KR101173595B1 - 간섭 변조기의 결함을 시각적으로 검사하는 방법 - Google Patents

간섭 변조기의 결함을 시각적으로 검사하는 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 방법은 다양한 구동 상태에서 간섭 변조기의 어레이(60)를 시각적으로 검사하는 방법을 제공한다. 이 방법은 검사 패드(72)와 같은, 단일 검사 패드 또는 검사 리드를 통해 간섭 변조기의 복수의 수직열 또는 수평열을 구동한 다음, 상기 어레이(60)의 예상되는 광 출력과 실제 광 출력 사이의 차이를 관찰하는 단계를 포함할 수 있다. 이 방법은 특히, 예를 들면 수직열(62)와 같은, 인접하지 않는 수평열 또는 수직열의 세트를, 수직열(64)와 같은, 개재하는 수평열 또는 수직열과는 다른 상태로 구동한 다음, 상기 어레이(60)의 광 출력을 관찰하는 단계를 포함할 수 있다.
미소기전시스템, MEMS, 간섭 변조기, 검사, 결함

Description

간섭 변조기의 결함을 시각적으로 검사하는 방법 {METHODS FOR VISUALLY INSPECTING INTERFEROMETRIC MODULATORS FOR DEFECTS}
본 발명은 미소 기전 기기(MicroEletroMechanical device)에 관한 것으로, 특히 간섭 변조기 기반 디스플레이의 검사에 관한 것이다.
미소 기전 시스템(MicroEletroMechanical은 System, MEMS) 미소 기계 소자, 액추에이터, 및 전자 기기를 포함한다. 미소 기계 소자는 퇴적(deposition), 에칭, 및/또는, 기판 및/또는 퇴적된 재료 층의 일부를 에칭으로 제거하거나 전기 기기 및 기전 기기를 만들기 위해 층을 부가하는 그 밖의 기타 미소 기계 가공 공정을 이용하여 제조될 수 있다. 미소 기전 시스템 기기의 한 형태로서 간섭 변조기가 있다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 간섭 변조기 또는 간섭 광 변조기라는 용어는 광 간섭의 원리를 사용하여 광을 선택적으로 흡수 및/또는 반사하는 기기를 가리킨다. 어떤 실시예에서, 간섭 변조기는 한 쌍의 도전성 플레이트를 포함하고, 이들 중 하나 또는 양자 모두는 전체적으로 또는 부분적으로 투명하거나 및/또는 반사성을 가지고 있을 수 있고, 적절한 전기 신호가 인가되면 상대적으로 이동할 수 있다. 특정 실시예에서, 하나의 플레이트는 기판 상에 배치된 고정층을 포함하여 구성되고, 다른 하나의 플레이트는 에어갭에 의해 상기 고정층으로부터 이격된 금속막을 포함하여 구성될 수 있다. 본 명세서에서 더욱 상세하게 기술하는 바와 같이, 하나의 플레이트의 다른 하나의 플레이트에 대한 위치는 간섭 변조기에 입사하는 광의 광 간섭을 변화시킬 수 있다. 이러한 기기는 그 응용분야가 넓고, 이러한 형태의 기기의 특성을 활용 및/또는 개조하여, 그 특성이 기존의 제품을 개선하고 아직까지 개발되지 않은 새로운 제품을 창출하는 데에 이용될 수 있도록 하는 것은 해당 기술분야에서 매우 유익할 것이다.
간섭 변조기 어레이의 결합을 시각적으로 검사하는 효율적인 방법을 제공하는 것이 바람직하다. 특히, 어레이의 잠재적인 결함을 광범위하게 검출할 수 있는, 간섭 변조기를 시각적으로 검사하는 방법을 제공하는 것이 바람직하다. 또한 검사를 위한 어레이 준비에 대한 시간 및 복잡도를 최소화하는 간섭 변조기 어레이의 검사 방법을 제공하는 것이 바람직하다.
일 실시예에서, 제1 신호를 간섭 변조기의 인접하지 않는 복수의 제1 수직열에 적어도 부분적으로 동시에 인가하여, 상기 인접하지 않는 복수의 제1 수직열 내의 간섭 변조기를 작동 상태로 만드는 단계; 및 상기 어레이 내의 결함을 식별하기 위해 상기 간섭 변조기의 어레이를 검사하는 단계를 포함하고, 상기 검사하는 단계는 상기 제1 신호를 인가한 후에 수행되는, 간섭 변조기의 어레이를 검사하는 방법이 제공된다.
다른 실시예에서, 제1 파형을 간섭 변조기의 인접하지 않는 복수의 제1 수평열 각각에 적어도 부분적으로 동시에 인가하는 단계; 제2 파형을 간섭 변조기의 인접하지 않는 복수의 제2 수평열 각각에 적어도 부분적으로 동시에 인가하는 단계; 제3 파형을 간섭 변조기의 인접하지 않는 복수의 제1 수직열 각각에 적어도 부분적으로 동시에 인가하는 단계; 제4 파형을 간섭 변조기의 인접하지 않는 복수의 제2 수직열 각각에 적어도 부분적으로 동시에 인가하는 단계; 및 상기 어레이 내의 결함을 식별하기 위해 상기 간섭 변조기의 어레이를 검사하는 단계를 포함하는 간섭 변조기의 어레이를 검사하는 방법이 제공된다.,
또 다른 실시예에서, 간섭 변조기의 어레이 내의 각 변조기를 기지(旣知)의 제1 상태로 구동하는 단계; 상기 어레이 내의 간섭 변조기의 수평열의 서브세트를 상기 기지의 제1 상태에서 상기 제1 상태와 반대인 제2 상태로 구동하는 단계; 및 상기 어레이 내의 결함을 식별하기 위해 상기 간섭 변조기의 어레이를 검사하는 단계를 포함하는 간섭 변조기의 어레이를 검사하는 방법이 제공된다.
또 다른 실시예에서, 기판; 상기 기판에 의해 지지되는 인접하지 않는 복수의 제1 수평열 전극; 상기 기판에 의해 지지되는 인접하지 않는 복수의 제2 수평열 전극; 상기 복수의 제1 수평열 전극과 전기적으로 연결된 제1 버스 바(buss bar); 상기 복수의 제2 수평열 전극과 전기적으로 연결된 제2 버스 바; 상기 기판과 이격된 인접하지 않는 복수의 제1 수직열 전극; 상기 기판과 이격된 인접하지 않는 복수의 제2 수직열 전극; 상기 복수의 제1 수직열 전극과 전기적으로 연결된 제3 버스 바; 및 상기 복수의 제2 수직열 전극과 전기적으로 연결된 제3 버스 바를 포함하는 기기가 제공된다.
또 다른 실시예에서, 복수의 제1 신호를 전달하는 제1 전달 수단; 상기 복수의 제1 신호를 전달하는 제1 전달 수단을 지지하는 수단; 복수의 제2 신호를 전달하는 제2 전달 수단; 상기 제1 전달 수단의 제1 부분 각각에 파형을 선택적으로 공급하는 제1 공급 수단; 상기 제1 전달 수단의 제2 부분 각각에 파형을 선택적으로 공급하는 제2 공급 수단; 상기 제2 전달 수단의 제1 부분 각각에 파형을 선택적으로 공급하는 제3 공급 수단; 및 상기 제2 전달 수단의 제2 부분 각각에 파형을 선택적으로 공급하는 제4 공급 수단을 포함하는 기기가 제공된다.
도 1은 제1 간섭 변조기의 이동가능한 반사층이 해방 위치에 있고, 제2 간섭 변조기의 이동가능한 반사층은 작동 위치에 있는, 간섭 변조기 디스플레이의 일 실시예의 일부를 도시한 등각투영도이다.
도 2는 3x3 간섭 변조기 디스플레이를 포함하는 전자 기기의 일 실시예를 나타낸 시스템 블록도이다.
도 3은, 도 1의 간섭 변조기의 일 실시예에서, 인가된 전압에 대응한 이동가능한 미러의 위치를 나타낸 도면이다.
도 4는 간섭 변조기 디스플레이를 구동하기 위해 사용될 수 있는 한 세트의 수평열 및 수직열 전압을 나타낸 것이다.
도 5a는, 도 2의 3x3 간섭 변조기 디스플레이의 디스플레이 데이터의 프레임의 일례를 나타낸 것이다.
도 5b는, 도 5a의 프레임을 기록하기 위해 사용될 수 있는 수평열 신호와 수직열 신호의 타이밍도의 일례를 나타낸 것이다.
도 6a 및 도 6b는 복수의 간섭 변조기를 포함하여 구성되는 시각 디스플레이 기기의 실시예를 나타낸 시스템 블록도이다.
도 7a는, 도 1에 도시된 기기의 단면도이다.
도 7b는 간섭 변조기의 다른 실시예의 단면도이다.
도 7c는 간섭 변조기의 또 다른 실시예의 단면도이다.
도 7d는 간섭 변조기의 또 다른 실시예의 단면도이다.
도 7e는 간섭 변조기의 또 다른 실시예의 단면도이다.
도 8은 검사를 위해 구성된 간섭 변조기의 어레이를 개략적으로 나타낸 것이다.
도 9는 검사를 위해 다수의 간섭 변조기 어레이가 구성된 기판을 개략적으로 나타낸 것이다.
도 10은 검사하는 동안에 간섭 변조기의 어레이에 대한 전기적 연결을 제공하는데 사용될 수 있는 프로브 장착부(probe mount)의 실시예의 개략적인 단면도이다.
도 11은 간섭 변조기의 어레이를 검사하는 시스템을 개략적으로 나타낸 것이다.
도 12a는 및 도 12b는 검사하는 동안에 원하는 디스플레이 패턴을 생성하기 위해 간섭 변조기의 어레이의 부분들에 인가될 수 있는 파형을 나타낸 것이다.
도 13a 내지 도 13f는 잠재적인 결함을 예시하는, 3개의 간섭 변조기의 어레이의 밝은 상태와 어두운 상태 모두를 나타낸 것이다.
도 14a 및 도 14b는 검사하는 동안에 원하는 디스플레이 패턴을 생성하기 위해 간섭 변조기의 어레이의 부분들에 인가될 수 있는 다른 예의 파형을 나타낸 것이다.
도 15a 내지 도 15f는 잠재적인 결함을 예시하는, 3개의 간섭 변조기의 어레이의 밝은 상태와 어두운 상태 모두를 나타낸 것이다.
도 16 (a) - (c)는 검사하는 동안에 원하는 디스플레이 패턴을 생성하기 위해 간섭 변조기의 어레이의 부분들에 인가될 수 있는 다른 예의 파형을 나타낸 것이다.
도 17은 간섭 변조기의 어레이를 검사하는 방법을 나타낸 흐름도이다.
도 18a는 일정한 간섭기 요소가 체커보드 패턴(checkerboard pattern)으로 어두운 상태로 구동된, 4x4 간섭기 변조기의 어레이를 개략적으로 나타낸 것이다.
도 18b 및 도 18c는 도 18a의 체커보드 패턴을 생성하기 위해 도 18a의 어레이에 인가될 수 있는 일련의 파형과 4개의 픽셀에 각각의 결과 픽셀 전압을 나타낸 것이다.
이하의 상세한 설명은 본 발명의 구체적인 실시예에 관한 것이다. 그러나, 본 발명은 여러 가지 다른 방법과 방식으로 구현될 수 있다. 이하의 설명에서, 도면이 참조되는데, 전체 도면에 걸쳐 동일한 부분에 대해 동일한 번호가 사용된다. 이하의 설명으로부터 명백한 바와 같이, 본 발명은 동화상(예컨대, 비디오)이든 정지화상(예컨대, 스틸 이미지)이든, 또는 텍스트이든 그림이든, 이미지를 디스플레 이하도록 구성된 것이라면 어떠한 기기에든 구현될 수 있다. 보다 상세하게는, 실시예들은 예컨대, 이동전화기, 무선 기기, 개인 휴대용 정보 단말기(PDA), 손에 들고 다니거나(hand-held) 휴대할 수 있는 컴퓨터, GPS 수신기/네비게이터, 카메라, MP3 플레이어, 캠코더, 게임 콘솔, 손목 시계, 시계, 계산기, 텔레비전 모니터, 평판 디스플레이, 컴퓨터 모니터, 자동차 디스플레이(예컨대, 주행 거리계 디스플레이), 조종석 제어 장치 및/또는 디스플레이, 감시 카메라의 디스플레이(예컨대, 자동차에서의 후방 감시 카메라의 디스플레이), 전자 사진 액자, 전자 게시판 또는 전자 서명기, 프로젝터, 건축 구조물, 포장물, 및 미적 구조물(예컨대, 보석류 상의 이미지 디스플레이) 등과 같은 다양한 전자 기기에 또는 이와 관련하여 구현될 수 있는 것을 의도하지만, 이것으로 한정되지는 않는다. 또한, 여기서 개시한 미소 기전 시스템 기기와 유사한 구조의 기기를 전자 스위칭 기기와 같은 비(非)디스플레이 분야에 사용할 수도 있다.
시각적 검사는 간섭 변조기 어레이의 결함을 검사하는 특히 효과적인 방법이다. 특정 디스플레이 패턴을 순차적으로 표시할 수 있고, 검사자 또는 CCD 카메라와 같은, 자동화 시스템에 의해 그 출력을 분석할 수 있다. 특히, 인접하지 않는 수평열 또는 수직열의 선택적인 작동은 수평열 개방(open) 또는 수평열끼리의 단락(short)과 같은 결함의 식별을 용이하게 하는데 유리하다. 검사중인 어레이 위에 설치된 임시 확산기(temporary diffuser)의 사용은, 추가 비용 및 나중에 식별되거나 폐기될 수 있는 어레이에 확산기를 장착하는 추가 작업을 회피하면서 어레이의 검사를 용이하게 하는데 유리하다.
간섭계 미소 기전 시스템 디스플레이 소자를 포함하여 구성된 간섭 변조기 디스플레이의 일 실시예가 도 1에 도시되어 있다. 이러한 기기에서, 픽셀은 밝은 상태 또는 어두운 상태 중 하나의 상태로 된다. 밝은 상태("온 상태" 또는 "개방 상태")에서는, 디스플레이 소자가 입사되는 가시광의 대부분을 사용자에게 반사한다. 어두운 상태("오프 상태" 또는 "폐쇄 상태")에서는, 디스플레이 소자가 입사되는 가시광을 사용자에게 거의 반사하지 않는다. 실시예에 따라서는, "온 상태"와 "오프 상태"의 광 반사 특성이 반대로 바뀔 수도 있다. 미소 기전 시스템 픽셀은 선택된 컬러를 두드러지게 반사하여 흑백뿐 아니라 컬러 디스플레이도 가능하도록 구성될 수 있다.
도 1은 영상 디스플레이의 일련의 픽셀들에서 인접하는 두 개의 픽셀을 나타낸 등각투영도이다. 여기서, 각 픽셀은 미소 기전 시스템의 간섭 변조기를 포함하여 구성된다. 일부 실시예에서, 간섭 변조기 디스플레이는 이들 간섭 변조기들의 행렬 어레이를 포함하여 구성된다. 각각의 간섭 변조기는, 적어도 하나의 치수가 가변적인 공진 광학 캐비티를 형성하도록 서로 가변적이고 제어가능한 거리를 두고 배치되어 있는 한 쌍의 반사층을 포함한다. 일 실시예에서, 이 반사층들 중 하나가 두 개의 위치 사이에서 이동될 수 있다. 제1 위치에서(여기서는 "해방 위치"라고 한다), 이동가능한 층은 부분적으로 반사하는 고정된 층으로부터 상대적으로 먼 거리에 위치한다. 제2 위치에서(여기서는 "작동 위치"라고 한다), 이동가능한 층은 부분적으로 반사하는 층에 보다 가까이 인접하여 위치한다. 두 개의 층으로부터 반사되는 입사광은 이동가능한 반사층의 위치에 따라 보강적으로 또는 상쇄적으 로 간섭하여, 각 픽셀을 전체적으로 반사 상태 또는 비반사 상태로 만든다.
도 1에 도시된 부분의 픽셀 어레이는 두 개의 간섭 변조기(12a, 12b)를 포함한다. 좌측에 있는 간섭 변조기(12a)에서는, 이동가능한 반사층(14a)이 부분적으로 반사하는 층을 포함하는 광 스택(optical stack)(16a)으로부터 소정의 거리를 두고 해방 위치에 있는 것이 도시되어 있다. 우측에 있는 간섭 변조기(12b)에서는, 이동가능한 반사층(14b)이 광 스택(16b)에 인접한 작동 위치에 있는 것이 도시되어 있다.
광 스택(16a, 16b)(총괄하여 광 스택 16이라고도 한다)은 일반적으로 인듐주석산화물(ITO)과 같은 전극층, 크롬과 같은 부분적으로 반사성을 가지는 층, 그리고 투명한 유전체를 포함할 수 있는 수 개의 융합된 층(fused layers)으로 구성된다. 따라서 광 스택(16)은 전기적으로 도전성을 가지고 있고, 부분적으로 투명하며, 부분적으로 반사성을 가지고 있고, 예컨대 투명 기판(20) 상에 크롬과 인듐주석산화물(ITO)로 된 하나 이상의 층을 적층시킴으로써 제조될 수 있다. 일부 실시예에서는, 이들 층을 병렬 스트립으로 패턴화하여, 이하에서 설명하는 바와 같이, 디스플레이의 수평열 전극(row electrode)을 형성할 수 있다. 이동가능한 반사층(14a, 14b)은, 포스트(18)와 이 포스트들 사이에 개재된 희생 재료의 표면에 퇴적된 금속층(들)으로 된 일련의 병렬 스트립(수평열 전극 16a, 16b에 수직하는)으로 형성될 수 있다. 희생 재료를 에칭하여 제거하면, 변형가능한 이동 가능한 반사층(14a, 14b)(총괄하여 반사층 14이라고도 한다)이 갭(19)에 의해 광 스택(16a, 16b)으로부터 이격된다. 반사층(14)은 알루미늄과 같이 도전성과 반사성이 높은 재료를 이용하여 형성할 수 있고, 이것의 스트립은 디스플레이 기기의 수직열 전극(column electrode)을 형성할 수 있다.
전압이 인가되지 않으면, 이동가능한 반사층(14a)과 광 스택(16a) 사이에 캐비티(19)가 그대로 존재하게 되어, 이동가능한 반사층(14a)이 도 1의 픽셀(12a)로 도시된 바와 같이 기계적으로 해방된 상태로 있게 된다. 그러나, 선택된 수평열과 수직열에 전위차가 인가되면, 해당하는 픽셀에서 수평열 전극과 수직열 전극이 교차하는 지점에 형성된 커패시터가 충전되어, 정전기력이 이들 전극을 서로 당기게 된다. 만일 전압이 충분히 높다면, 이동가능한 반사층(14)이 변형되어, 광 스택(16)에 대해 힘을 받게 된다. 도 1의 오른쪽에 픽셀(12b)로 도시된 바와 같이, 광 스택(16) 내의 유전체층((도 1에는 도시하지 않음)은 반사층(14)과 광 스택(16) 사이의 단락을 방지하고 이격 거리를 제어할 수 있다. 이러한 양상은 인가된 전위차의 극성에 관계없이 동일하다. 이러한 방식으로, 반사와 비반사의 픽셀 상태를 제어할 수 있는 수평열/수직열 구동은 종래의 액정 디스플레이(LCD)나 다른 디스플레이 기술에서 사용되었던 방식과 여러 가지 면에서 유사하다.
도 2 내지 도 5b는 디스플레이 응용예에 간섭 변조기의 어레이를 사용하는 공정 및 시스템의 일례를 나타낸 것이다.
도 2는 본 발명의 여러 측면을 포함할 수 있는 전자 기기의 일 실시예를 나타낸 시스템 블록도이다. 본 실시예에서는, 전자 기기가 프로세서(21)를 포함한다. 이 프로세서(21)는 ARM, Pentium®, Pentium II®, Pentium III®, Pentium IV ®, Pentium® Pro, 8051, MIPS®, PowerPC®, ALPHA® 등과 같은 범용의 단일칩 또는 멀티칩 마이크로프로세서나, 또는 디지털 신호 처리기, 마이크로컨트롤러, 프로그래머블 게이트 어레이 등과 같은 특정 목적의 마이크로프로세서일 수 있다. 해당 기술 분야에서 알려진 바와 같이, 프로세서(21)는 하나 이상의 소프트웨어 모듈을 실행하도록 구성될 수 있다. 오퍼레이팅 시스템을 실행하는 것 외에도, 프로세서는 웹 브라우저, 전화 응용프로그램, 이메일 프로그램, 또는 임의의 다른 소프트웨어 응용프로그램을 포함하여 하나 이상의 소프트웨어 응용프로그램을 실행하도록 구성될 수 있다.
일 실시예에서, 프로세서(21)는 또한 어레이 드라이버(22)와 통신하도록 구성된다. 일 실시예에서, 어레이 드라이버(22)는 패널 또는 디스플레이 어레이(디스플레이)(30)에 신호를 제공하는 수평열 구동 회로(24) 및 수직열 구동 회로(26)를 포함한다. 도 2에서 1-1의 선을 따라 절단한 어레이의 단면도가 도 1에 도시되어 있다. 미소 기전 시스템의 간섭 변조기에 대한 수평열/수직열 구동 프로토콜은 도 3에 도시된 기기의 히스테리시스 특성을 이용할 수 있다. 이동가능한 층을 해방 상태에서 작동 상태로 변형시키기 위해, 예컨대, 10볼트의 전위차가 요구될 수 있다. 그러나, 전압이 그 값으로부터 감소할 때, 전압이 10볼트 이하로 떨어지더라도 이동가능한 층은 그 상태를 유지한다. 도 3의 실시예에서, 이동가능한 층은 전압이 2볼트 이하로 떨어질 때까지는 완전히 해방되지 않는다. 따라서, 기기가 해방 상태 또는 작동 상태 중 어느 하나의 상태로 안정되는 인가 전압 영역이 존재 하는 전압의 범위가 있다. 도 3에서는 약 3~7볼트가 예시되어 있다. 이것을 여기서는 "히스테리시스 영역" 또는 "안정 영역"이라고 부른다. 도 3의 히스테리시스 특성을 가진 디스플레이 어레이에서는, 수평열/수직열 구동 프로토콜은, 수평열 스트로브(row strobe)가 인가되는 동안에 스트로브가 인가된 수평열에 있는 픽셀들 중에 작동되어야 픽셀들은 약 10볼트의 전위차에 노출되고, 해방되어야 할 픽셀들은 0(영)볼트에 가까운 전위차에 노출되도록 설계될 수 있다. 스트로브를 인가한 후에는, 픽셀들이 수평열 스트로브에 의해 어떠한 상태가 되었든지 간에 그 상태로 유지되도록 약 5볼트의 정상 상태 전압차를 적용받는다. 기록된 후에, 각 픽셀은 본 실시예에서는 3-7볼트인 "안정 영역" 내의 전위차를 가진다. 이러한 구성으로 인해, 도 1에 도시된 픽셀 구조가 동일한 인가 전압의 조건 하에서 작동 상태든 해방 상태든 기존의 상태로 안정되게 된다. 작동 상태로 있든 해방 상태로 있든, 간섭 변조기의 각 픽셀은 필연적으로 고정된 반사층과 이동하는 반사층에 의해 형성되는 커패시터이기 때문에, 이 안정된 상태는 히스테리시스 영역 내의 전압에서 거의 전력 낭비 없이 유지될 수 있다. 인가 전위가 고정되어 있으면, 필연적으로 픽셀에 유입되는 전류는 없다.
전형적인 응용예로서, 첫 번째 수평열에 있는 소정 세트의 작동된 픽셀에 따라 한 세트의 수직열 전극을 어서팅(asserting)함으로써 디스플레이 프레임을 만들 수 있다. 그런 다음, 수평열 펄스를 수평열 1의 전극에 인가하여 어서트된 수직열 라인에 대응하는 픽셀들을 작동시킨다. 그러면, 수직열 전극의 어서트된 세트가 두 번째 수평열에 있는 소정 세트의 작동되는 픽셀에 대응하도록 변경된다. 그런 다음, 펄스를 수평열 2의 전극에 인가하여 어서트된 수직열 전극에 따라 수평열 2에서의 해당하는 픽셀을 작동시킨다. 수평열 1의 픽셀들은 수평열 2의 펄스에 영향을 받지 않고, 수평열 1의 펄스에 의해 설정되었던 상태를 유지한다. 이러한 동작을 순차적으로 전체 수평열에 대해 반복하여 프레임을 생성할 수 있다. 일반적으로, 이러한 프레임들은 초당 소정 수의 프레임에 대해 이러한 처리를 계속해서 반복함으로써 리프레시(refresh)되거나, 및/또는 새로운 디스플레이 데이터로 갱신된다. 수평열 및 수직열 전극을 구동하여 디스플레이 프레임을 생성하는 많은 다양한 프로토콜이 잘 알려져 있고, 본 발명과 관련하여 사용될 수 있다.
도 4, 도 5a, 및 도 5b는 도 2의 3x3 어레이에서 디스플레이 프레임을 생성하는 하나의 가능한 구동 프로토콜을 나타낸 것이다. 도 4는 도 3의 히스테리시스 곡선을 보여주는 픽셀들에 사용될 수 있는 수직열 및 수평열의 가능한 전압 레벨 세트를 보여준다. 도 4의 실시예에서, 픽셀을 작동시키기 위해, 해당하는 수직열은 -Vbias 로 설정하고 해당하는 수평열은 +ΔV로 설정한다. 각각의 전압은 -5볼트 및 +5볼트에 대응할 수 있다. 픽셀을 해방시키기 위해서는, 해당하는 수직열은 +Vbais로 설정하고 해당하는 수평열은 동일한 값의 +ΔV로 설정하여, 픽셀에 걸리는 전위차가 0(영)볼트가 되도록 한다. 수평열의 전압이 0(영)볼트로 되어 있는 수평열에서는, 수직열이 +Vbias 이든 -Vbias이든 관계없이 픽셀들이 원래의 상태로 안정된다. 또한 도 4에 도시된 바와 같이, 전술한 것과 반대 극성의 전압을 사용할 수 있다는 것을 알 것이다. 예컨대, 픽셀을 작동시키기 위해, 해당하는 수직열은 +Vbias 로 설정하고 해당하는 수평열은 -ΔV로 설정한다. 본 실시예에서, 픽셀을 해방시키기 위해서는, 해당하는 수직열은 -Vbais로 설정하고 해당하는 수평열은 동일한 값의 -ΔV로 설정하여, 픽셀에 걸리는 전위차가 0(영)볼트가 되도록 한다.
도 5b는, 도 2의 3x3 어레이에 인가되는 일련의 수평열 및 수직열 신호를 보여주는 타이밍도이며, 그 결과로서 작동된 픽셀들이 비반사성인 도 5a에 도시된 디스플레이 배열이 얻어진다. 도 5a에 도시된 프레임을 기록하기 전에, 픽셀들은 어떤 상태로 되어 있어도 무방하다. 본 예에서는, 모든 수평열들이 0(영)볼트이고, 모든 수직열들이 +5볼트이다. 이러한 인가 전압으로, 모든 픽셀들은 기존의 작동 상태 또는 해방 상태로 안정되어 있다.
도 5a의 프레임에서, (1,1), (1,2), (2,2), (3,2) 및 (3,3)의 픽셀들이 작동된다. 이를 구현하기 위해, 수평열 1에 대한 "라인 시간" 동안, 수직열 1과 수직열 2는 -5볼트로 설정되고, 수직열 3은 +5볼트로 설정된다. 이것은 어느 픽셀의 상태도 바꾸지 않는다. 왜냐하면, 모든 픽셀들이 3～7볼트의 안정영역 내에 있기 때문이다. 그런 다음, 수평열 1에 0볼트에서 5볼트로 상승한 후 다시 0볼트로 되는 펄스를 가진 스트로브를 인가한다. 이것은 (1,1) 및 (1,2)의 픽셀을 작동시키고 (1,3)의 픽셀을 해방시킨다. 어레이의 다른 픽셀들은 영향을 받지 않는다. 수평열 2를 원하는 대로 설정하기 위해, 수직열 2를 -5볼트로 설정하고, 수직열 1 및 수직열 3은 +5볼트로 설정한다. 동일한 스트로브를 수평열 2에 인가하면, (2,2)의 픽셀이 작동되고, (2,1) 및 (2,3)의 픽셀이 해방된다. 여전히, 어레이의 다른 픽 셀들은 영향을 받지 않는다. 수직열 2 및 수직열 3을 -5볼트로 설정하고 수직열 1을 +5볼트로 설정함으로써, 수평열 3도 마찬가지의 방법으로 설정될 수 있다. 수평열 3에 대한 스트로브로 인해 수평열 3의 픽셀들도 도 5a에 도시된 바와 같이 설정된다. 프레임을 기록한 후에, 수평열 전위는 0(영)이고, 수직열 전위는 +5볼트 또는 -5볼트로 남아있으므로, 디스플레이는 도 5a의 배열로 안정된다. 수십 또는 수백의 수평열 및 수직열로 된 어레이에 대해 동일한 처리가 행해질 수 있다는 것은 잘 알 수 있을 것이다. 또한, 수평열 및 수직열의 구동을 위해 사용되는 전압의 타이밍, 순서 및 레벨은 위에서 설명한 전반적인 원리 내에서 다양하게 변경될 수 있고, 상술한 예는 예시에 불과하고, 임의의 구동 전압 방법을 본 발명에 적용하여도 무방하다.
도 6a 및 도 6b는 디스플레이 기기(40)의 실시예를 예시하는 시스템 블록도이다. 디스플레이 기기(40)는, 예컨대, 휴대 전화기일 수 있다. 그러나, 텔레비전이나 휴대용 미디어 플레이어와 같이 디스플레이 기기(40)와 동일한 구성품이나 약간 변형된 것도 디스플레이 기기의 여러 가지 형태의 예에 해당한다.
디스플레이 기기(40)는 하우징(41), 디스플레이(30), 안테나(43), 스피커(45), 입력 기기(48), 및 마이크(46)를 포함한다. 하우징(41)은 일반적으로 사출 성형이나 진공 성형을 포함하여 해당 기술분야에서 잘 알려진 여러 가지 제조 공정 중 어느 것에 의해서도 제조될 수 있다. 또한, 하우징(41)은, 한정되는 것은 아니지만, 플라스틱, 금속, 유리, 고무, 및 세라믹 또는 이들의 조합을 포함하여 여러 가지 재료 중 어느 것으로도 만들어질 수 있다. 일 실시예에서, 하우징(41) 은 분리가능한 부분(도시되지 않음)을 포함하고, 이 분리가능한 부분은 다른 색상이나 다른 로고, 그림 또는 심볼을 가진 다른 분리가능한 부분으로 교체될 수 있다.
본 예의 디스플레이 기기(40)의 디스플레이(30)는, 여기서 개시한 쌍안정(bi-stable) 디스플레이를 포함하여, 여러 가지 디스플레이 중 어느 것이어도 무방하다. 다른 실시예에서, 디스플레이(30)는, 상술한 바와 같은, 플라즈마, EL, OLED, STN LCD, 또는 TFT LCD 등과 같은 평판 디스플레이와, 해당 기술분야에서 당업자에게 잘 알려진 바와 같은, CRT나 다른 튜브 디스플레이 기기 등과 같은 비평판 디스플레이를 포함한다. 그러나, 본 실시예를 설명하기 위해, 디스플레이(30)는 여기서 설명하는 바와 같이 간섭 변조기 디스플레이를 포함한다.
예시된 디스플레이 기기(40)의 일 실시예에서의 구성요소가 도 6b에 개략적으로 도시되어 있다. 도시된 예의 디스플레이 기기(40)는 하우징(41)을 포함하고, 적어도 부분적으로 하우징 내에 배치되어 있는 구성요소들을 추가로 포함할 수 있다. 예컨대, 일 실시예에서, 본 예의 디스플레이 기기(40)가 송수신기(47)와 연결된 안테나(43)를 포함하는 네트워크 인터페이스(27)를 포함할 수 있다. 송수신기(47)는 프로세서(21)에 연결되어 있고, 프로세서(21)는 컨디셔닝 하드웨어(conditioning hardware)(52)에 연결되어 있다. 컨디셔닝 하드웨어(52)는 스피커(45)와 마이크(46)에 연결되어 있다. 프로세서(21)는 입력 기기(48)와 드라이버 컨트롤러(29)에도 연결되어 있다. 드라이버 컨트롤러(29)는 프레임 버퍼(28)와 어레이 드라이버(22)에 연결되어 있고, 어레이 드라이버는 디스플레이 어레이(30)에 연결되어 있다. 전원(50)은 예시된 디스플레이 기기(40)의 특정 설계에 따라 요구되는 모든 구성요소에 전력을 공급한다.
네트워크 인터페이스(27)는 예시된 디스플레이 기기(40)가 네트워크를 통해 하나 이상의 기기들과 통신할 수 있도록 안테나(43)와 송수신기(47)를 포함한다. 일 실시예에서, 네트워크 인터페이스(27)는 프로세서(21)의 부담을 경감하기 위해 어느 정도의 처리 능력을 가질 수도 있다. 안테나(43)는 신호를 송수신하는 것으로서, 해당 기술분야의 당업자에게 알려진 어떠한 안테나라도 무방하다. 일 실시예에서, 안테나는 IEEE 802.11(a), (b), 또는 (g)를 포함하여 IEEE 802.11 표준에 따라 RF 신호를 송수신한다. 다른 실시예에서, 안테나는 블루투스 표준에 따라 RF 신호를 송수신한다. 휴대 전화기의 경우, 안테나는 CDMA, GSM, AMPS 또는 무선 휴대폰 네트워크를 통한 통신에 사용되는 공지의 다른 신호를 수신하도록 설계된다. 송수신기(47)는 안테나(43)로부터 수신한 신호를, 프로세서(21)가 수신하여 처리할 수 있도록 전처리한다. 또한, 송수신기(47)는 프로세서(21)로부터 수신한 신호를, 안테나(43)를 통해 본 예의 디스플레이 기기(40)로부터 전송될 수 있도록 처리한다.
다른 실시예에서, 송수신기(47)를 수신기로 대체할 수 있다. 또 다른 실시예에서, 네트워크 인터페이스(27)는 프로세서(21)로 전송될 이미지 데이터를 저장하거나 생성할 수 있는 이미지 소스로 대체될 수 있다. 예컨대, 이미지 소스는 이미지 데이터를 담고 있는 DVD나 하드디스크 드라이브일 수도 있고, 이미지 데이터를 생성하는 소프트웨어 모듈일 수도 있다.
프로세서(21)는 일반적으로 본 예의 디스플레이 기기(40)의 전반적인 동작을 제어한다. 프로세서(21)는 네트워크 인터페이스(27)나 이미지 소스로부터 압축된 이미지 데이터 등을 수신하여, 이를 본래의 이미지 데이터 또는 본래의 이미지 데이터로 처리될 수 있는 포맷으로 가공한다. 그런 다음, 프로세서(21)는 가공된 데이터를 드라이버 컨트롤러(29)나 저장을 위한 프레임 버퍼(28)로 보낸다. 전형적으로, 본래의 데이터는 이미지 내의 각 위치에 대한 이미지 특성을 나타내는 정보를 말한다. 예컨대, 그러한 이미지 특성은 컬러, 채도, 명도(gray-scale level)를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 프로세서(21)는 마이크로컨트롤러, CPU, 또는 예시된 디스플레이 기기(40)의 동작을 제어하는 논리 유닛을 포함한다. 일반적으로, 컨디셔닝 하드웨어(52)는, 스피커(45)로 신호를 보내고 마이크(46)로부터 신호를 받기 위해, 증폭기와 필터를 포함한다. 컨디셔닝 하드웨어(52)는 예시된 디스플레이 기기(40) 내의 별도의 구성요소일 수도 있고, 또는 프로세서(21)나 다른 구성요소 내에 통합되어 있을 수도 있다.
드라이버 컨트롤러(29)는 프로세서(21)에 의해 생성된 본래의 이미지 데이터를 이 프로세서(21)로부터 직접 또는 프레임 버퍼(28)로부터 받아서, 이를 어레이 드라이버(22)에 고속으로 전송하기에 적합한 포맷으로 재구성한다. 구체적으로, 드라이버 컨트롤러(29)는 디스플레이 어레이(30)를 가로질러 스캐닝하기에 적합한 시간 순서를 가지도록 본래의 이미지 데이터를 래스터형(raster-like) 포맷을 가진 데이터 흐름으로 재구성한다. 그런 다음, 드라이버 컨트롤러(29)는 재구성된 정보 를 어레이 드라이버(22)로 보낸다. 종종 액정 디스플레이의 컨트롤러 등과 같은 드라이버 컨트롤러(29)가 독립형 집적 회로(stand-alone IC)로서 시스템 프로세서(21)와 통합되기도 하지만, 이러한 컨트롤러는 여러 가지 방법으로 구현될 수 있다. 이러한 컨트롤러는 프로세서(21)에 하드웨어 또는 소프트웨어로서 내장될 수도 있고, 또는 어레이 드라이버(22)와 함께 하드웨어로 완전히 통합될 수도 있다.
전형적으로, 어레이 드라이버(22)는 드라이버 컨트롤러(29)로부터 포맷된 정보를 받아서, 이 비디오 데이터를 디스플레이의 x-y 행렬의 픽셀들로부터 이어져 나온 수백 때로는 수천 개의 리드선에 초당 수 회에 걸쳐 인가되는 병렬의 파형 세트로 변환한다.
일 실시예에서, 드라이버 컨트롤러(29), 어레이 드라이버(22), 및 디스플레이 어레이(30)는 여기서 기술한 어떠한 형태의 디스플레이에 대해서도 적합하다. 예컨대, 일 실시예에서, 드라이버 컨트롤러(29)는 종래의 디스플레이 컨트롤러 또는 쌍안정 디스플레이 컨트롤러(예컨대, 간섭 변조기 컨트롤러)이다. 다른 실시예에서, 어레이 드라이버(22)는 종래의 드라이버 또는 쌍안정 디스플레이 드라이버(예컨대, 간섭 변조기 디스플레이)이다. 일 실시예에서, 드라이버 컨트롤러(29)는 어레이 드라이버(22)와 통합되어 있다. 그러한 예는 휴대폰, 시계 및 다른 소형 디스플레이와 같은 고집적 시스템에서는 일반적인 것이다. 또 다른 실시예에서, 디스플레이 어레이(30)는 전형적인 디스플레이 어레이 또는 쌍안정 디스플레이 어레이(예컨대, 간섭 변조기 어레이를 포함하는 디스플레이)이다.
입력 기기(48)는 사용자로 하여금 예시된 디스플레이 기기(40)의 동작을 제 어할 수 있도록 한다. 일 실시예에서, 입력 기기(48)는 쿼티(QWERTY) 키보드나 전화기 키패드 등의 키패드, 버튼, 스위치, 터치 스크린, 압력 또는 열 감지 막을 포함한다. 일 실시예에서, 마이크(46)는 예시된 디스플레이 기기(40)의 입력 기기이다. 기기에 데이터를 입력하기 위해 마이크(46)가 사용되는 경우에, 예시된 디스플레이 기기(40)의 동작을 제어하기 위해 사용자는 음성 명령을 제공할 수 있다.
전원(50)은 해당 기술분야에서 잘 알려진 다양한 에너지 저장 기기를 포함할 수 있다. 예컨대, 일 실시예에서, 전원(50)은 니켈-카드뮴 전지나 리튬-이온 전지와 같은 재충전가능한 전지이다. 다른 실시예에서, 전원(50)은 재생가능한 에너지원, 커패시터, 또는 플라스틱 태양 전지와 태양 전지 도료를 포함하는 태양 전지이다. 다른 실시예에서, 전원(50)은 콘센트로부터 전력을 공급받도록 구성된다.
몇몇 구현예에서는, 상술한 바와 같이, 전자 디스플레이 시스템 내의 여러 곳에 위치될 수 있는 드라이버 컨트롤러의 제어를 프로그래머블하게 구성할 수 있다. 어떤 경우에는, 어레이 드라이버(22)의 제어를 프로그래머블하게 구성할 수도 있다. 해당 기술분야의 당업자라면 임의의 수의 하드웨어 및/또는 소프트웨어 구성요소로도 상술한 최적화 상태를 구현할 수 있고, 또 여러 가지 다양한 구성으로 구현할 수도 있다는 것을 인식할 수 있을 것이다.
위에서 설명한 원리에 따라 동작하는 간섭 변조기의 상세한 구조는 다양하게 변경될 수 있다. 예컨대, 도 7a 내지 도 7e는 이동하는 반사층(14) 및 그 지지 구조의 다섯 가지 다른 실시예를 보여준다. 도 7a는 도 1에 도시된 실시예의 단면도로서, 금속 재료로 된 스트립(14)이 직각으로 연장된 지지물(18) 상에 배치되어 있 다. 도 7b에서, 이동가능한 반사층(14)은 연결선(32)에 의해 그 코너에서만 지지물에 부착되어 있다. 도 7c에서, 이동가능한 반사층(14)은 유연성의 금속을 포함할 수 있는 변형가능한 층(34)에 매달려 있다. 변형가능한 층(34)은 직접 또는 간접으로 변형가능한 층(34)의 주변의 기판(20)에 연결된다. 이 연결들은 여기서 지지 포스트라고 한다. 도 7d에 도시된 실시예는 그 위에 변형가능한 층(34)이 위치하는 포스트 플러그(42)를 가진다. 이동가능한 반사층(14)은 도 7a 내지 도 7c에서와 같이, 캐비티 위에 매달려 있지만, 변형가능한 층(34)과 광 스택(16) 사이의 구멍을 채움으로써, 변형가능한 층(34)은 지지 포스트를 형성하지 않는다. 오히려, 지지 포스트는 지지 포스트 플러그(42)를 형성하는데 사용되는 평탄화 재료(planarization material)로 형성되어 있다. 도 7e에 도시된 실시예는 도 7d에 도시된 실시예에 기초한 것이지만, 도 7a 내지 도 7c에 도시된 실시예 중 어느 것은 물론 도시되지 않은 추가 실시예들과도 함께 사용하기에 적합하다. 도 7e에 도시된 실시예에서, 금속 또는 다른 전도성 재료로 이루어진 여분의 층을 사용하여 버스 구조(44)를 형성하였다. 이는 간섭 변조기들의 뒷면을 따라서 신호 라우팅을 가능하게 하여, 그렇지 않은 경우에 기판(20) 상에 형성하여야 했던 다수의 전극을 없앨 수 있다.
도 7a 내지 도 7e에 도시된 바와 같은 실시예에서, 간섭 변조기들은 직시형 기기(direct-view device)로서 기능하고, 이미지들은 변조기들이 배치되어 있는 반대쪽, 투명 기판(20)의 정면 쪽에서 보여진다. 이 실시예들에서, 반사층(14)은 변형가능한 층(34)과 버스 구조물(44)을 포함하는, 기판(20)의 반대쪽의 반사층 측 상의 간섭 변조기 부분을 광학적으로 차폐시킨다. 이것은 차폐된 영역을 구성할 수 있도록 하고 화질에 악영향을 주지 않고 동작될 수 있도록 한다. 이 분리가능한 구조는 변조기의 구조적 설계, 그리고 전자기계적 측면 및 광학적 측면에서 사용된 재료를 선택할 수 있도록 하고 서로 독립적으로 기능할 수 있도록 한다. 또한 도 7c 내지 도 7e에 도시된 실시예들은 변형가능한 층(34)에 의해 이루어지는, 반사층(14)의 광학적 특성과 그 기계적 특성의 분리에 의해 얻은 추가적인 이점을 갖는다. 이것은 반사층(14)에 대한 구조적 설계 및 사용된 재료가 광학 특성에 최적화될 수 있도록 하고, 변형가능한 층(34)에 대한 구조적 설계 및 사용된 재료가 원하는 기계적 특성에 대해 최적화될 수 있도록 한다.
몇몇 타입의 결함이 도 1의 어레이와 같은 간섭 변조기의 어레이에 존재할 수 있다. 많은 상이한 방법을 사용하여 이들 어레이를 검사할 수 있지만, 간섭 변조기의 어레이를 검사하는 한 가지 방법은, 어레이의 일정한 부분에 특정 파형을 인가하는 단계; 및 상기 어레이의 광 출력을 검사하는 단계를 포함한다. 이 검사는 시각적으로 수행되거나, 또는 예컨대 CCD 카메라의 영상을 분석하도록 구성된 프로세서에 연결된 CCD 카메라의 사용을 통해 자동화될 수 있다. 여기서 사용된 바와 같이, 시각적 검사라는 용어는 기술자, 또는 광 출력의 영상을 포착하고 그 영상을 분석하도록 구성된 시스템에 의한 어레이의 광 출력에 대한 자동화된 검사를 나타내도록 의도된다.
도 8은, 시각적 검사를 위해 구성된 (도 1 및 도 7a -7e에 도시된 것과 같은) 간섭 변조기의 어레이(60)를 개략적으로 나타낸 것이다. 어레이(60)는 다수의 수평열 전극(62, 64)과 다수의 수직열 전극(66, 68)을 포함한다는 것을 알 수 있다. 제1 수평열 검사 패드(72)는 버스 바(70)를 통해 수평열 전극(62)의 제1 세트에 연결되어 있고, 제2 수평열 검사 패드(74)는 다른 버스 바(70)를 통해 수평열 전극의 제2 세트에 연결되어 있다. 수평열 검사 패드들(72, 74) 및 버스 바들(70)은, 단일 신호가 단일 리드(lead)를 통해 각각의 수평열 전극의 세트에 인가될 수 있도록 한다. 유리하게는, 도면에 나타낸 바와 같이, 소정의 검사 패드에 연결된 수평열 전극 중 어느 것도 서로 인접하지 않으므로, 수평열 전극들(62)은 모든 제2 수평열 전극을 포함하는 전극의 세트를 포함하고, 유사하게 수평열 전극들(64)은 나머지 전극들을 포함한다. 마찬가지로, 수직열 검사 패드(76)는 버스 바(70)를 통해 수직열 전극들(66)의 그룹에 연결되어 있고, 제2 수직열 검사 패드(78)는 수직열 전극(68)의 제2 그룹에 연결되어 있다. 일 실시예에서, 수평열 전극은 (예컨대 도 7a의 광 스택(16)의 요소로서) 하부 기판(underlying substrate) 상에 배치된 전극들을 포함하고, 수직열 전극은 (예컨대, 도 7a의 이동가능한 반사층(14)의 요소로서) 간섭 캐비티(interferometric cavity)만큼 기판에서 떨어져 있는 전극들을 포함한다. 따라서, 수직열 전극(66, 68)이 수평열 전극(62, 64) 위에 있기는 하지만, 이들은 서로 전기적으로 연결되어 있지 않다. 또한 수평열 전극들이 기판 상에 직접 배치되지 않는 것이 아니라, 대신에 기판에 의해 지지되지만 실제로는 하나 이상의 개재층(intervening layer)과 접촉하도록, 수평열 전극들(62, 64) 사이에 다양한 층들이 형성될 수 있다.
도시된 실시예에서, 검사 패드는 기판 상에 배치된 전도성 재료의 층을 포함 하고, 버스 바(70)와 연결되어 있다. 유리하게는, 이들 검사 패드는 동시에, 그리고 버스 바와 수평열 전극 및 수직열 전극과 동일한 재료로 형성되지만, 이 요소들은 별개의 세트로 형성될 수 있다. 또한 검사 패드와 다른 검사 장비, 특히 신호 생성기들과의 연결을 용이하게 하기 위해, 검사 패드는 버스 바와 수평열 전극 및 수직열 전극보다 상당히 더 클 수 있다. 하지만, 다른 실시예들에서, 검사 패드는 나머지 전극들과 유사한 두께일 수 있다. 또 다른 실시예들에서, 검사 패드는 전혀 제공되지 않고, 연결은 직접, 예를 들어 버스 바에 대해 이루어진다. 다른 실시예들에서, 각 수직열 및 수평열은 개별적으로 탐침으로 검사될 수 있고, 임의의 원하는 버싱(bussing)은 외부적으로 이루어질 수 있다.
어떤 실시예들에서, 추가 전극 세트에 연결된 추가적인 검사 패드가 있을 수 있음을 알 것이다. 특히, 자세하게 후술할 일 실시예에서, 제3 수직열 전극 세트와 전기적으로 연결되어 있는 제3 수직열 검사 패드가 제공된다. 일 실시예에서, 각 수직열 세트는 모든 제3 수직열 전극을 포함한다. 유리하게는, 세 개의 수직열 전극 세트는 적색, 녹색, 및 청색 수직열과 같은, 상이한 컬러를 반사하도록 구성된 간섭 변조기의 수직열에 대응할 수 있다. 또한, 수평열 전극이라는 용어가 여기서는 주로 광 스택(16) 내에 위치한 전극을 나타내기 위해 사용되고, 수직열 전극이라는 용어가 여기서는 주로 이동가능한 반사층(14)(예: 도 7a 참조) 내에 위치한 것과 같은 전극을 나타내기 위해 사용되지만, 수평열과 수직열의 지정은 임의적이고, 그 반대일 수도 있다는 것을 알 것이다.
어떤 실시예들에서는, 도 9에 도시된 바와 같이 다수의 간섭 변조기의 어레 이(60)를 단일 기판(84)에 제조할 수 있다. 어레이(60)들을 분리하기 위해 기판을 스크라이빙(scribing)하기 이전에, 결함이 있는 어레이를 식별하기 위해 이 어레이들을 시각적으로 검사할 수 있다. 또한, 도 9에 도시된 바와 같이, 추가적인 연결부(connection)를 일정한 검사 패드들 사이에 만들어, 각각의 어레이에 원하는 신호를 인가하는데 필요한 프로브(probe)의 수를 줄일 수 있다. 예를 들어, 어레이(60) 각각의 수평열 검사 패드들이 동일한 신호를 수신하게 될 실시예들에서, 각 어레이의 검사 패드들과 연결되어 있는 두 개의 공유 검사 패드(86, 88)가 제공될 수 있다(예컨대, 하나의 검사 패드(86)는 검사 패드(72)와 연결되어 있고 다른 하나의 검사 패드(88)는 검사 패드(74)와 연결되어 있다). 각 어레이에 인가되는 신호들 사이의 공통성에 대한 임의의 원하는 양은 이러한 공유 검사 패드를 통해 제공될 수 있다.
일 실시예에서는, 프로브 장착부(probe mount)(90)(도 10 참조)를 제공하여 신호 생성기와 어레이 사이의 연결을 용이하게 한다. 도 10은 프로브 장착부의 개략적인 단면도를 도시한 것이다. 간섭 변조기의 어레이(60)가 하나 이상 제조되어 있는 기판(84)은 프로브 장착부(90) 내에 위치되고, 클램프(92)로 고정된다. 기판(84)은 어레이(60)들 및 검사 패드(72, 74)와 같은 검사 패드들이 배치되어 있는 처리 측(94)이 아래쪽을 향하도록, 그리고 어레이(60)들을 볼 수 있는 관찰자 측(96)이 위쪽을 향하도록 되어 있다. 기판 상의 패드(72, 74)와 같은 검사 패드에 대한 연결은 원하는 품질의 연결을 보증하기 위해 기판(84)에 대해 경사져 있는, (포고 핀(pogo pin)이라고도 하는) 스프링 장착형 핀(spring-loaded pin)(98)들에 의해 이루어질 수 있다. 핀(98)들과 신호 생성기(도시하지 않음) 사이의 연결은 프로브 장착부 내의 다른 곳에서 이루어질 수 있다.
도 11은 간섭 변조기의 어레이를 시각적으로 검사하는 시스템을 개략적으로 나타낸 것이다. 도 10과 관련하여 설명한 바와 같이, 간섭 변조기의 어레이를 하나 이상 포함하는 기판은, 지지면(102) 상에 있는 프로브 장착부(90) 내에 위치된다. 어떤 실시예에서 연속 스펙트럼의 광을 방출하는 광원(104)이 프로브 장착부(90) 내의 어레이를 조사한다. 기술자 또는 (예컨대 CCD 카메라를 포함하는) 자동화 시스템일 수 있는 조작자(106)는 어레이 내의 결함을 식별하기 위해 어레이의 광 출력을 분석한다. 다른 실시예들에서, 확산기층(108)이 기판(84)의 관찰자 측(96)에 배치될 수 있다. 확산기층(108)의 사용은 광원(104) 또는 어레이 내의 작은 결함의 검출을 저해하는 다른 광원에 의한 투명한 기판의 직접적인 반사를 제거함으로써, 간섭 변조기 어레이의 시각적 검사를 용이하게 한다. 유리하게는, 확산기층(102)의 영구적인 적용은 제조 비용을 증가시키기 때문에, 확산기층(108)은 기본 어레이(60)의 검사가 완료될 때까지는 기판(84)에 고정되지 않으며, 어레이(60)는 결함이 있는 것으로 발견되면 폐기될 수 있다. 확산기층(108)은 기판(84)과 접촉되어 있는 것처럼 도시되어 있지만, 확산기층(108)이 어레이 인접하고 원하는 광학적 효과를 만들어내기에 충분히 가까운 한, 기판과 약간 떨어져 있을 수 있다.
도 11에서, 여러 검사 패드에 인가될 신호들은 신호 생성기에 의해 생성되고, 이 예에서 신호 생성기는 제어 컴퓨터(110)이다. 스위치 박스(112)는 제어 컴 퓨터(110)와 연결되어 있고, 프로브 장착부(90)는 필요에 따라 인가되는 신호가 하나의 검사 패드에서 다른 검사 패드로의 스위칭될 수 있도록 한다.
어레이(60)를 검사하는 한 가지 방법은, 개별 변조기 요소 각각에 대해 작동 상태(actuate)와 비작동 상태(usactuate, 비작동 상태) 간의 연속적인 스위칭 동안에 어레이(60)를 관찰하는 것을 포함한다. 이와 같은 일 실시예를 도 8의 어레이(60)와 관련하여 설명한다. 이 실시예에서, 이것은 수평열 검사 패드(72, 74)를 접지시킴으로써 달성될 수 있다. 그 후 신호를 각각의 간섭 변조기 요소를 교대로 작동 상태와 비작동 상태로 동작시키는 수직열 검사 패드(76, 78)에 인가한다. 도 12a는 원하는 디스플레이 패턴을 생성하기 두 수직열 패드(76, 78)에 인가될 수 있는 파형(120)의 일례를 나타낸 것이다. 수직열 검사 패드(76)에 인가된 파형 및 수직열 검사 패드(78)에 인가된 파형은 동일하고 동기화되어 있기 때문에, 각 변조기 요소는 동시에 작동 상태와 비작동 상태 간을 이동할 것이다.
도 12a와 관련하여, 파형(120)이 몇 개의 특성 파라미터(characteristic parameter)를 가지고 있음을 알 수 있다. 이전에 피크(122)와 트로프(trough)(124) 사이의 값으로 인가된 초기 전압은, 보류 시간(hold time)이라고 하는 시간(126) 동안에 간섭 변조기의 상태의 변화를 초래하지 않도록 작동될 간섭 변조기 요소의 히스테리시스 영역(hysteresis window) 내에 있을 수 있다. 구체적으로, 초기 전압은 해방 전압(121)보다 높지만 작동 전압(123)보다 낮다. 이 실시예에서 피크와 트로프의 형태를 취하는 펄스(122, 124)를 여기서는 총괄하여 신호라고 하며, 이 신호들은 도시된 예의 파형과 같은 형상일 필요는 없다는 것을 알 것이다. 이 보류 시간(126)은, 디스플레이의 어두운 상태와 밝은 상태의 깜박거림 레이트(rate)를 결정한다. 피크의 높이(130)는 간섭 변조기 요소의 히스테리시스 영역을 초과하는 인가 전압을 일으키기에 충분하여, 간섭 변조기 요소를 작동 상태로 구동할 수 있다. 마찬가지로, 트로프의 높이(132)는 히스테리시스 영역 아래의 전압을 인가하기에 충분하여, 간섭기 변조기 요소를 해방 상태로 만든다. 펄스(124, 122)의 길이(128)는 간섭 변조기 요소의 상태를 변화시키기에 충분하도록 간섭 변조기의 응답 시간보다 더 길 수 있다. 따라서 상태 136에서, 인가된 전압은 어레이(60) 내의 요소의 상태에 영향을 미치지 않을 수 있다. 상태 138에서, 제1 펄스(124) 이후에 모든 변조기는 비작동된 상태로 되었다. 상태 140에서, 제2 펄스(122) 이후에, 모든 변조기는 작동 상태로 되었다.
이 예의 간섭 변조기 요소들은 디스플레이 상태를 유지할 것이기 때문에, 변조기 요소를 원하는 상태로 만들기 위해 펄스(122, 124)와 같은 신호를 수평열 전극과 수직열 전극 사이에 인가할 수 있다. 하지만, 도 14a 및 도 14b의 파형으로 알 수 있는 바와 같이, 이 신호들은 검사 공정의 지속 기간 동안에 유지될 필요는 없다. 응답 시간은 변조기 요소의 설계에 따라서 상당히 변화할 수 있다는 것을 알겠지만, 펄스 신호(122, 124)의 길이(128)를 제어하는 변조기 요소의 응답 시간은, 대략 100㎲일 수 있다. 하지만 보류 시간(126)은 어레이의 검사에 필요한 만큼 길 수 있다. 어떤 실시예들에서, 파형 형태의 다음 신호의 인가는 일단 어레이의 현재 상태를 검사한 다음, (예컨대 제어 컴퓨터의 버튼을 누름으로써) 어레이를 다음 상태로 진행할 수 있는 조작자에 의해 제어될 수 있다. 또한 보류 시간(126) 의 가변 길이는, 신호를 인가하는 동안 어레이의 영상을 기록할 필요가 없을 때, LCD와 같은 다른 디스플레이의 검사 시에 요구될 것 같을 때, 어레이의 자동화된 검사를 용이하게 한다. 오히려, 영상은, 어레이를 원하는 상태로 만들 신호의 세트를 인가한 후에 임의의 시점에서 기록될 수 있다.
도 12b는 동일한 디스플레이 패턴을 제공하는데 사용될 수 있는 다른 파형을 도시한 것이다. 알 수 있는 바와 같이, 인가되는 전압은 포지티브와 네거티브가 번갈아 인가되지만, 그 절대값은 펄스(124, 122)를 제외하고 히스테리시스 영역 내에 유지된다. 펄스(124, 122)에서는 전압이 변조기의 작동 시간보다 더 오래 히스테리시스 영역의 밖에 유지되고, 그 결과 변조기 상태의 변화를 초래한다. 원하는 전압(예컨대, 작동 적압 또는 해방 전압)을 생성하기 위해 다양한 파형을 사용할 수 있다. 여기에 개시된 실시예를 위해, 특정 변조기 요소에서의 원하는 전압을 생성하는 임의의 신호는 여기에 개시된 실시예들과 동등하고 그 범위 내에 드는 것으로 간주될 수 있음을 알 것이다. 또한, 도시된 예의 파형은 치수나 비율에 의미가 있는 것은 아님을 알 것이다. 예컨대, 보류시간(126)은 신호의 길이(128)보다 상당히 길 수 있다. 보류시간이 긴 이 실시예에서, 펄스(124)와 펄스(122) 사이의 파형(120')(도 12b)의 사각파 펄스의 개수는 도 12b에 도시된 개수보다 훨씬 더 많을 수 있다.
어떤 실시예들에서, 특히 폴리크롬 간섭 변조기의 어레이에서, 모든 간섭 변조기가 동일한 작동 전압을 갖지 않을 것이다. 그러한 실시예 중 하나에서, 수직열 중 1/3은 적색의 간섭 변조기 요소를, 1/3은 녹색의 간섭 변조기 요소를, 그리 고 나머지 1/3은 청색의 간섭 변조기 요소를 포함할 수 있다. 3개의 검사 패드를 제공하여, 모든 적색 수직열, 모든 녹색 수직열, 및 모든 청색 수직열을 각각 연결할 수 있다. 변조기 요소에 의해 반사되는 컬러는 간섭 캐비티(interferometric cavity)(19)의 높이에 종속되고, 간섭 변조기의 작동 전압도 또한 간섭 캐비티(19)의 높이에 종속될 수도 있고, 서로 다른 컬러를 반사하는 변조기들은 일반적으로 상이한 작동 전압을 가질 것이다.
이러한 실시예에서, 3개의 요소 모두의 히스테리시스 영역들 간에 중첩이 존재하는 경우, 3개의 수직열 검사 패드 각각에 단일의 파형을 제공할 수 있고, 이는 3가지 타입의 간섭 변조기 요소 모두를 동시에 작동 상태 및 해방 상태로 만들 것이다. 하지만, 3개의 수직열 검사 패드 각각에 별개의 파형을 인가하는 것이 바람직할 수 있다. 그러한 파형은 동일한 보류시간(126)과 동일한 펄스 시간(128(을 가질 수 있고, 다른 것은 단지 초기 전압과 펄스의 높이이다. 다른 실시예들에서, 신호는 특히 펄스들 사이의 시간(126)이 펄스 시간에 비해 길 때, 약간 엇갈릴 수 있다.
도 13a 내지 도 13f는, 도 12a의 상태 138과 상태 140에 각각 대응하는 비작동 상태와 작동 상태 양자를 3개의 상이한 어레이에 대해 나타낸 것이다.
도 13a는, 도 12a의 상태 138에 대응하는 밝은 상태(이 경우에 비작동 상태임)의 어레이(60)의 일례를 나타낸 것이다. 도 13b는, 상태 140에 대응하는 어두운 상태(이 경우에 작동 상태임)의 동일한 어레이(60)를 나타낸 것이다. 두 도면에서 알 수 있는 바와 같이, 어레이(60)는 어느 상태에서든 가시적인 결함은 없다.
도 13c는 상태 138에 대응하는 밝은 상태의 두 번째 어레이(144)를 나타낸 것이다. 도 13d는 상태 140에 대응하는 어두운 상태의 어레이(144)를 나타낸 것이다. 두 도면에서 알 수 있는 바와 같이, 수평열(146)과 수직열(148)의 일부는 주변의 픽셀들과 다른 명암(shade)을 가져서, 수평열(146) 및 수직열(148)의 변조기 요소가 주변의 픽셀과 함께 작동/비작동되지 않았음을 나타낸다. 수평열(146) 및 수직열(148)과 같은 결함은 수평열 내부(intra-row) 또는 수직열 내부(intra-column)의 개방을 나타낼 수 있으며, 이것은 전도성의 경로가 전체 수평열 또는 수직열에 대해 계속 연속되지 않음을 의미한다. 두 도면에서 알 수 있는 바와 같이, 수평열(150) 전부는 명암이 주변의 픽셀과는 상이하다. 이러한 수평열 전체의 결함은 수평열과 수직열의 단락을 나타낼 수 있고, 이는 전체 수평열 또는 수직열을 고장을 유발할 수 있다.
도 13e는 상태 138에 대응하는, 모두 밝은 상태의 세 번째 어레이(154)를 나타낸 것이다. 도 13f는 상태 140에 대응하는, 어레이(154)의 어두운 상태를 나타낸 것이다. 두 도면에서 알 수 있는 바와 같이, 주변의 픽셀과 밝기가 다른 스폿(156)들을 볼 수 있는데, 이는 어레이 내에 "얼룩(mura)" 결함(예컨대, 도시된 비결정성 영역의 대조를 이루는 광 출력)이 존재함을 나타낸다.
수평열 결함(146) 또는 수직열 결함(148) 또는 얼룩 결함(156)과 같은 어떠는 결함을 어레이 내에서 육안으로 볼 수 있으면, 그 어레이는 결함이 있는 것으로 식별되어, 폐기되거나 그렇지 않으면 처리된다.
이 방법 및 이하에 설명하는 다른 방법들에서는 간섭 변조기 어레이의 광 출 력을 분석하기 때문에, 그러한 결함이 있는 어레이를 쉽게 식별할 수 있을 뿐만 아니라 결함의 위치를 식별할 수 있다는 것을 알게 될 것이다. 결함의 위치 및 형태에 관한 이 정보는, 어떤 결함이 어레이의 동일한 위치에서 반복적으로 발생하는 경우, 예컨데 제조 공정이 가지는 문제에 관한 가치있는 정보를 제공할 수있다.
다른 검사 방법은 어레이 내의 수평열 또는 수직열의 일부만을 선택적으로 작동시키거나 비작동시키는 단계, 및 해당 어레이의 광 출력을 관찰하는 단계를 포함한다. 일 실시예에서, 이것은 변조기 어레이 내의 모든 요소를 기지의 상태(예컨대, 밝은 상태나 어두운 상태)로 만드는 단계, 및 그 후 변조기들의 일정한 부분을 그 반대 상태로 만드는 단계를 포함한다. 그 후, 변조기 모두를 원래의 기지의 상태로 만들고, 변조기들의 다른 부분을 그 반대 상태로 만든다.
도 14a 및 도 14b는, 도 8의 어레이(60)에서 원하는 디스플레이 패턴을 생성하기 사용될 수 있는 파형의 예를 나타낸 것이다. 일 실시예에서, 수평열 검사 패드(72, 74)는 접지될 수 있으며, 수직열 검사 패드(76)에는 제1 파형(160)(도 14a 참조)을 인가하고, 수직열 검사 패드(78)에는 제2 파형(162)(도 14b 참조)을 인가한다. 두 파형(160, 162)은 모든 변조기를 비작동 상태(161)로 만들기 위해 파형의 시작 지점에 펄스(164)를 포함하며, 이 경우에 100% 밝은 상태이다. 다음, 파형(160)은 수직열(66)의 그룹을 작동 상태, 즉 어두운 상태로 만드는 펄스(168)를 포함한다. 제2 파형(163)에 의해 대응하는 펄스가 인가되지 않고, 따라서 수평열(68)은 여전히 밝은 상태이다. 따라서 어레이는 부분적으로 어두운 상태(163)가 된다. 다음에, 두 파형이 모두 펄스(164)를 포함하면, 변조기는 모두 밝은 상태(165)로 되돌아간다. 최종적으로, 파형(162)는 펄스(168)을 포함하여 수평열(68)을 어두운 상태로 만들고, 수직열(66)을 여전히 밝은 상태로 둔다. 따라서, 어레이는 부분적으로 어두운 상태(167)가 된다.
따라서, 일 실시예에서는, 어레이 전체를 밝은 상태로 구동하고, 어레이의 일부를 어두운 상태로 구동하며, 어레이 전체를 밝은 상태로 구동한 다음, 어떤 제2 부분을 어두운 상태로 구동하는 방법이 제공된다. 특정 실시예에서, 어두운 상태로 구동되는 어레이의 제1 부분은 하나 건너 하나씩의 수직열을 포함하고, 제2 부분은 나머지 수직열들을 포함한다. 다른 실시예들에서, 어레이는 어두운 상태로 구동될 수 있고, 그 후 부분들이 선택적으로 밝은 상태로 구동될 수 있다. 위의 파형은 수직열들의 선택적인 작동에 대하여 설명하였지만, 수직열 검사 패드(76, 78)를 접지시키고 수평열 검사 패드(72, 74)에 파형(160, 162)을 각각 인가함으로써 수평열들을 교대로 동작시키는 방법이 제공될 수 있다.
도 15a - 도 15f는 다양한 작동 상태의 간섭 변조기의 어레이를 나타낸 것이다. 도 15a에서, 어레이(60)는 상태 161 또는 상태 165과 같이, 모두 밝은 상태로 도시되어 있다. 도 15b에서, 어레이(60)는 상태 163 또는 상태 167과 같이, 모두 박은 상태로 도시되어 있다. 도 15a 및 도 15b에서 알 수 있는 바와 같이, 어느 상태에서도 결함은 볼 수 없다.
도 15c는 (수직열(62)과 같은) 일정한 수직열을 어두운 상태로 구동한, 반(half) 어두운 상태의 어레이(172)를 도시한 것이다. 도 15d는 이전에 어두운 상태의 수직열을 밝은 상태로 구동하고, (수직열 (64)와 같은) 나머지 수직열들을 어두운 상태로 구동한, 반 어두운 상태(167)의 동일한 어레이(172)를 도시한 것이다. 두 상태에서 알 수 있듯이, 수직열 영역(174)는 주변의 수직열과는 밝기가 다르다. 수직열들이 교대로 구동되고 있는 실시예에서, 영역(174) 내의 결함은 수직열끼리의 단락을 나타낼 수 있다. 도 15e는 (수평열(66)과 같은) 일정한 수평열이 어두운 상태로 구동된, 반 어두운 상태(163)의 어레이(176)를 도시한 것이고, 도 15f는 (수평열(68)과 같은) 다른 수평열이 어두운 상태로 구동된 , 반 어두운 상태(167)의 동일한 어레이(176)를 도시한 것이다. 알 수 있는 바와 같이, 수평열 영역(178)은 주변의 픽셀과 밝기가 다르고, 이는 수평열끼리의 단락과 같은 결함을 나타낸다.
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다른 실시예들에서, 이 방법은 두 세트 이상의 수직열 또는 수평열을 개별적으로 구동하는데 적합할 수 있다. 예를 들면, 다른 실시예에서, 각 세트들이 특정 컬러의 광을 반사하는 인접하지 않는 간섭 변조기의 수직열들을 포함하는, 3그룹의 수직열이 존재할 수 있다. 어레이 전체는 처음에 기지의 상태(이 경우에는 밝은 상태)로 구동될 수 있다. 다음에, 3 세트 중 하나는 반대 상태로 구동되고, 그 후 어레이 전체는 기지의 상태로 되돌아간다. 이것을 나머지 두 세트에 대해서 반복한다.
도 16은 간섭 변조기 디스플레이에서 3세트의 수직열을 선택적으로 구동하기 위해 사용될 수 있는 파형의 예를 도시한 것이다. 어떤 실시예에서, 한 세트는 청색 수직열에 대음하고, 두 번째 세트는 녹색 수직열에 대응하며, 세 번째 세트는 적색 수직열에 대응한다. 각 세트는 대응하는 검사 패드를 갖추고 있다. 이 예에 서, 수평열 검사 패드는 접지되고, 청색 검사 패드에는 파형(182)이 인가되고, 녹색 검사 패드에는 파형(184)이 인가되며, 적색 검사 패드에는 파형(186)이 인가된다. 각각의 파형은 어레이 전체를 흰색 상태(161)일 수 있는 밝은 상태로 만드는 펄스(164)를 포함할 수 있다. 다음에, 파형(182, 184)은 청색 수직열 및 녹색 수직열을 어두운 상태로 구동하고 적색 수직열만을 밝은 상태로 하여, 어레이를 적색 상태(181)로 만드는 펄스(168)를 포함한다. 도 15a 내지 도 15f의 어레이에 대해 설명한 바와 같이, 이제 어레이를 검사하여 수직열끼리의 단락과 같은 결함의 존재 및 위치를 결정할 수 있다. 다음에, 모든 파형은 펄스(164)를 포함하는데, 이 펄스(164)는 어레이 전체를 밝은 상태(161)로 리세트하고, 이어서 청색 파형(182) 및 적색 파형(186)의 펄스(168)가 해당 수직열을 어두운 상태로 구동하여 녹색 수직열만이 밝은 상태가 되도록 하여, 어레이를 녹색 상태(183)로 만든다. 그 후의 펄스(164)는 어레이를 밝은 상태(161)로 리세트하고, 녹색 파형(184) 및 적색 파형(186)의 펄스(168)는 해당 수직열을 어두운 상태로 구동하여 청색 수직열만이 밝은 상태가 되도록 하여, 청색 상태(185)로 만든다.
다르게는, 폴리크롬 어레이는 복수의 컬러의 수직열이 밝은 상태로 순차 구동될 수 있다. 예를 들면, 앞서 설명한 RGB 어레이에 대하여, 어레이를 적색 상태, 녹색 상태, 및 청색 상태로 구동하는 것이 아니라, 어레이를 예컨대 시안(청록색), 황색 상태, 및 마젠타(자홍색) 상태로 구동할 수 있다. 일 실시예에서, 이것은 어레이를 밝은 상태로 구동한 다음, 한가지 컬러의 수직열만을 어두운 상태로 선택적으로 구동함으로써 달성된다. 그 후, 이 과정을 다른 컬러들에 대해 반복한 다. 이러한 디스플레이 패턴은 특정 결함의 위치를 식별하는데 유용할 수 있다. 또, 전술한 바와 같이 모든 컬러를 흑색 상태로 구동할 수 있다.
다른 실시예에서, 도 8의 어레이(60)와 같은 간섭 변조기의 어레이를 검사하는 방법(190)은 어레이(60)의 철저한 검사를 제공하기 위해 위에서 언급한 두 방법 모두를 포함한다. 이 방법을 설명하는 일례의 흐름도는 도 17에 도시되어 있다. 하지만, 실시예에 따라서는 부가적인 단계의 추가, 다른 단계들의 삭제, 그리고 단계들의 순서를 재배열할 수 있다는 것을 알 것이다. 단계 192에서, 어레이(60)와 하나 이상의 신호 생성기 사이에 연결이 이루어진다. 예를 들면, 이 연결은 어레이(60)를 도 10의 프로브 장착부(90)와 같은 프로브 장착부에 둠으로써 이루어질 수 있다. 그 후, 프로브 장착부(90)는 도 11에 도시된 바와 같이, 스위치 박스(112) 및 제어 컴퓨터(110)에 연결될 수 있다. 단계 194에서, 검사자(또는 어떤 실시예에서는 CCD 카메라)와, 어레이(60)가 배치되어 있는 기판(84) 사이에 확산기층(108)을 둘 수 있다. 어레이를 조사하기 전의 어느 시점에(흐름도에 도시하지 않음), 어레이를 조명하기 위해 광원을 제공할 수 있다.
단계 196에서, 어레이를 기지의 상태로 구동하고, 이 실시예에서 기지의 상태는 밝은 상태이다. 이때 어레이가 결함이 있는지를 관찰할 수 있다. 이 검사는 간섭 변조기의 상태가 변화된 후마다 행할 수 있지만, 모든 단계 후마다, 특히 어레이를 모두 밝은 상태로 복수 회 구동한 후마다 검사를 행할 필요는 없다는 것을 알 것이다. 단계 198에서, 어레이를 모두 어두운 상태로 구동한다. 따라서, 단계 196 및 단계 198은 도 12a 및 도 12b의 파형에 의해 생성된 디스플레이 패턴의 일부를 포함한다. 어레이의 검사는 이 시점에 행하는 것이 바람직하다.
그 후, 단계 200에서, 어레이를 다시 모두 밝은 상태로 구동한다. 다음에, 단계 202에서, 수평열을 접지하고, 수직열의 제1 서브세트(예컨대, 교대로 동작하는 수직열 중 한 세트)를 어두운 상태로 구동하여, 어레이를 다시 검사하는 것이 바람직하다. 단계 204에서, 어레이를 다시 모두 밝은 상태로 구동하고, 단계 206에서 수직열의 제2 서브세트(예컨대, 교대로 동작하는 수직열로서 단계 202에서 어두운 상태로 구동되지 않은 세트)를 어두운 상태로 구동하고, 어레이를 검사하는 것이 바람직하다.
단계 208에서, 어레이를 다시 한번 모두 밝은 상태로 구동한다. 그런 다음, 단계 210에서, 수직열을 접지하고, 수평열의 제1 서브세트(예컨대, 교대로 동작하는 수평열 중 한 세트)를 모두 어두운 상태로 구동하여, 어레이를 검사한다. 단계 212에서, 어레이를 모두 밝은 상태로 다시 구동하고, 단계 214에서 수평열의 제2 서브세트(예컨대, 교대로 동작하는 수평열로서 단계 210에서 어두운 상태로 구동되지 않은 세트)를 어두운 세트로 구동하여, 어레이를 다시 검사하는 것이 바람직하다.
단계 216에서, 방법(190) 중에 임의의 결함이 식별되었는지에 관한 결정을 한다. 결함이 있는 것으로 결정하면, 프로세스는 단계 218로 진행되어 어레이(60)를 결함이 있는 것으로 식별하고, 폐기하거나 그렇지 않으면 처리한다(예컨대, 추가적인 검사를 위해 유보한다). 어레이(60)가 결함이 없는 것으로 식별되었으면, 프로세스는 단계 220으로 진행하여 어레이(60)를 승인한다.
이 프로세스 중 어떤 부분들은 임의의 순서로 발생할 수 있고, 위의 프로세스의 모든 단계들이 필요한 것은 아니라는 것을 알 것이다. 일 실시예에서, 어레이는 프로세스의 아주 초기에(예컨대, 단계 196 또는 단계 198) 결함이 있는 것으로 식별될 수 있다. 이러한 실시예에서, 상기 프로세스는 단계 218로 즉각 진행하여 결함이 있는 것으로서 식별될 수 있다. 다른 실시예에서, 어떤 결함이 존재하는지에 대한 결정을 하기 이전에 방법(190)의 단계 196-216를 한번 이상 반복할 수도 있다. 방법(190)의 더욱 작은 부분을 임의의 시점에 반복할 수도 있다. 기판(84)에 배치되어 있는 복수의 어레이(60)를 동시에 검사하는 실시예에서, 이것은 하나의 어레이를 검사하면서 이 디스플레이 패턴에 의해 다른 어레이들을 순환시킬 수 있도록 하는 점에서 유리하다. 비교를 용이하게 할 수 있을 때, 한 번에 복수의 어레이를 검사하는 것은 그러한 어레이들의 결함 식별을 촉진시킬 수 있다.
앞서 언급한 바와 같이, 도 17의 방법(190)을 밝은 상태와 어두운 상태에 대해 설명하였으나, 다른 실시예들에서는 밝은 상태와 어두운 상태는 반대이어서, 검사와 검사 사이에는 어레이를 어두운 상태로 구동하고, 일정한 수평열들 또는 수직열들을 밝은 상태로 선택적으로 작동시킬 수 있다. 어레이를 처음에 기지의 상태로 둔 다음, 이어서 반대 상태(예컨대, 밝은 상태에서 어두운 상태 또는 그 반대)로 선택적으로 작동시키는 한, 방법(190)은 결함의 식별을 용이하게 할 수 있을 것이다. 어떤 실시예들에서의 간섭 변조기는, 작동 상태이든 비작동 상태이든 어두운 상태가 아니다. 예컨대, 작동 상태는 어두운 상태가 아니라 실질적으로 백색광을 반사할 수 있다. 이러한 실시예에서 조차도, 방법(190)은 주변 픽셀과의 차이가 여전히 식별 가능할 것이기 때문에, 결함의 식별을 용이하게 할 것이다. 유사하게, 도 12a, 도 12b, 도 14a, 도 14b, 및 도 16의 파형은 선택적으로 작동시키는 부분들을 어두운 상태로 두기 전에, 어레이를 처음에 밝은 상태로 두지만, 디스플레이의 부분들을 선택적으로 작동시키기 전에 어레이를 다른 기지의 상태(예컨대, 어두운 상태)로 두도록 변경될 수 있다는 것을 알 것이다.
방법(190)에 이 애플리케이션 내에서 설명한 다른 검사 방법들을 통합할 수도 있고, 임의의 단계들을 변경할 수도 있다. 특히, 컬러 어레이를 검사할 때, 컬러의 1/3에 대응하는 수직열 또는 수평열 서브세트의 1/3을 선택적으로 작동시키고 그 시점에 해당 어레이를 검사하는 것이 바람직할 것이다.
삭제
또 다른 실시예에서, 어레이를 밝은 상태로 구동한 다음, 수직열 및 수평열 모두의 일부 서브세트를 어두운 상태로 구동한다. 도 8의 어레이(60)에 적용될 수 있는 특정 일 실시예에서, 요소들을 먼저 밝은 상태로 구동한 다음, 그 요소들의 절반을 체커보드 패턴으로 어두운 상태로 구동한다. 그 후 그 요소들을 다시 밝은 상태로 구동하고, 어레이의 나머지 요소들(예컨대, 다른 것들이 어두운 상태로 구동될 때 여전히 밝은 상태로 있던 것)을 이제 이전의 체커보드 패턴의 역으로 어두운 상태로 구동한다. 예상되는 체커보드 패턴에서의 임의의 변화는 어레이의 결함, 특히 인접하는 요소간 또는 인접하는 라인간의 누설에 의해 유발될 수 있는 결함을 나타낸다. 어레이를 체커보드 패턴 및 그 역 패턴 양자로 구동할 때에 결함이 존속하면, 그 결함은 인접 라인 결함을 나타낼 수 있다.
도 18a는, 예컨대 도 8의 어레이(60)의 서브섹션일 수 있는, 양식화된 4x4 간섭기 변조기의 어레이(230)를 도시한 것이다. 알 수 있는 바와 같이, 검사 패드(232)는 수직열의 제1 세트(234)에 연결되어 있고, 검사 패드(236)는 수직열의 제2 세트(238)에 연결되어 있다. 검사 패드(242)는 수평열의 제1 세트(244)에 연결되어 있고, 검사 패드(246)는 수평열의 제2 세트(248)에 연결되어 있다. 파형이 검사 패드들을 통해 인가되면, 어레이 내의 변조기들은 각각의 2x2 패턴이 어레이 전체에 걸쳐 반복되는 상태로 구동될 것임을 알 것이다. 이 2x2 패턴은 전형적인 간섭 변조기 요소(252, 254, 256, 258)의 상태에 대응할 것이다.
도 18b(이하, 도 18b의 계속인 도 18c를 포함한다)는 어레이(230) 내에 체커보드 패턴을 생성하기 위해 어레이(230)의 검사 패드(232, 236, 242, 246)에 인가될 수 있는 일련의 파형을 도시한 것이다. 일 실시예에서, 파형(262)은 검사 패드(232)에 인가되고, 파형(264)은 검사 패드(236)에 인가되며, 파형(266)은 검사 패드(242)에 인가되고, 파형(268)은 검사 패드(246)에 인가된다. 이들 파형의 인가는 특히 개별 간섭 변조기 소자에 인가되는 전압을 생성한다. 일 실시예에서, 선도 272는 요소(252)의 전압을 도시하고, 선도 274는 요소(254)의 전압을 도시하며, 선도 276은 요소(256)의 전압을 도시하고, 선도 278은 요소(258)의 전압을 도시한 것이다.
도 18b에서, 파형(262)은 +Vbias 값과 -Vbias 값 사이에서 스위칭되는 것을 알 수 있으며, Vbias는 작동 전압(123)과 해방 전압(121) 사이의 어떤 전압 값이다. 유사하게, 파형(266)은 -Vbias와 +Vbias 사이에서 스위칭된다. 파형의 대부분이 0볼트 인 파형(266)은 전압이 +Vbias로 증가하는 펄스(267)를 포함한다. 유사하게, 파형(268)은 펄스(269)를 포함한다.
요소(252)에 인가된 전압(272)은 대응하는 수직열 전극에 인가된 파형(262)과 수평열 전극에 인가된 파형(266)과의 차이이다. 처음에, 픽셀 전압(272)은 -Vbias, 전술한 바와 같이 요소의 해방 전압(121)과 작동 전압(123) 사이에 있다. 파형(266)으로 펄스 신호(267)가 발생할 때, 그 전압차(예컨대, -2Vbias)는 변조기 소자의 작동 전압(123)을 초과하여, 소자(252)를 작동 상태로 만들기에 충분하다는 것을 알 수 있다. 그 후, 전압은 -Vbias 값으로 되돌아간다음 +Vbias 값으로 스위칭되지만, 변조기 요소는 해방 전압이 극성 스위칭 동안에 임의의 상당한 기간만큼 인가되지 않았기 때문에, 전압이 스위칭될 때 상태를 변경하지 않는다. 유사하게, 전압 선도(278)는 파형(262)과 파형(268)의 차이를 나타내며, 이것은 수평열 파형(268)의 펄스 신호(269)가 요소(258)를 작동 상태로 만들기에 충분할 정도로 낮은 픽셀 전압인 동안에, 그 파형의 나머지 동안은 요소(258)가 여전히 전압에 의해 영향을 받지 않기 때문에, 픽셀 전압은 히스테리시스 영역 내에서 +Vbias 또는 -Vbias이라는 것을 보여준다.
유사하게, 파형(262)과 파형(268)의 전압차를 도시한 전압 선도(274)는, 파형(268)의 펄스(269)에서 파형(262)과 파형(268)의 전압차가 해방 전압(121) 아래의 레벨로 강하되어, 요소(254)를 비작동 상태, 즉 해방 상태로 구동하는 것 보여 준다. 유사하게, 전압 선도(276)에서 알 수 있는 바와 같이, 파형(264)과 파형(266)의 전압차는 파형(266)에서의 펄스 신호(267)가 출현할 때 요소(276)의 해방 전압(121) 아래의 레벨로 강하되어, 요소(256)를 해방 상태로 만든다
따라서, 파형(266)의 펄스(267) 이후의 상태(280)에서, 요소(252)는 작동 상태로 되었고, 요소(256)는 비작동 상태로 되었다. 요소(254) 및 요소(258)는, 펄스에 의해 영향을 받지 않고 픽셀 전압이 여전히 히스테리시스 영역 내에 있기 때문에, 펄스(267)가 인가되기 이전의 미지의 상태로 남아 있다. 그 후, 파형(268)의 펄스(269) 이후의 상태(282)에서, 요소(254)는 비작동 상태로 되었고, 요소(258)은 작동 상태로 되었다. 요소(252, 256)의 픽셀 전압이 히스테리시스 영역 내에 있기 때문에, 이 요소들은 각각 작동 상태와 비작동 상태에 있다.
이 일련의 파형을 변경하여 체커보드 디스플레이 패턴의 변형예를 만들 수 있음은 물론이다. 예를 들면, 수평열 파형(266)과 파형(268)을 스위칭함으로써, 전술한 디스플레이 패턴의 역 패턴을 얻을 수 있다. 원하는 디스플레이 패턴을 생성하는 다른 파형에서, 파형(266, 268)의 펄스(267, 269)는 파형(262, 264)의 일정한 전압의 폭 주기와 동일한 길이일 수 있거나, 또는 요소의 응답 시간보다 더 긴 시간 동안 전압이 작동 전압을 초과하거나 해방 전압 아래로 떨어지면, 다른 변형예를 사용할 수 있다. 전술한 바와 같이, 특정 소자에 원하는 전압을 생성하는 다른 파형은 전술한 파형과 동등한 것으로서 사용될 수 있다.
다른 실시예에서, 어떤 간섭 변조기 어레이는 그레이스케일을 출력하도록 구성될 수 있다. 특정 실시예에서, 그레이스케일의 출력은 픽셀 내에 개별적으로 작 동가능한 복수의 요소를 포함한다. 예를 들면, 하나의 그레이스케일 픽셀은 하나의 대형 요소와 하나의 소형 요소를 포함할 수 있고, 여기서 더 작은 요소의 출력은 큰 요소의 출력보다 작다(예컨대, 몇몇 실시예에서는 50%). 이러한 픽셀들을 포함하여 구성되는 모노크롬 디스플레이는, 변조기 요소들의 선택적인 작동이 전부 밝은 픽셀, 전부 어두운 픽셀, 또는 두 가지 중간 색조(shade)의 표시를 허용할 때, 2비트 그레이스케일을 출력할 수 있다.
모노크롬 어레이와 관련하여 앞서 설명한 검사 방법을, 상당히 변경할 필요 없이 2비트 그레이스케일 모노크롬 어레이에 사용될 수 있음은 물론이다. 일 실시예에서, 하나 건너 하나씩의 수평열의 제1 세트는 보다 작은 변조기 요소들만을 어드레싱할 것이고, 하나 건너 하나씩의 수평열의 제2 세트는 보다 큰 변조기 요소들만을 어드레싱할 것이다. 따라서, 제1 세트가 어두운 상태로 선택적으로 구동될 때, 어레이는 더 밝은 회색이 될 것이고, 제2 세트가 어두운 상태로 구동될 때, 어레이는 더 어두운 회색이 될 것이다. 이하에 설명하는 다양한 디스플레이 패턴을 사용함으로써, 다양한 결함을 식별할 수 있다.
다른 실시예들에서는, 그레이스케일의 부가 레벨을 제공할 수 있다. 일 실시예에서, 모노크롬 디스플레이는 3비트 그레이스케일이 가능하다. 이 실시예에서, 단일 픽셀은 또 상이한 밝기(예컨대, 가시적인 영역의 양이 상이함)의 복수의 간섭 변조기 요소를 포함한다. 단일 픽셀 내의 구성요소는 두 개의 수평열 전극과 두 개의 수직열 전극에 의해 어드레싱될 수 있다. 하지만, 위에서와 같이 전술한 디스플레이 패턴을 활용하여 간섭 변조기의 수직열 및 수평열을 선택적으로 작동하 는 것이 가능하다. 하지만, 이 수직열들은 상이한 사이즈의 간섭 변조기 요소를 포함하기 때문에, 단일 수평열 또는 수직열 내의 요소들의 작동 전압은 다를 수 있다. 따라서, 수직열 및 수평열 내의 유사한 간섭 변조기 요소의 세트를 선택적으로 작동할 필요가 있을 수 있다.
일 실시예에서, 제1 수직열은 두 가지 상이한 사이즈의 간섭 변조기 요소를 포함하지만, 이 상이한 간섭 변조기 요소들은 수평열 전극에 의해 서로 연결되어 있지 않다. 따라서, 교대로 동작하는 수평열 중 한 세트는 제1 수직열 전극과 함께 사용되어 그 수직열 내의 소정 사이즈의 변조기들을 어드레싱할 수 있고, 교대로 동작하는 수평열 중 제2 세트는 제2 수직열 전극과 함께 사용되어 그 수직열 내의 다른 사이즈의 변조기들을 어드레싱 할 수 있다. 유사하게, 제2의 인접하는 수직열은 두 가지 상이한 사이즈의 간섭 변조기 요소들을 포함할 수 있다. 이 예에서, 먼저 적합한 파형을 그 수직열과 수평열 전극의 제1 세트에 인가하여 그 수직열 내의 요소의 제1 세트를 기지의 상태로 구동한 다음, 적합한 파형을 그 수직열과 수평열 전극의 제2 세트에 인가하여 그 수직열 내의 요소의 제2 세트를 기지의 상태로 구동함으로써, 단일 수직열을 기지의 상태로 구동할 수 있다. 어레이 내의 교대로 동작하는 수직열들이 기지의 상태로 구동될 수 있으면, 동일한 파형이 어레이에 의해 수평열 각각에 인가될 수 있다. 이것은, 예를 들면 교대로 동작하는 수직열의 세트 각각을 전기적으로 연결하는 버스 바를 통해 연결된 검사 패드에 의해 수행될 수 있다.
더욱 깊이 있는 그레이스케일 성능을 가지는 어레이는 전술한 방법 및 파형에 더욱 변경을 가함으로써, 또는 어떤 요소들에 원하는 전압을 발생시키는 동등한 파형을 제공함으로써 검사될 수 있다. 예를 들면, 특정 컬러를 반사하도록 구성된 요소의 각 수평열이 두 가지 상이한 픽셀 사이즈를 가지고 교호 방식(alternating fashion)으로 배치된 그레이스케일이 가능한 폴리크롬 소자가 제공될 수 있다. 이 수직열들은 3비트 그레이스케일 어레이의 수직열과 관련하여 설명한 방식으로 선택적으로 구동될 수 있다. 따라서, 예를 들면 적색 수직열들은 각각의 수직열에 제1 파형을 인가한 다음, 교대로 동작하는 수평열의 제1 세트에 더 큰 픽셀들을 작동시키는 신호를 인가하고, 교대로 동작하는 수평열의 제2 세트에 더 작은 픽셀들을 작동시키는 신호를 인가함으로써, 어두운 상태로 구동될 수 있다.
삭제
다른 실시예에서는, 특정 사이즈 또는 밝기의 요소들만을 기지의 상태로 구동함으로써 그레이스케일 어레이를 검사하는 것이 바람직할 수 있다. 그러한 디스플레이 패턴은 수직열의 제1 세트에 제1 파형을 인가하고 수평열의 제1 세트에 제2 파형을 인가하는 등의, 전술한 방법의 변경을 통해 얻을 수 있으며, 여기서 제2 파형은 도 16b의 파형들과 유사하게 체커보드 패턴을 생성하는 파형과 유사하게, 해당 수평열들 내의 어떤 요소들을 작동시키는 신호를 포함한다.
실시예에 따라서는, 본문에서 명확하고 분명하게 언급하지 않는 한, 여기에 개시한 모든 방법의 행위(act) 또는 사건(event)은 다른 순서로 수행될 수 있고, 모두 추가되거나, 병합되거나, 또는 삭제(예컨대, 방법들의 실시에 있어 모든 행위나 사건이 필요한 것은 아니다)될 수 있다는 것을 인식할 것이다.
이상의 설명에서는 여러 가지 실시예에 적용된 본 발명의 신규한 특징을 보여주고, 설명하고 또 지적하였지만, 본 발명의 사상으로부터 이탈하지 않는 범위 내에서 당업자가 예시된 기기 또는 공정의 상세한 구성이나 형태로부터 다양하게 생략하고 대체하고 변경하는 것이 가능하다는 것을 알아야 한다. 인식하고 있는 바와 같이, 몇몇 특징은 다른 특징들과 분리되어 사용되거나 실현될 수 있으므로, 본 발명은 여기에 개시된 특징과 장점을 모두 가지고 있지는 않은 형태로 구현될 수도 있다.

Claims (50)

  1. 간섭 변조기의 어레이 내의 각 변조기를 기지의 제1 상태로 구동하는 단계;
    상기 간섭 변조기의 어레이의 수직열의 서브세트에 펄스를 인가하여 상기 어레이의 수직열 내의 간섭 변조기를 상기 기지의 제1 상태에서 상기 제1 상태와 반대인 제2 상태로 구동하는 단계; 및
    상기 펄스를 인가한 후 상기 어레이 내의 결함을 식별하기 위해 상기 간섭 변조기의 어레이를 검사하는 단계
    를 포함하는 간섭 변조기의 어레이를 검사하는 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 기지의 제1 상태는 밝은 상태이고, 상기 제2 상태는 어두운 상태인, 간섭 변조기의 어레이를 검사하는 방법.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 어레이 내의 각 변조기를 상기 기지의 제1 상태로 다시 구동하는 단계; 및
    상기 어레이 내의 간섭 변조기의 수직열의 제2 서브세트를 상기 기지의 제1 상태에서 상기 제2 상태로 구동하는 단계
    를 더 포함하는 간섭 변조기의 어레이를 검사하는 방법.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 어레이 내의 각 변조기를 상기 기지의 제1 상태로 다시 구동하는 단계; 및
    상기 어레이 내의 간섭 변조기의 수직열의 제3 서브세트를 상기 기지의 제1 상태에서 상기 제2 상태로 구동하는 단계
    를 더 포함하는 간섭 변조기의 어레이를 검사하는 방법.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 어레이 내의 각 변조기를 기지의 제3 상태로 구동하는 단계; 및
    상기 어레이 내의 간섭 변조기의 수평열의 서브세트를 상기 제3 상태와 반대인 제4 상태로 구동하는 단계
    를 더 포함하는 간섭 변조기의 어레이를 검사하는 방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 기지의 제3 상태는 밝은 상태이고, 상기 제4 상태는 어두운 상태인, 간섭 변조기의 어레이를 검사하는 방법.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 어레이 내의 각 변조기를 상기 기지의 제3 상태로 다시 구동하는 단계; 및
    상기 어레이 내의 간섭 변조기의 수평열의 제2 서브세트를 상기 기지의 제4 상태로 구동하는 단계
    를 더 포함하는 간섭 변조기의 어레이를 검사하는 방법.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 어레이 내의 각 변조기를 기지의 제5 상태로 구동하는 단계; 및
    상기 어레이 내의 각 변조기를 상기 기지의 제5 상태와 반대인 제6 상태로 구동하는 단계
    를 더 포함하는 간섭 변조기의 어레이를 검사하는 방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 기지의 제5 상태는 밝은 상태이고, 상기 제6 상태는 어두운 상태인, 간섭 변조기의 어레이를 검사하는 방법.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 어레이는 관찰자면과 처리면을 가지는 기판 상에 형성되어 있고, 상기 어레이는 상기 기판의 처리면 상에 형성되어 있는, 간섭 변조기의 어레이를 검사하는 방법.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 기판의 관찰자면에 인접하여 확산기층을 배치하는 단계를 더 포함하는 간섭 변조기의 어레이를 검사하는 방법.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 어레이를 구동하기 이전에 프로브 장착부 내에 상기 기판을 배치하는 단계를 더 포함하는 간섭 변조기의 어레이를 검사하는 방법.
  13. 제1항에 있어서,
    상기 식별된 결함에 기초하여 수직열 내부의 개방 여부를 결정하는 단계를 더 포함하는 간섭 변조기의 어레이를 검사하는 방법.
  14. 제1항에 있어서,
    상기 식별된 결함에 기초하여 수평열과 수직열 간의 단락 여부를 결정하는 단계를 더 포함하는 간섭 변조기의 어레이를 검사하는 방법.
  15. 제1항에 있어서,
    상기 수직열의 서브세트는 두 개의 인접하지 않은 수직열을 포함하지만 상기 인접하지 않은 수직열 사이에 특정 수직열을 포함하지 않는, 간섭 변조기의 어레이를 검사하는 방법.
  16. 간섭 변조기의 어레이 내의 각 변조기를 기지의 제1 상태로 구동하고 상기 간섭 변조기의 어레이의 수직열의 서브세트에 펄스를 인가하여 상기 어레이의 수직열 내의 간섭 변조기를 상기 기지의 제1 상태에서 상기 제1 상태와 반대인 제2 상태로 구동하도록 구성된 어레이 드라이버;
    상기 간섭 변조기의 어레이를 검사하도록 구성된 카메라; 및
    상기 펄스를 인가한 후 상기 검사에 기초하여 상기 어레이 내의 결함을 식별하도록 구성된 프로세서
    를 포함하는 간섭 변조기의 어레이를 검사하는 시스템.
  17. 간섭 변조기의 어레이 내의 각 변조기를 기지의 제1 상태로 구동하는 수단;
    상기 간섭 변조기의 어레이의 수직열의 서브세트에 펄스를 인가하여 상기 어레이의 수직열 내의 간섭 변조기를 상기 기지의 제1 상태에서 상기 제1 상태와 반대인 제2 상태로 구동하는 수단; 및
    상기 펄스를 인가한 후 상기 어레이 내의 결함을 식별하기 위해 상기 간섭 변조기의 어레이를 검사하는 수단
    을 포함하는 간섭 변조기의 어레이를 검사하는 시스템.
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