KR101216315B1 - excimer lamp - Google Patents
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Abstract
엑시머 램프에 전력을 공급하는 급전선과 전극을 접합하는 접속부 등의 산화 등에 의한 열화를 억제해, 신뢰성이 높고, 장수명의 엑시머 램프를 제공한다.A deterioration due to oxidation, such as a feed line for supplying power to an excimer lamp and a connection portion for joining electrodes, is suppressed, thereby providing a highly reliable and long-life excimer lamp.
이 발명은, 한쪽의 전극이 방전 용기의 외부에 배치되고, 상기 방전 용기의 내부에는 방전용 가스가 봉입되고, 상기 한쪽의 전극과 쌍을 이루는 다른쪽 전극과의 사이에는 유전체가 배치되어 있고, 상기 한쪽 전극 및 상기 다른쪽 전극에는 전극간에 전력을 공급하는 리드선이 접속되어 있고, 상기 방전용 가스에 상기 리드선, 상기 전극, 상기 유전체를 통해 전력을 공급하는 엑시머 램프에서, 상기 방전 용기의 한쪽의 단부에 연접하는 적어도 5개의 면으로 구획된 공간이 설치되고, 상기 공간은 상기 방전 용기와 격리벽에 의해 격리되고, 상기 공간의 외면에 상기 전극과 전기적으로 접속된 접속부가 형성되고, 상기 접속부 상에 상기 리드선이 땜납을 통해 접속되어 있는 것을 특징으로 한다.In the present invention, one electrode is disposed outside the discharge vessel, a discharge gas is sealed inside the discharge vessel, and a dielectric is disposed between the other electrode paired with the one electrode, A lead wire for supplying power between electrodes is connected to the one electrode and the other electrode, and in an excimer lamp for supplying electric power to the discharge gas through the lead wire, the electrode, and the dielectric, one side of the discharge vessel A space partitioned by at least five faces in contact with an end portion is provided, the space is isolated by the discharge vessel and the isolation wall, and a connection portion electrically connected to the electrode is formed on an outer surface of the space, The lead wires are connected to each other via solder.
Description
이 발명은, 액정 기반의 광세정 장치나 반도체의 자외선 처리 장치, 또한, 광조사에 의한 수지의 표면 개질 장치 등에 이용되는 엑시머 램프에 관한 것이다. 특히, 상기 엑시머 램프에 전력을 공급하는 급전선을 접속하는 부분의 램프 구조에 특징을 가지는 엑시머 램프에 관한 것이다.This invention relates to an excimer lamp used for a liquid crystal-based light cleaning device, a semiconductor ultraviolet processing device, a resin surface modification device by light irradiation, and the like. In particular, the present invention relates to an excimer lamp having a feature in a lamp structure of a portion connecting a feeder line for supplying power to the excimer lamp.
종래부터, 액정 기판의 광세정 장치나, 반도체의 자외선 처리 장치 등에 이용되는 자외선 광원으로서 엑시머 램프가 알려져 있다. 특히, 상기 엑시머 램프로부터 방사되는 광이 진공 자외 영역인 크세논 엑시머 램프 등을 배치한 장치에서는, 상기 엑시머 램프를 배치한 램프 하우스를 구성하는 하우징 내부를 질소 가스로 치환하고, 상기 하우징의 광조사면측에는 광투과성의 유리창을 배치하고, 피처리물측의 분위기와 램프 하우스측의 분위기를 격리되어 있었다. 이러한 구성으로 함으로써 상기 엑시머 램프로부터 방사된 진공 자외광이, 상기 램프 하우스에 배치된 유리창으로부터 방사될 때까지 산소에 의해 흡수되지 않고, 상기 엑시머 램프로부터 방사되는 진공 자외광을 효율적으로 조사하는 것이 가능하게 되었다. 이러한 기술로서는, 예를 들면, 일본국 특허 2854255호 공보 등이 알려져 있다.Background Art Conventionally, excimer lamps are known as ultraviolet light sources used for light cleaning devices for liquid crystal substrates, ultraviolet light processing devices for semiconductors, and the like. In particular, in a device in which light emitted from the excimer lamp is arranged with a xenon excimer lamp or the like, which is a vacuum ultraviolet region, the inside of the housing constituting the lamp house in which the excimer lamp is disposed is replaced with nitrogen gas, and the light irradiation surface side of the housing The transparent glass window was arrange | positioned, and the atmosphere of the to-be-processed object side and the atmosphere of the lamp house side were isolate | separated. With such a configuration, it is possible to efficiently irradiate the vacuum ultraviolet light emitted from the excimer lamp without being absorbed by oxygen until the vacuum ultraviolet light emitted from the excimer lamp is emitted from the glass window disposed in the lamp house. Was done. As such a technique, Japanese Patent Laid-Open No. 2854255 is known, for example.
한편, 최근에는, 광취출창(光取出窓)을 설치하지 않는 엑시머 램프 장치가 개발되고 있다. 이러한 기술로서는, 예를 들면, 일본국 특허 공개 2005-193088호 공보가 알려져 있다. 동 공보에 의하면, 각형의 엑시머 램프를 복수개 나열하여 피조사물에 직접 상기 엑시머광을 조사하는 것이 기재되어 있다. 또, 상기 장치에서는, 램프 하우스에 배치되어 피조사물과 램프 하우스측을 격리하던 유리창은 설치되지 않았다.On the other hand, in recent years, the excimer lamp apparatus which does not provide a light extraction window is developed. As such a technique, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 2005-193088 is known. According to the publication, a plurality of rectangular excimer lamps are arranged so as to irradiate the excimer light directly onto the irradiated object. Moreover, in the said apparatus, the glass window arrange | positioned at the lamp house and isolate | separated the irradiated object from the lamp house side was not installed.
또, 상기 공보에 기재된 장치에 탑재되어 있는, 각형의 엑시머 램프에 관해서는, 예를 들면, 일본국 특허 공개 2005-322510호 공보가 알려져 있다.Moreover, about the square excimer lamp mounted in the apparatus of the said publication, Unexamined-Japanese-Patent No. 2005-322510 is known, for example.
여기에서, 종래의 엑시머 램프로서 상기 일본국 특허 공개 2005-322510호 공보에 기재되어 있는 각형의 엑시머 램프의 개요를 나타낸다. 도 5는 종래의 엑시머 램프(100)의 개략의 구조를 나타내는 도이다. 도 5-a)는, 상기 엑시머 램프(100)의 램프 관축을 따른 면에서 절단된 대략 단면도이다. 상기 엑시머 램프(100)는, 석영 유리 등으로 이루어지는 방전 용기(111)와, 상기 방전 용기(111)의 대향하는 한 쌍의 벽면 상에 형성된 전극(112, 113)과, 상기 엑시머 램프(100)의 단부에 배치된 석영 블록(119)과, 상기 석영 블록(119)에 형성된 가스 도입 구멍(121)과, 상기 가스 도입 구멍(121)의 선단부를 봉지하는 유리 봉지부(122)로 구성되어 있다. 또, 상기 전극(112, 113)의 단부(114)에는 접속부(115)가 설치되고, 상기 접속부(115)에 리드선(116)이 더 접속되어 있다. 또, 상기 방전 용기(111)로 덮인 방전 공간(S1)에는, 예를 들면, 크세논 가스가 봉입되어 있고, 상기 전극(112, 113)을 통해 고주파 고전압이 인가된다. 이에 의해, 봉입된 크세논 가스는 엑시머 분자를 형 성하여, 상기 엑시머 분자의 해리에 의해, 엑시머광이 발생한다. 상기 엑시머광은, 상기 방전 용기(111)의 창부(118)로부터 상기 엑시머 램프(100) 외부로 방사된다.Here, the outline | summary of the square excimer lamp described in the said Unexamined-Japanese-Patent No. 2005-322510 as a conventional excimer lamp is shown. 5 is a diagram illustrating a schematic structure of a
도 5-b)는, 도 5-a)에서의 화살표A로 절단된 경우의 A-A단면도이고, 램프 관축과 직교하는 면을 나타낸 단면도이다. 상기 방전 용기(111)의 단면 형상은, 개략 장방형이고, 단변측이 방전 갭을 형성하고, 장변측의 외면에 전극(113)과 전극(112)이 형성되어 있다. 상기 전극(112)은, 예를 들면 망 형상 전극 등으로 이루어지는 광투과성 전극이 되어 있다.Fig. 5-B) is a cross-sectional view along the line A-A when cut by arrow A in Fig. 5-A), and is a cross-sectional view showing a plane perpendicular to the lamp tube axis. The cross-sectional shape of the said
[특허 문헌 1: 일본국 특허 2854255호][Patent Document 1: Japanese Patent 2854255]
[특허 문헌 2: 일본국 특허 공개 2005-193088호][Patent Document 2: Japanese Patent Laid-Open No. 2005-193088]
[특허 문헌 3: 일본국 특허 공개 2005-322510호][Patent Document 3: Japanese Patent Laid-Open No. 2005-322510]
그런데, 도 5에 나타낸 각형의 엑시머 램프(100)를 배치한 상기 특허 문헌 2에 기재된 장치와 같이, 피조사물과 램프 하우스측을 격리하는 유리창이 설치되지 않을 경우, 예를 들면 크세논 가스를 봉입한 상기 엑시머 램프(100)를 이용하면, 상기 엑시머 램프(100)로부터 방사되는 진공 자외선에 의해 생성된 오존이 상기 엑시머 램프(100) 주변에 감돌게 된다. 이 오존은, 매우 산화성이 강하고, 상기 엑시머 램프(100)의 외표면에 형성된 전극(112, 113)이나 접속부(115) 등에 영향을 준다. 예를 들면, 도 5에 나타낸 각형의 엑시머 램프(100)에서는, 상기 엑시머 램프(100)에의 급전선(116)을 접속부(115)에 의해 상기 엑시머 램프(100)의 외표면에 고정되어 있지만, 이러한 엑시머 램프에서는, 상기 급전선(116)의 접속부(115)가 오존의 영향을 받는다. 또한, 상기 엑시머 램프(100)로부터 방사되는 광이나, 방전에 의한 열의 영향에 의해, 더 강하게 산화가 일어나, 경우에 따라서는, 상기 리드선(116)이 탈락되고, 램프 불점등을 일으키는 문제가 발생한다.By the way, like the apparatus of the said patent document 2 which arrange | positioned the
이러한 문제를 감안하여, 이 발명이 해결하자고 하는 과제는, 엑시머 램프에 전력을 공급하는 급전선과, 상기 엑시머 램프에 배치된 전극을, 접합하는 접속부나 상기 접속부에 배치된 땜납이, 산화 등에 의해 열화되는 것을 억제하여, 신뢰성이 높고, 장수명의 엑시머 램프를 제공하는 것에 있다.In view of such a problem, the problem to be solved by the present invention is that the connection portion for joining the feeder line for supplying power to the excimer lamp and the electrode disposed in the excimer lamp and the solder disposed in the connection portion deteriorate due to oxidation or the like. It is suppressed, and it is providing the high reliability and long life excimer lamp.
이 발명은, 한쪽의 전극이 방전 용기의 외부에 배치되고, 상기 방전 용기의 내부에는 방전용 가스가 봉입되고, 상기 한쪽의 전극과 쌍을 이루는 다른쪽의 전극과의 사이에는 유전체가 배치되어 있고, 상기 한쪽의 전극 및 상기 다른쪽의 전극에는 전극간에 전력을 공급하는 리드선이 접속되어 있고, 상기 방전용 가스에 상기 리드선, 상기 전극, 상기 유전체를 통해 전력을 공급하는 엑시머 램프에서, 상기 방전 용기의 한쪽의 단부에 연접하는 적어도 5개의 면으로 구획된 공간이 설치되고, 상기 적어도 5개의 면으로 구획된 공간은, 상기 방전 용기와 격리벽에 의해 격리되고, 상기 적어도 5개의 면으로 구획된 공간의 외면에 상기 전극과 전기적으로 접속된 접속부가 형성되고, 상기 접속부 상에 상기 리드선이 땜납을 통해 접속되어 있는 것을 특징으로 한다.According to the present invention, one electrode is disposed outside the discharge vessel, a discharge gas is sealed inside the discharge vessel, and a dielectric is disposed between the other electrode paired with the one electrode. And a lead wire for supplying power between the electrodes to the one electrode and the other electrode, wherein the discharge vessel is provided in an excimer lamp for supplying power to the discharge gas through the lead wire, the electrode, and the dielectric. A space partitioned by at least five faces in contact with one end of the space is provided, and the space partitioned by the at least five faces is separated by the discharge vessel and the separating wall, and is divided into the at least five faces. A connection portion electrically connected to the electrode is formed on an outer surface of the electrode, and the lead wire is connected to the connection portion through solder. The.
또한, 램프 관축 방향의 한쪽 면이 개방되어 있는 것을 특징으로 한다. 또는, 상기 적어도 5개의 면으로 구획된 공간은, 상기 공간의 내부에, 상기 방전용 가스와는 다른 가스로서, 방전을 억제하는 가스가 봉입되어 있다. 또는, 상기 적어도 5개의 면으로 구획된 공간 내부에서의 방전을 억제할 정도의 진공 상태이다.Moreover, one surface of the lamp tube axis direction is open, It is characterized by the above-mentioned. Or in the space partitioned by the said at least 5 surface, the gas which suppresses discharge is enclosed inside the said space as a gas different from the said gas for discharge. Or it is a vacuum state enough to suppress discharge in the space partitioned by the said at least 5 surface.
본 발명의 청구항 1의 기재에 의하면, 상기 방전 용기에 연접하는 적어도 5개의 면으로 구획된 공간이 설치되고, 상기 공간은 상기 방전 용기와 격리벽에 의해 격리되고, 상기 공간의 외면에 접속부가 형성되고, 상기 리드선과 땜납을 통해 접속되어 있으므로, 상기 땜납부의 온도가 방전에 의해 발생되는 열이 직접적으로 전해지지 않고, 상기 엑시머 램프로부터 방사된 진공 자외선에 의해 생성된 오존 등과 반응해, 상기 리드선과의 접촉 불량, 또한, 리드선의 탈락 등에 의해 램프 불 점등을 일으키는 장해를 일으키지 않는다.According to the first aspect of the present invention, a space partitioned by at least five surfaces in contact with the discharge vessel is provided, the space is isolated by the discharge vessel and the isolation wall, and a connection portion is formed on an outer surface of the space. And the lead wire is connected to each other via solder, so that the temperature of the solder portion is not directly transmitted by heat generated by discharge, but reacts with ozone generated by vacuum ultraviolet rays emitted from the excimer lamp, and the lead wire It does not cause a failure that causes a lamp to be turned on due to poor contact with the wire and dropping of the lead wire.
또한, 본 발명의 청구항 2의 기재에 의하면, 상기 적어도 5개의 면으로 구획된 공간의 램프 관축방향의 한쪽 면이 개방되어 있으므로, 상기 공간에서 방전이 발생하지 않고, 장수명이고 신뢰성이 높은 램프를 실현할 수 있다.Further, according to the second aspect of the present invention, since one side of the lamp tube axis direction of the space divided into the at least five surfaces is open, discharge is not generated in the space, and a long life and high reliability lamp can be realized. Can be.
또, 본 발명의 청구항 3의 기재에 의하면, 상기 적어도 5개의 면으로 구획된 공간의 내부에 방전을 억제하는 가스가 봉입되어 있으므로, 상기 공간에 전극 등이 배치되어도, 상기 공간에서 방전이 발생하지 않고, 상기 적어도 5개의 면으로 구획된 공간의 외면에 형성된 접속부 상의 땜납이 고온이 되지 않고, 상기 리드선 사이에 접촉 불량 등의 장해가 발생하지 않는다.According to the third aspect of the present invention, since a gas for suppressing discharge is enclosed in the space partitioned by the at least five planes, even if an electrode or the like is disposed in the space, discharge does not occur in the space. Therefore, the solder on the connection portion formed on the outer surface of the space divided into the at least five surfaces does not become high temperature, and no disturbance such as poor contact occurs between the lead wires.
또, 본 발명 청구항 4의 기재에 의하면, 상기 적어도 5개의 면으로 구획된 공간의 내부에서 방전을 억제할 정도의 진공 상태이므로, 청구항 2의 경우와 같이, 상기 공간의 외면에 형성된 접속부 상의 땜납이 고온이 되지 않고, 상기 리드선 사이에 접촉 불량 등의 장해가 발생하지 않는다.Further, according to the fourth aspect of the present invention, since the vacuum state is such that the discharge is suppressed inside the space partitioned by the at least five surfaces, the solder on the connection portion formed on the outer surface of the space, as in the case of claim 2, It does not become a high temperature, and trouble such as a poor contact does not occur between the lead wires.
본 발명의 엑시머 램프는, 방전 용기의 한쪽의 단부에, 방전 공간으로부터 격리된 적어도 5개의 면으로 구획된 공간을 설치해 상기 공간의 외표면에는, 상기 엑시머 램프의 전극의 단부가 배치되고, 상기 엑시머 램프에 전력을 공급하는 급전선과 상기 전극을 접속하는 접속부가, 형성되어 있다. 이 구성에 의해, 방전에 수반하는 자외선의 조사나, 방전 용기의 온도에 의해 땜납의 반응성이 활성화되고 이에 수반해, 주변에 존재하는 오존에 의한 침식에 의해, 상기 접속부가 열화되고, 램프 불점등을 일으키는 장해를 억제할 수 있다.In the excimer lamp of the present invention, at one end of the discharge vessel, a space partitioned by at least five surfaces isolated from the discharge space is provided, and an end of the electrode of the excimer lamp is disposed on an outer surface of the space, and the excimer The connection part which connects the feeder line which supplies electric power to a lamp, and the said electrode is formed. With this configuration, the reactivity of the solder is activated by the irradiation of ultraviolet rays accompanying the discharge or the temperature of the discharge vessel, and the connection is deteriorated by the erosion by ozone present in the surroundings, and thus the lamp is unlit. It can suppress the trouble that causes it.
<실시예 1>≪ Example 1 >
본 발명의 엑시머 램프에서의 제1 실시예를 도 1에 나타낸다. 도 1-a)는, 본 발명의 엑시머 램프(1)의 램프 관축 방향으로 절단된 개략 단면도이다. 상기 엑시머 램프(1)는, 석영 유리제의 방전 용기(11)와, 상기 방전 용기(11)의 외표면에 서로 대향하는 위치에서 형성된 전극(12, 13)과, 상기 방전 용기(11)의 내부에 형성되고, 크세논 등의 방전용 가스가 봉입된 방전 공간(S)으로 구성되어 있다. 또, 동도에서는 도시하지 않지만, 상기 방전 공간(S) 내에는, 광을 방사하는 창(18)을 제외하여, 자외선 반사막이 설치되어 있다. 상기 전극(12)은, 예를 들면 격자 형상의 인쇄 전극 등으로 이루어지는 광투과성 전극으로 구성되고, 상기 전극(12)이 배치된 상기 방전 용기(11)의 면은, 상기 방전 용기(11) 내에서 발생된 엑시머광을 방사한 창(18)을 겸한다.A first embodiment of the excimer lamp of the present invention is shown in FIG. 1-a) is a schematic sectional view cut | disconnected in the lamp tube axis direction of the
또, 상기 엑시머 램프(1)의 한쪽의 단에는, 상기 엑시머 램프(1)에 배치된 상기 전극(12, 13) 사이에 전력을 공급하기 위해, 상기 전극(12, 13)에 접속된 접속부(14), 상기 접속부(14) 상에 배치된 땜납부(15), 상기 땜납부(15)에 접속된 급전선(16)이 설치되어 있다. 상기 급전선(16)은 구리(Cu)가 이용되고, 상기 급전선(16)의 선단부는 상기 엑시머 램프(1)의 사용시의 환경 등을 고려하여, Cu의 표면에 니켈(Ni) 도금을 실시한 것을 이용한다. 또한, 상기 방전 용기(11)의 한쪽 단에 설치된 칸막이판(19)에 의해 상기 방전 공간(S)과 칸막이된 적어도 5개의 면으로 구획된 공간(17)이 형성되고, 상기 공간(17)이 형성된 영역에 상기 땜납부(15) 가 설치되어 있다. 또, 상기 공간(17)은, 상기 공간(17)에서의 상기 엑시머 램프(1)의 단부에 상당하는 부분이 개방되어 있고, 상기 공간(17) 내는 상기 엑시머 램프(1)의 외부의 분위기(예를 들면 대기)와 같은 상태가 되어 있다.In addition, one end of the
도 1-b)에는, 도 1-a)에 나타낸 화살표A로 절단된 A-A단면을 나타낸다. 상기 방전 용기(11)는 단면이 장방형의 각형 용기이고, 방전 공간(S)에는, 크세논 등의 방전용 가스가, 예를 들면, 0.05㎫ 봉입되어 있다. 상기 방전 용기(11)의 단면에서, 장변측 면에는 전극(13)이 배치되어 있다. 또, 상기 전극(13)과 대향하는 면에는 전극(12)이 형성되어 있다. 상기 전극(12)은, 예를 들면, 금 페이스트 등으로 이루어지는 격자 형상의 인쇄 전극이고, 격자의 틈새로부터 광을 방사할 수 있는 광투과성 전극이다. 상기 전극(12)측이 상기 엑시머 램프로부터의 광을 방사하는 창(18)으로 이루어진다. 또, 상기 전극(13)은, 상기 방전 용기(11)의 장변측의 면에, 상기 전극(12)이 형성되어 있는 범위와 같은 범위에, 상기 전극(12)과 같은 격자 형상 전극이 설치되어 있다. 그러나, 상기 전극(13)측에는, 예를 들면, 상기 방전 용기(11)의 내면에, 실리카 입자 주체의 자외선 반사막 등(동 도는 도시하지 않음)이 형성되고, 상기 엑시머 램프로부터의 광이 상기 전극(12)측에 설치된 창(18)에서 반사된다. 또, 상기 전극(13)도 상기 전극(12)과 마찬가지로 금 페이스트 등으로 이루어지는 인쇄 전극으로 구성되어 있다. 또한, 상기 접속부(14)는, 예를 들면 금 등의 전사지를 이용한다. 또, 상기 땜납부(15)에는, 금이나 유리의 접착성을 고려해, 주석에 아연, 안티몬을 첨가한 땜납을 이용한다.In Fig. 1-b), a cross section A-A cut by arrow A shown in Fig. 1-a is shown. The said
도 2는, 본 발명의 효과를 나타내기 위한 도면이고, 상기 엑시머 램프(1)에 의 입력 전력에 대한 상기 땜납부(15)의 온도를 종래의 엑시머 램프와 비교한 그래프이다. 도 2의 세로축은, 땜납부의 온도, 가로축은, 엑시머 램프에의 입력 전력을 나타낸다. 또, 도 중의 실선은 본 발명의 엑시머 램프(1)에서의 상기 땜납부(15)의 온도를 나타내고, 파선은 비교용으로 측정한 종래의 엑시머 램프에서의 상기 땜납부의 온도를 나타낸다. 이러한 엑시머 램프는, 방전 공간 내에 크세논 가스를 0.05㎫ 봉입한 동일 종류의 엑시머 램프이고, 점등 주파수를 50kHz로 하고, 점등 후에 상기 땜납부(15)의 온도가 안정될 때까지 충분한 시간으로서 점등 후 20분간 방치하고, 그 때의 온도를 측정했다. 상기 땜납부(15)의 온도 측정에는, 열전대를 상기 땜납부(15)에 접촉시켜 측정했다. 또, 상기 측정에는, 본 발명과 종래의 상기 엑시머 램프를 각 5개 제작하여, 상기 엑시머 램프에의 입력 전력을 순차적으로 바꾸어 측정해, 각각의 엑시머 램프의 5개의 평균값을 측정값으로 했다.Fig. 2 is a diagram showing the effect of the present invention, and is a graph comparing the temperature of the
도 2에서는, 예를 들면, 입력 전력이 100W일 때, 본 발명의 엑시머 램프(1)에서는 상기 땜납부(15)의 온도가 70℃에 대해, 종래의 엑시머 램프에서는 205℃이고 높은 온도가 되어 있다. 마찬가지로 입력 전력 200W에서는, 본 발명의 엑시머 램프(1)가 90℃에 대해, 종래의 엑시머 램프는 270℃, 입력 전력이 300W에서는, 본 발명의 엑시머 램프(1)가 100℃에 대해, 종래의 엑시머 램프에서는, 300℃로 높아진다. 이와 같이, 본 발명의 엑시머 램프(1)에 의하면, 종래의 엑시머 램프의 경우에 비해, 상기 땜납부(15)의 온도는 3분의 1 정도로 낮아진다. 이와 같이, 상기 땜납부(15)의 온도가 낮아지므로 상기 엑시머 램프(1)의 설치 장소의 오존 등의 분위기나 직접 조사되는 자외선에 의해, 상기 땜납부(15)가 영향을 받아 열화되지 않다 는 특별한 효과를 얻는다.In Fig. 2, for example, when the input power is 100 W, the temperature of the
도 3은, 본 발명의 엑시머 램프(1)의 수명 시험의 결과를 나타낸 그래프이다. 도 3의 세로축은 엑시머 램프가 불점등 등의 장해를 일으키지 않고, 각 시간에 점등 유지를 할 수 있던 램프수를 백분율로 표시한 비율[잔존율(%)], 가로축은, 엑시머 램프의 점등 시간(h)을 나타낸다. 또, 도 3 중의 실선은 본 발명의 엑시머 램프(1), 파선은 종래의 엑시머 램프를 나타낸다. 이 수명 시험에서는 시험 샘플로서 본 발명의 엑시머 램프(1)를 10개, 종래의 엑시머 램프를 10개 준비하고, 각 엑시머 램프에의 입력 전력을 300W로서 점등 시험을 행했다.3 is a graph showing the results of the life test of the
도 3에 의하면 종래의 엑시머 램프는, 점등 2700시간에서 잔존율이 60% 이하가 된다. 한편, 본 발명의 엑시머 램프에서는, 4700시간에서 잔존율이 60% 이하가 되고, 종래품과 비교해 약 2000시간이나 장수명이 된다. 또, 3000시간을 초과할 때까지는, 잔존율은 100%이고, 상기 땜납부(15)의 장해로 점등 불가가 되는 엑시머 램프는 0개였다. 이와 같이, 본 발명의 구성에 의하면, 상기 땜납부(15)에 직접 자외광이 조사되지 않고, 오존 분위기에서도 침식되지 않기 때문에, 신뢰성이 높고, 장수명의 엑시머 램프를 제공할 수 있는 장점이 있다.According to Fig. 3, the conventional excimer lamp has a residual ratio of 60% or less at 2700 hours of lighting. On the other hand, in the excimer lamp of the present invention, the residual ratio becomes 4% or less at 60% or less, which is about 2000 hours or longer life compared with the conventional product. Moreover, the residual ratio was 100% until it exceeded 3000 hours, and 0 excimer lamps which became impossible to light up by the failure of the said
<실시예 2><Example 2>
도 4에는, 본 발명의 제2 실시예를 나타낸다. 도 4-a)는, 본 발명의 제2 실시예인 엑시머 램프(20)를 램프 관축 방향으로 절단한 개략 단면도이다. 상기 엑시머 램프(20)의 기본 구성은, 도 1에 나타낸 제1 실시예의 경우와 마찬가지고, 상기 제1 실시예의 경우와 같은 부재에 대해서는, 같은 번호의 부호가 부여되어 있다. 또, 도 1의 경우와 마찬가지로, 방전 공간(S) 내에는 도시하지 않는 자외선 반사막이 설치되어 있다. 상기 제2 실시예에서는, 방전 공간(S)에 연접하는 적어도 5개의 면으로 구획된 공간(21)이 외벽(22)에 의해, 외부와 격리되어 있다. 본 실시예에서는, 상기 공간(21)의 내부는, 진공 상태, 또는, 질소 등의 방전하기 어려운 가스로 채워진다. 이에 의해, 상기 공간(21)의 외표면에 전극이 배치되어도, 상기 공간(21) 내에서 방전이 발생하지 않는, 장점이 있다. 또, 도 4-b)에는, 제1 실시예일 경우와 같이, 도 4-a)에서의 화살표A로 절단한 A-A단면을 나타낸다. 본 실시예에서도, 상기 단면 형상은, 장방형의 각형이다. 그 외의 구성에 대해서도, 도 1-b)에 나타낸 경우와 마찬가지이므로, 여기에서는 상세한 설명은 생략한다.4 shows a second embodiment of the present invention. 4-A) is a schematic sectional drawing which cut | disconnected the
도 1은 이 발명의 제1 실시예를 나타내는 개략 단면도이다.1 is a schematic cross-sectional view showing a first embodiment of this invention.
도 2는 이 발명의 엑시머 램프에서의 입력 전력에 의한 땜납부의 온도를 나타내는 도이다.Fig. 2 is a diagram showing the temperature of the solder portion due to the input power in the excimer lamp of the present invention.
도 3은 이 발명의 엑시머 램프에서의 수명 시험 결과를 나타내는 도이다.3 is a diagram showing a life test result in the excimer lamp of the present invention.
도 4는 이 발명의 제2 실시예를 나타내는 개략 단면도이다.4 is a schematic cross-sectional view showing a second embodiment of this invention.
도 5는 종래의 엑시머 램프의 형상을 나타내는 개략 단면도이다.5 is a schematic cross-sectional view showing the shape of a conventional excimer lamp.
[도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명][Description of Symbols for Main Parts of Drawing]
1 엑시머 램프 11 방전 용기1
12 전극 13 전극12
14 접속부 15 땜납부14
16 급전선 17 공간16
18 창 19 칸막이판18
S 방전 공간 20 엑시머 램프S discharge
21 공간 100 엑시머 램프21
111 방전 용기 112 전극111
113 전극 114 단부113
115 접속부 116 리드선115
118 창부 119 석영 블록118
121 가스 도입 구멍 122 유리 봉지부121
S1 방전 공간S1 discharge space
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