KR101149952B1 - Transfer robot - Google Patents
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Abstract
트랜스퍼 로봇(A1)은, 판 모양의 워크를 수평으로 유지하는 핸드(4A, 4B)를 구비한다. 핸드(4A, 4B)는, 직선 이동 기구(3A, 3B)에 구동되어, 소정의 수평 직선 이동 경로를 따라 전진 또는 후퇴한다. 각 핸드(4A, 4B)에는, 워크의 하면에 당접하는 복수의 롤러(42)가 설치되어 있다. 복수의 롤러(42)는, 수평 직선 이동 경로에 따른 방향으로 워크를 이동시키도록 회전 가능하다. 핸드(4A, 4B)에는, 워크를 그 양측방향으로부터 협지해서 해당 워크의 자세 조정을 행하기 위한 복수의 사이드 암(43)이 설치되어 있다. Transfer robot A1 is equipped with the hands 4A and 4B which hold | maintain a plate-shaped workpiece horizontally. The hands 4A and 4B are driven by the linear movement mechanisms 3A and 3B to move forward or backward along the predetermined horizontal linear movement path. Each hand 4A, 4B is provided with the some roller 42 which abuts on the lower surface of a workpiece | work. The plurality of rollers 42 are rotatable to move the workpiece in the direction along the horizontal linear movement path. The hands 4A and 4B are provided with a plurality of side arms 43 for clamping the work from both sides to adjust the posture of the work.
Description
도 1은, 본원 발명의 제 1 실시예에 근거한 트랜스퍼 로봇을 나타내는 사시도이다. 1 is a perspective view showing a transfer robot according to a first embodiment of the present invention.
도 2는, 제 1 실시예의 트랜스퍼 로봇을 나타내는 측면도이다. Fig. 2 is a side view showing the transfer robot of the first embodiment.
도 3은, 제 1 실시예의 트랜스퍼 로봇을 나타내는 정면시 단면도이다. 3 is a front sectional view showing the transfer robot of the first embodiment.
도 4는, 제 1 실시예의 트랜스퍼 로봇에 있어서 핸드를 설명하는 측면시 단면도이다. 4 is a side cross-sectional view illustrating a hand in the transfer robot of the first embodiment.
도 5는, 제 1 실시예의 트랜스퍼 로봇에 있어서 핸드를 설명하는 상면시 단면도이다. 5 is a cross-sectional top view illustrating a hand in the transfer robot of the first embodiment.
도 6은, 제 1 실시예의 트랜스퍼 로봇에 있어서 핸드를 설명하는 정면시 단면도이다. 6 is a front sectional view illustrating a hand in the transfer robot of the first embodiment.
도 7은, 제 1 실시예의 트랜스퍼 로봇의 동작을 설명하는 도이다. 7 is a diagram for explaining the operation of the transfer robot of the first embodiment.
도 8은, 제 1 실시예의 트랜스퍼 로봇의 동작을 설명하는 도이다. 8 is a diagram for explaining the operation of the transfer robot of the first embodiment.
도 9a 및 도 9b는, 제 1 실시예의 트랜스퍼 로봇의 동작을 설명하는 도이다. 9A and 9B are diagrams for explaining the operation of the transfer robot of the first embodiment.
도 10은, 본원 발명의 제 2 실시예에 근거한 트랜스퍼 로봇을 나타내는 사시 도이다. 10 is a perspective view showing a transfer robot according to a second embodiment of the present invention.
도 11은, 제 2 실시예의 트랜스퍼 로봇을 나타내는 상면도이다. Fig. 11 is a top view showing the transfer robot of the second embodiment.
도 12는, 제 2 실시예의 트랜스퍼 로봇을 나타내는 정면도이다. 12 is a front view of the transfer robot of the second embodiment.
도 13은, 제 2 실시예의 트랜스퍼 로봇의 주요 부분을 나타내는 정면시 단면도이다. Fig. 13 is a sectional front view showing the main part of the transfer robot of the second embodiment.
도 14는, 종래의 트랜스퍼 로봇을 설명하는 도이다. It is a figure explaining the conventional transfer robot.
도 15는, 종래의 트랜스퍼 로봇을 설명하는 도이다. It is a figure explaining the conventional transfer robot.
본원 발명은, 예를 들면 액정 패널용 유리 기판과 같은 판 모양의 워크를 수평으로 유지하면서 이송하기 위한 트랜스퍼 로봇에 관한 것이다. This invention relates to the transfer robot for conveying, for example, keeping a plate-shaped workpiece | work like a glass substrate for liquid crystal panels horizontally.
이런 종류의 트랜스퍼 로봇으로서는, 예를 들면 JP-A-2003-275980호 공보에 개시된 것이 있다. 동 공보에 개시된 트랜스퍼 로봇은, 본원의 도 14 및 도 15에 나타낸 것과 같이, 판 모양의 워크(W)를 수평으로 유지하는 핸드(400)와, 이 핸드(400)를 소정의 수평 직선 이동 경로(S)를 따라 전진?후퇴시키는 직선 이동 기구(300)와, 이 직선 이동 기구(300)에 포함되는 지지 베이스(310)를, 연직 방향으로 승강시키는 승강기구(200)를 구비하고 있다. 직선 이동 기구(300)는, 상기 지지 베이스(310) 외에, 제 1 수평 링크 암(320) 및 제 2 수평 링크 암(330)을 포함해서 구성되어 있다. 제 1 수평 링크 암(320)의 기단부(基端部)는, 상기 지지 베이스(310)에 연결되어 있다. 제 2 수평 링크 암(330)의 기단부는, 제 1 수평 링크 암(320)의 선단부에 연결되어 있고, 동일 암(330)의 선단부는, 상기 핸드(400)를 연직축 주위에 회전 가능한 상태에서 지지하는 구조로 되어 있다. 승강기구(200)는, 제 1 링크 암(210) 및 제 2 링크 암(220)을 포함해서 구성되어 있다. 제 1 링크 암(210)의 기단부는, 고정 베이스(100)에 연결되어 있다. 제 2 링크 암(220)의 기단부는, 상기 제 1 링크 암(210)의 선단부에 연결되어 있고, 동 암(220)의 선단부는, 상기 지지 베이스(310)를 수평축 주위에 회전 가능한 상태에서 지지하는 구성으로 되어 있다. 지지 베이스(310)는, 제 1 및 제 2 링크 암(210, 220)이 수평축 주위를 회전함으로서, 일정 자세를 유지하면서 연직 방향으로 승강한다. 핸드(400)는, 제 1 및 제 2 수평 링크 암(320, 330)이 연직축 주위를 회전함으로서, 일정 자세를 유지하면서 수평 직선 이동 경로(S)를 따라 전진?후퇴한다. 지지 베이스(310)에는, 연직축 주위를 회전하는 회전 부재(311)가 설치되어 있다. 이 회전 부재(311)를 개재해서 지지 베이스(310)와 제 1 수평 링크 암(320)이 연결되어 있다. As a transfer robot of this kind, for example, there is one disclosed in the JP-A-200-3-25500 publication. As shown in FIGS. 14 and 15 of the present application, a transfer robot disclosed in this publication includes a
도 14에 나타낸 것과 같이, 상기 트랜스퍼 로봇(X)은, 버퍼부(B)에 인접한 로봇부(R)에 설치되어 있다. 트랜스퍼 로봇(X)은, 복수의 워크(W)를 수용한 카세트부(C)로부터 버퍼부(B)를 개재해서 1개의 워크(W)를 수취할 수 있다. 카세트부(C)에 있어서, 복수의 워크(W)는, 연직 방향에 일정 간격을 둔 상태에서 승강 프레임(C1)에 유지되어 있다. 승강 프레임(C1)이 하방으로 이동하면, 최하단에 유지된 워크(W)가 카세트부(C)의 롤러 컨베이어(C2) 상에 재치된다. As shown in FIG. 14, the said transfer robot X is provided in the robot part R adjacent to the buffer part B. As shown in FIG. The transfer robot X can receive one workpiece | work W through the buffer part B from the cassette part C which accommodated several workpiece | work W. In the cassette part C, the some workpiece | work W is hold | maintained in the lifting frame C1 in the state which fixed space | interval was carried out in the perpendicular direction. When the lifting frame C1 moves downward, the work W held at the bottom end is placed on the roller conveyor C2 of the cassette part C. As shown in FIG.
그 후, 워크(W)는, 롤러 컨베이어(C2)로부터 버퍼부(B)의 롤러 컨베이어(B1) 상으로 반송된다. 롤러 컨베이어(B1)에는, 도 15에 나타낸 것과 같이, 트랜스퍼 로봇(X)의 핸드(400)를 삽입 가능한 공극부(B2)가 설치되어 있다. 트랜스퍼 로봇(X)은, 승강기구(200) 및 직선 이동 기구(300)를 작동시킴으로서, 핸드(400)를 롤러 컨베이어(B1)의 공극부(B2)에 삽입된 상태로 하고, 또한 핸드(400)를 롤러 컨베이어(B1)보다도 상방으로 들어 올린 상태로 한다. 이것에 의해, 버퍼부(B)의 롤러 컨베이어(B1) 상에 있던 워크(W)가 핸드(400) 상으로 실어 옮긴다. 그 후, 트랜스퍼 로봇(X)은, 핸드(400)를 로봇부(R)의 소정 위치까지 후퇴시키고, 회전 부재(311)를 예를 들면 180도 또는 90도 회전시키고, 핸드(400)를 워크(W)의 이송처로 되는 워크 처리부(도시 생략)를 향하는 자세로 한다. 이 상태에서 직선 이동 기구(300)를 작동시킴으로서, 워크(W)가 워크 처리부로 이송된다. Then, the workpiece | work W is conveyed on the roller conveyor B1 of the buffer part B from the roller conveyor C2. As shown in FIG. 15, the space | interval part B2 which can insert the
그러나, 상기 종래의 트랜스퍼 로봇(X)에서는, 롤러 컨베이어(B1)의 하방으로부터 워크(W)를 들어 올리도록 해서 핸드(400) 상에 실어야한다. 그 때문에 로봇부(R)와 카세트부(C)와의 사이에 워크(W)를 주고받기 위한 버퍼부(B)를 설치해야한다. 그 결과, 트랜스퍼 로봇을 포함하는 워크 반송 시스템이 대규모로 되어 버린다. However, in the conventional transfer robot X, the work W is to be lifted from below the roller conveyor B1 and loaded on the
또한, 도 14에 나타낸 것과 같이, 롤러 컨베이어(B1, C2)는, 카세트부(C)로부터 버퍼부(B)로 거리(L0)를 가지고 워크(W)를 반송해야 한다. 한편, 트랜스퍼 로봇(X)은, 로봇부(R)와 버퍼부(B)와의 사이에서 거리(L1)를 가지고 핸드(400)를 전 진?후퇴시켜야 한다. 어느 경우라도 워크나 핸드에 대해서 비교적 긴 거리를 이동시켜야 한다. 특히 핸드를 이동시키는 거리(L1)가 길어지면 길어질수록, 안정된 동작을 확보하는 면에서, 트랜스퍼 로봇(X)이 대형화 되어 버린다. In addition, as shown in FIG. 14, the roller conveyors B1 and C2 must convey the workpiece | work W with distance L0 from the cassette part C to the buffer part B. FIG. On the other hand, the transfer robot X must move the
본원 발명은, 상기한 사정 하에서 고안된 것이다. 그래서 본원 발명은, 워크 반송 시스템의 스케일 다운을 도모함과 동시에, 가능한 한 핸드의 이동 거리를 단축해서 소형화를 도모할 수 있는 트랜스퍼 로봇을 제공하는 것을 그 과제로 하고 있다. 이 과제를 해결하기 위해서, 본원 발명에서는, 이하의 기술적 수단을 강구하고 있다. The present invention is devised under the above circumstances. Then, this invention makes it the subject to provide the transfer robot which can aim at scale-down of a workpiece conveyance system, and can shorten the movement distance of a hand as much as possible, and can be miniaturized. In order to solve this problem, the present invention takes the following technical means.
본원 발명에 의해 제공된 트랜스퍼 로봇은, 판 모양의 워크를 수평으로 유지하는 워크 지지 수단과, 이 워크 지지 수단을 수평 직선 이동 경로를 따라 이동시키는 직선 이동 기구와, 를 구비하고 있다. 상기 워크 지지 수단은, 상기 워크의 하면을 지지하고 해당 워크를 소정 방향으로 이동시키기 위한 복수의 롤러가 설치되어 있다. The transfer robot provided by this invention is equipped with the workpiece support means which keeps a plate-shaped workpiece horizontally, the linear movement mechanism which moves this workpiece support means along a horizontal linear movement path, and is provided. The said workpiece support means is provided with the some roller for supporting the lower surface of the said workpiece | work, and moving the said workpiece | work in a predetermined direction.
바람직하게는, 상기 복수의 롤러는, 상기 수평 직선 이동 경로에 따른 방향으로 상기 워크를 이동시키도록 배치되어 있다. Preferably, the plurality of rollers are arranged to move the workpiece in a direction along the horizontal linear movement path.
바람직하게는, 상기 워크 지지 수단에는, 상기 복수의 롤러를 회전시키는 회 전 구동 기구가 설치되어 있다. Preferably, the work support means is provided with a rotation drive mechanism for rotating the plurality of rollers.
바람직하게는, 상기 회전 구동 기구는, 롤러 회전용 모터와, 이 롤러 회전용 모터의 동력을 상기 복수의 롤러에 전달하는 전동 벨트를 포함하고 있다.Preferably, the rotation drive mechanism includes a roller rotation motor and a transmission belt that transmits power of the roller rotation motor to the plurality of rollers.
이와 같은 구성에 의하면, 예를 들면 롤러 컨베이어에 의해 반송되어 온 워크를 트랜스퍼 로봇이 수취하는 경우, 트랜스퍼 로봇은, 롤러 컨베이어의 전단(前端)에 워크 지지 수단을 옆으로 갖다 댄다. 이 때, 워크 지지 수단의 수평 직선 이동 경로가 롤러 컨베이어의 반송 방향을 따른다면, 트랜스퍼 로봇은, 워크 지지 수단을 수평 직선 이동 경로를 따라 전진시키는 것이 된다. 그 후, 롤러 컨베이어가 워크의 반송을 시작하면, 워크가 롤러 컨베이어의 전단을 넘어서 워크 지지 수단 상으로 이동한다. 워크 지지 수단 상에서는, 복수의 롤러가 회전함으로서 예를 들면 롤러 컨베이어의 반송 방향과 동일한 방향으로 워크가 수평하게 보내지고, 최종적으로 워크가 워크 지지 수단에 유지된 상태로 된다. 워크 지지 수단에 있어서 복수의 롤러가 회전 구동 기구에 의해서 회전되는 경우에는, 워크의 일부가 어느 정도 워크 지지 수단측으로 이동해서 롤러에 접한 상태가 되면, 그 시점에서 롤러 컨베이어의 반송 동작을 정지시켜도 워크 지지 수단상의 소정 위치까지 워크가 이동된다. 이것에 의해, 롤러 컨베이어와 트랜스퍼 로봇과의 사이에서 워크를 주고받게 된다. 따라서 본원 발명에 관계된 트랜스퍼 로봇에 의하면, 롤러 컨베이어에 워크 지지 수단을 옆으로 갖다 댄 상태에서 워크를 수취할 수 있기 때문에, 종래의 버퍼부와 같은 설비나 그 설치 스페이스가 불필요하게 되고, 워크 반송 시스템의 스케일 다운을 도모할 수 있다. 또한, 트랜스퍼 로봇에 대해서는, 롤러 컨베이어에 대해서 비교적 가까운 위치에 설치할 수 있기 때문에, 가능한 한 워크 지지 수단의 이동 거리를 단축해서 소형화를 도모할 수 있다. According to such a structure, when a transfer robot receives the workpiece conveyed by the roller conveyor, for example, a transfer robot carries a workpiece support means to the front end of a roller conveyor sideways. At this time, if the horizontal linear movement path of the workpiece support means follows the conveyance direction of the roller conveyor, the transfer robot moves the workpiece support means along the horizontal linear movement path. Thereafter, when the roller conveyor starts to convey the workpiece, the workpiece moves over the front end of the roller conveyor onto the work support means. On the work support means, by rotating a plurality of rollers, for example, the work is sent horizontally in the same direction as the conveyance direction of the roller conveyor, and finally the work is held in the work support means. When a plurality of rollers in the work support means are rotated by the rotation drive mechanism, when a part of the work moves to the work support means side to some extent and comes into contact with the rollers, the work may be stopped even if the conveyance operation of the roller conveyor is stopped at that time. The workpiece is moved to a predetermined position on the supporting means. As a result, the workpiece is exchanged between the roller conveyor and the transfer robot. Therefore, according to the transfer robot concerning this invention, since a workpiece can be received in the state which attached the workpiece support means to the roller conveyor sideways, the facility and installation space like the conventional buffer part become unnecessary, and the workpiece conveyance system Can be scaled down. In addition, since the transfer robot can be installed at a position relatively close to the roller conveyor, the transfer distance of the work support means can be shortened as much as possible.
바람직하게는, 상기 워크 지지 수단에는, 상기 워크를 협지해서 이 워크의 위치 조정을 행하기 위한 복수의 사이드 암이 설치되어 있다. Preferably, the said workpiece support means is provided with the some side arm for clamping the said workpiece | work, and performing the position adjustment of this workpiece | work.
이와 같은 구성에 의하면, 롤러 컨베이어로부터 워크 지지 수단 상으로 옮겨진 워크의 자세를 사이드 암에 의해 교정할 수 있다. According to such a structure, the attitude | position of the workpiece | work moved from the roller conveyor onto the workpiece support means can be correct | amended by a side arm.
바람직하게는, 상기 직선 이동 기구는, 지지 베이스와, 제 1 수평 링크 암과, 제 2 수평 링크 암을 포함하고 있다. 상기 제 1 수평 링크 암의 기단부는, 연직축 주위의 제1 회전 조인트를 개재해서 상기 지지 베이스에 연결되어 있다. 상기 제 2 수평 링크 암의 기단부는, 연직축 주위의 제2 회전 조인트를 개재해서 상기 제 1 수평 링크 암의 선단부에 연결되어 있다. 상기 제 2 수평 링크 암의 선단부는, 연직축 주위의 제3회전 조인트를 개재해서 상기 워크 지지 수단을 지지하는 구성으로 되어 있다. Preferably, the linear movement mechanism includes a support base, a first horizontal link arm, and a second horizontal link arm. The proximal end of the first horizontal link arm is connected to the support base via a first rotary joint around the vertical axis. The proximal end of the second horizontal link arm is connected to the distal end of the first horizontal link arm via a second rotary joint around the vertical axis. The distal end portion of the second horizontal link arm is configured to support the workpiece supporting means via a third rotary joint around the vertical axis.
바람직하게는, 상기 직선 이동 기구는, 제 1 링크 기구 및 제 2 링크 기구를 포함하고, 상기 워크 지지 수단은, 제 1 핸드 및 제 2 핸드를 포함하고 있다. 상기 제 1 링크 기구 및 상기 제 2 링크 기구는, 상기 이동 경로를 대칭축으로 해서 서로 이간 배치되어 있다. 상기 제 1 핸드는, 상기 제 2 핸드보다도 하측에 위치하고 있고, 또한, 상기 제 1 링크 기구에 의해 상기 이동 경로를 따라 이동시킨다. 상기 제 2 핸드는, 상기 제 2 링크 기구에 의해 상기 이동 경로를 따라 이동시킨다. Preferably, the linear movement mechanism includes a first link mechanism and a second link mechanism, and the work support means includes a first hand and a second hand. The first link mechanism and the second link mechanism are disposed to be spaced apart from each other with the symmetry axis of the movement path. The first hand is located below the second hand and is moved along the movement path by the first link mechanism. The second hand is moved along the movement path by the second link mechanism.
이와 같은 구성에 의하면, 이른바 링크 기구에 의해 핸드를 일정 자세로 유 지하면서 수평 직선 이동 경로를 따라 순조롭게 전진?후퇴시킬 수 있다. 이와 같은 링크 기구가 수평 직선 이동 경로를 대칭축으로 해서 그 양측에 설치되고, 이들 양측의 링크 기구에 의해 2개의 핸드가 연직 방향 하단측과 연직 방향 상단측에서 전진?후퇴하도록 하는 구성에 의하면, 롤러 컨베이어와 워크의 주고받기를 보다 효율 좋게 행할 수 있다. According to such a structure, a so-called link mechanism can smoothly move forward and backward along the horizontal linear movement path while keeping the hand in a constant posture. According to the structure in which such a link mechanism is provided on both sides with the horizontal linear movement path as a symmetry axis, and the two link mechanisms advance and retreat from the lower end of a vertical direction and the upper end of a vertical direction by these link mechanisms, The conveyor and work can be exchanged more efficiently.
바람직하게는, 상기 직선 이동 기구는, 지지 베이스와, 한 쌍의 가이드 레일과, 한 쌍의 슬라이드 레일을 포함하고 있다. 상기 가이드 레일은, 상기 이동 경로에 따른 방향으로 길게 연장하고 또한 상기 지지 베이스에 고정되어 있다. 상기 슬라이드 레일은, 상기 가이드 레일에 슬라이드 가능하게 지지되어 있고 또한 상기 이동 경로를 따라 상기 워크 지지 수단을 슬라이드 가능하게 지지한다. Preferably, the linear movement mechanism includes a support base, a pair of guide rails, and a pair of slide rails. The guide rail extends in the direction along the movement path and is fixed to the support base. The slide rail is slidably supported by the guide rail and slidably supports the workpiece support means along the movement path.
상기 직선 이동 기구는, 제 1 슬라이드 기구 및 제 2 슬라이드 기구를 포함하고, 상기 워크 지지 수단은, 제 1 핸드 및 제 2 핸드를 포함한다. 상기 제 1 슬라이드 기구 및 상기 제 2 슬라이드 기구는, 상기 이동 경로를 대칭축으로 해서 서로 이간 배치되어 있다. 상기 제 1 핸드는, 상기 제 2 핸드보다도 하측에 위치하고 있고, 또한, 상기 제 1 슬라이드 기구에 의해 상기 이동 경로를 따라 이동시킨다. 상기 제 2 핸드는, 상기 제 2 슬라이드 기구에 의해 상기 이동 경로를 따라 이동시킨다. The linear movement mechanism includes a first slide mechanism and a second slide mechanism, and the work support means includes a first hand and a second hand. The said 1st slide mechanism and the said 2nd slide mechanism are mutually arrange | positioned mutually, making the said movement path the symmetry axis. The first hand is located below the second hand and is moved along the movement path by the first slide mechanism. The second hand is moved along the movement path by the second slide mechanism.
이와 같은 구성에 의하면, 슬라이드 기구에 의해 핸드를 일정 자세로 유지하면서 수평 직선 이동 경로를 따라 순조롭게 전진?후퇴시킬 수 있다. 이와 같은 슬라이드 기구가 2조 설치되고, 이들 2조의 슬라이드 기구에 의해서 2개의 핸드가 연직 방향 하단측과 연직 방향 상단측에서 전진?후퇴하도록 하는 구성에 의하면, 롤러 컨베이어와 워크의 주고받기를 보다 효율 좋게 행할 수 있다. According to such a structure, a slide mechanism can move forward and backward smoothly along a horizontal linear movement path, holding a hand in a fixed posture. Two sets of such slide mechanisms are provided, and the two sets of slide mechanisms allow the two hands to move forward and backward on the lower end in the vertical direction and the upper end in the vertical direction. I can do it well.
바람직하게는, 본 발명의 트랜스퍼 로봇은, 상기 지지 베이스를 연직 방향으로 승강시키는 승강 기구를 더 구비하고 있다. Preferably, the transfer robot of the present invention further includes an elevating mechanism for elevating the supporting base in the vertical direction.
이와 같은 구성에 의하면, 예를 들면 정위치에 있는 롤러 컨베이어의 전단에 대해서, 연직 방향 하측과 상측으로 나누어진 2개의 핸드를 교대로 옆으로 갖다 댈 수 있다. According to such a structure, two hands divided | segmented to the lower side and the upper direction of the vertical direction can be alternately brought to the side with respect to the front end of the roller conveyor in a fixed position, for example.
본원 발명의 그 밖의 특징 및 이점은, 첨부 도면을 참조해서 이하에서 행하는 자세한 설명에 의해서, 보다 분명해질 것이다. Other features and advantages of the present invention will become more apparent from the detailed description given hereinafter with reference to the accompanying drawings.
<실시예><Examples>
이하, 본원 발명의 바람직한 실시예를, 도면을 참조해서 구체적으로 설명한다. 도 1~9는, 본원 발명의 제 1 실시예에 근거한 트랜스퍼 로봇을 나타내고 있다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the preferred embodiment of this invention is described concretely with reference to drawings. 1 to 9 show a transfer robot according to the first embodiment of the present invention.
도 1~3에 나타나 있는 것과 같이, 제 1 실시예의 트랜스퍼 로봇(A1)은, 고정 베이스(1), 승강기구(2), 제 1 직선 이동 기구(3A), 제 2 직선 이동 기구(3B), 하측 핸드(4A) 및 하측 핸드(4B)를 구비해서 구성되어 있다. 고정 베이스(1)는, 예를 들면 플로어에 고정된다. 승강기구(2)는, 고정 베이스(1)를 기부로 한다. 직선 이동 기구(3A, 3B)는, 승강기구(2)에 의해 연직 방향으로 승강시킨다. 핸드(4A, 4B)는 각각, 직선 이동 기구(3A, 3B)에 의해, 수평 직선 이동 경로(S)(도 2 참조)를 따라 전진?후퇴하게 된다. 이하의 설명에 있어서는, x축 방향은, 수평 직선 이동 경로(S)에 평행한 방향이고, y축 방향은, x축 방향에 직교하는 수평 방향이고, z축 방향은 연직 방향이다. z축 방향은, x축 방향 및 y축 방향의 양방에 직교한다. As shown in FIGS. 1-3, the transfer robot A1 of 1st Example has the fixed
승강기구(2)는, 제 1 승강용 모터( M1), 제 1 링크 암(20), 제 2 승강용 모터(M2), 제 2 링크 암(21), 제 1 보조 암(22) 및 제 2 보조 암(23)을 구비해서 구성되어 있다. 제 1 승강용 모터( M1)는, 고정 베이스(1)의 소정 부분에 설치되어 있다. 제 1 링크 암(20)은, 그 기단부(20a)가, 고정 베이스(1)에 대해서 y축 주위에 회전 가능하게 연결되어 있다. 제 2 승강용 모터(M2)는, 제 1 링크 암(20)의 선단부(20b)에 내장되어 있다. 제 2 링크 암(21)은, 그 기단부(21a)가 제 1 링크 암(20)의 선단부(20b)에 연결되어 있고, 그 선단부(21b)가, 후술하는 지지 베이스(30)에 연결되어 있다. 지지 베이스(30)는, y축 주위에 회전 가능하다. 제 1 보조 암(22)은, 제 1 링크 암(20)에 연동하고, 제 2 보조 암(23)은, 제 2 링크 암(21)에 연동한다. The
제 1 링크 암(20)의 기단부(20a)는, 제 1 승강용 모터( M1)로부터 감속 기구(도시 생략)를 개재해서 회전력이 전달됨으로서 y축 주위로 회전한다. 제 2 링크 암(21)의 기단부(21a)는, 제 2 승강용 모터(M2)로부터 감속 기구(도시 생략)를 개재해서 회전력이 전달됨으로서, 제 1 링크 암(20)의 선단부(20b)를 지점으로 해서 y축 주위에 회전한다. 제 1 및 제 2 링크 암(20, 21)은, 동일 각도를 가지고 서로 역방향으로 회전하도록 구성되어 있다. 제 1 및 제 2 보조 암(22, 23) 은, 제 1 링크 암(20)의 선단부(20b)와 제 2 링크 암(21)의 기단부(21a)와의 사이에서 y축 주위로 회전 가능하게 지지된 중간부재(24)를 개재해서 연결되어 있다. 이들 제 1 및 제 2 보조 암(22, 23)은, 제 1 및 제 2 링크 암(20, 21)과 쌍이 되어 항상 평행 사변형을 이루도록, 각각의 일단이 고정 베이스(1) 및 지지 베이스(30)에 대해서 회전 가능하게 연결되어 있다. 이것에 의해, 제 1 및 제 2 링크 암(20, 21)의 기단부(20a, 21a)가 y축 주위의 소정 방향으로 회전하면, 제 2 링크 암(21)의 선단부(21b)가 대략 z축 방향을 따라 변위하고, 이것에 수반해 지지 베이스(30)는, 수평 직선 이동 경로(S)의 대략 정위치상에서 일정한 자세를 유지하면서 z축 방향으로 승강한다. The
직선 이동 기구(3A, 3B)는, 이들 쌍방의 공통 부재로 이루어진 지지 베이스(30), 지지 베이스(30) 상에 있어서 회전하는 회전 부재(31), 지지 베이스(30) 상의 회전 부재(31)에 기단부가 연결된 제 1 수평 링크 암(32), 및 제 1 수평 링크 암(32)의 선단부에 기단부가 연결되어 있음과 동시에, 핸드(4A, 4B)를 z축 주위에 회전 가능하게 해서 선단부에 지지하는 제 2 수평 링크 암(33)을 갖고 구성되어 있다. 제 1 및 제 2 수평 링크 암(32, 33)으로 이루어진 링크 기구는, 수평 직선 이동 경로(S)를 대칭축으로 해서 그 양측에 1쌍씩 설치되어 있다. The
지지 베이스(30)에는, 회전 부재(31)를 z축 주위에 회전시키기 위한 모터나 감속 기구가 내장되어 있다(도시 생략). 회전 부재(31)에는, 제 1 및 제 2 수평 링크 암(32, 33) 및 핸드(4A, 4B)를 z축 주위로 회전시키기 위한 모터나 감속 기구가 내장되어 있다(도시 생략). 제 1 수평 링크 암(32)의 기단부는, z축 주위에 회전하는 제 1 회전 조인트(34a)를 개재해서 회전 부재(31)에 연결되어 있다. 제 1 수평 링크 암(32)의 선단부에는, z축 주위에 회전하는 제 2 회전 조인트(34b)를 개재해서 제 2 수평 링크 암(33)의 기단부가 연결되어 있다. 제 2 수평 링크 암(33)의 선단부에는, z축 주위에 회전하는 제 3 회전 조인트(34c)를 개재해서 핸드(4A, 4B)가 지지되어 있다. 이들 제 1 및 제 2 수평 링크 암(32, 33)에는, 회전 부재(31) 내의 모터로부터 감속 기구를 개재해서 제 1 내지 제 3 회전 조인트(34a~34c)에 회전력을 전달하기 위한 전동 벨트나 풀리 기어가 내장되어 있다(도시 생략). 회전 부재(31) 내의 모터나 감속 기구에 의해 제 1 회전 조인트(34a)가 소정 방향으로 회전되고, 이 제 1 회전 조인트(34a)를 개재해서 제 1 수평 링크 암(32)의 기단부가 z축 주위에 회전하면, 그 역(逆)주위의 방향에 동일 각도를 가지고제 2 수평 링크 암(33)의 기단부가 제 2 회전 조인트(34b)를 개재해서 회전한다. 이것에 의해, 제 1 및 제 2 수평 링크 암(32, 33)은, 항상 이등변 삼각형을 이루도록 링크 동작을 행한다. 핸드(4A, 4B)는, 제 1 및 제 2 수평 링크 암(32, 33)이 링크 동작을 행하는 것에 의해 수평 직선 이동 경로(S)를 따라 전진?후퇴하게 된다. 이 때, 핸드(4A, 4B)는, 제 2 수평 링크 암(33)이 자세를 변화시키는 것에 반해서 일정한 자세를 이루도록, 제 3 회전 조인트(34c)를 개재해서 z축 주위의 소정 방향으로 회전한다. 즉, 핸드(4A, 4B)는, 일정한 자세를 유지하면서 수평 직선 이동 경로(S)를 따라 전진?후퇴한다. 수평 직선 이동 경로(S)의 양측에 위치하는 2개의 제 2 회전 조인트(34b)는, 하측 핸드(4A)와 상측 핸드(4B)가 서로 간섭하는 일 없이 수평 직선 이동 경로(S)를 따라 이동할 수 있도록 양측에서 길이가 다르게 되 어 있다. The
핸드(4A, 4B)는, 제 2 수평 링크 암(33)의 선단부에 지지된 기부(40), 기부(40)의 양측에서 x축 방향으로 연장해서 판 모양의 워크(W)를 수평으로 유지하는 포크부(41), 워크(W)의 하면을 지지해서 워크(W)를 x축 방향으로 이동시키도록 포크부(41)에 설치된 복수의 롤러(42), 및 워크(W)를 그 양측방향으로부터 협지해서 워크의 위치 조정을 행하도록 포크부(41)에 설치된 복수의 사이드 암(43)을 갖고 구성되어 있다. 도 2에 나타나 있는 것과 같이, 하측 핸드(4A)는, 대응하는 제 2 수평 링크 암(33)의 상방측에 지지되어 있는 한편, 상측 핸드(4B)는, 하측 핸드(4A)와 간섭하는 일이 없도록 한 상태에서, 제 2 수평 링크 암(33)의 하방측에 지지되어 있다. The
도 4 및 도 5에 나타나 있는 것과 같이, 포크부(41)의 소정 부분에는, 복수의 롤러(42)를 동시에 회전시키기 위한 롤러 회전용 모터(44)나 전동 축(45)이 설치되어 있다. 포크부(41)의 내부에는, 롤러 회전용 모터(44)로부터 전동 축(45)을 개재해서 복수의 롤러(42)에 회전력을 전달하기 위한 전동 벨트(46) 및 풀리 기어(47) 및 회전축(48)이 내장되어 있다. 롤러(42)는, 회전축(48)의 양단에 고정된 상태에서 포크부(41)의 양측에 설치되어 있고, 각 포크부(41)에 있어서는, 복수의 롤러(42)가 x축 방향(수평 직선 이동 경로(S))을 따라 일정 간격마다 나열되어 있다. 또한, 도 4 및 도 6에 나타나 있는 것과 같이, 각 롤러(42)는, 워크(W)의 하면에 접하도록 그 접촉부분이 포크부(41)의 상면보다도 약간 상방측으로 나와 있다. 롤러 회전용 모터(44)로부터의 회전력은, 전동 벨트(46) 및 풀리 기어(47)를 개재해서 전동 축(45)에 전달되고, 이것에 의해 전동 축(45)이 회전한다. 각 포크부(41)에서는, 또한 전동 축(45)로부터 전동 벨트(46) 및 풀리 기어(47)를 개재해서 각 롤러(42)의 회전축(48)에 회전력이 전달되고, 이것에 의해 복수의 롤러(42)가 동시에 회전한다. 즉, 복수의 롤러(42)를 회전시키는 회전 구동 기구로서는, 상기 롤러 회전용 모터(44), 전동 축(45), 전동 벨트(46), 풀리 기어(47), 및 회전축(48)에 의해 실현되고 있다. As shown in FIG.4 and FIG.5, the
도 1에 나타나 있는 것과 같이, 사이드 암(43)은, 포크부(41)로 유지된 워크(W)(도 1에서는 도시 생략)의 양측 4부분에 당접할 수 있도록, 각 포크부(41)의 선단측과 후단측에 설치되어 있다. 이와 같은 사이드 암(43)은, 도 6에 나타나 있는 것과 같이, 포크부(41)의 외측부로부터 y축 방향을 따라 외측으로 연장하는 수평 로드(43a), 및 수평 로드(43a)의 선단에 금구(43b)를 개재해서 z축 주위에 회전이 자유롭도록 지지된 가이드 롤러(43c)를 갖고 구성되어 있다. 또한, 도 5 및 도 6에 나타나 있는 것과 같이, 포크부(41)의 내부에는, 사이드 암(43)의 수평 로드(43a)를 y축 방향으로 움직이기 위한 액추에이터(49)가 설치되어 있다. 가이드 롤러(43c)는, 포크부(41)에 워크(W)가 지지되어 있지 않을 때, 워크(W)의 측부보다도 외측에 위치한다. 한편, 포크부(41)에 워크(W)가 지지되어 정지한 상태가 되면, 수평 로드(43a)가 액추에이터(49)에 의해 포크부(41) 내에 어느 정도 인입됨으로서, 가이드 롤러(43c)가 워크(W)의 측부에 당접하는 상태가 된다. As shown in FIG. 1, the
다음으로, 상기 트랜스퍼 로봇(A1)의 동작에 대해서 설명한다. Next, the operation of the transfer robot A1 will be described.
도 7에 나타나 있는 것과 같이, 트랜스퍼 로봇(A1)은, 예를 들면 액정 패널 용 유리 기판과 같은 워크(W)를 카세트부(C)로부터 도외(圖外)의 워크 처리부로 이송하는 것으로서 적합하게 이용된다. 이와 같은 트랜스퍼 로봇(A1)은, 워크 반송 시스템을 구성하는 주요 설비로서 카세트부(C)에 인접한 로봇부(R)에 설치된다. 또한, 카세트부(C)는, 도 14에 나타낸 종래의 것과 동일한 설비, 예를 들면 승강 프레임(C1)이나 롤러 컨베이어(C2) 등과 같은 설비를 갖는 것이고, 그 동작도 종래의 것과 동일하다. As shown in FIG. 7, the transfer robot A1 suitably transfers the workpiece | work W like the glass substrate for liquid crystal panels, for example from the cassette part C to the workpiece | work processing part of the offshore. Is used. Such a transfer robot A1 is provided in the robot part R adjacent to the cassette part C as a main facility which comprises a workpiece conveyance system. In addition, the cassette part C has the same equipment as the conventional one shown in FIG. 14, for example, the same facilities as the lifting frame C1, the roller conveyor C2, etc., and the operation | movement is the same as the conventional one.
카세트부(C)의 롤러 컨베이어(C2)는, 그 전단이 카세트부(C)와 로봇부(R)와의 사이에 설치된 워크 수수구(授受口)(T) 부근에 위치하고, 워크(W)는, 롤러 컨베이어(C2)에 의해 그 전단을 넘을 때까지 반송된다. 즉, 롤러 컨베이어(C2)에 의해 워크(W)가 반송되는 거리는, 대략 도 7에 나타낸 거리(L0')로 된다. In the roller conveyor C2 of the cassette part C, the front end is located in the vicinity of the work receiving port T provided between the cassette part C and the robot part R, and the workpiece | work W is It is conveyed by the roller conveyor C2 until it exceeds the front end. That is, the distance by which the workpiece | work W is conveyed by the roller conveyor C2 becomes the distance L0 'shown in FIG.
롤러 컨베이어(C2)에 의한 워크(W)의 반송에 앞서, 트랜스퍼 로봇(A1)은 다음과 같이 작동한다. 즉, 도 7 및 도 8에 나타나 있는 것과 같이, 롤러 컨베이어(C2)의 전단에, 예를 들면 상측 핸드(4B)의 선단(포크부(41)의 선단)을 옆으로 갖다 댄다. 구체적으로는, 핸드(4B)는, 승강기구(2)나 직선 이동 기구(3B)에 의해, 연직 방향 및 수평 직선 이동 경로(S)를 따라 이동시킨다. 그 결과, 핸드(4B)는, 도 7에 있어서 실선으로 나타낸 홈 포지션으로부터, 가상선으로 나타낸 정지 위치까지 이동한다. 이 때에, 핸드(4B)가 수평 직선 이동 경로(S)를 따라 이동하는 거리는, 대략 도 7에 나타내는 거리(L1')로 된다. 그리고, 롤러 컨베이어(C2)가 워크(W)의 반송을 시작하는 상태가 되면, 트랜스퍼 로봇(A1)은, 핸드(4B)의 롤러(42)를 롤러 컨베이어(C2)의 회전 방향과 동일한 방향으로 회전시킨다. Prior to conveyance of the workpiece W by the roller conveyor C2, the transfer robot A1 operates as follows. That is, as shown in FIG. 7 and FIG. 8, the front end of the
롤러 컨베이어(C2)의 전단을 넘은 후에는, 워크(W)는, 회전하는 복수의 롤러(42)에 지지된 상태로 되고, 워크(W)는, 이들 롤러(42)에 의해서 포크부(41)의 후단측으로 이동된다. 롤러(42)의 회전은, 예를 들면, 롤러 컨베이어(C2)가 워크(W)의 반송을 시작하고 나서 소정 시간 경과한 후에 정지된다. 이와 같이 해서, 워크(W)는, 롤러 컨베이어(C2) 상으로부터 핸드(4B) 상으로 실어 옮긴다. 본 발명에 있어서는, 워크(W)를 확실하게 정지시키기 위해서, 포크부의 후단에 워크(W)와 계합하는 스토퍼를 설치해 두어도 좋다. 이와 같은 스토퍼를 설치하는 경우에는, 워크(W)가 스토퍼에 계합하고 나서 소정 시간 경과한 후에, 롤러(42)의 회전을 정지하도록 구성해도 좋다. 또는, 포크부의 후단에 워크(W)를 검출하는 센서를 설치해 두어도 좋다. 이 경우에는, 예를 들면, 해당 센서에 의해 워크가 검출된 시점에서 롤러의 회전을 정지시킨다. After exceeding the front end of the roller conveyor C2, the workpiece | work W becomes the state supported by the some
핸드(4B) 상에 실은 워크(W)는, 도 9 (a)에 나타낸 것과 같이, 수평 직선 이동 경로(S)에 대해서 경사진 자세가 될 수도 있다. 이와 같은 경우를 위해서, 트랜스퍼 로봇(A1)은, 도 9 (b)에 나타낸 것과 같이, 사이드 암(43)을 포크부(41) 내로 어느 정도 인입시킨다. 이것에 의해, 핸드(4B) 상의 워크(W)는, 4부분(각 측 가장자리의 전후 2부분)으로 사이드 암(43)에 의해 협지된 상태로 되고, 수평 직선 이동 경로(S)에 따른 적정한 자세로 교정된다. 그 후, 워크(W)를 실은 핸드(4B)는, 수평 직선 이동 경로(S)를 따라 후퇴하게 된다. The workpiece | work W put on the
상기와 동일한 방법에 의해, 워크(W)를 롤러 컨베이어(C2)로부터 하측 핸드(4A) 상으로 이동 재치할 수 있다. 또한, 핸드(4A) 상에 있어서 워크(W)의 자세를 교정하는 것도 상기와 마찬가지로 행할 수 있다. 물론, 워크(W)는, 상측 핸드(4B)보다도 먼저 하측 핸드(4A)에 이동 재치해도 좋다. By the method similar to the above, the workpiece | work W can be moved and mounted on the
워크(W)를 실은 핸드(4A) 및 (4B)을 수평 직선 이동 경로(S)를 따라 후퇴한 후는, 트랜스퍼 로봇(A1)의 회전 부재(31)를 예를 들면 180도(또는 90도)회전시킨다. 이것에 의해, 워크(W)를 실은 각 핸드(4A, 4B)를 소망하는 워크 처리부를 향한 자세로 한다. 또한, 승강기구(2)나 직선 이동 기구(3A, 3B)를 작동시킴으로서, 핸드(4A, 4B)를 소정의 워크 처리부로 이동시킨다. 이상과 같은 일련의 동작을 행함으로서, 트랜스퍼 로봇(A1)은, 카세트부(C)로부터 이송처가 되는 워크 처리부에 대해서 워크(W)를 2개씩 모아서 효율 좋게 이송할 수 있다. 핸드(4A, 4B) 상에 실은 워크(W)를 워크 처리부로 옮길 때, 핸드(4A, 4B)에 있어서 롤러(42)는, 소정 방향(카세트부(C)로부터 워크(W)를 수취할 때의 회전 방향과는 역방향)으로 회전시킨다. 이것에 의해, 핸드(4A, 4B) 상의 워크(W)는, 수평 직선 이동 경로(S)를 따라 앞쪽측으로 송출되고 워크 처리부의 소정 부분으로 이동된다. After retracting the
상기 트랜스퍼 로봇(A1)에 의하면, 롤러 컨베이어(C2)에 핸드(4A) 또는 (4B)을 옆으로 갖다 댄 상태에서, 카세트부(C)로부터 직접 워크(W)를 수취할 수 있다. 이 때문에, 종래의 워크 반송 시스템에서는 필요로 되었던 버퍼부나 그것을 위한 설치 스페이스가 불필요하게 되고, 이것에 의해 워크 반송 시스템의 스케일 다운을 도모할 수 있다. According to the said transfer robot A1, the workpiece | work W can be directly received from the cassette part C in the state which attached the
또한, 상기 트랜스퍼 로봇(A1)에 의하면, 롤러 컨베이어(C1) 에 대해서 가능한 한 가까운 위치에 트랜스퍼 로봇(A1)을 설치할 수 있고, 핸드(4A, 4B)를 이동시키는 거리(L1')를 종래의 거리(L1)(도 14 참조)와 비교해서 상당히 짧게 할 수 있다. 그 때문에, 동작시에는, 핸드(4A, 4B)를 연직 방향이나 수평 직선 이동 경로(S)를 따라 보다 안정된 자세로 움직이게 할 수 있다. 또한, 승강기구(2)나 직선 이동 기구(3A, 3B)로서는, 작동 범위가 종래에 비해 작게 끝나는 것으로부터, 가능한 한 소형의 것을 채용할 수 있고, 이것에 의해 로봇 전체의 소형화를 도모할 수 있다. Moreover, according to the said transfer robot A1, the transfer robot A1 can be provided in the position as close as possible with respect to the roller conveyor C1, and the distance L1 'which moves the
다음으로, 본 발명의 다른 실시 형태에 대해서 설명한다. Next, another embodiment of the present invention will be described.
도 10~13은, 본원 발명의 제 2 실시예에 근거한 트랜스퍼 로봇을 나타내고 있다. 또한, 도 10~13에 있어, 이미 상술한 제 1 실시예의 것과 동일 또는 유사한 요소에는, 동일 부호를 붙이고 있다. 10-13 show the transfer robot based on the 2nd Example of this invention. 10 to 13, the same or similar elements as those of the first embodiment described above are denoted by the same reference numerals.
제 2 실시예의 트랜스퍼 로봇(A2)은, 도 10~13에 나타나 있는 것과 같이, 고정 베이스(1), 승강기구(5), 제 1 직선 이동 기구(6A), 제 2 직선 이동 기구(6B), 하측 핸드(4A) 및 상측 핸드(4B)를 구비해서 구성되어 있다. 승강기구(5)는, 고정 베이스(1)에 대해서 연직축 주위에 회전 가능하게 장착되어 있고, 직선 이동 기구(6A, 6B)를 연직 방향으로 승강시킨다. 하측 핸드(4A) 및 상측 핸드(4B)는 각각, 직선 이동 기구(6A, 6B)에 의해 수평 직선 이동 경로(S)(도 11 참조)을 따라 전진?후퇴하게 된다. As shown in Figs. 10 to 13, the transfer robot A2 of the second embodiment includes the fixed
승강기구(5)는, 도 12에 나타나 있는 것과 같이, 프레임 부재(50), 한 쌍의 래크 기어(51), 및 승강용 모터(M3)를 구비해서 구성되어 있다. 프레임 부재(50)는, 상기 고정 베이스(1)에 대해 z축 주위에 회전 가능하게 장착되어 있다. 래크 기어(51)는, 프레임 부재(50)의 양측에 있어 z축 방향을 따르도록 설치되어 있다. 승강용 모터(M3)는, 지지 베이스(60)(후술)에 설치되어 있고, 피니언 기어나 감속 장치(도시 생략)를 개재해서 래크 기어(51)에 연결되어 있다. As shown in FIG. 12, the
고정 베이스(1)의 적당한 부분에는, 프레임 부재(50)를 축주위에 회전시키기 위한 모터나 감속 기구(도시 생략)가 설치되어 있다. 지지 베이스(60)에는, 피니언 기어(도시 생략)가 래크 기어(51)와 평상시 서로 맞물리도록 설치되어 있다. 지지 베이스(60)는, 수평한 자세를 유지하면서 래크 기어(51)에 지지되어 있다. 승강용 모터(M3)의 구동에 의해 피니언 기어가 회전하면, 지지 베이스(60)는, 래크 기어(51)에 대한 피니언 기어의 직선 운동에 수반해, 수평한 자세를 유지하면서 z축 방향으로 승강한다. A suitable portion of the fixed
도 10 및 도 13에 나타나 있는 것과 같이, 직선 이동 기구(6A, 6B)는, 이들 쌍방의 공통 부재로 이루어진 지지 베이스(60)를 구비한다. 또한 직선 이동 기구(6A, 6B)는 각각, 가이드 레일(61A, 61B)과, 슬라이드 레일(62A, 62B)을 구비하고 있다. 가이드 레일(61A, 61B)은, 지지 베이스(60)에 고정되고 있고, x축 방향에 길게 연장해 있다. 슬라이드 레일(62A, 62B)은 각각, 가이드 레일(61A, 61B)에 슬라이드 가능하게 지지되어 있음과 동시에, 핸드(4A, 4B)를 x축 방향을 따라 슬라이드 가능하게 지지하고 있다. 가이드 레일(61A, 61B) 및 슬라이드 레일(62A, 62B)은, 슬라이드 기구를 구성하고 있다. 가이드 레일(61A) 및 슬라이드 레일(62A)의 조(「제1조」)는, 수평 직선 이동 경로(S)를 대칭축으로 해서 해당 경로(S)의 양측에 배치되어 있다. 마찬가지로, 가이드 레일(61B)및 슬라이드 레일(62B)의 조 (「제2조」)도, 수평 직선 이동 경로(S)를 대칭축으로 해서 해당 경로(S)의 양측에 배치되어 있다. 단, 상기 제1조는, 상기 제2조보다도 수평 직선 이동 경로(S)의 근처에 배치되어 있다. As shown to FIG. 10 and FIG. 13, the
도 13에 나타나 있는 것과 같이, 가이드 레일(61A, 61B)의 측부에는, 래크 기어(61a, 61b)가 고정되어 있다. 또한, 슬라이드 레일(62A, 62B)에는, 상기 래크 기어(61a, 61b)에 피니언 기어(63a, 63b)나 감속 기구(도시 생략)를 개재해서 연결된 제1 슬라이드용 모터(63A, 63B)가 고정되어 있다. 슬라이드 레일(62A, 62B)의 측부에는, 래크 기어(62a, 62b)가 고정되어 있다. 또한, 핸드(4A, 4B)의 기부(40A, 40B)에는, 상기 래크 기어(62a, 62b)에 피니언 기어(64a, 64b)나 감속 기구(도시 생략)를 개재해서 연결된 제 2 슬라이드용 모터(64A, 64B)가 고정되어 있다. 이와 같은 직선 이동 기구(6A, 6B)에 있어서는, 예를 들면 제 1 슬라이드용 모터(63A)의 구동에 의해 피니언 기어(63a)가 소정 방향으로 회전하면, 이 피니언 기어(63a)가 래크 기어(61a)에 대해서 직선 운동을 행함으로서, 한 쌍의 슬라이드 레일(62A)이 가이드 레일(61A)을 따라 x축 방향으로 슬라이드 한다. 또한 제 2 슬라이드용 모터(64A)의 구동에 의해 피니언 기어(64a)가 소정 방향으로 회전하면, 이 피니언 기어(64a)가 래크 기어(62a)에 대해서 직선 운동을 행함으로서, 하측 핸드(4A)가 슬라이드 레일(62A)을 따라 x축 방향으로 슬라이드 하면서 전진 또는 후퇴한다. 마찬가지로, 제 1 슬라이드용 모터(63B)의 구동에 의해 피니언 기어(63b)가 소정 방향으로 회전하면, 한 쌍의 슬라이드 레일(62B)이 가이드 레일(61B)을 따라 x축 방향으로 슬라이드 한다. 또한, 제 2 슬라이드용 모터(64B)의 구동에 의 해 피니언 기어(64b)가 소정 방향으로 회전하면, 상측 핸드(4B)가 슬라이드 레일(62B)을 따라 x축 방향으로 슬라이드 하면서 전진 또는 후퇴한다. As shown in FIG. 13, the rack gears 61a and 61b are being fixed to the side part of
핸드(4A, 4B)는, 이들 기부(40A, 40B)의 형상이나 포크부(41)의 수(본 실시예에서는 4개 )가 다른 것 이외는, 대략 앞에서 상술한 제 1 실시예의 것과 동일한 구성이고, 롤러(42)나 사이드 암(43) 등을 가지고 구성되어 있다. 하측 핸드(4A)의 기부(40A)는, 전체적으로 판 모양으로 형성되어 있고, 그 하면부가 수평 직선 이동 경로(S)의 양측 근방부에 위치하는 한 쌍의 슬라이드 레일(62A)에 지지되어 있음과 동시에, 그 상면부에는 포크부(41)의 후단이 고정되어 있다. 한편, 상측 핸드(4B)의 기부(40B)는, 하측 핸드(4A)와 간섭하는 일이 없도록, 이 핸드(4A)의 양측을 우회하는 단면 형상으로 되어 있다. 이와 같은 상측 핸드(4B)의 기부(40B)는, 하측 핸드(4A)의 양측 하방으로 돌아들어간 하단부(40b)가 수평 직선 이동 경로(S)의 양측 원격부에 위치하는 한 쌍의 슬라이드 레일(62B)에 지지되어 있고, 상면부(40c)에 포크부(41)의 후단이 고정되어 있다. The
상술한 트랜스퍼 로봇(A2)도, 도 7에 나타난 것과 같은 카세트부(C)에 인접한 로봇부(R)에 설치해서 이용할 수 있다. 트랜스퍼 로봇(A2)은, 승강기구(5) 및 직선 이동 기구(6A, 6B)를 작동시킴으로서, 롤러 컨베이어(C2)의 전단에 하측 및 상측 핸드(4A, 4B)를 옆으로 갖다 댈 수 있다. 롤러 컨베이어(C2)로부터 워크(W)를 수취할 때의 동작이나, 핸드(4A, 4B) 상의 워크(W)의 위치 조정을 행하는 동작은, 제 1 실시예의 경우와 동일하다. The above-mentioned transfer robot A2 can also be provided in the robot part R adjacent to the cassette part C as shown in FIG. By operating the
핸드(4A, 4B) 상에 워크(W)가 실리면, 트랜스퍼 로봇(A2)은, 프레임 부재 (50)를 예를 들면 180도 또는 90도 회전시키고, 워크(W)를 실은 2개의 핸드(4A, 4B)를 소망하는 워크 처리부를 향하는 자세로 한다. 또한, 트랜스퍼 로봇(A2)은, 승강기구(5)나 직선 이동 기구(6A, 6B)를 다시 작동시킴으로서 핸드(4A, 4B)를 워크 처리부로 이동시킨다. 이와 같이, 트랜스퍼 로봇(A2)에서도, 카세트부(C)로부터 워크 처리부로, 워크(W)를 2개씩 모아서 이송할 수 있다. When the workpiece W is loaded on the
따라서 트랜스퍼 로봇(A2)에 의해서도, 워크 반송 시스템의 스케일 다운이나, 로봇 전체의 소형화와 같은 효과를 얻을 수 있다. Therefore, also by transfer robot A2, the effect of scale down of a workpiece conveyance system, and size reduction of the whole robot can be acquired.
또한, 본원 발명은, 상술한 실시예에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 본 발명의 트랜스퍼 로봇은, 1개의 핸드를 구비한 것이라도 좋다. 또한, 워크를 수취할 때의 핸드의 높이와 주고받는 부분의 높이가 동일한 경우에는, 핸드의 높이를 가변으로 하기 위한 승강기구가 없어도 좋다. In addition, this invention is not limited to the Example mentioned above. For example, the transfer robot of the present invention may be provided with one hand. In addition, when the height of the hand at the time of receiving the work and the height of the part to which the hand is exchanged are the same, there may be no lifting mechanism for changing the height of the hand.
본 발명의 트랜스퍼 로봇에 따르면, 롤러 컨베이어에 워크 지지 수단을 옆으로 갖다 댄 상태에서 워크를 수취할 수 있기 때문에, 종래의 버퍼부와 같은 설비나 그 설치 스페이스가 불필요하게 되고, 워크 반송 시스템의 스케일 다운을 도모할 수 있다. According to the transfer robot of the present invention, since the workpiece can be received while the workpiece supporting means is placed sideways on the roller conveyor, the same equipment as that of the conventional buffer unit and its installation space are unnecessary, and the scale of the workpiece conveying system is reduced. I can aim down.
또한, 트랜스퍼 로봇에 대해서는, 롤러 컨베이어에 대해서 비교적 가까운 위치에 설치할 수 있기 때문에, 가능한 한 워크 지지 수단의 이동 거리를 단축해서 소형화를 도모할 수 있다.In addition, since the transfer robot can be installed at a position relatively close to the roller conveyor, the transfer distance of the work support means can be shortened as much as possible.
Claims (10)
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JPJP-P-2004-00135995 | 2004-04-30 | ||
JP2004135995A JP4495509B2 (en) | 2004-04-30 | 2004-04-30 | Transfer robot |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20060045829A KR20060045829A (en) | 2006-05-17 |
KR101149952B1 true KR101149952B1 (en) | 2012-06-11 |
Family
ID=35444936
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020050033948A KR101149952B1 (en) | 2004-04-30 | 2005-04-25 | Transfer robot |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4495509B2 (en) |
KR (1) | KR101149952B1 (en) |
TW (1) | TW200540085A (en) |
Families Citing this family (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101192751B1 (en) | 2005-12-29 | 2012-10-18 | 엘지디스플레이 주식회사 | manufacturing device for flat panel display and method thereof |
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- 2004-04-30 JP JP2004135995A patent/JP4495509B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2005
- 2005-04-18 TW TW094112246A patent/TW200540085A/en not_active IP Right Cessation
- 2005-04-25 KR KR1020050033948A patent/KR101149952B1/en not_active IP Right Cessation
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TW200540085A (en) | 2005-12-16 |
KR20060045829A (en) | 2006-05-17 |
JP2005317854A (en) | 2005-11-10 |
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Legal Events
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A201 | Request for examination | ||
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E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150512 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160509 Year of fee payment: 5 |
|
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |