KR101218263B1 - 진공박막제조용 측향식 진공증발원 및 이를 이용하는 기상증착장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 소스 물질의 1회 적재 용량을 극대화하고 효율을 향상시킬 수 있는 진공박막제조용 측향식 진공증발원 및 이를 이용하는 기상증착 장치를 제공한다. 측향식 진공증발원은 내부 공간을 가지고 일측에 개구부를 구비하는 도가니와, 도가니에 인접하게 배치되는 가열수단, 및 개구부에서 연장되는 방출부를 포함한다. 여기서, 방출부의 말단면은 경사면 상에 위치하며, 경사면 상의 제1 직선 성분은 개구부가 위치한 도가니의 제1 면 상의 제2 직선 성분과 예각을 형성한다.

Description

진공박막제조용 측향식 진공증발원 및 이를 이용하는 기상증착장치{VERTICAL TYPE VACCUM EFFUSION CELL FOR MANUFACTURING THIN FILM AND VAPER DEPOSITION APPARATUS USING THE SAME}

본 발명은 박막제조용 진공증발원(Vaccum effusion cell)에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 소스 물질의 1회 적재 용량을 극대화하고 효율성을 향상시킬 수 있는 진공박막제조용 측향식 진공증발원 및 이를 이용하는 기상증착장치에 관한 것이다.

진공증착 또는 진공증발은 고진공의 챔버 내에 배치된 기판상에 소정의 박막을 형성하기 위하여 도가니 내에 담긴 소스 물질을 히터로 가열하여 증발시키고, 증발된 소스 물질을 상대적으로 차가운 기판의 표면에 박막을 응축시키는 기술이다.

이러한 진공증착 또는 진공증발 기술은 반도체 제조 공정에서 웨이퍼 표면에 특정 물질로 이루어진 박막을 형성하거나, 대형 평판 디스플레이장치의 제조에 있어서, 유리 기판 등의 표면에 원하는 물질의 박막을 형성하는 데 사용되고 있다.

본 발명은 도가니 내에 많은 소스 물질을 담을 수 있고, 증발되는 소스 물질의 분출 방향을 원하는 방향으로 용이하게 조절할 수 있는 진공박막제조용 측향식 진공증발원을 제공하는데 그 목적이 있다.

또한, 본 발명은 소스 물질의 방출면을 경사지게 구성함으로써 수직식 증착 방식의 기상증착장치에 유용하게 이용될 수 있는 박막제조용 측향식 진공증발원을 제공하는데 그 목적이 있다.

또한, 본 발명은 전술한 측향식 진공증발원을 이용함으로써 효율을 높이고 비용을 절감할 수 있는 기상증착 장치를 제공하는데 또 다른 목적이 있다.

상기 기술적 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 일 측면에 따르면, 내부 공간을 가지고 일측에 개구부를 구비하는 도가니; 도가니에 인접하게 배치되는 가열수단; 및 개구부에서 연장되는 방출부를 포함하는 측향식 진공증발원이 제공된다. 여기서, 방출부의 말단면은 경사면 상에 위치하며, 경사면 상의 제1 직선 성분은 개구부가 위치한 도가니의 제1 면 상의 제2 직선 성분과 예각을 형성한다.

도가니는 원통형이며, 제1 면은 원통형의 서로 마주하는 평평한 두 면들 중 하나일 수 있다.

방출부는 제1 면 상에서 도가니의 외측으로 굴곡되어 연장하는 것이 바람직하다.

방출부의 말단면은 제1 면의 평행 이동시 제1 면과 30°내지 60°범위의 예각을 형성하도록 교차하는 것이 바람직하다.

일 실시예에서, 측향식 진공증발원은 방출부의 말단면에 결합하는 가이드를 더 포함하고, 가이드의 주면(main surface)은 방출부의 말단면에 평행하게 배치된다.

진공증발원은 도가니, 도가니를 지지하는 지지대, 가열 수단, 및 방출부를 모두 지지하는 하우징을 더 포함할 수 있다.

진공증발원은 가열 수단과 하우징 사이에 위치하는 열반사판, 및 하우징에 결합하는 냉각부 중 적어도 어느 하나를 더 포함할 수 있다.

진공증발원은 도가니 지지대에 결합하며 가열 수단에 에너지를 공급하는 전원공급부, 및 도가니 지지대에 결합하며 도가니의 온도를 측정하는 센서 중 적어도 하나를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 또 다른 측면에 의하면, 내부를 진공분위기로 유지하기 위한 챔버; 챔버 내에서 기판의 일면을 지지하는 기판지지 수단; 및 챔버의 측벽에 경사지게 고정되는 전술한 실시예들 중 어느 하나의 측향식 진공증발원을 포함하는 기상증착 장치가 제공된다. 여기서, 측향식 진공증발원의 증발부의 말단면은 측벽과 대략 평행하게 배치된다.

일 실시예에서, 기판 지지 수단은 기판을 챔버의 측면과 평행하게 지지하도록 배치된다.

본 발명에 의하면, 동일 용량의 진공증발원 장치에 있어서 종래에 비해 소스 물질의 1회 적재 용량을 증가시킬 수 있고, 그것에 의해 작업 효율이 향상되고 비용이 절감될 수 있다. 또한, 증발되는 소스 물질의 분출 방향에 대한 자유도를 높임으로써 작업 편의성과 효율을 향상시킬 수 있다.

또한, 진공증발원 장치의 소스 물질의 방출면을 도가니의 수직 중심선에 대하여 경사지게 구성함으로써 도가니형 진공증발원 장치를 측향식 증착 방식의 기상증착 장치에 매우 효과적으로 이용할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 측향식 진공증발원 장치의 횡단면도이다.
도 2는 도 1의 측향식 진공증발원 장치의 도가니와 방출부에 대한 사시도이다.
도 3은 도 2의 방출부의 확대 단면도이다.
도 4는 도 1의 측향식 진공증발원 장치에 채용가능한 방출부의 또 다른 실시예의 확대 단면도이다.
도 5는 도 1의 측향식 진공증발원의 가이드를 설명하기 위한 부분 확대 단면도이다.
도 6은 도 1의 측향식 진공증발원 장치를 이용하는 기상증착 장치의 개략적인 단면도이다.
도 7은 도 1의 측향식 진공증발원 장치를 이용하는 기상증착 장치의 또 다른 실시예를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.

이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명에 의한 실시예들을 상세하게 설명하기로 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 측향식 진공증발원 장치의 횡단면도이다.

도 1을 참조하면, 본 실시예에 따른 측향식 진공증발원 장치(100)는 도가니(110), 가열수단(120), 및 방출부(130)를 포함한다. 또한, 측향식 진공증발원 장치(100)는 가이드(140), 도가니 지지대(150), 셀 지지판(160), 하우징(170), 열반사판(180), 냉각부(190), 전원공급부(200), 센서(210), 또는 이들의 조합을 포함할 수 있다.

측향식 진공증발원 장치(100)는 도가니(110) 내부에 저장된 소스 물질(10)을 가열수단(120)을 통해 가열하고, 가열된 소스 물질(10)을 도가니(110)의 일측 개구부(112)에 결합된 방출부(130)를 통해 방출한다. 여기서, 방출부(130)의 말단면은 소정의 경사면 상에 위치하며 그것에 의해 도가니(110)에서 나오는 소스 물질을 도가니 상부와 측면 사이의 방향으로 방출한다. 경사면은 경사면 상의 소정의 제1 직선 성분이 개구부(112)가 위치한 도가니(110)의 제1 면 상의 제2 직선 성분과 예각을 형성하도록 연장하는 평면을 지칭한다. 제1 직선 성분은 경사면과 평행하고, 제2 직선 성분은 제1 면과 평행하다.

이러한 구성에 의하면, 본 실시예에 따른 측향식 진공증발원 장치는 진공 챔버의 측벽에 진공증발원 장치를 장착하고 챔버 내에 기판을 세워서 지지하는 수직식 증착 방식에 매우 유용하게 사용될 수 있다.

본 실시예의 진공증발원 장치(100)의 각 구성요소를 좀더 구체적으로 살펴보면, 도가니(crucible; 110)는 소정 체적의 내부 공간을 가지고 그 일측에 개구부(112)를 구비한다. 개구부(112)는 내부 공간의 소스 물질(10)이 증발되어 나가는 구멍으로서, y방향에 위치하는 도가니(110)의 제1 면을 일부 절개한 절개부에 대응할 수 있다.

본 실시예에서 도가니(110)는 도가니의 외측에서 방출부(130)가 개구부(112)에 결합하도록 구성되므로 도가니(110)의 내부 공간의 체적과 실질적으로 동일하게 소스 물질(10)을 저장할 수 있다. 도가니(110)로는 석영 도가니, 흑연 도가니 등이 이용될 수 있다.

가열수단(120)은 도가니(110)에 인접하게 배치되어 도가니(110)를 가열한다. 가열수단(120)은 도가니(110)에 수납된 소스 물질(10)을 가열하여 증발시킨다. 가열수단(120)은 도가니(110)의 외표면 상에 맞닿아 또는 소정 간격을 두고 적절히 분포되어 배치될 수 있다. 가열수단(120)으로는 저항가열식 히터 등이 이용될 수 있다.

방출부(130)는 도가니의 개구부(112)에 연결되어 도가니(110)에서 방출되는 소스 물질을 소정 방향으로 유도한다. 방출부(130)는 내부 유로를 구비한 유도관 형태를 가지며, 개구부(112)에 결합하는 일단면, 및 이 일단면과 대향하는 말단면을 구비한다.

본 실시예에서 방출부(130)는 도가니(110)의 개구부(112)와 연결되는 유로를 임의의 방향으로 구부려 임의의 방향을 향할 수 있도록 한 것으로서, 임의의 방향에 있는 기판에 소스 물질을 코팅할 수 있도록 작동한다.

일 실시예에서, 방출부(130)는 일단면과 말단면 사이에 굴곡부를 구비한다. 즉, 방출부(130)는 구부려진 유도관 형태를 구비한다. 이러한 방출부(130)의 구성은 도가니(110)에서 방출되는 소스 물질이 방출부(130)의 유로 내에서 방출부 내벽과 반복적으로 충돌하게 한다. 방출부(130) 내에서 소스 물질은 작고 균일한 크기의 입자들로 쪼개지게 되고, 이에 의하여 진공증발원 장치(100)에서는 작고 균일 크기의 입자들로 이루어진 소스 물질을 방출할 수 있게 된다.

또한, 방출부(130)의 말단면은 도가니의 개구부(112)가 위치한 제1 면을 기준으로 제1 면과 예각을 형성하는 경사면 상에 위치하도록 배치된다. 즉, 말단면과 경사면은 평행하다.

전술한 방출부(130)는 도가니와 동일한 재료로 형성될 수 있다. 하지만, 본 발명의 방출부(130)는 그러한 구성으로 한정되지 않고, 예컨대 내열성 및 내화학성의 복합 재료로 유연한 유도관 형태로 형성될 수 있다.

전술한 방출부(130)의 구성을 이용하면, 하향식 증착 방식뿐만 아니라 수직식 증착 방식에서 진공증발원 장치(100)를 진공 챔버의 측벽에 설치하여 편리하게 사용할 수 있는 이점이 있다.

기상증착 장치에 있어서, 진공 챔버의 측벽에 진공증발원 장치(100)를 설치하면, 연속적인 증착 공정에서 소스 물질을 반복적으로 충전하기 쉽고 진공 챔버의 하부에 진공증발원 장치를 배치해야 하는 어려움을 제거할 수 있다.

가이드(140)는 방출부(130)에서 나오는 소스 물질의 증기를 진공증발원 장치의 내부 방향으로 들어가지 않고 기판 방향으로 향하도록 안내하며, 방출부(130)의 말단부가 오염되는 것을 방지한다. 가이드(140)는 방출부(130)의 말단부에 착탈식으로 배치되며, 가이드(140)가 오염된 경우 방출부(130)에서 분리하여 청소하거나 교체하기 쉽도록 구성된다.

가이드(140)와 열반사판(180) 사이에는 차단판 또는 덮개(142)가 설치될 수 있다. 덮개(142)는 가이드(140)와 열반사판(180) 또는 하우징(170) 사이의 틈을 막아 가열수단(12)과 도가니(110)의 열 에너지가 방출부(130) 주변을 통해 외부로 방출되는 것을 차단한다. 덮개(142)는 가이드(140)와 일체로 형성되거나 별도의 부품으로 형성될 수 있다.

도가니 지지대(150)는 도가니(110)의 외측 하부를 지지한다. 도가니 지지대(150)는 열전도율이 우수한 재료 및/또는 방열성이 우수한 재료로 형성될 수 있다. 도가니 지지대(150)는 셀 지지판(160)에 결합되어 지지된다.

셀 지지판(160)은 진공증발원 장치(100) 전체를 지지한다. 셀 지지판(160)은 전원이나 유체소통을 위한 홀을 구비할 수 있다. 또한, 셀 지지판(160)은 진공 챔버의 일측에 고정 결합될 수 있다.

하우징(170)은 도가니(110), 가열수단(120), 방출부(130), 도가니 지지대(150)를 포위하도록 배치된다. 하우징(170)은 도가니(110), 가열수단(120), 방출부(130) 등의 진공증발원 장치(100)의 내부 구성을 보호한다.

열반사판(180)은 하우징(170)과 가열수단(120) 사이에 배치된다. 열반사판(180)은 가열수단(120)에서 발생하여 도가니 외부로 향하는 열 에너지를 도가니(110) 쪽으로 반사시켜 가열수단(120)의 열 효율을 향상시킨다. 일 실시예에서, 가열수단(120)은 열반사판(180)의 일면에 소정 간격을 두고 고정 배치될 수 있다. 여기서, 열반사판(180)의 일측은 도가니 지지대(150)와 함께 셀 지지판(160)에 고정 결합될 수 있다.

냉각부(190)는 하우징(170)에 인접하게 배치되어 도가니(110) 또는 가열수단(120)에서 나오는 열복사 에너지를 흡수한다. 냉각부(190)는 진공증발원 장치(100)와 외부 사이를 단열시킨다. 냉각부(190)는 하우징(170)의 적어도 일측 벽 또는 일부분에 결합 배치될 수 있다.

전원공급부(200)는 가열수단(120)에 연결되어 가열수단(120)에 전류를 공급한다. 전원공급부(200)는 셀 지지판(160)에 결합된 한 쌍의 전극 단자들과 이 전극 단자들에 연결되는 내부 또는 상용 전원을 포함할 수 있다.

센서(210)는 도가니(110)의 내부 또는 외부 온도를 측정한다. 센서(210)는 도가니(110)의 온도를 모니터링 하도록 구현될 수 있다. 센서(210)로는 열전대(thermocouple) 등이 이용될 수 있다.

도 2는 도 1의 측향식 진공증발원 장치의 도가니와 방출부에 대한 사시도이다.

도 2를 참조하면, 본 실시예의 도가니(110)는 전체적으로 원통형 구조를 가진다. 즉, 도가니(110)는 원형의 폐곡면을 형성하는 측면과, 이 측면의 양측에 위치하는 제1 면(114), 및 제2 면을 구비한다.

본 실시예에서 도가니의 제1 면(114)은 x-y 평면 상에 위치하는 것으로 가정한다. 도가니의 제1 면(114)에는 개구부가 위치하며, 개구부에는 방출부(130)의 일단부가 결합된다.

방출부(130)는 내부 유로(133)를 가진 원통형의 유도관 구조를 구비하고, 도가니의 개구부에 결합된 일단부로부터 도가니(110)의 외부로 구부려져 연장하는 형태를 가지고, 일단부와 대향하는 말단부에 말단면(132)를 구비한다. 말단면(132)을 포함하는 평면(이하, 경사면이라 한다; Pa)은 제1 면(114)을 포함하는 평면(이하, 제1 평면이라 한다)과 만난다. 예컨대, 경사면(Pa) 상의 직선 또는 직선 성분(이하, 제2 직선 성분이라 한다; La)과 제1 평면상의 직선 성분(이하, 제1 직선 성분이라 한다; Lb)은 예각(θ)을 형성하며 서로 교차한다. 여기서, 제1 직선 성분(Lb)은 제1 면(114)에서 제1 면 외부로 나가는 방향으로 연장하는 직선이며, 제2 직선 성분(La)은 링 형상의 말단면(132)에서 말단면 외부로 나가는 방향으로 연장하는 직선을 지칭한다.

도 3은 도 2의 방출부의 확대 단면도이다.

도 3을 참조하면, 본 실시예의 방출부(130)의 말단면(132)은 y방향에 평행한 가상의 말단면(132p)에 대하여 약 30°로 경사진다.

또한, 방출부(130)의 일단부(134)에는 도가니의 개구부와의 결합을 위한 요철부(136)가 구비될 수 있다. 요철부(136)는 방출부(130)의 일단부 외측에 형성된 단차, 턱, 또는 절개부 형태를 구비할 수 있다.

도 4는 도 1의 측향식 진공증발원 장치에 채용가능한 방출부의 또 다른 실시예의 확대 단면도이다.

도 4를 참조하면, 본 실시예의 방출부(130a)는 거의 직각으로 구부려진 유도관 형태를 구비한다. 방출부(130a)의 말단면(132a)은 y방향에 평행한 가상의 말단면(132p)에 대하여 약 60°로 경사진다.

전술한 실시예들에 의하면, 방출부의 말단면은 예컨대 도가니의 수직 중심선에 대하여 소정 기울기를 갖는 경사면 상에 위치하는 것이 바람직하다. 전술한 실시예들에서는 약 30° 내지 약 60°범위에서 경사진 것을 예시하였지만, 이것은 바람직한 일 실시예이며, 본 발명이 그러한 구성으로 한정되는 것을 의미하지는 않는다. 본 발명의 기술적 사상을 고려한다면, 방출부의 말단면은 도가니를 기준으로 개구부가 위치하는 방향 즉 도가니의 수직 중심선이나 y방향으로 연장하는 직선 성분에 대하여 0°와 90° 사이에서 임의의 각도로 기울어지도록 구현될 수 있다.

도 5는 도 1의 측향식 진공증발원 장치의 가이드를 설명하기 위한 부분 확대 단면도이다.

도 5를 참조하면, 가이드(140)는 방출부(130)의 말단면(132)을 덮도록 배치된다. 가이드(140)는 평판 형태의 몸체를 구비하고, 방출부(130)의 유로와 대응하여 가이드의 몸체를 관통하는 홀(144)을 구비한다.

또한, 가이드(140)는 그 일면에 돌출되는 결합부(142)를 구비한다. 결합부(142)는 방출부(130)의 말단부를 외측에서 소정 두께로 둘러싸는 형태로 방출부(130)와 결합한다.

본 실시예에서, 가이드(140)의 주면(main surface)은 방출부(130)의 말단면(132)과 평행하게 배치된다. 가이드의 주면은 평평한 판 형상의 몸체의 가장 큰 면적을 가진 두 면들 중 어느 한쪽 면 또는 이 면에 실질적으로 평행한 면이 된다.

도 6은 도 1의 진공증발원 장치를 이용하는 기상증착장치의 개략적인 단면도이다.

도 6을 참조하면, 본 실시예에 따른 기상증착장치(300)는 챔버(310), 기판 지지 수단(320), 및 측향식 진공증발원 장치(100)를 포함한다. 측향식 진공증발원 장치(100)는 도 1 내지 도 5를 참조하여 앞서 설명한 실시예들 중 어느 하나의 측향식 진공증발원 장치이다.

본 실시예의 기상증착장치(300)는 내부를 진공분위기로 형성할 수 있는 진공 챔버(310) 내에서 챔버(310)에 고정된 기판 지지 수단(320)에 의해 기판(330)을 수직으로 세우고, 측향식 진공증발원 장치(100)에 의해 수직으로 세워진 기판상에 박막을 증착한다.

여기서, 진공증발원 장치(100)는 챔버(310)의 측벽(312)에 배치된 진공증발원 장착부(이하, 간단히 장착부라고 한다; 314)에 경사진 채로 삽입 설치된다. 그리고, 진공증발원 장치(100)의 셀 지지판은 장착부(314)에 고정 결합된다. 이러한 진공증발원 설치 구조는 도가니 내에 소스 물질을 가능한 많이 저장하고 연속 증착을 위한 소스 물질 또는 진공증발원 장치의 교체를 고려하여 최적화된 것이다.

본 실시예에서 진공증발원 장치(100)에서 소스 물질의 증기가 나오는 방출부의 말단면 또는 가이드의 주면은 기판(330)과 거의 평행하게 배치된다. 이러한 구성에 의하면, 상향식 증착 방식에서의 기판 처짐 현상을 방지하고 하향식 증착 방식에서보다 파티클 침투 현상을 크게 줄일 수 있는 수직식 증착 방식에서 기상증착 장치의 효율을 크게 높일 수 있다. 즉, 방출부의 말단면이 경사진 진공증발원 장치를 이용하면, 수직식 증착 방식의 기상증착장치에서 기판상에 박막을 매우 효율적으로 증착할 수 있다.

도 7은 도 1의 측향식 진공증발원 장치를 이용하는 기상증착장치의 또 다른 실시예를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.

도 7을 참조하면, 본 실시예에 따른 기상증착장치(300a)는 챔버(310a), 기판 지지 수단(320a), 및 측향식 진공증발원 장치(100)를 포함한다. 측향식 진공증발원 장치(100)는 도 1 내지 도 5를 참조하여 앞서 설명한 실시예들 중 어느 하나의 진공증발원 장치이다.

본 실시예의 기상증착장치(300a)는 내부를 진공분위기로 형성할 수 있는 진공 챔버(310a) 내에서 기판 지지 수단(320a)에 의해 챔버 하부측에 기판(330)을 고정하고, 하향식 증착 방식으로 기판(330)상에 박막을 증착한다.

본 실시예의 기상증착장치(300a)는 하향식 증착 방식으로 기판(330)이 기판 지지 수단(320a)에 의해 지지되며, 하향식 증착 방식을 위해 진공증발원 장치(100)가 장착부(314a)에 의해 측향식 증착 방식의 경우보다 좀더 경사지게 설치되는 것을 제외하고 실질적으로 도 6을 참조하여 앞서 설명한 기상증착장치(300)와 동일하다.

이와 같이, 진공증발원 장치(100)는 측향식 증착 방식에서뿐만 아니라 하향식 증착 방식에서도 유용하게 이용될 수 있다.

전술한 실시예를 통하여 살핀 바와 같이, 진공증발원 장치의 소스 물질의 방출 부분을 경사면 형태로 구성함으로써, 진공증발원 장치를 측향식 증착 방식의 기상증착장치에 매우 효과적으로 사용할 수 있다.

이상에서, 바람직한 실시예들을 참조하여 본 발명을 설명하였으나, 본 발명은 상기의 실시예들에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서 본 발명은 첨부한 특허청구범위 및 도면 등의 전체적인 기재를 참조하여 해석되어야 할 것이며, 이의 균등 또는 등가적 변형 모두는 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.

100: 진공증발원 장치
120: 가열수단
130: 방출부
140: 가이드
150: 도가니 지지대
160: 셀 지지판
170: 하우징
180: 열반사판
190: 냉각부

Claims (10)

1. 내부 공간을 가지고 일측에 개구부를 구비하는 도가니;
   상기 도가니에 인접하게 배치되는 가열수단; 및
   상기 개구부에서 연장되는 방출부
   를 포함하고,
   상기 방출부의 말단면은 경사면 상에 위치하며,
   상기 경사면상의 제1 직선 성분은 상기 개구부가 위치한 상기 도가니의 제1 면 상의 제2 직선 성분과 30°내지 60°범위의 예각을 형성하고,
   상기 도가니는 원통형이며, 상기 제1 면은 상기 원통형의 서로 마주하는 평평한 두 면들 중 하나이고,
   상기 방출부는 상기 제1 면 상에서 상기 도가니의 외측으로 임의의 방향으로 구부리는 것이 가능한 유로에 의해 굴곡되어 연장하고,
   상기 방출부의 말단면에 결합하는 가이드를 더 포함하고,
   상기 가이드는, 평판형태의 몸체와 상기 방출부의 유로와 대응하여 상기 가이드의 몸체를 관통하는 홀과 상기 방출부의 말단부를 외측에서 소정 두께로 둘러싸는 형태로 상기 방출부와 결합하기 위한 결합부를 포함하고,
   상기 가이드의 주면(main surface)은 상기 방출부의 말단면에 평행하게 배치되는 것을 특징으로 하는 측향식 진공증발원.
   
2. 삭제
3. 삭제
4. 삭제
5. 삭제
6. 제1항에 있어서,
   상기 도가니, 상기 도가니를 지지하는 지지대, 상기 가열 수단, 및 상기 방출부를 지지하는 하우징을 더 포함하는 측향식 진공증발원.
   
7. 제6항에 있어서,
   상기 가열 수단과 상기 하우징 사이에 위치하는 열반사판, 및 상기 하우징에 결합하는 냉각부 중 적어도 어느 하나를 더 포함하는 측향식 진공증발원.
   
8. 제6항에 있어서,
   상기 도가니 지지대에 결합하며 상기 가열 수단에 에너지를 공급하는 전원공급부, 및 상기 도가니 지지대에 결합하며 상기 도가니의 온도를 측정하는 센서를 더 포함하는 측향식 진공증발원.
   
9. 내부를 진공분위기로 유지하기 위한 챔버;
   상기 챔버 내에서 기판의 일면을 지지하는 기판지지 수단; 및
   상기 챔버의 측벽에 경사지게 고정되는 제1항, 제6항 내지 제8항 중 어느 한 항의 측향식 진공증발원을 포함하는 기상증착 장치.
   
10. 제9항에 있어서,
    상기 기판지지 수단은 상기 기판을 상기 챔버의 측면과 평행하게 지지하도록 배치되는 기상증착 장치.

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