KR101162661B1 - 적층구조의 프로브 유니트 - Google Patents

Abstract

본 발명은 적층구조의 프로브 유니트를 제공한다. 상기 적층구조의 프로브 유니트는 수평방향으로 일렬로 세워져 배열되며, 일정 간격을 두고 서로 엇갈리며 수평방향으로 일정 깊이로 형성되는 다수개의 슬롯들을 갖는 다수개의 가이드 플레이트들 및 상기 다수개의 슬롯들의 내부에 삽입되어 상기 슬롯들 내부에 형성되는 단차에 의해 고정되며, 끝단이 상기 다수개의 가이드 플레이트들의 저면의 하부로 돌출되는 다수개의 프로브 핀들을 포함한다. 따라서, 본 발명은 프로브 핀이 수평방향으로 삽입되고 용이하게 수평방향으로 분리될 수 있도록 하여 선택적 교체를 용이하게 함과 아울러, 프로브 핀이 가이드 플레이트들로부터 일정 길이 이상으로 돌출되지 않도록 하여 프로브 핀들을 외부로부터의 충격으로부터 보호할 수 있는 구조를 가질 수 있다.

Description

적층구조의 프로브 유니트{STACKED PROBE UNIT}

본 발명은 프로브 유니트에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 프로브 핀이 수평방향으로 삽입되고 프로브 핀별로 용이하게 분리될 수 있도록 하여 프로브 핀의 선택적 교체를 용이하게 함과 아울러, 프로브 핀이 가이드 플레이트들로부터 일정 길이 이상으로 돌출되지 않도록 하여 프로브 핀들을 외부로부터의 충격으로부터 보호할 수 있는 구조를 가지는 적층구조의 프로브 유니트에 관한 것이다.

일반적으로, 프로브 유니트는 반도체 장치나 LCD, PDP 등의 평판디스플레이 패널 등에 픽셀에러(Pixel error) 없이 정상 작동하는지를 검사하는데 사용된다.

최근 들어 반도체 장치나 평판 디스플레이 패널이 고화질화 되어감에 따라 화소의 밀도가 증가하고 있으며 이로 인해 프로브 유니트의 필요성이 증가되고 있다.

현재까지 개발된 프로브핀은 텅스텐 또는 레늄텅스텐와이어를 재료로 제작된 니들형(Needle Type), 니켈 또는 베릴륨동을 재료로 제작된 블레이드형(Blade Type), 폴리마이드필름(Ploymide Film)에 동판 또는 기타 도전체를 올려 에칭가공하여 제작한 필름형(Film Type), 필름형에 반도체공정기술을 이용하여 도전성 매체를 주입한 하이브리드형(Hybride Type), 스프링 장력을 이용한 포고핀(Pogo Pin)을 소재로 제작한 포고형(Pogo Type), 반도체 MEMS 공정기술을 이용한 MEMS 형(MEMS Type) 등이 있다.

이와 같은 종래의 프로브 유니트는 프로브핀이 와이어 형태로 구비되고, 이들 프로브핀이 에폭시 수지에 의해 접합 고정되게 하는 구성으로서, 주로 양 끝단에 니들이 형성되고 양 끝단의 니들이 가늘고 긴 빔부에 의해서 일체로 연결되어 형성되는 구조를 가진다.

그러나, 프로브 유니트는 니들들 사이의 파인피치가 매우 중요하여 니들과 빔부가 점점 그 크기나 두께 등이 축소되어가는 추세이다. 즉, 빔부가 점점 얇아지고 있고, 니들이 상하로 힘을 받을 경우 빔부가 힘을 견디지 못하고 부러지거나 휘어지고 또는 니들도 좌우방향으로 불안정하게 움직이게 되는 등 프로브 핀의 불량이 야기되는 경우가 발생한다.

프로브 유니트에서 하나의 니들이라도 불량이 생기면, 프로브 유니트를 분해하여 불량인 니들을 새것으로 교환하여야 하는데 그 작업시간등의 여러가지 문제점이 발생된다.

따라서, 빔부가 압력에 약하지 않고, 불량이 있는 니들의 경우 불량이 있는 니들만 별도로 간단히 분리할 수 있는 프로브 유니트의 개발이 요구된다.

이에 더 나아가, 불량이 있는 프로브 핀들을 사용하여 전기적 테스트를 실시하는 경우에, 프로브 핀의 니들 부분이 외부로부터의 충격에 의하여 휘는 등의 파손 문제를 용이하게 해소할 수 있는 프로브 블록의 개발이 요구되고 있다.

따라서, 본 발명은 전술한 문제점을 해소하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은 프로브 핀이 수평방향으로 삽입되고 프로브핀별로 용이하게 수평방향으로 분리될 수 있도록 하여 선택적 교체를 용이하게 함과 아울러, 프로브 핀이 가이드 플레이트들로부터 일정 길이 이상으로 돌출되지 않도록 하여 가이드 플레이트에 의하여 프로브 핀를 보호함으로써 외부에서의 충격으로부터 보호할 수 있는 구조를 가지는 적층구조의 프로브 유니트를 제공하는 데 있다.

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 적층구조의 프로브 유니트는, 다수개의 가이드 플레이트들 및 다수개의 프로브 핀들을 구비한다.

다수개의 가이드 플레이트들은 수평방향으로 일렬로 세워져 배열되며, 일정 간격을 두고 서로 엇갈리며 수평방향으로 일정 깊이로 형성되는 다수개의 슬롯들을 갖는다. 다수개의 프로브 핀들은 상기 다수개의 슬롯들의 내부에 삽입되어 상기 슬롯들 내부에 형성되는 단차에 의해 고정되며, 끝단이 상기 다수개의 가이드 플레이트들의 저면의 하부로 돌출된다.

상기 다수개의 슬롯들은, 상기 프로브 핀들이 상기 가이드 플레이트들 중 최외곽의 가이드 플레이트의 전면방향에서 삽입되도록 상기 최외곽 가이드 플레이트의 전면 하부가 개구되며 일정한 간격으로 일렬로 형성되고, 상기 최외곽의 가이드 플레이트의 전면부터 가장 안쪽의 가이드 플레이트의 후면까지 파여 형성되는 제 1슬롯들과, 상기 제 1슬롯들의 사이에 형성되며, 상기 프로브 핀들이 상기 가이드 플레이트들의 저면방향에서 삽입되도록 상기 가이드 플레이트들의 저면이 개구되며 일정한 간격으로 형성되는 제 2슬롯들을 구비한다.

상기 다수개의 프로브 핀들은, 상기 제 1슬롯들에 삽입되는 제 1프로브 핀들과, 상기 제 2슬롯들에 삽입되는 제 2프로브 핀들을 구비하되, 상기 제 1프로브 핀들 각각은, 제 1프로브 핀 몸체와, 상기 제 1프로브 핀 몸체의 일측 상단으로부터 일정 길이 연장되며 일정 위치에 상방으로 돌출되는 제 1단턱이 형성되는 제 1상단 연장 몸체와, 상기 제 1프로브 핀 몸체의 일측 하단으로부터 일정 길이 연장되며 그 단부에 하방을 따라 벤딩되는 제 1벤딩단이 형성되는 제 1하단 연장 몸체와, 상기 제 1프로브 핀 몸체의 타측에 형성되는 제 1탄성 몸체를 구비한다.

상기 제 2프로브 핀들 각각은, 타측 상단에 단차진 제 1돌기단이 형성되는 제 2프로브 핀 몸체와, 상기 제 2프로브 핀 몸체의 일측 상단으로부터 일정 길이 연장되며 그 단부에 단차진 제 2돌기단이 형성되는 제 2상단 연장 몸체와, 상기 제 2프로브 핀 몸체의 일측 하단으로부터 일정 길이 연장되며 그 단부에 하방으로 벤딩되는 제 2벤딩단이 형성되는 제 2하단 연장 몸체와, 상기 제 2프로브 핀 몸체의 타측에 형성되는 제 2탄성 몸체를 구비한다.

상기 제 1슬롯들 각각은, 다수개의 가이드 플레이트들에 각각 형성되는 관통홀들로 이루어지되, 상기 가이드 플레이트들 중에서 임의의 가이드 플레이트에 형성된 관통홀의 상면부에는 상기 제 1상단 연장 몸체의 제 1단턱이 걸리도록 제 1홈이 형성되고, 상기 최외곽의 가이드 플레이트에 형성된 관통홀의 하면부에는 상기 제 1벤딩단이 상기 가이드 플레이트들의 내부에 위치되도록 상기 제 1벤딩단이 걸치는 걸침면이 형성된다.

상기 제 2슬롯들 각각은, 다수개의 가이드 플레이트들의 저면에 형성되는 절개홀들로 이루어지되,

상기 제 1돌기단이 끼워져 걸쳐지도록 상기 가이드 플레이트들 중 어느 하나에 형성된 절개홀의 상면부에는 제 1돌기홈이 형성되고, 상기 제 2돌기단이 끼워져 걸쳐지도록 상기 가이드 플레이트들 중 다른 하나에 형성된 절개홀의 상면부에는 제 2돌기홈이 형성된다.

상기 제1프로브핀은, 상기 제 1상단 연장 몸체의 단부가 상기 제 1슬롯의 외부로 일정 길이 돌출되고, 상기 제1슬롯의 외부로 돌출된 상기 제1상단 연장 몸체의 단부를 하방으로 눌러주면 상기 제1탄성 몸체의 탄성력에 의해 최외곽 가이드플레이트 방향으로 상기 제1슬롯으로부터 분리된다.

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 적층구조의 프로브 유니트는, 다수개의 가이드 플레이트들 및 프로브 핀들을 구비한다. 다수개의 가이드 플레이트들은 수직방향으로 적층되며, 일정 간격을 두고 서로 엇갈리며 일정 깊이로 형성되는 다수개의 슬롯들을 갖는다. 다수개의 프로브 핀들은 상기 다수개의 슬롯들의 내부에 삽입되어 상기 슬롯들 내부에 형성되는 단차에 의해 고정되며, 끝단이 상기 다수개의 가이드 플레이트들의 저면의 하부로 돌출된다.

상기 다수개의 슬롯들은, 상기 가이드 플레이트들 중 최하단의 가이드 플레이트의 위에 적층되는 가이드 플레이트들 중의 임의의 가이드 플레이트에 일정한 깊이를 가지고 형성되며, 상기 프로브 핀들이 상기 임의의 가이드 플레이트의 전면방향에서 삽입되도록 전면이 개구되며 일정한 간격으로 배열 형성되는 제 1슬롯들과, 상기 최하단의 가이드 플레이트에 일정한 깊이로 상기 제 1슬롯들의 사이에 형성되며, 상기 프로브 핀들이 상기 최하단의 가이드 플레이트의 저면방향에서 삽입되도록 상기 최하단의 가이드 플레이트의 저면이 개구되며 일정한 간격으로 배열 형성되는 제 2슬롯들을 구비한다.

상기 다수개의 프로브 핀들은, 상기 제 1슬롯들에 삽입되는 제 1프로브 핀들과, 상기 제 2슬롯들에 삽입되는 제 2프로브 핀들을 구비하되, 상기 제 1프로브 핀들 각각은, 제 1프로브 핀 몸체와, 상기 제 1프로브 핀 몸체의 일측 상단으로부터 일정 길이 연장되며 일정 위치에 상방으로 돌출되는 제 1단턱이 형성되는 제 1상단 연장 몸체와, 상기 제 1프로브 핀 몸체의 일측 하단으로부터 일정 길이 연장되며 그 단부에 하방을 따라 벤딩되는 제 1벤딩단이 형성되는 제 1하단 연장 몸체와, 상기 제 1프로브 핀 몸체의 타측에 형성되는 제 1탄성 몸체를 구비한다.

상기 제 2프로브 핀들 각각은, 타측 상단에 단차진 제 1돌기단이 형성되는 제 2프로브 핀 몸체와, 상기 제 2프로브 핀 몸체의 일측 상단으로부터 일정 길이 연장되며 그 단부에 단차진 제 2돌기단이 형성되는 제 2상단 연장 몸체와, 상기 제 2프로브 핀 몸체의 일측 하단으로부터 일정길이 연장되며, 그 단부에 하방으로 벤딩되는 제 2벤딩단이 형성되는 제 2하단 연장 몸체와, 상기 제 2프로브 핀 몸체의 타측에 형성되는 제 2탄성 몸체를 구비한다.

상기 제 1슬롯들 각각은 일정한 깊이로 파이는 관통홀들로 이루어지되, 상기 최하단의 가이드 플레이트 위의 임의의 위치에 적층되며 상기 제1슬롯들이 형성되는 가이드 플레이트 바로 위의 가이드 플레이트의 하면부에는 상기 제 1상단 연장 몸체의 제 1단턱이 걸리도록 제 1홈이 형성되고, 상기 제1 슬롯들이 형성되는 가이드 플레이트의 바로 아래의 가이드 플레이트에는 상기 제1 프로브 핀의 상기 제 1벤딩단이 상기 가이드 플레이트들의 내부에 위치되도록 상기 제 1벤딩단이 걸치는 걸침면이 형성된다.

상기 제 2슬롯들 각각은, 상기 최하단의 가이드 플레이트 저면에 형성되는 절개홀들로 이루어지되, 상기 제 1돌기단이 끼워져 걸쳐지도록 상기 최하단의 가이드 플레이트 상부에 적층된 가이드 플레이트의 하면부에 제 1돌기홈이 형성되고, 상기 제 2돌기단이 끼워져 걸쳐지도록 상기 최하단의 가이드 플레이트 상부에 적층된 가이드 플레이트의 하면부에 제 2돌기홈이 형성된다.

상기 제1프로브핀은, 상기 제 1상단 연장 몸체의 단부는 상기 제 1슬롯의 외부로 일정 길이 돌출되고, 상기 제1슬롯의 외부로 돌출된 상기 제1상단 연장 몸체의 단부를 하방으로 눌러주면 상기 제1탄성 몸체의 탄성력에 의해 제1상단 연장 몸체 방향으로 상기 제1슬롯으로부터 분리된다.

상기 가이드 플레이트들 중에서 가장 위의 가이드 플레이트와 프로브 유니트 몸체 사이에 연결블록이 형성되며, 상기 적층되는 가이드 플레이트들 및 상기 연결블록은 서로 본딩되며, 상기 연결블록은 체결부재에 의해서 상기 프로브 유니트 몸체에 체결된다.

본 발명은 가이드 플레이트들이 복수개 결합하므로 프로브 핀들이 삽입되는 가이드 플레이트가 견고하며, 가이드플레이트에 관통슬롯들을 2단이상 형성함으로써 프로브 핀들이 여러층으로 쌓인 구조를 만들 수 있는 효과를 갖는다.

또한, 본 발명은 하나의 프로브 핀에 문제가 발생할 경우, 문제가 발생한 프로브 핀만 선택적으로 분리 가능하므로 빠른 리페어(수리)가 가능한 장점이 있다.

또한, 종래에 프로브 핀들이 한 층으로 일렬로 배열되는 가이드 플레이트의 경우, 프로브 핀이 삽입되는 슬롯들 사이의 피치가 얇아 가이드 플레이트가 약해지는 문제가 있으나, 본 발명은 종래의 프로브 핀블록과 동일한 수의 프로브 핀들을 배열하더라도 프로브 들을 여러 층으로 쌓아서 배열할 수 있으므로, 프로브 핀들이 삽입되는 슬롯들 사이의 피치가 커져서 가이드 플레이트가 휘거나 부러지지 않는 장점이 있다.

또한, 본 발명의 실시예들에 따르는 프로브 핀들의 끝단인 팁부까지 가이드플레이트의 내측에 삽입되므로, 팁부가 좌우로 흔들릴 염려가 없어 전기적 테스트가 정확할 수 있고, 외부로부터의 충격으로 인하여 팁부가 파손되는 문제를 해결할 수 있는 장점이 있다.

또한, 가이드 플레이트의 저면방향에서 프로브 핀을 삽입하여도 하방으로 프로브 핀이 떨어지지 않고 고정될 수 있는 구조이므로, 가이드 플레이트의 저면에 프로브 핀들이 떨어지지 않도록 하기 위한 별도의 구조물을 형성할 필요가 없는 장점이 있다.

도 1은 본 발명의 제 1실시예를 따르는 적층구조의 프로브 유니트를 보여주는 사시도이다.
도 2는 도 1에서의 프로브 유니트의 모서리부를 보여주는 부분 사시도이다.
도 3은 도 2의 프로브 유니트를 보여주는 확대 단면도들이다.
도 4는 도 3의 제 1프로브 핀을 보여주는 측면도이다.
도 5는 본 발명의 제 1실시예를 따르는 제 2슬롯들을 갖는 프로브 유니트에서 보여주는 부분 단면도들이다.
도 6은 도 5의 제 2프로브 핀를 보여주는 측면도이다.
도 7은 본 발명의 제 1실시예를 따르는 프로브 유니트에서 보여주는 부분 단면도이다.
도 8은 도 7의 프로브 유니트를 보여주는 확대 단면도이다.
도 9는 본 발명의 제 2실시예를 따르는 적층구조의 프로브 유니트를 보여주는 사시도이다.
도 10은 본 발명의 제 2실시예를 따르는 제 1슬롯들을 갖는 프로브 유니트에서 보여주는 부분 단면도들이다.
도 11은 도 10의 제 1프로브 핀을 보여주는 측면도이다.
도 12는 본 발명의 제 2실시예를 따르는 제 2슬롯들을 갖는 프로브 유니트에서 보여주는 부분 단면도들이다.
도 13은 도 12의 제 2프로브 핀을 보여주는 측면도이다.
도 14는 본 발명의 제 2실시예를 따르는 프로브 유니트에서 보여주는 부분 단면도들이다.

이하, 첨부되는 도면들을 참조 하여 본 발명의 프로브 유니트의 실시예들을 설명하도록 한다.

<제 1실시예>

도 1 내지 도 8을 참조 하여, 본 발명의 제 1실시예를 따르는 적층구조의 프로브 유니트를 설명하도록 한다.

도 1을 참조 하면, 본 발명의 적층구조의 프로브 유니트는 유니트 몸체(100)를 갖는다. 상기 유니트 몸체(100)에는 일각 모서리부가 절개되어 내부에 일정 공간을 이루는 설치홈(140)이 형성된다.

상기 설치홈(140)에는 본 발명에 따르는 다수개의 가이드 플레이트들(200)이 설치된다. 가이드 플레이트들(200)은 일정 폭 및 두께, 면적을 갖는 판상으로 이루어지는 웨이퍼들이다. 그리고, 상기 웨이퍼들은 서로 세워진 상태에서 수평방향으로 밀착되어 배열된다. 가이드 플레이트들(200)의 뒷단에는 TCP블록이 배치되고, 가장 후단의 가이드 플레이트(250)와 TCP블록 사이에 연성회로기판이 삽입되며, 연성회로기판의 금속 패턴에 프로브 핀들이 접촉되어 신호가 프로브 핀들로 전송된다. 가이드 플레이트들(200)은 얼라인 핀(500)에 의해서 서로 정렬되어 배치된다.

도 2 내지 도 6을 참조 하면, 상기와 같이 세워져 일렬로 정렬 및 배열되는 가이드 플레이트들(200)에는 최외곽의 가이드 플레이트(또는 제 1가이드 플레이트(210))의 전면을 통하여 외부로 개구되는 제 1슬롯들(S1)이 서로 일정 간격을 이루어 형성된다. 그리고, 가이드 플레이트들(200)의 저면에는 일정 깊이로 파여 형성되는 다수개의 제 2슬롯들(S2)이 일정 간격을 이루어 형성되는데, 제 2슬롯들(S2)의 형성 위치는 제 1슬롯들(S1)의 사이 위치에 배치되도록 형성된다.

즉, 제1슬롯들(S1)은 프로브 핀들이 가이드 플레이트들(200) 중 최외곽의 가이드 플레이트(210)의 전면방향에서 삽입되도록 최외곽 가이드 플레이트(210)의 전면 하부가 개구된다. 그리고, 제1슬롯들(S1)은 최외곽의 가이드 플레이트(210)를 전면에서 바라볼 때 최외곽의 가이드 플레이트(210)의 전면 하부에 일정한 간격으로 수평방향으로 일렬로 형성된다.

또한, 제1슬롯(S1)은 최외곽의 가이드 플레이트(210)의 전면부터 가장 안쪽의 가이드 플레이트(250)의 후면까지 파여 관통홀로서 형성된다.

한편, 제2슬롯들(S2)은 프로브 핀들이 가이드 플레이트들(200)의 저면방향에서 삽입되도록 가이드 플레이트들(200)의 저면이 개구되며 제 1슬롯들(S1)의 사이에 일정한 간격으로 형성된다. 저면이 개두되어 제2슬롯들(S2)을 형성하는 위치는 도 5에 도시된 것처럼 최외곽의 가이드 플레이트(210)의 내측의 일정지점부터 가장 안쪽의 가이드 플레이트(250)의 후면까지 파여 관통홀로서 형성된다. 그러나, 반드시 최외곽의 가이드 플레이트(210)의 저면의 일정지점부터 개구 부분이 형성되는 것에 한정되는 것은 아니다. 예를들어, 두번째 가이드 플레이트(220)의 저면의 일정지점부터 가장 안쪽의 가이드 플레이트(250)까지 파여서 관통홀로서 형성될수도 있다.

도 5에서, 최외곽의 가이드 플레이트(210)의 전면부터가 아닌 내측의 일정 지점(예를 들어 중앙부분)부터 제2슬롯(S2)이 형성되는 이유는 후술되는 제2프로브핀들(400)의 제2벤딩단(413)이 최외곽의 가이드 플레이트(210)의 외측으로 돌출되지 않도록 하여 제2프로브핀들(400)의 제2벤딩단(413)을 보호하기 위함이다.

제 1슬롯들(S1)과 제 2슬롯들(S2)은 최외곽의 가이드 플레이트인 제 1가이드 플레이트(210) 측에서 바라보는 경우에, 서로 엇갈리도록 또는 서로 지그재그 타입으로 형성된다. 즉, 제 1슬롯들(S1)이 형성되는 높이는 제 2슬롯들(S2)이 형성된 높이보다 높게(가이드 플레이트들(200)의 하단면을 기준으로 하는 경우에) 위치된다.

제 1슬롯들(S1)은 제 1가이드 플레이트(210)의 전단에 외부로 노출되고 가이드 플레이트들(200)이 배열된 방향을 따라 일정 깊이로 파여 형성된다. 여기서, 제 1슬롯들(S1)의 형성은 식각 공정을 통하여 이루어질 수 있다.

또한, 제 2슬롯들(S2)은 가이드 플레이트들(200)의 바닥면 방향으로 개구되고, 가이드 플레이트들(200)의 배열된 방향을 따라 일정 깊이로 파여 형성된다. 여기서, 제 2슬롯들(S2)의 형성은 식각 공정을 통하여 이루어질 수 있다.

다음은, 상기 제 1슬롯들(S1)과 상기 제 2슬롯들(S2)에 각각 끼워지는 프로브 핀들(300,400)에 대하여 설명하도록 한다.

상기 제 1슬롯들(S1)에는 제 1프로브 핀들(300)이 삽입되고, 상기 제 2슬롯들(S1)에는 제 2프로브 핀들(400)이 삽입된다. 후술되는 제1 및 제2 프로브 핀들(300, 400)의 끝단, 즉 제1벤딩단(312a) 및 제2벤딩단(413)은 가이드 플레이트들(200)의 저면의 하부로 돌출된다.

도 3 및 도 4를 참조 하면, 제 1프로브 핀들(300)은 일정 두께를 갖는 얇은 금속판으로 형성되고 그 일단은 엘시디 패널(미도시)의 접속 단자(미도시)에 접촉되고 타단은 연성 회로 기판(F)과 전기적으로 접촉될 수 있다.

상기 제 1프로브 핀들(300) 각각은, 제 1프로브 핀 몸체(310)와, 제 1프로브 핀 몸체(310)의 일측 상단으로부터 일정 길이 연장되며 일정 위치에 상방으로 돌출되는 제 1단턱(313)이 형성되는 제 1상단 연장 몸체(311)와, 제 1프로브 핀 몸체(310)의 일측 하단으로부터 일정 길이 연장되며 그 단부에 하방을 따라 벤딩되는 제 1벤딩단(312a)이 형성되는 제 1하단 연장 몸체(312)와, 제 1프로브 핀 몸체(310)의 타측에 형성되는 제 1탄성 몸체(320)로 구성된다.

여기서, 제 1상단 연장 몸체(311)와 제 1하단 연장 몸체(312)는 제 1프로브 핀 몸체(310)의 일측 상단과 하단에서 서로 벌어지도록 형성된다. 또한, 제 1탄성 몸체(320)의 단부에는 연성 회로 기판(F)과 전기적으로 접촉되는 제 1돌출 단자(321)가 형성된다.

여기서, 제 1벤딩단(312a)은 엘시디 패널의 접속 단자에 접속되는 부분이고, 제 1돌출 단자(321)는 연성 회로 기판(F)과 전기적으로 접촉되는 부분이다. 그리고, 제 1탄성 몸체(320)는 반복적으로 굽은 형상을 이루어 일정의 탄성을 지니도록 형성된다. 따라서, 제 1탄성 몸체(320)는 스프링과 같은 역할을 할 수 있다. 그러므로, 제1프로브핀(300)이 제1슬롯(S1)에 최외곽의 가이드 플레이트(210)의 전면방향에서 삽입되면, 제1탄성몸체(320)가 연성회로기판(F)에 닿으면서 TCP블록에 막혀 탄성압축 되고 제 1상단 연장 몸체(311)의 단부(311a)가 제 1슬롯(S1)의 외부로 일정 길이 돌출된다.

그리고, 제1슬롯(S1)의 외부로 돌출된 제1상단 연장 몸체(311)의 단부(311a)를 하방으로 눌러주면 제1탄성 몸체(320)의 탄성력에 의해 최외곽 가이드플레이트 방향으로 제1슬롯(S1)으로부터 분리된다.

또한, 도 5 및 도 6을 참조 하면, 제 2프로브 핀들(400) 각각은, 타측 상단에 단차진 제 1돌기단(415)이 형성되는 제 2프로브 핀 몸체(410)와, 상기 제 2프로브 핀 몸체(410)의 일측 상단으로부터 일정 길이 연장되며 그 단부에 단차진 제 2돌기단(414)이 형성되는 제 2상단 연장 몸체(411)와, 제 2프로브 핀 몸체(410)의 일측 하단으로부터 일정 길이 연장되며 그 단부에 하방으로 벤딩되는 제 2벤딩단(413)이 형성되는 제 2하단 연장 몸체(412)와, 제 2프로브 핀 몸체(410)의 타측에 형성되는 제 2탄성 몸체(420)로 구성된다. 제2 하단 연장몸체(412)의 길이에는 제한이 없으나, 제2 하단 연장 몸체(412)는 도 5 및 도 6에 도시된 것처럼 제 2상단 연장 몸체(411)의 길이 보다 일정 길이 길게 연장될 수도 있다.

여기서, 제 2벤딩단(413)은 엘시디 패널의 접속 단자에 접속되는 부분이고, 제 2돌출 단자(421)는 연성 회로 기판(F)과 전기적으로 접촉되는 부분이다. 그리고, 제 2탄성 몸체(420)는 반복적으로 굽은 형상을 이루어 일정의 탄성을 지니도록 형성된다. 따라서, 제 2탄성 몸체(420)는 스프링과 같은 역할을 할 수 있다.

제2프로브핀(400)의 경우, 제2상단연장몸체(411)가 일정길이 연장되고 그 단부에 제2돌기단(414)이 형성되는 구조 이외에도, 제2돌기단이 제2상단연장몸체(411)의 단부에 형성되는 것이 아니라 제1돌기단(415)하부의 제2프로브핀몸체(410)에서 직접 돌출되는 구조로 형성될 수도 있다. 즉, 제2상단연장몸체(411) 없이 제2프로브핀몸체(410)로부터 직접 돌출되는 것이다. 제1돌기단 또한 제2프로브핀몸체(410)에서 직접 돌출되도록 할 수도 있다.

이어, 상기와 같이 구성되는 프로브 핀들(300,400)이 삽입되어 고정 및 분리되는 공간을 제공하는 제 1슬롯들(S1) 및 제 2슬롯들(S2)의 내부 형상을 설명하도록 한다.

도 3 및 도 4를 참조 하면, 상기 제 1슬롯들(S1) 각각은, 다수개의 가이드 플레이트들(200)에 형성되는 관통홀들(211,221,231,241,251)로 이루어진다.

가이드 플레이트들(200) 중에서 임의의 가이드 플레이트에 형성된 관통홀의 상면부에는 제 1상단 연장 몸체(311)의 제 1단턱(313)이 걸리도록 제 1홈(211a)이 형성된다. 바람직하기로는 제1홈(211a)은 최외곽의 가이드 플레이트(제 1가이드 플레이트(210))에 형성된 관통홀(211)의 상면부에 형성되는 것이 바람직하다. 하지만, 반드시 이 위치에 한정되는 것은 아니다. 제 1홈(211a)의 전단에는 제 1단턱(313)의 외부로의 돌출을 제한하고 제 1상단 연장 몸체(311)의 단부(311a)를 지지하는 턱부(211b)가 형성된다.

제 1가이드 플레이트(210)의 하단에는 관통홀(211)과 연결되고 제 1벤딩단(312a)이 가이드 플레이트(210)의 내부에 위치되어 걸치는 걸침면(211c)이 형성된다. 여기서, 걸침면(211c)의 형성 위치는 제 1가이드 플레이트(210)의 일단면으로부터 이격되는 위치에 형성되어 제 1벤딩단(312a)이 제1가이드 플레이트(210)의 외부로 돌출되는 것을 방지할 수 있다.

그리고, 제 1가이드 플레이트(210)의 후면에는 순차적으로 제 2,3,4,5가이드 플레이트(220,230,240,250)가 세워져 일렬로 배열된다. 그리고, 제 2,3,4,5가이드 플레이트(220,230,240,250,260)의 관통홀들(221,231,241,251)은 서로 연결된다.

여기서, 제 1상단 연장 몸체(311)의 단부(311a)는 일정 길이가 제 1슬롯(S1)의 외부로 돌출된다. 즉, 돌출된 제 1상단 연장 몸체(311)의 단부(311a)를 하방으로 누르면, 제 1단턱(313)은 제 1홈(211a)으로부터 이탈되고, 그러면, 제1탄성몸체(320)의 탄성 반발력에 의해서 제1프로브핀(300)이 제1슬롯(S1)으로부터 튀어 나간다.

한편, 도 5 및 도 6을 참조 하면, 제 2슬롯들(S2) 각각은 다수개의 가이드 플레이트들(제 1,2,3,4,5가이드 플레이트(210,220,230,240,250))의 저면에 형성되는 절개홀들(212,222,232,242,252)로 이루어진다.

제 1돌기단(415)이 끼워져 걸쳐지도록 가이드 플레이트들(200) 중 어느 하나인 제 4가이드 플레이트(240)에 형성된 절개홀(242)의 상면부에는 제 1돌기홈(242a)이 형성된다.

그리고, 제 2돌기단(414)이 끼워져 설치되도록 가이드 플레이트들(200) 중 다른 하나인 제 2가이드 플레이트(220)에 형성된 절개홀(222)의 상면부에는 제 2돌기홈(222a)이 형성된다. 제1돌기홈(242a)과 제2돌기홈(222a)이 형성되는 위치는 제1돌기단(415)과 제2돌기단(414)의 길이에 따라 다른 위치에 형성될 수 있다.

상기의 구성을 참조로 하여, 본 발명에 따른 프로브 핀들(300,400)의 슬롯들(S1,S2)로의 고정 및 분리 방식을 설명하도록 한다.

제 1프로브 핀들(300)의 경우에, 가이드 플레이트들(200)의 배열 방향을 따라 최외곽의 가이드 플레이트(210)의 전면 방향에서 제 1슬롯들(S1)로 삽입된다.

이에 따라, 제 1탄성 몸체(320)의 단부에 형성된 제 1돌출 단자(321)는 연성 회로 기판(F)에 접촉되고 TCP블록에 의해 지지되어 압축된다. 이 때, 제 1프로브 핀 몸체(310)의 타측 하단은 제 4가이드 플레이트(240)의 관통홀(241)의 하면부에 돌출된 걸림턱(241a)에 걸릴 수 있다. 걸림턱(241a)은 반드시 형성되는 것은 아니며, 존재하지 않을 수도 있다. 또한, 제 1상단 연장 몸체(311)에 형성된 제 1단턱(313)은 제 1가이드 플레이트(210)의 관통홀(211) 상면부에 형성된 제 1홈(211a)에 끼워지도록 상방으로 상승되고, 이와 동시에 제 1하단 연장 몸체(312)의 단부에서 하방으로 벤딩된 제 1벤딩단(312a)의 내측면은 제 1가이드 플레이트(210)의 일단면에 형성된 걸침면(211c)에 걸쳐 지지될 수 있다.

상기와 같이 제 1프로브 핀들(300)이 제 1슬롯들(S1)의 내부에 각각 삽입되어 고정되면, 제 1탄성 몸체(320)는 압축되고, 이에 따라 일정의 복원 탄성력을 지니게 된다.

특히, 본 발명에서는 제 1프로브 핀들(300)의 제 1벤딩단(312a)이 제1 가이드 플레이트(210) 의 외부로 돌출되지 않는 구조이므로 제 1벤딩단(312a)이 외부로부터의 충격으로 부터 휘어지거나, 테스트 대상이 되는 장치에 접촉하여 압력을 받을 경우 제1벤딩단(312a)이 좌우로 흔들리는 등의 문제를 해결할 수 있다.

반면에, 제 1프로브 핀들(300)을 제 1슬롯들(S1) 각각으로부터 분리시키는 경우는, 제 1홈(211a)에서 제 1단턱(313)을 이탈시킴으로써 이루어질 수 있다.

즉, 제 1슬롯들(S1)의 외부로 일정 길이 돌출된 제 1상단 연장 몸체(311)의 단부(311a)를 외력을 사용하여 하방으로 누르면, 제 1상단 연장 몸체(311)에 형성된 제 1단턱(313)은 제 1홈(211a)으로부터 하방으로 유동하여 이탈될 수 있다. 이와 동시에 제 1탄성 몸체(320)는 복위 탄성력으로 인하여 원래의 형상으로 복귀되면서, 제 1프로브 핀 몸체(310)를 제 1슬롯(S1)으로부터 이탈된다. 이에 따라, 제 1프로브 핀들(300)은 제 1슬롯(S1)으로부터 분리 및 이탈될 수 있다.

따라서, 본 발명에 따르는 제 1프로브 핀들(300)은 상기와 같은 방식으로 프로브 핀들을 선택적으로 용이하게 교체할 수 있다.

도 5 및 도 6을 참조 하면, 제 2프로브 핀들(400)의 경우에, 가이드 플레이트들(200)의 저면을 통하여 제 2슬롯들(S2)로 삽입된다. 가이드 플레이트들(200)은 나사와 같은 체결부재(미도시)에 의해서 관통되어 프로브 유니트 몸체(100)에 고정되는데, 제2프로브 핀들(400)을 삽입하는 경우에는, 체결부재의 조임을 일부 느슨하게 풀어 가이드 플레이트들(200)을 TCP블록으로부터 분리시키고 제2프로브핀들(400)을 제2슬롯(S2)에 수직 방향으로 삽입시킨다.

그러면, 제 2프로브 핀 몸체(410)의 타측 상단에 형성된 제 1돌기단(415)은 제 1돌기홈(242a)의 앞쪽에 위치되고, 제 2상단 연장 몸체(412)의 단부에 형성된 제 2돌기단(414)은 제 2돌기홈(222a)의 앞쪽에 위치된다.

그리고, 다시 체결부재를 조이면, 제 1돌기단(415)은 제 1돌기홈(242a)에 삽입고정되고, 제 2상단 연장 몸체(412)의 단부에 형성된 제 2돌기단(414)은 제 2돌기홈(222a)에 삽입 고정된다. 또한, 제 2탄성 몸체(420)의 단부에 형성된 제 2돌출 단자(421)는 연성 회로 기판(F)에 접촉된다.

상기와 같이 제 2프로브 핀들(400)이 제 2슬롯들(S1)의 내부에 각각 삽입되어 고정되면, 제 2탄성 몸체(420)는 오므려 지고, 이에 따라 일정의 복원 탄성력을 지니게 된다.

반면에, 제 2프로브 핀들(400)을 제 2슬롯들(S1) 각각으로부터 분리시키는 경우는, 다시 체결부재를 느슨하게 풀어서 가이드 플레이트들(200)을 TCP블록으로부터 약간 분리시키켜 공간을 마련하고, 제2프로브핀들(400)을 수직방향으로 분리시킨다. 본 발명에 따르는 제 2프로브 핀들(400)은 상기와 같은 방식으로 프로브 핀 교체를 선택적으로 용이하게 구현할 수 있다.

즉, 본 발명에 따르는 제 1프로브 핀들(300)은 수평 방향을 따라 제 1슬롯들(S1)로 삽입 및 분리되고, 제 2프로브 핀들(400)은 수직 방향을 따라 제 2슬롯들(S2)로 삽입 및 분리되기 때문에, 제 1슬롯들(S1)로의 제 1프로브 핀들(300)이 끼워지는 방향과 제 2슬롯들(S2)로의 제 2프로브 핀들(400)이 끼워지는 방향은 서로 수직으로 교차되는 방향이 된다.

또한, 본 발명은 가이드 플레이들(200)을 식각 가공하는 경우에 프로브 핀들(300,400)이 삽입되는 제1 및 제2 슬롯들(S1,S2)을 한 번에 가공할 수 있기 때문에, 제1 및 제2 슬롯들(S1,S2)의 형상이 복잡한 경우에도 용이하게 가공이 가능하다.

그리고, 프로브 핀들이 직접적으로 엘시디의 접속 단자에 물리적으로 접촉되어 신호를 전송하는 탐침부인 상기에 언급된 제 1,2벤딩부가 슬롯들의 내부에 위치되도록, 즉 외부로 과도하게 돌출되지 않도록 함과 아울러, 슬롯 내부의 내벽을 통하여 프로브 핀들의 양측을 커버함으로써, 제1, 2벤딩부를 외부의 물리적인 충격으로 인한 형상 변형 및 파손으로부터 보호할 수 있다.

이에 더하여, 본 발명은 가이드 플레이트들(200)의 하단 부분이 개방되기 때문에, 연성회로기판(F)과 프로브 핀들(300, 400)이 잘 접촉되는지를 외부에서 확인할 수 있고, 프로브 핀들(300,400)의 얼라인을 용이하게 실시할 수 있다.

<제 2실시예>

도 9 내지 도 14를 참조 하여, 본 발명의 제 2실시예를 따르는 적층구조의 프로브 유니트를 설명하도록 한다.

도 9을 참조 하면, 본 발명의 적층구조의 프로브 유니트는 유니트 몸체(100)를 갖는다. 상기 유니트 몸체(100)에는 일각 모서리부가 절개되어 내부에 일정 공간을 이루는 설치홈(140)이 형성된다.

상기 설치홈(140)에는 본 발명에 따르는 다수개의 가이드 플레이트들(600)이 설치된다. 가이드 플레이트들(600)은 일정 폭 및 두께, 면적을 갖는 판상으로 이루어지는 웨이퍼들이다. 그리고, 상기 웨이퍼들은 서로 눕혀 있는 상태에서 수직방향으로 적층 된다.

제2실시예에 따른 프로브 유니트의 구조는, 제1실시예에 따른 프로브 유니트의 구조와, 가이드 플레이트들(600)이 수직방향으로 적층되는 구조라는 점과, 최상단 가이드 플레이트(610)의 상면과 프로브 유니트 몸체(100) 사이에 연결블록(650)이 배치된다는 점에서 차이가 있다.

즉, 가이드 플레이트들(600) 중에서 가장 위의 가이드 플레이트(610)와 프로브 유니트 몸체(100) 사이에 연결블록(650)이 형성되어 가이드 플레이트(600)를 프로브 유니트 몸체(100)에 고정시킨다.

적층되는 각각의 가이드 플레이트들(600)은 서로 본딩되며, 가장 위의 가이드 플레이트(610)와 연결블록(650)은 서로 본딩된다. 연결블록(650)은 체결부재(미도시)에 의해서 프로브 유니트 몸체(100)에 체결된다.

따라서, 상기와 같은 차이점을 제외한 나머지 프로브 핀들의 구조와 슬롯들의 구조는 거의 유사하다.

상기와 같이 수직방향으로 적층되는 가이드 플레이트들(600)에는 가이드 플레이트(제 2가이드 플레이트(620))의 전면을 통하여 외부로 개구되는 제 1슬롯들(S'1)이 서로 일정 간격을 이루어 형성된다. 그리고, 가이드 플레이트들(600) 중 최하단의 가이드 플레이트(제 1가이드 플레이트(630))의 저면 일정 깊이로 파여 형성되는 다수개의 제 2슬롯들(S'2)이 일정 간격을 이루어 형성되는데, 제 2슬롯들(S'2)의 형성 위치는 제 1슬롯들(S'1)의 사이에 배치된다.

즉, 제1슬롯들(S'1)은 가이드 플레이트들(600) 중 최하단의 가이드 플레이트(630)의 위에 적층되는 가이드 플레이트들 중의 임의의 가이드 플레이트(도 10에서는 620번 가이드 플레이트)에 TCP블록 방향으로 일정한 깊이를 가지고 형성되며, 프로브 핀들이 상기 임의의 가이드 플레이트의 전면방향에서 삽입되도록 전면이 개구되며 일정한 간격으로 배열 형성된다.

제 2슬롯들(S'2)은 최하단의 가이드 플레이트(630)에 일정한 깊이로 제 1슬롯들(S'1)의 사이에 형성되며, 프로브 핀들이 최하단의 가이드 플레이트(610)의 저면방향에서 삽입되도록 최하단의 가이드 플레이트(610)의 저면이 개구되며 일정한 간격으로 배열 형성된다.

제 1슬롯들(S'1)은 제 2가이드 플레이트(620)에 형성되어 전면방향으로 노출되고 가이드 플레이트들(제 1,2,3가이드 플레이트(630,620,610))이 TCP블록 방향으로 일정 깊이로 파여 형성된다. 여기서, 제 1슬롯들(S'1)의 형성은 식각 공정을 통하여 이루어질 수 있다.

또한, 제 2슬롯들(S'2)은 제 1가이드 플레이트(630)의 저면에 노출되고, TCP블록 방향으로 일정 깊이로 파여 형성된다. 여기서, 제 2슬롯들(S'2)의 형성은 식각 공정을 통하여 이루어질 수 있다.

다음은, 상기 제 1슬롯들(S'1)과 상기 제 2슬롯들(S'2)에 각각 끼워지는 프로브 핀들(700,800)에 대하여 설명하도록 한다.

상기 제 1슬롯들(S'1)에는 제 1프로브 핀들(700)이 삽입되고, 상기 제 2슬롯들(S'2)에는 제 2프로브 핀들(800)이 삽입된다.

도 10 및 도 11을 참조 하면, 상기 제 1프로브 핀들(700)은 일정 두께를 갖는 얇은 금속판으로 형성되고 그 일단은 엘시디 패널의 접속단자에 접촉되고 타단은 연성 회로 기판(F)과 전기적으로 접촉될 수 있다.

상기 제 1프로브 핀들(700) 각각은, 제 1프로브 핀 몸체(710)와, 상기 제 1프로브 핀 몸체(710)의 일측 상단으로부터 일정 길이 연장되며 일정 위치에 상방으로 돌출되는 제 1단턱(713)이 형성되는 제 1상단 연장 몸체(711)와, 상기 제 1프로브 핀 몸체(710)의 일측 하단으로부터 일정 길이 연장되며 그 단부에 하방을 따라 벤딩되는 제 1벤딩단(712a)이 형성되는 제 1하단 연장 몸체(712)와, 상기 제 1프로브 핀 몸체(710)의 타측에 형성되는 제 1탄성 몸체(720)로 구성된다.

여기서, 제 1상단 연장 몸체(711)와 상기 제 1하단 연장 몸체(712)는 제 1프로브 핀 몸체(710)의 상단과 하단에서 서로 벌어지도록 형성된다. 또한, 제 1탄성 몸체(720)의 단부에는 연성 회로 기판(F)과 전기적으로 접촉되는 제 1돌출 단자(721)가 형성된다.

여기서, 제 1벤딩단(712a)은 엘시디 패널의 접속 단자에 접속되는 부분이고, 제 1돌출 단자(721)는 연성 회로 기판(F)과 전기적으로 접촉되는 부분이다. 그리고, 제 1탄성 몸체(720)는 반복적으로 굽은 형상을 이루어 일정의 탄성을 지니도록 형성된다. 따라서, 제 1탄성 몸체(720)는 스프링과 같은 역할을 할 수 있다.

또한, 도 12 및 도 13을 참조 하면, 제 2프로브 핀들(800) 각각은, 타측 상단에 단차진 제 1돌기단(816)이 형성되는 제 2프로브 핀 몸체(810)와, 상기 제 2프로브 핀 몸체(810)의 일측 상단으로부터 일정 길이 연장되며 그 단부에 단차진 제 2돌기단(812)이 형성되는 제 2상단 연장 몸체(811)와, 상기 제 2프로브 핀 몸체(810)의 일측 하단으로부터 일정 길이 연장되며 그 단부에 하방으로 벤딩되는 제 2벤딩단(815)이 형성되는 제 2하단 연장 몸체(814)와, 제 2프로브 핀 몸체(810)의 타측에 형성되는 제 2탄성 몸체(820)로 형성된다. 제2하단 연장 몸체(814)의 길이는 다양할 수 있으나, 도 13에 도시된 것처럼 제 2상단 연장 몸체(811)의 길이 보다 길 수 있다.

여기서, 제 2벤딩단(815)은 엘시디 패널의 접속 단자에 접속되는 부분이고, 제 2돌출 단자(821)는 연성 회로 기판(F)과 전기적으로 접촉되는 부분이다. 그리고, 제 2탄성 몸체(820)는 반복적으로 굽은 형상을 이루어 일정의 탄성을 지니도록 형성된다. 따라서, 제 2탄성 몸체(820)는 스프링과 같은 역할을 할 수 있다.

제2프로브핀(800)의 경우, 제2상단연장몸체(811)가 일정길이 연장되고 그 단부에 제2돌기단(812)이 형성되는 구조 이외에도, 제2돌기단(812)이 제2상단연장몸체(811)의 단부에 형성되는 것이 아니라 제1돌기단(816)하부의 제2프로브핀몸체(810)에서 직접 돌출되는 구조로 형성될 수도 있다. 즉, 제2상단연장몸체(811) 없이 제2프로브핀몸체(810)로부터 직접 돌출되는 것이다. 제1돌기단 또한 제2프로브핀몸체(810)에서 직접 돌출되도록 할 수도 있다.

이어, 상기와 같이 구성되는 프로브 핀들(700,800)이 삽입되어 고정 및 분리되는 공간을 제공하는 제 1슬롯들(S'1) 및 제 2슬롯들(S'2)의 내부 형상을 설명하도록 한다.

상기 제 1슬롯들(S'1) 각각은, 제 2가이드 플레이트들(620)에 형성되는 관통홀들(621)로 이루어진다.

최하단의 가이드 플레이트(630) 위의 임의의 위치에 적층되며 제 1슬롯들(S'1)이 형성되는 가이드 플레이트(620) 바로 위의 가이드 플레이트(610)의 하면부에는 제 1상단 연장 몸체(711)의 제 1단턱(713)이 걸리도록 제 1홈(611)이 형성되고, 제 1슬롯들(S'1)이 형성되는 가이드 플레이트(620)의 바로 아래의 가이드 플레이트(630)에는 제1 프로브 핀(700)의 제 1벤딩단(712a)이 가이드 플레이트들(600)의 내부에 위치되도록 제 1벤딩단(712a)이 걸치는 걸침면(631)이 형성된다.

구체적으로, 중앙의 가이드 플레이트(제 2가이드 플레이트(620))에 형성된 관통홀(621)의 상면부에 적층되는 제 3가이드 플레이트(610)의 하단에는 제 1상단 연장 몸체(711)의 제 1단턱(713)이 걸리도록 제 1홈(611)이 형성된다. 제 1홈(611)의 전단에는 제 1단턱(713)의 외부로의 돌출을 제한하고 제 1상단 연장 몸체(711)의 단부(711a)를 지지하는 턱부(611a)가 형성된다.

또한, 최하단의 가이드 플레이트인 제 1가이드 플레이트(630)의 전단에는 제 1벤딩단(712a)이 제 1슬롯(S'1)의 내부에 위치되도록 제 1벤딩단(712a)이 걸치는 걸침면(631)이 형성된다. 여기서, 걸침면(631)의 형성 위치는 제 2,3가이드 플레이트(620,610)의 일단면으로부터 TCP블록 방향으로 이격되는 위치에 형성되어 제 1벤딩단(712a)이 가이드 플레이트들(600) 외부로 돌출되는 것을 방지할 수 있다.

그리고, 제 1상단 연장 몸체(711)의 단부(711a)는 일정 길이가 제 1슬롯(S'1)의 외부로 돌출될 수 있다. 즉, 제 1상단 연장 몸체(711)의 단부(711a)를 하방으로 누르면, 상기 제 1단턱(713)은 제 1홈(611)으로부터 이탈된다.

한편, 도 12 및 도 13을 참조 하면, 상기 제 2슬롯들(S'2) 각각은 최하단의 가이드 플레이트들(제 1가이드 플레이트(630))의 저면에 형성되는 절개홀들(632)로 이루어진다.

제 2슬롯들(S'2)에는, 제 1돌기단(816)이 끼워져 걸쳐지도록 최하단의 가이드 플레이트(630) 상부에 적층된 가이드 플레이트(620)의 하면부에 제 1돌기홈(623)이 형성되고, 제 2돌기단(812)이 끼워져 걸쳐지도록 최하단의 가이드 플레이트(630) 상부에 적층된 가이드 플레이트(620)의 하면부에 제 2돌기홈(622)이 형성된다. 여기서, 상기 제 2돌기단(812)은 제 2상단 연장 몸체(811)를 따라 단차(813) 지도록 형성된다.

제 1돌기홈(623)과 제 2돌기홈(622) 각각은, 제 1돌기단(816) 및 제 2돌기단(812)이 끼워질 수 있도록 제 1돌기단(816) 및 제 2돌기단(812)의 형상과 상응 되는 형상으로 형성된다.

제1벤딩단(712a) 및 제2벤딩단(815)은 모두 제1가이드 플레이트(630)의 수직 하방으로 돌출되는 구조를 가지며, 제1벤딩단(712a) 및 제2벤딩단(815)은 제1가이드 플레이트(630)에 거의 삽입되어 보호된다.

본 발명의 제 2실시예에 따른 프로브 핀들(700,800)의 슬롯들(S'1,S'2)로의 고정 및 분리 방식은 제 1실시예에 따른 프로브핀들(300, 400)의 슬롯들(S1, S2)로의 고정 및 분리 방식과 동일하므로 상세한 설명을 생략한다.

미설명 부호 110은 얼라인 핀(500)이 삽입되는 홀이다.

100 : 유니트 몸체 140 : 설치홈
200, 600 : 가이드 플레이트 300, 700 : 제 1프로브 핀
400, 800 : 제 2프로브 핀 500 : 얼라인 핀
S1, S'1 : 제 1슬롯들 S2. S'2 : 제 2슬롯들

Claims (11)

1. 수평방향으로 일렬로 세워져 배열되며, 일정 간격을 두고 서로 엇갈리며 수평방향으로 일정 깊이로 형성되는 다수개의 슬롯들을 갖는 다수개의 가이드 플레이트들; 및
   상기 다수개의 슬롯들의 내부에 삽입되어 상기 슬롯들 내부에 형성되는 단차에 의해 고정되며, 끝단이 상기 다수개의 가이드 플레이트들의 저면의 하부로 돌출되는 다수개의 프로브 핀들을 포함하고,
   상기 다수개의 슬롯들은,
   상기 프로브 핀들이 상기 가이드 플레이트들 중 최외곽의 가이드 플레이트의 전면방향에서 삽입되도록 상기 최외곽 가이드 플레이트의 전면 하부가 개구되며 일정한 간격으로 일렬로 형성되고, 상기 최외곽의 가이드 플레이트의 전면부터 가장 안쪽의 가이드 플레이트의 후면까지 파여 형성되는 제 1슬롯들과,
   상기 제 1슬롯들의 사이에 형성되며, 상기 프로브 핀들이 상기 가이드 플레이트들의 저면방향에서 삽입되도록 상기 가이드 플레이트들의 저면이 개구되며 일정한 간격으로 형성되는 제 2슬롯들을 구비하는 것을 특징으로 하는 적층구조의 프로브 유니트.
2. 삭제
3. 제 1항에 있어서,
   상기 다수개의 프로브 핀들은,
   상기 제 1슬롯들에 삽입되는 제 1프로브 핀들과, 상기 제 2슬롯들에 삽입되는 제 2프로브 핀들을 구비하되,
   상기 제 1프로브 핀들 각각은, 제 1프로브 핀 몸체와, 상기 제 1프로브 핀 몸체의 일측 상단으로부터 일정 길이 연장되며 일정 위치에 상방으로 돌출되는 제 1단턱이 형성되는 제 1상단 연장 몸체와, 상기 제 1프로브 핀 몸체의 일측 하단으로부터 일정 길이 연장되며 그 단부에 하방을 따라 벤딩되는 제 1벤딩단이 형성되는 제 1하단 연장 몸체와, 상기 제 1프로브 핀 몸체의 타측에 형성되는 제 1탄성 몸체를 구비하고,
   상기 제 2프로브 핀들 각각은, 타측 상단에 단차진 제 1돌기단이 형성되는 제 2프로브 핀 몸체와, 상기 제 2프로브 핀 몸체의 일측 상단으로부터 일정 길이 연장되며 그 단부에 단차진 제 2돌기단이 형성되는 제 2상단 연장 몸체와, 상기 제 2프로브 핀 몸체의 일측 하단으로부터 일정 길이 연장되며 그 단부에 하방으로 벤딩되는 제 2벤딩단이 형성되는 제 2하단 연장 몸체와, 상기 제 2프로브 핀 몸체의 타측에 형성되는 제 2탄성 몸체를 구비하는 것을 특징으로 하는 적층구조의 프로브 유니트.
4. 제 3항에 있어서,
   상기 제 1슬롯들 각각은,
   다수개의 가이드 플레이트들에 각각 형성되는 관통홀들로 이루어지되,
   상기 가이드 플레이트들 중에서 임의의 가이드 플레이트에 형성된 관통홀의 상면부에는 상기 제 1상단 연장 몸체의 제 1단턱이 걸리도록 제 1홈이 형성되고, 상기 최외곽의 가이드 플레이트에 형성된 관통홀의 하면부에는 상기 제 1벤딩단이 상기 가이드 플레이트들의 내부에 위치되도록 상기 제 1벤딩단이 걸치는 걸침면이 형성되고,
   상기 제 2슬롯들 각각은,
   다수개의 가이드 플레이트들의 저면에 형성되는 절개홀들로 이루어지되,
   상기 제 1돌기단이 끼워져 걸쳐지도록 상기 가이드 플레이트들 중 어느 하나에 형성된 절개홀의 상면부에는 제 1돌기홈이 형성되고,
   상기 제 2돌기단이 끼워져 걸쳐지도록 상기 가이드 플레이트들 중 다른 하나에 형성된 절개홀의 상면부에는 제 2돌기홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 적층구조의 프로브 유니트.
5. 제 3항에 있어서,
   상기 제1프로브핀은,
   상기 제 1상단 연장 몸체의 단부가 상기 제 1슬롯의 외부로 일정 길이 돌출되고,
   상기 제1슬롯의 외부로 돌출된 상기 제1상단 연장 몸체의 단부를 하방으로 눌러주면 상기 제1탄성 몸체의 탄성력에 의해 최외곽 가이드 플레이트 방향으로 상기 제1슬롯으로부터 분리되는 것을 특징으로 하는 적층구조의 프로브 유니트
6. 수직방향으로 적층되며, 일정 간격을 두고 서로 엇갈리며 일정 깊이로 형성되는 다수개의 슬롯들을 갖는 다수개의 가이드 플레이트들; 및
   상기 다수개의 슬롯들의 내부에 삽입되어 상기 슬롯들 내부에 형성되는 단차에 의해 고정되며, 끝단이 상기 다수개의 가이드 플레이트들의 저면의 하부로 돌출되는 다수개의 프로브 핀들을 포함하고,
   상기 다수개의 슬롯들은,
   상기 가이드 플레이트들 중 최하단의 가이드 플레이트의 위의 임의의 가이드 플레이트에 일정한 깊이를 가지고 형성되며, 상기 프로브 핀들이 상기 임의의 가이드 플레이트의 전면방향에서 삽입되도록 전면이 개구되며 일정한 간격으로 배열 형성되는 제 1슬롯들과,
   상기 최하단의 가이드 플레이트에 일정한 깊이로 상기 제 1슬롯들의 사이에 형성되며, 상기 프로브 핀들이 상기 최하단의 가이드 플레이트의 저면방향에서 삽입되도록 상기 최하단의 가이드 플레이트의 저면이 개구되며 일정한 간격으로 배열 형성되는 제 2슬롯들을 구비하는 것을 특징으로 하는 적층구조의 프로브 유니트.
7. 삭제
8. 제 6항에 있어서,
   상기 다수개의 프로브 핀들은,
   상기 제 1슬롯들에 삽입되는 제 1프로브 핀들과, 상기 제 2슬롯들에 삽입되는 제 2프로브 핀들을 구비하되,
   상기 제 1프로브 핀들 각각은, 제 1프로브 핀 몸체와, 상기 제 1프로브 핀 몸체의 일측 상단으로부터 일정 길이 연장되며 일정 위치에 상방으로 돌출되는 제 1단턱이 형성되는 제 1상단 연장 몸체와, 상기 제 1프로브 핀 몸체의 일측 하단으로부터 일정 길이 연장되며 그 단부에 하방을 따라 벤딩되는 제 1벤딩단이 형성되는 제 1하단 연장 몸체와, 상기 제 1프로브 핀 몸체의 타측에 형성되는 제 1탄성 몸체를 구비하고,
   상기 제 2프로브 핀들 각각은, 타측 상단에 단차진 제 1돌기단이 형성되는 제 2프로브 핀 몸체와, 상기 제 2프로브 핀 몸체의 일측 상단으로부터 일정 길이 연장되며 그 단부에 단차진 제 2돌기단이 형성되는 제 2상단 연장 몸체와, 상기 제 2프로브 핀 몸체의 일측 하단으로부터 일정길이 연장되며, 그 단부에 하방으로 벤딩되는 제 2벤딩단이 형성되는 제 2하단 연장 몸체와, 상기 제 2프로브 핀 몸체의 타측에 형성되는 제 2탄성 몸체를 구비하는 것을 특징으로 하는 적층구조의 프로브 유니트.
9. 제 8항에 있어서,
   상기 제 1슬롯들 각각은 일정한 깊이로 파이는 관통홀들로 이루어지되,
   상기 최하단의 가이드 플레이트 위의 임의의 위치에 적층되며 상기 제1슬롯들이 형성되는 가이드 플레이트 바로 위의 가이드 플레이트의 하면부에는 상기 제 1상단 연장 몸체의 제 1단턱이 걸리도록 제 1홈이 형성되고, 상기 제1 슬롯들이 형성되는 가이드 플레이트의 바로 아래의 가이드 플레이트에는 상기 제1 프로브 핀의 상기 제 1벤딩단이 상기 가이드 플레이트들의 내부에 위치되도록 상기 제 1벤딩단이 걸치는 걸침면이 형성되고,
   상기 제 2슬롯들 각각은,
   상기 최하단의 가이드 플레이트 저면에 형성되는 절개홀들로 이루어지되,
   상기 제 1돌기단이 끼워져 걸쳐지도록 상기 최하단의 가이드 플레이트 상부에 적층된 가이드 플레이트의 하면부에 제 1돌기홈이 형성되고,
   상기 제 2돌기단이 끼워져 걸쳐지도록 상기 최하단의 가이드 플레이트 상부에 적층된 가이드 플레이트의 하면부에 제 2돌기홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 적층구조의 프로브 유니트.
10. 제 8항에 있어서, 상기 제1프로브핀은,
    상기 제 1상단 연장 몸체의 단부는 상기 제 1슬롯의 외부로 일정 길이 돌출되고,
    상기 제1슬롯의 외부로 돌출된 상기 제1상단 연장 몸체의 단부를 하방으로 눌러주면 상기 제1탄성 몸체의 탄성력에 의해 제1상단 연장 몸체 방향으로 상기 제1슬롯으로부터 분리되는 것을 특징으로 하는 적층구조의 프로브 유니트.
11. 제 6항에 있어서, 상기 가이드 플레이트들 중에서 가장 위의 가이드 플레이트와 프로브 유니트 몸체 사이에 연결블록이 형성되며,
    상기 적층되는 가이드 플레이트들 및 상기 연결블록은 서로 본딩되며,
    상기 연결블록은 체결부재에 의해서 상기 프로브 유니트 몸체에 체결되는 것을 특징으로 하는 적층구조의 프로브 유니트.

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