KR101174633B1 - Apparatus for supplying materials - Google Patents

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최호중
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박현욱
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Abstract

PURPOSE: A raw material supply apparatus is provided to prevent a raw material from leaking from a container and contaminating a deposition apparatus by reciprocating a heater and a cooling unit along the length of a container without lifting the raw material. CONSTITUTION: A raw material supply apparatus(100) comprises a raw material container(110) which accommodates a solid or liquid raw material(1), a first heater(120) which is installed in the raw material container and supplies heat to the raw material container to evaporate the raw material, a second heater(140) which is installed above the first heater in the raw material container and supplies heat to the raw material container in order to prevent the phase change of the evaporated raw material into the liquid or solid state, a cooling unit(130) which is connected to the first heater and installed in the raw material container to cool the raw material in the raw material container, and a transfer unit(150) which reciprocates the first heater and the cooling unit along the length of the raw material container.

Description

원료물질 공급장치{APPARATUS FOR SUPPLYING MATERIALS}Raw material supply device {APPARATUS FOR SUPPLYING MATERIALS}

본 발명은 원료물질 공급장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판상에 박막 형태로 증착시키는 유기물질을 기화시켜 공급하는 원료물질 공급장치에 관한 것이다.The present invention relates to a raw material supply device, and more particularly to a raw material supply device for vaporizing and supplying an organic material deposited in the form of a thin film on a substrate.

자체발광 특성을 갖는 유기발광 표시장치는, 주사 라인(scan line)과 데이터 라인(data line) 사이에 매트릭스 방식으로 연결되어 화소를 구성하는 유기발광 소자를 포함한다. 유기발광 소자는 애노드(anode) 전극 및 캐소드(cathode) 전극과, 애노드 전극 및 캐소드 전극 사이에 형성되고 정공 수송층, 유기발광층 및 전자 수송층을 포함하는 유기 박막층으로 구성되며, 애노드 전극과 캐소드 전극에 소정의 전압이 인가되면 애노드 전극을 통해 주입되는 정공과 캐소드 전극을 통해 주입되는 전자가 유기발광층에서 재결합하게 되고, 이 과정에서 발생하는 에너지 차이에 의해 빛을 방출한다.The organic light emitting diode display having the self-luminous property includes an organic light emitting diode that is connected between a scan line and a data line in a matrix to form a pixel. The organic light emitting device is composed of an anode electrode and a cathode electrode, and an organic thin film layer formed between the anode electrode and the cathode electrode and including a hole transport layer, an organic light emitting layer, and an electron transport layer, and is predetermined on the anode electrode and the cathode electrode. When a voltage of is applied, holes injected through the anode and electrons injected through the cathode are recombined in the organic light emitting layer, and light is emitted by the energy difference generated in the process.

유기 박막층을 증착하는 공정에서 사용되는 유기 재료는 무기 재료와 달리 높은 증기압이 필요치 않으나, 고온에서 분해 및 변성이 용이하다. 이러한 소재의 특성으로 인해 유기 박막은 텅스텐 재질의 원료 용기에 유기 재료를 충진하고, 원료 용기를 가열하여 유기 재료를 기화시켜서 기판상에 증착시켰다.Organic materials used in the process of depositing an organic thin film layer do not require high vapor pressure, unlike inorganic materials, but are easily decomposed and modified at high temperatures. Due to the characteristics of these materials, the organic thin film was filled with an organic material in a tungsten raw material container, and the raw material container was heated to vaporize the organic material and deposited on the substrate.

도 1은 종래의 원료물질 공급장치의 일례를 도시한 도면이다.1 is a view showing an example of a conventional raw material supply apparatus.

종래의 원료물질 공급장치는, 원료물질(1)이 수용되는 원료 용기(10)와, 원료물질(1)을 기화시키는 제1히터(20)와, 원료물질(1)의 변성을 방지하기 위해 원료물질(1)을 냉각시키는 냉각부(30)와, 기화된 원료물질(1)의 상변화를 방지하기 위해 원료 용기(10) 내벽에 설치되는 제2히터(40)로 구성된다. 기화된 원료물질(1)은 연결관(2)을 경유하여 인젝터(3)로 공급되고, 분사구(4)를 통해 기판 측으로 분사된다.The conventional raw material supply device is to prevent the degeneration of the raw material container (10) in which the raw material (1) is accommodated, the first heater (20) for vaporizing the raw material (1), and the raw material (1) The cooling unit 30 for cooling the raw material 1 and the second heater 40 provided on the inner wall of the raw material container 10 to prevent the phase change of the vaporized raw material (1). The vaporized raw material 1 is supplied to the injector 3 via the connecting pipe 2, and is injected to the substrate side through the injection port 4.

원료 용기(10) 내의 원료물질(1)이 소모됨에 따라, 원료물질(1)의 수위가 변경되면서 원료 용기(10) 내의 원료물질(1)이 제1히터(20) 및 냉각부(30)로부터 멀어지게 된다. 종래의 원료물질 공급장치에서는 이송유닛(50)을 이용하여 피스톤(5)을 상승 또는 하강시키면서 원료물질(1)을 제1히터(20)와 냉각부(30)에 인접하게 위치시켰으나, 제1히터(20)와 냉각부(30)가 고정되게 설치된 관계로 원료 용기(10) 내의 어떤 위치에서는 히팅 기능과 냉각 기능을 충실히 수행할 수 없는 사각지대가 존재하는 문제점이 있다.As the raw material 1 in the raw material container 10 is consumed, the raw material 1 in the raw material container 10 is changed into the first heater 20 and the cooling unit 30 while the level of the raw material 1 is changed. Away from you. In the conventional raw material supply apparatus, the raw material 1 is positioned adjacent to the first heater 20 and the cooling unit 30 while the piston 5 is raised or lowered using the transfer unit 50. Since the heater 20 and the cooling unit 30 are fixedly installed, there is a problem that a blind spot in which the heating function and the cooling function cannot be faithfully performed at a certain position in the raw material container 10 exists.

또한, 피스톤(5)이 원료 용기(10) 내에 설치되어 원료물질(1)을 직접적으로 상승 또는 하강시킴으로써, 피스톤(5)과 원료 용기(10) 사이로 원료물질(1)이 새어나와 증착 장비를 오염시키는 문제가 발생하고, 피스톤(5)과 원료 용기(10) 사이에서 원료물질(1)이 응고되면 피스톤(5)의 상승 또는 하강이 원활하게 이루어지지 않는 문제점이 있다.In addition, the piston 5 is installed in the raw material container 10 to directly raise or lower the raw material 1 so that the raw material 1 leaks between the piston 5 and the raw material container 10 so that the deposition equipment can be removed. If a problem occurs that contaminates and the raw material 1 solidifies between the piston 5 and the raw material container 10, there is a problem that the raising or lowering of the piston 5 is not smoothly performed.

또한, 종래의 장치에서는 원료물질(1)이 소모되면서 원료물질(1)과 제1히터(20) 및 냉각부(30)의 상대적인 위치 관계가 적절하지 않게 되면, 기화되는 원료물질의 양이 변화되어 기판에 증착되는 막의 두께 변화로 신뢰성 있는 소자 제작이 이루어지지 않는 문제점이 있다.In addition, in the conventional apparatus, when the relative positional relationship between the raw material 1, the first heater 20, and the cooling unit 30 becomes inappropriate while the raw material 1 is consumed, the amount of raw material vaporized changes. Therefore, there is a problem in that reliable device fabrication is not made due to the thickness change of the film deposited on the substrate.

따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 원료물질에 열을 공급하는 히터와 원료물질을 냉각시키는 냉각부를 원료 용기의 길이 방향을 따라 직접적으로 왕복이송시킴으로써, 원료 용기 내의 임의의 위치에서도 히팅 기능과 냉각 기능을 충실히 수행할 수 있으며, 기판에 증착되는 유기발광 소자의 두께 및 품질을 일정하게 유지하여 신뢰성 높은 유기발광 소자를 제작할 수 있는 원료물질 공급장치를 제공함에 있다.Therefore, an object of the present invention is to solve such a conventional problem, by directly reciprocating the heater to supply heat to the raw material and the cooling unit for cooling the raw material directly along the longitudinal direction of the raw material container, It is possible to faithfully perform the heating function and the cooling function at any position, and to provide a raw material supply apparatus for manufacturing a reliable organic light emitting device by maintaining a constant thickness and quality of the organic light emitting device deposited on the substrate.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 원료물질 공급장치는, 기판상에 박막 형태로 원료물질을 증착시키기 위하여 원료물질을 기화시켜 기판 측으로 공급하는 원료물질 공급장치에 있어서, 기판상에 증착되는 원료물질이 고체 또는 액체 상태로 수용되는 원료 용기; 상기 원료 용기에 설치되며, 상기 원료 용기에 수용된 원료물질을 기화시키기 위하여 상기 원료 용기에 열을 공급하는 제1히터; 상기 제1히터의 하측에서 상기 제1히터와 연결된 상태로 상기 원료 용기에 설치되며, 상기 원료 용기에 수용된 원료물질을 냉각시키는 냉각부; 상기 제1히터의 상측에서 상기 원료 용기에 설치되고, 상기 원료 용기를 통과하는 기화된 원료물질이 액체 또는 고체 상태로 상변화되는 것을 방지하기 위하여 상기 원료 용기에 열을 공급하는 제2히터; 및 상기 제1히터 또는 상기 냉각부에 연결되며, 상기 원료 용기의 길이 방향을 따라 상기 제1히터와 상기 냉각부를 함께 왕복이송시키는 이송유닛;을 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the raw material supply device of the present invention, in the raw material supply device for vaporizing the raw material to supply to the substrate side in order to deposit the raw material in the form of a thin film on the substrate, is deposited on the substrate A raw material container in which the raw material is accommodated in a solid or liquid state; A first heater installed in the raw material container and supplying heat to the raw material container to vaporize the raw material contained in the raw material container; A cooling unit installed in the raw material container in a state connected to the first heater at a lower side of the first heater, and cooling the raw material contained in the raw material container; A second heater installed in the raw material container on the upper side of the first heater and supplying heat to the raw material container to prevent the vaporized raw material passing through the raw material container from being phase-changed into a liquid or solid state; And a transfer unit connected to the first heater or the cooling unit and reciprocating the first heater and the cooling unit together in a length direction of the raw material container.

본 발명에 따른 원료물질 공급장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 제2히터는, 상기 제1히터와 연결된 상태로 설치되며, 상기 이송유닛에 의해 상기 제1히터 또는 상기 냉각부가 왕복이송됨에 따라 상기 원료 용기의 길이 방향을 따라 신축(伸縮)된다.In the raw material supply apparatus according to the present invention, preferably, the second heater is installed in connection with the first heater, the reciprocating transfer of the first heater or the cooling unit by the transfer unit It extends and contracts along the longitudinal direction of a raw material container.

본 발명에 따른 원료물질 공급장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 제1히터의 상측에서 상기 제1히터와 결합된 상태로 상기 원료 용기를 감싸도록 설치되어, 상기 원료 용기의 길이 방향을 따라 신축되는 주름관;을 더 포함하고, 상기 제2히터는 상기 주름관 내부에 나선 형상으로 배치된다.In the raw material supply device according to the invention, preferably, it is installed to surround the raw material container in a state coupled to the first heater on the upper side of the first heater, is stretched along the longitudinal direction of the raw material container The corrugated pipe further includes, and the second heater is disposed in a spiral shape inside the corrugated pipe.

본 발명에 따른 원료물질 공급장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 제1히터와 상기 냉각부가 상측으로 이송될 때, 상기 제2히터는 축소되고, 상기 제1히터와 상기 냉각부가 하측으로 이송될 때, 상기 제2히터는 신장된다.In the raw material supply apparatus according to the present invention, preferably, when the first heater and the cooling unit is conveyed to the upper side, the second heater is reduced, when the first heater and the cooling unit is conveyed to the lower side The second heater is extended.

본 발명에 따른 원료물질 공급장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 원료 용기는, 기화된 원료물질을 기판 측으로 유동시키는 연결관에 탈착 가능하도록 결합되며, 상기 원료 용기와 상기 연결관 사이에 결합되며, 기화된 원료물질이 외부로 새어 나가는 것을 방지하는 개스킷;을 더 포함한다.In the raw material supply device according to the present invention, preferably, the raw material container is coupled to be detachably connected to the connecting pipe for flowing the vaporized raw material to the substrate side, is coupled between the raw material container and the connecting pipe, It further comprises a; gasket for preventing the vaporized raw material leaks to the outside.

본 발명의 원료물질 공급장치에 따르면, 균일한 온도에서 균일한 양으로 원료물질을 기화시켜, 기판에 증착되는 유기발광 소자의 두께 및 품질을 일정하게 유지하여 신뢰성 높은 유기발광 소자를 제작할 수 있다.According to the raw material supply device of the present invention, by evaporating the raw material in a uniform amount at a uniform temperature, it is possible to manufacture a reliable organic light emitting device by maintaining a constant thickness and quality of the organic light emitting device deposited on the substrate.

또한, 본 발명의 원료물질 공급장치에 따르면, 피스톤을 이용하여 원료물질을 승강시키는 대신, 히터와 냉각부를 원료 용기의 길이 방향을 따라 왕복이송시킴으로써, 원료 용기 외부로 원료물질이 새어나와 증착 장비를 오염시키는 것을 방지하고, 원료물질이 응고되어 피스톤의 승강이 방해받는 문제를 원천적으로 차단할 수 있다.In addition, according to the raw material supply apparatus of the present invention, instead of raising and lowering the raw material by using a piston, by reciprocating the heater and the cooling unit along the length direction of the raw material container, the raw material leaks out of the raw material container to the deposition equipment It is possible to prevent contamination, and to fundamentally block the problem that the raw material is solidified, which hinders the lifting and lowering of the piston.

또한, 본 발명의 원료물질 공급장치에 따르면, 기화된 원료물질 전체에 효과적으로 열을 공급하여 기화된 원료물질이 상변화 현상을 방지할 수 있다.In addition, according to the raw material supply device of the present invention, it is possible to effectively supply heat to the entire vaporized raw material to prevent the phase change phenomenon of the vaporized raw material.

또한, 본 발명의 원료물질 공급장치에 따르면, 기화된 원료물질이 외부로 새어 나가는 것을 방지할 수 있다.In addition, according to the raw material supply device of the present invention, it is possible to prevent the vaporized raw material to leak out.

도 1은 종래의 원료물질 공급장치의 일례를 도시한 도면이고,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 원료물질 공급장치를 도시한 도면이고,
도 3은 도 2의 원료물질 공급장치에서 제1히터와 냉각부가 하측으로 이동한 상태를 도시한 도면이다.1 is a view showing an example of a conventional raw material supply apparatus,
2 is a view showing a raw material supply apparatus according to an embodiment of the present invention,
FIG. 3 is a view illustrating a state in which the first heater and the cooling unit move downward in the raw material supply device of FIG. 2.

이하, 본 발명에 따른 원료물질 공급장치의 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments of a raw material supply apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 원료물질 공급장치를 도시한 도면이고, 도 3은 도 2의 원료물질 공급장치에서 제1히터와 냉각부가 하측으로 이동한 상태를 도시한 도면이다.2 is a view showing a raw material supply device according to an embodiment of the present invention, Figure 3 is a view showing a state in which the first heater and the cooling unit moved to the lower side in the raw material supply device of FIG.

도 2 및 도 3을 참조하면, 본 실시예의 원료물질 공급장치(100)는, 기판상에 박막 형태로 증착시키는 유기물질을 기화시켜 공급하는 장치로서, 원료 용기(110)와, 제1히터(120)와, 냉각부(130)와, 제2히터(140)와, 이송유닛(150)과, 주름관(160)과, 개스킷(170)을 포함한다.2 and 3, the raw material supply device 100 of the present embodiment is a device for vaporizing and supplying an organic material to be deposited in a thin film form on a substrate, the raw material container 110 and the first heater ( 120, a cooling unit 130, a second heater 140, a transfer unit 150, a corrugated pipe 160, and a gasket 170.

본 발명은 유기발광 표시장치(Organic Light Emitting Device: OLED)를 제조하는 장치를 제시한 것으로서, 본 발명에 제시되는 원료물질은 예를 들어 유기재료가 사용되는 것이 바람직하다.The present invention provides an apparatus for manufacturing an organic light emitting device (OLED), and it is preferable that, for example, an organic material is used as the raw material presented in the present invention.

도 2에 도시된 인젝터(3)는, 내부에 연결관(2)과 연통되는 유로가 형성되고, 그 단부에는 기화된 원료물질(1)이 분사되는 분사구(4)가 형성된다. 이때 인젝터(3)는 선형으로 이루어져서 분사구(4)가 일직선으로 배열되어 기판과 대향되도록 배치된다. 그리고, 분사구(4)는 노즐 형태의 별도의 부품으로 제작되어 인젝터(3)의 단부에 결합될 수도 있고, 인젝터(3)의 단부에 관통홀의 형태로 일체로 성형될 수도 있다.In the injector 3 shown in FIG. 2, a flow passage communicating with the connecting pipe 2 is formed therein, and an injection hole 4 through which the vaporized raw material 1 is injected is formed at an end thereof. At this time, the injector 3 is formed in a linear manner so that the injection holes 4 are arranged in a straight line to face the substrate. In addition, the injection hole 4 may be manufactured as a separate component in the form of a nozzle and may be coupled to the end of the injector 3, or may be integrally formed in the form of a through hole at the end of the injector 3.

연결관(2)은, 후술할 제1히터(120)에 의해 기화된 원료물질(1)이 인젝터(3)로 유동되도록 원료 용기(110)와 인젝터(3)를 연결한다. 연결관(2)은 인젝터(3) 및 원료 용기(110)에 착탈 가능하게 결합된다.The connecting pipe 2 connects the raw material container 110 and the injector 3 so that the raw material 1 vaporized by the first heater 120 to be described later flows to the injector 3. The connecting pipe 2 is detachably coupled to the injector 3 and the raw material container 110.

상기 원료 용기(110)는, 기판상에 증착되는 원료물질(1)이 고체 또는 액체 상태로 수용되는 것으로서, 일측이 개구되는 원통 형상으로 형성된다. 원료 용기(110)는 예를 들어 텅스텐 재질로 제작되며, 원료 용기(110)의 내부에는 기판에 증착되는 원료물질(1)인 유기재료가 충진되어 있다.The raw material container 110 is formed of a cylindrical shape in which one side of the raw material 1 to be deposited on the substrate is accommodated in a solid or liquid state. The raw material container 110 is made of, for example, a tungsten material, and an organic material, which is a raw material 1 deposited on a substrate, is filled in the raw material container 110.

제1히터(120)에 의해 원료 용기(110)에 수용되어 있던 고체 상태 또는 액체 상태의 원료물질(1)이 가열되고, 가열된 원료물질(1)은 기화되어 상부로 증발된다. 증발되는 원료물질(1)은 연결관(2)을 통과하여 분사구(4)를 통해 기판으로 분사된다.The first heater 120 heats the raw material 1 in the solid state or the liquid state accommodated in the raw material container 110, and the heated raw material 1 is evaporated and evaporated upward. The raw material 1 to be evaporated passes through the connecting pipe 2 and is injected to the substrate through the injection port 4.

원료 용기(110)는 연결관(2)에 탈착 가능하게 결합된다. 원료 용기(110)의 내부에 기판에 증착시킬 원료물질(1), 즉 유기재료를 충진하고자 하는 경우, 증착 공정을 중단하고 원료 용기(110)를 연결관(2)으로부터 분리시킨다. 이후, 원료 용기(110) 내에 원료물질(1)의 충진이 완료되면 다시 원료 용기(110)를 연결관(2)에 부착하고, 증착 공정을 수행한다.The raw material container 110 is detachably coupled to the connecting pipe 2. When the raw material 1 to be deposited on the substrate, ie, the organic material, is to be filled in the raw material container 110, the deposition process is stopped and the raw material container 110 is separated from the connection pipe 2. Thereafter, when the filling of the raw material 1 in the raw material container 110 is completed, the raw material container 110 is attached to the connection pipe 2 again, and a deposition process is performed.

상기 제1히터(120)는, 원료 용기(110)에 수용된 원료물질(1)을 기화시키기 위하여 원료 용기(110)에 열을 공급하는 것으로서, 원료 용기(110)의 외벽을 감싸도록 설치된다.The first heater 120 supplies heat to the raw material container 110 in order to vaporize the raw material 1 contained in the raw material container 110, and is installed to surround the outer wall of the raw material container 110.

제1히터(120)는 원료물질(1)을 기화시킬 수 있는 열에너지를 공급할 수 있는 다양한 형태로 구현될 수 있는데, 예를 들어 코어히터 또는 램프히터 등이 사용될 수 있다. 본 실시예에서는 코어히터가 사용되는데, 이때 사용되는 저항열선은 Ta, W, Mo 금속 또는 이것들의 합금선으로 이루어진다.The first heater 120 may be implemented in various forms capable of supplying thermal energy capable of vaporizing the raw material 1, for example, a core heater or a lamp heater may be used. In this embodiment, a core heater is used, wherein the resistance heating wire used is made of Ta, W, Mo metal or alloy wire thereof.

상기 냉각부(130)는, 원료 용기(110)의 내부에 수용된 원료물질(1)이 제1히터(120)의 열에 의해 변성되는 것을 방지하기 위하여, 원료 용기(110)에 수용된 원료물질(1)을 냉각시킨다. 냉각부(130)는 제1히터(120)의 하측에서 제1히터(120)와 연결되어 함께 이동할 수 있도록 설치되며, 원료 용기(110)의 외벽을 감싸도록 설치된다.The cooling unit 130 may prevent the raw material 1 contained in the raw material container 110 from being denatured by the heat of the first heater 120. ) To cool. The cooling unit 130 is installed to be connected to the first heater 120 to move together under the first heater 120 and is installed to surround the outer wall of the raw material container 110.

냉각부(130)는 원료물질(1)이 수용된 원료 용기(110)의 내부를 냉각시킬 수 있는 다양한 형태로 구현될 수 있는데, 본 실시예에서는 예컨대, 냉각 재킷이 사용된다. 냉각부(130)는 원료 용기(110)의 외벽에 냉각수가 흐르는 냉각유로가 둘러싸여서 이루어진다.The cooling unit 130 may be implemented in various forms capable of cooling the inside of the raw material container 110 in which the raw material 1 is accommodated. In this embodiment, for example, a cooling jacket is used. The cooling unit 130 is formed by surrounding a cooling passage through which cooling water flows on the outer wall of the raw material container 110.

상기 제2히터(140)는, 원료 용기(110) 내에서 기화되어 원료 용기(110)의 상부를 통과하는 원료물질(1)이 액체 또는 고체 상태로 상변화되는 것을 방지하기 위하여 원료 용기(110)에 열을 공급한다. 제2히터(140)는 제1히터(120)의 상측에서 제1히터(120)와 연결되게 설치되며, 원료 용기(110)의 외벽을 감싸도록 설치된다.The second heater 140 is a raw material container 110 to prevent the raw material 1 vaporized in the raw material container 110 to pass through the upper portion of the raw material container 110 into a liquid or solid phase. ) To supply heat. The second heater 140 is installed to be connected to the first heater 120 on the upper side of the first heater 120 and is installed to surround the outer wall of the raw material container 110.

제2히터(140)는 예를 들어 코어히터 등이 사용될 수 있으며, 원료 용기(110)의 상부 외벽을 저항열선이 감싸는 형태로 형성된다. 이때 사용되는 저항열선은 Ta, W, Mo 금속 또는 이것들의 합금선으로 이루어진다.For example, a core heater may be used as the second heater 140. The second heater 140 may be formed in a form in which a resistance heat wire surrounds the upper outer wall of the raw material container 110. The resistance heating wire used at this time consists of Ta, W, Mo metal, or these alloy wires.

상기 이송유닛(150)은, 제1히터(120) 또는 냉각부(130)에 연결되며, 원료 용기(110)의 길이 방향을 따라(상하 방향을 따라) 제1히터(120)와 냉각부(130)를 함께 왕복이송시킨다. 본 실시예에서는 이송유닛(150)이 냉각부(130)에 연결되고, 이송유닛(150)에 의해 냉각부(130)가 왕복이송됨에 따라, 냉각부(130)에 연결된 제1히터(120) 또한 왕복이송된다.The transfer unit 150 is connected to the first heater 120 or the cooling unit 130, and along the longitudinal direction of the raw material container 110 (along the vertical direction), the first heater 120 and the cooling unit ( 130) back and forth together. In the present embodiment, the transfer unit 150 is connected to the cooling unit 130, and as the cooling unit 130 is reciprocated by the transfer unit 150, the first heater 120 connected to the cooling unit 130 Also round trip.

이송유닛(150)을 이용하여 소모되는 원료물질(1)의 양에 따라 제1히터(120)와 냉각부(130)를 함께 이송시킴으로써, 원료 용기(110)에서 기화되는 원료물질(1)의 양 및 품질을 일정하게 유지할 수 있다.By transferring the first heater 120 and the cooling unit 130 together according to the amount of the raw material 1 consumed by using the transfer unit 150, the raw material 1 of the raw material (1) vaporized in the raw material container 110 Quantity and quality can be kept constant.

즉, 제1히터(120)가 원료 용기(110)에 수용된 원료물질(1)의 표면에 인접하도록 제1히터(120)와 냉각부(130)를 함께 이송시킨다. 원료물질(1)이 소모되면서 원료물질(1)의 표면의 위치가 변동되면, 표면의 위치에 따라 제1히터(120)와 냉각부(130)를 함께 이송시킴으로써, 원료물질(1)의 표면에는 항상 일정한 양의 열이 공급되도록 한다. 따라서, 원료물질(1)의 표면에 균일한 양의 열이 유입됨에 따라, 원료물질(1)의 표면에서는 균일한 양의 원료물질(1)이 기화될 수 있다. 또한, 일정한 온도에서 원료물질(1)이 기화됨에 따라 증착되는 원료물질(1)의 품질 또한 균일하게 유지할 수 있다.That is, the first heater 120 and the cooling unit 130 are transferred together so that the first heater 120 is adjacent to the surface of the raw material 1 accommodated in the raw material container 110. When the position of the surface of the raw material 1 is changed while the raw material 1 is consumed, the surface of the raw material 1 is transferred by transferring the first heater 120 and the cooling unit 130 according to the position of the surface. Always provide a constant amount of heat. Therefore, as a uniform amount of heat flows into the surface of the raw material 1, a uniform amount of the raw material 1 may be vaporized on the surface of the raw material 1. In addition, as the raw material 1 is vaporized at a constant temperature, the quality of the deposited raw material 1 may also be maintained uniformly.

본 실시예의 이송유닛(150)은 직선왕복운동을 수행할 수 있는 다양한 형태로 구현될 수 있는데, 공압 실린더, 리니어 모터, 회전모터와 볼 스크류를 조합한 구성 등 통상의 기술자에게 잘 알려진 구성을 채용할 수 있으므로, 더 이상의 상세한 설명은 생략한다.The transfer unit 150 of the present embodiment may be implemented in various forms capable of performing a linear reciprocating movement, employing a configuration well known to those skilled in the art, such as a combination of a pneumatic cylinder, a linear motor, a rotary motor and a ball screw. As such, further detailed description is omitted.

상기 주름관(160)은, 제1히터(120)의 상측에서 제1히터(120)와 결합된 상태로 원료 용기(110)를 감싸도록 설치된다. 주름관(160)은 원료 용기(110)의 길이 방향을 따라 신축되며, 주름관(160)의 내부에는 제2히터(140)가 설치된다.The corrugated pipe 160 is installed to surround the raw material container 110 in a state in which the corrugated pipe 160 is coupled to the first heater 120 at an upper side of the first heater 120. Corrugated pipe 160 is stretched along the longitudinal direction of the raw material container 110, the second heater 140 is installed inside the corrugated pipe 160.

상기 개스킷(170)은, 원료 용기(110)와 연결관(2) 사이에 결합되며, 기화된 원료물질(1)이 외부로 새어 나가는 것을 방지한다.The gasket 170 is coupled between the raw material container 110 and the connection pipe 2 to prevent the vaporized raw material 1 from leaking out.

본 발명에서는, 이송유닛(150)에 의해 제1히터(120)와 냉각부(130)가 함께 이송되는 동안, 제2히터(140)가 원료 용기(110)의 길이 방향을 따라 신축(伸縮)된다. 주름관(160)의 양단부는 고정된 원료 용기(110)의 단부와 이동하는 제1히터(120)에 각각 연결되도록 설치되고, 제2히터(140)는 주름관(160) 내부에 나선 형상으로 배치된다.In the present invention, while the first heater 120 and the cooling unit 130 are transferred together by the transfer unit 150, the second heater 140 is stretched along the longitudinal direction of the raw material container 110. do. Both ends of the corrugated pipe 160 are installed to be connected to the end of the fixed raw material container 110 and the moving first heater 120, respectively, and the second heater 140 is disposed in a spiral shape inside the corrugated pipe 160. .

따라서, 제1히터(120)와 냉각부(130)가 원료 용기(110)의 상측으로 이송될 때 제2히터(140)(외부의 주름관(160))는 축소되고, 제1히터(120)와 냉각부(130)가 원료 용기(110)의 하측으로 이송될 때 제2히터(140)(외부의 주름관(160))는 신장된다.Therefore, when the first heater 120 and the cooling unit 130 are transferred to the upper side of the raw material container 110, the second heater 140 (external corrugated pipe 160) is reduced, the first heater 120 And the second heater 140 (the outer corrugated pipe 160) is extended when the cooling unit 130 is transferred to the lower side of the raw material container 110.

종래에는 제2히터 기능을 하는 구성요소가 원료 용기(110) 상부의 특정 위치에 고정 설치되어 기화된 원료물질(1)의 일부에는 충분한 열을 공급하지 못해 다시 상변화될 수 있는 위험성이 있었으나, 본 발명의 제2히터(140)는 원료 용기(110)에 수용된 원료물질(1)의 양에 따라 신축되면서 원료물질(1)의 표면 상측 전부, 즉 기화된 원료물질(1)이 통과하는 영역 전부를 커버함으로써, 기화된 원료물질(1) 전체에 효과적으로 열을 공급하여 상변화되는 것을 방지할 수 있다.Conventionally, a component that functions as a second heater is fixedly installed at a specific position on the top of the raw material container 110, so that a part of the vaporized raw material 1 may not be supplied with sufficient heat. The second heater 140 of the present invention is stretched in accordance with the amount of the raw material 1 accommodated in the raw material container 110, the area through which all of the upper surface of the raw material 1, ie the vaporized raw material (1) passes through By covering the entirety, it is possible to effectively supply heat to the entire vaporized raw material 1 to prevent phase change.

상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 원료물질 공급장치는, 히터와 냉각부를 원료 용기의 길이 방향을 따라 왕복이송시켜 원료물질의 표면에 일정한 양의 열을 공급함으로써, 균일한 온도에서 균일한 양으로 원료물질을 기화시켜, 기판에 증착되는 유기발광 소자의 두께 및 품질을 일정하게 유지하여 신뢰성 높은 유기발광 소자를 제작할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.The raw material supply device according to the present embodiment configured as described above, by supplying a constant amount of heat to the surface of the raw material by reciprocating the heater and the cooling unit along the longitudinal direction of the raw material container, a uniform amount at a uniform temperature By evaporating the raw material, the thickness and quality of the organic light emitting device to be deposited on the substrate can be kept constant to obtain an effect of manufacturing a reliable organic light emitting device.

또한, 상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 원료물질 공급장치는, 피스톤을 이용하여 원료물질을 승강시키는 대신, 히터와 냉각부를 원료 용기의 길이 방향을 따라 왕복이송시킴으로써, 원료 용기 외부로 원료물질이 새어나와 증착 장비를 오염시키는 것을 방지하고, 원료물질이 응고되어 피스톤의 승강이 방해받는 문제를 원천적으로 차단할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.In addition, the raw material supply apparatus according to the present embodiment configured as described above, instead of raising and lowering the raw material using a piston, the raw material material to the outside of the raw material container by reciprocating the heater and the cooling unit along the longitudinal direction of the raw material container It is possible to prevent the leak and contaminate the deposition equipment, and to block the problem that the raw material is solidified, which hinders the lifting and lowering of the piston.

또한, 상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 원료물질 공급장치는, 기화된 원료물질이 상변화되는 것을 방지하는 제2히터가 신축되면서 기화된 원료물질이 통과하는 영역 전부를 커버함으로써, 기화된 원료물질 전체에 효과적으로 열을 공급하여 기화된 원료물질이 상변화되는 현상을 방지할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.In addition, the raw material supply apparatus according to the present embodiment configured as described above is vaporized by covering the entire area through which the vaporized raw material passes while the second heater for preventing phase change of the vaporized raw material is stretched. By supplying heat to the entire raw material effectively, the effect of preventing the phase change of the vaporized raw material can be obtained.

또한, 상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 원료물질 공급장치는, 탈착 가능하게 결합된 원료 용기와 연결관 사이에 개스킷이 결합됨에 따라, 기화된 원료물질이 외부로 새어 나가는 것을 방지할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.In addition, the raw material supply apparatus according to the present embodiment configured as described above, as the gasket is coupled between the detachably coupled raw material container and the connecting pipe, it is possible to prevent the vaporized raw material to leak out The effect can be obtained.

본 발명의 권리범위는 상술한 실시예 및 변형례에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.The scope of the present invention is not limited to the above-described embodiments and modifications, but may be embodied in various forms of embodiments within the scope of the appended claims. Without departing from the gist of the invention claimed in the claims, it is intended that any person skilled in the art to which the present invention pertains falls within the scope of the claims described in the present invention to various extents which can be modified.

100 : 원료물질 공급장치
110 : 원료 용기
120 : 제1히터
130 : 냉각부
140 : 제2히터
150 : 이송유닛
160 : 주름관100: raw material supply device
110: raw material container
120: first heater
130: cooling unit
140: second heater
150: transfer unit
160: corrugated pipe

Claims (5)

기판상에 박막 형태로 원료물질을 증착시키기 위하여 원료물질을 기화시켜 기판 측으로 공급하는 원료물질 공급장치에 있어서,
기판상에 증착되는 원료물질이 고체 또는 액체 상태로 수용되는 원료 용기;
상기 원료 용기에 설치되며, 상기 원료 용기에 수용된 원료물질을 기화시키기 위하여 상기 원료 용기에 열을 공급하는 제1히터;
상기 제1히터의 하측에서 상기 제1히터와 연결된 상태로 상기 원료 용기에 설치되며, 상기 원료 용기에 수용된 원료물질을 냉각시키는 냉각부;
상기 제1히터의 상측에서 상기 원료 용기에 설치되고, 상기 원료 용기를 통과하는 기화된 원료물질이 액체 또는 고체 상태로 상변화되는 것을 방지하기 위하여 상기 원료 용기에 열을 공급하는 제2히터; 및
상기 제1히터 또는 상기 냉각부에 연결되며, 상기 원료 용기의 길이 방향을 따라 상기 제1히터와 상기 냉각부를 함께 왕복이송시키는 이송유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는 원료물질 공급장치.In the raw material supply apparatus for vaporizing the raw material to supply to the substrate in order to deposit the raw material in the form of a thin film on the substrate,
A raw material container in which a raw material deposited on a substrate is accommodated in a solid or liquid state;
A first heater installed in the raw material container and supplying heat to the raw material container to vaporize the raw material contained in the raw material container;
A cooling unit installed in the raw material container in a state connected to the first heater under the first heater, and cooling the raw material contained in the raw material container;
A second heater installed in the raw material container on the upper side of the first heater and supplying heat to the raw material container to prevent the vaporized raw material passing through the raw material container from being phase-changed into a liquid or solid state; And
And a transfer unit connected to the first heater or the cooling unit and reciprocating the first heater and the cooling unit together in a longitudinal direction of the raw material container. 제1항에 있어서,
상기 제2히터는,
상기 제1히터와 연결된 상태로 설치되며,
상기 이송유닛에 의해 상기 제1히터 또는 상기 냉각부가 왕복이송됨에 따라 상기 원료 용기의 길이 방향을 따라 신축(伸縮)되는 것을 특징으로 하는 원료물질 공급장치.The method of claim 1,
The second heater,
It is installed in connection with the first heater,
Raw material supply device characterized in that the first heater or the cooling unit is expanded and contracted along the longitudinal direction of the raw material container as the reciprocating transfer by the transfer unit. 제2항에 있어서,
상기 제1히터의 상측에서 상기 제1히터와 결합된 상태로 상기 원료 용기를 감싸도록 설치되어, 상기 원료 용기의 길이 방향을 따라 신축되는 주름관;을 더 포함하고,
상기 제2히터는 상기 주름관 내부에 나선 형상으로 배치되는 것을 특징으로 하는 원료물질 공급장치.The method of claim 2,
And a corrugated pipe installed to cover the raw material container in a state coupled to the first heater at an upper side of the first heater, and stretched along a length direction of the raw material container.
The second heater is a raw material supply device, characterized in that arranged in a spiral shape inside the corrugated pipe. 제2항에 있어서,
상기 제1히터와 상기 냉각부가 상측으로 이송될 때, 상기 제2히터는 축소되고,
상기 제1히터와 상기 냉각부가 하측으로 이송될 때, 상기 제2히터는 신장되는 것을 특징으로 하는 원료물질 공급장치.The method of claim 2,
When the first heater and the cooling unit are transferred upward, the second heater is reduced,
And the second heater is extended when the first heater and the cooling unit are transferred to the lower side. 제1항에 있어서,
상기 원료 용기는, 기화된 원료물질을 기판 측으로 유동시키는 연결관에 탈착 가능하도록 결합되며,
상기 원료 용기와 상기 연결관 사이에 결합되며, 기화된 원료물질이 외부로 새어 나가는 것을 방지하는 개스킷;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 원료물질 공급장치.The method of claim 1,
The raw material container is coupled to be detachable to the connecting pipe for flowing the vaporized raw material to the substrate side,
And a gasket coupled between the raw material container and the connecting pipe to prevent the vaporized raw material from leaking out.
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