KR101230473B1 - Method for inspecting indentation of conductive ball using differential interference contrast microscope - Google Patents
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Abstract
본 발명은 미분 간섭 현미경 광학계를 이용한 도전볼 압흔 검사방법에 관한 것으로, 내부에 미분 간섭 프리즘이 내장된 튜브 렌즈와, 상기 튜브 렌즈의 하단에 연결 설치된 검사카메라와, 상기 튜브 렌즈의 상단에 설치된 대물렌즈와, 상기 튜브 렌즈의 길이 일부에 수직 설치된 광원과, 상기 광원이 연결된 지점의 튜브 렌즈에 내장되어 광을 분리하는 빔 스플리터와, 상기 광원과 튜브 렌즈가 연결되는 지점의 광원 상에 설치된 폴라리저(Polarizer)와, 상기 빔 스플리터와 검사카메라 사이에 설치된 에널라이저(Analyzer)와, 상기 에널라이저와 검사카메라 사이에 설치된 DIC 필터와, 상기 검사카메라의 아날로그 영상을 디지털화시키고 디지털 영상을 저장하는 프레임 그래버와, 상기 프레임 그래버와 연결되어 영상을 가공 처리하는 PC를 포함하는 미분 간섭 현미경 광학계를 이용하여 도전볼의 압흔을 검사할 때, 상기 검사카메라 한 대 만을 이용하여 오토 포커싱과 검사 기능을 모두 수행하되, 오토 포커싱 할 때는 관심영역(ROI)을 피검사체의 전체 크기(Full)로 하지 않고 특정 영역으로 줄여 신속하게 고속 포커싱이 가능하게 하고, 검사 수행시에는 오토 포커싱이 이루어진 상태에서 관심영역(ROI)을 피검사체의 전체 영역으로 확대시켜 촬상하도록 소프트웨어 적으로 제어 처리하는 것을 특징으로 하는 미분 간섭 현미경 광학계를 이용한 도전볼 압흔 검사방법을 제공한다.
본 발명에 따르면, 관심영역을 대폭 축소시켜 초당 처리 화면수를 늘림으로써 별도의 포커싱 카메라 없이도 검사카메라 한 대 만으로 오토 포커싱과 검사가 가능하여 광학계의 구조를 단순화시킬 수 있고, 이에 따라 오차가 발생되지 않아 정확한 검사가 가능하며, 비용을 줄이고, 검사시간을 단축하는 효과를 얻을 수 있다.The present invention relates to a conductive ball indentation inspection method using a differential interference microscope optical system, a tube lens with a differential interference prism therein, an inspection camera connected to the lower end of the tube lens, and an object installed on the upper end of the tube lens A lens, a light source vertically installed at a part of the length of the tube lens, a beam splitter built in the tube lens at the point where the light source is connected to separate light, and a polarizer installed on the light source at the point where the light source and the tube lens are connected A polarizer, an analyzer installed between the beam splitter and the inspection camera, a DIC filter installed between the analyzer and the inspection camera, and a frame grabber for digitizing an analog image of the inspection camera and storing a digital image. Differential interference comprising a PC connected to the frame grabber to process an image; When inspecting the indentation of the conductive ball using a microscopic optical system, both the auto focusing and the inspection function are performed using only one inspection camera, but when auto focusing, the ROI is defined as the entire size of the object under test. It is possible to quickly focus by reducing to a specific area instead of using it, and to perform a software control process to enlarge the ROI to the whole area of the object under inspection while performing auto focusing. A conductive ball indentation inspection method using a differential interference microscope optical system is provided.
According to the present invention, by significantly reducing the region of interest to increase the number of screens per second, auto focusing and inspection is possible with only one inspection camera without a separate focusing camera, thereby simplifying the structure of the optical system, and thus an error is not generated. As a result, accurate inspection is possible, and the cost and the inspection time can be shortened.
Description
본 발명은 미분 간섭 현미경 광학계를 이용한 도전볼 압흔 검사방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 검사 카메라 만으로도 압흔 검사가 가능하고 오포 포커싱 기능까지 수행할 수 있도록 개선된 미분 간섭 현미경 광학계를 이용한 도전볼 압흔 검사방법에 관한 것이다.
The present invention relates to a conductive ball indentation inspection method using a differential interference microscope optical system, and more specifically, a conductive ball indentation inspection using an improved differential interference microscope optical system capable of performing an indentation inspection and performing an oppo focusing function using only an inspection camera. It is about a method.
주지된 바와 같이, LCD 모듈 조립공정에서 LCD 패널과 탭(Tab) 혹은 드라이브 아이시(Drive IC)의 전기적 접합을 위해 ACF(antisotropic conductive film) 테이프의 도전성 볼(도전볼)이 사용된다.As is well known, conductive balls (ACCs) of an antisotropic conductive film (ACF) tape are used for electrical bonding of LCD panels and tabs or drive ICs in the LCD module assembly process.
이때, 상기 ACF(이방 도전성 접착제)는 미세한 간격의 전극을 갖는 회로들의 전기적 도통을 목적으로 열과 압력을 이용하여 접속시키는 일종의 커넥터이다.At this time, the ACF (anisotropic conductive adhesive) is a kind of connector that is connected by using heat and pressure for the purpose of electrical conduction of circuits having finely spaced electrodes.
이러한 이방 도전성 접착제는 일반적으로 단층 또는 다층의 고분자 수지에 전기적 도통을 할 수 있는 도전성 미립자를 포함하며, 이 혼합액을 PET 등과 같은 기재필름에 코팅하여 얻어진다.Such an anisotropic conductive adhesive generally contains conductive fine particles capable of electrical conduction to a single layer or multilayer polymer resin, and is obtained by coating the mixed solution on a base film such as PET.
상기 도전성 미립자는 도전볼의 형태로 사용되었으며, 이러한 도전볼을 이용하여 이방성 도전 필름(anisotropic conductive film, ACF) 및 이방 도전 페이스트(anisotropic coonductive paste, ACP)를 제조할 경우 현미경 확인 검사방식에 따라서 도전볼의 눌림(압흔), 즉 열압착 상태를 확인하고 있다.The conductive fine particles were used in the form of conductive balls, and when the anisotropic conductive film (ACF) and the anisotropic conductive paste (ACP) are manufactured using the conductive balls, the conductive particles are electrically conductive according to the microscopic examination method. The ball is pressed (squeezed), that is, the state of thermal compression is checked.
여기에서, 현미경 확인 검사방식은 미분 간섭 현미경 광학계와 고해상도 CCD 카메라를 이용하여 이루어지고 있다.Here, the microscope confirmation inspection method is made using a differential interference microscope optical system and a high resolution CCD camera.
물론, 라인 스캔 방식도 개시되고 있지만 라인 스캔 방식의 경우에는 라인 형태로 검출되기 때문에 변위 센서가 별도로 필요하므로 주로 대형 패널에서 많이 활용되는 방식이다.Of course, the line scan method is also disclosed, but since the line scan method is detected in the form of a line, a displacement sensor is required separately, which is mainly used in large panels.
그런데, 종래 현미경 확인 검사방식의 경우에는 도 1의 예시와 같이, 관심영역(ROI:Region Of Interest)을 촬상하여 검사하기 위해 고해상도 검사카메라(10)와, 상기 검사카메라(10)의 정확하고 세밀한 검사를 위해 몇십 ㎛ 단위로 초점이 맞춰져야 하기 때문에 오토 포커싱을 위한 포커싱 카메라(20)를 반드시 필요로 하였다.However, in the case of the conventional microscope confirmation inspection method, as shown in the example of FIG. 1, in order to capture and inspect a region of interest (ROI), the high
이는 검사카메라(10)의 경우 고해상도를 요구하고 있기 때문에 고속 처리가 불가능하여 부득이 포커싱을 위한 별도의 고속 포커싱 카메라(20)를 둘 수 밖에 없기 때문이다.This is because the
이에 따라, 광학계의 구조가 복잡해지고, 제어도 복잡해지며, 비용이 증가하고, 광학적으로 맞추기가 어려워 카메라간 오차가 발생되므로 반드시 보정이라는 추후 절차를 거쳐야만 하는 단점을 가지고 있다.
Accordingly, since the structure of the optical system is complicated, the control is complicated, the cost is increased, and it is difficult to fit optically, an error between cameras is generated.
본 발명은 상술한 바와 같은 종래 기술상의 제반 문제점들을 감안하여 이를 해결하고자 창출된 것으로, 관심영역을 대폭 축소시켜 초당 처리할 수 있는 화면수를 늘림으로써 별도의 오토 포커싱을 위한 카메라를 두지 않고도 검사카메라 자체로 오토 포커싱과 검사기능을 동시에 수행할 수 있도록 하여 검사시간을 단축하고, 비용을 절감하며, 광학계의 구조를 단순화시킬 수 있도록 한 미분 간섭 현미경 광학계를 이용한 도전볼 압흔 검사방법을 제공함에 그 주된 해결 과제가 있다.
The present invention was created in view of the above-mentioned problems in the prior art, and has been created to solve this problem. By greatly reducing the ROI and increasing the number of screens that can be processed per second, the inspection camera is not required for a separate auto focusing camera. It provides a method for inspecting conductive ball indentation using differential interference microscopy optics, which enables the auto focusing and inspection functions to be performed simultaneously, thereby reducing inspection time, reducing costs, and simplifying the structure of the optics. There is a challenge.
본 발명은 상기한 해결 과제를 달성하기 위한 수단으로, 내부에 미분 간섭 프리즘이 내장된 튜브 렌즈와, 상기 튜브 렌즈의 하단에 연결 설치된 검사카메라와, 상기 튜브 렌즈의 상단에 설치된 대물렌즈와, 상기 튜브 렌즈의 길이 일부에 수직 설치된 광원과, 상기 광원이 연결된 지점의 튜브 렌즈에 내장되어 광을 분리하는 빔 스플리터와, 상기 광원과 튜브 렌즈가 연결되는 지점의 광원 상에 설치된 폴라리저(Polarizer)와, 상기 빔 스플리터와 검사카메라 사이에 설치된 에널라이저(Analyzer)와, 상기 에널라이저와 검사카메라 사이에 설치된 DIC 필터와, 상기 검사카메라의 아날로그 영상을 디지털화시키고 디지털 영상을 저장하는 프레임 그래버와, 상기 프레임 그래버와 연결되어 영상을 가공 처리하는 PC를 포함하는 미분 간섭 현미경 광학계를 이용하여 도전볼의 압흔을 검사할 때, 상기 검사카메라 한 대 만을 이용하여 오토 포커싱과 검사 기능을 모두 수행하되, 오토 포커싱 할 때는 관심영역(ROI)을 피검사체의 전체 크기(Full)로 하지 않고 특정 영역으로 줄여 신속하게 고속 포커싱이 가능하게 하고, 검사 수행시에는 오토 포커싱이 이루어진 상태에서 관심영역(ROI)을 피검사체의 전체 영역으로 확대시켜 촬상하도록 소프트웨어 적으로 제어 처리하는 것을 특징으로 하는 미분 간섭 현미경 광학계를 이용한 도전볼 압흔 검사방법을 제공한다.The present invention is a means for achieving the above object, a tube lens with a differential interference prism therein, an inspection camera connected to the lower end of the tube lens, an objective lens provided on the upper end of the tube lens, A light source vertically installed on a part of the length of the tube lens, a beam splitter built in the tube lens at the point where the light source is connected to separate light, a polarizer installed on the light source at the point where the light source and the tube lens are connected An analyzer installed between the beam splitter and the inspection camera, a DIC filter installed between the analyzer and the inspection camera, a frame grabber for digitizing an analog image of the inspection camera and storing a digital image; By using a differential interference microscope optical system including a PC connected to the grabber and processing an image When inspecting the indentation of the electric ball, only the inspection camera is used to perform both the auto focusing and the inspection functions.In the case of auto focusing, the ROI is not moved to the full size of the subject. Differential interference microscope optical system characterized in that the high-speed focusing can be performed quickly, and during the inspection, a control process is performed by software to enlarge the ROI to the entire region of the object under autofocusing and to perform imaging. It provides a conductive ball indentation inspection method using.
이때, 상기 오토 포커싱시 관심영역(ROI)을 특정 영역으로 줄일 때 그 범위는 피검사체의 전체 크기 대비 1/5~1/4 만큼인 것에도 그 특징이 있다.
In this case, when the ROI is reduced to a specific region during the auto focusing, the range is 1/5 to 1/4 of the total size of the subject.
본 발명에 따르면, 관심영역을 대폭 축소시켜 초당 처리 화면수를 늘림으로써 별도의 포커싱 카메라 없이도 검사카메라 한 대 만으로 오토 포커싱과 검사가 가능하여 광학계의 구조를 단순화시킬 수 있고, 이에 따라 오차가 발생되지 않아 정확한 검사가 가능하며, 비용을 줄이고, 검사시간을 단축하는 효과를 얻을 수 있다.
According to the present invention, by significantly reducing the region of interest to increase the number of screens per second, auto focusing and inspection is possible with only one inspection camera without a separate focusing camera, thereby simplifying the structure of the optical system, and thus an error is not generated. As a result, accurate inspection is possible, and the cost and the inspection time can be shortened.
도 1은 종래 기술에 따른 미분 간섭 현미경 광학계를 보인 개략적인 예시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 미분 간섭 현미경 광학계를 통해 검사하는 도전볼의 검사예를 보인 예시도이다.
도 3 및 도 4는 본 발명에 따른 미분 간섭 현미경 광학계를 보인 예시도이다.1 is a schematic illustration showing a differential interference microscope optical system according to the prior art.
2 is an exemplary view showing a test example of a conductive ball inspected through a differential interference microscope optical system according to the present invention.
3 and 4 are exemplary views showing differential interference microscope optical system according to the present invention.
이하에서는, 첨부도면을 참고하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 미분 간섭 현미경 광학계는 오토 포커싱을 위한 별도의 포커싱 카메라를 구비하지 않고, 검사카메라(100) 만을 구비하고 있으며, 상기 검사카메라(100)는 오토 포커싱 기능까지를 포함하고 있다.3 and 4, the differential interference microscope optical system according to the present invention does not include a separate focusing camera for auto focusing, but includes only the
이것이 가능한 이유는 오토 포커싱 기능을 수행할 때에는 관심영역(ROI)를 대폭, 예컨대 풀 관심영역 대비 대략 1/5~1/4 정도로 줄여서 포커싱하므로 고속모드가 가능하고, 이렇게 포커스가 맞춰진 상태에서 이어 검사프로세스로 전환시에는 관심영역(ROI)을 전체로 확대시키는 방식으로 진행되기 때문이다.The reason for this is that when performing the auto focusing function, the ROI is focused by reducing the ROI significantly, for example, about 1/5 to 1/4 of the full ROI, so that the high speed mode is possible. This is because the process of switching to the process extends the ROI to the whole.
이때, 이러한 조작은 소프트웨어를 통해 동작모드를 제어함으로써 가능하다.At this time, this operation is possible by controlling the operation mode through software.
다시 말해, 오토 포커싱 때에는 관심영역(ROI)를 대폭 줄이기 때문에 고해상도 카메라인 검사카메라(100) 만으로도 단시간 내에 포커싱이 가능해진다.In other words, since the ROI is greatly reduced during auto focusing, only the
예컨대, 기존 오토 포커싱 카메라가 관심영역(ROI)을 풀(Full)로 하여 포커싱했을 때에는 이를 테면 2000mm × 2000mm의 크기가 풀(Full)이라면 본 발명에서는 예를 들어 600mm × 400mm 의 크기로 관심영역(ROI)을 줄임으로써 초당 100~200 프레임의 화면을 얻을 수 있어 오토 포커싱을 단시간에 쉽게 할 수 있지만 기존 방식은 관심영역(ROI)이 풀 크기이므로 이를 테면 초당 10~20 프레임의 화면 밖에 얻을 수 없게 된다.For example, when the existing auto focusing camera focuses on the ROI as full, for example, if the size of 2000 mm × 2000 mm is full, the present invention focuses on the area of interest (eg, 600 mm × 400 mm). By reducing ROI, it is possible to obtain 100 ~ 200 frames per second, so auto focusing can be done easily in a short time. However, since the ROI is full size, only 10 ~ 20 frames per second can be obtained. do.
이와 같이, 포커싱 과정이냐 검사 과정이냐에 따라 관심영역(ROI)을 변화시키도록 소프트웨어적으로 처리함으로써 단 한 개의 카메라, 즉 검사카메라(100) 만으로도 단시간내 오토 포커싱이 가능하고 또한 고속 검사가 가능하게 된다.In this way, by processing the software to change the ROI according to the focusing process or the inspection process, only one camera, that is, the
특히, 본 발명에 따른 미분 간섭 현미경 광학계는 아래에서 위를 쳐다보면서 관측하고 촬상하여 검사하도록 구성된 광학계이다.In particular, the differential interference microscope optical system according to the present invention is an optical system configured to observe, image and inspect while looking up from below.
이때, 관측되는 대상은 도전볼로서, 도 2에 예시된 바와 같이 도전볼의 돌출된 부분과 들어간 부분을 명암의 특정 패턴으로 표현하고, 그 표현된 영상을 검사카메라(100)로 취득한 후 프레임 그래버(Frame Grabber)(180, 도 4 참조)를 통해 PC(190, 도 4 참조)로 디지털 영상을 전달하며, 전달된 영상은 머신 비젼 알고리즘(Machine Vision Algorism)을 이용하여 특정 패턴의 도전볼, 즉 ACF 테이프 형태의 도전볼의 열압착 상태(Tab Out Lead, IC Bump의 도전볼 압흔 개수, 강도, 분포 등)를 검출하게 된다.At this time, the object to be observed is a conductive ball, and as shown in FIG. The digital image is transmitted to the PC 190 (see FIG. 4) through the frame grabber 180 (see FIG. 4), and the transferred image is a conductive ball of a specific pattern, that is, using a machine vision algorithm. The thermocompression state (Tab Out Lead, IC ball bump conductive ball indentation, strength, distribution, etc.) of the conductive ball in the form of ACF tape is detected.
여기에서, 광학계의 시스템적인 구성(비젼 제어를 통한 영상처리 등)은 공지된 기술로서, 이를 테면 등록특허 제0766394호, 등록특허 제0570276호 등에 잘 나타나 있다.Here, the system configuration of the optical system (image processing through vision control, etc.) is a well-known technique, such as, for example, Patent No. 07669394, Patent No. 0570276 and the like.
이러한 검사가 이루어지기 전 동일 카메라로 상술한 방식을 통해 오토 포커싱을 먼저 이룸으로써 검출의 신뢰성과 정확성을 높일 수 있다.Before such an inspection is performed, auto focusing can be performed using the same camera as described above to increase the reliability and accuracy of detection.
이때, 본 발명에 따른 미분 간섭 현미경 광학계는 검사카메라(100)가 장착되는 튜브 렌즈(110)를 포함한다.At this time, the differential interference microscope optical system according to the present invention includes a
이 경우, 상기 튜브 렌즈(110)의 내부에는 미분 간섭 프리즘이 내장되는데, 이 미분 간섭 프리즘은 피검사체에서 반사된 광빔에 의해 얻어진 도전볼의 압흔 이미지에 입체감을 주기 위한 것이다.In this case, the differential interference prism is embedded in the
그리고, 상기 튜브 렌즈(110)의 검사카메라(100) 반대쪽 단부에는 도전볼의 압흔 검사를 위한 대물렌즈(120)가 설치된다.In addition, an
여기에서, 상기 대물렌즈(120)는 광원(130)에서 오는 광빔을 피검사체에 집광시키기 위한 것으로 배율을 조절하거나 교체하여 배율을 조절할 수 있고, 다양한 형태가 적용될 수 있다.Here, the
상기 광원(130)은 상기 피검사체에 있는 도전볼의 압흔 이미지를 보기 위한 광빔을 출사하기 위한 것으로, 상기 튜브 렌즈(110)의 길이 일부에 그와 수직하게 설치되고, 메탈할라이드, 할로겐 또는 LED 등을 이용한 가시광선을 광원으로 사용하는 것이 바람직하다.The
아울러, 상기 광원(130)이 연결된 지점의 튜브 렌즈(110) 내부에는 빔 스플리터(Beam Splitter)(160)가 내장되는데, 상기 빔 스플리터(160)는 편광된 광빔의 경로를 전환하기 위한 것으로 광원(130)에서 나오는 광빔은 반사시켜 피검사체로 보내고 피검사체에서 반사되어 오는 광빔은 그대로 통과시켜 검사카메라(100)로 보냄으로써 작업자가 검사카메라(100)를 통해 피검사체에 있는 도전볼의 압흔 이미지를 촬상할 수 있도록 하여 준다.In addition, a
또한, 상기 광원(130)이 연결되는 지점의 광원(130) 상에는 편광필터의 일종인 폴라리저(Polarizer)(140)가 설치되고, 뿐만 아니라 상기 빔 스플리터(160)와 검사카메라(100) 사이에도 편광필터의 일종인 에널라이저(Analyzer)(150)가 설치되어 입체감 있는 압흔의 이미지를 가진 편광된 광빔을 작업자인 사람이 육안으로 관찰할 수 있도록 조정하여 주는데 이를 테면 특정 방향 파장의 광빔을 투과시키거나 차단함으로써 편광된 광빔을 육안으로 볼 수 있는 광빔으로 조정하게 된다.In addition, a
나아가, 상기 에널라이저(150)와 검사카메라(100) 사이에는 DIC 필터(Differential Interference Contrast Filter)(170)가 설치된다.In addition, a differential interference contrast filter (DIC) 170 is installed between the
그리고, 상기 검사카메라(100)는 프레임 그래버(Frame Grabber)(180)를 거쳐 PC(190)와 연결된다.In addition, the
여기서, 상기 PC(190)는 설명의 편의상 단순하게 표현한 것에 불과하며, 본 발명이 속한 광학계 구성에 필요한 분석용 서버 혹은 그것을 갖춘 시스템이 될 수도 있음은 물론이다.Here, the PC 190 is merely expressed for convenience of description, and of course, it may be an analysis server or a system having the same required for the optical system configuration to which the present invention belongs.
또한, 상기 프레임 그래버(180)는 상기 검사카메라(100)와 같은 영상 매체를 통해 나타나는 아날로그 영상 신호를 샘플당 정의된 비트로 디지털화하여 PC(190)가 처리할 수 있는 신호로 바꾸어 주는 영상 장비로서 이미지 보드라고도 한다.In addition, the
이때, 상기 프레임 그래버(180)는 상기 검사카메라(100)가 주사하는 주사 속도에 맞게 영상을 수집하고, 입력된 영상을 컴퓨터 내의 기억 장치나 특수한 영상 저장용 기억 장소에 저장시켜 주도록 처리할 수도 있다.In this case, the
이와 같은 미분 간섭 현미경 광학계 구성을 통해 검사카메라(100) 한 대 만으로도 오토 포커싱과 검사 기능을 동시에 수행할 수 있어 광학계의 구성을 단순화시킬 수 있으므로 카메라 간 오차 발생이 없어 정확하고 신뢰성 높은 검사가 가능하다.With such a differential interference microscope optical system configuration, only one
뿐만 아니라, 검사에 필요한 처리시간을 단축시킬 수 있고, 구조가 간단하기 때문에 광학계 구성에 따른 비용도 절감할 수 있다.
In addition, the processing time required for inspection can be shortened, and the structure can be simplified, thereby reducing the cost of the optical system.
100 : 검사카메라 110 : 튜브 렌즈
120 : 대물렌즈 130 : 광원
140 : 폴라리저(Polarizer) 150 : 에널라이저(Analyer)
160 : 빔 스플리터(Beam Splitter) 170 : DIC 필터
180 : 프레임 그래버(Frame Grabber) 190: PC100: inspection camera 110: tube lens
120: objective lens 130: light source
140: Polarizer 150: Analizer
160: beam splitter 170: DIC filter
180: Frame Grabber 190: PC
Claims (2)
상기 검사카메라(100) 한 대 만을 이용하여 오토 포커싱과 검사 기능을 모두 수행하되,
오토 포커싱 할 때는 관심영역(ROI)을 피검사체의 전체 크기(Full)로 하지 않고 특정 영역으로 줄여 신속하게 고속 포커싱이 가능하게 하고,
검사 수행시에는 오토 포커싱이 이루어진 상태에서 관심영역(ROI)을 피검사체의 전체 영역으로 확대시켜 촬상하도록 소프트웨어 적으로 제어 처리하는 것을 특징으로 하는 미분 간섭 현미경 광학계를 이용한 도전볼 압흔 검사방법.
A tube lens 110 having a differential interference prism therein, an inspection camera 100 connected to a lower end of the tube lens 110, an objective lens 120 installed on an upper end of the tube lens 110, and A light source 130 vertically installed at a part of the length of the tube lens 110, a beam splitter 160 embedded in the tube lens 110 at the point where the light source 130 is connected to separate light, and the light source 130 Polarizer 140 installed on the light source 130 at the point where the tube lens 110 is connected, and an analyzer installed between the beam splitter 160 and the inspection camera 100. 150, a DIC filter 170 installed between the analyzer 150 and the inspection camera 100, a frame grabber 180 for digitizing an analog image of the inspection camera 100 and storing a digital image, Differentiation including PC 190 connected to the frame grabber 180 to process an image When inspecting the indentation of the conductive ball using an interference microscope optical system,
Using only one inspection camera 100 performs both auto focusing and inspection functions,
When auto focusing, the ROI is reduced to a specific area instead of the full size of the subject, thereby enabling high-speed focusing.
And conducting software control processing to enlarge the region of interest (ROI) to the entire area of the object under the autofocusing and performing imaging in a state where auto focusing is performed.
상기 오토 포커싱시 관심영역(ROI)을 특정 영역으로 줄일 때 그 범위는 피검사체의 전체 크기 대비 1/5~1/4 만큼인 것을 특징으로 하는 미분 간섭 현미경 광학계를 이용한 도전볼 압흔 검사방법.The method according to claim 1;
When the area of interest (ROI) is reduced to a specific area during the auto focusing, the range is 1/5 to 1/4 of the total size of the inspected object.
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Citations (4)
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2010
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Patent Citations (4)
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|---|---|---|---|---|
| JPH08211297A (en) * | 1994-10-21 | 1996-08-20 | Kla Instr Corp | Apparatus and method for automatic focus search of high-resolution microscope system |
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Also Published As
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