JP2005322510A - Dielectric barrier discharge lamp - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent damage of a discharge tube end part due to strong ultraviolet rays. <P>SOLUTION: The dielectric barrier discharge lamp 1 has a gas for dielectric barrier discharge filled in a discharge space 5 formed by a discharge tube 3. The discharge tube 3 has a glass block 15 fusion jointed at both ends of the discharge tube body 13, and the thickness of the glass block in a cross direction is made at least two times or more of the thickness of the side wall 13D of the discharge tube body 13. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、誘電体バリア放電ランプに関する。   The present invention relates to a dielectric barrier discharge lamp.

誘電体バリア放電ランプは、誘電体バリア放電によってエキシマ分子を形成し、このエキシマ分子から紫外線を放射するものである（例えば特許文献１参照）。
特開平１−１４４５６０号公報 A dielectric barrier discharge lamp forms excimer molecules by dielectric barrier discharge and emits ultraviolet rays from the excimer molecules (see, for example, Patent Document 1).
Japanese Patent Laid-Open No. 1-144560

この誘電体バリア放電ランプには、例えば、長筒状の放電管本体の端部を、端板で封口したものがあるが、このランプでは、放電管の端板は、軸方向に照射される強い紫外線に常に晒されているから、損傷を受けやすい。   In this dielectric barrier discharge lamp, for example, there is one in which the end of a long cylindrical discharge tube main body is sealed with an end plate. In this lamp, the end plate of the discharge tube is irradiated in the axial direction. Because it is always exposed to strong ultraviolet rays, it is easily damaged.

すなわち、図５に示す誘電体バリア放電ランプ１００の断面図を用いて説明すると、放電管１０３内のエキシマ分子１０５から、放射された紫外線（図中、矢印で示す）のうち径方向のもの（図中、上下方向のもの）は、側壁１０３Ａから外部に放射されるが、軸方向の紫外線（図中、左右方向のもの）は、側壁１０３Ａから外部に放射されずに端板１０３Ｂに当たることとなる。この端板１０３Ｂに当たる紫外線には、端板近傍のエキシマ分子１０５Ａから放射されたもののみならず、端板１０３Ｂから離れたエキシマ分子１０５Ｂ〜１０５Ｄから放射されたものも含まれる。このように、端板１０３Ｂは、この端板１０３Ｂから離れた位置のエキシマ分子１０５Ｂ〜１０５Ｄからの紫外線にも、晒されるため損傷しやすいのである（なお、図５中、符号１０７は電極、１０９はセラミック製の口金、１１１はリード線、１１３は放電管１０３を口金１０９に固定するための接着剤、１１５は半田等の接合部、１１７は放電管１０３に風を当てることで冷却するための冷却孔である）。   That is, using the cross-sectional view of the dielectric barrier discharge lamp 100 shown in FIG. 5, the radial ultraviolet rays (indicated by arrows in the figure) emitted from the excimer molecules 105 in the discharge tube 103 ( In the figure, the vertical direction) is radiated to the outside from the side wall 103A, but the axial ultraviolet rays (in the left and right direction in the figure) are not emitted to the outside from the side wall 103A and hit the end plate 103B. Become. The ultraviolet rays hitting the end plate 103B include not only those emitted from the excimer molecules 105A in the vicinity of the end plate but also those emitted from the excimer molecules 105B to 105D separated from the end plate 103B. As described above, the end plate 103B is easily damaged by being exposed to ultraviolet rays from the excimer molecules 105B to 105D at positions away from the end plate 103B (in FIG. 5, reference numeral 107 denotes an electrode, 109). Is a ceramic base, 111 is a lead wire, 113 is an adhesive for fixing the discharge tube 103 to the base 109, 115 is a joint such as solder, and 117 is cooled by applying air to the discharge tube 103. Cooling holes).

しかしながら、従来のものは、放電管１０３の端板１０３Ｂは、側壁１０３Ａと同様の薄肉のものが使用されていたため、損傷しやすく、破損によりガス漏れ等のおそれがあった。
本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、強い紫外線による、放電管端部の損傷を防止することを目的とする。 However, since the conventional end plate 103B of the discharge tube 103 has a thin wall similar to that of the side wall 103A, it is easily damaged, and there is a risk of gas leakage due to breakage.
The present invention has been completed based on the above-described circumstances, and an object thereof is to prevent damage to the end of the discharge tube due to strong ultraviolet rays.

上記の目的を達成するための手段として、請求項１の発明は、放電管内に誘電体バリア放電用のガスが充填された誘電体バリア放電ランプであって、前記放電管は、長筒状の放電管本体の端部を、前記放電管本体の側壁よりも厚肉のガラスブロックにより封口したことを特徴とする誘電体バリヤ放電ランプである。   As a means for achieving the above object, the invention of claim 1 is a dielectric barrier discharge lamp in which a discharge tube is filled with a gas for dielectric barrier discharge, wherein the discharge tube has a long cylindrical shape. The dielectric barrier discharge lamp is characterized in that the end portion of the discharge tube main body is sealed with a glass block thicker than the side wall of the discharge tube main body.

請求項２の発明は、請求項１のものにおいて、前記ガラスブロックには、放電管を保持する放電管ホルダに当接することで前記放電管ホルダに対する前記放電管の位置決めをするための位置決め部が設けられていることを特徴とする。   According to a second aspect of the present invention, in the first aspect, the glass block has a positioning portion for positioning the discharge tube with respect to the discharge tube holder by contacting the discharge tube holder holding the discharge tube. It is provided.

請求項３の発明は、請求項１又は２に記載のものにおいて、前記ガラスブロックは、溶融石英からなることを特徴とする。   According to a third aspect of the present invention, in the first or second aspect of the present invention, the glass block is made of fused silica.

請求項４の発明は、請求項１ないし３のいずれかに記載のものにおいて、前記放電管には、前記ガラスブロックを貫通して、前記放電管内部と外部とを連通するガス導入孔が設けられているとともに、前記ガラスブロックは、前記ガス導入孔の外端周りが凹形状とされていることを特徴とする。   According to a fourth aspect of the present invention, in the discharge tube according to any one of the first to third aspects, the discharge tube is provided with a gas introduction hole that penetrates the glass block and communicates the inside and outside of the discharge tube. The glass block has a concave shape around the outer end of the gas introduction hole.

請求項５の発明は、請求項１ないし４のいずれかに記載のものにおいて、前記ガラスブロックの外表面には、前記放電管の外表面上に備えられた電極とリード線との接合部が形成されていることを特徴とする。   According to a fifth aspect of the present invention, in any one of the first to fourth aspects, the outer surface of the glass block has a joint portion between the electrode and the lead wire provided on the outer surface of the discharge tube. It is formed.

＜請求項１の発明＞
本請求項の構成によれば、放電管は、筒状の放電管本体の端部を、放電管本体の側壁よりも厚肉のガラスブロックにより封口しているから、端部がガスリークする程、損傷を受けにくくなる。 <Invention of Claim 1>
According to the structure of this claim, since the discharge tube seals the end portion of the cylindrical discharge tube main body with a glass block that is thicker than the side wall of the discharge tube main body, the end portion leaks gas, Less susceptible to damage.

＜請求項２の発明＞
従来のものでは、放電管は、図５に示すように、側壁部で口金に保持され、口金は図示しない筐体に固定されている。つまり、口金は、放電管を保持する放電管ホルダとしての機能も有する。
しかし、この放電管の側壁部は薄肉となっており、表面を平坦に加工することが困難である。よって、側壁部の表面にはうねりが生じ、このうねりの影響により、放電管の位置決め精度が低いという問題点があった（図５はうねった放電管を模式的に示している）。
このような問題は、例えば、円筒状のガラス管を角筒状に二次加工したものでは、二次加工によってうねりが大きくるため、顕著であった。 <Invention of Claim 2>
In the conventional apparatus, as shown in FIG. 5, the discharge tube is held by the base at the side wall, and the base is fixed to a housing (not shown). That is, the base also has a function as a discharge tube holder that holds the discharge tube.
However, the side wall of the discharge tube is thin, and it is difficult to process the surface flat. Therefore, waviness is generated on the surface of the side wall, and there is a problem that the positioning accuracy of the discharge tube is low due to the waviness (FIG. 5 schematically shows a wavy discharge tube).
Such a problem is conspicuous, for example, when a cylindrical glass tube is secondarily processed into a rectangular tube shape, since the waviness is increased by the second processing.

本請求項の構成によれば、側壁部よりも厚肉のガラスブロックに、位置決め部を設け、この位置決め部が放電管ホルダに当接することで、放電管ホルダに対する放電管の位置決めが行われる。このガラスブロックは側壁部よりも厚肉なため、表面を例えば、機械加工によって平坦化することが容易である。よって、本手段の構成では、位置決め精度が高い。   According to the structure of this claim, the positioning portion is provided on the glass block that is thicker than the side wall portion, and the positioning portion contacts the discharge tube holder, whereby the discharge tube is positioned with respect to the discharge tube holder. Since this glass block is thicker than the side wall, it is easy to flatten the surface by, for example, machining. Therefore, the configuration of this means has high positioning accuracy.

＜請求項３の発明＞
溶融石英は、短波長の紫外線をカットするから、ガラスブロックを通して紫外線が端部から漏れるおそれはない。よって、放電管端部に位置するリード線等の劣化を防止できる。 <Invention of Claim 3>
Since fused silica cuts short-wavelength ultraviolet light, there is no risk of ultraviolet light leaking from the end through the glass block. Therefore, it is possible to prevent the deterioration of the lead wire located at the end of the discharge tube.

＜請求項４の発明＞
放電管内には、放電用のガスが充填されるが、このガスは、放電管内部と外部を連通するガス導入孔から放電管内に入れられる。そして、ガスを入れた後で、ガス導入孔を溶融したガラスで封止する。
ところで、封止の際に使用したガラスは、凸状に残ってしまう場合があり、例えば作業者が凸状のガラス部を引っかけて、ランプを落下してしまう等の問題点があった。 <Invention of Claim 4>
The discharge tube is filled with a discharge gas. This gas is introduced into the discharge tube through a gas introduction hole that communicates the inside and outside of the discharge tube. And after putting gas, a gas introduction hole is sealed with the fuse | melted glass.
By the way, the glass used at the time of sealing may remain in a convex shape. For example, an operator hooks the convex glass portion and drops the lamp.

本手段の構成によれば、ガス導入孔の外端周りが凹形状とされているため、封止の際に凸状にガラスが残ったとしても、作業者がこの凸状のガラス部を引っかけるおそれが減少する。   According to the configuration of this means, since the periphery of the outer end of the gas introduction hole has a concave shape, even if glass remains in a convex shape during sealing, the operator hooks the convex glass portion. The fear is reduced.

＜請求項５の発明＞
従来の放電管は、薄肉の側壁部で、電極とリード線との半田等による接合が行われていた。このため、放電による発熱で接合部が過熱される構造となっていた。そこで、接合部を冷却するために、冷却のための冷却孔（図５の符号１１７参照）を設ける必要があり、接続部周りの構造が複雑になっていた。
本手段の構成によれば、厚肉のガラスブロックの外表面に、電極とリード線との接合部が形成されているから、放電による接合部の過熱がされにくくなる。
よって、冷却孔を設ける必要がなくなるから、接続部周りの構造（例えば、口金）を簡略化できる。 <Invention of Claim 5>
A conventional discharge tube has a thin-walled side wall and the electrodes and lead wires are joined by solder or the like. For this reason, it has the structure where a junction part is overheated by the heat_generation | fever by discharge. Therefore, in order to cool the joint portion, it is necessary to provide a cooling hole for cooling (see reference numeral 117 in FIG. 5), and the structure around the connection portion is complicated.
According to the structure of this means, since the junction part of an electrode and a lead wire is formed in the outer surface of a thick glass block, it becomes difficult to overheat the junction part by discharge.
Therefore, since it is not necessary to provide a cooling hole, the structure around the connecting portion (for example, a base) can be simplified.

本発明の一実施形態を図１ないし図４を参照しつつ説明する。
なお、以下の説明では、上下方向については図１を基準とし、前後方向については、図１の右側を前方とする。
本実施形態の誘電体バリア放電ランプ１は、放電管３によって形成された放電空間５内に、誘電体バリア放電用のガスが充填されたものである。放電管３の外表面には一対の電極７Ａ，７Ｂが設けられ、これら電極７Ａ，７Ｂにリード線９が接続されている。さらにリード線９を保持するセラミック製の口金１１が放電管３の端部付近に取り付けられている。リード線９は、電極７Ａ，７Ｂ間に交流電圧を印加する電源装置（図示せず）に接続されている。 An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
In the following description, FIG. 1 is used as the reference for the up and down direction, and the right side of FIG.
The dielectric barrier discharge lamp 1 of the present embodiment is one in which a discharge space 5 formed by the discharge tube 3 is filled with a dielectric barrier discharge gas. A pair of electrodes 7A and 7B are provided on the outer surface of the discharge tube 3, and a lead wire 9 is connected to these electrodes 7A and 7B. Furthermore, a ceramic base 11 for holding the lead wire 9 is attached near the end of the discharge tube 3. The lead wire 9 is connected to a power supply device (not shown) that applies an AC voltage between the electrodes 7A and 7B.

ガスとしては、特に限定されず、例えばキセノン（Ｘｅ）、アルゴン（Ａｒ）、クリプトン（Ｋｒ）、等の希ガス、フッ素（Ｆ2）、塩素（Ｃｌ2）等のハロゲンガス等が使用される。誘電体バリア放電ランプ１は、ガスの種類によって、異なる波長（１７２ｎｍ、２２２ｎｍ、３０８ｎｍ等の波長）のエキシマ光を発光させることができる。例えば、電子部品の洗浄、すなわち、電子部品に付着した有機化合物の分解には、１７２ｎｍを中心波長とするエキシマ光が用いられ、この場合には、キセノン（Ｘｅ）を含有するガスが使用される。なお、ガスの封入圧力は特に限定されないが、通常、１０〜８０ＫＰａ程度の圧力で封入される。 The gas is not particularly limited. For example, a rare gas such as xenon (Xe), argon (Ar), or krypton (Kr), or a halogen gas such as fluorine (F 2 ) or chlorine (Cl 2 ) is used. . The dielectric barrier discharge lamp 1 can emit excimer light having different wavelengths (wavelengths such as 172 nm, 222 nm, and 308 nm) depending on the type of gas. For example, excimer light having a central wavelength of 172 nm is used for cleaning electronic components, that is, for decomposing organic compounds attached to the electronic components. In this case, a gas containing xenon (Xe) is used. . The gas filling pressure is not particularly limited, but is usually sealed at a pressure of about 10 to 80 KPa.

放電管３は、詳細には、図１〜３に示すように放電管本体１３の両端部に、ガラスブロック１５を溶融接合したものである。
放電管本体１３は、合成石英製の扁平な長角筒である。この放電管本体１３は、丸筒を熱で軟化させて、角筒に形成したものである。
放電管本体１３の下外面には、格子状（網目状）のアルミニウムからなる第１電極７Ａが蒸着形成され、上外面には、同じくアルミニウムからなるベタ状の第２電極７Ｂが形成されている。両電極７Ａ，７Ｂは、放電管本体１３の両端付近まで形成されている。第１電極７Ａの前端部には、ベタ部７Ｃが形成されており、ベタ部７Ｃからガラスブロック１５の下外面に延びる矩形状の延設部７Ｄが設けられている。延設部７Ｄには、ニッケル層が被覆され、下層をアルミニウム、上層をニッケルとした二層構造とされている。なお、第２電極７Ｂにも、第１電極７Ａの場合と同様の延設部７Ｄが形成されている。 In detail, the discharge tube 3 is obtained by melting and joining glass blocks 15 to both ends of the discharge tube main body 13 as shown in FIGS.
The discharge tube main body 13 is a flat long rectangular tube made of synthetic quartz. The discharge tube main body 13 is formed into a rectangular tube by softening a round tube with heat.
A first electrode 7A made of grid-like (mesh-like) aluminum is deposited on the lower outer surface of the discharge tube body 13, and a solid second electrode 7B also made of aluminum is formed on the upper outer surface. . Both electrodes 7A and 7B are formed up to the vicinity of both ends of the discharge tube main body 13. A solid portion 7C is formed at the front end portion of the first electrode 7A, and a rectangular extending portion 7D extending from the solid portion 7C to the lower outer surface of the glass block 15 is provided. The extending portion 7D is covered with a nickel layer, and has a two-layer structure in which the lower layer is aluminum and the upper layer is nickel. The second electrode 7B is also provided with an extended portion 7D similar to the case of the first electrode 7A.

次に、ガラスブロック１５について説明するが、放電管本体１３の前後両端に溶融接合されたガラスブロック１５は、同一のものであるため、前方側のものについてのみ説明する（なお、図１中、符号１７は、放電管本体１３とガラスブロック１５との接合部を示している）。
ガラスブロック１５は、溶融石英を切削加工したもので、全体として前後方向に長い中実の直方体形状とされている。
ガラスブロック１５の前後方向の厚みは、放電管本体１３の側壁１３Ｄの厚みの少なくとも２倍以上であり、好ましくは１０倍以上である。本実施形態においては、約２０倍とされている。
厚みをこの範囲にすると、軸方向に照射される強い紫外線によって、放電管３の端部が破損してガスリークするおそれが著しく低くなるからである。 Next, although the glass block 15 is demonstrated, since the glass block 15 melt-bonded to both front and rear ends of the discharge tube main body 13 is the same, only the front side will be described (in FIG. 1, Reference numeral 17 denotes a joint portion between the discharge tube main body 13 and the glass block 15).
The glass block 15 is obtained by cutting fused quartz and has a solid rectangular parallelepiped shape that is long in the front-rear direction as a whole.
The thickness of the glass block 15 in the front-rear direction is at least twice the thickness of the side wall 13D of the discharge tube body 13, and preferably 10 times or more. In this embodiment, it is about 20 times.
This is because if the thickness is within this range, the end of the discharge tube 3 is damaged by the strong ultraviolet rays irradiated in the axial direction, and the risk of gas leakage is significantly reduced.

ガラスブロック１５の上面は、前端部で、前方に下るテーパー面１５Ａとされ、ガラスブロック１５の下面は、前端部で前方に上がるテーパー面１５Ｂとされている。両テーパー面１５Ａ，１５Ｂは、位置決め面（位置決め部）とされている。両テーパー面１５Ａ，１５Ｂと放電管ホルダ２３のテーパー面２３Ａ（位置決め受け部）とが当接することで、放電管３の放電管ホルダ２３に対する位置決めがなされるようになっている。
なお、図１に示す放電管ホルダ２３と同形の図示しない放電管ホルダにより、後方のガラスブロック１５が保持される。つまり、一対の放電管ホルダ２３により、放電管３を前後から挟持することで、放電管３を保持する構成とされている。 The upper surface of the glass block 15 is a tapered surface 15A that falls forward at the front end portion, and the lower surface of the glass block 15 is a tapered surface 15B that rises forward at the front end portion. Both the tapered surfaces 15A and 15B are positioning surfaces (positioning portions). Both the tapered surfaces 15A and 15B and the tapered surface 23A (positioning receiving portion) of the discharge tube holder 23 come into contact with each other so that the discharge tube 3 is positioned with respect to the discharge tube holder 23.
The rear glass block 15 is held by a discharge tube holder (not shown) having the same shape as the discharge tube holder 23 shown in FIG. That is, the discharge tube 3 is held by sandwiching the discharge tube 3 from the front and rear by the pair of discharge tube holders 23.

ガラスブロック１５の両側面には、上下方向に延びる差し込み溝２５が形成されている。差し込み溝２５は、後述する口金１１の張り出し部２７Ｅを差し込み可能に形成されている。   Insertion grooves 25 extending in the vertical direction are formed on both side surfaces of the glass block 15. The insertion groove 25 is formed so that a protruding portion 27E of the base 11 described later can be inserted.

ガラスブロック１５には、これを前後に貫通して、放電管３内部（放電空間５）と外部とを連通するガス導入孔３１が設けられている。ガラスブロック１５の前端部では、ガス導入孔３１の周り（ガス導入孔３１の外端周り）が窪んだ凹部１５Ｄとされている。ガス導入孔３１から、ガスを導入した後に、ガス導入孔３１の入り口は、溶融した封止ガラス１５Ｅで封止される。   The glass block 15 is provided with a gas introduction hole 31 that passes through the glass block 15 in the front-rear direction to communicate the inside of the discharge tube 3 (discharge space 5) with the outside. At the front end portion of the glass block 15, a recess 15 </ b> D is formed around the gas introduction hole 31 (around the outer end of the gas introduction hole 31). After introducing the gas from the gas introduction hole 31, the entrance of the gas introduction hole 31 is sealed with a molten sealing glass 15E.

口金１１は、上方を解放した箱状の下口金部（半割体）２７と、この下口金部２７と同形で下方を解放した箱状の上口金部（半割体）２９に、二分割可能とされている。
両口金部２７，２９は、上下面にリード線９，９を配した放電管３を上下から挟み込んだ状態で一体のものとして合体し、下口金部２７と放電管３との間でリード線９を挟持するとともに、上口金部２９と放電管３との間でリード線９を挟持することで、リード線９の位置ズレを防止するためのリード線保持部材として機能する。 The base 11 is divided into two parts, a box-shaped lower base part (half-split body) 27 whose upper part is released and a box-shaped upper base part (half-split part) 29 which has the same shape as the lower base part 27 and whose bottom is released. It is possible.
The both cap parts 27 and 29 are united as one body with the discharge tube 3 having the lead wires 9 and 9 disposed on the upper and lower surfaces thereof sandwiched from above and below, and the lead wire is connected between the lower cap part 27 and the discharge tube 3. 9, and the lead wire 9 is sandwiched between the upper cap portion 29 and the discharge tube 3, thereby functioning as a lead wire holding member for preventing the positional deviation of the lead wire 9.

なお、下口金部２７と上口金部２９は、同一構造のものであるため、下口金部２７のみを説明し、上口金部２９の説明は省略する。
下口金部２７の前面壁２７Ａ及び後面壁２７Ｂは、ガラスブロック１５の下半分の断面とほぼ同形の切り欠き部２７Ｃが設けられている。下口金部２７と上口金部２９とを合わせた状態で、口金１１の前面及び後面に、ガラスブロック１５の断面形状とほぼ同形の開口が形成される。 Since the lower base part 27 and the upper base part 29 have the same structure, only the lower base part 27 will be described, and the description of the upper base part 29 will be omitted.
The front wall 27 </ b> A and the rear wall 27 </ b> B of the lower base portion 27 are provided with a cutout portion 27 </ b> C having substantially the same shape as the lower half section of the glass block 15. In a state where the lower base part 27 and the upper base part 29 are combined, openings having substantially the same shape as the cross-sectional shape of the glass block 15 are formed on the front surface and the rear surface of the base 11.

下口金部２７の左右の側壁２７Ｄの前後方向の中央付近には、内側方向に突出する張り出し部２７Ｅ，２７Ｅが設けられている。張り出し部２７Ｅ，２７Ｅは、ガラスブロック１５の差し込み溝２５に係合可能な形状とされている。張り出し部２７Ｅ，２７Ｅと差し込み溝２５とが係合することで、口金１１の前後方向の遊動が規制されている。張り出し部２７Ｅ，２７Ｅには、上下方向に貫通するねじ孔２７Ｆ，２７Ｆが形成さている。上下口金部２７，２９を合わせた状態で、ねじにより上下口金部２７,２９を一体固定する。下口金部２７の下面は、ねじ孔２７Ｆ，２７Ｆ周りが窪んでおり、ねじの先端が下面から突出しないようにされている。   In the vicinity of the center in the front-rear direction of the left and right side walls 27D of the lower base portion 27, overhanging portions 27E and 27E that project inward are provided. The projecting portions 27 </ b> E and 27 </ b> E have a shape that can be engaged with the insertion groove 25 of the glass block 15. Engagement of the projecting portions 27E and 27E and the insertion groove 25 restricts the loose movement of the base 11 in the front-rear direction. Screw holes 27F and 27F penetrating in the vertical direction are formed in the overhang portions 27E and 27E. In a state where the upper and lower base parts 27 and 29 are combined, the upper and lower base parts 27 and 29 are integrally fixed with screws. The lower surface of the lower base portion 27 is recessed around the screw holes 27F and 27F so that the tip of the screw does not protrude from the lower surface.

下口金部２７の前面壁２７Ａの左右方向中央には、上側に開口する断面Ｕ字状のリード線を引き出すための引き出し孔２７Ｇが形成されている。引き出し孔２７Ｇの寸法は、リード線９の径よりもやや小さくされている。リード線９は、引き出し孔２７Ｇの部分で、多少弾性変形させられる。これにより、リード線９の前後左右方向の遊動が規制されている。   At the center in the left-right direction of the front wall 27A of the lower base portion 27, a lead hole 27G for drawing out a lead wire having a U-shaped cross section that opens upward is formed. The dimension of the lead hole 27G is slightly smaller than the diameter of the lead wire 9. The lead wire 9 is somewhat elastically deformed at the portion of the lead hole 27G. Thereby, the play of the lead wire 9 in the front-rear and left-right directions is restricted.

リード線９は、金属製の電線９Ａ周りをシリコン樹脂製の鞘部９Ｂで被覆したものである。鞘部９Ｂ周りにさらに、テフロン（登録商標）チューブで被覆して耐オゾン性を向上させてもよい。
リード線９の端部では、裸状態の電線９Ａが突出しており、ここに金属製の接続端子３５が半田付けされている（なお、符号１０は、半田からなる接続部を示している）。 The lead wire 9 is obtained by covering a metal wire 9A with a sheath 9B made of silicon resin. The sheath 9B may be further covered with a Teflon (registered trademark) tube to improve ozone resistance.
A bare wire 9A protrudes from the end of the lead wire 9, and a metal connection terminal 35 is soldered to the wire 9 (note that reference numeral 10 indicates a connection portion made of solder).

接続端子３５は、ガラスブロック１５の外表面上で、電極７の延設部７Ｄと図示しない半田等により電気的に接続され、リード線９は、放電管３の軸線に沿って右方向に導出されている。   The connection terminal 35 is electrically connected to the extending portion 7D of the electrode 7 on the outer surface of the glass block 15 by solder or the like (not shown), and the lead wire 9 is led rightward along the axis of the discharge tube 3. Has been.

接続端子３５は、略Ｌ字状に屈曲し、略矩形状の２片を有する金属片である。図４に示すように、接続端子３５は、その一片３５Ａが差し込み溝２５の底面に面接触し、かつ他片３５Ｂが延設部７Ｄの上に面接触するように配置される。接続端子３５の一片３５Ａが、ガラスブロック１５の差し込み溝２５の底面と、口金１１の張り出し部２７Ｅとの間で挟持されることで、接続端子３５の左右方向の移動が規制されている。   The connection terminal 35 is a metal piece which is bent in a substantially L shape and has two pieces of a substantially rectangular shape. As shown in FIG. 4, the connection terminal 35 is arranged such that one piece 35 </ b> A is in surface contact with the bottom surface of the insertion groove 25 and the other piece 35 </ b> B is in surface contact with the extended portion 7 </ b> D. The movement of the connection terminal 35 in the left-right direction is restricted by sandwiching the one piece 35 </ b> A of the connection terminal 35 between the bottom surface of the insertion groove 25 of the glass block 15 and the protruding portion 27 </ b> E of the base 11.

以上のように、本実施形態の誘電体バリア放電ランプ１が構成されている。この誘電体バリア放電ランプ１によれば、放電管３は、筒状の放電管本体１３の端部が、放電管本体１３の側壁１３Ｄよりも厚肉のガラスブロック１５により封口されているから、強い紫外線が照射されたとしても、端部がガスリークする程の損傷を受けることはない。   As described above, the dielectric barrier discharge lamp 1 of the present embodiment is configured. According to the dielectric barrier discharge lamp 1, the discharge tube 3 is sealed at the end of the cylindrical discharge tube main body 13 by the glass block 15 having a wall thickness greater than the side wall 13 </ b> D of the discharge tube main body 13. Even if intense ultraviolet rays are irradiated, the end portion is not damaged to the extent that gas leaks.

また、本実施形態の誘電体バリア放電ランプ１によれば、側壁１３Ｄ部よりも厚肉のガラスブロック１５に、切削加工によりテーパー面１５Ａ，１５Ｂ（位置決め部）を設け、このテーパー面１５Ａ，１５Ｂが放電管ホルダ２３に当接することで、放電管ホルダ２３に対する放電管３の位置決めが行われる。よって、放電管３の放電管ホルダ２３に対する位置決め精度が高い。   In addition, according to the dielectric barrier discharge lamp 1 of the present embodiment, the tapered surfaces 15A and 15B are provided on the glass block 15 thicker than the side wall 13D by cutting to provide the tapered surfaces 15A and 15B. Is in contact with the discharge tube holder 23, whereby the discharge tube 3 is positioned with respect to the discharge tube holder 23. Therefore, the positioning accuracy of the discharge tube 3 with respect to the discharge tube holder 23 is high.

また、ガラスブロック１５は、溶融石英からなり、短波長の紫外線をカットするから、ガラスブロック１５を通して紫外線が端部から漏れるおそれはない。よって、放電管３の端部に位置するリード線９の被覆９Ａの劣化を防止できる。   Further, since the glass block 15 is made of fused silica and cuts short-wave ultraviolet rays, there is no possibility that the ultraviolet rays leak from the end portion through the glass block 15. Therefore, deterioration of the covering 9A of the lead wire 9 located at the end of the discharge tube 3 can be prevented.

また、本実施形態の誘電体バリア放電ランプ１によれば、ガス導入孔３１の外端周りが凹形状とされているため、封止の際に凸状に封止ガラス１５Ｅが残ったとしても、作業者がこの凸状の封止ガラス１５Ｅを引っかけるおそれが減少する。   Further, according to the dielectric barrier discharge lamp 1 of the present embodiment, since the periphery of the outer end of the gas introduction hole 31 has a concave shape, even if the sealing glass 15E remains in a convex shape during sealing. The risk of the operator catching the convex sealing glass 15E is reduced.

また、厚肉のガラスブロック１５の外表面に、半田からなる接続部１０が形成されているから、放電管３が発熱しても熱が接合部１０に伝わりにくくなる。よって、冷却孔を設ける必要がなくなるから、接続部１０周りの構造（口金１１）を簡略化することができる。   In addition, since the connecting portion 10 made of solder is formed on the outer surface of the thick glass block 15, even if the discharge tube 3 generates heat, it is difficult for heat to be transferred to the joining portion 10. Therefore, since it is not necessary to provide a cooling hole, the structure around the connection portion 10 (the base 11) can be simplified.

＜他の実施形態＞
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれ、さらに、下記以外にも要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することができる。
（１）上記実施形態では、放電管本体１３を角筒としたが、形状は特に限定されず、例えば、丸筒としてもよい。また、一重管に限らずに、外管部と内管部が同軸で配置された二重管としてもよい。
（２）上記実施形態では、ガラスブロック１５は、溶融石英製としたが、合成石英製としてもよい。
（３）上記実施形態では、ガラスブロック１５は、放電管本体１３の両端部に形成したものとしたが、片端部に形成したものでもよい。
（４）上記実施形態では、位置決め部は、テーパー面１５Ａ，１５Ｂとしたが、その形状は特に限定されず、位置決めのための凹部、凸部であってもよい。なお、位置決め部の形状に適合するように、放電管ホルダ２３の位置決め受け部の形状が定められる。放電管ホルダ２３に当接する位置決め部を設けない構成であってもよい。
（５）上記実施形態では、ガス導入孔３１の外端周りを凹形状としたものを示したが、ガス導入孔３１の外端周りを平坦なものとしてもよい。また、ガス導入孔３１を放電管本体１３に形成してもよい。
（６）上記実施形態では、接合部１０は、ガラスブロック１５の外表面上に位置することとしたが、接合部１０を放電管本体１３の側壁上に設けてもよい。 <Other embodiments>
The present invention is not limited to the embodiments described with reference to the above description and drawings. For example, the following embodiments are also included in the technical scope of the present invention, and further, within the scope not departing from the gist of the invention other than the following. Various modifications can be made.
(1) In the above embodiment, the discharge tube main body 13 is a square tube, but the shape is not particularly limited, and may be, for example, a round tube. Moreover, it is good also as not only a single tube but a double tube | pipe by which the outer tube part and the inner tube part are arrange | positioned coaxially.
(2) In the above embodiment, the glass block 15 is made of fused quartz, but may be made of synthetic quartz.
(3) In the said embodiment, although the glass block 15 shall be formed in the both ends of the discharge tube main body 13, what was formed in the one end part may be used.
(4) In the said embodiment, although the positioning part was made into taper surface 15A, 15B, the shape is not specifically limited, The recessed part and convex part for positioning may be sufficient. The shape of the positioning receiving portion of the discharge tube holder 23 is determined so as to match the shape of the positioning portion. The structure which does not provide the positioning part which contact | abuts to the discharge tube holder 23 may be sufficient.
(5) In the above embodiment, the concave portion around the outer end of the gas introduction hole 31 is shown. However, the periphery of the outer end of the gas introduction hole 31 may be flat. Further, the gas introduction hole 31 may be formed in the discharge tube main body 13.
(6) In the above embodiment, the joint 10 is located on the outer surface of the glass block 15, but the joint 10 may be provided on the side wall of the discharge tube body 13.

誘電体バリア放電ランプの断面図Cross section of dielectric barrier discharge lamp 放電管の斜視図Perspective view of discharge tube 放電管の斜視図Perspective view of discharge tube 誘電体バリア放電ランプの一部拡大斜視図Partially enlarged perspective view of a dielectric barrier discharge lamp 従来例の誘電体バリア放電ランプの断面図Sectional view of a conventional dielectric barrier discharge lamp

符号の説明Explanation of symbols

１…誘電体バリア放電ランプ
３…放電管
５…放電空間
７…電極
１３…放電管本体
１３Ｄ…側壁
１５…ガラスブロック DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Dielectric barrier discharge lamp 3 ... Discharge tube 5 ... Discharge space 7 ... Electrode 13 ... Discharge tube main body 13D ... Side wall 15 ... Glass block

Claims (5)

放電管内に誘電体バリア放電用のガスが充填された誘電体バリア放電ランプであって、前記放電管は、長筒状の放電管本体の端部を、前記放電管本体の側壁よりも厚肉のガラスブロックにより封口したことを特徴とする誘電体バリヤ放電ランプ。   A dielectric barrier discharge lamp in which a gas for dielectric barrier discharge is filled in a discharge tube, wherein the discharge tube has an end portion of a long tubular discharge tube body thicker than a side wall of the discharge tube body. A dielectric barrier discharge lamp sealed with a glass block. 前記ガラスブロックには、放電管を保持する放電管ホルダに当接することで前記放電管ホルダに対する前記放電管の位置決めをするための位置決め部が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の誘電体バリア放電ランプ。   The said glass block is provided with the positioning part for positioning the said discharge tube with respect to the said discharge tube holder by contact | abutting to the discharge tube holder holding a discharge tube. Dielectric barrier discharge lamp. 前記ガラスブロックは、溶融石英からなることを特徴とする請求項１又は２に記載の誘電体バリア放電ランプ。   The dielectric barrier discharge lamp according to claim 1, wherein the glass block is made of fused silica. 前記放電管には、前記ガラスブロックを貫通して、前記放電管内部と外部とを連通するガス導入孔が設けられているとともに、
前記ガラスブロックは、前記ガス導入孔の外端周りが凹形状とされていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の誘電体バリア放電ランプ。 The discharge tube is provided with a gas introduction hole that penetrates the glass block and communicates the inside and outside of the discharge tube.
4. The dielectric barrier discharge lamp according to claim 1, wherein the glass block has a concave shape around an outer end of the gas introduction hole. 前記ガラスブロックの外表面には、前記放電管の外表面上に備えられた電極とリード線との接合部が形成されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の誘電体バリア放電ランプ。   5. The dielectric according to claim 1, wherein a junction between an electrode and a lead wire provided on the outer surface of the discharge tube is formed on the outer surface of the glass block. Body barrier discharge lamp.
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