KR101207771B1 - 마찰력을 감소시킨 리프트 핀 홀더 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 리프트 핀이 관통하는 핀 홀을 가지는 실린더 형상의 홀더 몸체; 상기 핀 홀의 내벽에서 축방향으로 상기 핀 홀의 내주면보다 중심축을 향해 돌출되도록 결합되고, 상기 홀더 몸체보다 마찰계수가 작은 재질의 마찰저감부재를 포함하는 리프트 핀 홀더에 관한 것이다. 또한 본 발명은 리프트 핀이 관통하는 핀 홀을 가지는 실린더 형상의 홀더 몸체; 상기 리프트 핀이 관통하는 관통홀을 가지고, 상기 홀더 몸체의 단부에 결합되며, 상기 관통홀의 내경은 상기 홀더 몸체의 핀 홀의 내경보다 작으며, 상기 홀더 몸체보다 마찰계수가 작은 재질로 이루어진 홀더 캡을 포함하는 리프트 핀 홀더에 관한 것이다.

본 발명에 따르면 기판안치대가 승하강할 때 리프트 핀과 리프트 핀 홀더 사이의 마찰력이 줄어들게 되므로 리프트 핀이 리프트 핀 홀더에 끼이는 현상이 방지되어 기판을 안정적으로 안치할 수 있을 뿐만 아니라 리프트 핀의 파손이 방지된다.

리프트 핀 홀더, 마찰저감부재

Description

마찰력을 감소시킨 리프트 핀 홀더{Lift pin holder reducing friction force}

도 1은 일반적인 액정표시소자 제조장치의 개략적인 구성도

도 2는 도 1에서 기판안치대가 상승한 상태를 나타낸 도면

도 3은 리프트 핀 홀더의 구조 및 기판안치대와의 결합상태를 나타낸 도면

도 4는 기판에 의해 리프트 핀이 기울어진 상태를 나타낸 도면

도 5는 본 발명의 제1 실시예에 의한 리프트 핀 홀더의 단면도

도 6은 홀더 몸체와 커버가 나사 결합한 모습을 나타낸 도면

도 7은 홀더 몸체와 커버가 끼움돌기와 끼움홈에 의해 결합한 모습을 나타낸 도면

도 8은 본 발명의 제1 실시예에 의한 리프트 핀 홀더에서 리프트 핀이 기울어진 모습을 나타낸 도면

도 9는 마찰저감부재의 단면이 환형이 아닌 경우를 나타낸 도면

도 10은 본 발명의 제2 실시예에 의한 리프트 핀 홀더의 단면도

도 11은 본 발명의 제3 실시예에 의한 리프트 핀 홀더의 단면도

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

20 : 리프트 핀 100 : 리프트 핀 홀더

110 : 홀더 몸체 112 : 상부 돌출부

114 : 제1 단차 116 : 관통홀

118 : 제2 단차 119 : 요홈부

120 : 커버 122 : 끼움돌기

124 : 끼움홈 130 : 마찰저감부재

140 : 볼트 150 : 홀더 캡

본 발명은 반도체소자 또는 액정표시소자의 제조장치에 관한 것으로서, 상세하게는 기판안치대로부터 기판을 분리하는 리프트 핀 어셈블리에 관한 것이며, 더 상세하게는 리프트 핀과 결합하는 리프트핀 홀더에 관한 것이다.

일반적으로 반도체소자 또는 액정표시소자를 제조하기 위해서는 실리콘웨이퍼 또는 글래스 등의 기판에 원료물질을 증착하는 박막증착공정, 감광성물질을 사용하여 이들 박막 중 선택된 영역을 노출 또는 은폐시키는 포토리소그라피 공정, 선택된 영역의 박막을 제거하여 패터닝하는 식각공정 등을 거치게 되며, 이들 각 공정은 해당 공정을 위해 최적의 환경을 유지하는 제조장치 내에서 진행된다.

액정표시소자의 제조장치 중에서 원료물질을 플라즈마 상태로 변환시킨 후 이를 이용하여 박막을 증착하는 PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)장치(10)는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 반응공간을 형성하는 챔버(11), 챔버(11)의 내부에서 기판(s)을 안치하는 기판안치대(12), 기판안치대(12)의 상부에서 원료가스를 분사하는 가스분배판(13), 가스분배판(13)에 연결된 가스공급관(15), 잔류가스를 배출하는 배기구(18)를 포함한다. 또한 플라즈마 발생원의 역할을 하는 플라즈마 전극(14), 플라즈마 전극(14)에 연결되는 RF전원(16), 임피던스 정합을 위한 매처(17)를 포함한다.

기판(s)은 로봇암(미도시)에 의해 반송되는데, 로봇암이 기판안치대(12)에 기판(s)을 안치하거나 기판안치대(12)로부터 기판(s)을 픽업하기 위해서는 리프트 핀(20)을 이용하여 기판안치대(12)로부터 기판(s)을 소정 높이로 들어올려야 한다.

리프트 핀(20)은 기판안치대(12)를 관통하여 설치되지만 고정되지는 않기 때문에 도 1과 같이 기판안치대(12)가 하강한 상태에서는 하단부가 챔버(11)의 저면에 닿아 상단부가 기판안치대(12)의 상부로 돌출된다.

이 상태에서 로봇암(미도시)이 기판을 반입하여 리프트 핀(20)의 상단부에 내려놓거나, 리프트 핀(20)의 상단부에 놓여진 기판을 반출하게 된다. 새로운 기판이 리프트 핀(20)의 상단부에 놓여지면 기판안치대(12)가 공정영역으로 상승하게 되는데 이때 리프트 핀(20)은 도 2에 도시된 바와 같이 중력에 의해 하강하여 상단부가 기판안치대(12)의 상면에 형성된 걸림턱에 매달린 상태가 된다.

이 과정에서 리프트 핀(20)의 상단부에 놓여진 기판(s)은 기판안치대(12)의 상면에 자연스럽게 안치된다.

공정영역에서 공정을 마친 후 기판안치대(12)가 다시 하강하면 도 1에 도시된 바와 같이 리프트 핀(20)의 하단부가 챔버 저면(11a)에 닿으면서 리프트 핀(20)의 상단부는 기판안치대(12)의 상부로 돌출되며, 이때 기판안치대(12)에 안치되어 있던 기판(s)은 리프트 핀(20)에 의해 들어올려지므로 기판안치대(12)로부터 분리된다.

도 3은 리프트 핀(20)과 기판안치대(12)의 결합관계를 나타낸 단면도로서, 리프트 핀(20)은 기판안치대(12)를 관통하는 소정길이의 몸체(21)와, 몸체(21)보다 직경이 큰 원반형태로서 몸체(21)의 상단에 구비되는 헤드(22)로 이루어지며, 세라믹 재질로 제조된다.

리프트 핀(20)의 몸체(21)는 기판안치대(12)에 형성된 관통홀(12a)을 통해 위에서 아래로 삽입되고 헤드(22)가 기판안치대(12)의 상면에 형성된 제1 단차(12b)에 걸림으로써 기판안치대(12)에 고정되지 않고 단순히 매달리도록 장착되어 있다.

또한 기판안치대(12)의 관통홀(12a) 내부에는 리프트 핀(20)이 기판안치대(12)와 직접 접촉하는 것을 방지하는 한편 리프트 핀(20)의 승강이 원활하게 이루어지도록 하는 리프트 핀 홀더(30)가 설치되어 있다.

상기 리프트 핀 홀더(30)는 관통홀(12a) 내에 삽입되는 대략 실린더형의 세 라믹 재질의 부재로서 그 내부에는 중심축을 향하여 돌출되어 리프트 핀 몸체(21)와의 접촉부위를 최소화하는 상부 돌출부(31) 및 하부 돌출부(32)가 소정 거리 이격되어 형성되어 있다.

또한, 기판안치대(12) 하부의 챔버 바닥면에는 핀플레이트(11a)가 설치되어 있는데, 상기 핀플레이트(11a)는 리프트 핀(20)과 챔버(11)의 직접 접촉을 방지함으로써 챔버(11)를 보호하고, 리프트 핀(20)의 하중을 지지하는 역할을 한다.

그런데 일반적으로 기판안치대(12)의 상부로 돌출된 리프트 핀(20)의 헤드(22)에 의해 기판(s)이 지지되는 경우에는, 면적이 크고 두께가 얇은 기판(s)의 특성상 기판(s)의 중앙부가 아래로 쳐지면서 상대적으로 리프트 핀(20)의 헤드(22)에 대해 아래 방향뿐만이 아니라 도 4에 도시된 바와 같이 측방향(도면상으로는 좌측)으로도 어느 정도의 힘이 가해지게 되어 리프트 핀(20)이 일측으로 기울어지게 된다.

이와 같이 리프트 핀(20)이 기울어지면, 리프트 핀(20)과 리프트 핀 홀더(30)의 상하부 돌출부(31,32) 사이에 마찰이 발생하게 된다. 이런 현상을 대비하여 리프트 핀(20)을 제조할 때 폴리싱(polishing) 처리를 통해 표면을 매끄럽게 가공하고 있기는 하지만 반복적인 마찰로 인해 단기간에 표면이 거칠어지는 문제점이 있다.

리프트 핀(20)의 승강운동이 원활하지 못하면, 심할 경우 리프트 핀(20)이 리프트 핀 홀더(30)에 끼어서 기판안치대(12)가 하강하여도 리프트 핀(20)이 상승 하지 못하고 기판안치대(12)로부터 힘을 받게 되는 현상이 발생한다.

이와 같이 리프트 핀(20)이 상승하지 못하고 기판안치대(12)로부터 힘을 받게 되면, 리프트 핀(20)이 리프트 핀 홀더(30)에 접촉하는 부분에서 힘을 집중적으로 받아 파손될 위험이 있다. 리프트 핀(20)이 파손되면 리프트 핀(20)에 의해서 지지되는 기판이 상승을 하지 못하게 되어, 기판안치대(12)로부터 분리되지 못하여 추가적인 문제를 발생시킨다.

또한, 기판안치대(12)가 상승하여도 리프트 핀(20)이 하강하지 못하고 기판안치대(12)의 상부로 계속돌출되어 있는 현상이 발생한다.

이와 같이 리프트 핀(20)이 돌출된 채 기판안치대(12)가 상승하면, 기판(s)의 배면으로 플라즈마 리크가 발생하여 기판이 오염되거나 상부의 가스분배판(13)과 충돌하여 기판(s)이 파손될 위험이 있다.

본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 기판안치대의 승강에 연동하여 리프트 핀이 리프트 핀 홀더의 내부에서 원활하게 승강할 수 있는 방안을 제공하기 위한 것이다.

본 발명은 상기 목적을 달성하기 위하여, 리프트 핀이 관통하는 핀 홀을 가지는 실린더 형상의 홀더 몸체; 상기 핀 홀의 내벽에서 축방향으로 상기 핀 홀의 내주면보다 중심축을 향해 돌출되도록 결합되고, 상기 홀더 몸체보다 마찰계수가 작은 재질의 마찰저감부재를 포함하는 리프트 핀 홀더를 제공한다.

상기 핀 홀의 내주면에는 원주방향의 단차가 형성되고, 상기 마찰저감부재는 상기 단차에 삽입되며, 이때 상기 단차는 상기 핀 홀 내벽의 상부 또는 하부에 형성된다.

상기 마찰저감부재는 상기 핀홀 내벽의 상부 또는 하부에 결합된다.

상기 마찰저감부재의 단면은 원형이며, 상기 마찰저감부재는 상기 핀 홀의 내벽을 따라 밀착하는 환형부재이다.

상기 홀더 몸체에 결합하며, 상기 마찰저감부재를 상기 홀더 몸체의 내벽에서 이탈되지 않도록 지지하는 커버를 더 포함할 수 있다.

이때 상기 홀더 몸체와 상기 커버 사이는 나사결합이나 볼트에 의해 결합될 수 있으며, 상기 홀더 몸체와 상기 커버는 서로 대응하는 위치에 형성된 끼움홈 및 끼움돌기에 의하여 결합할 수도 있다.

상기 마찰저감부재는 엔지니어링 플라스틱(engineering plastic) 재질인 것이 바람직하며, 내주면이 곡면으로 처리되는 것이 바람직하다.

또한 본 발명은, 리프트 핀이 관통하는 핀 홀을 가지는 실린더 형상의 홀더 몸체; 상기 리프트 핀이 관통하는 관통홀을 가지고, 상기 홀더 몸체의 단부에 결합되며, 상기 관통홀의 내경은 상기 홀더 몸체의 핀 홀의 내경보다 작으며, 상기 홀더 몸체보다 마찰계수가 작은 재질로 이루어진 홀더 캡을 포함하는 리프트 핀 홀더를 제공한다.

이때 상기 홀더 몸체와 상기 홀더 캡은 나사결합이나 볼트에 의해 결합될 수 있으며, 상기 홀더 몸체 및 상기 홀더 캡은 서로 대응하는 위치에 형성된 끼움홈 및 끼움돌기에 의하여 결합할 수도 있다.

상기 홀더 캡은 엔지니어링 플라스틱(engineering plastic) 재질인 것이 바람직하며, 상기 홀더 캡의 내주면은 곡면으로 처리되는 것이 바람직하다.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.

제1 실시예

도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 리프트 핀 홀더(100)와 이에 결합하는 리프트 핀(20)을 도시한 것이다.

상기 리프트 핀 홀더(100)는 대략 실린더 형상으로서, 길이방향의 핀홀(116)을 가지는 홀더 몸체(110), 상기 홀더 몸체(110)의 내주면에서 축방향으로 돌출되는 상부돌출부(112), 상부돌출부(112)의 하부로 소정거리 이격되어 설치되는 마찰저감부재(130)를 포함한다.

상기 마찰저감부재(130)는 환형으로서 상부돌출부(112)와 함께 리프트핀의 승강운동을 가이드하는 역할을 하며, 홀더 몸체(110)의 내주면 하단에 형성된 제1 단차(114)에 삽입되며, 내경이 홀더 몸체(110)의 내경보다 작기 때문에 홀더 몸체(110)의 내주면으로 일부분이 돌출된다.

상기 제1 단차(114)에 삽입된 마찰저감부재(130)를 지지하기 위하여 홀더 몸체(110)에는 커버(120)가 결합된다. 즉, 환형의 마찰저감부재(130)를 상기 제1 단차(114)에 삽입한 후 커버(120)를 이용하여 마찰저감부재(130)의 하부를 지지하며, 커버(120)는 볼트(140)를 이용하여 홀더 몸체(110)에 결합시킨다.

리프트 핀 홀더(100)에 삽입된 리프트 핀(20)은 하부에서 마찰저감부재(130)와 접하게 되는데, 이때 리프트 핀(20)과 마찰저감부재(130) 사이의 마찰력을 줄이기 위해서 제1 단차(114)의 폭과 깊이에 적당한 마진을 주어 삽입된 마찰저감부재(130)가 다소 움직일 수 있도록 하는 것이 바람직하다.

또한 리프트 핀 홀더(100)의 외주면이 전체적으로 평탄하도록 홀더몸체(110)의 외주면에는 커버(120)가 인입되는 제2 단차(118)를 형성하는 것이 바람직하다.

한편, 홀더 몸체(110)와 커버(120)는 반드시 볼트(140)에 의해 결합되어야 하는 것은 아니므로, 도 6 에 도시된 바와 같이 홀더 몸체(110)의 하단 외주면과 커버(120)의 내주면에 나사산을 형성하여 나사결합을 할 수도 있다.

또한 도 7에 도시된 바와 같이 커버(120)의 내주면에 끼움돌기(122)를 형성하고 홀더 몸체(110)의 외주면에 끼움홈(124)을 형성하여 양자를 꽉끼움방식으로 결합할 수도 있다. 이때 끼움돌기(122)가 홀더 몸체(110)에 형성되고 끼움홈(124)이 커버(120)에 형성될 수 있음은 물론이다.

한편 본 발명은 홀더 몸체(110)의 내주면에 형성되는 돌출부와 리프트 핀 (20) 사이의 마찰력을 줄임으로써 리프트 핀의 승하강 운동을 원활히 하기 위한 것이므로, 상기 마찰저감부재(130)는 리프트 핀(20)과의 마찰력을 줄일 수 있는 재질이어야 한다.

따라서 적어도 세라믹 재질로 제조되는 리프트 핀 홀더(100)의 홀더 몸체(110) 보다는 마찰계수가 작은 재질인 것이 바람직하다. 본 발명에서는 이를 위해 엔지니어링 플라스틱(engineering plastic)을 이용한다.

엔지니어링 플라스틱은 기존의 플라스틱과는 달리 강도, 탄성뿐만 아니라 충격, 마모, 열, 추위, 약품, 피로 등에 강하며, 전기절연성이 뛰어난 플라스틱으로서, 고분자구조의 고기능 수지이며 공업재료나 구조재로 사용된다. 이러한 엔지니어링 플라스틱은 크게 폴리아미드(polyamide), 폴리에스테르(polyester), 폴리카르보네이트(polycarbonate), 폴리테레프탈산부틸렌(polybutylene terephthalate/ PBT), 폴리산화페닐렌(polyphenylene oxide/PPO) 등이 있으며, 내열성, 충격강도, 내마모성이 한층 강화된 폴리에테르에테르케톤(PEEK), 폴리에테르케톤(PEK), 폴리페닐렌술피드(PPS) 등도 있다.

이들 물질의 공통점은 종래의 플라스틱이 수십에서 수백 정도의 분자량을 갖는 물질인 데 비해 분자량이 수십만에서 수백만에 이르는 고분자물질이라는 점이다. 고분자물질이기 때문에 구조재로서는 적당한 강도, 탄성 및 내마모성을 얻을 수 있다.

이와 같이 통상 세라믹 재질인 홀더 몸체(110)의 내주면에 홀더 몸체(110) 보다 마찰계수가 작은 마찰저감부재(130)를 설치하면, 도 8에 도시된 바와 같이 리프트 핀(20)이 기울어지더라도 리프트 핀(20)이 마찰저감부재(130)의 내주면과 접하기 때문에 세라믹재질의 홀더 몸체(110)와 직접 접하는 경우에 비하여 훨씬 적은 마찰력이 발생하게 된다.

또한 마찰저감부재(130)의 내주면을 라운드 처리하여 곡면으로 형성하면 보다 마찰력을 줄일 수 있다.

따라서 리프트 핀(20)이 마찰력 때문에 홀더 몸체(110)에 끼이는 현상이 방지될 수 있으며, 반복사용으로 인해 마찰저감부재(130)가 마모된다고 하더라도 내마모성이 뛰어난 엔지니어링 플라스틱을 이용하기 때문에 사용가능시간이 종래에 비해 크게 연장될 수 있다.

한편 환형의 마찰저감부재(130)가 반드시 원형의 단면을 가져야 하는 것은 아니며 도 9에 도시된 바와 같이 원형이 아닌 단면을 가지는 마찰저감부재(130)가 이용될 수도 있다.

제2 실시예

본 발명의 제1 실시예는 리프트 핀 홀더(100)의 홀더 몸체(110)의 하단에 환형의 마찰저감부재(130)를 설치하고 이를 커버(120)를 이용하여 고정하는 방식인데 반하여, 본 발명의 제2 실시예는 도 10에 도시된 바와 같이 홀더 몸체(110)의 하단에 소정의 형상을 가지면서 마찰저감부재의 역할을 하는 홀더 캡(150)을 결합 시킨 점에 특징이 있다.

즉, 환형의 마찰저감부재를 별도로 이용하지 않고, 홀더 몸체(110)의 내경보다 작은 내경의 관통홀을 가지는 홀더 캡(150)을 홀더 몸체(110)의 하단에 결합하는 한편, 리프트 핀(20)과의 마찰력을 줄이기 위하여 내주면을 라운드 처리하여 곡면을 가지도록 한다. 이때 홀더 캡(150)은 엔지니어링 플라스틱 재질로 제조되는 것이 바람직하다.

홀더 몸체(110)와 홀더 캡(150)의 결합방식은 제1 실시예에서 홀더 몸체(110)와 커버(120)를 결합하는 방식과 유사하다. 따라서 볼트를 이용하여 결합할 수도 있고, 홀더 캡(150)과 홀더 몸체(110)를 나사결합할 수도 있으며, 끼움돌기와 끼움홈을 이용하여 꽉끼움 방식으로 결합할 수도 있다.

제3 실시예

본 발명의 제3 실시예는 도 11에 도시된 바와 같이 홀더 몸체(110)의 상단 또는 하단에서 소정거리 이격된 핀홀(116)의 내벽에 원주방향으로 요홈부(119)를 형성한 후 상기 요홈부(119)에 환형의 마찰저감부재(130)를 끼워서 결합하는 점에 특징이 있다.

이 경우에 핀홀(116)에 마찰저감부재(130)를 삽입하기 위해서는 탄성을 가지면서도 일부가 절단된 환형의 마찰저감부재(130)를 사용하여야 한다.

따라서 요홈부(119)에 삽입할 때는 힘을 가하여 상기 마찰저감부재(130)를 수축시킨 상태에서 핀홀(116)의 상단 또는 하단에서부터 삽입시켜야 하며, 삽입된 마찰저감부재(130)는 요홈부(119)에 인입된 순간 자체 탄성으로 인해 원래의 직경으로 회복되기 때문에 요홈부(119)에서 빠지지 않게 된다.

본 발명에 따르면 기판안치대가 승하강할 때 리프트 핀과 리프트 핀 홀더 사이의 마찰력이 줄어들게 되므로 리프트 핀이 리프트 핀 홀더에 끼이는 현상이 방지되어 기판을 안정적으로 안치할 수 있을 뿐만 아니라 리프트 핀의 파손이 방지된다.

Claims (16)

1. 리프트 핀이 관통하는 핀 홀을 가지는 실린더 형상의 홀더 몸체;

   상기 핀 홀의 내벽에서 축방향으로 상기 핀 홀의 내주면보다 중심축을 향해 돌출되도록 결합되고, 상기 홀더 몸체보다 마찰계수가 작은 재질의 마찰저감부재;

   상기 홀더 몸체에 결합하며, 상기 마찰저감부재를 상기 홀더 몸체의 내벽에서 이탈되지 않도록 지지하는 커버를 포함하고,

   상기 마찰저감부재는 엔지니어링 플라스틱(engineering plastic) 재질인 것을 특징으로 하는 리프트 핀 홀더
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 핀 홀의 내주면에는 원주방향의 단차가 형성되고, 상기 마찰저감부재는 상기 단차에 삽입되는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 홀더
3. 제 2 항에 있어서,

   상기 단차는 상기 핀 홀 내벽의 상부 또는 하부에 형성되는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 홀더
4. 제 2 항에 있어서,

   상기 마찰저감부재는 상기 핀 홀 내벽의 상부 또는 하부에 결합되는 리프트 핀 홀더
5. 제 1 항에 있어서,

   상기 마찰저감부재의 단면은 원형인 것을 특징으로 하는 리프트 핀 홀더
6. 제 1 항에 있어서,

   상기 마찰저감부재는 상기 핀 홀의 내벽을 따라 밀착하는 환형부재인 것을 특징으로 하는 리프트 핀 홀더
7. 삭제
8. 제 1 항에 있어서,

   상기 홀더 몸체와 상기 커버 사이는 나사결합이나 볼트에 의해 결합되는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 홀더
9. 제 1 항에 있어서,

   상기 홀더 몸체와 상기 커버는 서로 대응하는 위치에 형성된 끼움홈 및 끼움돌기에 의하여 결합하는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 홀더
10. 삭제
11. 제1항에 있어서,

    상기 마찰저감부재의 내주면은 곡면으로 처리되는 리프트 핀 홀더
12. 리프트 핀이 관통하는 핀 홀을 가지는 실린더 형상의 홀더 몸체;

    상기 리프트 핀이 관통하는 관통홀을 가지고, 상기 홀더 몸체의 단부에 결합되며, 상기 관통홀의 내경은 상기 홀더 몸체의 핀 홀의 내경보다 작고, 내주면은 곡면으로 형성되며, 상기 홀더 몸체보다 마찰계수가 작은 재질로 이루어진 홀더 캡을 포함하고,

    상기 홀더 캡은 엔지니어링 플라스틱(engineering plastic) 재질인 것을 특징으로 하는 리프트 핀 홀더
13. 제12 항에 있어서,

    상기 홀더 몸체와 상기 홀더 캡은 나사결합이나 볼트에 의해 결합되는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 홀더
14. 제12 항에 있어서,

    상기 홀더 몸체 및 상기 홀더 캡은 서로 대응하는 위치에 형성된 끼움홈 및 끼움돌기에 의하여 결합하는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 홀더
15. 삭제
16. 삭제

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