KR101225371B1 - Hybrid Heating Type Evaporator - Google Patents

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    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/243—Crucibles for source material

Abstract

본 발명은 증착 공정에 사용되는 증발원에 관한 것으로, 직접가열식 증발원과 간접가열식 증발원의 장점을 모두 취사 선택하고 단점을 극복하고자 한 하이브리드 가열방식 증발원을 제공한 것이다.
본 발명은, 물질을 담는 도가니부는 간접가열식으로 하여 도가니의 선택을 재질 등에서 자유롭게 할 수 있도록 하였고, 물질 분사부는 직접가열식으로 구성하여 증발된 물질이 응축되지 않도록 신속하고 효율적으로 가열하도록 하였다.
본 발명에 따르면 고효율의 증발원을 간편한 구성으로 제공할 수 있다. The present invention relates to an evaporation source used in the deposition process, to provide a hybrid heating method evaporation source to select and overcome all the advantages of the direct heating and indirect heating evaporation source.
According to the present invention, the crucible portion containing the material is indirectly heated so that the selection of the crucible can be made free from materials and the like, and the material injection part is configured by direct heating so that the evaporated material is heated quickly and efficiently.
According to the present invention can provide a highly efficient evaporation source in a simple configuration.

Description

하이브리드 가열방식 증발원{Hybrid Heating Type Evaporator}Hybrid Heating Type Evaporator

본 발명은 증착 공정에 사용되는 증발원에 관한 것으로, 좀 더 상세하게는 OLED, 솔라셀 등을 제작하는 데 사용되는 증착 공정용 증발원에 관한 것이다.The present invention relates to an evaporation source used in the deposition process, and more particularly to an evaporation source for the deposition process used to fabricate OLEDs, solar cells and the like.

OLED 또는 솔라셀 등을 제작하는 데 사용되는 증발원은 가열 방식에 따라 직접가열식 증발원과 간접가열식 증발원으로 나뉠 수 있다.Evaporation sources used to fabricate OLEDs or solar cells can be divided into direct heating evaporation sources and indirect heating evaporation sources depending on the heating method.

증발원 중 특히 대면적 기판에 균일한 두께의 박막을 제작하기 위한 길이가 긴 선형 증발원은 물질을 담는 도가니부와 노즐이 배열된 물질 분사부로 이루어진다. 물질이 들어 있는 도가니부를 가열하여 물질을 증발시키고 증발된 물질을 분사노즐을 통해 기판 쪽으로 분사함에 있어서, 길이가 긴 선형 증발원의 경우 도가니가 팽창하여 고온으로 올리는 것이 힘들며, Cu(Copper)를 이용해 증착할 경우 직접 가열부의 물질 분사구에 응고되어 전류의 흐름과 열팽창이 불균형 해 질수 있다. Among the evaporation sources, a long linear evaporation source for producing a thin film having a uniform thickness on a large-area substrate is composed of a crucible portion containing a material and a material injection portion in which nozzles are arranged. In heating the crucible containing the material to evaporate the material and injecting the evaporated material into the substrate through the injection nozzle, it is difficult to expand the crucible to a high temperature in the case of a long linear evaporation source, and to deposit using Cu (Copper). Doing so solidifies directly at the material injection port of the heating section, resulting in unbalanced current flow and thermal expansion.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 시도되는 것으로 직접가열식(Direct) 증발원의 경우, 선형 증발원의 노즐부 안에 도가니부를 내장시켜 선형 증발원 양단 히터의 전원 접속부에 전원을 연결, 주울열 (Joule's Heat) 을 이용하여 가열하는 방식을 택한다(도 1 참조). In order to solve the above problems, in the case of the direct heating evaporation source, the crucible part is embedded in the nozzle part of the linear evaporation source to connect power to the power connection of the heaters of the linear evaporation source, using Joule's Heat. By heating (see Fig. 1).

이러한 직접가열식 증발원의 경우 손쉽게 고온에 도달할 수 있다는 장점이 있으나, 증발원 내에 도가니부에 금속성 물질을 넣고 가열할 경우, 물질 자체가 저항으로 작용하여 주울열의 발생이 균일하지 않게 되고, 그에 따라 대면적 기판에 증착되는 박막 소자의 품질이 균일하지 않게 되는 단점이 있다.This direct heating evaporation source has the advantage of being able to easily reach a high temperature, but when a metallic material is put into the crucible in the evaporation source and heated, the material itself acts as a resistance, resulting in uneven generation of joule heat, and thus a large area. There is a disadvantage that the quality of the thin film element deposited on the substrate is not uniform.

이에 대해, 간접가열식 (In-direct) 증발원은 증발원 외부에 히터(40)를 장착시켜 히터의 발열에 따라 물질을 담는 도가니부(10)와 물질 분사부(20)를 가열하는 방식을 택한다(도 2 참조).On the contrary, the in-direct evaporation source selects a method in which the heater 40 is mounted on the outside of the evaporation source to heat the crucible part 10 and the material injection part 20 containing the material according to the heat generated by the heater ( 2).

이러한 간접가열식 증발원의 경우, 도가니 재료를 다양하게 선택할 수 있어 구성이 자유롭다는 장점이 있으나, 가열효율이 낮고 길이가 긴 선형 증발원에 적용하게 되면 노즐이 있는 물질 분사부의 가열 효율은 더욱 떨어지고 가열을 위해 구성하는 히터의 지지부재 등을 세라믹재로 상당히 정교하게 만들어야 하고 가열효율 향상을 위해 리플렉터 등을 설치해야하므로 이에 따른 노력과 비용 부담이 크다는 단점이 있다.
In the case of such an indirect heating evaporation source, there is an advantage in that the crucible material can be selected in various ways, but the composition is free. However, when applied to a linear evaporation source having a low heating efficiency and a long length, the heating efficiency of the material injection unit with the nozzle is further reduced and heating is performed. In order to improve the heating efficiency, the support member of the heater, which is constituted for the purpose of making the heater, must be made very precisely, and the reflector must be installed to improve the heating efficiency.

따라서 본 발명의 목적은 금속을 포함한 증착 물질을 고효율로 대면적 기판에 증착할 수 있는 선형 증발원을 제공하고자 하는 것이다. Accordingly, an object of the present invention is to provide a linear evaporation source capable of depositing a deposition material including a metal on a large area substrate with high efficiency.

본 발명은, 물질을 넣어 물질을 가열하는 도가니부와 상기 도가니부에 결합 되는, 증발물을 분사하는 물질분사부를 포함하고,
도가니부를 열선으로 만든 히터로 감싸 히터의 발열량을 도가니에 전달하여 도가니 내부의 물질을 간접가열방식으로 가열하고,
상기 도가니부에 연결되어 노즐이 형성된 물질 분사부는 도체로 형성하고 물질 분사부 자체 양단에 전원접속부를 형성하여 전원을 접속하여 직접가열방식으로 가열하는 것을 특징으로 하는 하이브리드 가열방식 증발원을 제공할 수 있다. The present invention includes a crucible portion for putting a substance to heat the substance and a substance injection portion for injecting evaporate, which is coupled to the crucible portion,
Wrap the crucible with a heater made of hot wire and transfer the heating value of the heater to the crucible to heat the material inside the crucible by indirect heating method,
The material injection part connected to the crucible part and formed with a nozzle may be formed of a conductor, and a power supply connection part may be formed at both ends of the material injection part itself to connect a power source to provide a hybrid heating type evaporation source. .

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또한, 본 발명은, 물질 분사부 내부에 개구부를 형성한 배플(baffle)을 하나 이상 설치하는 것을 특징으로 하는 하이브리드 가열방식 증발원을 제공할 수 있다. In addition, the present invention can provide a hybrid heating type evaporation source, characterized in that at least one baffle having an opening formed in the material injection unit is provided.

또한, 본 발명은, 상기 물질 분사부를 Ta, W, Mo 또는 그라파이트(graphite)를 포함한 가열이 가능한 재질들로 구성하는 것을 특징으로 하는 하이브리드 가열방식 증발원을 제공할 수 있다.In addition, the present invention can provide a hybrid heating method evaporation source, characterized in that the material injection unit comprises a material capable of heating, including Ta, W, Mo or graphite (graphite).

또한, 본 발명은, 길이가 긴 물질 분사부를 위하여 상기 도가니부를 하나 이상 설치하는 것을 특징으로 하는 하이브리드 가열방식 증발원을 제공할 수 있다. In addition, the present invention may provide a hybrid heating type evaporation source, characterized in that at least one crucible is provided for a long material injection part.

또한, 본 발명은, 상기 하이브리드 가열 방식 증발원의 주위에 워터 재킷(Water Jacket)을 설치하는 것을 특징으로 하는 하이브리드 가열방식 증발원을 제공할 수 있다.
In addition, the present invention can provide a hybrid heating method evaporation source characterized in that a water jacket (Water Jacket) is provided around the hybrid heating method evaporation source.

본 발명에 따르면, 도가니부를 구성하는 재료의 선택이 폭 넓어 자유로우며, 도가니부를 가열하여 증발된 물질이 물질 분사부에서 고온을 유지하도록 물질 분사부를 직접가열식으로 가열하므로 고온 도달이 빠르고 고온 유지 또한 용이하며, 증발물에 대한 전원 가열이므로 금속 물질의 경우에도 저항 변화 문제가 생기지 않아, 직접가열 방식과 간접가열 방식의 장점을 모두 취할 수 있다.According to the present invention, the material constituting the crucible part is wide and free, and the material injection part is directly heated so that the evaporated material is heated at the material injection part by heating the crucible part, so that the high temperature is reached and the high temperature is also easy to maintain. In addition, since the heating of power to the evaporate does not cause a change in resistance even in the case of a metal material, it can take advantage of both the direct heating method and the indirect heating method.

또한, 본 발명에 따르면, 물질 분사부에 설치한 배플로 인해, 직접가열 방식의 고온 가열에 따라 있을 수 있는 물질 분사부 외벽의 강도 감소로 인한 외형 변형을 사전에 방지할 수 있고, 증발물질의 경로에 관여하여 증착 균일도를 확보하는데 관여한다.In addition, according to the present invention, due to the baffle installed in the material injection unit, it is possible to prevent the deformation of the appearance due to the reduction in the strength of the outer wall of the material injection unit that may be due to the high temperature heating of the direct heating method, Involved in the pathway to ensure deposition uniformity.

또한, 본 발명에 따르면, 물질 분사부를 대면적 기판에 맞추어 길게 형성하여도 그에 따라 도가니부를 다수 설치하여 증발물의 분포를 전 길이에 대해 균일하게 유지할 수 있다.In addition, according to the present invention, even if the material injection portion is formed long in accordance with the large area substrate, it is possible to install a plurality of crucible portions accordingly to maintain the distribution of the evaporated material uniformly over the entire length.

또한, 본 발명에 따르면, 증발원 주위에 워터 재킷을 설치하여 진공 챔버 내의 여타 물품에 대해 고온에 의한 악영향을 방지할 수 있다. Further, according to the present invention, a water jacket can be provided around the evaporation source to prevent adverse effects due to high temperatures on other articles in the vacuum chamber.

도 1은 종래 직접가열식 증발원의 구성을 나타내는 사시도 이다.
도 2는 종래 간접가열식 증발원의 구성을 나타내는 사시도 이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 하이브리드 가열방식 증발원의 구성을 나타내는 개략적인 사시도 이다.
도 4는 본 발명의 하이브리드 가열방식 증발원의 물질 분사부에 설치되는 배플(baffle)의 실시예들을 나타내는 평면도들이다.
도 5는 상기 배플을 설치한 물질 분사부를 나타내는 단면 구성도이다.
도 6은 본 발명의 하이브리드 가열방식 증발원에 다수의 도가니부를 설치한 것을 나타내는 사시도이다.
도 7은 본 발명의 하이브리드 가열방식 증발원의 물질 분사부의 노즐 형성부를 교체 가능하게 구성한 것을 나타낸 단면도이다.
도 8은 본 발명의 하이브리드 가열방식 증발원의 물질 분사부 주위에 워터 재킷을 설치한 것을 나타내는 평면도이다.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 하향식 하이브리드 가열방식 증발원의 구성을 나타내는 단면도이다.
도 10은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 수직 측향식 하이브리드 가열방식 증발원의 구성을 나타내는 단면도이다.
도 11은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 수평 측향식 하이브리드 가열방식 증발원의 구성을 나타내는 단면도이다.1 is a perspective view showing the configuration of a conventional direct heating evaporation source.
Figure 2 is a perspective view showing the configuration of a conventional indirect heating evaporation source.
Figure 3 is a schematic perspective view showing the configuration of a hybrid heating method evaporation source according to an embodiment of the present invention.
4 is a plan view illustrating embodiments of a baffle installed in the material injection part of the hybrid heating evaporation source of the present invention.
Fig. 5 is a cross sectional view showing a material spraying part provided with the baffle.
6 is a perspective view showing a plurality of crucible parts installed in the hybrid heating type evaporation source of the present invention.
FIG. 7 is a cross-sectional view showing a replaceable configuration of a nozzle forming part of a material injection part of a hybrid heating evaporation source of the present invention. FIG.
8 is a plan view showing that a water jacket is installed around the material injection part of the hybrid heating method evaporation source of the present invention.
9 is a cross-sectional view showing the configuration of a top-down hybrid heating method evaporation source according to another embodiment of the present invention.
10 is a cross-sectional view showing the configuration of a vertically oriented hybrid heating type evaporation source according to another embodiment of the present invention.
11 is a cross-sectional view showing the configuration of a horizontally lateral hybrid heating evaporation source according to another embodiment of the present invention.

이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예에 대해 첨부도면을 참조하여 상세히 설명한다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3에 나타낸 하이브리드 가열방식 증발원은 물질을 담는 도가니부(100)와 상기 도가니부(100)를 둘러싸는 히터(400)와 도가니부(100) 상단에 결합된 물질 분사부(200)를 포함한다. 상기 물질 분사부(200)에는 물질을 분사시킬 수 있는 노즐 또는 슬롯(220)이 형성되며, 양단에 전원 접속부(300)를 구비한 도체로 구성한다. The hybrid heating type evaporation source shown in FIG. 3 includes a crucible part 100 containing a substance, a heater 400 surrounding the crucible part 100, and a material injection part 200 coupled to the top of the crucible part 100. . The material injection unit 200 is formed with a nozzle or a slot 220 for injecting the material, it is composed of a conductor having a power connection portion 300 at both ends.

상기 도가니부(100)는 세라믹, 금속, 석영 등 다양한 재료로 만들 수 있고, 물질 분사부(200)는 Ta, W, Mo 또는 그라파이트(graphite)를 포함한 가열이 가능한 재질들로 구성할 수 있다. The crucible part 100 may be made of various materials such as ceramic, metal, quartz, and the like, and the material injection part 200 may be made of materials capable of heating, including Ta, W, Mo, or graphite.

상기 도가니부(100)의 둘레에는 열선으로 만든 히터(400)가 지지부재와 함께 배치된다. 또한, 히터(400) 주위에 가열 효율을 높이는 리플렉터를 더 포함시켜 구성할 수 있다. The heater 400 made of a hot wire is disposed around the crucible part 100 together with the supporting member. In addition, the heater 400 may be configured to further include a reflector for increasing heating efficiency.

상기 도가니부(100) 상단에 수평방향으로 길게 뻗은 물질 분사부(200)는 대면적 기판에 물질을 증착할 때 박막 두께를 균일화할 수 있도록 단부 효과(end effect)를 보완할 수 있는 노즐을 구비한다. 즉, 노즐의 단면을 길이가 긴 하나의 슬릿으로 할 경우, 중앙부는 폭이 좁고 단부로 갈수록 슬릿의 폭을 넓히는 구성을 취하고, 원형 단면의 작은 슬롯을 다수 형성할 경우, 그 슬롯의 단면적을 중앙부에서는 작게, 양 단부로 갈수록 크게 구성하거나 슬롯의 분포를 중앙부에서는 소(疏)하게, 양 단부로 갈수록 밀(密)하게 구성한다. The material injection part 200 extending in the horizontal direction on the top of the crucible part 100 has a nozzle that can compensate for an end effect so as to equalize the thin film thickness when depositing a material on a large area substrate. do. That is, when the cross section of the nozzle is made into one long slit, the center portion has a configuration in which the width of the slit is wider as the center portion is narrower and toward the end portion. In small, it is made larger as it goes to both ends, or the distribution of a slot is made small in the center part, and is made as it goes toward both ends.

이와 같은 구성으로 도가니부(100)를 히터(400)로 간접가열 하여 증발된 물질이 물질 분사부(200)로 올라오면, 전원 접속부(300)에 전원을 연결하여 물질 분사부(200) 전체를 직접가열 하여 증발물질이 물질 분사부에서 응축되지 않도록 충분한 고온을 신속하게 제공하여 효율적으로 유지시킨다. 따라서 구리 등의 금속물질을 전원을 이용해 직접 가열할 경우 용융 금속으로 인해 전체적인 저항값이 변해 물질 가열 정도가 위치마다 달라지고 이로 인해 박막 균일도가 달라지는 종래의 직접 가열 증발원 방식에서 있어왔던 문제점과 고온 효율이 낮았던 간접가열 방식 증발원의 문제점이 본 발명에 의해 모두 해결될 수 있다. In such a configuration, when the crucible part 100 is indirectly heated by the heater 400 and the vaporized material rises up to the material injection part 200, the power supply connection part 300 is connected to a power source to supply the entire material injection part 200. Direct heating ensures efficient supply of high temperatures quickly enough to prevent evaporated material from condensing at the material injection section. Therefore, when directly heating a metallic material such as copper using a power source, the overall resistance value is changed due to the molten metal, and thus the degree of heating of the material varies from location to location, thereby resulting in a problem of the conventional direct heating evaporation source method and high temperature efficiency. The problem of this low indirect heating type evaporation source can be all solved by the present invention.

증발원의 물질 분사부(200)의 길이를 대면적 기판에 맞추어 길게 할 경우 가열 도중 물질 분사부(200)의 외벽은 고온에 의해 그 강성이 다소 감소하여 외형이 변형될 수 있으므로 이에 대비하여 도 4와 같은 여러 가지 모양의 배플(baffle)(250)을 물질 분사부(200) 내부에 도 5와 같이 설치할 수 있다. 상기 배플(250)은 증발물이 자유롭게 이동할 수 있도록 다수의 구멍 내지는 충분한 개구부를 갖도록 만든다. When the length of the material injection unit 200 of the evaporation source is lengthened to a large area substrate, the outer wall of the material injection unit 200 may be slightly deteriorated due to high stiffness due to high temperature during heating. Baffles 250 of various shapes such as may be installed in the material injection unit 200 as shown in FIG. 5. The baffle 250 is made to have a plurality of holes or sufficient openings so that the evaporates can move freely.

또한, 물질 분사부(200)의 길이가 길어짐에 따라 증발물의 분포가 도가니부(100) 근처에 집중되는 문제를 해결하기 위해 도 6과 같이 다수의 도가니부(100)를 설치할 수 있다. In addition, as the length of the material injection unit 200 increases, a plurality of crucible parts 100 may be installed as illustrated in FIG. 6 to solve the problem that the distribution of the evaporated material is concentrated near the crucible part 100.

물질 분사부(200) 상단에 형성된 노즐을 통해 분사되는 증발물은 증착 공정을 거듭할수록 노즐에 응결될 수 있으며, 이로 인해 증착 박막의 균일도를 해할 수 있으므로 어느 정도 사용한 물질 분사부(200)는 교체하게 된다. 이때 물질 분사부(200) 전체를 교체하는 것보다 노즐이 형성된 부분만을 교체하는 것이 비용 및 자원 절약, 환경 면에서 유리하다. 따라서 본 실시예의 경우, 도 7과 같이 물질 분사부(200)를 상부와 하부의 조립(270)으로 구성하고 필요 시 상부만을 교체하도록 하여 비용 등의 절감을 도모함이 바람직하다.The evaporate sprayed through the nozzle formed on the top of the material injection unit 200 may be condensed on the nozzle as the deposition process is repeated, which may damage the uniformity of the deposited thin film, thereby replacing the material injection unit 200 used to some extent. Done. In this case, it is advantageous in terms of cost, resource saving, and environment to replace only the part in which the nozzle is formed, rather than replacing the entire material injection part 200. Therefore, in the present embodiment, it is preferable to configure the material injection unit 200 as the upper and lower assembly 270 as shown in FIG.

또한, 물질 분사부(200) 자체가 전원에 의해 고온으로 가열되므로, 진공 챔버 내에 설치되는 여타의 물품들까지 가열될 수 있고, 이는 물품들을 열화 시킬 수 있다. 따라서 본 실시예에서는 증발원 주변 또는 물질 분사부(200) 주변에 열을 흡수 차단할 수 있는 워터 재킷(water jacket)(500)을 설치하였다(도 8 참조). 이는 일종의 냉각수를 담아두거나 흘려주는 열 흡수 차단 장치로 물질 분사부(200)에 전원을 인가할 전원 접속부(300) 주위를 제외하고 모두 둘러싸도록 설치하는 것이 바람직하다. In addition, since the material injector 200 itself is heated to a high temperature by a power source, other articles installed in the vacuum chamber may be heated, which may degrade the articles. Therefore, in the present embodiment, a water jacket 500 is installed around the evaporation source or the material injection unit 200 to block heat absorption (see FIG. 8). This is a heat absorption blocking device that stores or flows a kind of cooling water is preferably installed so as to surround all except the power connection unit 300 to apply power to the material injection unit 200.

도 9는 본 발명의 또 다른 변형 실시예인 하향식 증발원을 보여주는 단면 구성도이다. 9 is a cross-sectional view showing a top-down evaporation source which is another modified embodiment of the present invention.

도가니부(100)를 상부에 배치하고 물질 분사부(200)를 그 아래에 배치하여 하향식 증발원을 구성한다. 하향식 증발원은 증착 효율을 높여 소자 제작 공정에 더욱 유리하다.The crucible part 100 is disposed above and the material injection part 200 is disposed below to form a top-down evaporation source. The top-down evaporation source is more advantageous for the device fabrication process by increasing the deposition efficiency.

도 10은 본 발명의 또 다른 변형 실시예인 측향식 증발원을 보여주는 단면 구성도이다.10 is a cross-sectional view showing a lateral evaporation source as another modified embodiment of the present invention.

도가니부(100)를 물질 분사부(200)의 측면에 배치하여 측향식 증발원을 구성한다. 이때, 물질 분사부(200)의 배열을 수직 방향으로 놓이게 하며, 이러한 수직으로 길게 배치된 분사 노즐은 대면적 기판에 소자를 증착 형성할 경우, 기판의 처짐 현상을 막기 위해 기판을 수직으로 세워 증착 공정을 수행하는 데 있어 매우 효율적으로 증착할 수 있는 구성을 제공할 수 있다. The crucible part 100 is disposed on the side of the material injection part 200 to form a lateral evaporation source. At this time, the arrangement of the material injection unit 200 is placed in the vertical direction, and when the vertically disposed injection nozzles are formed by depositing devices on a large area substrate, the substrate is vertically placed to prevent the substrate from sagging. It is possible to provide a configuration that can be deposited very efficiently in carrying out the process.

도 11은 본 발명의 또 다른 변형 실시예인 수평 측향식 증발원을 보여주는 단면 구성도이다.11 is a cross-sectional view showing a horizontal lateral evaporation source as another modified embodiment of the present invention.

도가니부(100)가 물질 분사부(200)의 측면에 배치결합되는 것은 도 10에서와 동일하나 물질 분사부(200)의 길이 방향을 수직이 아닌 수평으로 길게 배치되도록 구성한다. The crucible part 100 is disposed to be coupled to the side of the material injection part 200 as in FIG. 10, but is configured such that the length direction of the material injection part 200 is horizontally arranged rather than vertical.

상기와 같은 하이브리드 가열방식 증발원을 구성하여 직접가열방식과 간접가열방식의 장점을 모두 구비할 수 있다.
By configuring the hybrid heating method evaporation source as described above it can be provided with both advantages of the direct heating method and indirect heating method.

본 발명의 권리는 위에서 설명된 실시예에 한정되지 않고 청구범위에 기재된 바에 의해 정의되며, 본 발명의 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 청구범위에 기재된 권리범위 내에서 다양한 변형과 개작을 할 수 있다는 것은 자명하다.The rights of the present invention are not limited to the embodiments described above, but are defined by the claims, and those skilled in the art can make various modifications and adaptations within the scope of the claims. It is self-evident.

100: 도가니부 200: 물질 분사부
250: 배플 500: 워터 재킷(water jacket)
300: 전원 접속부 400: 히터100: crucible part 200: material injection part
250: baffle 500: water jacket
300: power connection 400: heater

Claims (3)

물질을 넣어 물질을 가열하는 도가니부와 상기 도가니부에 결합 되는, 증발물을 분사하는 물질분사부를 포함하고,
상기 도가니부를 열선으로 만든 히터로 감싸 히터의 발열량을 도가니에 전달하여 도가니 내부의 물질을 간접가열방식으로 가열하고,
상기 도가니부에 연결되어 노즐이 형성된 물질 분사부는 도체로 형성하고 물질 분사부 자체 양단에 전원접속부를 형성하여 전원을 접속하여 증발물을 직접가열방식으로 가열하는 것을 특징으로 하는 하이브리드 가열방식 증발원.It includes a crucible portion for heating the substance by putting a substance and a material injection portion for injecting evaporated material, which is coupled to the crucible portion,
Wrap the crucible with a heater made of hot wire to transfer the heating value of the heater to the crucible to heat the material inside the crucible by indirect heating,
And a material injection part connected to the crucible part and having a nozzle formed of a conductor, and a power connection part formed at both ends of the material injection part itself to connect a power source to heat the evaporate by direct heating. 제1항에 있어서, 물질 분사부 내부에 개구부를 형성한 배플을 하나 이상 설치하는 것을 특징으로 하는 하이브리드 가열방식 증발원. The hybrid heating evaporation source according to claim 1, wherein at least one baffle having an opening is formed in the material injection unit. 제2항에 있어서, 상기 도가니부를 하나 이상 설치하는 것을 특징으로 하는 하이브리드 가열방식 증발원.







The hybrid heating type evaporation source according to claim 2, wherein at least one crucible is provided.







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