KR101192003B1 - 유기전계 발광소자 제조용 섀도우 마스크와 이를 이용한 유기전계 발광소자의 제조 방법 및 제조 장치 - Google Patents

유기전계 발광소자 제조용 섀도우 마스크와 이를 이용한 유기전계 발광소자의 제조 방법 및 제조 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 유기전계 발광소자(OLED)의 제조 공정 중 격자(grid)형으로 형성되는 전극 또는 절연층을 증착(evaporation)이나 스퍼터링(sputtering) 방식으로 용이하게 제조할 수 있는 유기전계 발광소자 제조용 섀도우 마스크와 이 섀도우 마스크를 이용하여 유기전계 발광소자를 제조하는 방법 및 제조 장치에 관한 것으로, 본 발명에 따른 유기전계 발광소자(OLED) 제조용 섀도우 마스크는 유기전계 발광소자(OLED)의 기판 면에 격자(grid)형 패턴의 막을 형성하기 위한 유기전계 발광소자(OLED) 제조용 섀도우 마스크에 있어서, 상기 격자형 패턴에 대응하는 부분에 막형성 물질이 도포되는 관통공이 격자형 패턴으로 형성되되, 각각의 관통공들이 서로 교차되는 부분에 상기 관통공들을 폐쇄하면서 관통공 외측 면을 서로 이어주는 브리지가 형성된 것을 특징으로 한다.

Description

유기전계 발광소자 제조용 섀도우 마스크와 이를 이용한 유기전계 발광소자의 제조 방법 및 제조 장치{Shadow Mask for Manufacturing OLED, Apparatus and Method for Manufacturing OLED Using the Same}
본 발명은 유기전계 발광소자(OLED: Organic Light Emitting Diode) 제조용 섀도우 마스크와 이를 이용한 유기전계 발광소자의 제조 방법 및 제조 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 유기전계 발광소자(OLED)의 제조 공정 중 격자(grid)형으로 형성되는 전극 또는 절연층을 증착(evaporation)이나 스퍼터링(sputtering) 방식으로 용이하게 제조할 수 있는 유기전계 발광소자 제조용 섀도우 마스크와 이 섀도우 마스크를 이용하여 유기전계 발광소자를 제조하는 방법 및 제조 장치에 관한 것이다.
유기전계 발광소자(OLED)는 유기물 박막에 양극과 음극을 통하여 주입된 전자와 정공이 재결합하여 여기자(exciton)를 형성하고, 형성된 여기자로부터의 에너지에 의해 특정한 파장의 빛이 발생하는 현상을 이용한 자체 발광형 디스플레이 소자이다.
이러한 유기전계 발광소자는 백라이트 유닛과 같은 추가적인 면광원이 필요없는 자체 발광형 소자이며, 시야각이 넓고, 응답속도가 빠르며, 두께가 얇은 이점이 있다.
유기전계 발광소자(OLED)는 전류소자로 패널 크기 및 요구 휘도에 따라 요구전류량이 비례하여 증가하고, 배선에서의 전압 강하(IR drop) 현상이 현저하게 나타나 휘도 불균형이 발생하게 된다. 특히, 유기전계 발광소자의 양극전극(anode)로 사용되는 투명전극(예컨대 ITO 금속)의 저항은 수Ω/□ 으로 일반 금속에 비하여 높기 때문에 패널 크기가 수 ㎝ 이상에서는 휘도불균일을 감소시키기 위한 보조전극을 필요로 하게 된다.
또한, 양극전극(anode)이나 음극전극(cathod) 층에 전원을 공급하기 위한 배선전극이 발광부 주변에 걸쳐 배치되는데, 이러한 배선전극 형성시에도 전압 강하를 최소화하기 위하여 저저항 금속을 사용한다.
이러한 배선전극과 보조전극들은 소자의 기판 면에 가로 및 세로로 교차하면서 격자(grid)형 패턴으로 형성되는데, 종래에는 알루미늄(Al), 은(Ag), 크롬(Cr), 알루미늄-네오디뮴(AlNd), 알루미늄/몰리브덴(Al/Mo) 등의 금속을 스퍼터링(sputtering) 방식으로 성막한 후 포토리소그래피(photolithography)를 사용하여 패터닝을 하여 배선전극과 보조전극을 형성하였다.
하지만, 상술한 것과 같이 보조전극과 배선전극을 포토리소그래피(photolithography) 방식으로 형성하게 되면, 공정이 복잡하고, 많은 시간이 소요되어 생산성이 저하되며, 이는 제조 원가의 상승으로 이어지는 문제를 유발하게 된다.
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제를 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 유기전계 발광소자(OLED)에 격자(grid)형의 패턴으로 형성되는 보조전극 및 배선전극, 또는 절연막 등을 증착 또는 스퍼터링 방식으로 용이하고 신속하게 형성할 수 있는 유기전계 발광소자 제조용 섀도우 마스크와 이를 이용한 유기전계 발광소자의 제조 방법 및 제조 장치를 제공하는 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 한 형태에 따르면, 유기전계 발광소자(OLED)의 기판 면에 격자(grid)형 패턴의 막을 형성하기 위한 유기전계 발광소자(OLED) 제조용 섀도우 마스크에 있어서, 상기 격자형 패턴에 대응하는 부분에 막형성 물질이 도포되는 관통공이 격자형 패턴으로 형성되되, 각각의 관통공들이 서로 교차되는 부분에 상기 관통공들을 폐쇄하면서 관통공 외측 면을 서로 이어주는 브리지가 형성된 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자(OLED) 제조용 섀도우 마스크가 제공된다.
본 발명의 한 실시형태에 따르면, 상기 브리지는 섀도우 마스크의 다른 면보다 얇은 두께로 이루어진다. 이 실시형태에 따르면, 증착 공정시 브리지와 기판 면 사이에 형성되는 공간에 섀도우 이펙트(shadow effect)에 의해 성막이 되어 한번의 증착 공정으로 격자형 패턴을 완성할 수 있다.
본 발명의 다른 한 형태에 따르면, 상술한 특징을 갖는 본 발명의 섀도우 마스크를 기판의 하부면에 밀착시키는 단계와; 상기 기판과 섀도우 마스크를 진공 상태의 챔버 내에서 증착 공정을 수행하여 기판의 하부면에 격자형 패턴을 형성하는 단계와; 상기 기판의 하부면에서 섀도우 마스크를 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자(OLED)의 제조방법이 제공된다.
본 발명의 또 다른 한 형태에 따르면, 상술한 특징을 갖는 본 발명의 섀도우 마스크 및 기판이 투입되어 기판의 일면에 상기 섀도우 마스크가 고정되게 장착되는 공정이 수행되는 제1진공챔버를 갖는 마스크장착부와; 상기 마스크장착부의 제1진공챔버와 연통되며, 상기 섀도우 마스크가 장착된 기판의 일면에 격자형 패턴으로 막의 증착이 이루어지는 공정이 수행되는 제2진공챔버를 갖는 막증착부를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자(OLED)의 제조장치가 제공된다.
이러한 본 발명에 따르면, 유기전계 발광소자(OLED)에 기판에 격자(grid)형 패턴으로 배선전극 및/또는 보조전극을 형성하고자 할 경우에 본 발명의 유기전계 발광소자 제조용 섀도우 마스크를 이용하여 물리증착법(PVD: physical vapor deposition), 화학증착법(CVD: chemical vapor deposition), 또는 스퍼터링(sputtering) 방식으로 신속하고 용이하게 배선전극 및/또는 보조전극, 또는 절연층 등의 격자형 패턴을 신속하고 용이하게 형성할 수 있다.
또한, 본 발명의 유기전계 발광소자의 제조 방법 및 제조 장치에 따르면, 섀도우 마스크를 이용하여 배선전극 및 보조전극, 또는 절연층 등을 증착하는 것과 동일 또는 유사한 방식으로 섀도우 마스크를 이용하여 투명전극이나 캐소드전극 등의 막을 진공 파기 없이 연속적으로 증착할 수 있다. 따라서, 생산성 및 수율이 향상되고, 제조원가를 절감할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 유기전계 발광소자(OLED)의 구성의 일 실시예를 나타낸 종단면도이다.
도 2는 유기전계 발광소자(OLED)의 구성의 다른 실시예를 나타낸 종단면도이다.
도 3은 유기전계 발광소자(OLED)의 기판 면에 형성된 배선전극 및 보조전극의 일례를 나타낸 평면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계 발광소자 제조용 섀도우 마스크를 나타낸 평면도이다.
도 5는 도 4의 I-I 선 단면도이다.
도 6은 도 4의 Ⅱ-Ⅱ 선 단면도이다.
도 7은 도 4의 Ⅲ-Ⅲ 선 단면도이다.
도 8은 도 5와 대응되는 도면으로, 본 발명에 따른 섀도우 마스크의 브리지의 다른 실시예를 나타낸다.
도 9a는 본 발명에 따른 섀도우 마스크의 다른 실시예를 나타낸 평면도 및 단면도이다.
도 9b는 도 9a의 섀도우 마스크를 이용한 막 증착 공정시 추가적으로 사용되는 보조 섀도우 마스크의 형태를 나타낸 평면도 및 단면도이다.
도 10은 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 제조 방법을 순차적으로 설명하는 모식도이다.
도 11은 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 제조 장치의 일 실시예를 개략적으로 나타낸 구성도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유기전계 발광소자 제조용 섀도우 마스크와 이를 이용한 유기전계 발광소자의 제조 방법 및 제조 장치를 상세히 설명한다.
먼저, 도 1을 참조하면, 유기전계 발광소자(OLED)는 기판(1)과, 상기 기판(1)의 일면에 도포되는 배선전극(2) 및 보조전극(3), 상기 배선전극(2) 및 보조전극(3)을 덮도록 도포되는 양극전극(anode)인 투명전극(4), 상기 투명전극(4) 상에 차례로 도포되는 절연층(5)과 유기전계발광층(6) 및 캐소드전극(7), 상기 전극과 유기물들이 공기 중의 수분이나 산소, NOx 등과 접촉하지 않도록 상기 전극 및 유기물이 형성된 면을 밀폐하는 봉지용 커버(8) 및 실링재(9) 등으로 구성될 수 있다.
또한, 도 2에 도시된 유기전계 발광소자(OLED)는 기판(1)과, 상기 기판(1)의 일면에 도포되는 투명전극(4), 상기 투명전극(4) 상에 도포되는 배선전극(2) 및 보조전극(3), 상기 보조전극(3) 상에 차례로 도포되는 절연층(5)과 유기전계발광층(6) 및 캐소드전극(7), 상기 전극 및 유기물이 형성된 면을 밀폐하는 봉지용 커버(8) 및 실링재(9) 등으로 구성된다.
즉, 도 2에 도시된 유기전계 발광소자(OLED)는 도 1에 도시된 유기전계 발광소자(OLED)와 다르게 배선전극(2) 및 보조전극(3)이 투명전극(4) 상에 형성된 구조로 이루어진다.
상술한 유기전계 발광소자(OLED)들의 배선전극(2)은 도 3에 도시한 것과 같이 기판(1)의 네 테두리 부분을 따라 형성되며, 보조전극(3)은 기판(1)을 가로 방향과 세로 방향으로 가로지르면서 서로 교차되어 격자형 패턴으로 형성된다.
상기 배선전극(2) 및 보조전극(3)은 알루미늄(Al), 은(Ag), 크롬(Cr), 알루미늄-네오디뮴(AlNd), 알루미늄/몰리브덴(Al/Mo) 등의 저저항 금속을 사용하여 만들어질 수 있으나, 이외에도 다양한 임의의 금속을 사용하여 만들어질 수 있다. 상기 배선전극(2) 및 보조전극(3)은 본 발명의 섀도우 마스크를 이용하여 물리증착법(PVD: physical vapor deposition), 화학증착법(CVD: chemical vapor deposition), 또는 스퍼터링(sputtering) 방식으로 형성된다.
도 4는 도 3에 도시된 배선전극(2) 및 보조전극(3) 패턴을 형성하기 위한 본 발명에 따른 섀도우 마스크(10)의 일 실시예를 나타낸다. 이 실시예에 따른 섀도우 마스크(10)는 상기 격자형 패턴으로 이루어진 배선전극(2) 및 보조전극(3)에 대응하는 부분에 관통공(11)이 격자형 패턴으로 형성되되, 각각의 관통공(11)들이 서로 교차되는 부분에 상기 관통공(11)들을 폐쇄하면서 관통공(11) 외측 면을 서로 이어주는 브리지(12)가 형성된 구조를 갖는다.
상기와 같이 각각의 관통공(11)들이 교차되는 부분에 브리지(12)가 형성되면, 관통공(11)들에 의해 둘러싸인 사각형 부분들이 떨어져 나가지 않고 섀도우 마스크(10)에 일체로 연결된 상태를 유지하게 되어, 결과적으로 관통공(11)들이 격자형 패턴을 안정적으로 유지할 수 있게 된다.
상기 브리지(12)는 섀도우 마스크(10)의 다른 부분들과 동일한 두께를 가질 수 있지만, 도 5 내지 도 7에 도시한 것과 같이 브리지(12) 이외의 다른 부분보다 두께가 얇게 형성되어, 섀도우 마스크(10)를 기판(1)의 면에 연접시켰을 때 브리지(12)와 기판(1) 면 간에 공간이 발생하고, 이 공간으로 섀도우 이펙트(shadow effect)에 의해 전극 막 형성 물질이 유입되어 될 수 있게 되어 있다. 상기 브리지(12)의 두께는 섀도우 마스크(10)의 두께의 1/2 정도되는 것이 바람직하다. 이 실시예에서 상기 브리지(12)와 관통공(11) 외측 면 사이는 직각으로 단차지게 형성되며, 브리지(12)의 두께는 외곽과 중심부 모두에서 균일하지만, 이와 다르게 브리지(12)의 강도 향상을 위해 도 8에 도시된 것과 같이 브리지(12)의 외측부에서 중심부로 갈수록 두께가 두꺼워지게 형성될 수도 있을 것이다.
한편, 상술한 것과 같이 섀도우 마스크(10)의 브리지(12)에 의해 섀도우 마스크(10)의 관통공(11)들은 격자형 패턴을 유지하고, 브리지(12)가 섀도우 마스크(10)의 다른 부분보다 작은 두께를 가짐으로써 한번의 증착 공정으로 브리지(12)와 기판(1) 사이의 공간을 통해 전극 막이 형성될 수 있다. 하지만, 이와 다르게 도 9a에 도시한 것과 같이 섀도우 마스크(10)의 브리지(12)가 다른 부분과 동일한 두께를 갖도록 하여 관통공(11) 부분에 전극 막(3)을 형성한 다음, 도 9b에 도시한 것과 같이 상기 섀도우 마스크(10)의 브리지(12)들에 해당하는 부분에 복수의 관통공(21)들이 형성되어 있는 보조 섀도우 마스크(20)를 사용하여 브리지(12)에 대응하는 부분에 전극 막(3)을 형성함으로써 확실한 격자형 패턴을 완성할 수도 있을 것이다. 물론, 도 4 및 도 5에서 예시한 첫번째 실시예에 따른 단차형 브리지(12)를 갖는 섀도우 마스크를 사용할 경우에도 상기 보조 섀도우 마스크(20)를 추가로 사용하여 확실한 격자형 패턴을 완성할 수도 있다.
또한, 전술한 섀도우 마스크(10)의 실시예는 배선전극(2) 및 보조전극(3)을 형성하기 위한 격자형 패턴을 갖는 것이지만, 유기전계 발광소자의 절연층(5) 역시 상기 보조전극(3)과 마찬가지로 격자형 패턴을 가지므로(도 10참조), 상기 섀도우 마스크(10)와 유사한 형태로 절연층 증착용 섀도우 마스크를 제작하여 절연층(5)을 증착할 수 있다.
도 10을 참조하여 상술한 본 발명의 섀도우 마스크(10)를 이용하여 유기전계 발광소자를 제조하는 방법에 대해 설명하면 다음과 같다.
먼저, 섀도우 마스크(10)를 기판(1)의 하부면에 밀착시킨다. 그리고, 상기 섀도우 마스크(10)가 기판(1)의 하부에 위치되도록 기판(1)을 증착 장비의 진공챔버 내에 투입하여 물리증착법(PVD: physical vapor deposition), 또는 화학증착법(CVD: chemical vapor deposition), 스퍼터링(sputtering) 방식으로 증착 공정을 수행한다. 증착 과정에서 상기 섀도우 마스크(10)의 관통공(11) 내측에 전극 물질이 적층되는데, 이 때 섀도우 이펙트(shadow effect)에 의해 브리지(12)와 기판(1) 사이 공간에 전극 물질이 유입되어 관통공(11)에 적층된 전극 물질들이 서로 연결된다.
증착 공정이 완료되어 섀도우 마스크(10)를 제거하면, 기판(1)의 면에 배선전극(2) 및 보조전극(3)이 격자형 패턴으로 형성된다.
이어서, 상기 기판(1)에 투명전극용 섀도우 마스크를 장착하고, 투명전극 증착 장비에 기판(1)을 투입하여 상기 배선전극(2) 및 보조전극(3)을 덮도록 투명전극(4)을 PVD 또는 CVD 등의 방식으로 증착한다. 이 때, 상기 투명전극(4)으로는 주로 ITO 를 사용하며, 상기 배선전극(2) 및 보조전극(3)보다 넓은 면적으로 형성되어 배선전극(2) 및 보조전극(3)이 외부로 노출되지 않도록 완전히 덮는 것이 바람직하다.
상기 투명전극(4) 형성 후 절연층(5)을 형성하고, 표면처리 후 유기물을 다층으로 증착하여 유기전계발광층(6)을 형성한 다음, 그 위에 캐소드전극(7)을 형성한다. 상기 절연층(5)과 유기전계발광층(6)과 캐소드전극(7)은 전술한 것과 동일하게 전용 섀도우 마스크를 이용하여 PVD 또는 CVD 방식으로 증착될 수 있다.
상술한 것과 같이 기판(1)에 배선전극(2) 및 보조전극(3), 투명전극(4), 절연층(5), 캐소드전극(7)이 형성되며, 상기 투명전극(4) 등의 주변부를 따라 실링재(9)를 도포하고 그 위에 봉지용 커버(8)를 부착시키는 봉지공정을 수행한다.
한편, 전술한 유기전계 발광소자의 제조 방법에서 배선전극(2) 및 보조전극(3) 증착시 브리지(12)가 다른 부분보다 얇은 섀도우 마스크(10)를 사용하여 격자형 패턴을 형성하고 있는데, 이와 다르게 브리지(12)가 다른 부분들과 동일한 두께로 형성되어 브리지(12)와 기판(1) 면 간에 틈새가 발생하지 않는 경우, 섀도우 마스크(10)를 사용하여 관통공(11) 내측에 전극 막을 증착시킨 다음, 도 9b에 도시된 것과 같은 보조 섀도우 마스크(20)를 추가로 사용하여 상기 브리지(12)와 대응하는 부분에 전극 막을 형성하여 전극 막들이 완전히 서로 연결되도록 한다.
또한, 전술한 실시예에서는 배선전극(2)과 보조전극(3)을 투명전극(4)보다 먼저 형성하여 도 1에 도시된 것과 같은 구조의 유기전계 발광소자(OLED)를 구현하였으나, 이와 다르게 기판(1)에 투명전극(4)을 먼저 형성하고 이 투명전극(4) 상에 본 발명의 섀도우 마스크(10)를 이용하여 배선전극(2) 및 보조전극(3)을 증착하여 도 2에 도시된 것과 같은 구조의 유기전계 발광소자(OLED)를 구현할 수도 있다.
도 11은 전술한 유기전계 발광소자(OLED)의 제조 방법을 구현하기 위한 유기전계 발광소자(OLED) 제조 장치의 일 실시예를 나타낸다. 이 실시예의 유기전계 발광소자(OLED) 제조 장치는 본 발명에 따른 섀도우 마스크(10) 및 기판(1)이 투입되어 기판(1)의 일면에 상기 섀도우 마스크(10)가 고정되게 장착되는 공정이 수행되는 제1진공챔버를 갖는 마스크장착부(101)와, 상기 마스크장착부의 제1진공챔버와 연통되며 상기 섀도우 마스크(10)가 장착된 기판(1)의 일면에 격자형 패턴으로 배선전극(2) 및 보조전극(3)의 증착되는 제2진공챔버를 갖는 전극증착부(102)와, 상기 전극증착부(102)와 연결되며 전극증착부(102)로부터 전달된 섀도우 마스크-기판의 결합체에서 섀도우 마스크(10)를 분리하고 투명전극용 섀도우 마스크(미도시)를 장착하는 공정을 수행하는 제1마스크 탈/장착부(103)와, 상기 제1마스크 탈/장착부(103)와 연통되며 투명전극용 섀도우 마스크가 결합된 기판의 면에 투명전극을 증착하는 투명전극증착부(104)를 포함한다.
그리고, 상기 투명전극증착부(104)는 기판(1)에서 투명전극용 섀도우 마스크를 분리하고 절연층용 섀도우 마스크(미도시)를 장착하는 제2마스크 탈/장착부(105)와 연결되고, 제2마크스 탈/장착부(105)는 PVD 또는 CVD 방식으로 기판(1)에 절연층을 증착하는 절연층증착부(106)와 연결된다.
상술한 것과 동일한 방식으로 상기 절연층증착부(106)는 제3마스크 탈/장착부(107)와 연결되고, 제3마스크 탈/장착부(107)는 기판(1) 상에 다층의 유기물을 증착하여 유기전계발광층(6)을 형성하는 유기물증착부(108)와 연결되며, 상기 유기물증착부(108)는 제4마스크 탈/장착부(109)와, 제4마스크 탈/장착부(109)는 캐소드전극(7)을 증착하는 캐소드전극증착부(110)와, 캐소드전극증착부(110)는 봉지 공정을 수행하는 봉지부(111)와 각각 연결된다.
상기 각각의 증착부(102, 104, 106, 108, 110)들과 마스크 탈/장착부(101, 103, 105, 107, 109)들은 진공의 파기없이 공정이 진행될 수 있도록 각각의 진공챔버들이 기밀을 유지하면서 인라인(inline)으로 서로 연결되는 것이 바람직하다.
물론, 전술한 실시예와는 다르게 본 발명의 유기전계 발광소자(OLED) 제조 장치는 상기 마스크장착부(101)와 전극증착부(102), 또는 마스크 탈/장착부(105) 및 절연층증착부(106) 단독으로 구성될 수도 있으며, 마스크장착부(101) 및 전극증착부(102)와, 투명전극증착부(104), 절연층증착부(106)의 일부 구성부들만 인라인으로 연결하여 구성될 수도 있다.
이와 같이 본 발명에 따르면, 섀도우 마스크(10)의 관통공(11)들이 브리지(12)에 의해 격자형 패턴을 유지하므로 PVD 또는 CVD를 이용한 증착 공정만으로 신속하고 용이하게 배선전극(2) 및 보조전극(3), 혹은 절연층(5) 등의 격자형 패턴을 형성할 수 있다.
또한, 본 발명의 유기전계 발광소자 제조 장치 및 방법에 따르면, 각각의 구성부들의 진공챔버들이 기밀을 유지하면서 인라인으로 연결되어 진공 파기 없이 연속적인 증착 공정을 수행할 수 있다. 따라서, 배선전극(2) 및 보조전극(3)의 증착과 투명전극(4)의 증착, 절연층(5)의 증착 공정 등을 신속하게 수행할 수 있게 된다.
전술한 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 제조용 섀도우 마스크와 유기전계 발광소자의 제조 방법 및 제조 장치에 대한 실시예는 단지 본 발명의 이해를 돕기 위한 예시 목적으로 제시된 것으로 본 발명은 이에 국한되지 않으며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 첨부된 특허청구범위에 기재된 기술 사상의 범주 내에서 다양한 변경 및 실시가 가능할 것이다.
1 : 기판 2 : 배선전극
3 : 보조전극 4 : 투명전극
5 : 절연층 6 : 유기전계발광층
7 : 캐소드전극 8 : 봉지용 커버
9 : 실링재 10 : 섀도우 마스크
11 : 관통공 12 : 브리지
20 : 보조 섀도우 마스크 21 : 관통공
101 : 마스크장착부 102 : 전극증착부
103 : 제1마스크 탈/장착부 104 : 투명전극증착부
105 : 제2마스크 탈/장착부 106 : 절연층증착부
107 : 제3마스크 탈/장착부 108 : 유기물증착부
109 : 제4마스크 탈/장착부 110 : 케소드전극증착부
111 : 봉지부

Claims (13)

  1. 유기전계 발광소자(OLED)의 기판 면에 진공 증착 공정에 의해 격자(grid)형 패턴의 막을 형성하기 위한 유기전계 발광소자(OLED) 제조용 섀도우 마스크에 있어서,
    상기 격자형 패턴에 대응하는 부분에 막형성 물질이 도포되는 관통공(11)이 격자형 패턴으로 형성되되, 각각의 관통공(11)들이 서로 교차되는 부분에 상기 관통공들을 폐쇄하면서 관통공 외측 면을 서로 이어주는 브리지(12)가 형성되며;
    상기 브리지(12)는 섀도우 마스크의 다른 면보다 얇은 두께로 이루어지되, 외측부에서 중심부로 갈수록 두께가 두꺼워지는 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자(OLED) 제조용 섀도우 마스크.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 브리지(12)와 관통공(11) 외측 면 사이는 직각으로 단차진 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자(OLED) 제조용 섀도우 마스크.
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서, 상기 섀도우 마스크(10)는 기판(1)의 하부면에 밀착되어 기판의 하부면에 격자형 패턴의 막을 형성하는 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자(OLED) 제조용 섀도우 마스크.
  6. 제1항, 제3항, 제5항 중 어느 한 항에 따른 구성으로 이루어진 섀도우 마스크(10)를 기판(1)의 하부면에 밀착시키는 단계와;
    상기 기판(1)과 섀도우 마스크(10)를 진공 상태의 챔버 내에서 증착 공정을 수행하여 기판의 하부면에 격자형 패턴으로 막을 형성하는 단계와;
    상기 기판(1)의 하부면에서 섀도우 마스크(10)를 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자(OLED)의 제조방법.
  7. 제6항에 있어서, 상기 기판(1)의 하부면에서 섀도우 마스크(10)를 분리시킨 후, 섀도우 마스크(10)의 브리지(12)에 대응하는 부분들에 관통공(21)들이 형성되어 있는 보조 섀도우 마스크(20)를 기판(1)의 하부면에 밀착시키고 증착을 수행하여, 상기 섀도우 마스크(10)의 브리지(12)에 대응하는 부분에서 추가 도막을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자(OLED)의 제조방법.
  8. 제6항에 있어서, 상기 증착 공정은 물리증착법(PVD: physical vapor deposition), 화학증착법(CVD: chemical vapor deposition), 또는 스퍼터링(sputtering) 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자(OLED)의 제조방법.
  9. 제6항에 있어서, 상기 기판(1)에 격자형 패턴으로 증착되는 막은 유기전계 발광소자(OLED)의 테두리 부분을 따라 형성되는 배선전극(2)과 상기 배선전극(2)들을 격자형으로 연결하는 보조전극(3)인 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자(OLED)의 제조방법.
  10. 제6항에 있어서, 상기 기판(1)에 격자형 패턴으로 증착되는 막은 절연층(5)인 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자(OLED)의 제조방법.
  11. 제6항에 있어서, 상기 기판(1)에 격자형 패턴으로 증착되는 막 중 섀도우 마스크의 브리지(12)에 대응하는 부분에 형성되는 막은 섀도우 마스크의 관통공(11)에 대응하는 부분에 형성되는 막보다 작은 두께로 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자(OLED)의 제조방법.
  12. 제1항, 제3항, 제5항 중 어느 한 항에 따른 구성으로 이루어진 섀도우 마스크(10) 및 기판(1)이 투입되어 기판의 일면에 상기 섀도우 마스크가 고정되게 장착되는 공정이 수행되는 제1진공챔버를 갖는 마스크장착부(101)와;
    상기 마스크장착부(101)의 제1진공챔버와 연통되며, 상기 섀도우 마스크가 장착된 기판의 일면에 격자형 패턴으로 막의 증착이 이루어지는 공정이 수행되는 제2진공챔버를 갖는 막증착부를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자(OLED)의 제조장치.
  13. 제12항에 있어서, 상기 마스크장착부 또는 막증착부는 기판의 면에 다른 막을 증착하기 위한 공정을 수행하는 진공챔버와 기밀을 유지하면서 연결되어, 마스크장착부에서 섀도우 마스크가 장착되기 이전 또는 상기 막증착부에서 격자형의 막 패턴이 형성된 이후에 기판의 면에 다른 막이 증착되는 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자(OLED)의 제조장치.
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