KR101203481B1 - 바이몰프 광학소자 - Google Patents

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KR101203481B1
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소시에떼 유로뺀느 드 시스뗌 옵띠끄
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Abstract

본 발명은 변형가능한 광학소자 및 전극을 구비한 압전 세라믹으로 제조된 능동소자를 포함하는 바이몰프 광학 장치로, 상기 능동소자는 한쌍의 제 1소자에 대한 압축운동 및 한쌍의 제 2소자에 대한 팽창운동을 생성하도록 쌍으로 및 반대로 제어되는 바이몰프 광학 장치에 있어서, 상기 광학소자(1)는 적어도 제 1 및 제 2양측면(2, 3)과 함께, 광학 능동형 제 1주표면(6) 및 상기 제 1주표면과 대향인 제 2주표면(7)을 구비하며, 상기 세라믹 능동소자는 상기 제 1 및 제 2측면(2, 3) 상에서 서로 대면하여 배치된 2쌍 이상의 압전 세라믹 바(21, 22; 31, 32)를 포함하고, 각 쌍은 그의 중립축을 구성하는 광학소자(1)의 중앙표면 양측 상의 제 1 및 제 2측면(2, 3) 중 하나 상에 배치된 2개의 바(21, 22; 31, 32)를 포함하는 것을 특징으로 하는 바이몰프 광학장치에 관한 것이다.

Description

바이몰프 광학소자{A BIMORPH OPTICAL ELEMENT}
본 발명은 반대로(in opposition) 작동되는 압전 세라믹으로 제조된 능동소자에 의해 제어되는 바이몰프 광학소자를 제공한다.
유럽특허출원 EP 1 723 461은 전극을 가지며 중심 코어에 의해서 이격된 2개의 세라믹층이 존재하는 바이몰프 미러에 관한 것이다.
그러한 미러는 적어도 1층은 미러로서 사용되는 2개의 소위 "표(skin)"층을 갖는 적층구조의 형태로 조립되며, 2개의 세라믹층 및 이 2개의 세라믹층 사이에 개재되는 중심 코어를 구비한다.
적층구조를 실시하는 것은 비교적 복잡하며 어렵다.
또한, 바이몰프 미러용으로 사용한 적층구조의 개념에 의하면 그러한 미러의 치수는 세라믹 소자의 치수 및 그의 배수로 제한을 받으며, 연마되는 미러의 품질은 적층구조의 존재에 의해서 제한을 받는다.
종래 기술에 알려진 해법은 항상 작업 광학면과 평행한 면 상에 조립된 세라믹 소자를 기반으로 하고 있다.
모든 상황 하에서, 세라믹은 광학면과 평행한 면에 접착 접합되며, 그로 인해 광학면에 수직인 방향으로 적층되는 구조를 가져온다.
그러한 구조는 세라믹이 광학면과 대향인 면에 접착 접합되는 유럽특허출원 EP 1 835 302에서도 적용하고 있다.
세라믹 바가 바이몰프로 되면, 즉 이 바가 서로 등을 맞댄 2조각의 세라믹 고착물을 포함하면, 조립체의 온도가 변할 경우에 바이메탈 유형의 영향에 의해서 안정성에 제한이 가해진다.
또한, 변형가능한 미러가 세라믹 소자의 치수보다 큰 치수로 되어 있으면(상업적으로 구득할 수 있는 세라믹의 제한된 치수로 인해서 종종 발생됨), 제조업자는 필요한 치수를 얻기 위해서 다수의 세라믹 조각을 한줄로 놓을 필요가 있다. 유럽특허출원 EP 1 835 302에서, 세라믹 조각 간의 그러한 접합부는 비광학 후면에 배치되며, 미러의 곡률을 변화시키기 위해 세라믹에 응력이 가해지면 불연속성은 분명해진다.
본 발명은 적어도 부분적으로, 그러한 적층소자가 더 이상 존재하지 않는 광학소자에 대해 압전소자가 측면에 배치되는 구조를 적용함으로써, 상술한 결점중 적어도 하나를 회피하고자 하는 것으로, 그러한 구조는 압전소자를 결합시키는데 사용한다.
그러므로, 본 발명은 변형가능한 광학소자 및 전극을 구비한 압전 세라믹으로 제조된 능동소자를 포함하는 바이몰프 광학 장치로, 상기 능동소자는 한쌍의 제 1소자에 대한 압축운동 및 한쌍의 제 2소자에 대한 팽창운동을 생성하도록 쌍으로 및 반대로 제어되는 바이몰프 광학 장치에 있어서, 상기 광학소자는 적어도 제 1 및 제 2양(兩)측면과 함께, 광학 능동형 제 1주표면 및 상기 제 1주표면과 대향인 제 2주표면을 구비하며, 상기 세라믹 능동소자는 상기 제 1 및 제 2측면 상에서 서로 대면하여 배치된 2쌍 이상의 압전 세라믹 바를 포함하고, 각 쌍은 그의 중립축을 구성하는 광학소자의 중앙표면 양측 상의 제 1 및 제 2측면 중 하나 상에 배치된 2개의 바를 포함하는 바이몰프 광학장치를 제공한다.
본 발명의 장치에서, 바이몰프가 변형가능한 광학소자의 중립축의 양측에 배치된 한쌍의 대향 세라믹으로 구성되며, 따라서 하나의 소자는 압축으로 다른 소자는 팽창, 및 그 역으로, 이들은 반대로 작동하게 되기 때문에, 상술한 원리는 바이몰프에 필연적이다.
또한, 세라믹은 광학면에 평행한 면 및 광학면에 평행한 면들 사이에 접착 접합되지 않으며, 오히려 측면 상에 옆으로 배치된다. 그러므로, 구조는 더 이상 제한을 받지 않는다.
유럽특허출원 EP 1 835 302에 기술된 장치와 같은 종래의 장치와는 달리, 미러를 만곡시키기 위해 더 이상 세라믹 곡률은 직접 이용하지 않는다.
세라믹 바는 그 자신의 측면을 통해서 광학소자의 측면에 접착 접합된다. 종래기술에서, 접합면은 평면으로 유지되지 않으며, 오히려 곡률을 따르는데, 이는 차례로 미러의 만곡을 초래한다.
본 발명에서, 세라믹 바의 측면은 평면으로 유지되며, 세라믹 바 상에서의 작용은 그들의 길이에 변화를 일으킨다. 바의 반작용은 길이가 변화되어 곡률을 만드는 것이다. 미러의 측면 상에서의 바의 작용에 의해 생성된 곡률은 예상할 수 있었던 바와는 달리, 미러의 중심에 대해 균일하게 분포된다.
그러므로, 본 발명은 독창적인 기능 분석에서 기인한다.
이 배열은 다수의 이점도 갖고 있다.
가장 중요한 점은 세라믹 소자가 외측면에, 따라서 유럽특허출원 EP 1 723 461에 기술된 적층구조와 비교하여 중립축의 양측 및 중립축으로부터 가능한 한 멀리 배치되며, 그러므로 미러 상에서의 작용을 최대화할 수 있는 것이다.
세라믹과 미러 간의 개선된 결합으로 인해, 그러한 작용은 미러의 만곡시에 미러의 보다 우수한 정확도 및 보다 우수한 안정성을 가져온다.
세라믹이 더 이상 광학면의 아래나 위에 존재하지 않으므로, 세라믹 소자들 간의 접합은 덜 볼 수 있으며, 그러한 접합의 효과는 미러의 폭에 걸쳐서 고르게 작용한다.
유럽특허출원 EP 1 835 302의 기술과는 달리, 본 발명의 구조는 광학소자의 중립축에 대해 대칭이며, 그로 인해 어떤 바이메탈 유형의 열적인 영향(서로 접착 접합되는 다수의 세라믹 소자로 산업용 바를 제조할 수 있다 해도)을 피함으로써, 매우 우수한 열적 안정성을 제공한다.
이러한 이점들은 전통적인 미러가 바이몰프 미러로 변형될 때에 특히 이익적인데, 왜냐하면 후면에 도포되는 세라믹(모노몰프 또는 바이몰프) 용액은 약한 적응성을 가져서, 보다 작은 동적 범위를 가져오며, 바이메탈 유형의 열적인 영향을 받기 때문이다.
적어도 하나의 제어 바는 상기 주표면과 공면(coplanar)인 면을 가질 수 있다.
상기 장치에서, 하나 이상의 상기 주표면은 직선 세그먼트를 따라서 제 1 및 제 2측면과 만나며, 상기 세라믹 바 중 적어도 일부는 직선이며, 상기 직선 세그먼트와 평행하게 배치되는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 장치에서, 하나 이상의 상기 주표면은 오목 또는 볼록인 곡선 세그먼트를 따라서 제 1 및 제 2측면과 만나며, 상기 세라믹 바 중 적어도 일부는 직선이며, 상기 곡선 세그먼트의 평균 방위에 평행하게 배치되는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 장치에서, 하나 이상의 상기 주표면은 오목 또는 볼록인 곡선 세그먼트를 따라서 제 1 및 제 2측면과 만나며, 상기 세라믹 바 중 적어도 일부는 곡선이며, 상기 곡선 세그먼트를 따르는 그러한 방식으로 배치되는 것을 특징으로 할 수 있다.
하나 이상의 세라믹 바는 한줄로 또는 중첩해서 배치되는 2개 이상의 압전 세라믹 소자를 포함할 수 있다.
이익적으로, 상기 광학소자는 직사각형 평행육면체, 바람직하게는 형상이 사각형 또는 직사각형이며, 상기 제 1 및 제 2측면은 상기 소자가 직사각형일 때 그의 긴 측면을 따라 연장된다.
상기 직사각형 평행육면체의 길이(L) 대 폭(ℓ)의 비는 1 내지 100의 범위 내, 보다 바람직하게는 3 내지 50의 범위 내, 바람직하게는 3 내지 25의 범위에 있는 것이 이익적이다.
상기 폭(ℓ)은 가령, 10밀리미터(㎜) 내지 80㎜의 범위 내에 있을 수 있다.
상기 길이(L)는 가령, 40㎜ 내지 1500㎜의 범위 내에 있을 수 있다.
상기 광학소자의 두께(e)는 가령, 5㎜ 내지 100㎜의 범위 내에 있을 수 있다.
상기 광학 장치는 제 3 및 제 4양측면 상에 동일한 방식으로 배치된 2쌍 이상의 상기 압전 세라믹 바를 구비할 수 있다.
본 발명의 장치는 2개 또는 4개의 측면에 단순히 접합되는 반대작동식 압전 액추에이터를 실현하므로, 변형가능한 임의의 광학장치로 실현 가능하다.
예를 들면, 광학소자는 연마되는 적어도 제 1주표면을 갖는 미러 본체일 수 있다.
예를 들면, 하나 이상의 격자 패턴이 존재하는 적어도 제 1주표면을 갖는 격자일 수 있다.
본 발명에 의하면, 압전 세라믹으로 제조된 능동소자에 의해 제어되는 바이몰프 광학소자가 제공된다.
도 1은 가령, 미러인 본 발명의 장치의 사시도이다.
도 2는 도 1의 측면도이다.
도 3은 바가 광학소자의 표면으로부터 옵셋되는 변형을 보이는 사시도이다.
도 4a 및 4b는 전극쌍의 변형예를 보이는 사시도이다.
도 5는 4개의 측면상에 실시된 전극쌍을 보이는 사시도이다.
도 6a 내지 6c는 하나 이상의 주표면이 만곡되는 변형예를 보이는 사시도이다.
본 발명의 다른 특징과 이점은 도면을 참조하여 이루어지는 다음의 설명을 통해서 보다 잘 언급되어 있다.
도 1은 직사각형의 긴 측면 및 2개의 엔드 측면(4, 5)을 따라서 2개의 주측면(main lateral faecs)(2, 3)을 구비하는 직사각형 형상의 변형가능한 광학소자(1)를 나타낸다. 상부면(6)은 광학기능을 갖고, 가령 이것은 종방향 또는 횡방향으로 평면이거나 (오목 또는 볼록으로)만곡되는 미러를 형성하도록 연마되며, 직사각형의 긴 측면에 수직이거나 그와 평행인 라인을 갖는 하나 이상의 격자패턴을 지님으로써, 가령, 종방향 또는 횡방향으로 평면이거나 (오목 또는 볼록으로)만곡되고 반사 또는 회절로 동작하는 격자를 형성하도록 한다.
측면(2)은 광학소자(1)의 중앙평면(P)(도 2에 일점 쇄선으로 도시함)과 거의 평행이며 중립축(평면들(6, 7)이 평면이거나 단지 약간 만곡되는 경우)을 제공하고, 바람직하게는 대칭으로 이격되는 제 1쌍의 압전 바(21, 22)를 구비한다. 측면(3)에 고정된 바(31, 32)에 대해서도 동일하게 적용한다. 하나 이상의 면이 만곡되면, 중립축은 평면이 아닌 중간면이 된다.
표면(6)은 평면, 원통형, 도넛형, 구면, 또는 비구면(가령, 타원형, 포물선형, 또는 쌍곡선형)일 수 있으며, 따라서 일정하거나 일정하지 않은 곡률 반경을 갖는다. 도시한 예에 있어서, 상부면(6)은 평면이며 직선 세그먼트(62, 63, 64, 65)에 의해서 규정된다.
하부면(7)은 선택적으로 광학기능을 지닐 수 있고, 상부면(6)과 마찬가지로 평면일 수 있으며, 또는 (오목 또는 볼록으로)만곡될 수 있다.
상부면(6)(또는 하부면(7))의 곡률 반경은 가령, 10㎜ 내지 압전 바를 갖지 않는 방향으로 ∞(평면)(여기서는 횡방향면(4, 5))의 범위 내, 및 100㎜ 내지 압전 바를 지닌 방향으로 ∞(여기서는 종방향면(2, 3))의 범위 내에 있을 수 있다.
그러한 곡률(들)은 사각형상인 광학소자(1)에 대해서도 실시할 수 있다.
이 곡률은 압전소자(21, 22, 31, 32)의 쌍에 의해서 생성된 곡률과 동일한 방향으로 배향되거나, 또는 이 곡률은 그에 수직이다.
각 바(21, 22, 31, 32)는 한조각 또는 여러 조각이 한줄로 배치된 압전 세라믹에 의해서 구성된다.
이들 압전 바(21, 22, 31, 32)는 상기 면(6, 7)과 동일 레벨로 되어, 중립축으로부터 가능한 한 멀리 이들이 이격되도록 하는 기능을 하며, 바에 가해진 공급 제어 신호를 위해 광학소자(1)에 대해 최대 곡률을 얻는 한편, 바의 접착 접합에서의 응력은 최소화하는 것이 바람직하다.
바(21, 22)는 대향으로 배치되어 있으며, 가령 이들의 전극(도시 생략)에 가해진 동일한 제어신호에 의해 도 2에 도시한 바와 같이, 바(21)는 압축되고 바(22)는 팽창되거나, 또는 그 역으로 될 수 있다. 도 2는 평면에서 시작하여 오목한 형상(C)을 광학소자(1)에 제공하도록, 이것의 광학 능동면(6)의 곡률을 변화시키기 위한 광학소자(1)의 곡률을 (과장된 방식으로)나타내는 측면도이다.
오목하거나 볼록한 면(6)에서 시작되면, 진폭의 수정 없이도 곡률을 변화시킬 수 있는 범위를 상쇄하는(offset) 것이 가능하다.
바(21, 22, 31, 32)는 측면(2, 3)에 접착 접합된다. 이들 바는 상기 측면의 전체 길이에 걸쳐서 연장되는 것이 바람직하다. 미러와 함께, 접착 접합은 상부면(6)이 연마된 후에 실시함으로써, 특히 부품(1)이 단일품이기 때문에 제조를 용이하게 할 수 있는 것이 바람직하다.
이러한 특징은 기존의 수동 미러를 능동 미러로 변형시키는 것을 가능케 하며, 이는 적층구조의 경우 불가능하다.
다른 광학소자에 대해, 특수 격자에 있어서, 압전 바(21, 22, 31, 32)는 상부면(6)이 마무리 가공된 후에, 즉, 광학 특성이 그에 부여된 후에 접착 접합될 수 있다.
적층구조의 미러와 비교하여, 세라믹이 미러의 표면을 덮지 않으므로, 사용한 세라믹 조각은 보다 적으며, 그로 인해 코스트를 저감한다. 그러므로, 그들의 치수는 곡률에 대한 바람직한 값으로 조정할 수 있다. 가령, 바는 2㎜ 내지 30㎜ 범위 내에 있는 폭(ℓ0)과 2㎜ 내지 30㎜ 범위 내에 있는 높이(h0)를 가질 수 있다. 또한, 미러를 구성하는 표층 밑에는 전극이 없기 때문에, 전극들 간의 접합으로 인한 임의의 국부적인 변형은 더 이상 존재하지 않는다.
광학소자(1)는 광학용으로 사용하기에 적합한 임의의 물질, 가령, 글라스, 실리카, 규소, 탄화 규소, 게르마늄, 레이저 글라스, ZnS 및 ZnSe, 및 금속으로 제조할 수 있다.
도 3은 세라믹 바(21, 22, 31, 32)가 표면(6, 7)으로부터 가령, 10㎜ 이하인 거리(d)를 통해서 이격되고, 가령 0.1㎜ 내지 4㎜의 범위 내에 있는 변형을 나타낸다. 이것은 상부면(6)이 볼록 또는 오목인 경우에 특히 적절하다.
도 4a 및 4b는 한줄(도 4a)로 배치되는 개별 바(211, 212, 213, 221, 222, 223, 311, 312, 313 등) 또는 중첩(도 4b)해서 배치되는(21, 21', 22, 22' 참조) 본 발명의 변형예를 나타내는 사시도이다.
다수의 압전 세라믹 바가 (긴 미러용으로)한줄로 서로 접착 접합되면, 광학소자(1)의 측면(2, 3) 상에 형성되는 접합부에 의해 선택적 능동면(6) 내의 평탄면에는 결점이 생기지 않게 된다. 그러한 결점은 시간이 지나도 생기지 않는다(도 4a).
바(21, 22, 31, 32)는 서로 접착 접합되는 2개의 개별 바를 중첩하여 형성할 수도 있다(도 4b).
도 5는 사각형 또는 직사각형인 광학소자(1)의 면(4, 5)에 접착 접합된 부가적인 압전 바(41, 42, 51, 52)를 가짐으로써 수직인 2개의 축을 따라 만곡될 수 있으며, 바람직하게는 표면(6, 7)이 평면이거나 단지 약간 만곡된 경우에 중립축을 구성하는 중앙평면(P)에 대해 대칭으로 이격될 수 있다. 이들 바(41, 42, 51, 52)는 면(6, 7)과 바람직하게 수평을 이루거나, 또는 도 3에 도시한 바와 같이 그로부터 옵셋되는 면을 갖는다. 표면(6) 및 표면(7)은 평면이거나 압전 소자의 쌍에 의해서 제조된 일방향 또는 이방향으로 만곡되거나, 그러한 방향에 수직일 수 있다. 곡률 반경은 100㎜ 내지 ∞의 범위 내에 있을 수 있다.
2쌍의 측면 압전 액추에이터에 의한 이러한 이중 작동은 특히, 형상이 사각형 또는 직사각형인 광학부품과 함께 사용하는데 적합하다. 비(L/ℓ)는 1(사각형) 내지 5의 범위 내일 수 있다.
도 6a는 종방향 및 횡방향 모두 오목하며 연마된 상부 표면(6)을 갖는 미러를 보이는 사시도이다. 바(21, 22, 31, 32)는 직선이며 종방향으로 배치된다.
이들 바는 서로 평행하며, 상부면(6)과 측면(2, 3) 간의 교차를 나타내는 곡선 세그먼트(62, 63)의 평균 방위를 향하고 있다. 곡선 세그먼트(64, 65)는 각각, 상부면(6)과 측면(4, 5) 간의 교차에 대응한다. 도시한 예에 있어서, 이 방향은 평면인 하부면(7)에 평행하지만, 이 면은 종향향 또는 횡방향으로 오목하거나 볼록할 수 있다. 이 방향은 특히, 형상이 포물선 또는 쌍곡선인 곡선 세그먼트에 대해, 꼭지점(S)에서 접선과 대략 평행하다. 이러한 배열은 상부면(6)이 단지 종방향으로 만곡되는 경우(도 6b)에도 마찬가지로 잘 실시할 수 있다. 상부면(6)과 측면(4, 5) 간의 교차는 다음에, 직선 세그먼트(64, 65)를 따라서 발생한다.
도 6c는 종방향으로 오목하며 연마된 상부면(6)을 갖는 미러를 보이는 사시도이다. 바(210, 310)는 상부면(6)과 측면(2, 3) 간의 교차를 나타내는 곡선 세그먼트(62, 63)를 따르는 표면(6)에 인접해 있다. 바(22, 32)는 직선이며, 이들은 하부면(7)과 평행한 종방향을 따라 연장된다. 도시한 실시예에 있어서, 바(21, 31)는 상기 거리(d) 만큼 상부면(6)으로부터 이격되어 있다. 이들 바는 곡선 세그먼트와 잘 수평을 이룰 수 있다.
그러므로, 곧은 또는 만곡된 바는 일정하거나 그렇지 않으면, 10㎜ 이하, 특히 4㎜인 거리(d)로 직선 세그먼트(62, 63, 64, 65) 또는 곡선 세그먼트(62, 63, 64, 65)를 매우 밀접하게 따르는 방식으로 배치된다.
1: 광학소자, 2, 3:측면, 6, 7: 주표면, 21, 22, 31, 32, 41, 42, 51, 52, 210, 310:세라믹 바

Claims (17)

  1. 변형가능한 광학소자 및 전극을 구비한 압전 세라믹으로 제조된 능동소자를 포함하는 바이몰프 광학 장치로, 상기 능동소자는 한쌍의 제 1소자에 대한 압축운동 및 한쌍의 제 2소자에 대한 팽창운동을 생성하도록 쌍으로 및 반대로 제어되는 바이몰프 광학 장치에 있어서,
    상기 광학소자(1)는 적어도 제 1 및 제 2 측면(2, 3)과 함께, 광학 능동형 제 1주표면(6) 및 상기 제 1주표면과 대향인 제 2주표면(7)을 구비하며, 상기 세라믹 능동소자는 상기 제 1 및 제 2측면(2, 3) 상에서 서로 대면하여 배치된 2쌍 이상의 압전 세라믹 바(21, 22)(31, 32)를 포함하고, 각 쌍의 압전 세라믹 바(21, 22)(31, 32)는 그 중립축을 구성하는 광학소자(1)의 중앙표면 양측 상의 제 1 및 제 2측면(2, 3) 중 하나 상에 배치된 것을 특징으로 하는 바이몰프 광학장치.
  2. 제 1항에 있어서, 하나 이상의 상기 주표면(6, 7)은 직선 세그먼트(62, 63, 64, 65)를 따라서 제 1 및 제 2측면(2, 3)과 만나며, 상기 세라믹 바(21, 31) 중 적어도 일부는 직선이며, 상기 직선 세그먼트와 평행하게 배치되는 것을 특징으로 하는 바이몰프 광학장치.
  3. 제 1항에 있어서, 하나 이상의 상기 주표면(6, 7)은 오목 또는 볼록인 곡선 세그먼트(62, 63, 64, 65)를 따라서 제 1 및 제 2측면(2, 3)과 만나며, 상기 세라믹 바(21, 31) 중 적어도 일부는 직선이며, 상기 곡선 세그먼트의 평균 방위(mean direction)에 평행하게 배치되는 것을 특징으로 하는 바이몰프 광학장치.
  4. 제 1항에 있어서, 하나 이상의 상기 주표면(6, 7)은 오목 또는 볼록인 곡선 세그먼트(62, 63, 64, 65)를 따라서 제 1 및 제 2측면(2, 3)과 만나며, 상기 세라믹 바(210, 310) 중 적어도 일부는 곡선이며, 상기 곡선 세그먼트를 따라 배치되는 것을 특징으로 하는 바이몰프 광학장치.
  5. 제 1항에 있어서, 하나 이상의 세라믹 바는 한줄(211, 212, 213, 221, 222, 223, 311, 312, 313 )로 또는 중첩(21, 21', 22, 22', 31, 31', 32, 32')해서 배치되는 2개 이상의 압전 세라믹 소자를 포함하는 것을 특징으로 하는 바이몰프 광학장치.
  6. 제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 광학소자(1)는 직사각형 평행육면체의 형태이며, 상기 제 1 및 제 2측면(2, 3)은 직사각형의 측면을 따라 연장되는 것을 특징으로 하는 바이몰프 광학장치.
  7. 제 6항에 있어서, 상기 직사각형 평행육면체의 길이(L)대 폭(ℓ)의 비는 1 내지 100의 범위 내에 있는 것을 특징으로 하는 바이몰프 광학장치.
  8. 제 7항에 있어서, 상기 폭(ℓ)은 10㎜ 내지 80㎜의 범위 내에 있는 것을 특징으로 하는 바이몰프 광학장치.
  9. 제 7항에 있어서, 상기 길이(L)는 40㎜ 내지 1500㎜의 범위 내에 있는 것을 특징으로 하는 바이몰프 광학장치.
  10. 제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서, 압전 세라믹 바(21, 22, 31, 32, 41, 42, 51, 52)의 폭(ℓ0)은 2㎜ 내지 30㎜의 범위 내에 있고, 그의 높이(h0)는 2㎜ 내지 30㎜의 범위 내에 있는 것을 특징으로 하는 바이몰프 광학장치.
  11. 제 6항에 있어서, 2쌍 이상의 상기 압전 세라믹 바(41, 42, 51, 52)를 구비하는 제 3 및 제 4양측면(4, 5)을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 바이몰프 광학장치.
  12. 제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 광학소자(1)의 두께(e)는 5㎜ 내지 100㎜의 범위 내에 있는 것을 특징으로 하는 바이몰프 광학장치.
  13. 제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 광학소자는 미러 본체이며, 적어도 상기 제 1주표면(6)은 연마되는 것을 특징으로 하는 바이몰프 광학장치.
  14. 제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 광학소자는 격자(grid)이며, 적어도 상기 제 1주표면(6)은 하나 이상의 격자 패턴을 지닌 것을 특징으로 하는 바이몰프 광학장치.
  15. 제 8항에 있어서, 상기 길이(L)는 40㎜ 내지 1500㎜의 범위 내에 있는 것을 특징으로 하는 바이몰프 광학장치.
  16. 제 7항에 있어서, 압전 세라믹 바(21, 22, 31, 32, 41, 42, 51, 52)의 폭(ℓ0)은 2㎜ 내지 30㎜의 범위 내에 있고, 그의 높이(h0)는 2㎜ 내지 30㎜의 범위 내에 있는 것을 특징으로 하는 바이몰프 광학장치.
  17. 제 10항에 있어서, 2쌍 이상의 상기 압전 세라믹 바(41, 42, 51, 52)를 구비하는 제 3 및 제 4양측면(4, 5)을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 바이몰프 광학장치.
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