KR101197060B1 - 표시장치의 제조장치 및 제조방법 - Google Patents

표시장치의 제조장치 및 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 표시장치의 제조장치 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 표시장치의 제조장치는 유기층이 형성되는 표시장치용 기판이 안착되는 안착부와; 상기 안착부에 안착된 상기 표시장치용 기판 상에 상기 유기층을 형성시키는 유기층 형성부재와; 상기 유기층이 형성되는 과정에서 상기 유기층이 형성되고 있는 상기 표시장치용 기판에 대해 특정 방향으로 전기장 및 자기장 중 적어도 어느 하나를 인가하여 상기 유기층 내의 유기분자의 배향을 조절하는 배향조절부를 포함한다. 이에 의해 이방적 특성(anisotropic property)이 우수한 유기층을 포함하는 표시장치를 용이하게 제조할 수 있다.

Description

표시장치의 제조장치 및 제조방법{APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURING DISPLAY DEVICE}
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 표시장치의 제조장치의 단면도,
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 표시장치의 제조방법을 순차적으로 나타낸 순서도, 및
도 3 및 도 4는 각각 본 발명의 제2실시예 및 제3실시예에 따른 표시장치의 제조장치의 단면도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
1, 2, 3 : 표시장치의 제조장치 10 : 안착부
20 : 유기층 형성부재 22 : 소스
30, 31, 32 : 배향조절부 33 : 전원공급부
34 : 제어부 35 : 전극
36 : 신호선 37 : 전원 인가선
38 : 솔레노이드 코일 100 : 표시장치
110 : 표시장치용 기판 120 : 유기층
본 발명은 표시장치의 제조장치 및 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 표시장치용 기판에 유기분자가 포함된 유기층을 형성시키는 표시장치의 제조장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.
최근 기존의 브라운관을 대체하여 액정표시장치나 OLED 등의 평판 표시장치(flat panel display device)가 많이 사용되고 있다.
이러한 평판 표시장치(flat panel display device)는 절연기판 상에 여러 물질층을 형성시켜 제조되게 된다. 이러한 물질층 중에는 유기분자가 포함되어 있는 유기층도 포함된다.
이러한 유기층에는 액정표시장치 및 OLED의 박막트랜지스터의 반도체층, OLED의 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 등이 있다.
반도체층 및 정공주입층, 정공수송층, 전자수송층 등에서의 전하(정공 또는 전자)의 이동(transportation) 능력 및 발광층에서의 정공과 전자의 결합(coupling)을 통한 발광특성은 유기층 내의 유기분자들의 정렬 방향에 따라 물리적 성질이 달라지는 이방적 특성(anistropic property)에 의해 좌우된다. 즉 3차원적으로 유기분자들을 잘 정렬시켜 방향성을 가지도록 유기층을 형성하면, 이방적 특성의 향상에 의해 특정 방향으로의 전하의 이동 능력이나 정공과 전자의 결합을 통한 발광 능력이 증대되어 표시성능을 향상시킬 수 있다.
그러나 유기층 내의 유기분자들이 방향성을 가지는 경우 비방향성을 가지는 경우에 비해 에너지가 상대적으로 높아 불안정하기 때문에 유기분자들은 비방향성 을 가지도록 배향되어 안정한 상태로 존재하려는 경향이 있다. 따라서 이방적 특성 향상을 위해 유기분자들이 방향성을 가지도록 배향시켜 유기층을 형성하는 것이 용이하지 않은 문제점이 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 이방적 특성(anisotropic property)이 우수한 유기층을 포함하는 표시장치를 용이하게 제조할 수 있는 표시장치의 제조장치 및 제조방법을 제공하는데 있다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 유기층이 형성되는 표시장치용 기판이 안착되는 안착부와; 상기 안착부에 안착된 상기 표시장치용 기판 상에 상기 유기층을 형성시키는 유기층 형성부재와; 상기 유기층이 형성되는 과정에서 상기 유기층이 형성되고 있는 상기 표시장치용 기판에 대해 특정 방향으로 전기장 및 자기장 중 적어도 어느 하나를 인가하여 상기 유기층 내의 유기분자의 배향을 조절하는 배향조절부를 포함하는 표시장치의 제조장치에 의해 달성된다.
상기 유기층은 반도체층, 정공주입층, 정공수송층, 발광층 및 전자수송층 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것이 바람직하다.
상기 유기층 형성부재는 스핀 코터(spin coater), 슬릿 코터(slit coater), 잉크젯 프린터(inkjet printer) 및 열증발부재 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것이 바람직하다.
상기 배향조절부는, 상기 표시장치용 기판을 사이에 두고 배치되어 상기 표 시장치용 기판에 대해 특정 방향으로 전기장을 생성시키는 적어도 한 쌍의 전극과; 상기 한 쌍의 전극에 전원을 공급하는 전원공급부를 포함하는 것이 바람직하다.
상기 전원공급부는 상기 전기장의 주파수가 상기 유기분자의 고유 회전주파수와 공진을 일으키는 주파수 대역에 포함되도록 교류전원을 공급하는 것이 바람직하다.
상기 배향조절부는, 상기 자기장을 생성시키는 영구자석 및 전자석 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것이 바람직하다.
상기 영구자석은 상기 안착부와 상기 표시장치용 기판 사이에 위치하는 것이 바람직하다.
상기 전자석은 이격 거리를 두고 상기 표시장치용 기판의 가장자리를 따라 감겨있는 솔레노이드 코일을 포함하며, 상기 배향 조절부는, 상기 솔레노이드 코일에 전원을 공급하는 전원공급부를 더 포함하는 것이 바람직하다.
상기 전원공급부는 상기 자기장의 주파수가 상기 유기 분자의 고유 회전주파수와 공진을 일으키는 주파수 대역에 포함되도록 교류전원을 공급하는 것이 바람직하다.
한편, 상기의 목적은, 본 발명에 따라, 유기층이 형성되는 표시장치용 기판을 마련하는 단계와; 상기 표시장치용 기판을 안착부에 안착시키는 단계와; 상기 안착부에 안착된 상기 표시장치용 기판 상에 유기분자의 배향을 조절하면서 상기 유기층을 형성시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법에 의해서도 달성된다.
상기 유기층은 반도체층, 정공주입층, 정공수송층, 발광층 및 전자수송층 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것이 바람직하다.
상기 유기층은 스핀 코팅(spin coating), 슬릿 코팅(slit coating), 잉크젯 프린팅(inkjet printing) 및 열 증발법(thermal evaporation) 중 적어도 어느 하나의 방법으로 형성되는 것이 바람직하다.
상기 유기 분자의 배향조절은 상기 유기층이 형성되고 있는 상기 표시장치용 기판에 대해 특정 방향으로 전기장 및 자기장 중 적어도 어느 하나를 인가하여 이루어지는 것이 바람직하다.
상기 전기장의 생성은 상기 표시장치용 기판을 사이에 두고 배치되어 상기 표시장치용 기판에 대해 특정 방향으로 전기장을 생성시키는 적어도 한 쌍의 전극과, 상기 전극에 전원을 공급하는 전원 공급부에 의해 이루어지는 것이 바람직하다.
상기 전원공급부는 상기 전기장의 주파수가 상기 유기 분자의 고유 회전주파수와 공진을 일으키는 주파수 대역에 포함되도록 교류전원을 공급하는 것이 바람직하다.
상기 자기장의 생성은 영구자석 및 전자석 중 적어도 어느 하나를 이용하여 이루어지는 것이 바람직하다.
상기 전자석은 전원공급부에 의해 전원을 공급받는 솔레노이트 코일을 포함하며, 상기 전원공급부는 상기 자기장의 주파수가 상기 유기 분자의 고유 회전주파수와 공진을 일으키는 주파수 대역에 포함되도록 교류전원을 공급하는 것이 바람직 하다.
이하에서는 첨부도면을 참조하여 본 발명에 대하여 설명한다.
여러 실시예에 있어서 동일한 구성요소에 대하여는 제1실시예에서 대표적으로 설명하고 다른 실시예에서는 생략될 수 있다.
본 발명의 제1실시예에 따른 표시장치의 제조장치를 도1을 참조하여 설명한다. 도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 표시장치의 제조장치의 단면도이다.
본 발명의 제1실시예에 따른 표시장치의 제조장치(1)는 외부와 차단가능하며 진공 형성이 가능한 챔버(미도시) 내에 위치할 수 있는 안착부(10), 유기층 형성부재(20) 및 배향조절부(30)를 포함한다.
안착부(10)는 유기층(120)의 형성되는 표시장치용 기판(110)이 안착되며, 유기층(120)이 형성되는 동안 표시장치용 기판(110)을 상부에서 고정 지지하고 있다.
표시장치용 기판(110)은 유기층(120)의 형성이 요구되는 기판으로, 절연기판만으로 이루어져 있거나 절연기판 상에 특정물질층이 형성되어 있는 기판일 수도 있다.
유기층(120)은 액정표시장치 또는 OLED의 박막트랜지스터를 구성하는 반도체층이거나, OLED의 정공주입층, 정공수송층, 발광층 및 전자수송층 중 적어도 어느 하나층으로 이루어져 있다. 도1에서는 표시장치용 기판(110)의 판면의 전면에 유기층(120)이 형성되는 것으로 도시하였으나 새도우 마스크 등을 이용하여 표시장치용 기판(110)의 판면의 특정 영역에만 형성될 수도 있다.
유기층 형성부재(20)는 열 증발(thermal evaporation)법에 사용되는 열증발 부재인 가열 테이블이다. 열 증발법이란 저분자 유기물로 이루어진 유기층 형성물질을 포함하는 소스(22)를 가열 테이블에 위치시킨 후 가열하여 유기층 형성물질을 증발시킨 후 표시장치용 기판(110)에 증발된 유기층 형성물질을 증착시켜 유기층(120)을 형성시키는 방법을 말한다.
그러나 유기층 형성부재(20)가 이에 한정되는 것은 아니다. 즉 유기층 형성부재(20)는 유기층 형성물질을 유기용매에 녹여 각각 스핀 코팅법, 슬릿 코팅법 및 잉크젯 프린팅법에 의해 유기층(120)을 형성하는 스핀 코터(spin coater), 슬릿 코터(slit coater) 및 잉크젯 프린터(inkjet printer) 중 적어도 어느 하나일 수 있다. 이 경우 유기층 형성물질은 저분자 유기물뿐만 아니라 고분자 유기물로 이루어져도 무방하다.
열 증발(thermal evaporation)법에 의해 유기층(120)을 형성하는 경우에는 표시장치용 기판(110)의 유기층(120) 형성면이 하부에 위치하는 소스(120)를 향하게 된다. 이에 따라 안착부(10)는 표시장치용 기판(110)의 유기층(120) 형성면의 반대면을 안착하며, 유기층(10)에서 표시장치용 기판(110)을 고정하고 있게 된다.
그러나, 열 증발법이 아닌 다른 방법으로 유기층(120)을 형성하는 경우에는 통상 표시장치용 기판(110)의 유기층(120) 형성면이 상부를 향하게 되며, 안착부(10)는 표시장치용 기판(110)의 유기층(120) 형성면의 반대면을 안착하게 된다.
배향조절부(30)는 전원공급부(33), 제어부(34), 전극(35), 신호선(36) 및 전원인가선(37)을 포함하고 있다. 배향조절부(30)는 표시장치용 기판(110) 상에 열 증발법에 의해 형성되고 있는 유기층(120)에 전기장을 인가한다. 이를 통해 표시장 치용 기판(110) 상에 형성되는 유기층(120) 내의 유기분자들을 특정 방향으로 임의로 배향시킴으로써 유기분자들이 방향성을 가지도록 하여 유기층(120)의 이방적 특성을 향상시키게 된다.
한 쌍의 전극(35)은 전기장을 생성시켜, 표시장치용 기판(20)을 사이에 두고 양 측면에 하나씩 배치되어 있으며 표시장치용 기판(20)에 형성중인 유기층(120)에 대해 특정 방향으로 전기장을 인가한다. 이때 전극(35)의 개수는 필요에 따라 증가시킬 수 있으며, 표시장치용 기판(120)에 형성중인 유기층(120)에 대한 전극(35)의 상대적인 배치 위치는 유기층(120)의 유기분자들을 배향시키고자 하는 방향에 따라 선택적으로 조절할 수 있다.
한 쌍의 전극(35)에 전원을 공급하는 전원공급부(33)는 신호선(36)으로 연결되어 있는 제어부(34)의 제어신호에 따라 전원인가선(37)을 통해 전극(35)에 시간에 따라 세기가 일정한 직류전원을 공급하거나, 시간에 따라 세기가 변화하는 교류전원을 공급한다. 전원을 공급받은 한 쌍의 전극(34)은 특정 방향으로 전기장을 생성하게 된다.
유기층(120)을 구성하는 대부분의 유기분자들은 전기 쌍극자 모멘트(electric dipole moment)를 가진다. 전기장이 인가된 상태하에서 전기 쌍극자 모멘트(electric dipole moment)는 유기분자에 특정한 방향성을 부여해준다.
즉 전기 쌍극자 모멘트를 가진 유기분자들에 전기장(electric field)을 인가하면, 유기분자들은 다음 식에 의해 전기 위치에너지가 가장 낮은 상태인 전기 쌍극자의 방향과 전기장의 방향이 평행한 방향으로 배향된다.
Figure 112006020475581-pat00001
여기서
Figure 112006020475581-pat00002
는 전기 위치에너지,
Figure 112006020475581-pat00003
는 전기 쌍극자 모멘트,
Figure 112006020475581-pat00004
는 전기장을 의미한다.
이 때 인가해 주는 전기장의 세기는 전기장이 인가되지 않는 상태에서의 유기분자가 갖는 에너지가 낮은 상태의 안정된 배열 상태를 극복하고 배향을 변경할 정도의 세기이다. 만일 전원공급부(33)가 전극(35)에 직류전원이 아닌 교류전원을 공급하는 경우라면, 전기장의 주파수가 유기분자의 고유 회전주파수와 공진을 일으키는 주파수 대역에 포함되도록 교류 전원을 인가해 주는 것이 바람직하다.
전극(35)에 교류전원을 공급하면 시간의 변화에 따라 전기장의 방향이 양 전극(34) 사이에서 주기적으로 바뀌게 되기 때문에 직류전원을 인가할 때 보다 유기분자들의 배향 변경율이 떨어지게 된다. 하지만, 공진 주파수 대역에 포함되는 교류전원을 인가하면 공진에 의해 유기분자들의 배향 변경율을 증가시킬 수 있어 배향효율을 높일 수 있게 된다.
본 발명의 제1실시예에 따른 표시장치의 제조장치(1)에 의하면, 열 증발법에 의해 표시장치용 기판(110)의 상부에 유기층(120)을 증착에 의해 형성시킴과 동시에 전기장을 인가하여 유기분자들의 배향 방향을 임의로 조절할 수 있다. 이를 통해 형성되는 유기분자들이 방향성을 가짐에 따라 이방적 특성(anisotropic property)이 우수한 유기층(120)을 포함하는 표시장치(100)를 용이하게 제조할 수 있다.
이하에서는 본 발명의 제1실시예에 따른 표시장치의 제조방법을 도1 및 도2를 참조하여 설명한다. 도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 표시장치의 제조방법을 순차적으로 나타낸 순서도이다.
본 발명의 제1실시예에 따른 표시장치의 제조방법은 먼저 유기층(120)이 형성되는 표시장치용 기판(110)을 마련한다(S100).
표시장치용 기판(110)은 반도체층의 형성이 요구되는 액정표시장치용 박막트랜지스터 기판일 수 있다. 또한, 반도체층, 정공주입층, 정공수송층, 발광층 및 전자수송층 중 적어도 어느 하나층의 형성이 요구되는 OLED용 기판일 수 있다.
이어 표시장치용 기판(110)을 안착부(10)에 안착시킨다(S200). 본 실시예에서는 유기층(120)은 열증발법에 의해 형성되기 때문에 표시장치용 기판(110)은 유기층(120) 형성면이 하부를 향하도록 안착부(10)에 안착되며, 안착부(10)는 유기층(120)이 형성되는 동안 표시장치용 기판(110)을 상부에서 안착 지지하게 된다.
이어 안착부(10)에 안착된 표시장치용 기판(110) 상에 유기분자의 배향을 조절하면서 상기 유기층(120)을 형성시키면 본 발명의 제1실시예에 따른 표시장치의 제조방법은 종료되게 된다.
유기층(120)의 형성은 저분자 유기물로 이루어진 유기층 형성물질을 포함하는 소스(22)를 가열 증발시켜 표시장치용 기판(110)에 증착시키는 유기층 형성부재(20)인 가열 테이블과, 증착되는 유기분자의 배향을 조절하는 배향 조절부(30)에 의해 이루어진다. 따라서 유기분자의 배향이 조절됨과 동시에 표시장치용 기판 (110)에 유기층(120)이 형성되게 된다.
본 발명의 제1실시예에 따른 표시장치의 제조방법에 의하면, 열 증발법에 의해 표시장치용 기판(110)의 상부에 유기층(120)을 증착에 의해 형성시킴과 동시에 전기장을 인가하여 유기분자들의 배향 방향을 임의로 조절할 수 있다. 이를 통해 형성되는 유기분자들이 방향성을 가짐에 따라 이방적 특성(anisotropic property)이 우수한 유기층(120)을 포함하는 표시장치(100)를 용이하게 제조할 수 있다.
이하에서는 본 발명의 제2실시예에 따른 표시장치의 제조장치를 도3을 참조하여 본 발명의 제1실시예에 따른 표시장치의 제조장치와의 차이점을 중심으로 설명한다. 도3은 본 발명의 제2실시예에 따른 표시장치의 제조장치의 단면도이다.
본 발명의 제2실시예에 따른 표시장치의 제조장치는 유기층의 형성과 동시에 유기분자의 배향을 조절하기 위해 배향조절부(31)가 전기장을 인가하는 전극(35)을 포함하는 것이 아니라 이격 거리를 두고 표시장치용 기판의 가장자리를 따라 감겨 자기장을 생성하는 전자석인 솔레노이드 코일(38)로 이루어진 것을 제외하고는 본 발명의 제1실시예에 따른 표시장치의 제조장치와 동일하다.
제어부(34)에 제어신호에 의해 전원공급부(33)는 전원인가선(37)을 통하여 전원을 솔레노이드 코일(38)에 공급하게 된다. 그러면 솔레노이드 코일(38)은 솔레노이드 코일(38)의 축에 평행한 방향인 표시장치용 기판(110)의 판면에 수직한 방향으로 유기분자의 배향을 임의로 조절할 수 있는 자기장을 생성시키게 된다. 전원 공급부(33)는 솔레노이드 코일(38)에 시간에 따라 세기가 일정한 직류전원을 인가되거나, 시간에 따라 세기가 변화하는 교류 전원을 공급한다.
표시장치용 기판(110) 상에 형성중인 유기층(120)에 대한 솔레노이드 코일(38)의 상대적인 배치 위치는 유기층(120)의 유기분자들을 배향시키고자 하는 방향에 따라 선택적으로 조절할 수 있다. 또한 솔레노이드 코일(38)의 회전 방향은 시계방향 혹은 역시계 방향으로 조절될 수 있다.
유기층(120)을 구성하는 대부분의 유기분자들은 자기 쌍극자 모멘트(magnetic dipole moment)를 가진다. 자기장이 인가된 상태하에서 자기 쌍극자 모멘트(magnetic dipole moment)는 유기분자에 특정한 방향성을 부여해준다.
즉 자기 쌍극자 모멘트를 가진 유기분자들에 자기장(magnetic field)을 인가하면, 유기분자들은 다음 식에 의해 자기 위치에너지가 가장 낮은 상태인 자기 쌍극자의 방향과 자기장의 방향이 평행한 방향으로 배향된다.
Figure 112006020475581-pat00005
여기서
Figure 112006020475581-pat00006
는 자기 위치에너지,
Figure 112006020475581-pat00007
은 자기 쌍극자 모멘트,
Figure 112006020475581-pat00008
는 자기장을 의미한다.
이 때 인가해 주는 자기장의 세기는 자기장이 인가되지 않는 상태에서의 유기분자가 갖는 에너지가 낮은 상태의 안정된 배열 상태를 극복하고 배향을 변경할 정도의 세기이다. 만일 전원공급부(33)가 전극(35)에 직류전원이 아닌 교류전원을 공급하는 경우라면 자기장의 주파수가 유기분자의 고유 회전주파수와 공진을 일으키는 주파수 대역에 포함되도록 교류전원을 인가해 주는 것이 바람직하다.
전극(35)에 교류전원을 공급하면 시간의 변화에 따라 자기장의 방향이 표시 장치용 기판(110)의 판면 방향에 수직한 상부 방향과 하부 방향으로 주기적으로 바뀌게 되기 때문에 직류전원을 인가할 때 보다 유기분자들의 배향 변경율이 떨어지게 된다. 하지만, 공진 주파수 대역에 포함되는 교류전원을 인가하면 공진에 의해 유기분자들의 배향 변경율을 증가시킬 수 있어 배향효율을 높일 수 있게 된다.
본 발명의 제2실시예에 따른 표시장치의 제조장치에 의해서도 본 발명의 제1실시예에 따른 표시장치의 제조장치와 동일한 효과를 얻을 수 있다.
한편, 본 발명의 제2실시예에 따른 표시장치의 제조방법은 전자석을 통해 자기장을 인가하여 유기분자의 배향을 조절하면서 유기층을 형성시키는 것을 제외하고는 본 발명의 제1실시예에 따른 표시장치의 제조방법과 동일하며, 동일한 효과를 얻을 수 있다.
이하에서는 본 발명의 제3실시예에 따른 표시장치의 제조장치를 도4를 참조하여 설명한다. 도 4는 본 발명의 제3실시예에 따른 표시장치의 제조장치의 단면도이다.
본 발명의 제3실시예에 따른 표시장치의 제조장치(3)는 유기층의 형성과 동시에 유기분자의 배향을 조절하기 위해 배향조절부(32)가 자기장을 인가한다는 점에서는 본 발명의 제2실시예에 따른 표시장치의 제조장치(2)와 동일하나, 자기장을 생성이 전자석인 솔레노이드 코일(38)에 의해 이루어진 것이 아니라 표시장치용 기판(110)과 안착부(10) 사이에 위치하는 영구자석에 의해 이루어지는 점에서 차이가 있다. 영구자석은 자기장 발생을 위해 별도의 전원 공급이 필요없기 때문에 영구자석만으로 배향조절부(32)가 구성되게 된다.
영구자석에 의해 유기분자에 인가되는 자기장의 방향은 항상 표시장치용 기판(110)의 판면에 수직하지만, 자기장의 극성은 표시장치용 기판(110)에 가까운 쪽의 배향조절부(32)인 영구자석의 극성에 따라 좌우된다. 즉 N극이 표시장치용 기판(110)과 가까우면 자기장의 방향은 표시장치용 기판(110)의 판면에 수직하게 아래로 향하게 되며, S극이 표시장치용 기판(110)에 가까우면 자기장의 방향은 표시장치용 기판(110)에 수직하게 위로 향하면서 유기분자의 배향을 조절하게 된다. 영구자석의 배치 위치는 유기층(120)의 유기분자들을 배향시키고자 하는 방향에 따라 선택적으로 변경될 수 있음은 물론이다.
본 발명의 제3실시예에 따른 표시장치의 제조장치에 의해서도 본 발명의 제2실시예에 따른 표시장치의 제조장치와 동일한 효과를 얻을 수 있다.
한편, 본 발명의 제3실시예에 따른 표시장치의 제조방법은 배향조절부(32)인 영구자석을 통해 자기장을 인가하여 유기분자의 배향을 조절하면서 유기층(120)을 형성시키는 것을 제외하고는 본 발명의 제2실시예에 따른 표시장치의 제조방법과 동일하며, 동일한 효과를 얻을 수 있다.
이상의 실시예는 다양하게 변형가능하다. 상기의 실시예들에서는 유기분자의 배향을 조절하기 위해 전기장 또는 자기장 만을 인가하였으나 전기장과 자기장을 동시에 인가하여도 무방하다.
비록 본 발명의 몇몇 실시예들이 도시되고 설명되었지만, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 당업자라면 본 발명의 원칙이나 정신에서 벗어나지 않으면서 본 실시예를 변형할 수 있음을 알 수 있을 것이다. 따라서 발명의 범위는 첨부된 청구항과 그 균등물에 의해 정해질 것이다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 이방적 특성(anisotropic property)이 우수한 유기층을 포함하는 표시장치를 용이하게 제조할 수 있는 표시장치의 제조장치 및 제조방법이 제공된다.

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  10. 유기층이 형성되는 표시장치용 기판을 마련하는 단계와;
    상기 표시장치용 기판을 안착부에 안착시키는 단계와;
    상기 안착부에 안착된 상기 표시장치용 기판 상에 상기 유기층을 형성시키는 단계를 포함하고,
    상기 유기층을 형성시키는 단계는
    스핀 코팅(spin coating), 슬릿 코팅(slit coating), 잉크젯 프린팅(inkjet printing) 및 열 증발법(thermal evaporation) 중 적어도 어느 하나의 방법으로 상기 유기층을 상기 표시장치용 기판 상에 형성함과 동시에 상기 유기층이 형성되고 있는 상기 표시장치용 기판에 대해 특정 방향으로 전기장 및 자기장 중 적어도 어느 하나를 인가하여 상기 유기층의 유기 분자의 배향을 조절하는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 유기층은 반도체층, 정공주입층, 정공수송층, 발광층 및 전자수송층 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.
  12. 삭제
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  14. 제10항에 있어서,
    상기 전기장의 인가는 상기 표시장치용 기판을 사이에 두고 배치되어 상기 표시장치용 기판에 대해 특정 방향으로 자기장을 생성시키는 적어도 한 쌍의 전극과, 상기 전극에 전원을 공급하는 전원 공급부에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 전원공급부는 상기 전기장의 주파수가 상기 유기분자의 고유 회전주파 수와 공진을 일으키는 주파수 대역에 포함되도록 교류전원을 공급하는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.
  16. 제10항에 있어서,
    상기 자기장의 인가는 영구자석 및 전자석 중 적어도 어느 하나를 이용하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 전자석은 전원공급부에 의해 전원을 공급받는 솔레노이트 코일을 포함하며,
    상기 전원공급부는 상기 자기장의 주파수가 상기 유기 분자의 고유 회전주파수와 공진을 일으키는 주파수 대역에 포함되도록 교류전원을 공급하는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.
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