KR101220955B1

KR101220955B1 - 진공 코팅 시스템 내에서 스트립 형태의 기판을 처리하기 위한 방법 및 장치

Info

Publication number: KR101220955B1
Application number: KR1020097019985A
Authority: KR
Inventors: 룻츠 곳츠만; 게오르크 라이머; 라인하르트 얘거
Original assignee: 폰 아르데네 안라겐테크닉 게엠베하
Priority date: 2007-02-28
Filing date: 2008-02-28
Publication date: 2013-01-10
Also published as: WO2008104169A1; WO2008104169A9; DE112008000016A5; KR20090127289A; EP2132354A1; EP2132354B1

Abstract

본 발명은 입력부- 및 출력부 락(1)에 의해서 밀봉되어 있고 진공 발생기에 연결된 진공 구역(3)을 갖는 진공 코팅 시스템 내에서 스트립 형태의 기판(2)을 처리하기 위한 장치 및 방법과 관련이 있으며, 이 경우 각각의 락(1)은 기판(2) 위에 배치된 상부 락 구성요소(4) 그리고 기판(2) 아래에 배치된 하부 락 구성요소(5)를 구비한다. 본 발명의 과제는, 대부분 금속으로 이루어진 스트립 형태의 기판을 대기로부터 진공 처리 용기 안으로 또는 진공 처리 용기로부터 외부로 연속으로 이송하기 위한 장치 및 방법을 개발하는 것으로서, 이 경우 상기 진공 처리 용기들은 스트립 분리 없이 교체될 수 있고, 작동 중에 개방될 수 있다. 방법과 관련된 상기 과제는 락(1) 개방시에 상부 및 하부 락 구성요소들(4, 5)이 상호 독립적으로 그리고 이송 라인을 관통하지 않는 상태로 이동됨으로써 해결된다. 장치와 관련된 상기 과제는 상부 및 하부 락 구성요소(4, 5)가 상호 독립적으로 스트립 형태의 기판(2)에 대하여 상대적으로 이동할 수 있음으로써 해결된다.

Description

진공 코팅 시스템 내에서 스트립 형태의 기판을 처리하기 위한 방법 및 장치 {METHOD AND APPARATUS FOR THE TREATMENT OF STRIP-SHAPED SUBSTRATE IN A VACUUM COATING SYSTEM}

본 발명은 진공 코팅 시스템 내에서 스트립 형태의 기판을 처리하기 위한 방법과 관련이 있으며, 이 경우 스트립 형태의 기판은 이송 라인 상에서 진공 코팅 시스템을 통과하여 이송되고, 상기 진공 코팅 시스템의 진공 구역들은 락(lock)에 의해서 분리되어 있으며, 상기 락은 기판의 상부면을 밀봉하는 적어도 하나의 상부 락 구성요소 및 기판의 하부면을 밀봉하는 하부 락 구성요소를 구비하고, 간헐적으로 개방된다.

본 발명은 입력부- 및 출력부 락에 의해서 밀봉되어 있고 진공 발생기에 연결된 진공 구역을 갖는 진공 코팅 시스템 내에서 스트립 형태의 기판을 처리하기 위한 장치와 관련이 있으며, 이 경우 각각의 락은 기판 위에 배치된 상부 락 구성요소 그리고 기판 아래에 배치된 하부 락 구성요소를 구비한다.

에어-투-에어(air-to-air)-진공 코팅 시스템에서는, 스트립 입력부 락 섹션 뒤에 있거나 또는 스트립 입력부 락 섹션 앞에 있는 진공 용기의 필요한 공정 압력에 영향을 미치지 않으면서 금속 스트립을 대기로부터 진공 처리 용기 안으로 또는 진공 처리 용기로부터 외부로 이송하기 위해서는 스트립 형태의 락이 반드시 필요하다. 다양한 원리들에 따른 스트립 형태의 락은 DE 0 388 811 A1호, DE 2 260 683 A호, DD 289 297 A5호, DE 0 293 929 A1호, EP 0 668 370 B1호 그리고 EP 1 004 369 B1호에 개시되어 있다.

하나의 스트립이 코팅될 기판으로서 입력부- 또는 출력부 락 내에서 하나 또는 다수의 갭을 통과하도록 구성된 갭 구조 원리에 따른 스트립 형태의 락은 극도로 큰 누설 때문에 그리고 그런 이유로 인해 설치될 진공 펌프의 흡입 능력이 반드시 커야만 한다는 필연성 때문에 기술적으로 거의 실현될 수 없다.

다른 한 가지 원리에 따르면 다수의 회전하는 밀봉 롤러를 구비한 스트립 락이 제공되어 있으며, 이와 같은 스트립 락은 다양한 실시예로 공지되어 있다. 이 경우 상기 기본 원리는 스트립과 회전하는 밀봉 롤러 사이에서 이루어지는 밀봉에 의해서뿐만 아니라 회전하는 밀봉 롤러와 입력부- 혹은 출력부 락 용기 사이에서 이루어지는 밀봉에 의해서도 각각 보증된다. 고무로 이루어진 표면을 갖는 밀봉 롤러 뿐만 아니라 금속으로 이루어진 표면을 갖는 밀봉 롤러도 공지되어 있다. 이와 같은 유형의 스트립 락에서는 밀봉 롤러들이 상호 간에 프레싱 되며, 이 경우 상부 밀봉 롤러 및 하부 밀봉 롤러는 동일한 하나의 프레임 안에 배치된다. 충분한 밀봉력을 보증하기 위해서는 밀봉 롤러들 상호 간에 높은 위치 정확도가 요구된다. 완전한 입력부 측 락 시스템 또는 출력부 측 락 시스템은 대부분 각각 다수의 락 구성요소들로 구성되고, 상기 다수의 락 구성요소들 사이에는 진공 발생 장치들이 배치되어 있으며, 그로 인해 다단의 락 시스템이 형성된다.

롤러가 고무로 이루어진 경우에 특히 스트립의 두께가 더 두껍고 순환 속도가 높으면 마모 발생은 증가하게 된다. 그렇기 때문에 시스템 이용 가능성을 높이기 위해서는 락들의 교체 주기가 빨라질 수밖에 없다.

규칙적인 관리 시간 밖에서는, 결함을 가진 소수의 락이 스트립 접촉을 더 이상 발생시키지 않으면서 개방될 수 있다면 상기 결함을 가진 소수의 락 때문에 생산 중단을 피할 수 있다.

지금까지의 해결책들의 한 가지 단점은, 전체 락 구성요소들이 하나의 공통된 베이스 프레임 안에서 스트립의 상부 및 하부에 배치되어 있다는 것이다. 따라서, 완전한 락 교체는 스트립이 양단되는 경우에만 가능하다.

모든 임의의 락이 스트립 접촉을 더 이상 발생시키지 않으면서 개방될 수 있는 것은 아니다.

본 발명의 과제는, 대부분 금속으로 이루어진 스트립 형태의 기판을 대기로부터 진공 처리 용기 안으로 또는 진공 처리 용기로부터 외부로 연속으로 이송하기 위한 장치 및 방법을 개발하는 것으로서, 이 경우 상기 진공 처리 용기들은 스트립 분리 없이 교체될 수 있고, 작동 중에 개방될 수 있다.

방법과 관련된 상기 과제는 본 발명에 따라, 락 개방시에 상부 및 하부 락 구성요소들이 상호 독립적으로 그리고 이송 라인을 관통하지 않는 상태로 이동됨으로써 해결된다.

장치와 관련된 상기 과제의 한 가지 해결책에서는, 상부 락 구성요소 및 하부 락 구성요소가 상호 독립적으로 스트립 형태의 기판에 대하여 상대적으로 이동할 수 있는 방식이 제안된다.

본 발명에 따르면, 락 구성요소에 속하는 전체 부품들, 즉 스트립 상부에 있는 부품들은 별도의 베이스 프레임에 장착되어 있다. 그에 상응하게, 락 구성요소에 속하는 모든 부품들, 즉 스트립 하부에 있는 부품들도 마찬가지로 고유한 베이스 프레임에 장착되어 있다. 따라서, 작동 중에는 더 이상 스트립 접촉이 발생하지 않도록 하기 위하여 상부 및 하부 락 절반의 부분들 중에서 스트립에 접촉하는 모든 부분들이 스트립으로부터 멀어지는 방향으로 이동할 수 있다.

본 발명의 한 실시예에서는, 두 개의 락 구성요소들이 상호 독립적으로 진공 코팅 시스템으로부터 인출될 수 있다. 그로 인해 각각의 락 절반은 스트립을 분리시키는 과정 없이도 해체될 수 있는데, 다시 말하자면 전체가 진공 용기로부터 인출될 수 있다.

본 발명의 추가의 한 실시예에서는, 상부 락 구성요소가 상부 베이스 프레임에 연결되어 있고, 하부 락 구성요소가 하부 베이스 프레임에 연결되어 있으며, 이 경우 상부 베이스 프레임은 전체 상부 락 구성요소를 수용하고, 상기 하부 베이스 프레임은 전체 하부 락 구성요소를 수용하며, 상기 베이스 프레임들은 상호 별개로 배치되어 있다.

또한, 밀봉 롤러를 구비한 본 발명의 한 실시예가 제공된다. 이 경우 상부 베이스 프레임에는 기판의 상부면을 밀봉하는 상부 밀봉 롤러 및 상기 상부 밀봉 롤러의 재킷면(jacket surface)에서 슬라이딩 동작을 하는 상부 밀봉 릿지(ridge) 그리고 하우징 벽에 맞물리는 상부 밀봉부가 연결되어 있다. 또한, 하부 베이스 프레임에는 기판의 하부면을 밀봉하는 하부 밀봉 롤러 및 상기 하부 밀봉 롤러의 재킷면에서 슬라이딩 동작을 하는 하부 밀봉 릿지 그리고 하우징 벽에 맞물리는 하부 밀봉부가 연결되어 있다. 상기 상부 및 하부 밀봉 롤러의 중심축들은 변경 가능한 상호 간격을 갖는다. 상기 상부 및 하부 밀봉부는 간격이 최소인 경우에는 하우징 벽의 각각 하나의 밀봉면에 밀봉 방식으로 인접한다.

밀봉 롤러 및 밀봉 릿지들의 배열 상태는, 상부 밀봉부, 즉 상부 밀봉 릿지를 통해 상부 밀봉 롤러의 재킷면과 상부 밀봉 릿지 간의 접촉 라인에 그리고 상부 밀봉 롤러와 기판 상부면 간의 접촉 라인에 하나의 폐쇄된 상부 밀봉 라인이 생기도록 그리고 하부 밀봉부, 즉 하부 밀봉 릿지를 통해서는 하부 밀봉 롤러의 재킷면과 하부 밀봉 릿지 간의 접촉 라인에 그리고 하부 밀봉 롤러와 기판 하부면 간의 접촉 라인에 하나의 폐쇄된 하부 밀봉 라인이 생기도록 선택되었다.

상기 실시예는 상부 밀봉 롤러 및 하부 밀봉 롤러가 각각 강철 또는 강철과 유사한 경질 재료로 이루어진 재킷면을 가짐으로써 형성될 수 있다. 이와 같은 방식으로 재킷면을 형성하면, 재킷면의 표면을 파괴하지 않으면서 밀봉 롤러의 회전시에 밀봉 릿지가 재킷면 상에서 직접 슬라이딩 동작을 할 수 있게 되며, 이와 같은 가능성은 상응하는 경도에 의해서 주어진다.

밀봉 릿지가 개별 밀봉 롤러의 재킷면에 직접 맞물리는 것을 피하기 위한 추가의 한 실시예에서는, 기판의 상부면을 밀봉하는 상부 밀봉 롤러, 상기 상부 밀봉 롤러의 재킷면에 인접하는 상부 중간 롤러 및 상기 상부 중간 롤러의 재킷면에서 슬라이딩 동작을 하는 상부 밀봉 릿지 그리고 하우징 벽에 맞물리는 상부 밀봉부가 상부 베이스 프레임에 연결되어 있으며, 기판의 하부면을 밀봉하는 하부 밀봉 롤러, 상기 하부 밀봉 롤러의 재킷면에 인접하는 하부 중간 롤러 및 상기 하부 중간 롤러의 재킷면에서 슬라이딩 동작을 하는 하부 밀봉 릿지 그리고 하우징 벽에 맞물리는 하부 밀봉부가 하부 베이스 프레임에 연결되어 있으며, 그리고 상기 상부 및 하부 밀봉 롤러의 중심축들은 변경 가능한 상호 간격을 갖고, 상기 상부 및 하부 밀봉부는 적어도 간격이 최소인 경우에는 하우징 벽의 각각 하나의 밀봉면에 밀봉 방식으로 인접한다.

본 발명에서 밀봉 롤러, 중간 롤러 및 밀봉 릿지들의 배열 상태는, 상부 밀봉부, 즉 상부 밀봉 릿지를 통해 상부 중간 롤러의 재킷면과 상부 밀봉 릿지 간의 접촉 라인에, 상부 중간 롤러와 상부 밀봉 롤러 간의 접촉 라인에 그리고 상부 밀봉 롤러와 기판 상부면 간의 접촉 라인에 하나의 폐쇄된 상부 밀봉 라인이 생기도록 그리고 하부 밀봉부, 즉 하부 밀봉 릿지를 통해서는 하부 중간 롤러의 재킷면과 하부 밀봉 릿지 간의 접촉 라인에, 하부 밀봉 롤러의 재킷면과 하부 밀봉 릿지 간의 접촉 라인에 그리고 하부 밀봉 롤러와 기판 하부면 간의 접촉 라인에 하나의 폐쇄된 하부 밀봉 라인이 생기도록 선택되었다.

상기 실시예에서는, 상부 및 하부 밀봉 롤러가 탄성 재료로 이루어진 재킷면을 각각 하나씩 가질 수 있고, 상부 및 하부 중간 롤러는 강철 또는 강철과 유사한 경질 재료로 이루어진 재킷면을 각각 하나씩 가질 수 있다.

밀봉 릿지들은 이 밀봉 릿지들이 결합되는 롤러에 달라붙는 불순물을 제거하기 위하여 스크레이핑 나이프(scraping knife)로서, 소위 닥터 블레이드(Doctor Blade)로서 형성될 수도 있다. 그러나 밀봉 릿지에 추가로 상기와 같은 스크레이핑 나이프를 제공하는 것도 가능하다. 특히 이와 같은 가능성에 의해서는 가요성 재료로 이루어진 재킷면을 갖는 밀봉 롤러도 영구적으로 세척될 수 있다.

밀봉부들의 밀봉 작용은 한편으로는 락 구성요소들이 기판 평면에 대하여 수직인 방향으로 이동함으로써 야기될 수 있다. 이와 같은 이동을 야기하기 위하여, 하우징 벽에는 상부 락 구성요소들의 이동 방향에 대하여 가로로 놓인 상부 밀봉면 ― 이 상부 밀봉면 상에는 간격이 최소인 경우에 상부 밀봉부가 올려짐 ― 그리고 하부 락 구성요소들의 이동 방향에 대하여 가로로 놓인 하부 밀봉면 ― 이 하부 밀봉면 상에는 간격이 최소인 경우에 하부 밀봉부가 올려짐 ― 이 제공되었다.

다른 한편으로는 밀봉부가 하우징 벽에 인접하는 것도 가능하다. 이와 같은 인접 상태를 야기하기 위하여, 상부 및 하부 밀봉면은 각각 하우징 벽의 내부면 자체에 의해서 형성된다.

한 가지 추가의 특징은, 상부 락 구성요소와 하우징 벽 사이에 있는 밀봉 위치와 하부 락 구성요소와 하우징 벽 사이에 있는 위치의 간격이 일정하지 않고 오히려 변경 가능하다는 것이다.

본 발명에 따른 해결책들의 장점은,

― 스트립을 분리하지 않고서도 상부 락 절반과 하부 락 절반의 교체가 가능하다는 것,

― 동작 중에 락이 개방될 수 있다는 것, 다시 말해 상기 락에서는 더 이상 스트립 접촉이 이루어지지 않는다는 것,

― 전체 시스템의 작동 파라미터를 변경시키지 않고서도 락이 개방될 수 있다는 것, 그리고

― 생산 중단 없이 다양한 폭의 스트립들이 락을 통과할 수 있다는 것이다.

락은 시스템의 작동이 진행되는 동안에도 중지될 수 있으며, 그로 인해 스트립은 나중에도 더 이상 접촉되지 않는다.

마지막으로 마모에 연관된 밀봉 롤러의 직경이 가변적인데, 그 이유는 밀봉 롤러의 재킷면에서 마모 현상이 발생하는 경우에도 두 개 밀봉 롤러의 상호 상대적인 이동 가능성으로 인한 상응하는 이송에 의하여 기판 표면에 지속적인 압착력이 가해질 수 있기 때문이다. 특히 재킷면이 가요성 재료로 형성된 밀봉 롤러의 경우에는 밀봉 롤러를 가요성 재료로 새로 코팅하는 과정, 예를 들어 새로운 고무 코팅 과정이 연기된다.

본 발명은 실시예를 참조하여 아래에서 상세하게 설명된다.

도 1은 폐쇄된 상태에서 하우징 벽에 밀봉- 및 중간 롤러 그리고 추가의 밀봉면을 갖는 락을 도시한 본 발명에 따른 장치의 제 1 실시예이며,

도 2는 개방된 상태에서 락의 제 1 실시예이고,

도 3은 폐쇄된 상태에서 밀봉- 및 중간 롤러 그리고 밀봉면으로 형성된 하우징 벽을 갖는 락을 도시한 본 발명에 따른 장치의 제 2 실시예이며,

도 4는 개방된 상태에서 락의 제 2 실시예이고,

도 5는 폐쇄된 상태에서 하우징 벽에 밀봉 롤러 그리고 추가의 밀봉면을 갖는 락을 도시한 본 발명에 따른 장치의 제 3 실시예이며,

도 6은 개방된 상태에서 락의 제 3 실시예이고,

도 7은 폐쇄된 상태에서 밀봉 롤러 그리고 밀봉면으로 형성된 하우징 벽을 갖는 락을 도시한 본 발명에 따른 장치의 제 4 실시예이며,

도 8은 개방된 상태에서 락의 제 4 실시예이다.

각각의 도면들에서 락(1)은 진공 코팅 시스템 내에서 스트립 형태의 기판(2)을 처리하기 위한 장치의 한 부분으로 도시되어 있다. 진공 코팅 시스템은 진공 구역(3)을 가지며, 상기 진공 구역은 입력부- 및 출력부 락에 의하여 각 도면들에 도시된 형태로 밀봉되고, 상세하게 도시되지 않은 진공 발생기에 연결되어 있다.

각각의 락(1)은 기판(2) 위에 배치된 상부 락 구성요소(4) 그리고 기판(2) 아래에 배치된 하부 락 구성요소(5)를 구비한다.

상부 락 구성요소(4) 및 하부 락 구성요소(5)는 상호 독립적으로 스트립 형태의 기판(2)에 대하여 상대적으로 이동할 수 있다. 이와 같은 이동 동작은 상부 락 구성요소(4)가 상부 베이스 프레임(6)에 연결됨으로써 그리고 하부 락 구성요소(5)가 하부 베이스 프레임(7)에 연결됨으로써 구현된다. 상부 베이스 프레임(6)은 전체 상부 락 구성요소(4)를 수용하고, 하부 베이스 프레임(7)은 전체 하부 락 구성요소(5)를 수용한다. 베이스 프레임들(6, 7)은 상호 별개로 배치되어 있다.

도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 상부 베이스 프레임(6)에 연결된 상부 락 구성요소(4)는 기판(2)의 상부면(8)을 밀봉하는 상부 밀봉 롤러(9), 상기 상부 밀봉 롤러(9)의 재킷면(10)에 인접하는 상부 중간 롤러(11) 및 상기 상부 중간 롤러(11)의 재킷면(12)에서 슬라이딩 동작을 하는 상부 밀봉 릿지(13) 그리고 하우징 벽(14)에 맞물리는 상부 밀봉부(15)를 포함한다. 하부 베이스 프레임(7)에 연결된 하부 락 구성요소(5)는 기판(2)의 하부면(16)을 밀봉하는 하부 밀봉 롤러(17), 상기 하부 밀봉 롤러(17)의 재킷면(18)에 인접하는 하부 중간 롤러(19) 및 상기 하부 중간 롤러(19)의 재킷면(20)에서 슬라이딩 동작을 하는 하부 밀봉 릿지(21) 그리고 하우징 벽(14)에 맞물리는 하부 밀봉부(22)를 포함한다.

정지 상태에서는 상부 밀봉 롤러(9) 및 하부 밀봉 롤러(17)의 중심축들(23, 24)이 상호 간격(25)을 갖는다. 상부 락 구성요소(4)와 하부 락 구성요소(5) 사이에서 상대적인 이동을 가능하게 할 목적으로 상기 간격(25)은 변경될 수 있다.

상부 밀봉 롤러(9) 및 하부 밀봉 롤러(17)는 탄성 재료로 이루어진 재킷면(10, 18)을 각각 하나씩 가지며, 상부 중간 롤러(11) 및 하부 중간 롤러(19)는 강철 또는 강철과 유사한 경질 재료로 이루어진 재킷면(12, 20)을 각각 하나씩 갖는다.

도 5 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 상부 베이스 프레임(6)에 연결된 상부 락 구성요소(4)는 기판(2)의 상부면(8)을 밀봉하는 상부 밀봉 (9) 및 상기 상부 밀봉 롤러(9)의 재킷면(10)에서 슬라이딩 동작을 하는 상부 밀봉 릿지(13) 그리고 하우징 벽(14)에 맞물리는 상부 밀봉부(15)를 포함한다. 하부 베이스 프레임(7)에 연결된 하부 락 구성요소(5)는 기판(2)의 하부면(16)을 밀봉하는 하부 밀봉 롤러(17) 및 상기 하부 밀봉 롤러(17)의 재킷면(18)에서 슬라이딩 동작을 하는 하부 밀봉 릿지(21) 그리고 하우징 벽(14)에 맞물리는 하부 밀봉부(22)를 포함한다. 다시 말해, 상기 실시예는 밀봉 릿지(13, 21)가 밀봉 롤러(9, 17)에 직접, 즉 중간 롤러 없이 맞물린다는 점에서 도 1 내지 도 4에 도시된 변형예들과 상이하다.

상기 실시예에서도 상부 밀봉 롤러(9) 및 하부 밀봉 롤러(17)의 중심축들(23, 24)은 정지 상태에서 상호 간격(25)을 갖는다. 상부 락 구성요소(4)와 하부 락 구성요소(5) 사이에서 상대적인 이동을 가능하게 할 목적으로 상기 간격(25)은 변경될 수 있다.

상부 밀봉 롤러(9) 및 하부 밀봉 롤러(17)는 강철 또는 강철과 유사한 경질 재료로 이루어진 재킷면(10, 18)을 각각 하나씩 갖는다. 특히, 밀봉 롤러들(9, 17)이 강철로 이루어질 수도 있다. 따라서, 밀봉 롤러(9, 17)의 재킷면(10, 18)에 직접 맞물리는 밀봉 릿지들(13, 21)은 상대적으로 적은 마모를 야기한다. 상기 실시예에서 밀봉 릿지들(13, 21)은 이 밀봉 릿지들(13, 21)이 결합되는 밀봉 롤러(9, 17)에 달라붙는 불순물을 제거하기 위하여 스크레이핑 나이프로서, 소위 닥터 블레이드로서도 형성되었다.

상부 밀봉부(15) 및 하부 밀봉부(22)는 적어도 간격(25)이 최소인 경우에는 아래에서 더 설명되는 바와 같이 하우징 벽(14)의 각각 하나의 밀봉면(27, 29, 30)에 밀봉 방식으로 인접한다. 이와 관련하여 도 1 및 도 2 그리고 도 5 및 도 6에는, 하우징 벽(14)에 상부 락 구성요소(4)의 이동 방향(26)에 대하여 가로로 놓인 상부 밀봉면(27) ― 이 상부 밀봉면 상에는 간격(25)이 최소인 경우에 상부 밀봉부(15)가 올려짐 ― 그리고 하부 락 구성요소(5)의 이동 방향(28)에 대하여 가로로 놓인 하부 밀봉면(29) ― 이 하부 밀봉면 상에는 간격(25)이 최소인 경우에 하부 밀봉부(22)가 올려짐 ― 이 제공된 실시예가 각각 하나씩 도시되어 있다.

그와 달리 도 2 및 도 3 그리고 도 7 및 도 8에는, 상부 밀봉면 및 하부 밀봉면이 각각 하우징 벽(14)의 내부면(30) 자체에 의해서 형성되는 실시예가 각각 하나씩 도시되어 있다.

도면부에서 도 1, 도 3, 도 5 및 도 7은 밀봉 롤러들(9, 17)이 각각 기판(2)에, 즉 스트립에 인접하는 폐쇄된 상태에서 락(1)을 보여주고 있다. 이 경우, 각각의 실시예에 상부 중간 롤러(11)가 존재하는 한, 상부 밀봉부(15), 즉 상부 밀봉 릿지(13)를 통해서는 상부 중간 롤러(11)의 재킷면(12)과 상부 밀봉 릿지(13) 간의 접촉 라인에, 상부 중간 롤러(11)와 상부 밀봉 롤러(9) 간의 접촉 라인에 그리고 상부 밀봉 롤러(9)와 기판(2) 상부면(8) 간의 접촉 라인에 하나의 폐쇄된 상부 밀봉 라인(31)이 생기며, 그리고 각각의 실시예에 하부 중간 롤러(19)가 존재하는 한, 하부 밀봉부(22), 즉 하부 밀봉 릿지(21)를 통해서는 하부 중간 롤러(19)의 재킷면(20)과 하부 밀봉 릿지(21) 간의 접촉 라인에, 하부 밀봉 롤러(17)의 재킷면(18)과 하부 밀봉 릿지(21) 간의 접촉 라인에 그리고 하부 밀봉 롤러(17)와 기판(2) 하부면(16) 간의 접촉 라인에 하나의 폐쇄된 하부 밀봉 라인(32)이 생긴다.

도면부에서 도 2, 도 4, 도 6 및 도 8은 밀봉 롤러들(9, 17)이 스트립(2)으로부터 해체된 개방 상태에서 각각의 락(1)을 보여주고 있다. 이 상태에서 락 구성요소들(4, 5)은 스트립(2)을 양단할 필요 없이 락(1)으로부터 그리고 그로 인해 진공 코팅 시스템으로부터 제거될 수 있다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

1: 락 2: 기판, 스트립

3: 진공 구역 4: 상부 락 구성요소

5: 하부 락 구성요소 6: 상부 베이스 프레임

7: 하부 베이스 프레임 8: 기판의 상부면

9: 상부 밀봉 롤러 10: 상부 밀봉 롤러의 재킷면

11: 상부 중간 롤러 12: 상부 중간 롤러의 재킷면

13: 상부 밀봉 릿지 14: 하우징 벽

15: 상부 밀봉부 16: 기판의 하부면

17: 하부 밀봉 롤러 18: 하부 밀봉 롤러의 재킷면

19: 하부 중간 롤러 20: 하부 중간 롤러의 재킷면

21: 하부 밀봉 릿지 22: 하부 밀봉부

23: 상부 밀봉 롤러의 중심축 24: 하부 밀봉 롤러의 중심축

25: 간격 26: 상부 락 구성요소의 이동 방향

27: 상부 밀봉면 28: 하부 락 구성요소의 이동 방향

29: 하부 밀봉면 30: 하우징 벽의 내부면

31: 상부 밀봉 라인 32: 하부 밀봉 라인

Claims

진공 코팅 시스템 내에서 스트립 형태의 기판을 처리하기 위한 방법으로서,

상기 스트립 형태의 기판(2)은 이송 라인 상에서 진공 코팅 시스템을 통과하여 이송되고, 상기 진공 코팅 시스템의 진공 구역들(3)은 락(1)(lock)에 의해서 분리되어 있으며, 상기 락은 기판(2)의 상부면(8)을 밀봉하는 적어도 하나의 상부 락 구성요소(4) 및 기판(2)의 하부면(16)을 밀봉하는 하부 락 구성요소(5)를 구비하며, 상기 락(1)이 간헐적으로 개방되는, 기판 처리 방법에 있어서,

락(1)이 개방된 상태에서 상부 락 구성요소(4) 및 하부 락 구성요소(5)는 상호 독립적으로, 이송 라인을 관통하지 않고 그리고 상기 진공 코팅 시스템의 하우징과 무관하게 이동하는 것을 특징으로 하는,

기판 처리 방법.
입력부- 및 출력부 락(1)에 의해서 밀봉되어 있고 진공 발생기에 연결된 진공 구역(3)을 갖는 진공 코팅 시스템 내에서 스트립 형태의 기판(2)을 처리하기 위한 장치로서,

각각의 락(1)이 기판(2) 위에 배치된 상부 락 구성요소(4) 그리고 기판(2) 아래에 배치된 하부 락 구성요소(5)를 구비하는, 기판 처리 장치에 있어서,

상기 상부 락 구성요소(4) 및 하부 락 구성요소(5)가 상호 독립적으로 스트립 형태의 기판(2)에 대하여 상대적으로 그리고 상기 진공 코팅 시스템의 하우징과 무관하게 이동할 수 있는 것을 특징으로 하는,

기판 처리 장치.
제 2 항에 있어서,

상기 두 개의 락 구성요소들(4; 5)은 상호 독립적으로 진공 코팅 시스템으로부터 인출될 수 있는 것을 특징으로 하는,

기판 처리 장치.
제 2 항에 있어서,

상기 상부 락 구성요소(4)는 상부 베이스 프레임(6)에 연결되어 있고, 상기 하부 락 구성요소(5)는 하부 베이스 프레임(7)에 연결되어 있으며,

상기 상부 베이스 프레임(6)은 전체 상부 락 구성요소(4)를 수용하고, 상기 하부 베이스 프레임(7)은 전체 하부 락 구성요소(5)를 수용하며, 상기 베이스 프레임들(6; 7)은 상호 별개로 배치된 것을 특징으로 하는,

기판 처리 장치.
제 4 항에 있어서,

상기 상부 베이스 프레임(6)에는 기판(2)의 상부면(8)을 밀봉하는 상부 밀봉 롤러(9) 및 상기 상부 밀봉 롤러(9)의 재킷면(10)에서 슬라이딩 동작을 하는 상부 밀봉 릿지(13) 그리고 하우징 벽(14)에 맞물리는 상부 밀봉부(15)가 연결되어 있으며,

상기 하부 베이스 프레임(7)에는 기판(2)의 하부면(16)을 밀봉하는 하부 밀봉 롤러(17) 및 상기 하부 밀봉 롤러(17)의 재킷면(18)에서 슬라이딩 동작을 하는 하부 밀봉 릿지(21) 그리고 하우징 벽(14)에 맞물리는 하부 밀봉부(22)가 연결되어 있으며,

상기 상부 밀봉 롤러(9) 및 하부 밀봉 롤러(17)의 중심축들(23; 24)은 변경 가능한 상호 간격(25)을 갖고, 상기 상부 밀봉부(15) 및 하부 밀봉부(22)는 간격(25)이 최소인 경우에는 하우징 벽의 각각 하나의 밀봉면(27; 29; 30)에 밀봉 방식으로 인접하는 것을 특징으로 하는,

기판 처리 장치.
제 5 항에 있어서,

상기 상부 밀봉 롤러(9) 및 하부 밀봉 롤러(17)는 강철 또는 강철과 유사한 경질 재료로 이루어진 재킷면(10; 18)을 각각 하나씩 갖는 것을 특징으로 하는,

기판 처리 장치.
제 4 항에 있어서,

상기 상부 베이스 프레임(6)에는 기판(2)의 상부면(8)을 밀봉하는 상부 밀봉 롤러(9), 상기 상부 밀봉 롤러(9)의 재킷면(10)에 인접하는 상부 중간 롤러(11) 및 상기 상부 중간 롤러(11)의 재킷면(12)에서 슬라이딩 동작을 하는 상부 밀봉 릿지(13) 그리고 하우징 벽(14)에 맞물리는 상부 밀봉부(15)가 연결되어 있으며,

상기 하부 베이스 프레임(7)에는 기판(2)의 하부면(16)을 밀봉하는 하부 밀봉 롤러(17), 상기 하부 밀봉 롤러(17)의 재킷면(18)에 인접하는 하부 중간 롤러(19) 및 상기 하부 중간 롤러(19)의 재킷면(20)에서 슬라이딩 동작을 하는 하부 밀봉 릿지(21) 그리고 하우징 벽(14)에 맞물리는 하부 밀봉부(22)가 연결되어 있으며,

상기 상부 밀봉 롤러(9) 및 하부 밀봉 롤러(17)의 중심축들(23; 24)은 변경 가능한 상호 간격(25)을 갖고, 상기 상부 밀봉부(15) 및 하부 밀봉부(22)는 간격(25)이 최소인 경우에는 하우징 벽의 각각 하나의 밀봉면(27; 29; 30)에 밀봉 방식으로 인접하는 것을 특징으로 하는,

기판 처리 장치.
제 7 항에 있어서,

상기 상부 밀봉 롤러(9) 및 하부 밀봉 롤러(17)는 탄성 재료로 이루어진 재킷면(10; 18)을 각각 하나씩 갖고, 상기 상부 중간 롤러(11) 및 하부 중간 롤 러(19)는 강철 또는 강철과 유사한 경질 재료로 이루어진 재킷면(12; 20)을 각각 하나씩 갖는 것을 특징으로 하는,

기판 처리 장치.
제 5 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 하우징 벽(14)에는 상부 락 구성요소(4)의 이동 방향(26)에 대하여 가로로 놓인 상부 밀봉면(27) ― 이 상부 밀봉면 상에는 간격(25)이 최소인 경우에 상부 밀봉부(15)가 올려짐 ― 그리고 하부 락 구성요소(5)의 이동 방향(28)에 대하여 가로로 놓인 하부 밀봉면(29) ― 이 하부 밀봉면 상에는 간격(25)이 최소인 경우에 하부 밀봉부(22)가 올려짐 ― 이 제공되는 것을 특징으로 하는,

기판 처리 장치.
제 5 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 상부 및 하부 밀봉면은 각각 하우징 벽(14)의 내부면(30) 자체에 의해서 형성되는 것을 특징으로 하는,

기판 처리 장치.
제 3 항에 있어서,

상기 상부 락 구성요소(4)는 상부 베이스 프레임(6)에 연결되어 있고, 상기 하부 락 구성요소(5)는 하부 베이스 프레임(7)에 연결되어 있으며,

상기 상부 베이스 프레임(6)은 전체 상부 락 구성요소(4)를 수용하고, 상기 하부 베이스 프레임(7)은 전체 하부 락 구성요소(5)를 수용하며, 상기 베이스 프레임들(6; 7)은 상호 별개로 배치된 것을 특징으로 하는,

기판 처리 장치.