KR101212863B1 - 박막 증착 장비 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 박막 증착 장비에 관한 것으로, 기판 상에 박막을 증착하기 위한 박막 증착 장비에 있어서, 중앙에 개구부가 형성된 사각 프레임의 형태로 이루어지며, 상기 개구부와 접하는 개구부측 테두리가 상기 기판의 상면 가장자리의 적어도 일부를 덮도록 배치되는 증착마스크; 및 상기 증착마스크의 바깥쪽 테두리 측면에 결합되는 방착판을 포함하되, 상기 증착마스크와 상기 방착판의 결합 시 상기 기판의 상면과 평행한 방향으로 볼트 체결됨으로써, 증착마스크의 세정에 따라 발생하는 부식에 취약한 부분을 개선하여 증착마스크의 수명 연장과 부식부위에서 발생될 수 있는 파티클(Particle)을 효과적으로 감소시킬 수 있다.

Description

박막 증착 장비{APPARATUS FOR THIN FILM DEPOSITION}
본 발명은 박막 증착 장비에 관한 것으로, 보다 상세하게는 박막을 증착하기 위한 장비에 있어서 증착마스크에 방착판을 측면방향으로 개선 결합함으로써, 증착마스크의 세정에 따라 발생하는 부식에 취약한 부분을 개선하여 증착마스크의 수명 연장과 부식부위에서 발생될 수 있는 파티클(Particle)을 효과적으로 감소시킬 수 있도록 한 박막 증착 장비에 관한 것이다.
일반적으로, 스퍼터(Sputter)의 박막증착이 진행되는 챔버(Chamber)의 내부에 장착되는 마스크(Mask)는 박막증착시 발생되는 파티클(Particle)의 챔버내부 유출을 방지하여 박막에 불량 디텍트(Defect) 발생을 억제한다.
이러한 파티클(Particle)이 마스크에 흡착되기 때문에 사용주기를 설정하여 사용 완료 후 세정하게 된다.
도 1은 종래의 박막 증착 장비의 사시도 및 단면도이다.
도 1을 참조하면, 종래의 박막 증착 장비(10)는, 크게 증착마스크(11)와 방착판(12)을 조립하여 구성하는데, 이때 증착마스크(11)와 방착판(12)의 조립은 증착마스크(11)의 하면에서 방착판(12)의 하단면으로 볼트(B)가 체결되는 방식으로 결합되어 있다. 여기서, 증착마스크(11)는 기판(20)의 상면 가장자리 일부를 덮도록 배치되어 있다.
이러한 종래의 박막 증착 장비(10)의 증착마스크(11)와 방착판(12)간의 결합 방식은 증착마스크(11)와 방착판(12)에 세정시 약액이 볼트(B) 홀 부분 즉, 상대적으로 두께가 얇은 부분에 부식을 유발하여 박막증착 장비(10)의 사용수명이 감소하게 되는 문제점이 있다.
본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 박막을 증착하기 위한 장비에 있어서 증착마스크에 방착판을 측면방향으로 개선 결합함으로써, 증착마스크의 세정에 따라 발생하는 부식에 취약한 부분을 개선하여 증착마스크의 수명 연장과 부식부위에서 발생될 수 있는 파티클(Particle)을 효과적으로 감소시킬 수 있도록 한 박막 증착 장비를 제공하는데 있다.
전술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 측면은, 기판 상에 박막을 증착하기 위한 박막 증착 장비에 있어서, 중앙에 개구부가 형성된 사각 프레임의 형태로 이루어지며, 상기 개구부와 접하는 개구부측 테두리가 상기 기판의 상면 가장자리의 적어도 일부를 덮도록 배치되는 증착마스크; 및 상기 증착마스크의 바깥쪽 테두리 측면에 결합되는 방착판을 포함하되, 상기 증착마스크와 상기 방착판의 결합 시 상기 기판의 상면과 평행한 방향으로 볼트 체결되는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장비를 제공하는 것이다.
여기서, 상기 증착마스크 및 상기 방착판은 서로 맞닿는 측면에 요철(凹凸)형태로 결합되도록 각각 볼록부 및 오목부가 형성됨이 바람직하다.
이상에서 설명한 바와 같은 본 발명의 박막증착 장비에 따르면, 박막을 증착하기 위한 장비에 있어서 증착마스크에 방착판을 측면방향으로 개선 결합함으로써, 증착마스크의 세정에 따라 발생하는 부식에 취약한 부분을 개선하여 증착마스크의 수명 연장과 부식부위에서 발생될 수 있는 파티클(Particle)을 효과적으로 감소시킬 수 있는 이점이 있다.
도 1은 종래의 박막 증착 장비의 사시도 및 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 증착 장비의 사시도 및 단면도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 박막 증착 장비의 증착마스크와 방착판의 결합 부위를 설명하기 위한 일부 확대 사시도이다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명한다. 그러나, 다음에 예시하는 본 발명의 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 다음에 상술하는 실시예에 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 실시예는 당업계에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위하여 제공되어지는 것이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 증착 장비의 사시도 및 단면도이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 증착 장비(100)는, 크게 증착마스크(110)와 방착판(120)의 고정 결합으로 구성되어 있다.
여기서, 증착마스크(110)는, 중앙이 개구된 사각 프레임의 형태로 이루어지며, 개구부와 접하는 개구부측 테두리가 기판(200)의 상면 가장자리의 적어도 일부를 덮도록 배치 형성되어 있다.
방착판(120)은 기판(200)에 박막 증착시 플라즈마 가스가 챔버(Chamber)(미도시) 내의 다른 장비들로 유입되는 것을 방지하기 위한 것으로서, 증착마스크(110)를 지지하기 위하여 그 일단이 증착마스크(110)의 바깥쪽 테두리 측면에 고정 결합되어 있으며, 그 타단이 챔버(Chamber)(미도시)의 내부에 고정되어 있다.
이때, 증착마스크(110)와 방착판(120)의 결합 시 기판(200)의 상면과 평행한 방향 즉, 방착판(120)의 측면방향으로 적어도 하나의 볼트(B)를 이용하여 고정 결합됨으로써, 박막 증착 장비(100)의 증착마스크(110)와 방착판(120)의 세정시 약액에 의한 부식 취약부분을 제거하여 박막 증착 장비(100)의 증착마스크(110) 및 방착판(120)의 수명연장과 부식부위에서 발생될 수 있는 파티클(Particle) 감소에 효과적으로 기여함과 더불어 원가를 절감할 수 있게 된다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 박막 증착 장비의 증착마스크와 방착판의 결합 부위를 설명하기 위한 일부 확대 사시도이다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 박막 증착 장비(100')는, 도 2에 전술한 박막 증착 장비(100)와 전체적인 구조는 동일하며, 다만 박막 증착 장비(100')의 증착마스크(110')와 방착판(120')이 맞닿는 측면에 요철(凹凸)형태로 결합되도록 각각 볼록부(111) 및 오목부(121)가 추가적으로 형성됨으로써, 증착마스크(110')와 방착판(120')의 결합시 볼트(B) 체결을 위한 볼트 홀(Bolt hole)(112 및 122)이 자동으로 정렬되어 볼트(B) 체결을 보다 용이하게 할 수 있다.
전술한 본 발명에 따른 박막 증착 장비에 대한 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명에 속한다.
100, 100' : 박막 증착 장비,
110, 110' : 증착마스크,
111 : 볼록부,
120, 120' : 방착판,
121 : 오목부,
112, 122 : 볼트 홀

Claims (2)

  1. 삭제
  2. 기판 상에 박막을 증착하기 위한 박막 증착 장비에 있어서,
    중앙에 개구부가 형성된 사각 프레임의 형태로 이루어지며, 상기 개구부와 접하는 개구부측 테두리가 상기 기판의 상면 가장자리의 적어도 일부를 덮도록 배치되는 증착마스크; 및
    상기 증착마스크의 바깥쪽 테두리 측면에 결합되는 방착판을 포함하되,
    상기 증착마스크와 상기 방착판의 결합 시 상기 기판의 상면과 평행한 방향으로 볼트 체결되고,
    상기 증착마스크 및 상기 방착판은 서로 맞닿는 측면에 요철(凹凸)형태로 결합되도록 각각 볼록부 및 오목부가 형성되는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장비.
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