KR101206979B1 - 기판 이송장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 식각에 의한 부식에 강한 탄성력을 발생시키는 고정수단을 이용해 기판을 고정시켜 운반하게 함으로써 기판 고정력과 부식에 강한 기판 이송장치에 관한 것이다.
본 발명의 기판 이송장치는, 판체 형태의 플레이트 공간부 내에 기판이 삽입되고, 상기 공간부에 삽입된 기판의 바깥둘레부를 클램프 형태로 고정하여 운반하는 공지의 기판 이송장치에 있어서,
상기 공간부 둘레를 따라 배치되며, 블록과, 상기 블록 내에서 회동되게 위치되는 가압대와, 상기 가압대를 블록에 회동 가능하게 고정하는 고정대로 이루어지는 고정구;를 포함하며,
상기 고정구는 외압으로 가압대를 가압하여 가압대의 축과 상기 축이 억지 끼움 방식으로 결합된 고정대의 마찰 저항에 의해 제한적으로 가압대가 회동하며 상기 공간부에 삽입된 기판을 고정하는 것을 특징으로 한다.

Description

기판 이송장치{SUBSTRATE TRANSFER APPARATUS}

본 발명은 기판 이송장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 식각에 의한 부식에 강한 탄성력을 발생시키는 고정수단을 이용해 기판을 고정시켜 운반하게 함으로써 기판 고정력과 부식에 강한 기판 이송장치에 관한 것이다.

평판디스플레이패널이나 반도체 제조공정 중 유리 기판 또는 웨이퍼 상에 소정 패턴을 형성하는 식각공정이 있다.

또한 공정이 끝난 기판은 다음 공정을 위해 이송 장치에 의해 이송되는데, 종래에는 기판을 이송 장치에 고정하기 위한 고정구에 탄성력을 부여하기 위해 금속재 스프링을 이용하였다.

그러나 스프링이 탄성력을 발생하는 유리한 조건이 있으나 기판이 식각 공정을 거치는 과정에 식각액이 고정구 또는 스프링에 붙어 고정구 또는 스프링을 부식시켜 부식으로 인한 이송장치 손상과 부식물이 기판에 붙어 기판 불량의 원인이 되는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 식각에 의한 부식에 강한 탄성력을 발생시키는 고정수단을 이용해 기판을 고정시켜 운반하게 함으로써 기판 고정력과 부식에 강한 기판 이송장치를 제공함에 있다.

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상기와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명의 기판 이송장치는, 판체 형태의 플레이트 공간부 내에 기판이 삽입되고, 상기 공간부에 삽입된 기판의 바깥둘레부를 클램프 형태로 고정하여 운반하는 공지의 기판 이송장치에 있어서,
상기 공간부 둘레를 따라 배치되며, 블록과, 상기 블록 내에서 회동되게 위치되는 가압대와, 상기 가압대를 블록에 회동 가능하게 고정하는 고정대로 이루어지는 고정구;를 포함하며,
상기 고정구는 외압으로 가압대를 가압하여 가압대의 축과 상기 축이 억지 끼움 방식으로 결합된 고정대의 마찰 저항에 의해 제한적으로 가압대가 회동하며 상기 공간부에 삽입된 기판을 고정하는 것을 특징으로 한다.

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본 발명의 기판 이송장치에 의하면, 식각에 의한 부식에 강한 탄성력을 발생시키는 고정수단을 이용해 기판을 고정시켜 운반하게 함으로써 기판 고정력과 부식에 강한 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 기판 이송장치를 나타내는 측면도.
도 2는 도 1에 도시된 고정구를 나타내는 사시도.
도 3 및 도 4는 본 발명에 따른 작동 상태를 나타내는 단면도.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예들을 첨부된 도면을 참고하여 더욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시 예들은 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 설명하는 실시 예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예들은 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 상세하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에 나타난 각 요소의 형상은 보다 분명한 설명을 강조하기 위하여 과장될 수 있다.

본 발명의 기판 이송장치(10)는 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 판체 형태의 플레이트(110) 공간부(111) 내에 기판(S)이 삽입되고, 상기 공간부(111)에 삽입된 기판(S)의 바깥둘레부를 클램프 형태로 고정하여 운반하는 공지의 기판 이송장치에 있어서, 상기 공간부(111) 둘레를 따라 배치되며, 블록(121)과, 상기 블록(121) 내에서 회동되게 위치되는 가압대(122)와, 상기 가압대(122)를 블록(121)에 회동 가능하게 고정하는 고정대(125)로 이루어지는 고정구(120);를 포함하며, 상기 고정구(120)는 외압으로 가압대(122)를 가압하여 가압대(122)의 축(123)과 상기 축(123)이 억지 끼움 방식으로 결합된 고정대(125)의 마찰 저항에 의해 제한적으로 가압대(122)가 회동하며 상기 공간부(111)에 삽입된 기판(S)을 고정하는 구성이다.

주지된 바와 같이 상기 플레이트(110)는 기판 식각액의 부식성에 우수한 소재를 이용하게 된다.

상기 고정구(120)에 대해 구체적으로 설명하면, 상기 블록(121)은 각 형태를 한 상면이 단차를 이루면서 일측면이 개방되게 홈이 형성되고, 상기 가압대(122)는 상기 홈 내부에 구비되어 상하 방향으로 일정한 회전을 하게 되며, 상기 고정대(125)는 가압대(122)를 블록(121)에 회동 가능하게 고정하기 위해 상기 블록(121) 내에 볼트(미도시)로 고정된다. 또한 상기 가압대(122)는 양측으로 축(123)이 돌출 형성되어 상기 축(123)이 고정대(125)에 억지 끼움으로 회동 가능하게 결합 된다. 여기서 상기 가압대(122)는 외압(P)으로 고정대(125)에 대해 제한적으로 회전하도록 되어 있다.
그리고 가압대(122)의 전단 끝부분에는 "「" 자 형태의 가압바(124)가 형성되어 상기 가압바(124)를 통해 기판(S)을 고정지지하도록 되어 있다. 여기서 상기 가압대(122)의 저면은 가압대의 회전시 회전이 수월하게 이루어질 수 있도록 곡선 형태를 하는 것이 바람직하다.

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또한 상기 가압대(122)의 가압바(124)는 하단 끝부분이 탄성력을 갖는 고무, 우레탄 등의 부드러운 소재로 형성되는 것이 바람직하다. 이는 기판(S)과 밀착시 가압바(124)에 의해 기판(S)이 손상되는 것을 방지하기 위함이다.

그리고 상기 가압대(122)의 축(123)과 고정대(125)는 서로 억지 끼움 방식에 의해 결합되어 있어서 가압대(122)에 일정량 이상의 외압(P)이 발생하지 않을 경우 회동하지 않도록 되어 있다.

예컨대 도 3에 도시된 바와 같이 기판(S)이 공간부(111) 내에 삽입되지 않은 상태에서는 가압대(122)는 축(123)을 기준으로 블록(121)에 대해 일정한 경사를 이루며 공간부를 개방한 형태로 위치하고 있게 되는데, 이때, 도 4에 도시된 바와 같이 기판(S)이 공간부(111) 내에 위치하게 되면, 외압(P)이 작용하여 가압대(122)를 가압하여 강제적으로 회전되게 하여 기판(S)을 가압대(122)의 가압바(124)로 고정지지하는 것이다.

또한 기판(S)을 이탈시킬 때도 같은 방식으로 외압(P)을 작용시켜 가압대(122)를 개방시키면 된다.

이와 같이 간단한 구조로 결합된 가압대(122)와 고정대(125)를 이용해 기판(S)을 고정함으로써 식각액에 의한 고정구(120)의 부식을 방지할 수 있게 되므로 부식물로 인한 기판 손상 및 이송장치 손상을 방지할 수 있어 공정 수율을 증대시킬 수 있게 된다.

본 발명은 상기에 기술된 실시예들에 의해 한정되지 않고, 당업자들에 의해 다양한 변형 및 변경을 가져올 수 있으며, 이는 첨부된 청구항에서 정의되는 본 발명의 취지와 범위에 포함된다.

Claims (3)

1. 판체 형태의 플레이트 공간부 내에 기판이 삽입되고, 상기 공간부에 삽입된 기판의 바깥둘레부를 클램프 형태로 고정하여 운반하는 공지의 기판 이송장치에 있어서,
   상기 공간부 둘레를 따라 배치되며, 블록과, 상기 블록 내에서 회동되게 위치되는 가압대와, 상기 가압대를 블록에 회동 가능하게 고정하는 고정대로 이루어지는 고정구;를 포함하며,
   상기 고정구는 외압으로 가압대를 가압하여 가압대의 축과 상기 축이 억지 끼움 방식으로 결합된 고정대의 마찰 저항에 의해 제한적으로 가압대가 회동하며 상기 공간부에 삽입된 기판을 고정하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
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