KR101184253B1 - Clamp device of door for vacuum chamber - Google Patents

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히로아키 토고
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다키겐 세이조 가부시키가이샤
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Abstract

챔버내의 진공이 해제될 때 문의 힌지에 대한 부담이 없고, 또 챔버내의 진공 상태를 외부로부터 용이하게 확인할 수 있는 클램프 장치를 제공한다.
도어(D)를 닫고, 핸들 바(3)로, 스프링(7)에 저항하여 후크 부재(6)를 받이쇠(4)를 향하여 회전 조작한다. 후크체(62)의 걸어맞춤면(62f)의 선단측이 롤러(42)의 걸어맞춤면(42a)에 맞닿아, 문(D)을 케이스(B)에 눌러, 패킹(P)을 압축한다. 후크 부재(6)는 롤러(42)의 걸어맞춤면(42a)이 후크체의 오목면부(62g)에 빠진 상태로, 패킹(P)의 반발력에 의해 유지된다. 케이스(B)내가 진공으로 되어, 부압에 의해 패킹(P)이 더욱 압축되면, 롤러(42)의 걸어맞춤면(42a)이 후크체의 오목면부(62g)로부터 떠올라서 상호의 걸어맞춤이 풀리고, 스프링(7)의 힘으로 후크 부재(6)가 원위치로 복귀한다. 이것으로, 케이스(B)내의 진공도를 외부로부터 관찰하여 알 수 있다. 진공이 해제되면, 문(D)이 자연히 열리므로, 힌지에 과도한 부담이 가해지지 않는다.Provided is a clamp device that can freely check the door hinge when the vacuum in the chamber is released and can easily check the vacuum in the chamber from the outside.
The door D is closed, and the handle bar 3 rotates the hook member 6 toward the base 4 against the spring 7. The front end side of the engaging surface 62f of the hook body 62 abuts against the engaging surface 42a of the roller 42, and presses the door D against the case B to compress the packing P. . The hook member 6 is maintained by the repulsive force of the packing P, with the engaging surface 42a of the roller 42 falling in the recessed surface part 62g of the hook body. When the inside of the case B becomes a vacuum and the packing P is further compressed by underpressure, the engagement surface 42a of the roller 42 rises from the recessed surface part 62g of a hook body, and mutual engagement will be loosened, The hook member 6 returns to its original position by the force of the spring 7. This can be seen by observing the degree of vacuum in the case B from the outside. When the vacuum is released, the door D opens naturally, so that an excessive burden is not applied to the hinge.

Description

진공챔버용 문의 클램프 장치{CLAMP DEVICE OF DOOR FOR VACUUM CHAMBER}CLAMP DEVICE OF DOOR FOR VACUUM CHAMBER}

본 발명은, 진공챔버를 구성하는 케이스의 전면측의 개구를 개폐하기 위해서 케이스에 힌지식으로 장착되는 문을, 케이스의 전면과의 사이에 패킹을 통하여 케이스에 압접시킴으로써 개구를 밀폐하는 클램프 장치에 관한 것이다.The present invention provides a clamp device for sealing an opening by press-fitting a door hinged to the case to the case through a packing between the front face of the case to open and close the opening on the front side of the case constituting the vacuum chamber. It is about.

진공챔버용의 클램프 장치로서, 예를 들어 특허문헌 1에 기재된 것이 알려져 있다. 이 클램프 장치는 물품을 출입시키기 위한 개구를 가지는 진공챔버부와, 개구를 개폐 가능한 덮개부를 포함하는 진공챔버의 개구를 덮개부로 밀폐하기 위해서 사용하는 클램프이다. 클램프는 챔버부에 부착되어 있는 받이쇠부와, 덮개부에 부착되어 있는 핸들부를 가진다. 받이쇠부는 챔버부의 외측으로부터 내측을 향하는 방향으로 스프링 가압되어 있는 작용 부위를 가진다. 핸들부에 있어서의 걸쇠 부재는 받이쇠부의 작용 부위에 대해서, 챔버부의 내측으로부터 외측을 향하는 방향으로 압접 가능하다. 핸들부는 레버 핸들과, 걸쇠 부재와, 이들 양자간에 개재하는 링크 부재를 포함한다. 레버 핸들이 선회하면 링크 부재를 통하여 걸쇠 부재가 선회하고, 받이쇠부의 작용 부위를 가압력에 저항하여 압압하여, 반력으로 덮개부를 챔버에 압접시킨다.As a clamp apparatus for a vacuum chamber, the thing of patent document 1 is known, for example. The clamp device is a clamp used to seal the opening of the vacuum chamber including a vacuum chamber portion having an opening for entering and exiting an article and a lid portion capable of opening and closing the opening with the lid portion. The clamp has a receiving portion attached to the chamber portion and a handle portion attached to the lid portion. The receiving part has an action part which is spring-pressed in a direction from the outside to the inside of the chamber part. The clasp member in a handle part can be pressed against the action site | part of a receiving part in the direction from the inner side to the outer side of a chamber part. The handle portion includes a lever handle, a clasp member, and a link member interposed therebetween. When the lever handle is turned, the clasp member pivots through the link member, and the action portion of the receiving portion is pressed against the pressing force to press the lid portion against the chamber by reaction force.

받이쇠부의 작용 부위가 챔버부의 외측으로부터 내측을 향하는 방향으로 스프링 가압되어 있으므로, 챔버부의 진공도가 높아져 덮개부가 챔버부에 접근하도록 움직이면, 그 움직임에 받이쇠부의 작용 부위가 추종하여, 걸쇠 부재는 받이쇠부에 대한 압접 상태를 유지할 수 있고, 그 결과로서 진공챔버에는 공기 누설이 생기지 않는 것이다.Since the acting portion of the receiving portion is spring-pressed in the direction from the outside to the inside of the chamber portion, when the vacuum degree of the chamber portion increases and the lid portion moves to approach the chamber portion, the acting portion of the receiving portion follows the movement, and the latch member receives the receiving portion. The pressure contact state with respect to the metal part can be maintained, and as a result, there is no air leakage in a vacuum chamber.

일본 특허 공개 2010-47978호 공보Japanese Patent Publication No. 2010-47978

상기 종래의 클램프 장치에 있어서는, 덮개부의 일측을 상시 챔버부에 압접시키도록 단단히 조이고 있기 때문에, 챔버내에 대기압 이상의 공기가 도입되면, 덮개부의 움직임에 의한 응력이 힌지에 집중되어, 힌지의 피로 파손을 초래할 우려가 있다. 또, 클램프 장치로 덮개 부재를 단단히 조인 상태에서는, 챔버내가 진공상태에 있는지 여부를 외관상 용이하게 관찰하여 알 수 없다.In the conventional clamping device, since one side of the lid is firmly tightened to always press-contact the chamber, when air having an atmospheric pressure or higher is introduced into the chamber, the stress caused by the movement of the lid is concentrated on the hinge, thereby preventing fatigue of the hinge. It may cause. In addition, in the state where the lid member is firmly tightened with the clamp device, it is not possible to easily observe whether the inside of the chamber is in a vacuum state by appearance.

따라서, 이 출원에 따른 발명은 챔버내의 진공이 해제될 때에 덮개의 구속을 풀어서 힌지에 대한 부담을 없앨 수 있고, 또 챔버내가 소정의 진공상태에 있는지 여부를 외부로부터 용이하게 확인할 수 있는 클램프 장치를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.Therefore, the invention according to the present application provides a clamp device that can release the restraint of the lid when the vacuum in the chamber is released, thereby eliminating the burden on the hinge, and can easily check whether the inside of the chamber is in a predetermined vacuum state from the outside. It aims to provide.

이하, 첨부 도면의 부호를 참조하여 설명하는데, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, although it demonstrates with reference to the code | symbol of an accompanying drawing, this invention is not limited to this.

상기 과제를 해결하기 위한, 본 출원에 따른 클램프 장치(1)는 진공챔버를 구성하는 케이스(B)의 전면(B1)측의 개구(B2)를 개폐하기 위해서 케이스(B)에 힌지식으로 장착되는 문(D)을, 케이스(B)의 전면(B1)과의 사이에 패킹(P)을 통하여 케이스(B)에 압접시킴으로써 개구(B2)를 밀폐하는 클램프 장치로서, 핸들 바(3)에 의해 서로 연동하도록 연결되는 복수의 클램프 유닛(2)을 구비한다. 클램프 유닛(2)은 받이쇠(4)와, 대좌(5)와, 후크 부재(6)와 스프링(7)을 구비한다. 받이쇠(4)는 케이스(B)의 전면(B1)에 부착되고, 당해 전면과 대향하는 걸어맞춤면(42a)을 가진다. 대좌(5)는 받이쇠(4)에 대응하여 문(D)의 전면(D1)에 부착된다. 후크 부재(6)는 피벗축(53)으로 대좌(5)에 피벗 장착되고, 받이쇠(4)의 걸어맞춤면(42a)으로부터 이탈하는 원위치인 비로크 위치와, 이것에 걸어맞춰지는 로크 위치 사이에서 정역 회전 가능하다. 스프링(7)은 후크 부재(6)를 원위치로 회전 가압한다. 후크 부재(6)는 다른 클램프 유닛(2)의 후크 부재(6)와 핸들 바(3)로 연결되고, 대좌(5)로의 피벗 지지부로부터 받이쇠(4)를 넘어서 그것의 전방으로 연장되며, 받이쇠(4)를 향하여 회전 조작될 때, 받이쇠(4)의 걸어맞춤면(42a)에 대해서, 전방으로 향하는 압압력을 미치게 하면서 슬라이딩운동하는 대응 걸어맞춤면(62f)을 가진다. 이 걸어맞춤면(62f)은 소정의 압축 값만큼 패킹(P)을 압축하면서 문(D)을 케이스(B)에 압압한 상태에서, 받이쇠(4)의 걸어맞춤면(42a)을 유지하고, 또한 케이스(B)내의 부압에 의해 패킹(P)이 더욱 크게 압축되었을 때, 받이쇠(4)의 걸어맞춤면(42a)으로부터 이탈하여 후크 부재(6)의 원위치 복귀를 허용하는 오목면부(62g)를 포함한다.In order to solve the above problem, the clamp device 1 according to the present application is hingedly mounted on the case B to open and close the opening B2 on the front surface B1 side of the case B constituting the vacuum chamber. A clamping device for sealing the opening B2 by press-fitting the door D to be pressed against the case B via the packing P between the front surface B1 of the case B. It is provided with a plurality of clamp units (2) connected to interlock with each other by. The clamp unit 2 includes a base 4, a pedestal 5, a hook member 6, and a spring 7. The support 4 is attached to the front surface B1 of the case B, and has the engagement surface 42a which opposes the said front surface. The pedestal 5 is attached to the front surface D1 of the door D corresponding to the baffle 4. The hook member 6 is pivotally mounted to the pedestal 5 by the pivot shaft 53, and is a non-locked position which is an original position deviating from the engaging surface 42a of the support 4, and a locked position engaged with this. Can rotate between normal and reverse. The spring 7 rotates and presses the hook member 6 to its original position. The hook member 6 is connected with the handle member 3 and the hook member 6 of the other clamp unit 2 and extends forward of it beyond the pedestal 4 from the pivot support to the pedestal 5, When rotationally operated toward the support 4, it has a corresponding engagement surface 62f that slides against the engagement surface 42a of the support 4 while exerting a pushing force forward. The engagement surface 62f holds the engagement surface 42a of the support 4 while the door D is pressed against the case B while compressing the packing P by a predetermined compression value. Further, when the packing P is further compressed by the negative pressure in the case B, the concave surface portion is allowed to escape from the engaging surface 42a of the support 4 to allow the hook member 6 to return to its original position. 62g).

본 출원에 따른 발명의 장치에 의하면, 챔버내의 진공이 해제될 때, 문(D)이 자연히 열리므로, 챔버내에 대기압 이상의 공기가 도입되어도, 힌지에 과도한 부담이 가해지지 않는다. 또 챔버내가 소정의 진공도에 이르면, 후크 부재가 원위치로 복귀하므로, 챔버내의 상태를 외부로부터 용이하게 확인할 수 있다.According to the apparatus of the present invention, when the vacuum in the chamber is released, the door D naturally opens, so that even if air of more than atmospheric pressure is introduced into the chamber, no excessive burden is applied to the hinge. In addition, when the inside of the chamber reaches a predetermined degree of vacuum, the hook member returns to the original position, so that the state in the chamber can be easily confirmed from the outside.

도 1은 클램프 장치의 로크 상태의 평면도이다.
도 2는 도 1의 클램프 장치의 비로크 상태의 평면도이다.
도 3은 도 1의 클램프 장치의 정면도이다.
도 4는 도 1의 클램프 장치의 우측면도이다.
도 5는 도 3에 있어서의 V-V 단면도이다.
도 6은 도 4에 있어서의 VI-VI 단면도이다.
도 7은 도 1의 클램프 장치에 있어서의 후크 부재 본체의 배면도이다.
도 8은 도 1의 클램프 장치의 분해 사시도이다.
도 9는 도 1의 클램프 장치의 분해 사시도이다.
도 10은 중간에 추가 배치되는 클램프 유닛의 평면도이다.
도 11은 도 10의 클램프 유닛의 정면도이다.
도 12는 도 10의 클램프 유닛의 측면도이다.1 is a plan view of a locked state of a clamp device.
FIG. 2 is a plan view of a non-locked state of the clamp device of FIG. 1. FIG.
3 is a front view of the clamp device of FIG. 1.
4 is a right side view of the clamp device of FIG. 1.
5 is a VV cross-sectional view of FIG. 3.
6 is a cross-sectional view taken along the line VI-VI in FIG. 4.
FIG. 7 is a rear view of the hook member main body in the clamp device of FIG. 1. FIG.
8 is an exploded perspective view of the clamp device of FIG. 1.
9 is an exploded perspective view of the clamp device of FIG. 1.
10 is a plan view of the clamp unit further arranged in the middle.
11 is a front view of the clamp unit of FIG. 10.
12 is a side view of the clamp unit of FIG. 10.

도면을 참조하여 본 발명의 실시형태를 설명한다.An embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

진공챔버를 구성하는 케이스(B)는 전면(B1)측에 물품을 출입시키기 위한 개구(B2)를 가진다. 케이스(B)에는 개구(B2)를 개폐하기 위한 문(D)이 힌지식으로 장착된다. 케이스(B)의 전면(B1)과 문(D) 사이에는 패킹(P)이 개재 설치된다.The case B constituting the vacuum chamber has an opening B2 for entering and exiting the article on the front surface B1 side. In the case B, a door D for opening and closing the opening B2 is hingedly mounted. A packing P is interposed between the front surface B1 and the door D of the case B.

클램프 장치(1)는 문(D)을 케이스(B)의 전면(B1)에 압접시킴으로써 개구(B2)를 밀폐한다. 클램프 장치(1)는 핸들 바(3)에 의해 서로 연동하도록 연결되는 복수의 클램프 유닛(2)을 구비한다. 각 클램프 유닛(2)은 케이스(B)에 고착되는 받이쇠(4)와, 문(D)에 고착되는 대좌(5)와, 대좌(5)에 피벗 지지되어 받이쇠(4)에 대해서 걸어맞춤 이탈하는 후크 부재(6)와, 후크 부재(6)를 받이쇠(4)로부터 이탈한 원위치로 회전 가압하는 스프링(7)을 구비한다.The clamp device 1 seals the opening B2 by pressing the door D to the front surface B1 of the case B. The clamp device 1 has a plurality of clamp units 2 connected to each other by a handle bar 3. Each clamp unit 2 is pivotally supported by the base 4 fixed to the case B, the base 5 fixed to the door D, and the base 5, and hangs against the base 4. The hook member 6 which deviates from the fitting, and the spring 7 which rotationally pressurizes the hook member 6 to the original position separated from the support 4 are provided.

받이쇠(4)는 케이스(B)의 전면(B1)에 부착되고, 당해 전면과 대향하는 걸어맞춤면(42a)을 가진다. 받이쇠(4)는 케이스(B)에 고착되는 브래킷(41)과, 이 브래킷에 가설(架設)되는 롤러(42)를 구비하고, 이 롤러의 외주에 케이스의 전면(B1)과 대향하는 걸어맞춤면(42a)이 형성된다.The support 4 is attached to the front surface B1 of the case B, and has the engagement surface 42a which opposes the said front surface. The support 4 is provided with a bracket 41 fixed to the case B and a roller 42 which is installed on the bracket, and the outer periphery of the roller faces the front surface B1 of the case. A fitting surface 42a is formed.

대좌(5)는 문(D)의 폐쇄 상태에 있어서 받이쇠(4)에 대향하도록 문(D)의 전면(D1)에 부착된다. 대좌(5)는 문(D)의 전면에 볼트로 고착되는 부착부(51)와, 이 부착부로부터 기립하여 받이쇠(4)의 전방으로 연장되는 대향 한 쌍의 베어링부(52)를 구비한다.The pedestal 5 is attached to the front surface D1 of the door D so as to face the baffle 4 in the closed state of the door D. FIG. The pedestal 5 has an attachment portion 51 fixed to the front surface of the door D with a bolt, and a pair of opposing bearing portions 52 that stand up from the attachment portion and extend in front of the receiving portion 4. do.

후크 부재(6)는 피벗축(53)으로 대좌(5)의 베어링부(52)에 피벗 장착되고, 받이쇠(4)의 걸어맞춤면(42a)으로부터 이탈하는 원위치인 비로크 위치(도 1에 있어서 가상선, 도 2에 있어서 실선으로 도시한 위치)와, 이것에 걸어맞춰지는 로크 위치(도 1에 있어서 실선으로 도시한 위치) 사이에서 정역 회전 가능하며, 스프링(7)에 의해 원위치로 회전 가압된다. 도 5에 도시한 바와 같이, 스프링(7)은 피벗축(53)의 외주에 감기고, 일단이 베어링부(52)에, 타단이 후크 부재(6)에 각각 걸린다.The hook member 6 is pivotally mounted to the bearing portion 52 of the pedestal 5 by the pivot shaft 53 and is a non-locked position which is an original position deviating from the engaging surface 42a of the support 4 (FIG. 1). It can be rotated forward and backward between an imaginary line in FIG. 2 and the position shown by the solid line in FIG. Rotation is pressurized. As shown in FIG. 5, the spring 7 is wound around the outer circumference of the pivot shaft 53, and one end thereof is caught by the bearing portion 52 and the other end thereof by the hook member 6.

후크 부재(6)는 다른 클램프 유닛(2)의 후크 부재(6)와 핸들 바(3)로 연결되어, 그들이 동시에 동작한다. 도 1, 도 3에 도시한 바와 같이, 문(D)의 폐쇄 상태에 있어서, 피벗축(53)의 축선은 케이스의 전면에 대해서 수직 전방에 있어서 롤러(42)의 축선과 대략 평행하게 되도록 배치된다. 후크 부재(6)는 대좌(5)로의 피벗 지지부로부터 받이쇠(4)를 넘어서 그것의 전방으로 연장된다. 후크 부재(6)가 받이쇠(4)를 향하여 회전 조작될 때, 후크 부재의 대응 걸어맞춤면(62f)은 받이쇠(4)의 걸어맞춤면(42a)에 대해서, 전방으로 향하는 압압력(문(D)에 대해서는 이것을 케이스(B)에 누르는 압력)을 미치게 하면서 슬라이딩운동한다. 이 걸어맞춤면(62f)은 오목면부(62g)를 포함한다. 오목면부(62g)는 소정의 압축 값만큼 패킹(P)을 압축하여 문(D)을 케이스(B)에 압압한 상태에서, 받이쇠(4)의 걸어맞춤면(42a)을 유지하는데, 케이스(B)내의 부압에 의해 패킹(P)이 더욱 크게 압축되었을 때, 받이쇠(4)의 걸어맞춤면(42a)으로부터 이탈하여, 후크 부재(6)가 원위치로 복귀하는 것을 허용한다.The hook members 6 are connected by the handle bar 3 and the hook member 6 of the other clamp unit 2 so that they operate simultaneously. As shown in FIG. 1, FIG. 3, in the closed state of the door D, the axis line of the pivot shaft 53 is arrange | positioned so that it may be substantially parallel to the axis line of the roller 42 in the perpendicular front with respect to the front surface of a case. do. The hook member 6 extends forwardly beyond the pedestal 4 from the pivot support to the pedestal 5. When the hook member 6 is rotated toward the baffle 4, the corresponding engaging surface 62f of the hook member is pushed forward with respect to the engaging surface 42a of the baffle 4 ( With respect to the door D, it slides while exposing this to the case B). This engaging surface 62f includes a recessed surface portion 62g. The concave surface portion 62g holds the engagement surface 42a of the support 4 in a state in which the packing P is compressed by the predetermined compression value and the door D is pressed in the case B. When the packing P is compressed even more by the negative pressure in (B), it disengages from the engaging surface 42a of the support 4, and allows the hook member 6 to return to its original position.

후크 부재(6)는 본체(61)와 후크체(62)를 구비한다. 본체(61)는 일단측이 피벗축(53)에 의해 대좌(5)에 피벗 지지되고, 타단측이 핸들 바(3)에 연결되며, 중간에는 후크체(62)와의 결합부(61a)를 구비한다. 결합부(61a)는 수용 공동(61b)을 구비한다.The hook member 6 includes a main body 61 and a hook body 62. The main body 61 is pivotally supported on the pedestal 5 by one end of the pivot shaft 53, the other end of which is connected to the handle bar 3, and the coupling portion 61a with the hook body 62 in the middle thereof. Equipped. The engaging portion 61a has a receiving cavity 61b.

본체(61)의 타단측에는 핸들 바(3)를 삽입 통과시키는 관통 구멍(61g)과, 이 관통 구멍의 축선에 직교하는 볼트 구멍(61h)이 형성된다. 도 3, 4에 도시한 바와 같이, 핸들 바(3)의 양단부에 배치되는 클램프 유닛(2)은 핸들 바(3)에 미리 형성된 나사 구멍에, 볼트 구멍(61h)을 통과하여 볼트(61i)를 나합함으로써 핸들 바(3)에 고정된다. 또 본체(61)의 핸들 바(3)의 관통 방향의 양측면에는 바 파지 부재(8)(도 10 내지 12)를 볼트(81)로 고착하기 위한 나사 구멍(61j)이 형성된다.On the other end side of the main body 61, a through hole 61g through which the handle bar 3 is inserted and a bolt hole 61h orthogonal to the axis of the through hole are formed. As shown in Figs. 3 and 4, the clamp unit 2 disposed at both ends of the handle bar 3 passes through the bolt hole 61h through the bolt hole 61h through a screw hole previously formed in the handle bar 3, and then the bolt 61i. It is fixed to the handle bar 3 by screwing together. Moreover, the screw hole 61j for fixing the bar holding member 8 (FIGS. 10-12) with the bolt 81 is formed in the both sides of the main body 61 in the penetrating direction of the handle bar 3. As shown in FIG.

도 10 내지 12에 도시한 바와 같이, 바 파지 부재(8)는 핸들 바(3)의 중간부에 추가적으로 클램프 유닛(2)이 설치되는 경우에, 당해 클램프 유닛(2)의 후크 부재 본체(61)의 양측면에 부착되는 것으로, 본체(61)의 측면에 볼트(83)로 고착되는 부착부(81)와, 슬릿(82a)에 의해 일부가 절단된 고리부(82)를 구비한다. 고리부(82)는 핸들 바(3)의 외주를 포위하고, 슬릿(82a)의 양측 사이를 볼트(84)로 단단히 조임으로써 핸들 바(3)를 파지할 수 있다. 문(D)의 크기에 따라서 핸들 바(3)의 길이를 변경하고, 필요에 따라서 중간에 복수의 클램프 유닛(2)을 설치할 수 있다.10 to 12, the bar gripping member 8 is a hook member main body 61 of the clamp unit 2 when the clamp unit 2 is additionally installed in the middle of the handle bar 3. It is attached to both sides of the (), and has an attachment portion 81 fixed to the side of the main body 61 with a bolt 83, and a ring portion 82, a part of which is cut by the slit 82a. The ring portion 82 surrounds the outer circumference of the handle bar 3 and can grip the handle bar 3 by tightening the bolt 84 between both sides of the slit 82a. The length of the handle bar 3 can be changed in accordance with the size of the door D, and a plurality of clamp units 2 can be provided in the middle as necessary.

후크체(62)는 자루부(62a)와 걸어맞춤부(62b)를 구비하고, 자루부(62a)가 결합부(61a)의 공동(61b)에 축선방향의 고정 위치를 변경 가능하게 받아들여진다.The hook body 62 is provided with the bag part 62a and the engaging part 62b, and the bag part 62a is accommodated so that the fixed position of an axial direction can be changed to the cavity 61b of the engaging part 61a. .

도 1에 도시한 바와 같이, 자루부(62a)는 본체(61)의 결합부(61a)로부터 피벗축(53)의 축심(A1)과 핸들 바의 축심(A2)을 연결하는 직선(L1)에 대해서 직각방향으로 축선을 향하여 연장되고, 후크 부재(6)의 로크 위치에 있어서 케이스(B)의 전면(B1)에 대해서 대략 수직으로 배치된다. 도 6에 도시한 바와 같이, 자루부(62a)는 축선 직교 방향의 소나사 구멍(62c)을 가짐과 아울러, 도 5에 도시한 바와 같이, 축선방향으로 연장되는 나사 구멍(62d)을 가진다. 후크체(62)의 걸어맞춤부(62b)는 자루부(62a)의 선단으로부터 직각으로 굴곡되어 연장되고, 그 내측면에 걸어맞춤면(62f), 오목면부(62g)가 형성된다.As shown in FIG. 1, the bag portion 62a is a straight line L1 connecting the shaft center A1 of the pivot shaft 53 and the shaft center A2 of the handle bar from the engaging portion 61a of the main body 61. It extends in the direction perpendicular to the axis and is disposed substantially perpendicular to the front face B1 of the case B at the lock position of the hook member 6. As shown in FIG. 6, the bag part 62a has the small screw hole 62c of the axial orthogonal direction, and has the screw hole 62d extended in an axial direction as shown in FIG. The engaging portion 62b of the hook body 62 is bent and extended at a right angle from the tip of the bag 62a, and an engaging surface 62f and a concave surface portion 62g are formed on the inner side thereof.

도 6에 도시한 바와 같이, 후크 부재 본체(61)는 자루부(62a)의 소나사 구멍(62c)에 대응하는 긴구멍(61c)을 가짐과 아울러, 도 5에 도시한 바와 같이, 나사 구멍(62d)에 대응하는 볼트 구멍(61d)을 가진다. 긴구멍(61c)을 통과하여 자루부의 소나사 구멍(62c)에 고정 볼트(62e)가 나합되고, 볼트 구멍(61d)을 통과하여 자루부의 나사 구멍(62d)에 조정 볼트(61e)가 나합된다. 조정 볼트(61e)의 정역 회전에 의해 패킹(P)의 두께나 도어(D)의 두께에 따라, 자루부(62a)의 본체(61)로부터의 연장 길이를 조정할 수 있다. 즉, 자루부(62a)는 공동(61b)내에 있어서, 당해 공동의 바닥부와의 사이에 삽입된 스프링(61f)에 의해, 상시 공동(61bd)으로부터 돌출하는 방향으로 가압되어 있다. 조정 볼트(61e)를 단단히 조임으로써 스프링(61f)을 압축하여 자루부(62a)를 공동(61b)으로 끌어들이고, 또는 느슨하게 함으로써, 스프링(61f)을 해방하여 자루부(62a)를 공동(61b)으로부터 돌출시킨다. 조정후, 고정 볼트(62e)를 단단히 조여 후크체(62)를 본체(61)에 고정한다.As shown in FIG. 6, the hook member main body 61 has the long hole 61c corresponding to the small screw hole 62c of the bag part 62a, and as shown in FIG. It has the bolt hole 61d corresponding to 62d. The fixing bolt 62e is screwed into the small screw hole 62c of the bag part through the long hole 61c, and the adjustment bolt 61e is screwed into the screw hole 62d of the bag part through the bolt hole 61d. . By the forward and reverse rotation of the adjustment bolt 61e, the extension length from the main body 61 of the bag portion 62a can be adjusted in accordance with the thickness of the packing P and the thickness of the door D. FIG. That is, the bag 62a is pressurized in the direction which protrudes from the cavity 61bd at all times by the spring 61f inserted between the bottom part of the cavity in the cavity 61b. By tightening the adjustment bolt 61e, the spring 61f is compressed to pull the bag 62a into the cavity 61b, or by loosening, the spring 61f is released to loosen the bag 62a to the cavity 61b. Protrude from). After adjustment, the fixing bolt 62e is tightened firmly to fix the hook body 62 to the main body 61.

진공챔버를 사용하는 경우, 개구(B2)를 통하여 케이스(B)내에 필요한 물품의 출입을 행한 후, 도어(D)를 닫고, 핸들 바(3)를 쥐고, 도 1의 가상선(도 2)의 위치로부터 스프링(7)에 저항하여 후크 부재(6)를 받이쇠(4)를 향하여 반시계 방향으로 회전 조작한다. 후크 부재(6)의 회전에 따라, 후크체(62)의 걸어맞춤면(62f)의 선단측이 롤러(42)의 걸어맞춤면(42a)에 맞닿아, 문(D)을 케이스(B)에 누르고, 패킹(P)을 압축하면서 걸어맞춤면(42a)에 대해서 슬라이딩운동한다. 그리고, 후크 부재(6)는 롤러(42)의 걸어맞춤면(42a)이 후크체의 오목면부(62g)에 빠진 상태로, 패킹(P)의 반발력에 의해 유지되고, 이 상태에서 걸어맞춤부(62b)가 케이스(B)의 전면(B1)과 대략 평행하게 배치된다. 이것으로, 개구(B2)가 밀폐된다. 케이스(B)내가 진공으로 되어, 케이스(B)내의 부압에 의해 패킹(P)이 더욱 크게 압축되면, 롤러(42)의 걸어맞춤면(42a)이 후크체의 오목면부(62g)로부터 떠올라 상호의 걸어맞춤이 풀림과 동시에, 스프링(7)의 가압력으로 후크 부재(6)가 도 2에 도시한 원위치로 복귀한다. 후크 부재(6)가 원위치로 되돌아가 있으므로, 케이스(B)내의 진공도가 소정값에 이른 것을 외부에서 관찰하여 알 수 있다. 진공챔버의 사용이 완료되어 케이스 내부에 대기가 도입되면 문(D)이 자연히 열리므로, 케이스내에 대기압 이상의 공기가 도입된 경우에도, 힌지에 과도한 부담이 가해지지 않는다. 패킹(P)의 두께나 도어(D)의 두께에 따라, 자루부(62a)의 본체(61)로부터의 연장 길이를 미조정한다.In the case of using the vacuum chamber, after entering and exiting the necessary items in the case B through the opening B2, the door D is closed, the handle bar 3 is held, and the virtual line (Fig. 2) of Fig. 1 is held. The hook member 6 is rotated counterclockwise toward the receiver 4 against the spring 7 from the position of. As the hook member 6 rotates, the front end side of the engaging surface 62f of the hook body 62 abuts against the engaging surface 42a of the roller 42, thereby bringing the door D into the case B. Is pressed, and the packing P is compressed while sliding against the engagement surface 42a. And the hook member 6 is hold | maintained by the repulsive force of the packing P in the state in which the engagement surface 42a of the roller 42 fell in the recessed surface part 62g of a hook body, and the engagement part in this state 62b is disposed substantially parallel to the front surface B1 of the case B. As shown in FIG. As a result, the opening B2 is sealed. When the inside of the case B becomes a vacuum and the packing P is compressed further by the negative pressure in the case B, the engaging surface 42a of the roller 42 rises from the recessed surface part 62g of the hook body, and mutually. At the same time that the engagement of the is released, the hook member 6 returns to the original position shown in FIG. 2 by the pressing force of the spring 7. Since the hook member 6 has returned to the original position, it can be seen from the outside by observing that the degree of vacuum in the case B has reached a predetermined value. When the use of the vacuum chamber is completed and the atmosphere is introduced into the case, the door D opens naturally, so that even when air having an atmospheric pressure or more is introduced into the case, no excessive burden is applied to the hinge. The extension length from the main body 61 of the bag 62a is finely adjusted in accordance with the thickness of the packing P and the thickness of the door D. FIG.

1…클램프 장치
2…클램프 유닛
3…핸들 바
4…받이쇠
41…브래킷
42…롤러
42a…걸어맞춤면
5…대좌
51…부착부
52…베어링부
53…피벗축
6…후크 부재
61…본체
61a…결합부
61b…수용 공간
61c…긴구멍
61d…볼트 구멍
61e…조정 볼트
61f…스프링
61g…관통 구멍
61h…볼트 구멍
61i…볼트
61j…나사 구멍
62…후크체
62a…자루부
62b…걸어맞춤부
62c…소나사 구멍
62d…나사 구멍
62e…고정 볼트
62f…걸어맞춤면
62g…오목면부
7…스프링
8…바 파지 부재
81…부착부
82…고리부
83…볼트
84…볼트
A1…롤러의 축선
A2…피벗축의 축선
B…케이스
B1…전면
B2…개구
D…문
D1…전면
P…패킹One… Clamp device
2… Clamp unit
3 ... Handle bar
4… Gutter
41... Bracket
42 ... roller
42a... On the hook
5 ... Base
51 ... Attachment
52 ... Bearing
53 ... Pivot axis
6 ... Hook member
61... main body
61a... Engaging portion
61b... Accommodation space
61c... Long hole
61d... Bolt hole
61e... Adjustable bolt
61f... spring
61 g... Through hole
61h... Bolt hole
61i... volt
61j... Screw holes
62 ... Hook
62a... Bag
62b... Fitting
62c... Small screw hole
62d... Screw holes
62e... Fixing bolt
62f... On the hook
62 g... Concave
7 ... spring
8… Bar gripping members
81... Attachment
82 ... Ring
83... volt
84 ... volt
A1... Axis of roller
A2... Axis of pivot axis
B… case
B1... Front
B2... Opening
D… door
D1 ... Front
P… packing

Claims (6)

진공 챔버를 구성하는 케이스의 전면측의 개구를 개폐하기 위해서 케이스에 힌지식으로 장착되는 문을, 케이스의 전면과의 사이에 패킹을 통하여 케이스에 압접시킴으로써 개구를 밀폐하는 클램프 장치로서,
핸들 바에 의해 서로 연동하도록 연결되는 복수의 클램프 유닛을 구비하고,
상기 클램프 유닛은, 케이스의 전면에 부착되고 당해 전면과 대향하는 걸어맞춤면을 가지는 받이쇠와, 이 받이쇠에 대응하여 문의 전면에 부착되는 대좌와, 받이쇠의 걸어맞춤면으로부터 이탈하는 원위치와 걸어맞춰지는 로크 위치 사이에서 정역 회전 가능하게 상기 대좌에 피벗축에 의해 피벗 장착되는 후크 부재와, 이 후크 부재를 원위치로 회전 가압하는 스프링을 구비하고,
상기 후크 부재는 다른 상기 클램프 유닛의 후크 부재와 상기 핸들 바에서 연결되고, 상기 대좌로의 피벗 지지부로부터 상기 받이쇠를 넘어서 그것의 전방으로 연장되며, 받이쇠를 향하여 접근하는 방향으로 회전 조작될 때, 받이쇠의 상기 걸어맞춤면에 대해서, 전방으로 향하는 압압력을 미치게 하면서 슬라이딩운동하는 걸어맞춤면을 가지고,
상기 후크 부재의 걸어맞춤면은 소정의 압축 값만큼 상기 패킹을 압축하면서 문을 케이스에 압압한 상태에서 상기 받이쇠의 걸어맞춤면을 유지하고, 또한 케이스내의 부압에 의해 패킹이 더욱 크게 압축되었을 때 받이쇠의 걸어맞춤면으로부터 이탈하여 후크 부재가 원위치로 복귀하는 것을 허용하는 오목면부를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공챔버용 문의 클램프 장치.A clamping device for closing an opening by pressing a door, which is hinged to the case, to the case through a packing between the front face of the case to open and close the opening on the front side of the case constituting the vacuum chamber,
A plurality of clamp units connected to each other by a handle bar,
The clamp unit includes a support attached to the front surface of the case and having an engagement surface facing the front surface, a pedestal attached to the front surface of the door corresponding to the support, and an original position deviating from the engagement surface of the support. A hook member pivotally mounted to the pedestal by a pivot axis on the pedestal so as to be capable of forward and reverse rotation between locked positions, and a spring for rotationally pressing the hook member to its original position,
The hook member is connected at the handle bar with the hook member of the other clamp unit and extends forward of it beyond the bushing from the pivot support to the pedestal and when rotated in a direction approaching towards the bushing. Has a engagement surface that slides against the engagement surface of the support, while exerting a forward pressing force,
The engagement surface of the hook member maintains the engagement surface of the support while the door is pressed against the case while compressing the packing by a predetermined compression value, and when the packing is further compressed by underpressure in the case. And a concave surface portion allowing the hook member to return to its original position away from the engagement surface of the support. 제 1 항에 있어서, 상기 받이쇠는 케이스에 고착되는 브래킷과, 이 브래킷에 가설되는 롤러를 구비하고, 이 롤러의 외주에 케이스의 전면과 대향하는 상기 걸어맞춤면이 형성되고,
상기 대좌는 문의 전면으로부터 기립하여 상기 받이쇠의 전방으로 연장되고, 상기 피벗축의 축선과 상기 롤러의 축선이 케이스의 전면에 대해서 수직방향으로 늘어서서 서로 평행하게 배치되는 것을 특징으로 하는 진공챔버용 문의 클램프 장치.2. The support according to claim 1, wherein the support includes a bracket fixed to the case and a roller installed on the bracket, and the engaging surface facing the front surface of the case is formed on the outer circumference of the roller,
The pedestal stands up from the front of the door and extends in front of the receiver, wherein the axis of the pivot axis and the axis of the roller are arranged in parallel with each other in a direction perpendicular to the front of the case. Clamp device. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 후크 부재는 일단측이 상기 피벗축에 의해 상기 대좌에 피벗 지지되고 타단측이 상기 핸들 바에 연결되는 본체와, 이 본체의 중간부로부터 피벗축의 축심과 핸들 바의 축심을 연결하는 직선에 대해서 직각으로 연장되는 자루부를 가지는 후크체를 구비하고,
이 후크체는 상기 자루부의 선단으로부터 직각으로 굴곡하여 연장되는 걸어맞춤부를 구비하고, 이 걸어맞춤부의 내측면에 상기 후크 부재의 걸어맞춤면이 형성되는 것을 특징으로 하는 진공챔버용 문의 클램프 장치.3. The hook member according to claim 1 or 2, wherein the hook member has a main body whose one end is pivotally supported on the pedestal by the pivot shaft and the other end is connected to the handle bar, and an axis and a handle of the pivot axis from the middle of the main body. A hook body having a bag portion extending at right angles to a straight line connecting the axis of the bar,
The hook body is provided with a engaging portion extending bent at a right angle from the tip of the bag portion, wherein the engaging surface of the hook member is formed on the inner surface of the engaging portion, the clamp device for a vacuum chamber door. 제 3 항에 있어서, 상기 후크 부재의 본체는 중간부에 상기 후크체와의 결합부를 가지고, 이 결합부는 후크체의 자루부를 축선방향의 고정 위치를 변경 가능하게 수용 가능하게 구성되는 것을 특징으로 하는 진공챔버용 문의 클램프 장치.The main body of the said hook member has a coupling part with the said hook body in an intermediate part, This coupling part is comprised so that a bag part of a hook body can be removably accommodated in the axial fixed position, It is characterized by the above-mentioned. Clamp device for doors for vacuum chambers. 제 4 항에 있어서, 상기 후크체의 자루부는 축선방향으로 연장되는 나사 구멍을 가지고, 상기 본체는 자루부의 나사 구멍에 대응하는 볼트 구멍을 가지고, 이 볼트 구멍을 통과하여 자루부의 나사 구멍에 나합되는 조정 볼트의 회전에 의해, 자루부의 본체로부터의 연장 길이를 조정 가능하게 구성되는 것을 특징으로 하는 진공챔버용 문의 클램프 장치.5. The bag portion of the hook body has a screw hole extending in the axial direction, and the body has a bolt hole corresponding to the screw hole of the bag portion, and is screwed through the bolt hole to the screw hole of the bag portion. A clamping device for a vacuum chamber door, characterized in that the length of extension from the main body of the bag is adjustable by rotation of the adjustment bolt. 제 1 항에 있어서, 상기 클램프 유닛은 상기 핸들 바의 양단에 연결되는 제1, 제2 클램프 유닛과, 핸들 바의 중간부에 적어도 1개 연결되는 제3 클램프 유닛의 적어도 3개를 구비하고,
상기 후크 부재 본체는 선단측에 상기 핸들 바를 삽입 통과시키는 관통 구멍을 구비하고,
상기 제3 클램프 유닛에 있어서의 핸들 바의 축선방향의 양측에는 바 파지 부재가 볼트 고정되며,
이 바 파지 부재(8)는 상기 제3 클램프 유닛(2)의 후크 부재 본체(61)에 볼트로 고착되는 부착부와, 슬릿(8)에 의해 일부가 절단된 고리부를 구비하고, 이 고리부는 핸들 바의 외주를 포위하고, 슬릿의 양측 사이를 볼트로 단단히 조임으로써 핸들 바를 파지하는 것을 특징으로 하는 진공챔버용 문의 클램프 장치.The method of claim 1, wherein the clamp unit comprises at least three of the first and second clamp units connected to both ends of the handle bar, and at least one third clamp unit connected to the middle portion of the handle bar,
The hook member main body has a through hole through which the handle bar is inserted at a front end side thereof,
The bar gripping member is bolted to both sides in the axial direction of the handle bar in the third clamp unit,
The bar gripping member 8 includes an attachment portion that is bolted to the hook member main body 61 of the third clamp unit 2, and a hook portion that is partially cut by the slit 8. A clamping device for a vacuum chamber door that surrounds the outer circumference of the handle bar and grips the handle bar by tightening a bolt between both sides of the slit.
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