KR101234935B1 - Inspection device of illumination and inspection method of illumination - Google Patents

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Abstract

본 발명은 조명검사장치 및 조명검사방법에 관한 것으로, 조명장치에서 발산된 빛을 반사하며 회전축을 구비하여 구동되는 반사부; 상기 반사부를 구동시키는 반사방향조정부; 상기 반사부에서 반사된 빛의 광도를 측정하는 측정부; 및 상기 반사방향조정부와 상기 측정부를 제어하는 제어부; 를 포함하며, 상기 제어부는 상기 회전축의 중심을 지나는 상기 반사부의 법선과, 상기 측정부로부터 상기 회전축 까지 연결되는 가상선이 이루는 각도 θ1을 변화시키면서 상기 측정부에서 측정되는 빛의 광도를 저장하는 것일 수 있다.The present invention relates to an illumination inspection apparatus and an illumination inspection method, the reflector for reflecting the light emitted from the illumination device is driven with a rotating shaft; A reflection direction adjusting unit driving the reflection unit; A measuring unit measuring the intensity of light reflected from the reflecting unit; And a control unit controlling the reflection direction adjusting unit and the measuring unit. The control unit is to store the intensity of light measured by the measuring unit while varying the angle θ1 formed between the normal line of the reflecting portion passing through the center of the rotation axis and the imaginary line connected from the measuring unit to the rotation axis Can be.

Description

조명검사장치 및 조명검사방법{INSPECTION DEVICE OF ILLUMINATION AND INSPECTION METHOD OF ILLUMINATION}Lighting inspection device and lighting inspection method {INSPECTION DEVICE OF ILLUMINATION AND INSPECTION METHOD OF ILLUMINATION}

본 발명은 조명검사장치 및 조명검사방법에 관한 것이다.
The present invention relates to a lighting inspection apparatus and a lighting inspection method.

다양한 제품들이 자동화된 공정을 통해 만들어지고 있다. 이러한 제품의 경우 적은 수준이나마 불량이 존재하게 되며, 이러한 불량을 수작업으로 하나씩 검사하는 것은 매우 비효율 적이다. 따라서, 이러한 대량생산 제품들의 불량여부를 검사하기 위하여 자동광 검사 방식이 도입되어, 기판, 전자칩, 인쇄물 등의 불량 검사 용도로 폭넓게 사용되고 있다.Various products are made through automated processes. For these products, there are few defects, and it is very inefficient to inspect these defects one by one manually. Therefore, the automatic light inspection method is introduced to inspect the defects of such mass-produced products, and is widely used for defect inspection purposes such as substrates, electronic chips, and printed materials.

상기와 같은 자동광 검사 방식에 사용되는 자동광 검사기는 도 1에서 예시한 바와 같이, 고성능 카메라와 렌즈, 그리고 적절한 조명으로 구성되는데, 이러한 광학계에서 얻어진 이미지를 화상 알고리즘을 이용해 계산하여 이물, 파손, 변형, 스크래치 등의 다양한 결함을 자동으로 검출할 수 있다.As shown in FIG. 1, the automatic light inspector used in the automatic light inspection method is composed of a high-performance camera, a lens, and appropriate lighting. The image obtained by the optical system is calculated using an image algorithm to detect foreign objects, breakage, Various defects such as deformation and scratch can be detected automatically.

한편, 자동광 검사 방식을 빠르고 정확하게 수행하기 위해서는 적절한 조명장치의 설계 및 배치가 무엇 보다 중요하다고 할 수 있다.On the other hand, in order to perform the automatic light inspection method quickly and accurately it can be said that the design and layout of the appropriate lighting device is most important.

예를 들면, 표면에 결함이 있는 제품을 자동광 검사 방식으로 검사할 경우에, 조명장치에서 발산되는 빛의 특성에 따라 상기 결함이 명확하게 검출되거나 그렇지 않을 수 있는 것이다.For example, in the case of inspecting a product having a surface defect by an automatic light inspection method, the defect may be clearly detected or not according to the characteristics of light emitted from the lighting device.

또한, 자동광 검사의 대상이 되는 제품은 그 종류가 다양할 뿐만 아니라, 특정 제품에서 검사하고자 하는 결함의 유형도 다양하다.In addition, the types of products to be subjected to automatic light inspection are not only diverse, but also various types of defects to be inspected in a specific product.

따라서, 조명장치는 검사대상인 제품의 종류 및 결함의 유형에 따라 요구되는 특성 내지는 조건이 달라져야 한다.
Therefore, the lighting device has to vary the required characteristics or conditions depending on the type of product to be inspected and the type of defect.

그러나, 종래에는 자동광 검사용 장비에 조명장치를 탑재함에 있어서, 탑재되는 조명장치가 발산하는 빛의 공간적인 밝기 분포, 검사대상물체의 표면에 입사되는 각도에 따른 밝기 분포 등을 측정하거나 검사할 수 있는 장비나 방법이 없었다.However, conventionally, in mounting the lighting device to the automatic light inspection equipment, it is possible to measure or inspect the spatial brightness distribution of the light emitted by the mounted lighting device, the brightness distribution according to the angle incident on the surface of the inspection object. There was no equipment or way to do it.

또한, 조명장치를 설계 및 제작하는 과정에서 예상치 못한 요인으로 인하여 조명장치 자체에 불량이 발생하거나, 제작된 조명장치의 특성이 요구조건에 부합하지 못하는 문제가 발생하였지만, 이러한 불량 조명장치들을 효율적으로 선별해 낼 수 있는 장비나 방법도 없었다.
In addition, in the design and manufacturing process of the lighting device due to the unexpected factors, such as the failure of the lighting device itself, or the characteristics of the produced lighting device did not meet the requirements, but these poor lighting devices efficiently There was no equipment or method to sort out.

상기와 같은 문제점들을 해결하기 위하여 창안된 본 발명은, 다양한 조명장치들을 신속하고 정밀하게 검사할 수 있는 조명검사장치 및 조명검사방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
The present invention devised to solve the above problems, an object of the present invention is to provide a light inspection device and a light inspection method that can quickly and precisely inspect a variety of lighting devices.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 창안된 본 발명의 일실시예에 따른 조명검사장치는, 조명장치에서 발산된 빛을 반사하며 회전축을 구비하여 구동되는 반사부; 상기 반사부를 구동시키는 반사방향조정부; 상기 반사부에서 반사된 빛의 광도를 측정하는 측정부; 및 상기 반사방향조정부와 상기 측정부를 제어하는 제어부; 를 포함하며, 상기 제어부는 상기 회전축의 중심을 지나는 상기 반사부의 법선과, 상기 측정부로부터 상기 회전축까지 연결되는 가상선이 이루는 각도 θ1을 변화시키면서 상기 측정부에서 측정되는 빛의 광도를 저장하는 것일 수 있다.The lighting inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, which is designed to achieve the above object, reflects the light emitted from the lighting device and is provided with a rotating shaft; A reflection direction adjusting unit driving the reflection unit; A measuring unit measuring the intensity of light reflected from the reflecting unit; And a control unit controlling the reflection direction adjusting unit and the measuring unit. It includes, wherein the control unit is to store the brightness of the light measured by the measuring unit while changing the angle θ1 formed by the normal line of the reflecting portion passing through the center of the rotation axis and the imaginary line connected from the measuring unit to the rotation axis Can be.

또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 조명검사장치는, 조명장치에서 발산된 빛을 반사하는 반사부; 상기 반사부에서 반사된 빛의 광도를 측정하며, 상기 반사부의 중심점을 축으로 구동되는 측정부; 상기 측정부를 구동시키는 측정방향조정부; 및 상기 측정부와 상기 측정방향조정부를 제어하는 제어부;를 포함하며, 상기 제어부는 상기 중심점을 지나는 상기 반사부의 법선과, 상기 측정부로부터 상기 중심점을 연결하는 가상선이 이루는 각도 θ2를 변화시키면서 상기 측정부에서 측정되는 빛의 광도를 저장하는 것일 수 있다.In addition, the lighting inspection apparatus according to another embodiment of the present invention, the reflection unit for reflecting light emitted from the lighting device; A measuring unit which measures the intensity of light reflected by the reflecting unit and drives the center point of the reflecting unit as an axis; A measuring direction adjusting unit driving the measuring unit; And a control unit controlling the measuring unit and the measuring direction adjusting unit, wherein the control unit changes the angle θ2 formed by a normal line of the reflecting unit passing through the center point and an imaginary line connecting the center point from the measuring unit. It may be to store the brightness of the light measured by the measuring unit.

이때, 상기 반사부와 상기 측정부 사이에 구비되어 상기 반사부 상의 한 점에서 반사되어 미리 정해진 방향으로 진행하는 빛이 상기 측정부에 결상되도록 하는 결상용 광학계를 더 포함할 수 있다.The optical system may further include an imaging optical system provided between the reflecting unit and the measuring unit to reflect light from one point on the reflecting unit and proceed in a predetermined direction.

또한, 상기 조명장치가 거치되며, 상기 조명장치의 위치를 조정하는 조명위치조정부;를 더 포함하며, 상기 제어부는 상기 조명위치조정부도 제어하는 것일 수 있다.The lighting apparatus may further include an illumination position adjusting unit adjusting the position of the lighting apparatus, and the control unit may also control the lighting position adjusting unit.

또한, 상기 측정부는, 빛을 수용하는 렌즈; 및 상기 렌즈를 통과한 빛을 전기적인 신호로 변환하는 이미지센서;를 포함할 수 있다.In addition, the measuring unit, a lens for receiving light; And an image sensor converting light passing through the lens into an electrical signal.

또한, 상기 제어부는, 상기 θ1과 상기 θ1에 따른 광도 정보를 매칭시키는 제1연산부를 포함할 수 있다.The controller may include a first calculator that matches the θ1 and the luminance information according to θ1.

또한, 상기 제어부는, 상기 θ2와 상기 θ2에 따른 광도 정보를 매칭시키는 제2연산부를 포함할 수 있다.The controller may include a second calculator that matches the θ2 and the luminance information according to θ2.

또한, 상기 측정부의 상기 반사부쪽 표면에 기준선이 구비될 수 있다.
In addition, a reference line may be provided on the surface of the reflecting unit side of the measuring unit.

한편, 본 발명의 일실시예에 따른 조명검사방법은, (A) 상기 조명장치, 반사부 및 측정부를 정렬하는 단계; (B) 상기 θ1 또는 θ2를 변경시키면서 광도 정보를 측정하는 단계; 및 (C) 상기 (B) 단계에서 측정된 측정결과를 저장하는 단계;를 포함할 수 있다.On the other hand, the lighting inspection method according to an embodiment of the present invention, (A) aligning the lighting device, the reflector and the measuring unit; (B) measuring brightness information while changing the θ1 or θ2; And (C) storing the measurement result measured in the step (B).

이때, 상기 (B) 단계와 상기 (C) 단계 사이에, (b1) 상기 조명장치를 이동시키는 단계; 및 (b2) 상기 조명장치가 미리 설정된 위치까지 이동되지 않았을 경우에만 상기 (B) 단계로 피드백하는 단계;를 더 포함할 수 있다.At this time, between the step (B) and the step (C), (b1) moving the lighting device; And (b2) feeding back to the step (B) only when the lighting device is not moved to a preset position.

또한, 상기 (C) 단계 이후에, (D) 상기 (C) 단계에서 저장된 측정결과를 정상상태값과 비교하는 단계;를 더 포함할 수 있다.
In addition, after the step (C), (D) comparing the measurement result stored in the step (C) with a steady state value; may further include.

상기와 같이 구성된 본 발명의 일실시예에 따른 조명검사장치 및 조명검사방법은 조명장치의 광분포 특성을 측정함으로써, 조명장치의 불량여부를 판별하고, 조명장치의 조명각에 따른 광도의 분포 특성을 도출하여 추후 자동광 검사 과정에서 레퍼런스 데이터로 활용할 수 있다는 유용한 효과를 제공한다.
The lighting inspection apparatus and the lighting inspection method according to an embodiment of the present invention configured as described above by measuring the light distribution characteristics of the lighting device, to determine whether the lighting device is defective, the distribution characteristics of the brightness according to the illumination angle of the lighting device It provides a useful effect that it can be used as reference data in the auto light inspection process later.

도 1은 종래의 자동광 검사장비의 구성을 개략적으로 예시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 조명검사장치를 개략적으로 예시한 도면이다.
도 3은 입사각의 변화에 따른 조명강도의 분포를 개략적으로 예시한 그래프이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 조명검사장치의 변형예를 개략적으로 예시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 조명검사장치를 개략적으로 예시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 조명검사장치의 주요부의 변형예를 개략적으로 예시한 도면이다.
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 조명검사방법을 예시한 순서도이다.
1 is a view schematically illustrating a configuration of a conventional automatic light inspection equipment.
2 is a view schematically showing an illumination inspection device according to an embodiment of the present invention.
3 is a graph schematically illustrating a distribution of illumination intensity according to a change in incident angle.
4 is a view schematically illustrating a modification of the lighting inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
5 is a view schematically showing an illumination inspection device according to another embodiment of the present invention.
6 is a view schematically illustrating a modification of the main part of the lighting inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
7 is a flowchart illustrating a lighting inspection method according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 기술 등은 첨부되는 도면들과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있다. 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 함과 더불어, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공될 수 있다. 명세서 전문에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.The advantages and features of the present invention and the techniques for achieving them will be apparent from the following detailed description taken in conjunction with the accompanying drawings. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. The present embodiments are provided so that the disclosure of the present invention is not only limited thereto, but also may enable others skilled in the art to fully understand the scope of the invention. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification.

본 명세서에서 사용된 용어들은 실시예를 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 '포함한다(comprise)' 및/또는 '포함하는(comprising)'은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. In the present specification, the singular form includes plural forms unless otherwise specified in the specification. As used herein, 'comprise' and / or 'comprising' refers to a component, step, operation and / or element that is mentioned in the presence of one or more other components, steps, operations and / or elements. Or does not exclude additions.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성 및 작동을 상세하게 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail the configuration and operation of the present invention.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 조명검사장치(100)를 개략적으로 예시한 도면이다.2 is a view schematically showing an illumination inspection device 100 according to an embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 조명검사장치(100)는 반사부(110), 반사방향조정부, 측정부(120) 및 제어부(130)를 포함할 수 있다.2, the lighting inspection apparatus 100 according to an exemplary embodiment of the present invention may include a reflector 110, a reflection direction adjuster, a measurer 120, and a controller 130.

상기 반사부(110)는 회전축을 구비하여 구동되는 것일 수 있으며, 조명장치(1)에서 발산된 빛을 반사하는 기능을 수행할 수 있다.The reflector 110 may be driven with a rotating shaft, and may perform a function of reflecting light emitted from the lighting device 1.

상기 반사방향조정부(도시 않음)는 상기 반사부(110)를 구동시켜 조명장치(1)에서 발산된 빛의 반사방향을 조정하는 기능을 수행할 수 있다.The reflection direction adjustment unit (not shown) may drive the reflection unit 110 to adjust a reflection direction of light emitted from the lighting device 1.

상기 반사방향조정부는 일반적인 모터와 기어 등으로 구현될 수 있다.The reflection direction adjusting unit may be implemented by a general motor and a gear.

도시하지는 않았지만, 상기 반사부(110)와 반사방향조정부는 다양한 형상의 거치대에 구동 가능하게 고정될 수 있다.Although not shown, the reflective part 110 and the reflective direction adjusting part may be fixed to the cradle of various shapes.

상기 측정부(120)는 빛을 수용하는 렌즈(121)와 상기 렌즈(121)에 의하여 수용된 빛이 도달하며 광신호를 전기신호로 변환하는 통상의 이미지센서(122)를 포함할 수 있다.The measurement unit 120 may include a lens 121 for receiving light and a conventional image sensor 122 for reaching the light received by the lens 121 and converting an optical signal into an electrical signal.

또한, 상기 렌즈(121)는 복수의 군 및/또는 매로 이루어져 초점 조절이 가능할 수 있다.In addition, the lens 121 may be composed of a plurality of groups and / or a sheet may be able to adjust the focus.

이에 따라, 상기 측정부(120)는 반사부(110)에서 반사된 빛의 광도를 측정하는 기능을 수행할 수 있다.Accordingly, the measurement unit 120 may perform a function of measuring the luminous intensity of light reflected from the reflector 110.

도시하지 않았지만, 조명위치조정부가 더 구비될 수 있다.Although not shown, the lighting position adjusting unit may be further provided.

상기 조명위치조정부에는 조명장치(1)가 거치되어 그 위치가 조정될 수 있다.The lighting position adjusting unit is mounted with a lighting device 1 can be adjusted to its position.

이때, 상기 제어부(130)가 조명위치조정부를 제어할 수 있다.
In this case, the controller 130 may control the lighting position adjusting unit.

상기 제어부(130)는 반사부(110), 반사방향조정부 및 측정부(120)를 제어하는 기능을 수행할 수 있다.
The controller 130 may perform a function of controlling the reflector 110, the reflection direction adjuster, and the measurer 120.

특히, 상기 제어부(130)는 반사방향조정부에 제어신호를 인가하여 상기 반사부(110)를 구동시킬 수 있는데, 이에 따라, 반사부(110)의 회전축의 중심을 지나는 반사부(110)의 법선과 상기 측정부(120)로부터 상기 회전축까지 연결되는 가상선이 이루는 각도인 θ를 변화시키면서 빛의 광도를 측정하여 저장되도록 할 수 있다.In particular, the control unit 130 may drive the reflection unit 110 by applying a control signal to the reflection direction adjustment unit, accordingly, the normal of the reflection unit 110 passing through the center of the rotation axis of the reflection unit 110 And measure the intensity of light while varying θ, which is an angle formed by an imaginary line connected from the measurement unit 120 to the rotation axis, to be stored.

이때, 도면상의 φ는 상기 조명장치(1)에서 상기 반사부(110)의 회전축의 중심을 연결한 가상선과, 상기 측정부(120)로부터 상기 회전축까지 연결되는 가상선이 이루는 각도이다.In this case, φ on the drawing is an angle formed by the virtual line connecting the center of the rotation axis of the reflecting unit 110 and the virtual line connected from the measuring unit 120 to the rotation axis in the lighting device (1).

조명장치(1)에서 발생되는 빛은 반사부(110)의 표면에서 반사되어 측정부(120)로 입사되거나 측정부(120) 주변으로 진행되는데, 특히, Φ = 2θ의 관계가 성립되는 빛 만이 선택적으로 상기 측정부(120)로 입사된다.Light generated by the lighting device 1 is reflected from the surface of the reflector 110 and is incident on the measurement unit 120 or proceeds to the periphery of the measurement unit 120. In particular, only light having a relationship of Φ = 2θ is established. Optionally incident to the measuring unit 120.

한편, θ에 따른 광도분포를 보다 정밀하게 측정하기 위해서는 상기 측정부(120)에서 받아들이는 빛의 범위를 좁게 하는 것이 바람직하다. 이를 위하여 상기 측정부(120)에서 사용되는 렌즈의 F 값을 크게 하거나, 조리개를 최대로 닫는 방법을 사용할 수 있으며, 이미지센서(122)의 중심부에 해당하는 소정의 영역에서 센싱된 데이터만 활용하도록 소프트웨어적으로 처리될 수도 있다.
On the other hand, in order to more accurately measure the light intensity distribution according to θ, it is preferable to narrow the range of light received by the measuring unit 120. To this end, a method of increasing the F value of the lens used in the measuring unit 120 or closing the iris to the maximum may be used, and to use only the data sensed in a predetermined region corresponding to the center of the image sensor 122. It can also be done in software.

상기 제어부(130)는 연산부를 구비하여 상기 θ와 상기 θ에 따른 광도 정보를 매칭시킬 수 있다.The controller 130 may include a calculator to match luminance information according to θ with the θ.

도 3에서 예시한 바와 같이 입사각에 따라 조명강도가 달라지게 되는데, 상기와 같이 θ를 달리하면서 빛의 광도를 측정함으로써 검사대상 조명장치(1)의 입사각에 따른 조명강도의 분포를 확인할 수 있다.As illustrated in FIG. 3, the illumination intensity is changed according to the angle of incidence, and the distribution of the illumination intensity according to the angle of incidence of the inspection target lighting device 1 may be determined by measuring the intensity of light while varying θ as described above.

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한편, 상기 반사부(110)와 측정부(120) 사이에는 결상용 광학계(도시 않음)가 구비될 수 있다.On the other hand, an imaging optical system (not shown) may be provided between the reflector 110 and the measurement unit 120.

상기 결상용 광학계는 상기 반사부(110) 상의 한 점에서 반사되는 빛 가운데 특정 방향으로 진행하는 빛을 반사 또는 굴곡시켜 상기 측정부(120)의 렌즈(121)를 거쳐 이미지센서(122)에 결상되도록 하는 기능을 수행할 수 있다.The imaging optical system reflects or bends the light traveling in a specific direction among the light reflected at one point on the reflector 110 to form an image on the image sensor 122 via the lens 121 of the measurement unit 120. Function to make it work.

이때, 상기 결상용 광학계는 복수 개의 거울, 렌즈(121) 및/또는 프리즘 등을 이용하여 구현될 수 있다.
In this case, the imaging optical system may be implemented using a plurality of mirrors, lenses 121 and / or prisms.

도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 조명검사장치(100)의 변형예를 개략적으로 예시한 도면이다.4 is a view schematically illustrating a modification of the lighting inspection apparatus 100 according to an embodiment of the present invention.

도 2에서는 상기 반사부(110)가 2차원적으로 구동되는 경우를 예시하였지만, 도 4에서 예시한 바와 같이 상기 반사부(110)가 3차원적으로 구동될 수도 있다.
In FIG. 2, the reflective unit 110 is driven two-dimensionally. However, as illustrated in FIG. 4, the reflective unit 110 may be three-dimensionally driven.

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 조명검사장치(200)를 개략적으로 예시한 도면이다.5 is a view schematically showing an illumination inspection device 200 according to another embodiment of the present invention.

이하에서는 중복설명을 피하기 위하여 전술한 도 2에 예시한 실시예와 차이가 있는 사항을 중심으로 설명한다.Hereinafter, in order to avoid overlapping description, descriptions will be made mainly on matters different from those of the embodiment illustrated in FIG. 2.

도 5를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 조명검사장치(200)는 반사부(210), 측정부(220), 측정방향조정부(도시 않음) 및 제어부(230)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 5, the lighting inspection apparatus 200 according to another embodiment of the present invention may include a reflecting unit 210, a measuring unit 220, a measuring direction adjusting unit (not shown), and a control unit 230. .

구체적으로 살펴보면, 상기 측정부(220)는 반사부(210)의 중심점을 축으로 구동될 수 있으며, 이때, 상기 측정방향조정부는 제어부(230)의 제어신호에 따라 측정부(220)를 구동시킬 수 있다.Specifically, the measurement unit 220 may be driven by the axis of the center of the reflector 210, the measurement direction adjusting unit to drive the measurement unit 220 in accordance with the control signal of the controller 230 Can be.

이에 따라, 도 2에서 예시한 경우와 달리 반사부(210)는 고정되고 측정부(220)가 구동될 수 있는 것이다.
Accordingly, unlike the case illustrated in FIG. 2, the reflector 210 is fixed and the measurement unit 220 may be driven.

도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 조명검사장치의 주요부의 변형예를 개략적으로 예시한 도면이다.6 is a view schematically illustrating a modification of the main part of the lighting inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 6을 참조하면, 상기 측정부(120)의 반사부(110)쪽 표면에 십자형 기준선(123)이 구비될 수 있다. 이때, 도면에서는 십자형 기준선을 예시하였으나, 이와 같은 도시는 정렬을 위한 대표적인 기준선의 형태를 예시한 것으로써, 정렬에 도움이 될 수 있는 것이라면 어떠한 형태든지 적용될 수 있다.Referring to FIG. 6, a cross reference line 123 may be provided on a surface of the reflecting unit 110 of the measuring unit 120. At this time, although the cross-shaped reference line is illustrated in the drawing, such a figure illustrates the shape of a representative reference line for alignment, and any shape may be applied as long as it can help the alignment.

상기 십자형 기준선(123)은 측정부(120)와 반사부(110)를 정렬할 때 활용될 수 있다.
The cross reference line 123 may be used to align the measurement unit 120 and the reflector 110.

도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 조명검사방법을 예시한 순서도이다.7 is a flowchart illustrating a lighting inspection method according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 일실시예에 따른 조명검사방법은, 정렬, 측정 및 저장단계를 포함할 수 있다.Lighting inspection method according to an embodiment of the present invention, may include the alignment, measurement and storage steps.

상기 정렬단계(S100)에서는 조명장치, 반사부 및 측정부를 정렬한다.In the alignment step (S100) to align the lighting device, the reflector and the measuring unit.

조명장치는 특정 위치에 고정되거나 조명위치조정부에 결합되어 추후 이동되도록 할 수 있다.The lighting apparatus may be fixed at a specific position or coupled to the lighting position adjusting unit to be moved later.

또한, 반사부와 측정부는 반사부의 법선과 측정부가 평행을 이루도록 정렬될 수 있다. 이때, 상기 반사부의 중심점 수직 상방에 측정부가 위치될 수 있다.In addition, the reflector and the measurer may be aligned such that the normal of the reflector and the measurer are parallel to each other. In this case, the measurement unit may be positioned above the center point of the reflector.

한편, 상기 도 6에서 예시한 바와 같이 측정부(120)에 십자형 기준선(123)을 구비하여 정렬과정에서 활용할 수 있다.Meanwhile, as illustrated in FIG. 6, a cross reference line 123 may be provided in the measuring unit 120 to be used in the alignment process.

다음으로, 측정단계(S110)에서는 상기 θ를 변경시키면서(S111) 광도 정보를 측정한다(S112). 또한, 상기 각도 θ가 한계에 도달할 때까지 반사부의 각도를 변경하면서(S111) 광도 정보를 측정하는 과정(S112)을 반복하며, 각도 θ가 한계에 도달하면 다음 단계로 진행한다(S113).Next, in the measuring step (S110) while changing the θ (S111) the brightness information is measured (S112). In addition, the process (S112) of measuring the brightness information is repeated while changing the angle of the reflector until the angle θ reaches the limit (S111). When the angle θ reaches the limit, the process proceeds to the next step (S113).

이때, 반사부를 구동시키거나 측정부를 구동시킴으로써 θ를 변경시킬 수 있다.At this time, θ can be changed by driving the reflecting unit or driving the measuring unit.

다음으로, 저장단계(S140)에서는 측정단계(S110)에서 측정된 측정결과를 저장할 수 있다. 이때, 상기 θ와 θ에 따른 광도 정보가 제어부에 의하여 매칭되어 저장될 수 있다.Next, the storage step (S140) may store the measurement results measured in the measurement step (S110). In this case, the luminance information according to θ and θ may be matched and stored by the controller.

이렇게 저장된 정보는 조명장치가 자동광 검사장비에 적용되어 시료에 대한 검사를 진행할 때 레퍼런스 정보로 활용될 수 있다.
The information stored in this way can be used as reference information when the lighting device is applied to the automatic light inspection equipment to test the sample.

한편, 상기 측정단계(S110)와 저장단계(S140) 사이에, 상기 조명장치를 이동시키는 단계(S120) 및 상기 조명장치가 미리 설정된 위치까지 이동되지 않았을 경우에만 상기 측정단계(S110) 단계로 피드백하는 단계(S130)를 더 포함할 수 있다.On the other hand, between the measuring step (S110) and the storage step (S140), the step of moving the lighting device (S120) and the feedback to the measuring step (S110) step only when the lighting device is not moved to a preset position It may further comprise a step (S130).

이에 따라, 조명위치조정부에 조명장치가 거치된 경우 조명의 위치를 변경하면서 광도 정보를 얻을 수 있다.
Accordingly, when the lighting device is mounted to the lighting position adjusting unit, brightness information may be obtained while changing the position of the lighting.

또한, 상기 저장단계(S140) 이후에, 저장된 측정결과를 정상상태값과 비교하는 단계를 더 포함할 수 있다. 이때, 정상상태값은 다른 방법에 의하여 정상상태인 것으로 판별된 조명장치에 대하여 θ와 θ에 따른 광도 정보를 매칭한 데이터일 수 있다.In addition, after the storing step S140, the method may further include comparing the stored measurement result with a steady state value. In this case, the steady state value may be data obtained by matching luminance information according to θ and θ with respect to the lighting device determined to be in a steady state by another method.

이에 따라, 조명장치의 불량여부 판별을 효율적으로 수행할 수 있게 된다.
Accordingly, it is possible to efficiently determine whether the lighting device is defective.

이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내고 설명하는 것에 불과하며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉, 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위 내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 전술한 실시예들은 본 발명을 실시하는데 있어 최선의 상태를 설명하기 위한 것이며, 본 발명과 같은 다른 발명을 이용하는데 당업계에 알려진 다른 상태로의 실시, 그리고 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서, 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
The foregoing detailed description is illustrative of the present invention. In addition, the foregoing description merely shows and describes preferred embodiments of the present invention, and the present invention can be used in various other combinations, modifications, and environments. That is, it is possible to make changes or modifications within the scope of the concept of the invention disclosed in this specification, the disclosure and the equivalents of the disclosure and / or the scope of the art or knowledge of the present invention. The above-described embodiments are for explaining the best state in carrying out the present invention, the use of other inventions such as the present invention in other states known in the art, and the specific fields of application and uses of the invention are required. Various changes are also possible. Accordingly, the detailed description of the invention is not intended to limit the invention to the disclosed embodiments. It is also to be understood that the appended claims are intended to cover such other embodiments.

1 : 조명장치
100, 200 : 조명검사장치
110 : 반사부
120 : 측정부
121 : 렌즈
122 : 이미지센서
130 : 제어부
1: Lighting device
100, 200: lighting inspection device
110: reflector
120: measuring unit
121: Lens
122: image sensor
130: control unit

Claims (12)

조명장치에서 발산된 빛을 반사하며 회전축을 구비하여 구동되는 반사부;
상기 반사부를 구동시키는 반사방향조정부;
상기 반사부에서 반사된 빛의 광도를 측정하는 측정부; 및
상기 반사방향조정부와 상기 측정부를 제어하는 제어부;
를 포함하며,
상기 제어부는 상기 회전축의 중심을 지나는 상기 반사부의 법선과, 상기 측정부로부터 상기 회전축 까지 연결되는 가상선이 이루는 각도 θ1을 변화시키면서 상기 측정부에서 측정되는 빛의 광도를 저장하는 것인
조명검사장치.
A reflector which reflects the light emitted from the lighting device and is driven with a rotating shaft;
A reflection direction adjusting unit driving the reflection unit;
A measuring unit measuring the intensity of light reflected from the reflecting unit; And
A control unit controlling the reflection direction adjusting unit and the measurement unit;
Including;
The control unit stores the light intensity of the light measured by the measuring unit while varying the angle θ1 formed between the normal line of the reflecting unit passing through the center of the rotation axis and the imaginary line connected from the measuring unit to the rotation axis.
Lighting inspection device.
조명장치에서 발산된 빛을 반사하는 반사부;
상기 반사부에서 반사된 빛의 광도를 측정하며, 상기 반사부의 중심점을 축으로 구동되는 측정부;
상기 측정부를 구동시키는 측정방향조정부; 및
상기 측정부와 상기 측정방향조정부를 제어하는 제어부;
를 포함하며,
상기 제어부는 상기 중심점을 지나는 상기 반사부의 법선과, 상기 측정부로부터 상기 중심점을 연결하는 가상선이 이루는 각도 θ2를 변화시키면서 상기 측정부에서 측정되는 빛의 광도를 저장하는 것인
조명검사장치.
A reflector reflecting light emitted from the lighting device;
A measuring unit which measures the intensity of light reflected by the reflecting unit and drives the center point of the reflecting unit as an axis;
A measuring direction adjusting unit driving the measuring unit; And
A control unit controlling the measurement unit and the measurement direction adjusting unit;
Including;
The control unit stores an intensity of light measured by the measuring unit while varying an angle θ2 formed between the normal line of the reflecting unit passing through the center point and an imaginary line connecting the center point from the measuring unit.
Lighting inspection device.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 반사부와 상기 측정부 사이에 구비되어, 상기 반사부 상의 한 점에서 반사되어 미리 정해진 방향으로 진행하는 빛을 상기 측정부로 결상되도록 하는 결상용 광학계를 더 포함하는
조명검사장치.
The method according to claim 1 or 2,
It further comprises an imaging optical system provided between the reflecting unit and the measuring unit, the light reflecting from one point on the reflecting unit and proceeds in a predetermined direction to the imaging unit
Lighting inspection device.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 조명장치가 거치되며, 상기 조명장치의 위치를 조정하는 조명위치조정부; 를 더 포함하고,
상기 제어부는 상기 조명위치조정부도 제어하는 것인
조명검사장치.
The method according to claim 1 or 2,
The lighting device is mounted, the lighting position adjusting unit for adjusting the position of the lighting device; Further comprising:
The control unit also controls the lighting position adjusting unit
Lighting inspection device.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 측정부는
빛을 수용하는 렌즈; 및
상기 렌즈를 통과한 빛을 전기적인 신호로 변환하는 이미지센서;
를 포함하는 것인
조명검사장치.
The method according to claim 1 or 2,
The measuring unit
A lens that receives light; And
An image sensor converting light passing through the lens into an electrical signal;
To include
Lighting inspection device.
제1항에 있어서,
상기 제어부는,
상기 θ1과, 상기 θ1에 따른 광도 정보를 매칭시키는 제1연산부를 포함하는 것인
조명검사장치.
The method of claim 1,
The control unit,
It includes a first calculation unit for matching the θ1 and the brightness information according to the θ1
Lighting inspection device.
제2항에 있어서,
상기 제어부는,
상기 θ2와, 상기 θ2에 따른 광도 정보를 매칭시키는 제2연산부를 포함하는 것인
조명검사장치.
The method of claim 2,
The control unit,
It includes a second operation unit for matching the θ2 and the brightness information according to θ2
Lighting inspection device.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 측정부의 상기 반사부쪽 표면에 기준선이 구비되는
조명검사장치.
The method according to claim 1 or 2,
The reference line is provided on the surface of the reflector side of the measurement unit
Lighting inspection device.
제1항에 따른 조명검사장치를 이용하여 조명을 검사하는 방법에 있어서,
(A) 상기 조명장치, 반사부 및 측정부를 정렬하는 단계;
(B) 상기 θ1를 변경시키면서 광도 정보를 측정하는 단계; 및
(C) 상기 (B) 단계에서 측정된 측정결과를 저장하는 단계;
를 포함하는
조명검사방법.
In the method of inspecting lighting using the lighting inspection device according to claim 1,
(A) aligning the lighting device, the reflecting unit and the measuring unit;
(B) measuring brightness information while changing the θ1; And
(C) storing the measurement result measured in the step (B);
Containing
Lighting inspection method.
제2항에 따른 조명검사장치를 이용하여 조명을 검사하는 방법에 있어서,
(A) 상기 조명장치, 반사부 및 측정부를 정렬하는 단계;
(B) 상기 θ2를 변경시키면서 광도 정보를 측정하는 단계; 및
(C) 상기 (B) 단계에서 측정된 측정결과를 저장하는 단계;
를 포함하는
조명검사방법.
In the method of inspecting the light using the lighting inspection device according to claim 2,
(A) aligning the lighting device, the reflecting unit and the measuring unit;
(B) measuring brightness information while changing the θ2; And
(C) storing the measurement result measured in the step (B);
Containing
Lighting inspection method.
제9항 또는 제10항에 있어서,
상기 (B) 단계와 상기 (C) 단계 사이에,
(b1) 상기 조명장치를 이동시키는 단계; 및
(b2) 상기 조명장치가 미리 설정된 위치까지 이동되지 않았을 경우에만 상기 (B) 단계로 피드백하는 단계;
를 더 포함하는
조명검사방법.
11. The method according to claim 9 or 10,
Between step (B) and step (C),
(b1) moving the lighting device; And
(b2) feeding back to the step (B) only when the lighting device is not moved to a preset position;
Further comprising
Lighting inspection method.
제9항 또는 제10항에 있어서,
상기 (C) 단계 이후에,
(D) 상기 (C) 단계에서 저장된 측정결과를 정상상태값과 비교하는 단계;
를 더 포함하며,
상기 정상상태값은 정상상태인 것으로 판별된 조명장치에 대한 광도 정보를 포함하는 데이터인
조명검사방법.
11. The method according to claim 9 or 10,
After the step (C),
(D) comparing the measurement result stored in the step (C) with a steady state value;
More,
The steady state value is a data including luminance information of the lighting apparatus determined to be in a steady state.
Lighting inspection method.
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