KR101183616B1 - 기판처리장치 - Google Patents

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고광만
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주성엔지니어링(주)
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Abstract

본 발명은 챔버 상부에 발열수단을 갖는 기판처리장치에 관한 것이다. 상기 기판처리장치는 리드와 바디로 이루어져 반응공간을 형성하고, 상기 리드가 상기 바디에 대해 승강 가능하도록 구성된 챔버; 기판을 지지하는 기판지지대; 상기 기판지지대의 상부에서 기판을 가열하는 발열수단; 상기 발열수단 및 상기 리드와 연결되어 상기 발열수단과 기판 사이의 간격을 조절하는 복수의 간격조절수단; 상기 리드의 승강시에 상기 리드에 대한 상기 발열수단의 상하방향의 상대운동을 구속하는 승강안내수단; 을 포함하는 것을 특징으로 한다.
이러한 구성에 따르면, 리드의 승강 과정에서 발열수단의 흔들림을 최소화할 수 있는 기판처리장치를 제공할 수 있다.

Description

기판처리장치 {Substrate processing apparatus}
본 발명은 챔버 상부에 발열수단을 갖는 기판처리장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체소자, 평면표시장치 및 박막 태양전지를 제조하기 위해서는 기판에 특정 물질의 박막을 증착하는 박막증착공정, 감광성 물질을 사용하여 이들 박막 중 선택된 영역을 노출 또는 은폐시키는 포토리소그래피 공정, 선택된 영역의 박막을 제거하여 목적하는 대로 패터닝하는 식각공정(etching) 등을 수행해야 한다.
이러한 증착, 식각 등의 공정은 원료물질의 종류나 박막 특성에 따라 다양한 방식으로 진행될 수 있으며, 각 공정에 따라 최적의 환경으로 설계된 기판처리장치의 공정챔버 내부에서 진행된다.
기판처리장치에서 최적의 공정을 확보하기 위하여, 기판은 공정조건에 적합한 온도로 균일하게 가열되어야 한다. 특히, 기판 상에 단결정의 박막을 성장시키는 에피택셜 성장(Selective Epitaxial Growth: SEG)을 포함하는 반도체 제조공정에 있어서, 기판의 균일한 온도분포는 매우 중요하다.
도 1은 종래의 기판처리장치를 개략적으로 도시하는 도면이다.
기판처리장치(1)는 기판(W)에 대한 증착, 식각 등이 이루어지는 챔버(10)를 포함한다. 챔버(10)는 상부에 위치되는 리드(11)와, 상기 리드(11)의 하부에 마련된 바디(12)를 포함한다.
챔버(10) 내에는 기판(21)이 놓여지는 기판지지대(20)가 있다. 챔버(10)의 상부에는 기판(W) 위로 공정가스를 분사하도록 다수의 분사홀(41)이 형성된 가스분배판(40)이 형성된다. 공정가스는 가스공급부(70)로부터 공급되어 분사홀(41)을 통해 기판(W) 위로 분사된다.
기판지지대(20)는 승강구동부(30)에 의해 승강 가능하게 구성된다. 승강구동부(30)의 구동에 의해 기판지지대(20)가 승강되면, 기판지지대(20)에 놓여지는 기판(W)과 가스분배판(40) 사이의 간격이 조절될 수 있다.
기판처리장치(1)는 기판지지대(20)의 하부에 위치되는 발열수단(50)을 포함한다. 발열수단(50)은 유도가열 방식으로 작동되는 원형의 코일 형태가 될 수 있다. 발열수단(50)은 기판지지대(20)의 하부에 전체적으로 분포되어, 기판지지대(20) 상에 놓여지는 기판(W)을 균일하게 가열한다.
발열수단(50)의 하부에는 발열수단(50)과 기판지지대(20) 사이의 간격을 조절하기 위해 다수의 간격조절수단(60)이 위치한다. 다수의 간격조절수단(60)은 발열수단(50)의 각 지점을 개별적으로 승강시킬 수 있도록 구성된다.
기판지지대(20)의 하부에 위치된 발열수단(50)에 의한 가열만으로는 기판(W)을 충분히 가열하기 어려운 경우, 기판(W)의 상부에도 발열수단(51)이 위치될 수 있다. 마찬가지로, 발열수단(51)은 간격조절수단(61)에 의해 각 지점이 개별적으로 승강된다.
기판(W)을 챔버(10) 내로 유입 및 배출할 수 있도록 챔버(10)는 개방 가능하게 구성된다. 챔버(10)는 챔버(10)의 외부에 위치된 승강장치(도시안됨)에 의해 리드(11)를 들어올림으로써 개방된다. 리드(11)가 개방될 때는, 리드(11)에 연결된 가스분배판(40), 발열수단(51), 간격조절수단(61) 등도 함께 들어올려진다.
한편, 기판처리과정에서 사용되고 챔버(10) 내에 남은 반응가스와 부산물은 챔버(10)의 하부에 설치된 배기구(65)를 통하여 배기된다. 배기구(65)에는 원활한 배기를 위하여 펌프를 포함하는 펌핑시스템(도시하지 않음)을 설치할 수 있다.
도 2는 종래의 기판처리장치에 설치되는 발열수단을 나타내는 도면이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 발열수단(50, 51)은 원형의 코일 형태로 되고, 발열수단(50, 51)은 간격조절수단(60, 61)과 연결되어 승강 가능하게 구성된다. 도면부호 P는 간격조절수단(60, 61)에 의해 지지되는 발열수단(50, 51)의 각 지지점을 나타낸다.
이처럼, 간격조절수단(60, 61)은 발열수단(50, 51)의 전체를 지지하고 있는 것이 아니라 발열수단(50, 51)의 이격되어 분포되는 다수의 지점을 하부에서 지지하고 있다.
리드(11)가 승강될 때는 리드(11)와 함께 발열수단(51)과 간격조절수단(61)도 함께 승강된다. 이때, 발열수단(51)은 각 지점별로 간격조절수단(61)에 의해 지지되기 때문에, 지지점(P) 사이의 거리가 넓은 부분은 리드(11)의 승강과정에서 흔들림이 발생할 수 있다.
기판(W)을 원하는 온도로 가열하기 위해서는 발열수단(51)의 형상과, 발열수단(51)과 기판(W) 사이의 간격이 정확하게 설정되어야 한다. 그러나, 발열수단(51)이 흔들리게 되면 챔버(10) 내부의 온도를 균일하게 분포시키기 위해 세팅해 놓았던 위치들이 틀어지거나 달라지게 된다. 또한, 반복적인 흔들림으로 인해 발열수단(51)의 형상이 변화되면, 기판(W)을 정확한 온도 설정값으로 가열할 수 없게 되는 문제점이 발생한다. 이러한 경우, 공정을 시작하기 전에 챔버(10) 내부의 온도 분포값을 다시 확인하고 온도를 다시 세팅해야 하는 번거로움이 있다.
따라서, 리드(11)의 승강과정에서 발열수단(51)의 흔들림을 최소화할 수 있는 수단이 요구된다.
따라서, 본 발명은 상기 사정을 감안하여 발명한 것으로, 리드의 승강 과정에서 발열수단의 흔들림을 최소화할 수 있는 기판처리장치를 제공하고자 함에 목적이 있다.
전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 의하면, 기판처리장치는 리드와 바디로 이루어져 반응공간을 형성하고, 상기 리드가 상기 바디에 대해 승강 가능하도록 구성된 챔버; 기판을 지지하는 기판지지대; 상기 기판지지대의 상부에서 기판을 가열하는 발열수단; 상기 발열수단 및 상기 리드와 연결되어 상기 발열수단과 기판 사이의 간격을 조절하는 복수의 간격조절수단; 상기 리드의 승강시에 상기 리드에 대한 상기 발열수단의 상하방향의 상대운동을 구속하는 승강안내수단; 을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 발열수단은 상기 챔버의 중심부에서 주변부로 확장되는 코일 형태로 되고, 상기 간격조절수단은 상기 발열수단의 각 지점과 연결되어 개별적으로 구동 가능한 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 승강안내수단은 상기 발열수단의 상하방향의 운동을 구속하는 구속 위치와, 상기 발열수단으로부터 이격된 비구속 위치 사이에서 이동 가능한 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 승강안내수단은 상기 발열수단의 상부를 구속하는 상부판과, 상기 발열수단의 하부를 구속하는 하부판을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 승강안내수단은 상기 리드의 벽과 연결되고, 직선운동에 의해 상기 구속 위치와 상기 비구속 위치 사이에서 이동하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 승강안내수단은 상기 리드의 벽과 연결되고, 회전축을 중심으로 하는 회전운동에 의해 상기 구속 위치와 상기 비구속 위치 사이에서 이동하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 승강안내수단은 상기 비구속 위치에서 상기 리드의 단면 외부로 돌출되지 않는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 승강안내수단은 상기 비구속 위치에서 상기 리드의 벽에 형성된 홈 내에 안착되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 승강안내수단은 호형의 형상을 갖는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 간격조절수단에 의해 지지되는 상기 발열수단의 지지점들은 상기 발열수단의 평면 상에서 상기 챔버의 중심부에서 주변부로 확장되는 복수의 라인을 형성하고, 상기 각각의 라인 사이의 거리는 최대한 이격되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 승강안내수단은 상기 구속 위치에서 상기 복수의 라인 사이에 위치되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 리드의 승강 과정에서 발열수단의 흔들림을 최소화할 수 있는 기판처리장치를 제공할 수 있다.
도 1은 종래의 기판처리장치를 개략적으로 도시하는 도면이다.
도 2는 종래의 기판처리장치에 설치되는 발열수단을 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판처리장치를 개략적으로 도시하는 도면이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 기판처리장치에 설치되는 발열수단을 나타내는 평면도이다.
도 5는 본 발명의 상부 발열수단과 기판 사이의 간격을 조절하는 실시예를 도시하는 도면이다.
도 6은 본 발명의 승강안내수단이 구속 위치에 있는 실시예를 나타내는 단면도이다.
도 7a는 본 발명의 승강안내수단이 비구속 위치에 있는 실시예를 나타내는 평면도이고, 도 7b는 본 발명의 승강안내수단이 구속 위치에 있는 실시예를 나타내는 평면도이다.
도 8은 본 발명의 승강안내수단의 다른 실시예를 나타내는 평면도이다.
이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대한 구성 및 작용을 상세히 설명하면 다음과 같다. 여기서 각 도면의 구성요소들에 대해 참조부호를 부가함에 있어서 동일한 구성요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호로 표기되었음에 유의하여야 한다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판처리장치를 개략적으로 도시하는 도면이다. 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 발열수단을 나타내는 평면도이다.
기판처리장치(100)는 챔버(110), 기판지지대(120), 가스분배판(140), 상부 발열수단(150), 하부 발열수단(151), 상부 간격조절수단(160), 하부 간격조절수단(161), 승강안내수단(180)을 포함한다.
챔버(110)는 기판(W)에 대한 증착 등의 반응이 진행되는 반응공간을 형성한다. 챔버(110)는 상부에 위치되는 리드(111)와, 상기 리드(111)의 하부에 마련된 바디(112)로 이루어진다. 기판(W)을 챔버(110) 내로 유입 및 배출할 수 있도록 챔버(110)는 개방될 수 있다. 이를 위해, 리드(111)는 바디(112)에 대해 승강 가능하게 구성된다. 리드(111)는 챔버(110)의 외부에 위치된 승강장치(도시안됨)에 의해 승강될 수 있다.
기판지지대(120)는 그 위에 기판(W)을 안착시켜 지지하는 역할을 한다. 기판지지대(120)는 승강구동부(130)에 의해 승강 가능하게 구성될 수 있다. 승강구동부(130)의 구동에 의해 기판지지대(120)가 승강되면, 기판지지대(120)에 놓여지는 기판(W)과 가스분배판(140) 사이의 간격이 조절될 수 있다.
가스분배판(140)은 기판(W) 위로 공정가스를 분배하는 역할을 한다. 공정가스는 가스공급부(170)로부터 공급되어 가스분배판(140)에 형성된 다수의 분사홀(141)을 통해 기판(W) 위로 분사된다.
하부 발열수단(151)은 기판지지대(120)의 하부에 위치되어 기판(W)을 가열한다. 하부 발열수단(151)은 유도가열 방식으로 작동되는 코일 형태가 될 수 있다. 하부 발열수단(151)은 기판지지대(120)의 하부에서 5~50mm 정도 이격되어 설치될 수 있다. 하부 발열수단(151)은 기판지지대(120)의 하부에 전체적으로 분포되어, 기판지지대(120) 상에 놓여지는 기판(W)을 균일하게 가열한다.
하부 발열수단(151)의 하부에는 상기 하부 발열수단(151)과 기판지지대(120) 사이의 간격을 조절하기 위해 다수의 하부 간격조절수단(161)이 위치한다. 각각의 하부 간격조절수단(161)은 하부 발열수단(151)과 연결되어, 하부 발열수단(151)의 각 지점을 개별적으로 승강시킬 수 있도록 구성된다. 하부 발열수단(151)와 기판지지대(120) 사이의 간격이 가까워질수록 기판지지대(120)에 안착되는 기판(W)으로 더 많은 열이 전달된다.
상부 발열수단(또는 발열수단)(150)은 기판지지대(120)의 상부에서 기판(W)을 가열한다. 상부 발열수단(150)의 상부에는 상부 발열수단(150)과 기판(W) 사이의 간격을 조절하기 위해 복수의 상부 간격조절수단(또는 간격조절수단)(160)이 위치한다. 복수의 상부 간격조절수단(160)은 상부 발열수단(150) 및 리드(111)와 연결되어, 상부 발열수단(150)의 각 지점을 개별적으로 승강시킬 수 있도록 구성된다.
한편, 기판(W)에 대한 증착과정에서 사용되고 남은 반응가스와 부산물은 챔버(110)의 하부에 설치된 배기구(165)를 통하여 배기된다. 배기구(165)에는 원활한 배기를 위하여 펌프를 포함하는 펌핑시스템(도시하지 않음)이 설치될 수 있다.
챔버(110)를 개방하기 위해 리드(111)가 바디(112)에 대해 승강할 때는, 리드(111)와 연결된 가스분배판(140), 상부 발열수단(150), 상부 간격조절수단(160)도 함께 승강된다.
도 4를 참조하면, 상부 발열수단(150)은 챔버(110) 내의 중심부에서 주변부로 확장되는 코일 형태로 될 수 있다. 상부 발열수단(150)은 원형, 타원형, 사각형 등의 여러가지 형상을 갖는 코일 형태로 될 수 있다. 또한, 상부 발열수단(150)은 하나로 연결되어 나선형으로 연장되는 코일 형태로 될 수도 있고, 도시된 것처럼 복수의 원으로 이루어지는 코일 형태가 될 수 있다.
상부 발열수단(150)에 전류가 인가되면, 유도 가열 방식에 의해 상부 발열수단(150)이 가열되어 기판(W)을 가열하게 된다. 균일한 증착공정을 위해 기판(W)은 온도의 편차없이 전체적으로 골고루 가열되어야 한다.
도면부호 P는 상부 발열수단(150)과 상부 간격조절수단(160)의 연결점을 나타내고, 이는 상부 간격조절수단(160)에 의해 지지되는 상부 발열수단(150)의 지지점이 된다. 이처럼, 상부 발열수단(150)은 상부 간격조절수단(160)에 의해 전체적으로 지지되지 않고 다수의 지지점(P)에 의해 지지되고 있다.
이러한 지지점(P)들은 상부 발열수단(150)의 평면 상에서 챔버(110)의 중심부에서 주변부로 확장되는 대체로 직선 형태의 복수의 라인(l, l', l")을 형성하는 것이 바람직하다. 상부 발열수단(150)을 효과적으로 지지하기 위해 이러한 라인들(l, l', l") 사이의 거리는 최대한 이격되는 것이 바람직하다. 예를 들어, 지지점(P)들이 3개의 라인을 형성하는 경우, 각각의 라인들은 대략 120°정도로 이격되는 것이 바람직하다. 또는, 지지점(P)들이 4개의 라인을 형성하는 경우, 각각의 라인들은 대략 90°정도로 이격되는 것이 바람직하다.
도 5는 본 발명의 상부 발열수단과 기판 사이의 간격을 조절하는 실시예를 도시하는 도면이다.
도 5를 참조하면, 상부 간격조절수단(160)은 개별적으로 상부 발열수단(150)을 지지하고 있고, 이러한 각각의 상부 간격조절수단(160)을 개별적으로 조절함으로써 코일 형태의 상부 발열수단(150)과 기판(W) 사이의 간격(T1)을 조절할 수 있다.
기판(W)에 대한 증착과정에서 기판(W)은 전체적으로 균일한 온도로 가열되는 것이 바람직하다. 상부 발열수단(150)과 기판(W) 사이의 간격(T1)이 줄어들수록 기판(W)의 온도는 상승하게 된다. 이처럼, 기판(W)의 정밀한 온도제어를 위해서는 기판(W)과 상부 발열수단(150) 사이의 간격(T1)에 대한 제어가 중요하다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 챔버(110)를 개방하기 위해 리드(111)가 바디(112)에 대해 승강할 때, 상부 발열수단(150)도 리드(111)와 함께 승강된다. 그러나, 상부 발열수단(150)에 대한 지지점(P)들은 상당한 거리로 이격되어 있고, 특히 주변부 쪽으로 갈수록 각각의 지지점(P)들 사이의 이격 거리는 더욱 커진다. 이 때문에, 리드(111)가 승강할 때, 진동에 의해 상부 발열수단(150)은 리드(111)에 대한 상하방향의 상대운동이 발생하게 된다. 이러한 상부 발열수단(150)의 흔들림은 지지점(P)에 의해 지지되고 있는 상부 발열수단(150)에도 영향을 줘서 온도 설정값이 달라질 수 있다. 또한, 상부 발열수단(150)의 반복적인 상대운동은 전류가 잘 인가될 수 있도록 예를 들어, 구리 재질로 이루어지는 상부 발열수단(150)의 변형을 가져오게 된다. 상부 발열수단(150)이 변형되면, 상부 발열수단(150)과 기판(W) 사이의 간격이 변화되어 기판(W)을 전체적으로 균일하게 가열하기 어렵게 된다.
따라서, 이러한 문제를 방지하기 위해 본 실시예의 기판처리장치(100)에는 리드(111)의 승강시에 리드(111)에 대한 상부 발열수단(150)의 상하방향의 상대운동을 구속하는 승강안내수단(180)이 구비된다. 승강안내수단(180)의 재질은 챔버(110)와 같은 재질인 스텐레스 스틸을 사용할 수 있다.
승강안내수단(180)은 상부 발열수단(150)의 상하방향의 운동을 구속하는 구속 위치와, 상부 발열수단(150)으로부터 이격된 비구속 위치 사이에서 이동 가능하다.
도 6은 본 발명의 승강안내수단이 구속 위치에 있는 실시예를 나타내는 단면도이다. 도 7a는 본 발명의 승강안내수단이 비구속 위치에 있는 실시예를 나타내는 평면도이고, 도 7b는 본 발명의 승강안내수단이 구속 위치에 있는 실시예를 나타내는 평면도이다.
도 6을 참조하면, 승강안내수단(180)은 구속 위치에서 상부 발열수단(150)의 상부를 차단하여 구속하는 상부판(181)과, 상부 발열수단(150)의 하부를 차단하여 구속하는 하부판(182)을 포함한다. 이러한 상부판(181)과 하부판(182)에 의해 상부 발열수단(150)의 상하방향 운동은 구속되어, 리드(111)의 승강시에 상부 발열수단(150)의 흔들림이 방지된다. 따라서, 리드(111)의 승강 과정 중에 상부 발열수단(150)의 흔들림에 의해 상부 발열수단(150)이 변형되는 것이 방지된다. 상부 발열수단(150)과 상부판(181), 그리고 상부 발열수단(150)과 하부판(182) 사이는 약간의 유격을 가질 수 있다.
또한, 승강안내수단(180)은 코일로 형성되는 상부 발열 수단(150)이 같은 높이에 있거나 또는 높이 차이가 있을 경우에도 모두 구속할 수 있도록 상부판(181)과 하부판(182) 사이의 이격 거리를 조절할 수 있다.
승강안내수단(180)은 직선운동에 의해 비구속 위치와 구속 위치 사이에서 이동 가능하다. 즉, 승강안내수단(180)의 상부판(181)과 하부판(182)이 전진하여 상부 발열수단(150)의 상부와 하부를 차단하면 구속 위치에 있게 되고, 승강안내수단(180)의 상부판(181)과 하부판(182)이 후퇴하여 상부 발열수단(150)으로부터 이격되면 비구속 위치에 있게 된다. 상부판(181)과 하부판(182)의 단부는 면취부(181a, 182a)를 구비하여, 상부 발열수단(150)이 부드럽게 상부판(181)과 하부판(182)의 사이에 삽입되도록 하는 것이 바람직하다.
도 7a를 참조하면, 승강안내수단(180)은 비구속 위치에 있다. 승강안내수단(180)은 리드(111)의 벽을 관통하여 설치될 수 있다. 승강안내수단(180)은 복수의 라인들(l, l', l") 사이에 위치되어, 지지점(P)과의 간섭없이 직선 운동에 의해 비구속 위치와 구속 위치 사이에서 이동 가능하게 설치된다.
도 7b를 참조하면, 승강안내수단(180)은 구속 위치로 이동된 상태에 있다. 구속 위치에서, 승강안내수단(180)은 복수의 라인들(l, l', l") 사이에 위치하게 된다. 이때, 승강안내수단(180)은 직선으로 이동하여 상부 발열수단(150)의 상부와 하부를 구속함으로써, 상부 발열수단(150)의 상하방향으로의 흔들림을 구속하게 된다.
도 8은 본 발명의 승강안내수단의 다른 실시예를 나타내는 평면도이다.
승강안내수단(280)은 회전축(285)을 중심으로 회전하는 회전운동에 의해 비구속 위치와 구속 위치 사이에서 이동 가능하게 구성된다. 승강안내수단(280)은 리드(111)의 곡률과 비슷한 호형의 형상을 갖는 것이 바람직하다. 도면에서, 점선으로 나타낸 부분은 승강안내수단(280)이 비구속 위치에 있는 상태를 나타내고, 실선은 승강안내수단(280)이 구속 위치로 이동된 상태를 나타낸다. 구속 위치에서, 승강안내수단(280)은 복수의 라인들(l, l', l") 사이에 위치하게 된다.
승강안내수단(280)은 리드(111)와 연결된다. 승강안내수단(280)은 리드(111)의 단면 상에 설치된 회전축(285)을 중심으로 회전될 수 있다. 승강안내수단(280)은 비구속 위치에서 리드(111)의 벽부에 형성된 홈(111a) 내에 안착되어, 리드(111)의 단면 외부로 돌출되지 않도록 하는 것이 바람직하다. 이는 승강안내수단(280)과 다른 부분들이 간섭되거나 다른 부분들이 영향을 받는 것을 최소화하고, 콤팩트한 구성을 가능하게 한다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 기판처리장치에서는 챔버(110)의 상부에 상부 발열수단(150)과, 상부 간격조절수단(160)이 설치되고, 챔버(110)를 개방시키기 위한 리드(111)의 승강 과정에서 상부 발열수단(150)이 흔들림에 의해 변형되는 것을 방지하기 위해 리드(111)와 연결된 승강안내수단(180, 280)이 설치된다. 이러한 승강안내수단(180, 280)은 리드(111)의 승강시에 상부판(181)과 하부판(182)에 의해 상부 발열수단(150)의 상하방향의 운동을 구속하여 상부 발열수단(150)의 흔들림을 최소화하여, 상부 발열수단(150)이 변형되는 것을 방지한다.
또한, 종래에는 상부 발열수단이 변형된 경우 이를 조정하기 위해 공정이 지연되었으나, 본 발명에서는 상부 발열수단(150)이 변형되지 않도록 하여 전체 공정시간을 단축할 수 있다.
본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고 본 발명의 기술적 요지를 벗어나지 아니하는 범위 내에서 다양하게 수정 또는 변형되어 실시될 수 있음은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어서 자명한 것이다.
100 : 기판처리장치 110 : 챔버
111 : 리드 111a : 홈
112 : 바디 120 : 기판지지대
130 : 승강구동부 140 : 가스분배판
150 : 상부 발열수단 151 : 하부 발열수단
160 : 상부 간격조절수단 161 : 하부 간격조절수단
170 : 가스공급부 181a : 면취부
182 : 하부판 182a : 면취부
280 : 승강안내수단 285 : 회전축
P : 지지점

Claims (11)

  1. 리드와 바디로 이루어져 반응공간을 형성하고, 상기 리드가 상기 바디에 대해 승강 가능하도록 구성된 챔버;
    기판을 지지하는 기판지지대;
    상기 기판지지대의 상부에서 기판을 가열하는 발열수단;
    상기 발열수단 및 상기 리드와 연결되어 상기 발열수단과 기판 사이의 간격을 조절하는 복수의 간격조절수단;
    상기 리드의 승강시에 상기 리드에 대한 상기 발열수단의 상하방향의 상대운동을 구속하는 승강안내수단;
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 발열수단은 상기 챔버의 중심부에서 주변부로 확장되는 코일 형태로 되고,
    상기 간격조절수단은 상기 발열수단의 각 지점과 연결되어 개별적으로 구동 가능한 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 승강안내수단은 상기 발열수단의 상하방향의 운동을 구속하는 구속 위치와, 상기 발열수단으로부터 이격된 비구속 위치 사이에서 이동 가능한 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 승강안내수단은 상기 발열수단의 상부를 구속하는 상부판과, 상기 발열수단의 하부를 구속하는 하부판을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 승강안내수단은 상기 리드의 벽과 연결되고, 직선운동에 의해 상기 구속 위치와 상기 비구속 위치 사이에서 이동하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 승강안내수단은 상기 리드의 벽과 연결되고, 회전축을 중심으로 하는 회전운동에 의해 상기 구속 위치와 상기 비구속 위치 사이에서 이동하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 승강안내수단은 상기 비구속 위치에서 상기 리드의 단면 외부로 돌출되지 않는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 승강안내수단은 상기 비구속 위치에서 상기 리드의 벽에 형성된 홈 내에 안착되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  9. 제6항에 있어서,
    상기 승강안내수단은 호형의 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  10. 제4항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 간격조절수단에 의해 지지되는 상기 발열수단의 지지점들은 상기 발열수단의 평면 상에서 상기 챔버의 중심부에서 주변부로 확장되는 복수의 라인을 형성하고, 상기 각각의 라인 사이의 거리는 최대한 이격되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 승강안내수단은 상기 구속 위치에서 상기 복수의 라인 사이에 위치되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
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