KR101219307B1 - 폐가스 처리장치용 에어밸브 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 폐가스 처리장치용 에어밸브를 개시한다. 본 발명의 일 측면에 따른 폐가스 처리장치용 에어밸브는, 습식챔버의 외면과 체결되는 제 1 공기유동관과, 상기 제 1 공기유동관과 소정각도를 갖도록 굴곡지게 연결되며 공기유동홀이 형성된 제 2 공기유동관으로 구성된 공기유동관과, 상기 제 2 공기유동관에 삽입되어 자중에 의해 상기 공기유동홀을 폐쇄 상태로 유지하고, 상기 습식챔버의 내압의 변화에 따른 공기의 유동에 의해 부유되어 상기 공기유동홀을 개방하는 부유체와, 상기 공기유동관과 상기 습식챔버의 외면과 체결 시, 상기 습식챔버의 내부 물질의 외부로 유출되는 것을 방지하는 제 1 실링부재와, 상기 공기유동홀과 상기 부유체가 접하는 부분에 형성되는 제 2 실링부재를 포함한다.

Description

폐가스 처리장치용 에어밸브{Air valve for waste gas treatment appratus}
본 발명은 에어밸브와 관한 것으로서, 보다 상세하게는 폐가스 처리장치용 에어밸브에 관한 것이다.
반도체 디바이스는 산화, 식각, 증착 및 포토공정 등 다양한 제조공정을 거쳐 제조된다. 이때, 상기 제조공정에는 유독성 화공약품 및 화학가스가 사용될 수 있다. 예를 들면, 반도체 디바이스의 제조공정에는 암모니아, 산화질소, 아르신, 포시핀, 디보론 및 보론 트리클로라이드 등과 같은 유독성 가스가 사용될 수 있다.
따라서 반도체 제조공정에서 발생된 폐가스가 대기 중으로 그대로 방출될 경우, 상기와 같은 유독성 가스로 인해 인체에 치명적인 영향을 미칠 수 있다. 또한, 폐가스의 자연발화로 인해 화재사고가 발생될 수 있다.
상기와 같은 이유로, 일반적인 반도체 제조공정에서는 다양한 형태의 폐가스 처리장치를 사용하고 있다. 폐가스 처리장치는 반도체 제조공정에서 발생된 폐가스를 정제하여 대기로 방출시킴으로써 상기와 같은 문제점을 해소한다.
일반적으로 폐가스 처리장치는 폐가스를 연소하도록 하기 위한 버너와 버닝챔버로 구성되는 건식부와, 상기 건식부에 의해 연소된 폐가스를 정제하는 습식부로 구성된다.
이때, 습식부의 경우 습식챔버에서 처리되는 가스의 상대습도를 낮추기 위하여 습식챔버에 공기유동홀을 형성하여 외기를 습식챔버 내부로 유입시켰다. 이때, 습식챔버의 내부 압력에 따라 외기의 유입정도를 조절하기 위하여 공기유동홀에는 조리개를 부착하였다.
그러나 조리개를 설치하는 경우, 습식챔버의 내부 압력에 따라 습식챔버 내부의 공기가 조리개의 홀들을 통하여 외부로 유출될 수 있었다. 이때, 내부 공기에 포함된 파우더가 외부로 유출되어 주변환경을 오염시키거나 외부의 사용자가 유출되는 파우더에 노출됨으로써 사용자의 위험도가 증대되었다.
본 발명의 실시예들은 습식챔버로 유입되는 외기를 효율적으로 공급하는 폐가스 처리장치용 에어밸브를 제공하고자 한다.
본 발명의 일 측면은, 습식챔버의 외면과 체결되는 제 1 공기유동관과, 상기 제 1 공기유동관과 소정각도를 갖도록 굴곡지게 연결되며 공기유동홀이 형성된 제 2 공기유동관으로 구성된 공기유동관과, 상기 제 2 공기유동관에 삽입되어 자중에 의해 상기 공기유동홀을 폐쇄 상태로 유지하고, 상기 습식챔버의 내압의 변화에 따른 공기의 유동에 의해 부유되어 상기 공기유동홀을 개방하는 부유체와, 상기 공기유동관과 상기 습식챔버의 외면과 체결 시, 상기 습식챔버의 내부 물질의 외부로 유출되는 것을 방지하는 제 1 실링부재와, 상기 공기유동홀과 상기 부유체가 접하는 부분에 형성되는 제 2 실링부재를 포함하는 폐가스 처리장치용 에어밸브를 제공할 수 있다.
또한, 상기 공기유동관은 상기 습식챔버에 체결되는 부분에 형성되는 제 1 플렌지를 구비할 수 있다.
또한, 상기 제 1 공기유동관과 상기 제 2 공기유동관은 직각으로 형성될 수 있다.
삭제
또한, 상기 부유체는 구형으로 형성될 수 있다.
또한, 상기 공기유동관에 체결되는 걸림부재를 포함할 수 있다.
또한, 상기 공기유동관의 내면으로부터 연장되도록 형성되고, 상기 공기유동관과 상기 습십챔버가 체결되는 부분에 형성되는 부유체흡입방지부재를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 부유체흡입방지부재는, 상기 공기유동관의 내면으로부터 연장되어 형성되는 제 1 부유체흡입방지부재와, 상기 제 1 부유체흡입방지부재와 소정각도를 형성하며, 상기 공기유동관의 내면으로부터 연장되어 형성되는 제 2 부유체흡입방지부재를 포함할 수 있다.
삭제
삭제
본 발명의 실시예들은 습식챔버의 내부 압력에 따라 부유하는 부유체를 구비함으로써 습식챔버의 내부 압력에 적합한 외기를 효과적으로 공급할 수 있다. 또한, 습식챔버의 내부 압력이 높은 경우 부유체가 공기유동관을 폐쇄함으로써 습식챔버 내부의 파우더가 외부로 유출되는 것을 신속하고 효과적으로 차단할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 폐가스 처리장치용 에어밸브가 설치된 폐가스 처리장치를 보여주는 개략도이다.
도 2는 도 1에 도시된 폐가스 처리장치용 에어밸브를 보여주는 사시도이다.
도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ선을 따라 취한 단면도이다.
도 4는 도 2에 도시된 폐가스 처리장치용 에어밸브의 작동상태를 보여주는 작동상태도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 폐가스 처리장치용 에어밸브를 보여주는 사시도이다 .
도 6은 도 5의 Ⅵ-Ⅵ선을 다라 취한 단면도이다.
도 7은 도 5의 폐가스 처리장치용 에어밸브의 작동상태를 보여주는 작동상태도이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 폐가스 처리장치용 에어밸브(200)가 설치된 폐가스 처리장치(W)를 보여주는 개략도이다.
도 1을 참고하면, 폐가스 처리장치(W)는 전처리장치(321)를 포함할 수 있다. 전처리장치(321)의 일측에는 제 1 유입구(311)가 형성된다. 반도체 제조공정에서 발생된 폐가스는 제 1 유입구(311)를 통해 전처리장치(321)의 내부로 유입된다.
전처리장치(321)에서는 상기 폐가스에 함유된 수분을 제거한다. 이때, 전처리장치(321)는 핫-질소를 사용하여 상기 폐가스에 함유된 수분을 제거할 수 있다. 또한, 전처리장치(321)는 상기 폐가스에 물을 분사하여 상기 폐가스에 함유된 수용성 가스를 제거한다.
상기와 같은 전처리장치(321)는 종래 공지된 바 있으며, 본 발명의 기술적 요지가 아닌 바, 구체적인 구성 및 작동에 대하여는 상세한 설명을 생략한다.
한편, 전처리장치(321)의 하부측에는 제 1 드레인(313)이 형성될 수 있다. 또한, 제 1 드레인(313)에는 파우더 트랩장치(322)가 연결될 수 있다.
전처리장치(321)에서 상기 폐가스의 전처리(前處理)가 일어나는 동안, 상기 폐가스와 수분이 반응하여 파우더가 생성될 수 있다. 또한, 상기 폐가스 중에는 다량의 먼지(dust) 및 불순물 등이 함유되어 있을 수 있다.
상기와 같은 파우더, 먼지 및 불순물 등은 전처리장치(321) 내에서 분사되는 물과 섞여 제 1 드레인(313)을 통해 배출될 수 있다. 파우더 트랩장치(322)는 상기 파우더, 먼지 및 불순물 등을 일시적으로 저장하였다가, 고체상태에 가까운 성분은 제 2 드레인(321)을 통해 외부로 배출한다. 또한, 액체상태에 가까운 성분은 제 3 드레인(322)을 통해 드레인탱크(1000)로 배출시킨다.
한편, 폐가스 처리장치(W)는 전처리장치(321)와 후술할 버닝챔버(600)의 연결통로인 폐가스유동관(400)을 포함한다. 폐가스유동관(400)은 일측이 전처리장치(321)의 제 1 배출구(312)에 체결되고, 타측이 버닝챔버(600)와 체결될 수 있다. 따라서 전처리장치(321)에서 배출된 상기 폐가스는 폐가스유동관(400)을 유동하여 버닝챔버(600)로 이동할 수 있다.
폐가스 처리장치(W)는 폐가스유동관(400)의 일측에 장착되는 진동자 모듈장치(500)를 포함한다. 진동자 모듈장치(500)는 초음파를 사용하여 폐가스유동관(400)을 진동시킬 수 있다.
상기 폐가스는 폐가스유동관(400)을 유동하는 동안 수분과 반응하여 파우더를 생성시킬 수 있다. 상기와 같은 파우더는 폐가스유동관(400)의 내측에 고착되어 막힘현상을 초래할 수 있다. 진동자 모듈장치(500)는 폐가스유동관(400)을 진동시킴으로써, 상기와 같은 파우더가 폐가스유동관(400)의 내측에 고착되는 것을 방지할 수 있다.
한편, 필요에 따라 진동자 모듈장치(500)는 폐가스유동관(400)에 다수개 장착될 수도 있다. 예를 들면, 진동자 모듈장치(500)는 제 1 배출구(312)에 인접한 위치에 하나 설치되고, 버닝챔버(600)에 인접한 위치에 하나 설치되며, 폐가스유동관(230)의 중단부에 하나 설치되어 총 세 개가 설치될 수도 있다.
한편, 폐가스 처리장치(W)는 폐가스유동관(400)을 통해 배출되는 상기 폐가스를 연소시켜 파우더를 생성하는 버닝챔버(600)를 포함한다. 버닝챔버(600)는 상부측에 버너(610)를 구비할 수 있다. 버너(610)는 상기 폐가스를 연소시켜 상기 폐가스에 함유된 유해성분을 고체상태의 파우더로 열분해 시킨다. 버닝챔버(600) 및 버너(610)의 상세한 구성 및 작동에 대하여는 종래 공지된 바 있으므로, 상세한 설명을 생략한다.
폐가스 처리장치(W)는 버닝챔버(600)에 체결되는 스크래퍼 모듈장치(700)를 포함한다. 스크래퍼 모듈장치(700)는 상기 파우더가 버닝챔버(600)에 고착되는 것을 방지한다. 스크래퍼 모듈장치(700)의 상세한 구성 및 작동에 대하여는 후술하기로 한다.
한편, 폐가스 처리장치(W)는 습식챔버(800) 및 습식챔버(800)의 상부에 장착되는 방전식 집진장치(900)를 더 포함할 수 있다.
습식챔버(800)은 버닝챔버(600)에서 건식(乾式) 처리를 거친 상기 폐가스를 습식(濕式) 처리한다. 즉, 상기 폐가스에 물과 같은 용매를 분사하여 수용성 가스를 용해시킨다. 또한, 상기 폐가스에 잔존하는 파우더 등을 여과시킨다. 상기와 같은 습식챔버(800)의 구성 및 작동에 대하여는 종래 공지된 바 있으므로, 상세한 설명을 생략한다.
방전식 집진장치(900)는 습식챔버(800)의 상부에 장착되어 상기 폐가스에 잔존하는 미세 파우더를 여과한다. 습식챔버(800)을 통해 습식 처리를 거쳤더라도, 상기 폐가스에는 미세 파우더가 잔존할 수 있다. 방전식 집진장치(900)는 상기와 같은 미세 파우더를 한번 더 여과함으로써 유해성분이 외부로 배출되는 것을 방지할 수 있다.
한편, 폐가스 처리장치(W)는 드레인탱크(1000)를 더 포함할 수 있다. 드레인탱크(1000)에는 상기 폐가스를 정제하는 과정에서 발생된 각종 불순물, 슬러지(sludge) 및 파우더 등이 저장된다.
폐가스 처리장치(W)는 습식챔버(800)에 체결되는 폐가스 처리장치용 에어밸브(100)를 포함할 수 있다. 이때, 폐가스 처리장치용 에어밸브(100)는 습식챔버(800)의 내압에 따라 외기를 유입시킬 수 있다.
이하에서는 폐가스 처리장치용 에어밸브(100)에 대해서 상세히 설명하기로 한다.
도 2는 도 1에 도시된 폐가스 처리장치용 에어밸브(100)를 보여주는 사시도이다. 도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ선을 따라 취한 단면도이다. 도 4는 도 2에 도시된 폐가스 처리장치용 에어밸브(100)의 작동상태를 보여주는 작동상태도이다.
도 2 내지 도 4를 참고하면, 폐가스 처리장치용 에어밸브(100)는 굴곡지게 형성되며, 습식챔버(800)에 체결되는 공기유동관(110)을 포함한다. 이때, 공기유동관(110)은 내부에 공기유동홀(114)이 형성될 수 있다.
공기유동관(110)은 습식챔버(800)의 외면에 체결되는 제 1 공기유동관(111)을 포함할 수 있다. 공기유동관(110)은 제 1 공기유동관(111)과 소정각도를 형성하는 제 2 공기유동관(112)을 포함할 수 있다.
예들 들면, 제 1 공기유동관(111)은 제 2 공기유동관(112)과 예각을 형성할 수 있다. 또한, 제 1 공기유동관(111)은 제 2 공기유동관(112)과 직각을 형성할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제 1 공기유동관(111) 및 제 2 공기유동관(112)은 서로 직각을 형성하는 경우를 중심으로 설명한다.
제 1 공기유동관(111) 및 제 2 공기유동관(112)은 일체로 형성될 수 있다. 또한, 제 1 공기유동관(111)은 습식챔버(800)에 직각으로 체결될 수 있다.
한편, 공기유동관(110)은 습식챔버(800)에 체결되는 부분에 형성되는 제 1 플렌지(113)를 포함할 수 있다. 제 1 플렌지(113)는 제 1 공기유동관(111)의 외주면으로부터 돌출되어 형성될 수 있다. 또한, 제 1 플렌지(113)는 제 1 공기유동관(111)의 외주면으로부터 방사형으로 형성될 수 있다.
제 1 플렌지(113)의 외면에는 제 1 공기유동관(111)과 습식챔버(800)를 체결시키도록 볼트가 삽입되는 복수개의 볼트체결홀(미도시)이 형성될 수 있다. 따라서 공기유동관(110)은 습식챔버(800)와 상기 볼트에 의하여 견고하게 체결될 수 있다.
폐가스 처리장치용 에어밸브(100)는 공기유동관(110)의 내부에 배치되는 부유체(120)를 포함한다. 부유체(120)는 구형으로 형성될 수 있다. 또한, 부유체(120)는 공기에 의하여 부유하도록 가벼운 재질로 형성될 수 있다.
한편, 폐가스 처리장치용 에어밸브(100)는 공기유동관(110)에 관통하도록 체결되는 걸림부재(150)를 포함할 수 있다. 걸림부재(150)는 제 1 공기유동관(111)에 삽입되어 체결될 수 있다. 이때, 걸림부재(150)는 제 1 공기유동관(111)에 형성되는 공기유동홀(114)의 내부 일부를 막도록 형성될 수 있다.
걸림부재(150)는 볼트 등과 같이 제 1 공기유동관(111)에 삽입되어 체결될 수 있는 모든 부재를 포함할 수 있다.
폐가스 처리장치용 에어밸브(100)는 공기유동관(110)에 체결되는 제 1 실링부재(130)를 포함할 수 있다. 이때, 제 1 실링부재(130)는 제 1 플렌지(113)의 외면에 인입되도록 배치되어 체결될 수 있다.
제 1 실링부재(130)는 습식챔버(800)와 제 1 플렌지(113)가 접촉하는 부분을 실링(Sealing)하여 외부로 파우더 등과 같은 습식챔버(800) 내부 물질이 유출되는 것을 방지할 수 있다.
제 1 실링부재(130)는 다양한 부재를 포함할 수 있다. 예를 들면, 제 1 실링부재(130)는 원형으로 형성되는 원형링을 포함할 수 있다. 또한, 제 1 실링부재(130)는 일측이 개방되도록 형성되는 C클램프(C-clamp)를 포함할 수 있다.
폐가스 처리장치용 에어밸브(100)는 공기유동관(110)에 삽입되어 체결되는 제 2 실링부재(140)를 포함할 수 있다. 이때, 제 2 실링부재(140)는 제 2 공기유동관(112)에 형성되는 공기유동홀(114)에 삽입되어 체결될 수 있다.
한편, 폐가스 처리장치용 에어밸브(100)의 작동을 살펴보면, 폐가스 처리장치(W)가 작동함에 따라 폐가스가 유입되어 상기에서 설명한 장치들을 순환하게 된다.
이때, 폐가스는 폐가스 처리장치(W)를 순환하면서 일부 오염물질, 파우더, 먼지 등이 제고된다. 폐가스는 상기의 과정을 거치면서 습식챔버(800)로 유동한다. 이때, 습식챔버(800)에서는 폐가스에 포함된 수용성 가스를 제거하고, 폐가스에 잔존하는 파우더 등을 여관시킨다.
한편, 폐가스가 습식챔버(800)를 유동하는 동안, 외부로부터 외기가 습식챔버(800)의 내부로 유동할 수 있다. 이때, 습식챔버(800)는 폐가스가 내부를 유동하면서 습식챔버(800)의 내부 압력이 가변하게 된다.
폐가스가 유동하는 경우 습식챔버(800)의 내부는 외기의 압력보다 작게 형성될 수 있다. 이때, 부유체(120)는 습식챔버(800)의 내부의 압력에 따라 부유할 수 있다.
예를 들면, 부유체(120)는 습식챔버(800)의 내부 압력이 제 1 압력 미만인 경우 부유하여 제 2 공기유동관(112)을 개방할 수 있다. 이때, 부유체(120)는 제 2 공기유동관(112)에 형성되는 공기유동홀(114)에 부유하여 제 2 공기유동관(112)을 개방할 수 있다.
또한, 부유체(120)는 습식챔버(800)의 내부 압력이 상기 제 1 압력 이상이고 제 2 압력 미만인 경우 제 2 공기유동관(112)의 일부를 개방할 수 있다. 이때, 부유체(120)는 제 2 실링부재(140)로부터 소정간격 이격되어 부유할 수 있다. 따라서 부유체(120)는 제 2 공기유동관(112)을 완전히 개방하지 않고 일부만 개방함으로써 제 2 공기유동관(112)으로 유입되는 외기를 제어할 수 있다.
부유체(120)는 습식챔버(800)의 내부압력이 상기 제 2 압력 이상인 경우 제 2 공기유동관(112)을 폐쇄할 수 있다. 따라서 부유체(120)는 습식챔버(800)의 내부압력에 따라 제 2 공기유동관(112)을 개폐할 수 있다.
이때, 부유체(120)가 제 2 공기유동관(112)을 폐쇄하는 경우, 부유체(120)는 제 2 실링부재(140)에 안착하여 제 2 실링부재(140)를 폐쇄할 수 있다. 따라서 제 2 실링부재(140) 및 부유체(120)에 의하여 습식챔버(800)의 파우더가 외부로 유출되는 것을 차단할 수 있다.
한편, 부유체(120)는 습식챔버(800)의 내부 압력이 상기 제 1 압력 미만인 경우 제 2 공기유동관(112)으로부터 제 1 공기유동관(111)으로 이동할 수 있다. 습식챔버(800)의 내부 압력이 계속해서 하강하는 경우 제 1 공기유동관(111)과 습식챔버(800)가 체결되는 부분으로 흡입될 수 있다.
이때, 걸림부재(150)는 습식챔버(800)의 내부 압력 하강으로 인한 부유체(120)가 습식챔버(800)로 흡입되는 것을 방지할 수 있다. 따라서 걸림부재(150)는 부유체(120)가 공기유동관(110)을 이탈하는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.
폐가스 처리장치용 에어밸브(100)는 상기에 설명한 바와 같이 습식챔버(800)의 내부 압력에 따라 공급되는 외기를 안정적으로 제공할 수 있다. 따라서 폐가스 처리장치용 에어밸브(100)는 안정적으로 외기를 습식챔버(800)에 제공함으로써 폐가스의 상대습도를 효과적으로 낮출 수 있다.
또한, 폐가스 처리장치용 에어밸브(100)는 외기의 압력과 습식챔버(800) 내부 압력과 유사한 경우 파우더 등 이물질이 외기로 유출되는 것을 방지하여 주변 환경의 오염을 방지하고, 사용자의 안전을 확보할 수 있다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 폐가스 처리장치용 에어밸브(200)를 보여주는 사시도이다. 도 6은 도 5의 Ⅵ-Ⅵ선을 다라 취한 단면도이다. 도 7은 도 5의 폐가스 처리장치용 에어밸브의 작동상태(200)를 보여주는 작동상태도이다.
도 5 내지 도 7을 참고하면, 폐가스 처리장치용 에어밸브(200)는 상기에서 설명한 바와 같이 공기유동관(210), 부유체(220), 제 1 실링부재(230) 및 제 2 실링부재(240)를 포함할 수 있다.
이때, 공기유동관(210), 부유체(220), 제 1 실링부재(230) 및 제 2 실링부재(240)는 상기에서 설명한 바와 동일하게 형성되므로 이하에서는 상세한 설명은 생략하기로 한다.
한편, 폐가스 처리장치용 에어밸브(200)는 공기유동관(210)에 형성되는 부유체흡입방지부재(250)를 포함할 수 있다. 부유체흡입방지부재(250)는 제 1 공기유동관(211)의 내주면으로부터 연장되어 형성되는 제 1 부유체흡입방지부재(251)를 포함할 수 있다. 또한, 부유체흡입방지부재(250)는 제 1 공기유동관(211)의 내주면으로부터 연장되어 형성되는 제 2 부유체흡입방지부재(252)를 포함할 수 있다.
이때, 제 1 부유체흡입방지부재(251)와 제 2 부유체흡입방지부재(252)는 소정각도로 형성될 수 있다. 예를 들면, 상기 소정각도는 예각 또는 직각 또는 둔각으로 형성될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 상기 소정각도가 직각인 경우를 중심으로 설명한다.
제 1 부유체흡입방지부재(251)와 제 2 부유체흡입방지부재(252)는 제 1 공기유동관(211)및 습식챔버(800) 사이에 배치되어 부유체(220)가 습식챔버(800)로 흡입되는 것을 방지할 수 있다.
한편, 폐가스 처리장치용 에어밸브(200)의 작동방법은 상기에서 설명한 바와 동일하므로 이하에서는 상세한 설명은 생략하기로 한다.
따라서 폐가스 처리장치용 에어밸브(200)는 상기에 설명한 바와 같이 습식챔버(800)의 내부 압력에 따라 공급되는 외기를 안정적으로 제공할 수 있다. 따라서 폐가스 처리장치용 에어밸브(200)는 안정적으로 외기를 습식챔버(800)에 제공함으로써 폐가스의 상대습도를 효과적으로 낮출 수 있다.
또한, 폐가스 처리장치용 에어밸브(200)는 외기의 압력과 습식챔버(800) 내부 압력과 유사한 경우 파우더 등 이물질이 외기로 유출되는 것을 방지하여 주변 환경의 오염을 방지하고, 사용자의 안전을 확보할 수 있다.
이상, 본 발명의 실시예에 대하여 설명하였으나, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서, 구성 요소의 부가, 변경, 삭제 또는 추가 등에 의해 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이며, 이 또한 본 발명의 권리범위 내에 포함된다고 할 것이다.
100,200 : 폐가스 처리장치용 에어밸브
110, 210 : 공기유동관
111, 211 : 제 1 공기유동관
112, 212 : 제 2 공기유동관
120, 220 : 부유체
130, 230 : 제 1 실링부재
140, 240 : 제 2 실링부재
150 : 걸림부재
250 : 부유체흡입방지부재

Claims (10)

  1. 습식챔버의 외면과 체결되는 제 1 공기유동관과, 상기 제 1 공기유동관과 소정각도를 갖도록 굴곡지게 연결되며 공기유동홀이 형성된 제 2 공기유동관으로 구성된 공기유동관과,
    상기 제 2 공기유동관에 삽입되어 자중에 의해 상기 공기유동홀을 폐쇄 상태로 유지하고, 상기 습식챔버의 내압의 변화에 따른 공기의 유동에 의해 부유되어 상기 공기유동홀을 개방하는 부유체와,
    상기 공기유동관과 상기 습식챔버의 외면과 체결 시, 상기 습식챔버의 내부 물질의 외부로 유출되는 것을 방지하는 제 1 실링부재와,
    상기 공기유동홀과 상기 부유체가 접하는 부분에 형성되는 제 2 실링부재를 포함하는 폐가스 처리장치용 에어밸브.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 공기유동관은 상기 습식챔버에 체결되는 부분에 형성되는 제 1 플렌지를 구비하는 폐가스 처리장치용 에어밸브.
  3. 삭제
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 제 1 공기유동관과 상기 제 2 공기유동관은 직각으로 형성되는 폐가스 처리장치용 에어밸브.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 부유체는 구형으로 형성되는 폐가스 처리장치용 에어밸브.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 공기유동관에 체결되는 걸림부재를 포함하는 폐가스 처리장치용 에어밸브.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 공기유동관의 내면으로부터 연장되도록 형성되고, 상기 공기유동관과 상기 습식챔버가 체결되는 부분에 형성되는 부유체흡입방지부재를 더 포함하는 폐가스 처리장치용 에어밸브.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 부유체흡입방지부재는,
    상기 공기유동관의 내면으로부터 연장되어 형성되는 제 1 부유체흡입방지부재와,
    상기 제 1 부유체흡입방지부재와 소정각도를 형성하며, 상기 공기유동관의 내면으로부터 연장되어 형성되는 제 2 부유체흡입방지부재를 포함하는 폐가스 처리장치용 에어밸브.
  9. 삭제
  10. 삭제
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KR20100002904A (ko) * 2008-06-30 2010-01-07 유니셈(주) 폐가스 처리장치
KR100952969B1 (ko) * 2009-09-24 2010-04-15 김충효 자동 흡배기밸브장치

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20100002904A (ko) * 2008-06-30 2010-01-07 유니셈(주) 폐가스 처리장치
KR100952969B1 (ko) * 2009-09-24 2010-04-15 김충효 자동 흡배기밸브장치

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