KR101242159B1 - 무진동 리니어 스테이지 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 무진동 리니어 스테이지에 관한 것으로서, 베이스; 서로 이격된 상태로 마주하게 배치되며, 서로 평행하게 왕복 운동 가능하도록 상기 베이스에 결합되는 한 쌍의 고정자; 상기 한 쌍의 고정자와 각각 결합되며, 상기 고정자와의 전자기적 상호 작용으로 발생되는 전자기력에 의하여 왕복 운동 가능한 한 쌍의 이동자; 상기 고정자의 왕복 운동을 방해하는 방향으로 상기 고정자에 탄성력을 가할 수 있는 탄성 수단; 일단부는 상기 한 쌍의 고정자 중 하나에 결합되고, 타단부는 상기 한 쌍의 고정자 중 나머지 하나에 결합됨으로써, 상기 한 쌍의 고정자를 서로 연결하는 더미 웨이트;를 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 왕복 운동 가능하도록 상기 베이스에 결합되는 한 쌍의 고정자와, 상기 고정자의 왕복 운동을 방해하는 방향으로 상기 고정자에 탄성력을 가할 수 있는 탄성 수단과, 상기 한 쌍의 고정자를 서로 연결하는 더미 웨이트를 구비함으로써, 작동시에 진동이 거의 발생하지 않는 효과가 있다.

Description

무진동 리니어 스테이지{Anti-vibration Linear stage}
본 발명은 리니어 스테이지에 관한 것으로서, 특히 작동시에 진동이 거의 발생하지 않는 무진동 리니어 스테이지에 관한 것이다.
리니어 스테이지(Linear stage)는, 반도체 제작 공정 등 정밀 기계 가공에 널리 사용되는 장치로서, 공구 등의 정밀한 공간상 위치 이동을 목적으로 하는 장치인데, 도 1 및 도 2에는 이러한 리니어 스테이지(1)의 일례가 도시되어 있다.
종래의 리니어 스테이지(1)는, 베이스(2)와, X 방향의 이동을 위한 구동장치로서 상기 베이스(2) 상면에 장착되어 있는 한 쌍의 리니어 모터(X1, X2)와, Y 방향의 이동을 위한 구동장치로서 양단이 상기 리니어 모터(X1, X2)에 각각 결합되어 있는 리니어 모터(Y1)를 구비하고 있다.
여기서, 상기 리니어 모터(X1)는, 상기 베이스(2)의 일단부 상면에 고정된 고정자(3)와, 상기 고정자(3)에 결합되어 X 방향으로 왕복 이동 가능한 이동자(4)를 구비하고 있으며, 상기 리니어 모터(X2)는, 상기 리니어 모터(X1)의 고정자(3)와 이격된 상태로 나란하게 배치되며 상기 베이스(2)의 타단부 상면에 고정되는 고정자(5)와, 상기 고정자(5)에 결합되어 X 방향으로 왕복 이동 가능한 이동자(6)를 구비하고 있다. 그리고, 상기 리니어 모터(Y1)는, 양단이 상기 리니어 모터(X1, X2)의 이동자(4, 6)에 각각 결합되어 있는 고정자(7)와, 상기 고정자(7)에 결합되어 Y 방향으로 왕복 이동 가능한 이동자(8)를 구비한다.
따라서, 상기 리니어 모터(Y1)는 상기 리니어 모터(X1, X2)에 의하여 X 방향으로 왕복 이동하며, 상기 리니어 모터(Y1)의 이동자(8)는 Y 방향으로 왕복 이동하게 된다.
그러나, 종래의 리니어 스테이지(1)는, 상기 리니어 모터(X1, X2)의 고정자(3, 5)들이 상기 베이스(2)의 상면에 고정되어 있으므로, 상기 리니어 모터(Y2)의 X 방향 왕복 이동에 의하여 발생되는 반력이 상기 베이스(2)에 그대로 전달됨으로써, 상기 베이스(2)에 상당한 진동이 발생되는 문제점이 있다. 이렇게 상기 베이스(2)에 진동이 발생되면, 상기 리니어 모터(X1, X2, Y1)의 구동 정밀도에 악영향을 주게 되고, 상기 리니어 스테이지(1)의 전체적인 정밀도가 감소하게 되는 문제점이 있다.
본 발명은 상기 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로서, 그 목적은 작동시에 진동이 거의 발생하지 않도록 구조가 개선된 무진동 리니어 스테이지를 제공하기 위함이다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 무진동 리니어 스테이지는, 베이스; 서로 이격된 상태로 마주하게 배치되며, 서로 평행하게 왕복 운동 가능하도록 상기 베이스에 결합되는 한 쌍의 고정자; 상기 한 쌍의 고정자와 각각 결합되며, 상기 고정자와의 전자기적 상호 작용으로 발생되는 전자기력에 의하여 왕복 운동 가능한 한 쌍의 이동자; 상기 고정자의 왕복 운동을 방해하는 방향으로 상기 고정자에 탄성력을 가할 수 있는 탄성 수단; 일단부는 상기 한 쌍의 고정자 중 하나에 결합되고, 타단부는 상기 한 쌍의 고정자 중 나머지 하나에 결합됨으로써, 상기 한 쌍의 고정자를 서로 연결하는 더미 웨이트;를 구비하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 고정자와의 전자기적 상호 작용에 의하여, 상기 고정자의 왕복 운동을 방해하는 방향으로 전자기력을 발생시킬 수 있는 제동부재를 구비하는 것이 바람직하다.
여기서, 상기 더미 웨이트는, 상기 한 쌍의 이동자 및 한 쌍의 고정자의 하측에 위치하는 것이 바람직하다.
여기서, 상기 더미 웨이트는, 상기 베이스의 내부에 배치되어 있는 것이 바람직하다.
여기서, 상기 탄성 수단은, 서로 마주하게 배치되어 있는 복수 쌍의 스프링인 것이 바람직하다.
본 발명에 따르면, 왕복 운동 가능하도록 상기 베이스에 결합되는 한 쌍의 고정자와, 상기 고정자의 왕복 운동을 방해하는 방향으로 상기 고정자에 탄성력을 가할 수 있는 탄성 수단과, 상기 한 쌍의 고정자를 서로 연결하는 더미 웨이트를 구비함으로써, 작동시에 진동이 거의 발생하지 않는 효과가 있다.
도 1은 종래의 리니어 스테이지를 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 리니어 스테이지의 정면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예인 무진동 리니어 스테이지를 나타내는 사시도이다.
도 4는 도 3에 도시된 무진동 리니어 스테이지의 정면도이다.
도 5는 도 3에 도시된 무진동 리니어 스테이지의 V-V선 단면도이다.
도 6은 도 3에 도시된 무진동 리니어 스테이지의 좌측면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예인 무진동 리니어 스테이지의 더미 웨이트 및 스프링을 나타내는 사시도이다.
도 8은 도 7에 도시된 더미 웨이트 및 스프링을 나타내는 정면도이다.
도 9는 도 7에 도시된 더미 웨이트 및 스프링을 나타내는 평면도이다.
이하에서, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명하기로 한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예인 무진동 리니어 스테이지를 나타내는 사시도이며, 도 4는 도 3에 도시된 무진동 리니어 스테이지의 정면도이다. 도 5는 도 3에 도시된 무진동 리니어 스테이지의 단면도이다.
도 3 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 무진동 리니어 스테이지(100)는, 공구 등의 정밀한 공간상 위치 이동을 목적으로 하는 장치로서, 베이스(10)와, 제1 리니어 모터(20)와, 제2 리니어 모터(30)와, 제3 리니어 모터(40)와, 더미 웨이트(50)와, 스프링(60)과, 제동부재(70)를 포함하여 구성된다.
상기 베이스(10)는, 작업장에 설치되는 테이블 형상의 철제 프레임으로서, 상단부 양측면에는 내부공간(11)으로 통하는 한 쌍의 측면개구부(12)가 형성되어 있으며, 상단부 앞면에는 상기 내부공간(11)으로 통하는 전면개구부(13)가 형성되어 있으며, 상단부 뒤면에는 상기 내부공간(11)으로 통하는 후면개구부(19)가 형성되어 있다.
상기 베이스(10)의 측면개구부(12) 외측에는, X 방향으로 길게 연장되며, 주변보다 낮은 높이를 가지는 단차면(16)이 각각 형성되어 있다.
상기 베이스(10)의 좌측 단차면(16)에는 X 방향으로 연장된 형상의 제1 가이드(14)가 고정되어 있으며, 상기 베이스(10)의 우측 단차면(16)에는 상기 제1 가이드(14)와 서로 평행하게 배치되며, X 방향으로 연장된 형상의 제2 가이드(15)가 고정되어 있다.
상기 베이스(10)의 상면 좌측 단부에는 X 방향으로 연장된 형상의 제3 가이드(17)가 고정되어 있으며, 상기 베이스(10)의 상면 우측 단부에는 상기 제3 가이드(17)와 서로 이격된 상태로 평행하게 배치되며, X 방향으로 연장된 형상의 제4 가이드(18)가 고정되어 있다.
상기 제1 리니어 모터(20)는, 회전형 모터와는 달리 직선 구동력을 직접 발생시키는 리니어 모터(linear motor)로서, 고정자(21)와, 이동자(22)를 구비한다.
상기 고정자(21)는, 'ㄷ'자형 단면을 가지는 철제 빔(beam)의 마주보는 2개의 내주면에 복수 개의 영구자석(23)이 장착된 것으로서, X 방향으로 길게 연장된 형상을 가지며, 상기 'ㄷ'자형 단면의 열린 부분이 상방을 향하도록 배치되어 있다.
상기 이동자(22)는, 상기 고정자(21)와의 전자기적 상호 작용으로 발생되는 전자기력에 의하여 X 방향으로 왕복 운동 가능한 부재로서, 상기 영구자석(23)들 사이 공간에 X 방향으로 왕복 운동 가능하게 배치된 코일부(24)를 구비하며, X 방향으로 왕복 운동 가능하게 상기 제3 가이드(17)에 결합되어 있다.
상기 제2 리니어 모터(30)는, 상기 제1 리니어 모터(20)와 같은 종류의 리니어 모터로서, 고정자(31)와, 이동자(32)를 구비한다.
상기 고정자(31)는, 'ㄷ'자형 단면을 가지는 철제 빔(beam)의 마주보는 2개의 내주면에 복수 개의 영구자석(33)이 장착된 것으로서, X 방향으로 길게 연장된 형상을 가지며, 상기 'ㄷ'자형 단면의 열린 부분이 상방을 향하도록 배치되어 있다.
상기 이동자(32)는, 상기 고정자(31)와의 전자기적 상호 작용으로 발생되는 전자기력에 의하여 X 방향으로 왕복 운동 가능한 부재로서, 상기 영구자석(33)들 사이 공간에 X 방향으로 왕복 운동 가능하게 배치된 코일부(34)를 구비하며, X 방향으로 왕복 운동 가능하게 상기 제4 가이드(18)에 결합되어 있다.
제3 리니어 모터(40)는, 상기 제1 리니어 모터(20) 및 제2 리니어 모터(30)와 같은 종류의 리니어 모터로서, 고정자(41)와, 이동자(42)를 구비한다.
상기 고정자(41)는, 'ㄷ'자형 단면을 가지는 철제 빔(beam)의 마주보는 2개의 내주면에 복수 개의 영구자석(미도시)이 장착된 것으로서, Y 방향으로 길게 연장된 형상이며, 상기 'ㄷ'자형 단면의 열린 부분이 상기 베이스(10)의 후방을 향하도록 배치되어 있다.
상기 고정자(41)는, 일단이 상기 제1 리니어 모터(20)의 이동자(22)에 결합되어 있고, 타단은 상기 제2 리니어 모터(30)의 이동자(32)에 결합되어 있다.
상기 이동자(42)는, 상기 고정자(41)와의 전자기적 상호 작용으로 발생되는 전자기력에 의하여 Y 방향으로 왕복 운동 가능한 부재로서, 상기 고정자(41)의 영구자석(미도시)들 사이 공간에 Y 방향으로 왕복 운동 가능하게 배치된 코일부(미도시)를 구비하며, Y 방향으로 왕복 운동 가능하게 상기 고정자(41)에 결합되어 있다.
상기 더미 웨이트(50)는, 미리 결정된 질량을 가지는 평판 형상의 부재로서, 일단부의 상면은 상기 제1 리니어 모터(20)의 고정자(21)의 하면에 결합되고, 타단부의 상면은 상기 제2 리니어 모터(30)의 고정자(31)의 하면에 결합되어 있다.
상기 더미 웨이트(50)의 일단부 하면은, X 방향으로 왕복 운동 가능하게 상기 제1 가이드(14)에 결합되어 있으며, 상기 더미 웨이트(50)의 타단부 하면은, X 방향으로 왕복 운동 가능하게 상기 제2 가이드(15)에 결합되어 있다. 따라서, 상기 한 쌍의 고정자(21, 31)들은, 상기 더미 웨이트(50)에 의하여 연결됨으로써, 서로 이격된 상태로 평행하게 상기 베이스(10)에 대하여 동일한 방향 동일한 거리만큼 상대 이동 가능한 구조를 가지게 된다.
본 실시예에서, 상기 더미 웨이트(50)는, 상기 고정자(21, 31) 및 이동자(22, 32)의 하측에 위치하며, 상기 베이스(10)의 내부공간(11)에 배치된 상태에서, 일단부는 상기 베이스(10)의 좌측에 형성된 측면개구부(12)를 관통한 상태로 상기 고정자(21)에 결합되고, 타단부는 상기 베이스(10)의 우측에 형성된 측면개구부(12)를 관통한 상태로 상기 고정자(31)에 결합되어 있다.
상기 스프링(60)은, 상기 고정자(21, 31)에 X 방향으로 탄성력을 가할 수 있는 탄성 수단으로서, 6쌍이 마련되며 각 쌍은 서로 마주하게 배치되는데, 본 실시예에서는 코일스프링이 사용되며 각각이 모두 동일한 탄성계수를 가지고 있다. 상기 스프링(60)들 중 6개는, 일단부가 상기 베이스(10)의 전방 내주면에 결합되고 타단부는 상기 더미 웨이트(50)의 전단에 결합되어 있고, 상기 스프링(60)들 중 나머지 6개는, 일단부가 상기 베이스(10)의 후방 내주면에 결합되고 타단부는 상기 더미 웨이트(50)의 후단에 결합되어 있다. 이때, 상기 더미 웨이트(50)에 외력이 가해지지 않는 중립 상태에서 각 스프링(60)들이 모두 미리 정한 길이만큼 늘어나게 장착된다. 따라서, 상기 스프링(60)들은 상기 고정자(21, 31)의 X 방향 왕복 운동을 방해하는 방향으로 작용하게 된다.
상기 제동부재(70)는, 상기 고정자(21, 31)와의 전자기적 상호 작용에 의하여, 상기 고정자(21, 31)의 왕복 운동을 방해하는 방향으로 전자기력을 발생시킬 수 있는 금속 부재로서, 상기 제1 리니어 모터(20)의 고정자(21)의 양단부 영구자석(23) 사이 공간 및 상기 제2 리니어 모터(30)의 고정자(31)의 양단부 영구자석(33) 사이 공간에 각각 장착되어 있다.
상술한 구성의 무진동 리니어 스테이지(100)는, 상기 제1 리니어 모터(20) 및 제2 리니어 모터(30)의 구동력에 의하여 상기 제3 리니어 모터(40)의 고정자(41)가 X 방향으로 왕복 이동하게 되고, 상기 제3 리니어 모터(40)의 구동력에 의하여 상기 제3 리니어 모터(40)의 이동자(42)가 Y 방향으로 왕복 이동하게 된다. 결국, 상기 제3 리니어 모터(40)의 이동자(42)는, 상기 베이스(10)의 상면 중 미리 정한 영역 내에서 원하는 위치로 이동할 수 있게 된다.
상기 제3 리니어 모터(40)의 고정자(41)가, 정지된 상태에서 +X 방향 즉 후방으로 이동하게 되면, -X 방향 즉 전방으로의 반력이 상기 제1 리니어 모터(20)의 고정자(21)와 상기 제2 리니어 모터(30)의 고정자(31)에 가해지게 되며, 상기 고정자(21, 31)들은 -X 방향으로 이동하게 되고, 상기 제1 리니어 모터(20)의 고정자(21) 및 상기 제2 리니어 모터(30)의 고정자(31)에 연결되어 있는 상기 더미 웨이트(50)도 -X 방향으로 이동하게 된다. 이때, 상기 스프링(60)들은 상기 더미 웨이트(50)의 -X 방향 이동을 방해하는 방향으로 상기 더미 웨이트(50)에 탄성력을 가하게 된다. 여기서, 상기 더미 웨이트(50)는, 상기 고정자(21, 31)들의 X 방향 운동방정식(equations of motion)에서 질량(M)을 증가시켜, 상기 고정자(21, 31)들의 진동주파수를 감소시키는 기능을 하며, 상기 스프링(60)들은 상기 고정자(21, 31)들의 X 방향 운동방정식에서 탄성계수(K)를 부여하여 상기 고정자(21, 31)들의 진폭을 제한하고, 상기 더미 웨이트(50)를 신속하게 원래 위치로 되돌리는 기능을 한다.
만일, 상기 제3 리니어 모터(40)의 고정자(41)가, 정지된 상태에서 -X 방향 즉 전방으로 이동하게 되는 경우에는, 마찬가지의 원리로, +X 방향으로의 반력이 상기 제1 리니어 모터(20)의 고정자(21)와 상기 제2 리니어 모터(30)의 고정자(31)에 가해지게 되며, 상기 고정자(21, 31)들은 +X 방향으로 이동하게 되고, 상기 제1 리니어 모터(20)의 고정자(21) 및 상기 제2 리니어 모터(30)의 고정자(31)에 연결되어 있는 상기 더미 웨이트(50)도 +X 방향으로 이동하게 된다. 이때, 상기 스프링(60)들은 상기 더미 웨이트(50)의 +X 방향 이동을 방해하는 방향으로 상기 더미 웨이트(50)에 탄성력을 가하게 된다.
또한, 상기 제1 리니어 모터(20)의 고정자(21)와 상기 제2 리니어 모터(30)의 고정자(31)는 -X 방향 즉 전방으로 이동하게 되면, 상기 영구자석(23, 33)들에 의하여 상기 제동부재(70)의 내부에 유도전류가 발생하고, 이러한 유도전류는 상기 고정자(21, 31)들의 -X 방향 이동을 방해하는 방향으로 전자기력을 발생시키게 된다. 여기서, 상기 제동부재(70)는, 상기 고정자(21, 31)들의 X 방향 운동방정식(equations of motion)에서 감쇠계수(C)를 부여하여, 상기 고정자(21, 31)들의 진동을 감쇠하는 기능을 한다.
따라서, 상기 제3 리니어 모터(40)의 고정자(41)가 X 방향으로 왕복 이동하게 되면, 상기 고정자(21, 31) 및 더미 웨이트(50)는, 상기 질량(M)과 탄성계수(K)와 감쇠계수(C)를 포함하는 운동방정식(equations of motion)에 따라, 독자적으로 X 방향으로 왕복 이동하면서 상기 고정자(41)의 X 방향 왕복 이동에 의하여 발생되는 반력을 흡수하는 구조를 가지게 된다.
상기 무진동 리니어 스테이지(100)는, 왕복 운동 가능하도록 상기 베이스(10)에 결합되는 한 쌍의 고정자(21, 31)와, 상기 고정자(21, 31)의 왕복 운동을 방해하는 방향으로 상기 고정자(21, 31)에 탄성력을 가할 수 있는 스프링(60)과, 상기 한 쌍의 고정자(21, 31)를 서로 연결하는 더미 웨이트(50)를 구비하고 있으므로, 상기 제3 리니어 모터(40)가 X 방향으로 왕복 이동하는 경우, 상기 이동자(22, 32)들을 경유하여 상기 고정자(21, 31)들에게 전달되는 강한 반력이, 상기 스프링(60)에 의하여 대부분 흡수되고 상기 베이스(10)로 거의 전달되지 않는다. 따라서, 상기 무진동 리니어 스테이지(100)는, 작동시에 상기 베이스(10)의 진동이 거의 발생하지 않는 장점이 있다.
그리고, 상기 무진동 리니어 스테이지(100)는, 상기 고정자(21, 31)들과의 전자기적 상호 작용에 의하여, 상기 고정자(21, 31)의 왕복 운동을 방해하는 방향으로 전자기력을 발생시킬 수 있는 제동부재(70)를 구비하고 있으므로, 상기 고정자(21, 31)들의 X 방향 운동을 신속하게 감쇠시킬 수 있다는 장점이 있다.
또한, 상기 무진동 리니어 스테이지(100)는, 상기 더미 웨이트(50)가 상기 이동자(22, 32) 및 고정자(21, 31)의 하측에 위치하고 있어, 상기 더미 웨이트(50)의 무게 중심이 낮아지므로, 상기 더미 웨이트(50)의 무게 중심이 높은 경우에 비하여, 구조적으로 안정하며 진동 발생이 적다는 장점이 있다.
아울러, 상기 무진동 리니어 스테이지(100)는, 상기 더미 웨이트(50)가 상기 베이스(10)의 내부공간(11)에 배치되어 있으므로, 상기 베이스(10)의 상측 공간에 배치된 경우에 비하여, 외관상 깔끔하며 상기 베이스(10) 상면의 작업 공간 확보에도 유리하다는 장점이 있다.
본 실시예에서는, 상기 탄성 수단으로서 복수 쌍의 코일형 스프링(60)이 사용되고 있으나, 고무줄 또는 판형 스프링 등의 탄성 수단이 사용될 수 있음은 물론이다.
이상으로 본 발명을 설명하였는데, 본 발명의 기술적 범위는 상술한 실시예에 기재된 내용으로 한정되는 것은 아니며, 해당 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 수정 또는 변경된 등가의 구성은 본 발명의 기술적 사상의 범위를 벗어나지 않는 것임은 명백하다.
＊ 도면의 주요부위에 대한 부호의 설명 ＊
100 : 무진동 리니어 스테이지 10 : 베이스
11 : 내부공간 12 : 측면개구부
13 : 전면개구부 14 : 제1 가이드
15 : 제2 가이드 16 : 단차면
17 : 제3 가이드 18 : 제4 가이드
20 : 제1 리니어 모터 21 : 고정자
22 : 이동자 23 : 영구자석
24 : 코일부 30 : 제2 리니어 모터
31 : 고정자 32 : 이동자
33 : 영구자석 34 : 코일부
40 : 제3 리니어 모터 41 : 고정자
42 : 이동자 50 : 더미 웨이트
60 : 스프링 70 : 제동부재
1 : 리니어 스테이지 2 : 베이스
3, 5, 7 : 고정자 4, 6, 8 : 이동자
X1, X2, Y1 : 리니어 모터

Claims (5)

  1. 베이스;
    서로 이격된 상태로 마주하게 배치되며, 서로 평행하게 왕복 운동 가능하도록 상기 베이스에 결합되는 한 쌍의 고정자;
    상기 한 쌍의 고정자와 각각 결합되며, 상기 고정자와의 전자기적 상호 작용으로 발생되는 전자기력에 의하여 왕복 운동 가능한 한 쌍의 이동자;
    상기 고정자의 왕복 운동을 방해하는 방향으로 상기 고정자에 탄성력을 가할 수 있는 탄성 수단;
    일단부는 상기 한 쌍의 고정자 중 하나에 결합되고, 타단부는 상기 한 쌍의 고정자 중 나머지 하나에 결합됨으로써, 상기 한 쌍의 고정자를 서로 연결하며, 미리 결정된 질량을 가지는 더미 웨이트;
    를 구비하며,
    상기 더미 웨이트는, 상기 한 쌍의 이동자 및 한 쌍의 고정자의 하측에 위치하며, 상기 베이스의 내부에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 무진동 리니어 스테이지.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 고정자와의 전자기적 상호 작용에 의하여, 상기 고정자의 왕복 운동을 방해하는 방향으로 전자기력을 발생시킬 수 있는 제동부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 무진동 리니어 스테이지.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 탄성 수단은, 서로 마주하게 배치되어 있는 복수 쌍의 스프링인 것을 특징으로 하는 무진동 리니어 스테이지.
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