiency and productivity of the work can be further increased.

또한, 본 발명은 덮개부와 입구 부재의 사이를 제1 오링으로 밀폐하고, 입구 부재와 슬리브의 사이를 제2 오링으로 밀폐하며, 입구 부재와 컨넥터를 제3 오링으로 밀폐하는 이중락 구조와 상기 컨넥터를 암나사로 하고 입구 부재를 숫나사로 하는 결합 구조에 의해 기밀성을 한층 증대킬 수 있을 뿐만 아니라 이로 인하여 장치의 성능 및 신뢰성 향상을 기할 수 있는 효과도 갖게 된다.
In addition, the present invention is a double-lock structure that seals between the cover and the inlet member with a first O-ring, seals between the inlet member and the sleeve with a second O-ring, and seals the inlet member and the connector with a third O-ring. Not only can the airtightness be further increased by the coupling structure using the female female connector and the male female inlet member, but also have the effect of improving the performance and reliability of the apparatus.

도 1은 종래의 탈기 장치를 나타낸 단면도.
도 2는 도 1의 어댑터 구조를 나타낸 단면도.
도 3은 도 2의 쐐기에 튜브 다발의 단부를 고정할 때 사용되는 고정판을 나타낸 단면도.
도 4는 본 발명에 의한 탈기 장치의 어댑터 구조를 나타낸 분해 사시도.
도 5는 도 4의 조립 상태를 나타낸 단면도.
도 6은 도 5의 "A"부 확대도.1 is a cross-sectional view showing a conventional degassing apparatus.
2 is a cross-sectional view showing the adapter structure of FIG.
3 is a cross-sectional view showing a fixing plate used when fixing the end of the tube bundle to the wedge of FIG.
Figure 4 is an exploded perspective view showing the adapter structure of the degassing apparatus according to the present invention.
5 is a cross-sectional view showing the assembled state of FIG.
6 is an enlarged view of a portion "A"

이하, 첨부된 도면을 참조로 하여 본 발명의 구성을 실시예에 따라 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, the configuration of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

일반적으로 탈기 장치는 도 1에 도시된 바와 같이 피탈기 액체가 출입하는 유입구(11) 및 유출구(12)가 형성된 감압 챔버(2)와, 일단부가 상기 유입구(11)에 접속되고, 타단부가 상기 유출구(12)에 접속된 상태에서 상기 감압 챔버(2)에 수용되고, 상기 유입구(11)로 유입되는 상기 피탈기 액체가 내부를 통과하는 탈기 엘리먼트(5)가 구비된다.Generally, as shown in FIG. 1, the degassing apparatus includes a depressurization chamber 2 having an inlet 11 and an outlet 12 through which the degassing liquid enters and exits, and one end thereof is connected to the inlet 11. A degassing element 5 is provided in the decompression chamber 2 in a state connected to the outlet 12, and through which the sorbent liquid flowing into the inlet 11 passes through.

상기 감압 챔버(2)는 챔버 본체(22)와 덮개부(21)로 구성되고, 덮개부(21)에 상기 유입구(11) 및 유출구(12)가 형성되며, 챔버 본체(22)의 측부(25)에 진공 배기구(13)가 형성되고, 내부에 탈기 엘리먼트(5)가 수용된다.The decompression chamber 2 is composed of a chamber body 22 and a cover 21, the inlet 11 and the outlet 12 are formed in the cover 21, the side of the chamber body 22 ( A vacuum exhaust port 13 is formed in 25, and the degassing element 5 is accommodated therein.

상기 탈기 엘리먼트(5)는 가요성을 갖는 복수개의 기체 투과성 튜브(151)로 이루어지는 튜브 다발(15)과, 상기 복수개의 기체 투과성 튜브(151)를 묶어 상기 튜브 다발(15)을 형성하는 결속 부재(16)와, 상기 튜브 다발(15)의 일단부에 장착되어 상기 감압 챔버(2)의 유입구(11)에 접속하는 유입측 어댑터(141)와, 튜브 다발(15)의 타단부에 장착되어 감압 챔버(2)의 유출구(12)에 접속하는 유출측 어댑터(142)를 포함한다.The degassing element 5 is a binding member for forming the tube bundle 15 by tying the tube bundle 15 composed of a plurality of gas permeable tubes 151 with flexibility and the plurality of gas permeable tubes 151. (16), an inlet adapter 141 which is attached to one end of the tube bundle 15 and connected to the inlet 11 of the decompression chamber 2, and the other end of the tube bundle 15, An outlet side adapter 142 is connected to the outlet 12 of the decompression chamber 2.

이러한 탈기 장치에 있어, 본 발명에 의한 어댑터 구조는, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이 수직의 입구 부재(101)와 너트(102) 및 슬리브(104), 그리고, 캡 너트(105) 및 컨넥터(103)가 구비되어 상호 결합 및 조립 구조를 갖는다.In such a degassing apparatus, the adapter structure according to the present invention, as shown in Figs. 4 and 5, the vertical inlet member 101 and the nut 102 and the sleeve 104, and the cap nut 105 and The connector 103 is provided to have a mutual coupling and assembly structure.

상기 입구 부재(101)는 덮개부(21)의 하부를 지지하는 하부 지지턱(101c)이 형성되고, 하부 지지턱(101c)의 상.하부에 각각 제1 외측 나선부(101a) 및 제2 외측 나선부(101b)가 형성되며, 하부 지지턱(101c)은 제1 오링(106)이 수용될 수 있도록 상부측으로 개방된 환형의 링 삽입홈(101d)을 포함하고, 상기 제2 외측 나선부(101b)의 내측에는 후술되어질 제2 오링(107)의 상부를 지지하는 링 지지턱(101e)이 형성된다. 그리고, 상기 너트(102)는 입구 부재(101)의 제1 외측 나선부(101a)에 나선 결합되어 체결에 의한 조임력으로 입구 부재(101)를 덮개부(21)에 고정하는 기능을 갖는다.The inlet member 101 has a lower support jaw 101c supporting a lower portion of the cover portion 21, and a first outer spiral portion 101a and a second upper and lower portions of the lower support jaw 101c, respectively. The outer spiral portion 101b is formed, and the lower support jaw 101c includes an annular ring insertion groove 101d that is open to the upper side so that the first O-ring 106 can be accommodated. Inside the 101b, a ring support jaw 101e is formed to support the upper portion of the second O-ring 107 which will be described later. In addition, the nut 102 is helically coupled to the first outer spiral portion 101a of the inlet member 101 and has a function of fixing the inlet member 101 to the cover portion 21 with a tightening force by fastening.

상기 슬리브(104)는 수직의 원통 형상으로 형성되어 입구 부재(101)의 제2 외측 나선부(101b) 내측에 삽입되는 것으로서, 외측 상.하부에 각각 단턱부(104c) 및 고정턱(104b)이 형성되고, 상기 단턱부(104c)에 의해 하부가 지지되고 입구 부재(101)의 링 지지턱(101e)에 의해 상부가 지지되는 제2 오링(107)이 구비되며, 삽입 단부 내측 둘레를 따라 한 개 이상의 환형홈(104a)이 형성된다.The sleeve 104 is formed in a vertical cylindrical shape and is inserted into the second outer spiral portion 101b of the inlet member 101. The sleeve 104c and the fixing jaw 104b are respectively provided on the upper and lower portions of the outer sleeve. Is formed, and a second O-ring 107 is provided which is supported by the stepped portion 104c and supported by the ring supporting jaw 101e of the inlet member 101. One or more annular grooves 104a are formed.

상기 캡 너트(105)는 입구 부재(101)의 제2 외측 나선부(101b)에 나선 결합되고, 중앙부에 슬리브(104)의 외측을 관통하는 관통홀(105a)이 형성되며, 상기 관통홀(105a)의 외곽에는 슬리브(104)의 고정턱(104b)을 하부에서 지지하는 가압턱(105b)이 형성된다. 그리고, 상기 컨넥터(103)는 제1 외측 나선부(101a)에 나선 결합되는 내측 나선부(103a)를 포함하고, 상기 컨넥터(103)와 입구 부재(101)의 사이에 제3 오링(108)이 구비된다. 여기서, 미설명 부호 24는 덮개부(21)와 챔버 본체(22)를 밀착시키는 클램프이며, 26은 덮개부(21)와 챔버 본체(22)의 사이를 밀폐하는 기밀링이다.The cap nut 105 is helically coupled to the second outer spiral portion 101b of the inlet member 101, and a through hole 105a penetrating the outer side of the sleeve 104 is formed at a central portion thereof. The outer side of the 105a is formed with a pressing jaw 105b for supporting the fixing jaw 104b of the sleeve 104 from the bottom. In addition, the connector 103 includes an inner spiral portion 103a which is spirally coupled to the first outer spiral portion 101a, and a third O-ring 108 between the connector 103 and the inlet member 101. Is provided. Here, reference numeral 24 denotes a clamp for bringing the cover portion 21 and the chamber body 22 into close contact with each other, and 26 denotes an airtight ring that seals between the cover portion 21 and the chamber body 22.

다음은 상기한 바와 같이 구성된 각각의 구성 요소들의 결합 및 조립 과정을 첨부된 도 5를 참조로 하여 상세히 설명하기로 한다.Next, the process of assembling and assembling each of the components configured as described above will be described in detail with reference to FIG. 5.

먼저, 덮개부(21)의 유입구(11) 및 유출구(12)에 입구 부재(101)의 제1 외측 나선부(101a)를 하부에서 상부측으로 관통시킨다. 이에 따라 덮개부(21)의 하부면에 입구 부재(101)의 하부 지지턱(101c) 및 제1 오링(106)이 맞닿게 되고, 입구 부재(101)의 제1 외측 나선부(101a)에 나선 결합된 너트(102)를 덮개부(21) 측으로 조임으로써 제1 오링(106)에 의한 밀폐력과 함께 입구 부재(101)를 덮개부(21)에 고정할 수 있게 되는 것이다.First, the first outer spiral portion 101a of the inlet member 101 passes through the inlet 11 and the outlet 12 of the cover portion 21 from the lower side to the upper side. Accordingly, the lower support jaw 101c of the inlet member 101 and the first O-ring 106 abut on the lower surface of the cover portion 21, and the first outer spiral 101a of the inlet member 101. By tightening the threaded nut 102 to the cover part 21, the inlet member 101 can be fixed to the cover part 21 together with the sealing force by the first O-ring 106.

그런 다음, 튜브 다발(15)의 단부가 고정된 슬리브(104)를 입구 부재(101)의 하부 내측에 삽입하여 캡 너트(105)로 고정하게 되는 것으로서, 슬리브(102)에 대한 튜브 다발(15)의 고정은, 먼저 PFA(tetrafluoroethyele perfluroalkoxy vinyl ether 공중합체) 및 불소수지 계열의 파우더(109)를 슬리브(104)의 환형홈(104a)에 충진시킨다.Then, the tube bundle 15 with respect to the sleeve 102 is inserted into the lower portion of the inlet member 101 by inserting the sleeve 104 having the end of the tube bundle 15 fixed therein into the cap nut 105. ), The tetrafluoroethyele perfluroalkoxy vinyl ether copolymer (PFA) and the fluororesin-based powder 109 are first filled in the annular groove 104a of the sleeve 104.

그 후, 튜브 다발(15)의 단부를 슬리브(104)의 내부로 삽입하여 슬리브(104)에 열을 가하게 되고, 슬리브(104)를 통해 전달된 열로 인해 튜브 다발(15) 각각의 튜브가 서로 녹아 굳으면서 고정되며, 동시에 슬리브(104)의 환형홈(104a)에 충진된 파우더(109)도 함께 열에 의해 녹아 굳으면서 생긴 융착력으로 튜브 다발(15)과 슬리브(104)를 고정할 수 있게 되는 것이다. 이때, 상기 튜브 다발(15)과 슬리브(104)는 모두 테프론 계열로 파우더(109)와 동일 또는 유사한 재질로 형성된다.Thereafter, the ends of the tube bundles 15 are inserted into the sleeves 104 to heat the sleeves 104, and the tubes of each of the tube bundles 15 are separated from each other due to the heat transferred through the sleeves 104. It melts and is fixed and fixed, and at the same time, the powder 109 filled in the annular groove 104a of the sleeve 104 can also be fixed to the tube bundle 15 and the sleeve 104 by the fusion force created by melting and solidifying with heat. Will be. At this time, the tube bundle 15 and the sleeve 104 are all formed of the same or similar material as the powder 109 in a Teflon series.

이렇게 튜브 다발(15)의 단부가 고정된 슬리브(104)는 입구 부재(101)의 제2 외측 나선부(101b)의 내측에 삽입되는 것으로서, 슬리브(104)의 외측에 캡 너트(105)가 구비되어 상기 캡 너트(105)를 입구 부재(101)의 제2 외측 나선부(101b)에 체결함으로써 슬리브(104)를 입구 부재(101)에 고정할 수 있게 된다.The sleeve 104 having the end of the tube bundle 15 fixed thereto is inserted into the second outer spiral portion 101b of the inlet member 101, and the cap nut 105 is disposed outside the sleeve 104. It is possible to secure the sleeve 104 to the inlet member 101 by fastening the cap nut 105 to the second outer spiral portion 101b of the inlet member 101.

이때, 슬리브(104)의 단턱부(104c)와 입구 부재(101)의 링 지지턱(101e) 사이에 제2 오링(107)이 구비되어 입구 부재(101)와 슬리브(104)의 사이가 밀폐되는 것이며, 캡 너트(105)를 입구 부재(101)의 제2 외측 나선부(101b)에 체결할 때, 캡 너트(105)의 가압턱(105b)이 슬리브(104)의 고정턱(104b)을 가압함으로써 슬리브(104)를 입구 부재(101)에 고정할 수 있게 되는 것이다.At this time, a second O-ring 107 is provided between the stepped portion 104c of the sleeve 104 and the ring supporting jaw 101e of the inlet member 101 to seal the gap between the inlet member 101 and the sleeve 104. When the cap nut 105 is fastened to the second outer spiral portion 101b of the inlet member 101, the pressure jaw 105b of the cap nut 105 is fixed to the sleeve 104b of the sleeve 104. By pressing the sleeve 104 can be fixed to the inlet member 101.

상기 컨넥터(103)는 입구 부재(101)의 제1 외측 나선부(101a)에 내측 나선부(103a)가 나선 결합되고, 상기 입구 부재(101)와 컨넥터(103)의 사이에는 제3 오링(108)이 기재되어 컨넥터(103)와 입구 부재(101)의 사이를 밀폐하게 된다.The connector 103 has a spiral coupling of the inner spiral portion 103a to the first outer spiral portion 101a of the inlet member 101, and a third O-ring between the inlet member 101 and the connector 103. 108 is described to seal between the connector 103 and the inlet member 101.

이같이 본 발명은 튜브 다발의 단부를 입구 부재에 고정할 때 기존에서와 같이 고정판에 튜브 다발 각각의 튜브를 수작업으로 삽입하여 열융착하고, 다시 상기 고정판을 열융착에 의해 입구 부재에 고정하는 작업없이 캡 너트의 체결력에 의한 단순 조립 작업에 의해 튜브 다발의 단부를 입구 부재에 고정할 수 있어 작업의 간편성을 확보할 수 있게 되고, 덮개부와 입구 부재의 사이를 제1 오링으로 밀폐하며, 입구 부재와 슬리브의 사이를 제2 오링으로 밀폐하고, 입구 부재와 컨넥터를 제3 오링으로 밀폐하는 이중락 구조와 상기 컨넥터를 암나사로 하고 입구 부재를 숫나사로 하는 결합 구조에 의해 기밀성을 한층 증대킬 수 있게 되는 것이다.Thus, when the end of the tube bundle is fixed to the inlet member, the tube bundle is manually thermally fused by inserting each tube of the tube bundle into the fixing plate as in the prior art, and again without fixing the fixing plate to the inlet member by thermal fusion. The end of the tube bundle can be fixed to the inlet member by a simple assembling operation by the capping force of the cap nut, thereby ensuring the convenience of the operation. The first O-ring is sealed between the lid and the inlet member. The double lock structure sealing the inlet member and the sleeve with the second O-ring, the inlet member and the connector with the third O-ring, and the coupling structure of the connector with the female thread and the inlet member with the male thread can further increase airtightness. Will be.

이상에서 본 발명에 의한 탈기 장치의 어댑터 구조를 구체적으로 설명하였으나, 이는 본 발명의 가장 바람직한 실시양태를 기재한 것일 뿐, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 첨부된 특허청구범위에 의해서 그 범위가 결정되어지고 한정되어진다. 또한, 이 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구나 본 발명의 명세서의 기재내용에 의한 다양한 변형 및 모방을 행할 수 있을 것이나, 이 역시 본 발명의 범위를 벗어난 것이 아님은 명백하다고 할 것이다.
Although the adapter structure of the degassing apparatus according to the present invention has been described in detail above, this is only for describing the most preferred embodiment of the present invention, and the present invention is not limited thereto, and the scope is defined by the appended claims. Determined and defined. It will be apparent to those skilled in the art that various changes and modifications can be made by those skilled in the art without departing from the scope of the present invention.

101: 입구 부재 101a,101b: 제1,2 외측 나선부
101c: 하부 지지턱 101d: 링 삽입홈
101e: 링 지지턱 102: 너트
103: 컨넥터 103a: 내측 나선부
104: 슬리브 104a: 환형홈
104b: 고정턱 104c: 단턱부
105: 캡 너트 106,107,108: 제1,2,3 오링
109: 파우더101: entrance member 101a, 101b: first and second outer helix
101c: lower support jaw 101d: ring insertion groove
101e: ring support jaw 102: nut
103: connector 103a: inner helix
104: sleeve 104a: annular groove
104b: fixed jaw 104c: stepped portion
105: cap nut 106,107,108: 1,2,3 O-ring
109: powder

Claims (3)

덮개부(21)의 유입구(11) 및 유출구(12)를 수직으로 관통하여 설치되는 입구 부재(101)와;
상기 입구 부재(101)의 상부에 형성된 제1 외측 나선부(101a)에 나선 결합되어 입구부재(101)를 덮개부(21)에 고정하는 너트(102)와;
상기 입구 부재(101)의 하부 내측에 삽입되고, 삽입 단부 내측에 다수의 환형홈(104a)이 형성되며, 외측에 고정턱(104b)이 일체로 형성된 슬리브(104)와;
상기 입구 부재(101)의 하부에 형성된 제2 외측 나선부(101b)에 결합되어 슬리브(104)를 입구 부재(101)에 고정하는 캡 너트(105)와;
상기 입구 부재(101)의 제1 외측 나선부(101a)에 나선 결합되는 내측 나선부(103a)를 갖는 컨넥터(103)와;
상기 덮개부(21)와 입구 부재(101)의 사이를 밀폐하는 제1 오링(106)과;
상기 슬리브(104)와 입구 부재(101)의 사이를 밀폐하는 제2 오링(107)과;
상기 컨넥터(103)와 입구 부재(101)의 사이를 밀폐하는 제3 오링(108);으로 구성되고, 상기 슬리브(104)는 환형홈(104a)에 충진되는 파우더(109)를 더 포함하는 것을 특징으로 한 탈기 장치의 어댑터 구조.

An inlet member 101 installed vertically through the inlet port 11 and the outlet port 12 of the cover part 21;
A nut 102 coupled to the first outer spiral portion 101a formed on the inlet member 101 to fix the inlet member 101 to the cover portion 21;
A sleeve 104 inserted into the lower inside of the inlet member 101, a plurality of annular grooves 104a formed inside the insertion end, and a fixing jaw 104b integrally formed on the outside thereof;
A cap nut (105) coupled to a second outer helix (101b) formed below the inlet member (101) to secure the sleeve (104) to the inlet member (101);
A connector (103) having an inner helix (103a) which is spirally coupled to a first outer helix (101a) of said inlet member (101);
A first O-ring (106) for sealing between the cover portion (21) and the inlet member (101);
A second o-ring (107) sealing between said sleeve (104) and inlet member (101);
And a third O-ring 108 for sealing between the connector 103 and the inlet member 101, wherein the sleeve 104 further comprises a powder 109 filled in the annular groove 104a. Adapter structure of the deaerator characterized by the above.

삭제delete 삭제delete
KR1020120084427A 2012-08-01 2012-08-01 The adapter structuer of degasification apparatus KR101243785B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120084427A KR101243785B1 (en) 2012-08-01 2012-08-01 The adapter structuer of degasification apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120084427A KR101243785B1 (en) 2012-08-01 2012-08-01 The adapter structuer of degasification apparatus

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101243785B1 true KR101243785B1 (en) 2013-03-15

Family

ID=48181916

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020120084427A KR101243785B1 (en) 2012-08-01 2012-08-01 The adapter structuer of degasification apparatus

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101243785B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102059291B1 (en) 2019-03-22 2020-02-07 김정훈 Exhaust pot fitting structure for pipe line and process for preparing the same

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10165708A (en) * 1996-12-09 1998-06-23 Nitto Denko Corp Deaerating apparatus
JP3398826B2 (en) * 1994-11-29 2003-04-21 日東電工株式会社 Degassing device
JP4289706B2 (en) 1998-11-06 2009-07-01 東邦化成株式会社 Resin pipe fittings

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3398826B2 (en) * 1994-11-29 2003-04-21 日東電工株式会社 Degassing device
JPH10165708A (en) * 1996-12-09 1998-06-23 Nitto Denko Corp Deaerating apparatus
JP4289706B2 (en) 1998-11-06 2009-07-01 東邦化成株式会社 Resin pipe fittings

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102059291B1 (en) 2019-03-22 2020-02-07 김정훈 Exhaust pot fitting structure for pipe line and process for preparing the same

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6767973B2 (en) Surface seal fluid connection system
JP3962018B2 (en) Thermoplastic resin heat exchanger and method for producing thermoplastic resin heat exchanger
JP4958561B2 (en) Exchanger and manufacturing method with potted hollow conduit
US7686867B2 (en) Degasifier
JP5129321B2 (en) Deaerator
JP4341947B2 (en) Separation membrane module
KR101243785B1 (en) The adapter structuer of degasification apparatus
KR20060079791A (en) Simplified filter device
JP3847909B2 (en) Deaeration device and deaeration method
JP4885050B2 (en) Deaerator
JP2018507100A (en) Membrane assembly with end cap device and related methods
JP4105716B2 (en) Deaeration device and deaeration method
JP5339587B2 (en) Reactor
KR102673894B1 (en) Degassing device and the manufacturing method thereof
JP2005198782A (en) Tube connector and connection jig
JP6408886B2 (en) Reactor
JP2002181275A (en) Connecting structure of plastic tube
JP5416432B2 (en) Deaerator
JP2004154725A (en) All-fluororesin membrane module
JP2005305442A (en) Deaerator and deaeration method
KR200490376Y1 (en) Sealing structure used in Substrate disposition apparatus
JP6349124B2 (en) Reactor
JP3616221B2 (en) Deaerator
JPH1085508A (en) Deaerator
JP2020173219A (en) Column connection connector

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
A302 Request for accelerated examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160108

Year of fee payment: 4

LAPS Lapse due to unpaid annual fee