KR101145219B1 - 광출력장치 및 이를 채용한 광주사유니트 - Google Patents

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Abstract

전체 구조가 컴팩트하고, 표면광 레이저에서 출사되는 광량을 자동 조절하기 위하여 검출되는 신호특성을 향상시킬 수 있도록 된 구조의 광출력장치 및 이를 채용한 광주사유니트가 개시되어 있다.
이 개시된 광출력장치는 기판과; 기판 상의 복수 개소에 이격되게 마련되며, 기판에 대해 수직한 방향으로 광을 출사하는 각각의 출사면을 가지는 복수의 표면광 레이저와; 기판 상의 표면광 레이저의 주위에 마련되어, 복수의 표면광 레이저 각각을 전기 및 광학적으로 고립시키는 아이솔레이터와; 복수의 표면광 레이저 각각의 출사면 및 아이솔레이터 상에 마련되며, 표면광 레이저 각각에서 출사된 광빔의 일부를 수광하여 표면광 레이저 각각의 출사 광량을 모니터링하는 모니터용 광검출기를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

광출력장치 및 이를 채용한 광주사유니트{LIGHT EMITTING DEVICE AND LIGHT SCANNING UNIT EMPLOYING THE SAME}
본 발명은 모니터용 광검출기가 일체로 마련된 광출력장치 및 이를 채용한 광주사유니트에 관한 것으로서, 상세하게는 전체 구조가 컴팩트하고, 표면광 레이저에서 출사되는 광량을 자동 조절하기 위하여 검출되는 신호특성을 향상시킬 수 있도록 된 구조의 광출력장치 및 이를 채용한 광주사유니트에 관한 것이다.
일반적으로, 표면광 레이저(Vertical Cavity Surface Emitting Laser; VCSEL)는 모서리 발광 레이저와는 달리 적층방향 즉, 표면에 수직한 방향으로 레이저 광을 출사한다. 따라서, 이 표면광 레이저를 이용한 광출력장치는 단일 웨이퍼 상에 복수의 표면광 레이저가 집적 가능하므로 이차원 배열이 용이하다. 따라서, 레이저 프린터, 레이저 스캐너, 의료장비 및 통신분야 등 광응용 분야에서 널리 이용될 수 있다.
한편, 이 표면광 레이저를 이용한 광출력장치는 표면광 레이저에서 출력되는 광량을 자동으로 제어하기 위하여 모니터링이 필요하다. 이 표면광 레이저는 모서리 발광 레이저와는 달리 한 방향으로 광빔을 출사하므로, 이 광빔을 통하여 광주 사유니트의 주사용 광빔과 같은 본래의 기능과 모니터링을 모두 수행하여야 한다.
일반적으로, 상기 모니터링을 위한 모니터용 광검출기는 광출력장치 내부 또는 외부에 마련될 수 있다. 상기 모니터용 광검출기를 광출력장치 외부에 마련하는 경우는 상기 표면광 레이저에서 출력된 광빔을 두 경로로 나누기 위하여 하프 플레이트와 같은 광학요소가 추가되므로, 단가가 상승되는 단점이 있다.
도 1은 종래의 일 예에 따른 모니터용 광검출기를 광출력장치 내부에 마련하는 방식의 광출력장치를 보인 개략적인 단면도이다.
도면을 참조하면, 기판(1)과, 이 기판(1) 상에 마련된 표면광 레이저(3) 및 표면광 레이저(3)의 광출력을 제어하는 광출력 제어부(5)를 포함한다. 상기 광출력 제어부(5)는 상기 표면광 레이저(3)에 이웃되게 상기 기판(1) 상에 마련된 모니터용 광검출기(6)와, 투명 커버글래스(7a)가 설치된 하우징(7) 및 자동 출력 제어회로(Auto Power Controller; 이하, 'APC'라 한다)(9) 을 포함한다. 상기 하우징(7)은 상기 표면광 레이저(3)와 상기 모니터용 광검출기(6)를 감싸도록 상기 기판(1) 상에 설치된다. 상기 커버글래스(7a)는 상기 표면광 레이저(3)에서 출사된 광의 진행경로 상에 위치되어, 상기 표면광 레이저(3)에서 출사된 광의 대부분은 투과시키고, 그 일부는 상기 모니터용 광검출기(6) 방향으로 반사시킨다.
이 종래의 광출력장치는 상기 표면광 레이저(3)에서 출사된 광의 일부분이 상기 커버글래스(7a)에서 반사되고, 상기 모니터용 광검출기(6)는 반사된 광을 수광하여 광전변환 후 상기 APC(9)에 전달한다. 따라서, 상기 표면광 레이저(3)의 광출력을 제어할 수 있다.
한편, 도 1에 개시된 바와 같은 구조의 광출력장치는 여러 방해 요인으로 인하여, 상기 모니터용 광검출기로 향하는 광량이 상기 표면광 레이저에서 출사된 광량에 비례하지 않게 되어, 정확한 광출력 제어가 어렵다는 단점이 있다. 여기서, 상기한 방해 요인으로는 첫째 구동전류와 온도에 따라 가변되는 상기 표면광 레이저에서 출력되는 광의 발산각 변화가 있으며, 둘째 난반사가 있다. 첫째 요인의 경우, 상기 표면광 레이저에서 출사되는 광의 발산각이 변화함에 따라 전체 출사광량 중 상기 모니터용 광검출기로 향하는 광량이 가변되어 표면광 레이저의 출사 광량에 비례하는 수광 광량을 검출하기 어렵게 된다. 둘째 요인에 의하여, 하우징 외부에서의 난반사된 광빔이 상기 모니터용 광검출기에 수광되어 표면광 레이저에서 출사된 광량에 비례하는 수광 광량을 검출하기 어렵게 된다.
또한, 상기 커버글래스(7a)에서 반사된 광이 모두 상기 모니터용 광검출기(6)로 향하지 않는다는 단점이 있다. 이로서 광검출기에서 출력되는 전류 량이 더더욱 작아지게 되어, 상기 표면광 레이저(3)의 광출력을 정상적으로 제어하지 못할 수 있다.
종래의 다른 예에 따른 모니터용 광검출기를 광출력장치 내부에 마련하는 방식으로는 표면광 레이저의 기판 자체를 모니터용 광검출기를 포함하도록 제작하는 것이다. 즉, 모니터용 광검출기의 전극층을 표면광 레이저의 하부 반사기층과 같은 반도체 타입으로 도핑하여, 상기 모니터용 광검출기 위에 상기 표면광 레이저의 기판을 적층하는 것이다. 이 경우, 상기 표면광 레이저의 하부 반사기층을 투과하여 출사된 광빔을 상기 모니터용 광검출기가 수광하므로, 도 1에 도시된 바와 같은 구 조의 광출력장치가 가지는 문제점을 보완할 수 있다.
한편, 이 방식에 따른 광출력장치는 기판을 새로 제작해야 한다는 단점이 있으며, 기판을 새로 제작하더라도 웨이퍼 성장 조건을 설정하기 어렵다는 단점이 있다.
따라서, 본 발명은 상기한 바와 같은 문제점들을 감안하여 안출된 것으로서, 기판을 구조를 변화없이, 표면광 레이저에서 출사된 광의 발산각 가변과 외부광의 난반사에 영향을 받지 않고 정확하게 광출력을 자동으로 제어할 수 있도록 함과 아울러, 모니터링용 광빔의 손실을 최소화할 수 있도록 된 구조의 광출력장치를 제공하는데 일 목적이 있다.
또한, 본 발명은 적어도 하나의 표면광 레이저를 이용하여 광빔을 주사함과 아울러, 멀티빔 주사시 멀티빔 사이의 광 출력 차이에 의한 화상 불량을 줄일 수 있도록 된 구조의 광주사유니트를 제공하는데 다른 목적이 있다.
상기한 일 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 광출력장치는,
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기판과; 상기 기판 상의 복수 개소에 이격되게 마련되며, 상기 기판에 대해 수직한 방향으로 광을 출사하는 출사면을 각각 가지는 복수의 표면광 레이저와; 상기 기판 상의 상기 표면광 레이저의 주위에 마련되어, 상기 복수의 표면광 레이저 각각을 전기 및 광학적으로 고립시키는 아이솔레이터와; 상기 복수의 표면광 레이저 각각의 출사면 및 상기 아이솔레이터 상에 마련되며, 상기 표면광 레이저 각각에서 출사된 광빔의 일부를 수광하여 상기 표면광 레이저 각각의 출사 광량을 모니터링하는 모니터용 광검출기를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 모니터용 광검출기는 상기 복수의 표면광 레이저 각각의 출사면 상에 마련된 복수의 광검출부를 포함한다. 상기 복수의 광검출부 각각은 대응되는 출사면 전체의 상부에 배치되며 그 내부에 상기 출사면에서 출사된 광이 통과하는 어퍼쳐가 형성되거나, 대응되는 출사면의 일부 상면을 덮도록 배치될 수 있다.
또한, 상기 모니터용 광검출기는 상기 복수의 표면광 레이저 각각의 출사면 중 적어도 2개 이상의 출사면에서 출사된 광을 수광할 수 있도록 마련된 적어도 하나의 광검출부를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명은 상기 표면광 레이저와 상기 모니터용 광검출기 사이에 개재 되어, 상기 표면광 레이저와 상기 모니터용 광검출기를 전기적으로 절연시키며, 입사광은 투과시키는 절연층과; 상기 모니터용 광검출기 상에 마련되어, 외부로부터 광이 입사되는 것을 방지하는 금속층을 더 포함할 수 있다.
또한, 상기한 다른 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 광주사유니트는,
상기한 구조의 광출력장치와; 상기 광출력장치에서 출사된 광빔을 감광매체의 주주사방향으로 편향 주사시키는 빔편향기를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기한 바와 같이 구성된 본 발명에 따른 광출력장치는 모니터용 광검출기를 표면광 레이저 상에 결합하는 구조를 가지므로 기판의 구조를 변경함이 없이 전체적으로 컴팩트화할 수 있다. 또한, 표면광 레이저의 출사면을 통하여 출력되는 광을 직접 수광하여 모니터링하므로, 표면광 레이저에서 출사되는 광의 발산각에 의한 영향을 거의 받지 않는다. 그러므로, 검출되는 모니터링용 광신호의 신호특성을 향상시킬 수 있다.
또한, 복수의 표면광 레이저를 단일 기판 상에 배열함으로써, 동시에 복수의 광빔을 조사할 수 있다. 그리고, 모니터용 광검출기의 외부면 상에 외부로부터 광이 입사되는 것을 방지하는 금속층을 포함함으로써, 외부로부터의 난반사에 의한 영향을 최소화할 수 있다.
또한, 표면광 레이저 상에 모니터용 광검출기가 형성되는 구조를 가지므로, 광가이드 길이가 길어지게 되어, 상기 표면광 레이저에서 출사되는 광빔의 발산각 변화를 줄일 수 있다. 그리고, 표면광 레이저에서 출력되는 광을 직접 모니터용 광 검출기가 수광함으로써, 모니터용 광빔의 손실을 최소화할 수 있다. 따라서 보다 안정적으로 상기 표면광 레이저의 광출력을 제어할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 광주사장치는 상기한 구조의 광출력장치를 광원으로 채용함으로써, 빔편향기에 단일 또는 멀티 빔을 안정적으로 조사할 수 있다. 나아가, 멀티빔을 구현하는 경우 멀티 빔 간의 광 출력 차이를 줄임으로써 광빔간 광출력 차이로 인한 화상 불량을 줄일 수 있다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 광출력장치 및 이를 채용한 광주사장치를 상세히 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 광출력장치를 보인 개략적인 단면도이다.
도면을 참조하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 광출력장치는 기판(11)과, 상기 기판(11) 상에 마련된 표면광 레이저(13)와, 모니터용 광검출기(15)를 포함한다.
상기 표면광 레이저(13)는 상기 기판(11)에 대해 수직한 방향으로 광을 출사하는 출사면을 포함한다. 상기 표면광 레이저(13)는 레이저 광을 생성하는 활성층(13a)과, 이 활성층(13a)의 양쪽면에 각각 위치하는 제1 및 제2반사기층(13b)(13c)을 포함한다. 상기 제1반사기층(13b)은 상기 기판(11) 상에 위치하며, 상기 제2반사기층(13c)과 함께 공진기를 구성한다. 이 표면광 레이저(13)의 구성 자체는 널리 알려져 있으므로, 그 자세한 설명은 생략하기로 한다.
상기 모니터용 광검출기(15)는 상기 표면광 레이저(13)와는 독립적으로 제조되는 것으로 상기 출사면(14) 상에 결합 설치된다. 이 모니터용 광검출기(15)는 상기 출사면(14) 상에 결합 설치되며, 상기 표면광 레이저에서 출사된 광빔의 일부를 수광하여 상기 표면광 레이저의 출사광량을 모니터링 한다. 즉, 상기 모니터용 광검출기(15)는 수광량에 대응하여 가변되는 전기신호를 자동출력 제어회로(APC)(23)에 출력한다. 여기서, APC(23)는 상기 모니터용 광검출기(15)와 상기 표면광 레이저(13) 사이에 마련되며, 모니터링용 광량을 기초로 상기 표면광 레이저(13)의 출사 광량을 제어한다.
상기 모니터용 광검출기(15)는 상기 출사면(14) 전체의 상부에 배치되며, 그 내부에 상기 출사면(14)에서 출사된 광이 통과하는 어퍼쳐(25)가 형성될 수 있다. 여기서, 상기 어퍼쳐(25)는 상기 표면광 레이저(13) 상에 상기 모니터용 광검출기(15)를 결합 설치한 후에 형성되는 것이 바람직하다. 상기 어퍼쳐(25)는 식각 공정을 통하여 형성될 수 있다. 이 경우, 상기 어퍼쳐(25)의 형성 위치에 대한 별도의 정렬이 없어도 정확한 위치에 어퍼쳐(25)를 형성할 수 있다는 이점이 있다. 한편, 상기 어퍼쳐(25)를 형성하는 대신 링 형상의 모니터용 광검출기를 마련하고 이를 상기 표면광 레이저(13) 상에 결합하는 것도 가능하다.
따라서, 상기 출사면(14)을 통하여 출사된 광의 대부분은 상기 어퍼쳐(25)를 투과하여 진행하고, 출사광의 나머지 부분은 상기 모니터용 광검출기(15)의 하부 및 어퍼쳐(25)가 형성된 내측벽을 통하여 상기 모니터용 광검출기(15)에 수광된다.
또한, 상기 모니터용 광검출기(15)를 배치함에 있어서, 도 2에 도시된 구성 이외에도, 도 6 내지 도 8에 도시된 바와 같이 상기 출사면의 일부 상면을 덮도록 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 표면광 레이저(13)와 상기 모니터용 광검출기(15) 각각은 능동소자로서 전극(미도시)을 포함한다. 한편, 상기 전극의 구성, 배치 및 회로 구성 자체는 널리 알려져 있으므로, 그 자세한 설명은 생략하기로 한다.
또한, 본 발명의 제1실시예에 따른 광출력장치는 상기 기판(11) 상에 아이솔레이터(17)를 더 포함할 수 있다. 상기 아이솔레이터(17)는 상기 기판(11) 상의 상기 표면광 레이저(13)의 주위에 마련되어, 상기 표면광 레이저(13)를 전기 및 광학적으로 고립시킨다. 따라서, 고립된 표면광 레이저(13)가 주변 환경의 영향을 받지 않도록 한다. 또한 상기 아이솔레이터(17)의 상면은 상기 표면광 레이저(13)의 출사면(14)과 동일 평면에 위치되어, 상기 표면광 레이저(13) 상에 모니터용 광검출기(15)를 결합 설치시, 그 하면을 지지할 수 있다.
또한, 본 발명은 상기 표면광 레이저(13)와 상기 모니터용 광검출기(15) 사이에 개재되는 절연층(19)을 더 포함할 수 있다. 상기 절연층(19)은 폴리이미드(polyimide) 등의 재질로 구성되는 것으로, 입사광은 투과시키고, 상기 표면광 레이저(13)와 상기 모니터용 광검출기(15)를 전기적으로 절연시킨다. 따라서, 상기 표면광 레이저(13)에서 출사된 광의 일부가 상기 모니터용 광검출기(15)의 하부로 입사시, 상기 절연층(19)에 의한 영향을 거의 받지 않도록 할 수 있다.
또한, 본 발명은 상기 모니터용 광검출기 상에 마련된 금속층(21)을 더 포함할 수 있다. 상기 금속층(21)은 외부로부터 난반사된 광이 입사되는 것을 방지함으 로써, 외부 광에 의한 영향을 최소화 할 수 있다.
도 3은 본 발명의 제2실시예에 따른 광출력장치를 보인 개략적인 일부 분리 사시도이고, 도 4는 도 3의 평면도이다.
도면들을 참조하면, 본 발명의 제2실시예에 따른 광출력장치는 기판(31)과, 상기 기판(31) 상에 마련된 복수의 표면광 레이저(33)와, 상기 복수의 표면광 레이저(33) 각각을 전기 및 광학적으로 고립시키는 아이솔레이터(35)와, 모니터용 광검출기(40)를 포함한다.
상기 복수의 표면광 레이저(33) 각각은 상기 기판(31) 상의 복수 개소에 이격되게 마련되며, 상기 기판(31)에 대해 수직한 방향으로 광을 출사한다. 상기 아이솔레이터(35)는 상기 기판(31) 상의 상기 표면광 레이저(33)의 주위에 마련되어, 상기 복수의 표면광 레이저(33) 각각을 전기 및 광학적으로 고립시킨다.
상기 모니터용 광검출기(40)는 상기 복수의 표면광 레이저(33) 각각의 출사면(34) 및 상기 아이솔레이터(35) 상에 마련된다. 이 모니터용 광검출기(40)는 상기 표면광 레이저(33) 각각에서 출사된 광빔의 일부를 수광하여 상기 표면광 레이저(33) 각각의 출사 광량을 모니터링한다.
상기 모니터용 광검출기(40)는 상기 복수의 표면광 레이저(33) 각각의 출사면(34) 상에 마련된 복수의 광검출부(41,43,45,47)를 포함할 수 있다. 여기서, 상기 복수의 광검출부(41,43,45,47) 각각은 상기 대응되는 출사면(34)의 상부 전체에 걸쳐 배치되며, 그 내부에 상기 출사면(34)에서 출사된 광이 통과하는 어퍼쳐(41a,43a,45a,47a)가 형성되어 있다. 상기 어퍼쳐(41a,43a,45a,47a) 각각은 상기 모니용 광검출기(40)가 상기 출사면(34)에 결합 설치된 후에 식각 공정 등을 통하여 마련되는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명은 상기 복수의 표면광 레이저(33) 각각과 상기 모니터용 광검출기(40) 사이에 개재되는 절연층(37)과, 상기 모니터용 광검출기(40) 상에 마련된 금속층(39)을 더 포함할 수 있다. 상기 절연층(37)과 상기 금속층(39)의 구성 및 작용은 앞서 설명된 바와 같으므로 그 자세한 설명은 생략하기로 한다.
상기한 바와 같이 구성된 광출력장치는 상기 복수의 표면광 레이저(33) 각각에서 출사된 광을 복수의 광검출부(41,43,45,47)를 통하여 독립적으로 수광할 수 있으므로, 상기 복수의 표면광 레이저(33) 전체에 대하여 동시에 광출력을 모니터링 할 수 있다. 여기서, 상기 표면광 레이저(33) 각각에서 출사된 광량 중 상기 복수의 광검출부(41,43,45,47) 각각에 수광되는 광량의 비는 상기 광검출부(41,43,45,47)가 상기 출사면(34)를 가리는 넓이에 따라 변화하므로, 이 가리는 넓이를 수정함으로써 출사광량에 대한 모니터링 광량비를 임의로 정할 수 있다.
도 5는 본 발명의 제3실시예에 따른 광출력장치를 보인 평면도이다.
도면을 참조하면, 본 발명의 제3실시예에 따른 광출력장치는 기판(31)과, 상기 기판(31) 상에 마련된 복수의 표면광 레이저(33)와, 상기 복수의 표면광 레이저(33) 각각을 전기 및 광학적으로 고립시키는 아이솔레이터(35)와, 모니터용 광검출기(50)를 포함한다. 본 실시예에 따른 광출력장치는 제2실시예와 비교하여 볼 때, 모니터용 광검출기(50)의 구조를 변경한 것에 특징이 있는 것으로서, 다른 구성요소는 제2실시예에 따른 광출력장치와 실질상 동일하므로 동일 부재명 및 부재 번호를 사용하였다.
상기 모니터용 광검출기(50)는 상기 복수의 표면광 레이저(33) 각각의 출사면(34) 중 적어도 2개 이상의 출사면에서 출사된 광을 수광할 수 있도록 마련된 적어도 하나의 광검출부를 포함한다. 도 5는 1×4 배열 구조로 배치된 4개의 표면광 레이저(33)와, 이 4개의 표면광 레이저(33) 각각의 출사면(34)에서 출사된 광 모두를 수광할 수 있도록 된 하나의 광검출부(51)를 포함하는 광출력장치를 예로 들어 나타낸 것이다. 여기서, 상기 광검출부(51)는 상기 출사면(34)에서 출사된 광이 투과되는 4개의 어퍼쳐(51a,51b,51c,53d)가 형성되어 있다. 상기한 바와 같이, 광출력장치를 구성하는 경우 모니터용 광검출기의 결합, 전기 배선을 단순화할 수 있다. 한편, 4개의 표면광 레이저를 동시에 구동하는 경우 각 표면광 레이저의 출사광량을 독립적으로 모니터링할 수 없는 바, 광출력 제어시 상기 4개의 표면광 레이저(33)를 순차로 구동하면서 구동되는 표면광 레이저(33)에 대해 모니터링을 수행할 수 있다. 예컨대 멀티 빔 광주사장치로 본 발명에 따른 광출력장치를 채용시 샘플/홀더 과정에서 상기 4개의 표면광 레이저를 순차로 구동하면서 각 표면광 레이저에 대한 광출력량을 모니터링할 수 있다.
도 6은 본 발명의 제4실시예에 따른 광출력장치를 보인 부분 사시도이고, 도 7은 도 6의 평면도이다.
도면들을 참조하면, 본 발명의 제4실시예에 따른 광출력장치는 기판(61)과, 상기 기판(61) 상에 마련된 복수의 표면광 레이저(63)와, 상기 복수의 표면광 레이저(63) 각각을 전기 및 광학적으로 고립시키는 아이솔레이터(65)와, 모니터용 광검 출기(70)를 포함한다. 본 실시예에 따른 광출력장치는 제2실시예와 비교하여 볼 때, 모니터용 광검출기(70)의 구조를 변경한 것에 특징이 있으며, 다른 구성요소는 제2실시예에 따른 광출력장치와 실질상 동일하다.
상기 모니터용 광검출기(70)는 상기 복수의 표면광 레이저(63) 각각의 출사면(64) 상에 마련된 복수의 광검출부(71,73,75,77)를 포함할 수 있다. 여기서, 상기 복수의 광검출부(71,73,75,77) 각각은 상기 대응되는 출사면(64)의 일부 상면을 덮도록 배치된다. 따라서, 상기 출사면(64)에서 출사된 광량의 대부분은 광출력장치의 본래 기능을 위하여 사용되고, 일부 광은 상기 복수의 광검출부(71,73,75,77) 각각으로 입사되어 모니터링을 위하여 사용된다.
상기한 바와 같이 구성된 광출력장치는 상기 복수의 표면광 레이저(63) 각각에서 출사된 광을 복수의 광검출부(71,73,75,77)를 통하여 독립적으로 수광할 수 있으므로, 상기 복수의 표면광 레이저(63) 전체에 대하여 동시에 광출력을 모니터링 할 수 있다.
한편, 본 실시예에 있어서, 복수의 표면광 레이저를 예로 들어 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 단일 표면광 레이저를 채용하는 구성도 가능하다.
도 8은 본 발명의 제5실시예에 따른 광출력장치를 보인 평면도이다.
도면을 참조하면, 본 발명의 제5실시예에 따른 광출력장치는 기판(61)과, 상기 기판(61) 상에 마련된 복수의 표면광 레이저(63)와, 상기 복수의 표면광 레이저(63) 각각을 전기 및 광학적으로 고립시키는 아이솔레이터(65)와, 모니터용 광검출기(80)를 포함한다. 본 실시예에 따른 광출력장치는 제3실시예와 비교하여 볼 때, 모니터용 광검출기(80)의 구조를 변경한 것에 특징이 있으며, 다른 구성요소는 제3실시예에 따른 광출력장치와 실질상 동일하므로, 동일 부재명 및 부재번호를 사용하였다.
상기 모니터용 광검출기(80)는 상기 복수의 표면광 레이저(63) 각각의 출사면(64) 중 적어도 2개 이상의 출사면에서 출사된 광을 수광할 수 있도록 마련된 적어도 하나의 광검출부(81)를 포함한다. 도 8는 1×4 배열 구조로 배치된 4개의 표면광 레이저(63)와, 이 4개의 표면광 레이저(63) 각각의 출사면(64)에서 출사된 광 모두를 수광할 수 있도록 된 하나의 광검출부(81)를 포함하는 광출력장치를 예로 들어 나타낸 것이다. 여기서, 상기 광검출부(81)는 상기 복수의 출사면(64) 각각의 일부 상면을 덮도록 배치된다. 따라서, 상기 출사면(64)에서 출사된 광량의 대부분은 광출력장치의 본래 기능을 위하여 사용되고, 일부 광은 상기 광검출부(81)로 입사되어 모니터링을 위하여 사용된다.
상기한 바와 같이 구성된 본 발명에 따른 광출력장치는 표면광 레이저의 출사면을 통하여 출력되는 광을 직접 수광하여 모니터링하므로, 표면광 레이저에서 출사되는 광의 발산각에 의한 영향을 거의 받지 않는다. 그러므로, 검출되는 모니터링용 광신호의 신호특성을 향상시킬 수 있다. 또한, 모니터용 광검출기를 표면광 레이저와 별도로 제조하여 결합하는 구성을 가지므로, 기판의 구조를 변경함이 없이 전체적으로 컴팩트화할 수 있다. 또한, 복수의 표면광 레이저를 단일 기판 상에 배열함으로써, 동시에 복수의 광빔을 조사할 수 있다. 그리고, 모니터용 광검출기의 외부면 상에 외부로부터 광이 입사되는 것을 방지하는 금속층을 포함함으로써, 외부로부터의 난반사에 의한 영향을 최소화할 수 있다.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 광주사유니트의 광학적 배치를 보인 개략적인 사시도이다.
도면을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 광주사유니트는 일 방향(D)으로 피노광면이 이동되는 감광매체(150)에 대해 광을 주사하는 것으로, 레이저 빔을 조사하는 광출력장치(100)와, 이 광출력장치(100)에서 조사된 레이저 빔을 감광매체(150)의 주주사방향(X)으로 편향 주사시키는 빔편향기(130)를 포함한다.
상기 광출력장치(100)는 도 2 내지 도 8을 참조하여 설명된 본 발명의 제1 내지 제5실시예에 따른 광출력장치와 동일하며, 도 9는 멀티빔을 조사하는 광출력장치를 예로 들어 나타내었다.
상기 빔편향기(130)는 상기 광출력장치(100)에서 조사된 광을 상기 감광매체(150)의 주주사방향(X)으로 편향 주사시킨다. 이 빔편향기(130)의 예로서 도시된 바와 같은 구조의 폴리곤미러장치를 들 수 있다. 이 폴리곤미러장치는 구동원(131)과, 이 구동원(131)에 대해 회전 가능하게 설치된 폴리곤미러(135)를 포함한다. 상기 폴리곤미러(135)는 그 측면에 형성된 복수의 반사면(135a)을 포함하는 것으로, 회전 구동되면서 입사광을 편향 주사시킨다. 여기서, 상기 빔편향기(130)는 상기한 구조의 폴리곤미러장치에 한정되는 것은 아니며, 입사빔을 편향 주사시키는 홀로그램 디스크 타입 빔 편향기, 갈바노미러 타입 주사장치 등을 채용하는 것도 가능하다.
상기 광출력장치(100)와 상기 빔편향기(130) 사이의 광경로 상에는 콜리메이 팅렌즈(121)와 실린더렌즈(123)가 더 구비될 수 있다. 상기 콜리메이팅렌즈(121)는 상기 광출력장치(100)에서 조사된 광빔을 집속시켜 평행 빔 또는 수렴하는 빔이 되도록 한다. 상기 실린더렌즈(123)는 상기 콜리메이팅렌즈(121)를 투과한 빔을 주주사방향 및/또는 부주사방향에 대응되는 방향으로 입사빔을 집속시킴으로써, 상기 빔편향기(130)에 입사빔을 선형으로 결상시키는 것으로, 적어도 한 매의 렌즈로 구성된다.
또한, 본 발명에 따른 광주사유니트는 에프-세타(f-θ)렌즈(141)와 동기신호검출수단을 더 포함하는 것이 바람직하다. 상기 f-θ렌즈(141)는 상기 빔편향기(130)와 상기 감광매체(150) 사이에 배치된다. 이 f-θ렌즈(141)는 적어도 일 매의 렌즈로 구성되는 것으로, 상기 빔편향기(130)에서 편향된 광을 주주사방향과 부주사방향에 대해 서로 다른 배율로 보정하여 상기 감광매체(150)에 결상되도록 한다.
상기 동기신호검출수단은 상기 광출력장치(100)에서 조사된 빔의 일부를 수광하여, 주사빔의 수평동기를 맞주는데 이용된다. 이를 위하여, 상기 동기신호검출수단은 상기 빔편향기(130)에서 편향되고, 상기 f-θ렌즈(141)를 투과한 빔의 일부를 수광하는 동기신호검출센서(129)와, 상기 f-θ렌즈(141)와 동기신호검출센서(129) 사이에 배치되어 입사빔의 진행 경로를 바꾸어주는 미러(125)와, 이 미러(125)에서 반사된 빔을 집속시키는 집속렌즈(127)를 포함한다.
또한, f-θ렌즈(141)와 감광매체(150) 사이에 반사미러(145)를 더 구비할 수 있다. 이 반사미러(145)는 상기 빔편향기(130) 쪽에서 입사된 주사선을 반사시켜 상기 감광매체(150)의 피노광면에 주사선이 형성되도록 한다.
상기한 바와 같이 구성된 광주사장치는 상기한 구조의 광출력장치를 광원으로 채용함으로써, 빔편향기에 단일 또는 멀티 빔을 안정적으로 조사할 수 있다. 나아가, 멀티빔을 구현하는 경우 멀티 빔 간의 광 출력 차이를 줄임으로써 광빔간 광출력 차이로 인한 화상 불량을 줄일 수 있다.
상기한 실시예들은 예시적인 것에 불과한 것으로, 당해 기술분야의 통상을 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 하기의 특허청구범위에 기재된 발명의 기술적 사상에 의해 정해져야만 할 것이다.
도 1은 종래의 일 예에 따른 광출력장치를 보인 개략적인 단면도.
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 광출력장치를 보인 개략적인 단면도.
도 3은 본 발명의 제2실시예에 따른 광출력장치를 보인 개략적인 일부 분리 사시도.
도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 광출력장치를 보인 평면도.
도 5는 본 발명의 제3실시예에 따른 광출력장치를 보인 평면도.
도 6은 본 발명의 제4실시예에 따른 광출력장치를 보인 부분 사시도.
도 7은 본 발명의 제4실시예에 따른 광출력장치를 보인 평면도.
도 8은 본 발명의 제5실시예에 따른 광출력장치를 보인 평면도.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 광주사유니트의 광학적 배치를 보인 개략적인 사시도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
11, 31, 61:기판 13, 33, 63:표면광 레이저
14, 34, 64:출사면 15, 40, 50, 70, 80:모니터용 광검출기
17, 35, 65:아이솔레이터 19, 37:절연층
21, 39:금속층 25:어퍼쳐
100:광출력장치 130:빔편향기
141:f-θ렌즈 150:감광매체

Claims (15)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 기판과;
    상기 기판 상의 복수 개소에 이격되게 마련되며, 상기 기판에 대해 수직한 방향으로 광을 출사하는 출사면을 각각 가지는 복수의 표면광 레이저와;
    상기 기판 상의 상기 표면광 레이저의 주위에 마련되어, 상기 복수의 표면광 레이저 각각을 전기 및 광학적으로 고립시키는 아이솔레이터와;
    상기 복수의 표면광 레이저 각각의 출사면 및 상기 아이솔레이터 상에 마련되며, 상기 표면광 레이저 각각에서 출사된 광빔의 일부를 수광하여 상기 표면광 레이저 각각의 출사 광량을 모니터링하는 모니터용 광검출기를 포함하는 것을 특징으로 하는 광출력장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 모니터용 광검출기는 상기 복수의 표면광 레이저 각각의 출사면 상에 마련된 복수의 광검출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 광출력장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 복수의 광검출부 각각은,
    대응되는 출사면 전체의 상부에 배치되며, 그 내부에 상기 출사면에서 출사된 광이 통과하는 어퍼쳐가 형성된 것을 특징으로 하는 광출력장치.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 복수의 광검출부 각각은,
    대응되는 출사면의 일부 상면을 덮도록 배치된 것을 특징으로 하는 광출력장치.
  8. 제4항에 있어서,
    상기 모니터용 광검출기는 상기 복수의 표면광 레이저 각각의 출사면 중 적어도 2개 이상의 출사면에서 출사된 광을 수광할 수 있도록 마련된 적어도 하나의 광검출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 광출력장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 광검출부는,
    상기 복수의 표면광 레이저 각각의 출사면 중 대응되는 복수의 출사면 전체의 상부에 배치되며, 그 내부에 상기 출사면에서 출사된 광이 투과하는 어퍼쳐가 형성된 것을 특징으로 하는 광출력장치.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 광검출부는,
    상기 복수의 표면광 레이저 각각의 출사면 중 대응되는 복수의 출사면 각각의 일부 상면을 덮도록 배치된 것을 특징으로 하는 광출력장치.
  11. 제4항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 표면광 레이저와 상기 모니터용 광검출기 사이에 개재되어, 상기 표면광 레이저와 상기 모니터용 광검출기를 전기적으로 절연시키며, 입사광은 투과시키는 절연층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광출력장치.
  12. 제4항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 모니터용 광검출기 상에 마련되어, 외부로부터 광이 입사되는 것을 방지하는 금속층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광출력장치.
  13. 제4항 내지 제10항 중 어느 한 항에 따른 광출력장치와;
    상기 광출력장치에서 출사된 광빔을 감광매체의 주주사방향으로 편향 주사시키는 빔편향기를 포함하는 것을 특징으로 하는 광주사유니트.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 표면광 레이저와 상기 모니터용 광검출기 사이에 개재되어, 상기 표면광 레이저와 상기 모니터용 광검출기를 전기적으로 절연시키며, 입사광은 투과시키는 절연층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광주사유니트.
  15. 제13항에 있어서,
    상기 모니터용 광검출기 상에 마련되어, 외부로부터 광이 입사되는 것을 방지하는 금속층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광주사유니트.
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Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010149651A1 (en) * 2009-06-23 2010-12-29 Imec Optical tactile sensors
US11631962B2 (en) * 2019-05-13 2023-04-18 Ii-Vi Delaware, Inc. Light source with integrated monitor photodetector and diffuser
US11843221B2 (en) * 2020-03-30 2023-12-12 Namuga, Co., Ltd. Light source module for emitting high density beam and method for controlling the same
KR102664633B1 (ko) * 2022-08-17 2024-05-09 한국광기술원 빔 품질을 향상시킨 마이크로 vcsel 및 마이크로 vcsel 어레이
KR102664635B1 (ko) * 2022-08-17 2024-05-09 한국광기술원 마이크로 vcsel 및 마이크로 vcsel 어레이
CN116826507A (zh) * 2023-04-14 2023-09-29 苏州立琻半导体有限公司 光源模组

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19990043106A (ko) * 1997-11-28 1999-06-15 이계철 반도체 레이저와 광검출기가 단일칩에 집적된파장 분할 다중화소자
KR20010045739A (ko) * 1999-11-08 2001-06-05 윤덕용 모니터용 광검출기 일체형 표면광 레이저장치
KR20070006606A (ko) * 2005-07-08 2007-01-11 세이코 엡슨 가부시키가이샤 광 소자 및 광 모듈
KR20070066864A (ko) * 2005-12-22 2007-06-27 후지제롯쿠스 가부시끼가이샤 대구경 표면 발광형 반도체 레이저 소자를 이용한 광정보처리 장치

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5606572A (en) * 1994-03-24 1997-02-25 Vixel Corporation Integration of laser with photodiode for feedback control
US5574744A (en) * 1995-02-03 1996-11-12 Motorola Optical coupler
JPH08330661A (ja) 1995-06-05 1996-12-13 Fuji Photo Film Co Ltd 面発光レーザの光量モニター装置
US6037644A (en) * 1997-09-12 2000-03-14 The Whitaker Corporation Semi-transparent monitor detector for surface emitting light emitting devices
US6023485A (en) * 1998-02-17 2000-02-08 Motorola, Inc. Vertical cavity surface emitting laser array with integrated photodetector
US6091754A (en) * 1998-04-27 2000-07-18 Motorola, Inc. VCSEL having integrated photodetector for automatic power control
JP3928295B2 (ja) * 1999-03-16 2007-06-13 富士ゼロックス株式会社 面発光型半導体レーザ
JP4164679B2 (ja) * 2004-02-16 2008-10-15 セイコーエプソン株式会社 面発光型半導体レーザ
JP4269180B2 (ja) * 2006-07-14 2009-05-27 セイコーエプソン株式会社 光素子の製造方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19990043106A (ko) * 1997-11-28 1999-06-15 이계철 반도체 레이저와 광검출기가 단일칩에 집적된파장 분할 다중화소자
KR20010045739A (ko) * 1999-11-08 2001-06-05 윤덕용 모니터용 광검출기 일체형 표면광 레이저장치
KR20070006606A (ko) * 2005-07-08 2007-01-11 세이코 엡슨 가부시키가이샤 광 소자 및 광 모듈
KR20070066864A (ko) * 2005-12-22 2007-06-27 후지제롯쿠스 가부시끼가이샤 대구경 표면 발광형 반도체 레이저 소자를 이용한 광정보처리 장치

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